KR100907697B1

KR100907697B1 - 가스 스크러버

Info

Publication number: KR100907697B1
Application number: KR1020070024876A
Authority: KR
Inventors: 이후근; 장길남; 김응선
Original assignee: 주식회사 카엘
Priority date: 2007-03-14
Filing date: 2007-03-14
Publication date: 2009-07-14
Also published as: KR20080083958A

Abstract

본 발명은 보호망(143)에 의하여 지지되는 흡착제(141)가 내부에 설치되며 상하부에 플랜지(113, 115)를 구비하는 캐니스터(110)와; 상기 캐니스터(110)의 상부로 설치되며 상기 흡착제(141)에 의하여 정화된 가스가 배출되는 배출관(127)과, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)에 연결되는 플랜지부(121)를 구비하는 상부캡(120)과; 상기 캐니스터(110)의 하부로 설치되며 유해 가스가 유입되는 유입관(137)과, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)에 연결되는 플랜지부(131)를 구비하는 하부캡(130)으로 이루어지며; 상기 상부캡(120)의 플랜지부(121)에는 원주방향으로 요홈(121a)이 형성되며, 상기 요홈(121a)의 내측 및/또는 외측으로 오링(128)을 구비하며; 상기 플랜지(113)는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈(121a)에 삽입되는 돌기(119)를 구비하며, 상기 돌기(119)의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링(128)이 안착하는 안착홈(113b)이 형성되는 가스 스크러버(100)에 관한 것으로; 설치와 교체하는데 소요되는 시간이 대폭 단축되며, 교체된 가스 스크러버의 내부 흡착제를 교체할 때 가스 스크러버를 용이하고 간단하게 분해하고 조립할 수 있으며, 제조에 소요되는 부품의 수도 현저하게 감소하므로 제작 비용이 절감되고 제작에 소요되는 시간도 대폭 단축되는 한편, 유해 가스를 고르게 분산시킬 수 있으면서도 흐름 저항이나 와류 발생을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

가스 스크러버, 교체

Description

가스 스크러버{Gas Scrubber}

도 1은 종래 기술에 의한 가스 스크러버를 도시한 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시한 종래 기술에 의한 가스 스크러버의 종단면도이다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 가스 스크러버의 개략적인 사시도이다.

도 4는 도 3에 도시한 가스 스크러버의 개략적인 종단면도이다.

도 5는 도 4의 'A'부를 확대 도시한 단면도이다.

도 6은 도 4의 'B'부를 확대 도시한 단면도이다.

도 7은 도 5의 변형 예를 도시한 단면도이다.

도 8은 도 6의 변형 예를 도시한 단면도이다.

도 9는 도 4의 C-C선에 따르는 단면도이다.

도 10은 본 발명의 실시 예에 따르는 가스 스크러버의 이동수단을 개략적으로 도시한 부분 단면도이다.

도 11은 다른 형태의 이동수단을 이루는 지지롤러부를 도시한 개략적인 사시도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

100 : 가스 스크러버 110 : 캐니스터(Canister)

113b : 안착홈 119 : 돌기

120 : 상부캡 121 : 플랜지부

121a : 요홈 125 : 안내부

125a : 안내경사부 128 : 오링(O-ring)

130 : 하부캡 131 : 플랜지

141 : 흡착제 143 : 보호망

150 : 이동수단 151 : 안내지지부

153 : 회전가이드 155 : 정지핀

156 : 지지체 157 : 회전부

158 : 회전핀 159 : 롤러

본 발명은 가스 스크러버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 조립과 분해가 간편하고, 유해 가스의 분산이 확실하게 이루어지는 반도체 제조 공정 등에서 발생하는 가스 중 유해 가스나 분진을 흡착 처리하는 가스 스크러버에 관한 것이다.

반도체 제조 공정은 화학 증기 증착 공정, 저압 증기 화학 증착 공정, 플라즈마 강화 화학 증착 공정, 플라즈마 부식 공정 등으로 이루어진다. 그리고 상기와 같은 반도체 제조 공정에서는 소모되지 않고 배기 가스에 포함되어 발생하는 HCl, Cl₂, HF 등과 같은 유해 가스, 분진 및/또는 증기는 작업자에게 심각한 영향을 미칠 수 있으며, 반도체 제조 공정에 사용되는 장치를 오염시키는 문제점도 발생한다.

따라서 종래에 반도체 제조 공정에서 배출되는 상기와 같은 유해성 가스를 처리하기 위하여 고온의 환경에서 유해 가스를 열분해 하여 정화하는 연소식 처리법과, 흡착제를 이용하여 정화하는 방식의 건식처리법과, 유해 가스를 물과 접촉하도록 하여 포집한 후 오염된 물을 정화하는 방식의 습식처리법 및 상기 방법을 혼용한 처리법이 있다.

