KR102254075B1 - 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치 - Google Patents

독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 복수 개의 가스통이 안착될 수 있는 안착플레이트가 구비되고, 상기 안착플레이트가 지지되는 프레임부재를 작업자가 잡고 이송할 수 있도록 바퀴부재가 구비되는 이송대차; 상기 가스통의 밸브를 감싸도록 설치되고, 상기 밸브로부터 특수가스가 유출되면 특수가스가 대기 중으로 확산되는 것을 방지하는 마개장치; 상기 마개장치 내부로 질소가스를 공급할 수 있도록 상기 안착플레이트에 안착되고 질소가스가 충진되는 보조통; 및 상기 마개장치 내부에 유실되어 상기 마개장치 내부의 압력을 상승시키는 특수가스를 상기 마개장치 외부로 배출시키면서 특수가스 내부에 포함되는 유해성분을 흡착시켜 정화하는 스크러버를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치 {EMISSION SYSTEM FOR TRANSFER OF TOXIC COMBUSTIBLE SEMICONDUCTOR SPECIAL GAS}
본 발명은 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 가스통에 설치된 밸브의 불량으로 인체에 유해한 독성 또는 가연성 반도체 특수가스가 유실되는 경우에 지정된 스크러버가 위치한 장소까지 가스통을 이송하는 동안에 마개장치를 설치하여 특수가스의 유실을 방지할 수 있고, 특수가스의 유실이 진행되어 마개장치 내부의 압력이 설정치 이상으로 상승되면 마개장치 일측으로 질소가스를 공급하고, 마개장치 타측을 개방하여 질소가스와 반응하여 배출되는 특수가스가 휴대용 스크러버를 통과한 후에 대기 중으로 배출되도록 하여 특수가스 유출에 의한 안전사고를 예방할 수 있는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 분야 등에서 사용되고 있는 NF3, NH3, Cl2, B2H6, CF4, HCl, CO2, F2, PH3, DCS와 같은 특수가스는 상온에서 액체 상태(액화가스상태)로 가스탱크 내부에 저장되어 있고, 이들 가스가 가스탱크 내부에서 안전하게 유지 관리되는 상태에서 가스공급라인을 통해 반도체 제조공정의 프로세스 챔버로 공급된다.
이때, 상기와 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 특수가스를 혼합하기 위하여 종래에는 특수가스가 혼합된 가스탱크를 별도의 혼합탱크에서 하루 정도의 시간동안 자연 방치하는 방법을 취하였다.
그러나 이러한 방법은 가스를 혼합하기 위하여 많은 시간이 소요되고, 이렇게 의미 없이 지나가는 시간동안 가스를 제대로 공급받지 못하면 반도체 생산에 막대한 지장을 초래하게 된다.
이러한 문제점 때문에 최근에는 가스탱크를 회전시켜 가스탱크 내부의 특수가스를 혼합하는 장치가 개발되었으나, 이 혼합장치는 일정높이에 형성된 회전바 위에 가스탱크를 눕혀놓고 회전바를 회전시킴으로써 가스탱크도 같이 회전시키는 방식을 취하고 있다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 등록특허공보 제10-0873218호(2008년 12월 10일 공고, 발명의 명칭 : 반도체용 특수가스 혼합기)에 개시되어 있다.
종래기술에 따른 특수가스용 가스탱크는, 특수가스가 유실되는 사고가 발생되는 경우에 가스탱크의 밸브로부터 유실되는 특수가스가 대기 중으로 확산되는 것을 방지할 수 있는 별도의 기술구성이 구비되지 않기 때문에 인명 피해 또는 재산 피해는 방지하기 어렵고, 가스탱크의 밸브에 마개장치를 설치하는 경우에도 마개장치 내부의 압력이 상승되어 마개장치가 파손되면서 특수가스가 대기 중으로 확산될 수 있는 문제점이 있다.
