KR100906614B1 - 테스트핸들러 - Google Patents

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KR100906614B1
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Abstract

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 캐리어보드에 적재된 반도체소자를 테스터에 공급하기 위해 일 측 벽면이 개방되어 테스트사이트를 구현한 테스트챔버; 캐리어보드의 이동을 안내하며, 상기 테스트챔버에 위치하는 캐리어보드의 양단을 각각 지지하는 한 쌍의 안내레일; 상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내레일이 결합되고, 일 측이 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정되는 지지축; 및 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되고, 상기 지지축의 일 측이 고정되어 상기 지지축이 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정될 수 있도록 매개하는 매개부재; 를 포함함으로써 캐리어보드의 길이가 열변형에 의해 늘어나거나 줄어들더라도 안내레일이 캐리어보드의 이동을 적절히 안내하거나 캐리어보드를 적절히 지지할 수 있도록 하는 기술이 개시된다.
테스트핸들러, 테스트챔버, 안내레일, 테스트사이트, 가이드레일

Description

테스트핸들러{TEST HANDLER}
도1은 일반적인 테스트핸들러에 대한 개략적인 평면도이다.
도2는 종래의 테스트핸들러의 주요부위에 대한 정면도이다.
도3은 도2의 I-I선을 절개하여 A방향에서 바라본 단면도이다.
도4 및 도5는 종래기술의 문제점을 설명하기 위한 참조도이다.
도6은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러의 주요부위에 대한 개략적인 정면도이다.
도7은 도6의 J-J선을 절개하여 B방향에서 바라본 단면도이다.
도8 및 도9는 도6의 테스트핸들러의 작동상태도이다.
도10은 복수의 테스트사이트가 구현된 테스트핸들러에서 본 발명이 구현될 수 있음을 설명하기 위한 참조도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
630 : 테스트챔버
632 : 부재삽입홈 W : 테스트사이트
711 : 상측 안내레일 712 : 하측 안내레일
711a, 712a : 트레이삽입홈
721 : 지지축
730 : 매개부재
731 : 지지축고정단 732 : 연장단
본 발명은 생산된 반도체소자의 검사를 지원하기 위한 테스트핸들러에 관한 것이다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기로서 대한민국 등록특허공보 등록번호 10-0553992호(발명의 명칭 : '테스트 핸들러') 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 이미 공개되어 있다.
일반적으로, 생산된 반도체소자는 고객트레이(또는 '유저트레이'로 지칭됨)에 적재된 상태에서 테스트핸들러로 공급된다. 그리고 테스트핸들러로 공급된 반도체소자는 로딩위치에 있는 캐리어보드로 로딩됨으로써 캐리어보드에 적재된 상태로 테스트핸들러에 내에서 이동 및 테스트된 후 언로딩위치에서 고객트레이로 언로딩된다. 여기서 캐리어보드라 함은 다수의 반도체소자들을 적재시키기 위해 마련되는 것으로, 종래 개념의 테스트트레이와 신 개념의 테스트보드를 포함한다.
테스트트레이는 단순히 반도체소자들을 적재할 수 있을 뿐이기 때문에, 테스 트트레이가 적용되는 테스트핸들러의 경우에는 적재된 반도체소자를 테스터 측에 전기적으로 접촉시키기 위해서 (테스트챔버의 일 측면을 개방시킴으로써 형성되는) 테스트사이트가 구비되어야 하고, 이러한 테스트사이트 측으로 테스터(더욱 자세히는 테스트헤드의 하이픽스보드)가 결합되게 된다.
그리고 테스트보드는 자체적으로 반도체소자들과 전기적으로 접촉되는 테스트소켓을 구비하고 있어서 테스트챔버 내에 구비되는 표고핀을 통해서 궁극적으로 반도체소자가 테스터와 전기적으로 연결될 수 있기 때문에 테스트챔버에 테스트사이트가 구비될 필요성이 없다.
일반적인 테스트핸들러는, 도1의 평면도에 도시된 바와 같이, 캐리어보드(C.B)에 적재된 반도체소자를 예열/예냉시키기 위해 구비되는 소크챔버(110), 반도체소자들에 대한 테스터(TESTER)의 테스트를 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버(120), 테스트가 완료된 반도체소자를 제열/제냉시키기 위한 디소크챔버(130) 등 다수의 챔버를 가지고 있으며, 캐리어보드(C.B)는 로딩위치(LP)에서 소크챔버(110), 테스트챔버(120), 디소크챔버(130) 및 언로딩위치(UP)를 거쳐 다시 로딩위치(LP)로 순환하는 순환경로(C) 상을 순환하게 된다.