연소식 처리법은 히터를 이용한 간접가열방식과 LPG 등과 같은 연료가스를 연소시켜 유해 가스를 태우는 직접가열방식으로 구분되며, 고농도의 가스를 처리하는데 적합한 것으로 알려져 있으나, 고온의 환경을 조성하기 위해 히터를 사용하거나 LPG 등의 가스를 연소시킴에 따라 안전상의 문제와 더불어 경제성이 취약하다는 점이 문제점으로 지적되고 있다.

건식처리법 중에서 흡착제를 이용하는 방식은 알루미나, 소석회, 알루미나 실리케이트, 제올라이트 등의 무기 흡착제, 활성탄, 상기 무기 흡착제를 담체로 하여 알칼리 화합물이나 산성 화합물을 처리한 첨착 무기 흡착제 또는 금속으로 코팅 한 첨착 무기 흡착제, 상기 활성탄에 화학물질을 첨착한 첨착 활성탄을 흡착제로 사용하며, 상기에 기재한 무기 흡착제, 활성탄, 화합물이나 금속 첨착 무기 흡착제, 화학물질 첨착 활성탄을 다층 적층하여 사용하기도 한다.

최근에는 반도체 고집적화와 고성능화에 따라서 고직접화 및 고성능화된 반도체를 뒷받침하기 위하여 고성능화된 반도체 장비를 요구하고 있다. 즉, 종래 반도체 제조 공정에서 허용되던 환경 조건 등이 반도체의 고직접화와 고성능화에 따라 더 엄격하게 적용되며, 따라서 새로운 환경 조건에 맞는 반도체 제조공정 장비가 요구된다.

도 1은 반도체 공정 중에서 배출되는 유해성 가스를 흡착 제거하기 위한 종래 기술에 의한 가스 스크러버(1)를 도시한 것이며, 도 2는 도 1 가스 스크러버(1)의 종단면을 도시한 것이다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 종래 기술에 의한 가스 스크러버(1)는 캐니스터(10)와 상부캡(20) 그리고 하부캡(30)이 플랜지(13, 21; 15, 31)로 연결되어 있으며, 캐니스터(10)와 상부캡(20) 그리고 하부캡(30)에 의하여 형성되는 내부 공간에는 보호망(43)이 이격되어 설치되고, 상기 보호망(43) 사이에 흡착 작용을 하는 흡착제(41)를 충진하여, 보호망(43)을 지나 흡착제(41)를 통과하는 배기 가스 중 상기와 같은 유해 가스를 흡착 제거한다.

상기 보호망(431) 사이에 충진되는 흡착제로는 알루미나, 소석회, 알루미나 실리케이트, 제올라이트 등의 무기흡착제, 활성탄, 또는 상기 무기흡착제를 담체로 하여 알칼리 화합물, 산성화합물 등을 처리한 첨착무기흡착제 또는 금속(알칼리 금 속, 전이금속 등)으로 코팅한 첨착무기흡착제, 활성탄에 화학물질을 첨착한 첨착활성탄을 흡착하려는 배출 가스의 성분에 따라 선택하여 사용하며, 상기와 같은 흡착제를 순차적으로 충진하여 사용하기도 한다.

상기 보호망(43)은 흡착제(41)를 이루는 흡착제의 휘산을 방지하기 위한 것으로, 정화하는 배출 가스의 유속에 영향을 주지 않을 정도의 메쉬(mesh) 크기를 갖도록 형성되며, 보호망(43)이 내부 공간에 안정적으로 설치되도록 하기 위하여 상기 보호망(43)을 지지하기 위한 지지대(14)가 형성된다.

상기 가스 스크러버(1)는 배출 가스가 유입되는 유입관(37)과, 유해 가스나 분진을 흡착한 배출 가스를 배출하는 배출관(27)을 구비한다. 그리고 상기 유입관(37)은 하부 연결관(81)과 플랜지(39, 83)로 연결되며, 상기 배출관(27)은 상부 연결관(85)과 플랜지(29, 87)로 연결된다. 그리고 상기 배출관(27)과 유입관(37)에는 도시하지 않은 밸브가 연결되어 유입 가스나 배출 가스의 차단이나 흐름을 제어할 수 있도록 하고 있다.