따라서 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 가스통에 설치된 밸브의 불량으로 인체에 유해한 독성 또는 가연성 반도체 특수가스가 유실되는 경우에 지정된 스크러버가 위치한 장소까지 가스통을 이송하는 동안에 마개장치를 설치하여 특수가스의 유실을 방지할 수 있고, 특수가스의 유실이 진행되어 마개장치 내부의 압력이 설정치 이상으로 상승되면 마개장치 일측으로 질소가스를 공급하고, 마개장치 타측을 개방하여 질소가스와 반응하여 배출되는 특수가스가 휴대용 스크러버를 통과한 후에 대기 중으로 배출되도록 하여 특수가스 유출에 의한 안전사고를 예방할 수 있는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은, 복수 개의 가스통이 안착될 수 있는 안착플레이트가 구비되고, 상기 안착플레이트가 지지되는 프레임부재를 작업자가 잡고 이송할 수 있도록 바퀴부재가 구비되는 이송대차; 상기 가스통의 밸브를 감싸도록 설치되고, 상기 밸브로부터 특수가스가 유출되면 특수가스가 대기 중으로 확산되는 것을 방지하는 마개장치; 상기 마개장치 내부로 질소가스를 공급할 수 있도록 상기 안착플레이트에 안착되고 질소가스가 충진되는 보조통; 및 상기 마개장치 내부에 유실되어 상기 마개장치 내부의 압력을 상승시키는 특수가스를 상기 마개장치 외부로 배출시키면서 특수가스 내부에 포함되는 유해성분을 흡착시켜 정화하는 스크러버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 이송대차는 공구상자를 안착시켜 보관할 수 있는 수납대를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 안착플레이트 또는 상기 프레임부재에는 상기 가스통 또는 상기 보조통에 밀착되어 상기 가스통 또는 상기 보조통을 지지하는 가이드패널이 구비되고, 상기 가이드패널에는 상기 가스통과 상기 보조통을 동시에 묶어 상기 가스통과 상기 보조통이 유동되는 것을 방지하는 구속부재를 연결하는 걸림돌기가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 스크러버는, 상기 마개장치로부터 연장되는 배출관이 연결되는 마개부재; 활성탄이 수납되고, 활성탄 사이의 간격을 통과하여 배출되는 특수가스가 통과되도록 복수 개의 통과홀부가 구비되는 수납케이스; 복수 개의 상기 수납케이스가 삽입되고, 상기 마개부재에 대향되게 배치되는 본체케이스; 및 상기 본체케이스와 상기 마개부재 사이에 배치되고, 상기 본체케이스 와 상기 마개부재 사이에 배치되고, 상기 본체케이스 또는 상기 마개부재와 외벽에 형성되는 나사산에 의해 결합 또는 분리되는 개폐부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 본체케이스에는 내부에 수납되는 활성탄의 교체주기를 확인할 수 있는 확인창이 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은, 상기 스크러버로부터 배출되는 특수가스에 포함되는 유해성분이 유체에 의해 용해되도록 유체를 담수하여 저장하고, 상기 스크러버로부터 연장되는 배기관이 삽입되는 저장통을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 보조통과 상기 마개장치 사이에 설치되는 주입관에는 질소가스의 공급량을 표시하는 유량계와, 질소가스의 공급량을 일정하게 유지시키는 레귤레이터로 이루어지는 제어부가 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치는, 특수가스 가스통을 수납하여 이송하는 대차에 가스통의 마개장치 내부로 질소가스를 공급하는 보조통과, 마개장치에서 배출되는 특수가스 중에 포함되는 유해물질을 제거하는 스크러버가 동시에 수납되므로 특수가스 가스통을 운반하는 동안에 마개장치 내부로 질소가스를 공급하면서 배출되는 특수가스를 정화시킬 수 있어 누출 사고가 발생된 가스통을 안전하게 이송할 수 있고, 특수가스 가스통 이송 중에 특수가스의 누출이 발생되어도 특수가스가 대기 중으로 확산되는 것을 방지할 수 있어 안전사고를 예방할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치는, 이송대차에 가스통 및 보조통을 인접하게 수납하는 안착플레이트 및 가이드패널이 구비되고, 가스통과 보조통을 구속하는 구속부재가 설치되므로 가스통 이송 중에 발생되는 진동에 의해 가스통과 보조통이 충돌되면서 특수가스의 누출이 발생되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치는, 스크러버를 이루는 본체케이스가 개폐 가능하게 형성되고, 본체케이스 내부에 복수 개의 수납케이스가 적층되게 설치되므로 특수가스 정화작용을 진행하는 활성탄을 용이하게 교체할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치는, 스크러버를 이루는 본체케이스에 활성탄의 교체주기를 확인할 수 있는 확인창이 구비되므로 작업자가 활성탄의 교체여부를 육안으로 확인하여 결정할 수 있어 활성탄 교체주기를 거르지 않고 진행하여 효과적인 정화작용을 진행할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 스크러버가 도시된 단면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 마개장치가 도시된 단면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 마개장치가 도시된 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 리크부가 도시된 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 도시된 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 도시된 정면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 일 실시예를 설명한다.