한편, 테스트챔버(120)에는 캐리어보드(C.B)의 양단(사이드도킹방식 테스트핸들러의 경우에는 상단과 하단, 언더헤드도킹방식 테스트핸들러의 경우에는 전방과 후방)을 지지하면서 캐리어보드(C.B)의 이동을 안내하기 위한 한 쌍의 안내레일이 구비되어 있는데, 이러한 기술과 관련하여서 종래 개념의 캐리어보드인 테스트트레이가 적용된 경우를 예로 들어 도2 및 도3을 참조하여 설명한다.
도2는 테스트챔버(120)에서 테스트사이트(W)가 구현된 부분의 구조에 대한 종래의 기술을 도시하고 있다. 참고로 도2는 사이드도킹방식 테스트핸들러를 참고하여 도시하고 있다.
테스트트레이(TT)는, 도2에서 참조되는 바와 같이 화살표 방향으로 이동하게 되는데, 테스트챔버(120) 내에서는 상하 한 쌍의 안내레일(211, 212)에 의하여 그 상단 및 하단이 지지된 상태로 그 이동이 안내되도록 되어 있다.
도3은 도2의 I-I선을 절개하여 A방향에서 바라본 개략적인 단면도로서, 도3을 참조하면, 테스트챔버(120) 내에서 상하 한 쌍의 안내레일(211 , 212 )에 의해 테스트트레이(TT)가 지지된 상태의 구조를 알 수 있다.
한 쌍의 안내레일(211, 212)에는 테스트트레이(TT)의 상단과 하단이 각각 삽입될 수 있도록 서로 마주보는 방향으로 개방된 트레이삽입홈(211a, 212a)이 일정 깊이로 형성되어 있어서, 테스트트레이(TT)는 그 상단과 하단이 각각 상측 안내레일(211)과 하측 안내레일(212)의 트레이삽입홈(211a, 212a)에 삽입된 상태로 상하 한 쌍의 안내레일(211, 212)에 의해 지지되거나 그 이동이 안내될 수 있도록 되어 있다.
참고로, 도3에 도시된 바와 같이, 테스트트레이(TT)는 중력에 의해 그 하단은 하측 안내레일(212)의 트레이삽입홈(212a)의 바닥에 접하게 되지만, 그 상단은 상측 안내레일(211)의 트레이삽입홈(211a) 바닥에서 일정 간격 떨어지게 되어 있다. 이러한 이유는 테스트트레이(TT)의 프레임의 길이가 열변형에 의해 길어질 경우에도 안내레일(211, 212)에 의해 적절히 안내 및 지지될 수 있도록 하기 위함이 다.
한편, 한 쌍의 안내레일(211, 212)은 지지축(221, 222)에 의해 테스트챔버(120)의 일 측 벽면(121) 측에 고정되는데, 도3에서 참조되는 바와 같이, 안내레일(211, 212)에는 통과홀(211b, 212b)이 형성되어 있어서 지지축(221)이 통과홀(211b, 212b)을 통과하여 테스트챔버(120)의 일 측 벽면(121)에 고정됨으로써 궁극적으로 한 쌍의 안내레일(211, 212)이 테스트챔버(120)의 일 측 벽면(121) 측에 고정될 수 있도록 되어 있다.
도3에서 미설명 부호 S와 W는 각각 안내레일(211, 212)을 탄성적으로 지지하기 위한 스프링과 테스트사이트이다.
그런데, 상기한 바와 같은 종래기술에 의하면 지지축(221, 222)이 직접 테스트챔버(120)의 일 측 벽면(121)에 고정되기 때문에 테스트트레이(TT)의 열변형 정도에 따라 테스트트레이(TT)의 지지를 안정적으로 수행할 수 없거나 테스트트레이(TT)의 이동을 제한하는 문제점을 가진다. 이러한 점에 대하여 보다 더 구체적으로 하술한다.
근래에 들어서도 반도체소자의 수요는 꾸준히 증가하고 있어서, 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리기 위한 다양한 기술이 개발되고 있는데, 그 중 하나의 기술로 테스트트레이에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 방안이 지속적으로 연구 개발되고 있다.