상기 상부캡(20)을 캐니스터(10)에 결합하는데 있어서, 도 1에 도시한 바와 같이 상부캡(20)의 플랜지부(21)에 원주 방향으로 소정 간격 이격하여 다수의 결합공(21a)을 형성하고, 마찬가지로 캐니스터(10)의 플랜지(13)에도 상기 결합공(21a)에 대응하는 결합공을 형성하며, 상기 결합공을 체결볼트(23)와 너트(25)로 결합하여 상부캡(20)과 캐니스터(10)를 결합한다. 마찬가지 방법으로 캐니스터(10)와 하부캡(30)도 결합한다. 상기 결합에 있어서 상부캡(20)의 플랜지부(21)와 캐니스터(10)의 플랜지(13) 사이에, 그리고 하부캡(30)의 플랜지부와 캐니스터(10)의 플 랜지(15) 사이에는 개스킷(도시하지 않음, Gasket) 등을 삽입하여, 유해 가스나 배기 가스가 실내로 유출되지 않도록 하고 있다.

상기 종래 기술에 의한 가스 스크러버(1)의 작용을 간단하게 살펴본다.

도 2에 도시한 바와 같이 펌프(미도시) 등에 의하여 배출 가스가 유입관(37)을 통하여 가스 스크러버(1)로 유입되면, 배출 가스는 유입관(37), 보호망(43), 및 흡착제(41)를 통과하고, 배출관(27)을 통하여 배출된다. 배기 가스가 흡착제(41)를 통과할 때 배기 가스 내에 포함되는 유해 가스나 분진이 흡착제(41)에 흡착되어 제거된다. 도 2에서 화살표는 배기 가스의 이동 경로를 간략하게 나타낸 것이다.

그리고 사용이 완료된 가스 스크러버(1)를 교체하고 흡착제(41)를 교환하는 경우에는, 상부연결관(85)과 하부연결관(81)에 연결되는 밸브를 잠그고, 상부연결관(85)과 배출관(27)의 플랜지(29, 87) 연결과 하부연결관(81)과 유입관(37)의 플랜지(39, 83) 연결을 해제하며, 가스 스크러버(1)를 교체한다. 교체된 가스 스크러버(1)는 상부캡(20)과 캐니스터(10), 그리고 하부캡(30)과 캐니스터(10)를 연결하는 체결볼트와 너트의 체결을 풀어서 내부 흡착제(41)나 보호망(43)을 교체한다.

따라서 가스 스크러버(1)의 교체와, 내부에 설치되는 흡착체(41)나 보호망(43)의 교체에 많은 시간과 노동력이 소요된다. 그리고 제조에 있어서 부품 수가 다수 소요되므로 많은 제조 비용과 관리 비용이 소요되며, 내부로 유입된 유해 가스가 고르게 전 흡착제로 분산되지 못하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 교체에 소요되는 시간과 노력을 대폭 줄일 수 있으며, 교체 후 내부에 설치된 흡착제나 보호망을 간단하게 빠른 시간 내에 교체할 수 있으며, 와류가 발생하는 것을 억제하면서도 특정 부분에 분진 등이 다량 흡착되는 것을 방지하여 불균일한 흡착에 의한 흡착제의 교체 주기가 단축되는 것을 방지할 수 있는 가스 스크러버를 제공하는데 목적이 있는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르는 가스 스크러버는 보호망에 의하여 지지되는 흡착제가 내부에 설치되며 상하부에 플랜지를 구비하는 캐니스터와; 상기 캐니스터의 상부로 설치되며 상기 흡착제에 의하여 정화된 가스가 배출되는 배출관과, 상기 캐니스터의 플랜지에 연결되는 플랜지부를 구비하는 상부캡과; 상기 캐니스터의 하부로 설치되며 유해 가스가 유입되는 유입관과, 상기 캐니스터의 플랜지에 연결되는 플랜지부를 구비하는 하부캡으로 이루어지며; 상기 상부캡의 플랜지부에는 원주방향으로 요홈이 형성되며, 상기 요홈의 내측 및/또는 외측으로 오링을 구비하며; 상기 플랜지는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈에 삽입되는 돌기를 구비하며, 상기 돌기의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링이 안착하는 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 캐니스터의 플랜지에는 원주 방향으로 요홈이 형성되며, 상기 요홈의 내측 및/또는 외측으로 오링을 구비하며; 상기 하부캡의 플랜지부에는 원주방향으 로 형성되어 상기 요홈에 삽입되는 돌기를 구비하며, 상기 돌기의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링이 안착하는 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 플랜지 및/또는 플랜지부에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 분리홈이 형성되는 것을 특징으로 하며,