이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.
그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 도시된 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 도시된 측면도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 스크러버가 도시된 단면 사시도이다.
또한, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 마개장치가 도시된 단면 사시도이고, 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 마개장치가 도시된 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 리크부가 도시된 단면도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치는, 복수 개의 가스통(10)이 안착될 수 있는 안착플레이트(112)가 구비되고, 안착플레이트(112)가 지지되는 프레임부재(111)를 작업자가 잡고 이송할 수 있도록 바퀴부재(118)가 구비되는 이송대차(110)와, 가스통(10)의 밸브를 감싸도록 설치되고, 밸브로부터 특수가스가 유출되면 특수가스가 대기 중으로 확산되는 것을 방지하는 마개장치(100)와, 마개장치(100) 내부로 질소가스를 공급할 수 있도록 안착플레이트(112)에 안착되고 질소가스가 충진되는 보조통(130)과, 마개장치(100) 내부에 유실되어 마개장치(100) 내부의 압력을 상승시키는 특수가스를 마개장치(100) 외부로 배출시키면서 특수가스 내부에 포함되는 유해성분을 흡착시켜 정화하는 스크러버(150)를 포함한다.
따라서 반도체 특수가스가 충진되는 가스통(10)을 운반할 때에는 이송대차(110)의 안착플레이트(112)에 가스통(10)과 보조통(130)을 안착시키고, 가스통(10)과 보조통(130)이 유동되지 않도록 체인이나 벨트로 이루어지는 구속부재(114b)를 가이드패널(114)의 걸림돌기(114a)에 걸어 당기면서 구속부재(114b)를 조여 가스통(10)과 보조통(130)을 밀착된 상태로 고정시킨다.
이때, 구속부재(114b)의 단부가 서로 대향되는 부위에 턴버클을 설치하여 구속부재(114b)를 당기면서 가스통(10)과 보조통(130)을 구속시킬 수 있다.
또한, 본 실시예의 이송대차(110)는 공구상자(116a)를 안착시켜 보관할 수 있는 수납대(116)를 포함하고, 프레임부재(111)의 하단으로부터 후방으로 연장되는 지지대가 구비되어 공구상자(116a)를 수납할 수 있는 수납대(116)를 이루게 되며, 프레임부재(111)의 하단 및 수납대(116)의 단부에는 바퀴부재(118)가 설치되어 작업자가 프레임부재(111)의 상단에 설치되는 손잡이부를 잡고 이송대차(110)를 밀면서 보행하여 가스통(10)을 안전하게 이송할 수 있게 된다.
안착플레이트(112) 또는 프레임부재(111)에는 가스통(10) 또는 보조통(130)에 밀착되어 가스통(10) 또는 보조통(130)을 지지하는 가이드패널(114)이 구비되고, 가이드패널(114)에는 가스통(10)과 보조통(130)을 동시에 묶어 가스통(10)과 보조통(130)이 유동되는 것을 방지하는 구속부재(114b)를 연결하는 걸림돌기(114a)가 구비된다.
따라서 가스통(10) 및 보조통(130)을 이송대차(110)에 수납할 때에 가스통(10) 및 보조통(130)의 하단 및 둘레면을 가이드패널(114)에 밀착시켜 가스통(10) 및 보조통(130)이 유동되지 않고 안전하게 수납할 수 있고, 가이드패널(114)의 단부에 형성되는 걸림돌기(114a)에 구속부재(114b)를 거치하여 턴버클과 같은 공구를 사용하여 구속부재(114b)를 당기면 가스통(10)과 보조통(130) 둘레면에 구속부재(114b)가 밀착되면서 가스통(10)과 보조통(130)을 이송대차(110)에 밀착시키게 된다.
본 실시예의 마개장치(100)는, 가스통(10)의 개폐밸브(12)를 감싸도록 가스통(10)에 결합되는 제1마개(30)와, 제1마개(30)를 감싸도록 가스통(10)에 안착되는 제2마개(50)와, 제2마개(50)를 제1마개(30) 측으로 가압하여 가스통(10)과 제2마개(50) 사이의 간격으로 가스가 유실되는 것을 방지하는 가압부와, 가스통(10)으로부터 유출되고 제1마개(30)를 통과하여 제2마개(50) 내부에 잔존하는 가스에 의해 제2마개(50) 내부의 압력이 설정치를 초과하여 상승하면 제2마개(50)로부터 가스를 외부로 배출시키는 배출부(52, 90)를 포함한다.