테스트트레이에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 방안 중 하나가 테스트트레이의 크기를 확장시키는 것인데, 테스트트레이를 확장시키게 되면, 테스 트트레이가 소크챔버 및 테스트챔버의 온도적 환경에 지배되면서 알루미늄 재질의 테스트트레이의 프레임이 열변형에 의해 (테스트트레이가 고온의 환경에 지배될 때) 그 길이가 길어지거나 (테스트트레이가 저온의 환경에 지배될 때) 그 길이가 짧아지게 되는 정도도 커지게 된다. 그에 반하여 지지축이 고정되는 테스트챔버의 일 측 벽면은 에폭시 재질이어서 그 열변형 정도가 거의 없다. 이러한 경우 도4에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(TT)의 프레임의 길이가 과도하게 길어지면, 테스트트레이의 상단 및 하단이 상하 양 측 안내레일의 트레이삽입홈에 꽉 끼이게 되어 테스트트레이(TT)가 도2에서 표현된 화살표 방향으로 이동하는 것을 방해하는 요소로 작용하게 되거나, 도5에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(TT)의 프레임의 길이가 과도하게 짧아지면, 테스트트레이(TT)의 상단이 상측 안내레일(211)의 트레이삽입홈(211a)으로부터 이탈하여 상측 안내레일(211)이 테스트트레이(TT)를 지지할 수 없는 결과를 초래하게 된다.
그렇다고 하여 상측 안내레일(211)에 형성된 트레이삽입홈(211a)의 깊이를 무조건 깊게 형성시킬 수만은 없다. 일반적으로 테스트트레이(TT)에 장착되는 인서트들(인서트는 반도체소자가 적재될 수 있는 공간을 제공하며, 다수의 인서트들은 테스트트레이의 프레임에 행렬형태로 장착된다)의 총넓이(구체적으로는 세로, 가로의 총길이)보다 하이픽스보드에 형성되어 있는 테스트소켓들의 총넓이가 더 큰 값을 가진다. 즉, 테스트소켓들은 인서트들의 공간을 넘어 테스트트레이(TT)의 외곽 프레임의 일부까지 접촉하게 된다. 그리고 테스트트레이(TT)의 제작단가 및 무게, 테스트핸들러의 크기 등의 문제로 인해 테스트트레이(TT)의 외곽 프레임을 두껍게 만드는 것도 한계가 있다. 이에 따라, 안내레일(211, 212)에 형성된 트레이삽입홈(211a, 212a)의 깊이는 테스트소켓들과의 간섭이 생기지 않는 범위에서 결정된다.
따라서 안내레일(211, 212)의 트레이삽입홈(211a, 212a)을 깊게 형성하는 것으로는 테스트트레이(TT)의 열변형에 따른 상기한 문제점을 보다 근본적으로 해결하지 못하게 된다.
물론, 상기한 바와 같은 문제점은 신개념의 테스트보드의 프레임이 열변형에 의해 길이가 길어지거나 짧아지는 알루미늄과 같은 소재로 구현된 경우에도 동일하게 발생하게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 캐리어보드의 열변형 정도에 따라 안내레일도 유동될 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 캐리어보드에 적재된 반도체소자를 테스터에 공급하기 위해 일 측 벽면이 개방되어 테스트사이트를 구현한 테스트챔버; 캐리어보드의 이동을 안내하며, 상기 테스트챔버에 위치하는 캐리어보드의 양단을 각각 지지하고, 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 각각 고정되는 한 쌍의 안내레일; 및 상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내 레일을 상기 캐리어보드의 양단 방향으로 유동 가능하게 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정시키는 고정장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정장치는, 상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내레일이 결합되고, 일 측이 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정되는 지지축; 및 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되고, 상기 지지축의 일 측이 고정됨으로써 상기 지지축이 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정될 수 있도록 매개하며, 열변형에 의해 상기 지지축을 상기 캐리어보드의 양단방향으로 유동시키는 매개부재; 를 포함하는 것을 구체적인 특징으로 한다.
상기 테스트챔버의 일 측 벽면에는 상기 매개부재가 일정부분 삽입될 수 있도록 부재삽입홈이 형성되고, 상기 매개부재는 상기 부재삽입홈에 삽입된 상태로 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되는 것을 또 하나의 구체적인 특징으로 한다.
상기 매개부재는, 상기 지지축이 고정되는 지지축고정단; 및 상기 지지축고정단으로부터 상기 한 쌍의 안내레일 중 다른 하나의 안내레일 측 방향으로 길게 연장되는 연장단; 을 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
상기 매개부재는 상기 연장단이 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정됨으로써 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되는 것을 더욱 구체적인 특징으로 한다.