상기 플랜지 및/또는 플랜지부에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 복수의 분리홈이 형성되며, 상기 플랜지 및/또는 플랜지부에는 원주 방향으로 소정 간격 이격되어 복수의 분리홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 상부캡의 플랜지부는 원주 방향으로 형성되며 내측으로 소정의 각도로 경사진 경사안내부를 구비하는 안내부를 포함하며, 상기 캐니스터의 플랜지는 외주면으로 상기 경사안내부에 대응하는 경사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에 있어서, 상부캡의 플랜지부는 원주 방향으로 형성되며 내측으로 소정의 각도로 경사진 경사안내부를 구비하는 안내부를 포함하며; 상기 캐니스터의 플랜지는 외주면으로 상기 경사안내부에 대응하는 경사부를 포함하며; 상기 캐니스터의 플랜지는 내측으로 소정의 각도로 경사진 안내경사부를 구비하는 안내부를 포함하며; 상기 하부캡의 플랜지부는 외주면으로 플랜지의 내측으로 소정의 각도로 경사진 안내경사부에 대응하는 경사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에 있어서, 가스 스크러버는 하부캡의 하부로 설치되는 이동수단을 구비하며, 상기 이동수단은 하부캡의 하부로 고정 설치되며 내측으로 암나사부가 형성된 원통형상의 안내지지부와; 상기 안내지지부에 설치되어 안내지지부의 내측으로 소정 높이 돌출되는 정지핀과; 소정 범위에 수나사부가 형성되어 상기 안내부에 나 사 결합하는 회전 가이드와; 상기 회전 가이드에 회전 가능하게 삽입되는 회전부와; 상기 회전부로부터 돌출되며 회전핀을 구비하여 롤러를 회전 가능하게 지지하는 지지체와; 상기 지지체의 회전핀에 회전 가능하게 설치되는 롤러로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기에 있어서, 상기 가스 스크러버는 다수의 통공이 형성되며 소정 간격으로 이격하여 상하로 설치되는 복수의 원형 타공판을 더 포함하며 상기 타공판의 지름은 상부로 갈수록 증가하는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기에 있어서, 가스 스크러버는 이동수단을 구비하며, 상기 이동수단은 캐니스터에 고정 설치되며 포켓부를 구비하는 지지캡과; 상기 지지캡의 포켓부에 삽입 고정되는 삽입패널과, 상기 삽입패널에서 연장되며 절곡된 지지체와, 상기 지지체의 말단에 결합된 지지롤러로 이루어지는 지지롤러부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버를 상세히 설명한다. 상세한 설명에 있어서 종래 기술과 동일한 내용에 대해서는 그 기재를 생략하며, 동일한 작용을 하는 구성에 대해서는 동일한 명칭을 사용한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버(100)를 도시한 개략적이 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시한 가스 스크러버(100)의 개략적인 단면도이며, 도 5는 도 4의 'A'부를 확대 도시한 것이며, 도 6은 도 4의 'B'부를 확대 도시한 것이며, 도 7은 도 5의 변형 예이며, 도 8은 도 6의 변형 예이며, 도 9는 도 4의 C-C선에 따르는 단면도이며, 도 10은 이동 수단을 도시한 단면도이다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버(100)는 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 상, 하로 플랜지(113, 115)를 구비하며, 내측으로 보호망(143)에 의하여 지지되는 하나 이상의 흡착제(141)가 설치되는 원통 형상의 캐니스터(110)와; 상기 캐니스터(110)의 상부로 설치되는 상부캡(120)과; 상기 캐니스터(110)의 하부로 설치되는 하부캡(130)을 포함하여 구성된다.

상기 상부캡(120)은 유해 가스가 제거된 배출 가스를 배출하는 배출관(127)을 구비하며, 상기 배출관(127)은 상부연결관(185)과 플랜지(129, 187)로 연결된다. 그리고 하부캡(130)은 유해 가스가 유입되는 유입관(137)을 구비하며, 상기 유입관(137)은 하부연결관(181)과 플랜지(139, 183)로 연결된다. 상기 플랜지(129, 187; 139, 183)의 연결에는 도시하지 않은 클램프를 사용하는 것도 가능하다.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 상부캡(120)의 플랜지부(121)에는 원주 방향으로 복수의 요홈(121a)이 형성되며, 상기 요홈(121a)의 내측 및/또는 외측으로 고무와 같은 탄성체로 제조되는 오링(128, O-ring)을 구비한다. 그리고 상기 플랜지부(121)와 맞닿는 캐니스터(110)의 플랜지(113)는 상기 요홈(121a)에 대응하며 원주 방향으로 형성된 복수의 돌기(119)를 구비하며, 상기 돌기(119)의 내측 및/또는 외측으로 상기 오링(128)이 안착하는 안착홈(113b)이 형성된다. 그리 고 상기 플랜지(113)의 외측으로 원주 방향으로 소정 간격 이격하여 복수의 분리홈(113a)이 형성된다. 상기 분리홈(113a)으로 도시하지 않은 공구를 삽입하고 가압하여 플랜지부(121)와 플랜지(113)를 용이하게 분리할 수 있게 된다. 상기에서 플랜지(113)에 요홈을 형성하고, 상기 플랜지부(121)에 돌기를 구비하는 것도 가능하다.