반도체 제조용 특수가스통(10)은 수직방향으로 긴 압력용기 모양으로 형성되고, 가스통(10)의 상단에는 가스통(10)을 개폐하여 특수가스를 주입 또는 배출시킬 수 있는 개폐밸브(12)가 설치되며, 개폐밸브(12)의 주변에는 제1마개(30)의 개구부가 안착되는 단차부가 형성된다.
가스통(10)의 단차부에 제1마개(30)를 조립하고, 제1마개(30)를 감싸도록 제2마개(50)를 가스통(10) 상부에 안착시키면 제2마개(50) 내부에 제1마개(30)가 삽입되면서 제1마개(30)와 가스통(10) 사이의 연결부위도 제2마개(50) 내부에 배치된다.
따라서 가압부를 조작하여 제2마개(50)를 가스통(10) 상부에 조립하면 개폐밸브(12)로부터 유실되는 특수가스는 제1마개(30)에 의해 1차 실링이 이루어지고, 제1마개(30)와 가스통(10) 사이의 간격으로 유실되는 특수가스는 제2마개(50)에 의해 2차 실링이 이루어지게 된다.
가스통(10)에는 제1나사산(14)이 형성되고, 제1마개(30)에는 제1나사산(14)과 볼트결합되는 제2나사산(32)이 형성되므로 제1마개(30)를 단차부에 안착시킨 후에 정방향 또는 역방향으로 제1마개(30)를 회전시키면서 제1마개(30)와 가스통(10)을 조립 또는 분해할 수 있게 된다.
제1마개(30)의 개구부에는 제1실링부재(34)가 설치되므로 제1마개(30)의 개구부와 가스통(10) 사이에 제1실링부재(34)가 개재되면서 개폐밸브(12)를 통해 유실되는 특수가스가 제1마개(30)와 가스통(10) 사이의 간격으로 유실되는 것을 방지할 수 있게 된다.
제2마개(50)의 개구부에는 제2실링부재(54)가 설치되므로 가압부의 작동에 의해 제2마개(50)가 가스통(10)에 밀착되면 제2마개(50)의 개구부와 가스통(10) 사이의 간격에 제2실링부재(54)가 개재되어 제1마개(30)와 가스통(10) 사이의 간격으로 유실되는 특수가스가 제2마개(50)와 가스통(10) 사이의 간격을 통해 유실되는 것을 방지할 수 있도록 한다.
가압부는, 제1마개(30)로부터 연장되고 제3나사산(38)이 형성되며 제2마개(50) 외측으로 연장되는 연결축(36)과, 제3나사산(38)과 볼트결합되는 제4나사산(72)이 형성되고 제2마개(50)에 밀착되는 캡부재(70)를 포함한다.
제2마개(50)의 상단에는 관통홀부(56)가 형성되고, 관통홀부(56)에 대향되는 제1마개(30)의 상단에는 상측 방향으로 연장되는 연결축(36)이 형성되며, 연결축(36)에는 제3나사산(38)이 형성된다.
따라서 제1마개(30)를 감싸도록 가스통(10) 상부에 제2마개(50)를 안착시키면 연결축(36)이 관통홀부(56)를 통해 제2마개(50)의 상측으로 돌출되고, 연결축(36)에 형성되는 제3나사산(38)과 캡부재(70)의 개구부에 형성되는 제4나사산(72)을 볼트결합하여 캡부재(70)를 제2마개(50)의 상부에 밀착시킨다.
제2마개(50)의 상부에 밀착되는 캡부재(70)는 제2마개(50)를 하측으로 가압하여 가스통(10)과 제2마개(50)의 개구부가 밀착되게 하므로 제1마개(30)와 가스통(10) 사이의 간격으로 유실되는 특수가스가 제2마개(50)와 가스통(10) 사이의 간격으로 유실되는 것을 방지할 수 있게 된다.
또한, 연결축(36)이 통과되는 관통홀부(56)로 유실되는 특수가스는 연결축(36)에 볼트결합되는 캡부재(70)가 제2마개(50)의 상부에 말착되면서 연결축(36)과 제2마개(50) 사이의 간격으로 특수가스가 유실되는 것을 방지하여 3차 실링이 이루어지게 된다.