상기 연장단은 상기 지지축고정단으로부터 상기 한 쌍의 안내레일 중 다른 하나의 안내레일 측 방향으로 소정 거리 이격된 지점에서 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되는 것을 더욱더 구체적인 특징으로 한다.
상기 매개부재는 캐리어보드의 프레임과 동일한 재질인 것을 또 하나의 더 구체적인 특징으로 한다.
상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내레일이 상기 지지축에 슬라이딩 가능하게 결합되는 것을 또 하나의 더욱 구체적인 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 캐리어보드에 적재된 반도체소자를 테스터에 공급하기 위한 테스트챔버; 캐리어보드의 이동을 안내하며, 상기 테스트챔버에 위치하는 캐리어보드의 양단을 각각 지지하고, 상기 테스트챔버의 벽면 측에 각각 고정되는 한 쌍의 안내레일; 및 상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내레일을 상기 캐리어보드의 양단 방향으로 유동 가능하게 상기 테스트챔버의 벽면 측에 고정시키는 고정장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명하되, 설명의 편의와 간결함을 위하여 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.
도6은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러의 주요부위에 대한 정면도이고, 도7은 도6을 J-J선으로 잘라 B 방향에서 바라본 단면도이다.
도6 및 도7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 테스트핸들러는, 테스트챔버(630), 한 쌍의 안내레일(711, 712), 고정장치 등을 포함하여 구성된다.
테스트챔버(630)는 수용된 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자의 테스트를 지원하기 위해 마련되는 것으로 그 일 측 벽면(631)에는 반도체소자가 테스트트레이(TT)에 적재된 상태로 테스터에 공급될 수 있도록 하기 위한 테스트사이트(W)가 형성되어 있다. 또한, 테스트챔버(630)의 일 측 벽면(631)에는 테스트사이트(W)의 외곽으로 부재삽입홈(632)이 일정 깊이로 형성되어 있다. 여기서 테스트챔버(630)의 일 측 벽면(631)은 에폭시 재질로 구비될 수 있다.
한 쌍의 안내레일(711, 712)은 테스트트레이(TT)의 이동을 안내하거나 지지하기 위해 마련되는 것으로, 도7에서 자세히 참조되는 바와 같이, 서로 마주보는 방향으로 개방된 트레이삽입홈(711a, 712a)이 소정 깊이로 형성되어 있다. 즉, 상측 안내레일(711)에는 하방향으로 개방된 트레이삽입홈(711a)이 형성되어 있으며, 하측 안내레일(712)에는 상방향으로 개방된 트레이삽입홈(712a)이 형성되어 있다. 그리고 한 쌍의 안내레일(711, 712) 각각에는 통과홀(711b, 712b)이 형성되어 있다.
고정장치는 상측 안내레일(711)이 테스트트레이(TT)의 상하 양단 방향, 즉, 상하방향으로 유동 가능하게 상측 안내레일(711)을 테스트챔버(630)의 일 측 벽면(631) 측에 고정시키기 위해 마련된다. 이러한 고정장치는 지지축(721) 및 매개부재(730) 등을 포함하여 구성된다.
매개부재(730)는 테스트챔버(630)의 일 측 벽면(631)에 형성된 부재삽입홈(632)에 일정 정도 삽입된 상태로 테스트챔버(630)의 일 측 벽면(631)에 고정된다. 본 실시예에서는 부재삽입홈(632) 및 매개부재(730)가 "ㄱ"자 형상을 가지도록 형성되어 있다.
지지축(721)은, 도7에서 자세히 참조되는 바와 같이, 상측 안내레일(711)에 형성된 통과홀(711b)에 삽입됨으로써 상측 안내레일(711)이 슬라이딩 가능하게 결합될 수 있도록 되어 있고, 그 일 측은 매개부재(730) 측에 고정 결합됨으로써 테스트챔버(630)의 일 측 벽면(631) 측에 고정될 수 있도록 되어 있다. 참고로 상측 안내레일(711)이 지지축(721)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 이유는 미도시된 매치플레이트에 의해 반도체소자들이 테스터 측으로 가압될 경우에 상측 안내레일(711)에 의해 지지되는 테스트트레이(TT)도 테스터 방향으로 일정정도 유동될 수 있도록 하기 위함이다.