상부캡(120)과 캐니스터(110)의 결합을 용이하도록 하기 위하여, 도 7에 도시한 바와 같이, 플랜지부(121)의 외주면 외측으로 안내부(125)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 안내부(125)의 하방으로는 소정 각도 경사지게 형성되는 경사안내부(125a)가 형성된다. 그리고 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)에는 상기 경사안내부(125a)에 대응하는 경사부(112)를 구비하도록 하며, 경사부(112) 외측으로 원주 방향으로 소정 간격 이격하여 형성되는 복수의 분리홈(113a)을 구비한다.

상기 상부캡(120)에 캐니스터(110)를 결합하는데 있어서, 상기 경사안내부(125a)가 경사부(112)를 안내하여 요홈(121a) 내로 돌기(119)가 정확하게 삽입되도록 할 수 있으므로, 상부캡(120)과 캐니스터(110)의 결합을 용이하고 보다 신속하게 할 수 있다.

도 5 및 도 8에 도시한 바와 같이 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)에는 원주 방향으로 복수의 요홈(115a)이 형성되며, 상기 요홈(115a)의 내측 및/또는 외측으로 고무와 같은 탄성체로 제조되는 오링(118, O-ring)을 구비한다. 그리고 상기 플랜지(115)와 맞닿는 하부캡(130)의 플랜지(131)는 상기 요홈(115a)에 대응하며 원주 방향으로 형성된 복수의 돌기(134)를 구비하며, 상기 돌기(134)의 내측 및/또 는 외측으로 상기 오링(118)이 안착하는 안착홈(131b)이 형성된다. 그리고 상기 플랜지부(131)의 외측으로 원주 방향으로 소정 간격 이격하여 복수의 분리홈(131a)이 형성된다. 상기 분리홈(131a)으로 도시하지 않은 공구를 삽입하고 가압하여 플랜지부(131)와 플랜지(115)를 용이하게 분리할 수 있게 된다. 상기에서 플랜지(115)에 요홈을 형성하고, 상기 플랜지부(131)에 돌기를 구비하는 것도 가능하다.

상기 플랜지(115)와 플랜부(131)의 결합에 있어서도, 도 8에 도시한 바와 같이 플랜지(115)의 반경 방향으로 연장된 안내부(116)를 구비하고, 상기 안내부(116)의 하방으로 안내경사부(116a)가 형성되며, 상기 플랜지부(131)에는 상기 안내경사부(116a)에 대응하는 경사부(132)를 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버(100) 내로 설치되는 흡착제(141)는 도 4에 도시한 바와 같이 소정 간격 이격하여 다층으로 설치하는 것도 가능하며, 단층으로 설치하는 것도 가능하다. 그리고 도 4 및 도 9에 도시한 바와 같이 상기 흡착체(141)의 하부로는 유입관(137)을 통하여 유입되는 유해 가스가 흡착제(141)에 고르게 퍼져 통과하도록 하기 위하여 다층으로 소정 간격 이격하여 상하로 설치되는 타공판(160)을 구비한다. 상기 타공판(160)에는 복수의 관통 구멍(160a)이 형성된다.

상하로 설치되는 상기 복수의 타공판(160)은 하측의 타공판(161)의 지름을 작게 형성하며, 상부로 설치될수록 그 지름을 점차로 증가하도록 설치한다. 상기와 같이 타공판(160; 161, 163, 165, 167))의 지름을 상부로 갈수록 크게 함으로써 타공판(160)에 의한 갑작스런 흐름 저항의 증가를 방지할 수 있으며, 와류 현상을 방지할 수 있게 된다.

본 발명에 따르는 가스 스크러버(100)는 도 3 및 도 10에 도시한 바와 같이 하부캡(130)의 하부로 설치되는 이동수단(150)을 구비한다. 상기 이동수단(150)은 하부캡(130)의 하부로 고정 설치되며 내측으로 암나사부(151a)가 형성된 안내지지부(151)와; 상기 안내지지부(151)의 내측으로 설치되며 상기 암나사부(151a)와 대응하는 수나사부(153a)가 형성된 회전가이드(153)와; 상기 회전가이드(153)에 회전 가능하게 연결되며 하방으로 연장되는 지지체(156)를 구비하는 회전부((157)와; 상기 지지체(156)에 구비되는 회전핀(158)에 회전 가능하게 설치되는 롤러(159)로 이루어진다. 상기 안내지지부(151)에는 내측으로 소정 높이 돌출되게 측방으로 정지핀(155)이 설치된다. 상기 회전가이드(153)는 안내지지부(151)와 나사 결합되어 상하로 이동 가능하므로 이동수단(150)의 높이를 조정할 수 있으며, 상기 정지핀(155)에 의하여 수나사부(153a)의 회전이 방지되므로 회전가이드(153)가 안내지지부(151)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.