또한, 본 실시예는, 제1마개(30)의 내부와 외부 사이의 압력 차이를 줄이도록 제1마개(30)의 내부와 외부를 연결 또는 차단시키는 리크부(80)를 더 포함하므로 리크부(80)를 조작하여 제1마개(30)의 내부와 외부가 연결되어 통하는 상태를 이룬 후에 제1마개(30)를 가스통(10)에 조립하면 제1마개(30) 내부의 압력이 필요 이상으로 상승되는 것을 방지할 수 있어 제1마개(30)의 조립을 용이하게 행할 수 있게 된다.
제1마개(30)를 가스통(10)으로부터 분리시킬 때에는 제1마개(30) 내부의 형성되는 진공압에 의해 제1마개(30)와 가스통(10) 사이의 분리가 용이하게 이루어지지 않는 경우가 있는데, 본 실시예는, 작업자가 리크부(80)를 조작하여 제1마개(30)의 내부와 외부를 연결시키면 제1마개(30) 내부의 진공압이 외부로 배출되면서 제1마개(30)와 가스통(10)이 쉽게 분리될 수 있어 제1마개(30)의 분리작업을 손쉽게 행할 수 있게 된다.
리크부(80)는, 제1마개(30)에 형성되는 홀부에 체결되도록 제5나사산(82a)이 형성되고 제1마개(30)의 내부와 외부를 연결하는 배출홀부(82b)를 구비하는 리크본체(82)와, 리크본체(82)에 형성되는 제6나사산(82c)에 볼트결합되는 제7나사산(84a)이 형성되고 배출홀부(82b)를 개폐시키는 마개부재(84)를 포함한다.
리크본체(82)는, 하부에 제5나사산(82a)이 형성되고, 상부에 제6나사산(82c)이 형성되므로 리크본체(82)의 하부를 제1마개(30)의 측면에 형성되는 홀부에 볼트결합시키고, 제6나사산(82c)에 마개부재(84)에 형성되는 제7나사산(84a)과 볼트결합시키며 리크본체(82)와 마개부재(84)를 결합시킨다.
마개부재(84)의 측면 상부에는 배출홀부(82b)와 연결되어 통하도록 배기홀부(84b)가 형성되고, 작업자가 마개부재(84)를 정방향으로 회전시켜 마개부재(84)와 리크본체(82) 사이의 결합이 이루어지면 배기홀부(84b)가 리크본체(82)의 측면에 대향되게 배치되면서 배출홀부(82b)와 배기홀부(84b)가 서로 차단된다.
또한, 마개부재(84)를 반대로 회전시키면 마개부재(84)가 리크본체(82)의 상단 측으로 이동되면서 배기홀부(84b)가 배출홀부(82b)에 대향되도록 연결되어 제1마개(30) 내부의 진공압이 배출홀부(82b) 및 배기홀부(84b)를 통해 제2마개(50)의 외부로 배출되면서 제1마개(30)의 내부 및 외부 사이의 압력차가 감소되면서 제1마개(30)를 쉽게 가스통(10)으로부터 분리시킬 수 있게 된다.
상기한 바와 같은 리크부(80)는, 연결축(36)에 형성되는 연통홀부(36a)에 설치될 수 있으며, 제1마개(30)의 둘레면에 설치될 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 배출부(52, 90)는, 제2마개(50)에 설치되는 공급관에 설치되는 공급밸브(90)와, 제2마개(50)에 설치되는 배출관에 설치되는 리크밸브(52)와, 제2마개(50)에 설치되고 제2마개(50)의 내부 압력을 표시하는 압력계(52a)를 포함한다.
따라서 가스통(10)으로부터 유출되는 가스가 제1마개(30)를 통과하여 제2마개(50) 내부에 충진되는 경우에는 제2마개(50) 내부의 압력이 상승하게 되는데, 작업자가 압력계(52a)를 확인하여 제2마개(50) 내부의 압력이 설정치를 초과하게 되면 리크밸브(52)를 개방하여 마개장치(100) 내부의 가스를 배출관(104)을 따라 스크러버(150)로 공급하게 된다.
본 실시예의 스크러버(150)는, 마개장치(100)로부터 연장되는 배출관(104)이 연결되는 마개부재(154)와, 활성탄이 수납되고, 활성탄 사이의 간격을 통과하여 배출되는 특수가스가 통과되도록 복수 개의 통과홀부(158a)가 구비되는 수납케이스(158)와, 복수 개의 수납케이스(158)가 삽입되고, 마개부재(154)에 대향되게 배치되는 본체케이스(152)와, 본체케이스(152)와 마개부재(154) 사이에 배치되고, 본체케이스(152) 와 마개부재(154) 사이에 배치되고, 본체케이스(152) 또는 마개부재(154)와 외벽에 형성되는 나사산에 의해 결합 또는 분리되는 개폐부재(156)를 포함한다.