또한, 매개부재(730)는 그 재질이 테스트트레이(TT)의 프레임과 동일한 알루미늄 재질로 구비된다. 이러한 매개부재(730)를 보다 더 구체적으로 하술한다.
매개부재(730)는 테스트사이트(W)의 상단변의 외곽 측에 위치되는 지지축고정단(731)과 테스트사이트(W)의 좌/우변의 외곽 측에 위치되는 연장단(732)으로 구성된다. 즉, 연장단(732)은 지지축고정단(731)의 일 측 끝에서 하측 안내레일(712) 방향, 즉, 하방향으로 연장된 형상을 가진다.
지지축고정단(731)에는 지지축(721)이 고정된다.
연장단(732)은 테스트챔버(630)의 일 측 벽면(631)에 볼트(B)와 같은 고정수단에 의해 고정된다. 이 때, 고정수단에 의해 고정되는 지점은 지지축고정단(731)으로부터 하측 안내레일(712) 방향으로 소정 거리(h) 이격된 지점이다.
미설명 부호 722는 하측 안내레일(712)을 일 측 벽면(631) 측에 고정시키기 위한 지지축이며, 부호 S(도7 참조)는 상측 및 하측 안내레일(711, 712)을 탄성 지지함으로써 상측 및 하측 안내레일(711, 712)의 슬라이딩 유동에 따른 복원력을 제공하기 위한 스프링이다.
한편, 연장단(732)은 열변형에 의해 상하 방향으로 길이가 길어지거나 짧아지게 되는데, 이 때, 지지축고정단(731)도 연장단(732)의 길이변형에 의해 상하 방향으로 승강하게 된다. 따라서 부재삽입홈(632)은 도6 및 도7에서 참조되는 바와 같이 지지축고정단(731)이 삽입되는 부분의 상하폭(l2)이 지지축고정단(731)의 상하폭(l1)보다 더 크게 형성되어 진다.
다음은 위와 같은 구성을 가지는 테스트핸들러의 작동상태에 대하여 설명한다.
<반도체 소자가 고온의 환경조건에 지배되어 테스트될 경우의 예>
반도체소자가 고온의 환경조건에 지배되어 테스트될 경우에는 테스트트레이(TT)의 프레임과 매개부재(730)의 길이가 열변형에 의해 길어지게 된다.
따라서 도8에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(TT)의 프레임의 길이가 길어지는 것과 동시에 매개부재(730)의 연장단(732)도 길어지게 됨으로써 볼트(B)에 의해 고정되는 지점부터 상측 길이의 길어짐 정도에 따라 지지축고정단(731)이 상방향으로 상승하게 되고, 이에 연동하여 상측 안내레일(711)도 상방향으로 상승하게 됨으로써 테스트트레이(TT)의 상단이 상측 안내레일(711)의 트레이삽입홈(711a)에 적절히 삽입된 상태를 유지하게 된다.
<반도체 소자가 저온의 환경조건에 지배되어 테스트될 경우의 예>
반도체소자가 저온의 환경조건에 지배되어 테스트될 경우에는 테스트트레이(TT)의 프레임과 매개부재(730)의 길이가 열변형에 의해 짧아지게 된다.
따라서 도9에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(TT)의 프레임의 길이가 짧아지는 것과 동시에 매개부재(730)의 연장단(732)도 짧아지게 됨으로써 볼트(B)에 의해 고정되는 지점부터 상측 길이의 짧아짐 정도에 따라 지지축고정단(731)이 하방향으로 하강하게 되고, 이에 연동하여 상측 안내레일(711)도 하방향으로 하강하게 됨으로써 테스트트레이(TT)의 상단이 상측 안내레일(711)의 트레이삽입홈(711a)에 적절히 삽입된 상태를 유지하게 된다.
상술한 실시예는 테스트챔버(630)에 하나의 테스트사이트(W)가 형성되어 하나의 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자들을 테스터에 공급할 수 있는 경우를 상정하였지만, 실시하기에 따라서는 복수의 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 테스터에 공급할 수 있도록 구현될 수도 있다. 이러한 경우, 예를 들어, 도10에서 참조되는 바와 같이 상하 2단으로 테스트사이트(W1, W2)가 두 개 형성된 경우, 매개부재(M)가 도10에서 참조되는 바와 같이 배치됨으로써 복수의 테스트사이트(W1, W2)가 형성된 경우에도 얼마든지 본 발명의 기술적 사상에 따른 테스트핸들러를 구현하는 것이 가능함을 알 수 있다.