상기 이동수단(150)은 하부캡(130)에 직접 고정 설치되는 것도 가능하며, 도 3에 도시한 바와 같이 하부캡(130)의 하부로 별도의 하판(170)을 구비하고, 상기 하판(170)에 설치볼트(173) 등을 이용하여 고정 설치하는 것도 가능하다.

본 발명에 따르는 가스 스크러버(100)는 도 3 및 도 11에 도시한 바와 같이 캐니스터(110)에 구비되는 다른 형태의 이동수단을 구비하는 것이 가능하다. 캐니스터(110)에 구비되는 이동수단은 캐니스터(110)에 고정되는 포켓부(193)을 구비하 는 지지캡(191)과, 상기 지지캡(191)에 삽입되는 지지롤러부로 이루어진다. 상기 지지롤러부는 지지캡(191)의 포켓부(193)에 삽입되는 삽입패널(192)과, 상기 삽입패널(192)으로부터 연장되며 굴곡되어 형성되는 지지체(194)와, 상기 지지체(194)의 말단에 고정되는 회전롤러(196)로 이루어진다. 상기 지지롤러부는 지지캡(191)에 삽입되어 착탈 가능하게 캐니스터(110)에 고정될 수도 있고, 지지캡(191)의 매개없이 바로 캐니스터(110)에 고정 설치되는 것도 가능하다. 상기 지지캡(191)은 캐니스터(110)를 안정적으로 이동시키기 위하여 3개 이상 설치하는 것이 바람직하다.

도 3 및 도 10에서 미설명 부호 171은 하판(170)을 지지하는 격벽을, 152는 안내지지부(151)를 지지하는 격벽, 195는 지지캡(191)을 캐니스터(110)에 고정하기 위한 고정 수단인 나사 못이나 볼트를 도시한 것이다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따르는 가스 스크러버(100)의 교체 및 내부에 설치된 흡착제(141)의 교체에 대하여 설명한다.

도 3에 도시한 바와 같이 설치되어 사용되는 가스 스크러버(100)의 교체 주기가 되어 교체하는 경우, 상부연결관(185)과 하부연결관(181)에 각각 연결 설치된 밸브를 차단하고, 플랜지(129, 187; 139, 183)의 연결을 해제하고, 가스 스크러버(100)를 분리한다. 그리고 새로운 가스 스크러버(100)를 플랜지(129, 187; 139, 183) 연결하고, 밸브를 열어서 유해 가스를 통과시킨다. 분리된 가스 스크러버(100)는 분리홈(113a)에 '-'자 드라이버와 같은 공구를 삽입하고 가압하면서 쐐기 작용을 하도록 하여 캐니스터(110)로부터 상부캡(120)을 분리한다. 그리고 마 찬가지로 분리홈(131a)에도 공구를 삽입하여 가압하면서 캐니스터(110)와 하부캡(130)을 분리하고, 내부에 설치된 흡착제(141)와 보호망(143)을 교체하며, 돌기(119, 134)를 각각 요홈(121a, 115a)에 삽입함으로써 다시 상부캡(120)과 하부캡(130)을 캐니스터(110)에 조립한다.

본 발명에 따르는 가스 스크러버(100)는 캐니스터(110), 상부캡(120) 및 하부캡(130)이 볼트로 결합되어 있지 않으므로 상기와 같이 간단하게 캐니스터(110)로부터 상부캡(120)과 하부캡(130)을 분리할 수 있게 된다.

사용을 완료한 가스 스크러버(100)를 교체하는 다른 예에 대하여 도 3 및 도 10을 참조하여 설명하면, 상부연결관(185)과 하부연결관(181)에 연결된 밸브를 잠그고, 하부연결관(181)의 플랜지(139, 183) 연결을 해제하고, 도 5에 도시된 회전가이드(153)를 회전하여 롤러(159)를 지면으로부터 분리되도록 한다. 그리고 분리홈(113a)에 공구 등을 삽입하고 가압하여 플랜지부(121)와 플랜지(113)의 연결이 분리되도록 한다. 그리고 새로운 가스 스크러버(100)를 도 3에 도시한 설치 위치로 이송하고, 가스 스크러버(100)의 하판(171)을 상부로 가압하고 플랜지부(121)의 요홈(121a)에 돌기(119)가 삽입되도록 하여 상부캡(120)에 캐니스터(110)를 결합하고, 이동수단(150)의 회전가이드(153)를 회전시켜 롤러(159)가 지면과 적당한 높이에서 접촉되도록 한다. 그리고 유입관(137)과 하부연결관(181)을 플랜지(139, 183) 연결한다. 상기 연결이 완료된 후 밸브를 열어서 가스 스크러버(100)를 통과하여 유해 가스가 통과되도록 한다.