따라서 보조통(130)에서 연장되는 주입관(102)을 마개장치(100)에 연결하고, 마개장치(100)에서 연장되는 배출관(104)을 스크러버(150)에 연결한 후에 주입관(102)의 양단부에 구비되는 밸브를 개방하면 보조통(130)으로부터 질소가스가 마개장치(100) 내부로 공급되어 마개장치(100) 내부에 질소가스가 충진된 상태로 특수가스의 이송작업을 안전하게 진행할 수 있게 된다.
이후에, 가스통(10)으로부터 특수가스가 유실되어 마개장치(100) 내부의 압력이 설정치 이상으로 상승되면 작업자는 배출관(104) 양단부에 설치되는 밸브를 개방하여 마개장치(100) 내부에 충진되었던 질소가스 및 특수가스를 배출관(104)을 통해 마개장치(100) 외부로 배출시킨다.
이때, 배출관(104)을 따라 배기되는 질소가스 및 특수가스는 본체케이스(152)를 통과하면서 다수 개의 수납케이스(158)가 적층된 공간을 통과하에 되고, 수납케이스(158)에 수납되는 활성탄과 접촉되면서 특수가스 중에 포함되는 유해물질이 활성탄에 흡착되면서 정화되어 배기관(159)을 따라 대기 중으로 배출된다.
본 실시예의 본체케이스(152)는, 상부가 개방된 소형의 가스탱크 모양으로 형성되고, 가스탱크의 상부 모양으로 형성되는 마개부재(154)가 원형 띠 모양으로 이루어지는 개폐부재(156)에 의해 본체케이스(152) 상단에 결합되어 소형의 가스탱크 모양을 이루게 된다.
본체케이스(152), 개폐부재(156) 및 마개부재(154) 내부에 수납되는 다수 개의 수납케이스(158)는 상면이 개방된 원통 모양으로 형성되고, 저면에는 다수 개의 통과홀부(158a)가 형성되어 상측으로부터 유입되는 특수가스는 수납케이스(158)의 내부를 지나 통과홀부(158a)를 통해 하측으로 이동하게 된다.
또한, 수납케이스(158)의 상단에는 외측 방향으로 벌어지는 걸림턱부(158b)가 형성되므로 다수 개의 수납케이스(158)가 적층되면서 본체케이스(152) 내부로 삽입될 때에 상측에 배치되는 수납케이스(158)의 하단이 하측 배치되는 수납케이스(158)의 걸림턱부(158b)에 안착되어 다수 개의 수납케이스(158)가 서로 포개지지 않고 일정한 위치에 배치될 수 있게 된다.
또한, 본 실시예의 본체케이스(152)에는 내부에 수납되는 활성탄의 교체주기를 확인할 수 있는 확인창이 구비될 수 있으며, 작업자가 확인창의 통해 수납케이스(158) 내부에 담겨진 활성탄의 색상을 확인하여 활성탄 교체시점을 결정할 수 있게 된다.
또한, 본 실시예의 프레임부재(111)에는 스크러버(150)를 거치하여 고정시키는 거치부(170)가 구비되고, 거치부(170)는, 프레임부재(111)에 설치되고, 본체케이스(152) 외벽에 밀착되도록 스크러버(150)가 안착되는 거치패널(172)과, 거치패널(172)에 연결되고, 본체케이스(152) 둘레면에 권취되어 본체케이스(152)를 구속하는 고정부재(174)를 포함한다.
따라서 스크러버(150)를 이송대차(110)에 설치할 때에는 거치패널(172)에 스크러버(150)를 안착시킨 후에 고정부재(174)로 스크러버(170)를 권취하고 고정시켜 스크러버(150)의 설치를 완료하게 된다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 도시된 사시도이고, 도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 도시된 정면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치는, 스크러버(150)로부터 배출되는 특수가스에 포함되는 유해성분이 유체에 의해 용해되도록 유체를 담수하여 저장하고, 스크러버(150)로부터 연장되는 배기관(159)이 삽입되는 저장통(180)을 더 포함한다.