그리고, 상술한 실시예에서는 안내레일(711, 712)이 지지축(721, 722)에 슬라이딩 가능하게 결합하고 있지만 실시하기에 따라서는 안내레일(711, 712)이 지지축(721, 722)을 게재하여, 안내레일(711, 712)과 매개부재(730)가 항상 일정한 거리를 유지하도록 고정되게 결합할 수도 있다. 이 경우에는 부호 S의 스프링은 필요가 없어진다.
또한, 상술한 실시예는 사이드도킹방식의 테스트핸들러를 상정하고 있지만 언더헤드도킹방식의 테스트핸들러에도 적용 가능하다. 이 경우에는 상술한 실시예의 상하방향이 전후방향으로 적용되어짐은 쉽게 알 수 있을 것이다.
한편, 상술한 실시예에서는 테스트트레이(TT)가 적용된 테스트핸들러에 대하여서만 설명하고 있지만, 테스트챔버의 일 측 벽면에 테스트사이트를 구현시킬 필요가 없는 테스트보드가 적용된 테스트핸들러에서도 동일하게 적용될 수 있다. 만일 테스트보드가 적용된 경우라면 테스트보드를 테스터 측에 가압하기 위한 매치플레이트 대신 표고핀이 적용되기 때문에 테스트보드가 슬라이딩되어야 할 이유가 없게 된다. 따라서 테스트보드가 적용된 경우에는 매개부재가 한 쌍의 안내레일 중 일 측 안내레일이 볼트와 같은 고정수단에 의해 직접 고정되면 족하므로, 스프링이나 지지축 등이 구성될 필요가 없게 된다.
이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였 을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 반도체소자가 지배되는 온도적 환경에 따라서 테스트트레이의 프레임과 동시에 안내레일도 승강하기 때문에 테스트트레이가 안내레일에 적절히 지지된 상태를 유지할 수 있으며, 그 이동 또한 적절히 이루어질 수 있게 된다.

Claims (9)

  1. 캐리어보드에 적재된 반도체소자를 테스터에 공급하기 위해 일 측 벽면이 개방되어 테스트사이트를 구현한 테스트챔버;
    캐리어보드의 이동을 안내하며, 상기 테스트챔버에 위치하는 캐리어보드의 양단을 각각 지지하고, 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 각각 고정되는 한 쌍의 안내레일; 및
    상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내레일을 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정시키되, 열변형에 따라 상기 어느 하나의 안내레일을 상기 캐리어보드의 양단 방향으로 유동시킬 수 있는 고정장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정장치는,
    상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내레일이 결합되고, 일 측이 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정되는 지지축; 및
    상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되고, 상기 지지축의 일 측이 고정됨으로써 상기 지지축이 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정될 수 있도록 매개하며, 열변형에 의해 상기 지지축을 상기 캐리어보드의 양단방향으로 유동시키는 매개부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 테스트챔버의 일 측 벽면에는 상기 매개부재가 일정부분 삽입될 수 있도록 부재삽입홈이 형성되고,
    상기 매개부재는 상기 부재삽입홈에 삽입된 상태로 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 매개부재는,
    상기 지지축이 고정되는 지지축고정단; 및
    상기 지지축고정단으로부터 상기 한 쌍의 안내레일 중 다른 하나의 안내레일 측 방향으로 길게 연장되는 연장단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 매개부재는 상기 연장단이 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정됨으로써 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 연장단은 상기 지지축고정단으로부터 상기 한 쌍의 안내레일 중 다른 하나의 안내레일 측 방향으로 소정 거리 이격된 지점에서 상기 테스트챔버의 일 측 벽면에 고정되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  7. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 매개부재는 캐리어보드의 프레임과 동일한 재질인 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내레일이 상기 지지축에 슬라이딩 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  9. 캐리어보드에 적재된 반도체소자를 테스터에 공급하기 위한 테스트챔버;
    캐리어보드의 이동을 안내하며, 상기 테스트챔버에 위치하는 캐리어보드의 양단을 각각 지지하고, 상기 테스트챔버의 벽면 측에 각각 고정되는 한 쌍의 안내레일; 및
    상기 한 쌍의 안내레일 중 어느 하나의 안내레일을 상기 테스트챔버의 일 측 벽면 측에 고정시키되, 열변형에 따라 상기 어느 하나의 안내레일을 상기 캐리어보드의 양단 방향으로 유동시킬 수 있는 고정장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
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