상기 가스 스크러버(100)의 교체 및 가스 스크러버(100) 내부에 설치된 흡착 제(141)를 교체하기 위하여 가스 스크러버(100)를 분해하고 다시 조립하는 과정에서 상기 분리홈(113a, 131a)에 의하여 가스 스크러버(100)를 간편하고 신속하게 분해할 수 있으며, 또한 상부캡(120)과 플랜지(115)가 각각 경사안내부(125a)와 안내경사부(116a)가 형성된 안내부(125, 116)를 구비하여 상기 안내부(125, 116)가 각각 플랜지(113)와 하부캡(130)을 안내함으로써 요홈으로 돌기가 안정되게 삽입되도록 함으로써 가스 스크러버(100)의 설치 및 조립이 용이해진다.

사용을 완료한 가스 스크러버(100)를 교체하는 또 다른 예에 대하여 도 3 및 도 11을 참조하여 설명하면, 상부연결관(185)과 하부연결관(181)에 연결된 밸브를 잠그고, 캐니스터(110)에 3개 이상 설치된 각 지지캡(191)에 지지롤러부의 삽입패널(192)를 삽입하여 캐니스터(110)를 이동 가능한 상태로 한다.

그리고 분리홈(113a)에 공구 등을 삽입하고 가압하여 플랜지부(121)와 플랜지(113)의 연결이 분리되도록 하여 캐니스터(110)으로부터 상부캡(120)을 분리한다. 캐니스터(110)로부터 상부캡(120)을 분리하고 난 후 캐니스터(110)와 상부캡(120) 내부에 잔류하는 배출 가스가 외부로 누출되는 것을 방지하기 위하여 캐니스터(110)의 상부와 상부캡(120)의 하부를 미리 준비한 캡(도시하지 않음)으로 밀봉하는 것이 바람직하다. 또 다른 분리홈(131a)에 공구 등을 삽입하고 가압하여 플랜지부(131)와 플랜지(115)가 분리되도록 하여 하부캡(130)으로부터 캐니스터(110)를 분리한다. 이때도 캐니스터(110)의 하부와 하부캡(130)의 상부를 밀봉하는 것이 바람직하다. 상기와 같이 사용한 캐니스터(110)를 분리하고, 새로운 캐니스터(110)를 상기의 역순으로 하부캡(130)과 상부캡(120) 사이에 설치한다. 상부캡(120) 및 하부캡(130)을 캐니스터(110)와 결합할 때 플랜지부(121)와 플랜지(113)를, 그리고 플랜지부(131)와 플랜지(113)를 원주 방향으로 따라 상하에서 가압하여 결합하는 것이 가능하다. 상기 연결이 완료된 후 밸브를 열어서 가스 스크러버(100)를 통과하여 유해 가스가 통과되도록 한다. 따라서 본 발명에 따르는 가스 스크러버(100)는 상부캡(120)과 하부캡(130)의 교체 주기를 캐니스터(110)의 교체 주기와 달리하여 용이하게 교체하는 것이 가능하다. 물론, 상기와 같은 이동수단에 의해서도 캐니스터(110), 상부캡(120) 및 하부캡(130)을 일체로 분리하는 것도 가능하다.

이상에서 본 발명은 특정의 실시 예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 첨부된 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변경, 개조 및 변화가 가능하다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따르는 가스 스크러버는 설치와 교체하는데 소요되는 시간이 대폭 단축되며, 교체된 가스 스크러버의 내부 흡착제를 교체하기 위하여 가스 스크러버를 용이하고 간단하게 분해하고 조립할 수 있으므로 흡착제 교체에 소요되는 시간과 노력이 대폭 단축되며, 제조에 소요되는 부품의 수도 현저하게 감소하므로 제작 비용이 절감되고 제작에 소요되는 시간도 대폭 단축되는 한편, 하부로 다층 적층되는 다수의 타공판을 구비함으로써 유해 가스를 고르 게 분산시킬 수 있어 전 흡착제를 통하여 균일하게 유해 가스를 통과시킬 수 있으며, 다수의 타공판 지름을 서로 달리함으로써 타공판에 의한 흐름 저항이나 와류 발생을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

Claims

보호망(143)에 의하여 지지되는 흡착제(141)가 내부에 설치되며 상하부에 플랜지(113, 115)를 구비하는 캐니스터(110)와; 상기 캐니스터(110)의 상부로 설치되며 상기 흡착제(141)에 의하여 정화된 가스가 배출되는 배출관(127)과, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)에 연결되는 플랜지부(121)를 구비하는 상부캡(120)과; 상기 캐니스터(110)의 하부로 설치되며 유해 가스가 유입되는 유입관(137)과, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)에 연결되는 플랜지부(131)를 구비하는 하부캡(130)으로 이루어지며;