따라서 스크러버(150)로부터 배출되는 배기가스가 배기관(159)을 따라 저장통(180)으로 유입되어 저장통(180)에 담수되는 유체를 통과하면서 배기가스에 포함되는 유해물질이 유체에 의해 용해된 후에 저장통(180) 상부로부터 외측 방향으로 연장되는 배출관(182)을 따라 대기 중으로 배출된다.
독성 또는 가연성의 가스는 물에 녹는 성질이 있으므로 저장통(180)에서 물을 담수하여 배기관(159)이 물의 수면 내부까지 연장되도록 하고, 배출관(182)의 내측 단부는 물의 수면으로부터 상측으로 간격을 유지하도록 배치되어 배기관(159)을 따라 저장통(180) 내부로 유입되는 배기가스는 물을 통과한 후에 수면 위로 배출되는 배기가스가 배출관(182)을 따라 대기 중으로 배출된다.
또한, 본 발명의 제3실시예에 따른 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치의 보조통(130)과 마개장치(100) 사이에 설치되는 주입관(102)에는 질소가스의 공급량을 표시하는 유량계와, 질소가스의 공급량을 일정하게 유지시키는 레귤레이터를 포함하여 이루어지는 제어부(184)가 설치된다.
따라서 마개장치(100)에 질소가스를 공급할 때에 레귤레이터의 작동에 의해 일정한 양의 질소가스가 균일한 압력으로 제공될 수 있고, 레귤레이터의 오작동에 의해 주입관(102) 내부의 압력이 설정치 이상으로 상승되면 작업자가 유량계 및 압력계를 확인하여 질소가스 공급의 중단 여부를 판단할 수 있게 된다.
또한, 본 실시예의 배출관(104)에는 블로우 미터(Blow meter : 104a)가 설치되어 마개장치(100)로부터 배출되는 배기가스의 압력 및 유량을 작업자가 육안으로 확인할 수 있도록 표시하므로 작업자는 배기가스의 배출량 및 압력을 확인하면서 이송작업을 진행할 수 있게 된다.
이로써, 인체에 유해한 반도체 특수가스를 이송할 때에 마개장치 내부로 질소가스를 충진시켜 마개장치 내부에 일정한 압력을 유지시키면서 특수가스의 유출을 방지할 수 있고, 특수가스가 유출되어 마개장치 내부에 압력이 설정치 이상으로 상승하면 마개장치 내부에 충진된 가스를 마개장치 외부로 배출시키고, 배출되는 가스 중에 포함되는 유해물질을 스크러버를 통하여 제거할 수 있어 반도체 특수가스가 충진된 가스통을 안전하고 신속하게 이송할 수 있는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치를 제공할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시되는 일 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
또한, 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치를 예로 들어 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치가 아닌 다른 제품에도 본 발명의 배기장치가 사용될 수 있다.
따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 가스통 12 : 개폐밸브
14 : 제1나사산 30 : 제1마개
32 : 제2나사산 34 : 제1실링부재
36 : 연결축 38 : 제3나사산
50 : 제2마개 52 : 퍼지밸브
54 : 제2실링부재 56 : 관통홀부
70 : 캡부재 72 : 제4나사산
80 : 리크부 82 : 리크본체
82a : 제5나사산 82b : 배출홀부
82c : 제6나사산 84 : 마개부재
84a : 제7나사산 84b : 배기홀부
90 : 공급밸브 100 : 마개장치
102 : 주입관 104 : 배출관
110 : 이송대차 112 : 안착플레이트
114 : 가이드패널 114a : 걸림돌기
114b : 구속부재 116 : 수납대
118 : 바퀴부재 130 : 보조통
150 : 스크러버 152 ; 본체케이스
154 : 마개부재 156 : 개폐부재
158 : 수납케이스 158a : 통과홀부
158b : 걸림턱부 159 : 배기관
170 : 거치부 172 : 거치패널
174 : 고정부재 180 : 저장통
182 : 배출관 184 : 제어부

Claims (7)

  1. 복수 개의 가스통이 안착될 수 있는 안착플레이트가 구비되고, 상기 안착플레이트가 지지되는 프레임부재를 작업자가 잡고 이송할 수 있도록 바퀴부재가 구비되는 이송대차;
    상기 가스통의 밸브를 감싸도록 설치되고, 상기 밸브로부터 특수가스가 유출되면 특수가스가 대기 중으로 확산되는 것을 방지하는 마개장치;