상기 흡착제(141)의 하부로, 다수의 통공이 형성되며 이격하여 상하로 설치되며 상부로 갈수록 지름이 증가하는 복수의 타공판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제1 항에 있어서, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)에는 원주 방향으로 요홈(115a)이 형성되며, 상기 요홈(115a)의 내측 또는 외측으로 오링(118)을 구비하며; 상기 하부캡(130)의 플랜지부(131)에는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈(115a)에 삽입되는 돌기(134)를 구비하며, 상기 돌기(134)의 내측 또는 외측으로 상기 오링(118)이 안착하는 안착홈(131b)이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제1 항에 있어서, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)에는 원주 방향으로 요홈(115a)이 형성되며, 상기 요홈(115a)의 내측 및 외측으로 오링(118)을 구비하며; 상기 하부캡(130)의 플랜지부(131)에는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈(115a)에 삽입되는 돌기(134)를 구비하며, 상기 돌기(134)의 내측 및 외측으로 상기 오링(118)이 안착하는 안착홈(131b)이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제1 항에 있어서, 상기 상부캡(120)의 플랜지부(121)에는 원주방향으로 요홈(121a)이 형성되며, 상기 요홈(121a)의 내측 또는 외측으로 오링(128)을 구비하며; 상기 플랜지(113)는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈(121a)에 삽입되는 돌기(119)를 구비하며, 상기 돌기(119)의 내측 또는 외측으로 상기 오링(128)이 안착하는 안착홈(113b)이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제1 항에 있어서, 상기 상부캡(120)의 플랜지부(121)에는 원주방향으로 요홈(121a)이 형성되며, 상기 요홈(121a)의 내측 및 외측으로 오링(128)을 구비하며; 상기 플랜지(113)는 원주방향으로 형성되어 상기 요홈(121a)에 삽입되는 돌기(119)를 구비하며, 상기 돌기(119)의 내측 및 외측으로 상기 오링(128)이 안착하는 안착홈(113b)이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제2 항에 있어서, 상기 플랜지(113) 또는 플랜지부(121)에는 원주 방향으로 이격되어 복수의 분리홈이 형성되며, 상기 플랜지(115) 또는 플랜지부(131)에는 원주 방향으로 이격되어 복수의 분리홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제4 항에 있어서, 상부캡(120)의 플랜지부(121)는 원주 방향으로 형성되며 내측으로 경사진 경사안내부(125a)를 구비하는 안내부(125)를 포함하며, 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)는 외주면으로 상기 경사안내부(125a)에 대응하는 경사부(112)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제2 항에 있어서, 상기 상부캡(120)의 플랜지부(121)는 원주 방향으로 형성되며 내측으로 경사진 경사안내부(125a)를 구비하는 안내부(125)를 포함하며; 상기 캐니스터(110)의 플랜지(113)는 외주면으로 상기 경사안내부(125a)에 대응하는 경사부(112)를 포함하며; 상기 캐니스터(110)의 플랜지(115)는 내측으로 경사진 안내경사부(116a)를 구비하는 안내부(116)를 포함하며; 상기 하부캡(130)의 플랜지부(131)는 외주면으로 플랜지(115)의 내측으로 경사진 안내경사부(116a)에 대응하는 경사부(132)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 스크러버(100)는 하부캡(130)의 하부로 설치되는 이동수단(150)을 구비하며, 상기 이동수단(150)은 하부캡(130)의 하부로 고정 설치되며 내측으로 암나사부(151a)가 형성된 원통 형상의 안내지지부(151)와; 상기 안내지지부(151)에 설치되어 안내지지부(151)의 내측으로 돌출되는 정지핀(155)과; 수나사부(153a)가 형성되어 상기 안내부(151)에 나사 결합하는 회전 가이드(153)와; 상기 회전 가이드(153)에 회전 가능하게 삽입되는 회전부(157)와; 상기 회전부(157)로부터 돌출되며 회전핀(158)을 구비하여 롤러(159)를 회전 가능하게 지지하는 지지체(156)와; 상기 지지체(156)의 회전핀(158)에 회전 가능하게 설치되는 롤러(159)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).
제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 스크러버(100)는 이동수단을 구비하며, 상기 이동수단은 캐니스터(110)에 고정 설치되며 포켓부(193)를 구비하는 지지캡(191)과; 상기 지지캡(191)의 포켓부(193)에 삽입 고정되는 삽입패널(192)과, 상기 삽입패널(192)에서 연장되며 절곡된 지지체(194)와, 상기 지지체(194)의 말단에 결합된 지지롤러(196)로 이루어지는 지지롤러부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버(100).