    상기 마개장치 내부로 질소가스를 공급할 수 있도록 상기 안착플레이트에 안착되고 질소가스가 충진되는 보조통; 및
    상기 마개장치 내부에 유실되어 상기 마개장치 내부의 압력을 상승시키는 특수가스를 상기 마개장치 외부로 배출시키면서 특수가스 내부에 포함되는 유해성분을 흡착시켜 정화하는 스크러버를 포함하고,
    상기 스크러버로부터 배출되는 특수가스에 포함되는 유해성분이 유체에 의해 용해되도록 유체를 담수하여 저장하고, 상기 스크러버로부터 연장되는 배기관이 삽입되는 저장통을 더 포함하고,
    상기 마개장치(100)는,
    상기 가스통(10)의 상기 밸브(12)를 감싸도록 상기 가스통(10)에 결합되는 제1마개(30);
    상기 제1마개(30)를 감싸도록 상기 가스통(10)에 안착되는 제2마개(50);
    상기 제2마개(50)를 상기 제1마개(30) 측으로 가압하여 상기 가스통(10)과 상기 제2마개(50) 사이의 간격으로 가스가 유실되는 것을 방지하는 가압부;
    상기 가스통(10)으로부터 유출되고 상기 제1마개(30)를 통과하여 상기 제2마개(50) 내부에 잔존하는 가스에 의해 상기 제2마개(50) 내부의 압력이 설정치를 초과하여 상승하면 상기 제2마개(50)로부터 가스를 외부로 배출시키는 배출부(52, 90)를 포함하고,
    상기 가스통(10)으로부터 유출되는 가스가 상기 제1마개(30)를 통과하여 상기 제2마개(50) 내부에 충진되는 경우에는 상기 제2마개(50) 내부의 압력이 상승하게 되는데, 작업자가 압력계(52a)를 확인하여 상기 제2마개(50) 내부의 압력이 설정치를 초과하게 되면 상기 배출부(90, 52)를 개방하여 상기 마개장치(100) 내부의 가스를 배출관(104)을 따라 스크러버(150)로 공급하고,
    상기 가스통을 운반하는 동안에 상기 마개장치 내부로 질소가스를 공급하면서 배출되는 특수가스를 정화시킬 수 있어 누출 사고가 발생된 가스통을 안전하게 이송할 수 있고, 상기 가스통 이송 중에 특수가스의 누출이 발생되어도 특수가스가 대기 중으로 확산되는 것을 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송대차는 공구상자를 안착시켜 보관할 수 있는 수납대를 포함하는 것을 특징으로 하는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 안착플레이트 또는 상기 프레임부재에는 상기 가스통 또는 상기 보조통에 밀착되어 상기 가스통 또는 상기 보조통을 지지하는 가이드패널이 구비되고, 상기 가이드패널에는 상기 가스통과 상기 보조통을 동시에 묶어 상기 가스통과 상기 보조통이 유동되는 것을 방지하는 구속부재를 연결하는 걸림돌기가 구비되는 것을 특징으로 하는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 스크러버는,
    상기 마개장치로부터 연장되는 배출관이 연결되는 마개부재;
    활성탄이 수납되고, 활성탄 사이의 간격을 통과하여 배출되는 특수가스가 통과되도록 복수 개의 통과홀부가 구비되는 수납케이스;
    복수 개의 상기 수납케이스가 삽입되고, 상기 마개부재에 대향되게 배치되는 본체케이스; 및
    상기 본체케이스와 상기 마개부재 사이에 배치되고, 상기 본체케이스 와 상기 마개부재 사이에 배치되고, 상기 본체케이스 또는 상기 마개부재와 외벽에 형성되는 나사산에 의해 결합 또는 분리되는 개폐부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 본체케이스에는 내부에 수납되는 활성탄의 교체주기를 확인할 수 있는 확인창이 구비되는 것을 특징으로 하는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치.
  6. 삭제
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보조통과 상기 마개장치 사이에 설치되는 주입관에는 질소가스의 공급량을 표시하는 유량계와, 질소가스의 공급량을 일정하게 유지시키는 레귤레이터를 포함하여 이루어지는 제어부가 설치되고,
    상기 마개장치와 상기 스크러버 사이에 설치되는 배출관에는 블로우 미터(Blow meter)가 설치되어 상기 마개장치로부터 배출되는 배기가스의 압력 및 유량을 작업자가 육안으로 확인할 수 있도록 표시하는 것을 특징으로 하는 독성 가연성 반도체 특수가스 이송용 배기장치.
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