KR100890434B1 - Moving Linear type evaporator for organic thin film vapor deposition - Google Patents

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Abstract

유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원은 선형 증발원, 선형 증발원을 구동시키는 구동부, 선형 증발원 아래에서 상기 선형 증발원의 장방향에 수직인 방향으로 형성되어 전력을 공급하는 전력 레일 및 선형 증발원의 하부에 연결되고 전력 레일과 접촉하여, 선형증발원을 가열하는 가열부에 전력 레일에 공급된 전력을 인가하는 접촉부를 포함한다.A mobile linear evaporation source for fabricating an organic light emitting device thin film is provided. Mobile linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film according to an embodiment of the present invention is a linear evaporation source, a drive unit for driving a linear evaporation source, the power is formed in a direction perpendicular to the long direction of the linear evaporation source under the linear evaporation source to supply power And a contact portion connected to a lower portion of the rail and the linear evaporation source and in contact with the power rail to apply power supplied to the power rail to a heating portion for heating the linear evaporation source.

선형증발원, 이동식, 유기발광소자, OLED Linear Evaporator, Mobile, Organic Light Emitting Device, OLED

Description

유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원{Moving Linear type evaporator for organic thin film vapor deposition}Moving linear type evaporator for organic thin film vapor deposition

본 발명은 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플렉서블(flexible) 케이블을 사용하지 않고 전력을 공급하는 전력 레일과 전력 레일과 접촉하는 접촉부를 사용하여 선형증발원의 가열부에 전력을 공급하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mobile linear evaporation source for fabricating an organic light emitting device thin film, and more particularly, to heating a linear evaporation source by using a contact portion in contact with a power rail and a power rail for supplying power without using a flexible cable. The present invention relates to a mobile linear evaporation source for fabricating an organic light emitting device thin film for supplying power to a unit.

현재, 평판표시장치로서 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD)가 주로 사용되고 있으나, 이는 별도의 광원을 필요로 하는 수광 소자로서 밝기, 시야각 및 대면적화 등에 한계가 있다. 이에 비하여, 저전압 구동, 자기발광, 경량 박형, 광시야각 및 빠른 응답속도 등의 장점을 갖는 유기발광소자의 개발이 활발하게 진행되고 있다. Currently, a liquid crystal display (LCD) is mainly used as a flat panel display, but this is a light receiving element that requires a separate light source, and thus has limitations in brightness, viewing angle, and large area. On the other hand, the development of organic light emitting diodes having advantages such as low voltage driving, self-luminous, light weight, wide viewing angle and fast response speed has been actively progressed.

일반적으로, 유기발광소자를 제조하는 방법은 저분자 물질을 진공 중에 증발시켜 제조하는 방법과, 고분자 물질을 용제에 녹여서 스핀 코팅(spin coating)하는 방법이 알려져 있다. Generally, a method of manufacturing an organic light emitting device is known by evaporating a low molecular material in a vacuum, and a method of spin coating by dissolving a polymer material in a solvent.

이 같은 방법 중에서, 고진공에서 박막을 제작하는 저분자 유기발광소자 제 조 방법의 경우 임의의 형상의 개구부를 가지는 쉐도우 마스크를 기판의 앞에 정렬하여 이 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 제작하게 된다. Among these methods, in the case of a method of manufacturing a low molecular weight organic light emitting device for manufacturing a thin film in high vacuum, a shadow mask having an opening of an arbitrary shape is aligned in front of a substrate to deposit an organic material on the substrate to produce a thin film.

이와 같은 박막 제작에는 유기물질 증발원이 이용된다. 유기물질 증발원은 상면이 개방되어 유기물질을 담는 도가니, 도가니를 가열하여 도가니 내부의 유기 물질을 증발시키는 가열 수단을 포함하여 구성된다. 생산성 향상을 위해 대면적 기판을 사용할 경우, 대면적 박막의 균일도가 확보되도록 선형증발원이 필요하게 된다. 이때, 대면적 기판(100) 또는 선형증발원이 움직여서 기판의 전면적에 대해서 증착이 이루어진다.The organic material evaporation source is used to produce such a thin film. The organic material evaporation source includes a crucible containing an organic material having an open top surface, and heating means for heating the crucible to evaporate the organic material inside the crucible. When a large area substrate is used to improve productivity, a linear evaporation source is required to ensure uniformity of the large area thin film. At this time, the large area substrate 100 or the linear evaporation source is moved to deposit the entire area of the substrate.

도 1은 종래의 포인트 어레이(point array)된 증발원을 이동시키는 증착 장치에 있어서, 플렉서블 케이블을 사용하여 증발원에 전력을 공급하는 증착 장치를 도시한 도면이다. 1 is a view illustrating a deposition apparatus for supplying power to an evaporation source using a flexible cable in a deposition apparatus for moving a conventional point array evaporation source.

챔버(100)의 상부에 기판(10)이 놓여져 있고, 하부에 놓여진 포인트 어레이된 증발원(50)이 구동부(60)에 의해 이동을 하면서 기판(10)의 전면적에 증착 물질을 증착시킨다. 증발원(50) 내부의 증착 물질을 증발시키기 위해 열선(미도시) 등을 사용하게 되는데, 증발원(50)이 움직이므로 도면과 같이 플렉서블 케이블(70)을 이용하여 열선에 전력을 공급하도록 하였다. 그러나, 이러한 플렉서블 케이블(70)을 사용할 경우, 케이블(70)이 움직임에 따라서 파티클이 발생하여 장치를 오염시킨다는 문제점이 있다. The substrate 10 is placed on the upper portion of the chamber 100, and the point array evaporation source 50 placed on the lower portion moves by the driver 60 to deposit the deposition material on the entire surface of the substrate 10. The heating wire (not shown) is used to evaporate the deposition material in the evaporation source 50. Since the evaporation source 50 moves, power is supplied to the heating wire using the flexible cable 70 as shown in the drawing. However, when the flexible cable 70 is used, there is a problem that particles are generated as the cable 70 moves and contaminate the device.

또한, 케이블(70)에 피로가 누적되었을 때 손상이 일어나지 않아야 하므로, 케이블(70) 선택에 제한이 있다는 문제점이 있다. In addition, since fatigue should not occur when fatigue is accumulated in the cable 70, there is a problem in that the selection of the cable 70 is limited.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 목적은 전력을 공급하는 전력 레일과 전력 레일과 접촉하는 접촉부를 사용하여 이동식 선형증발원이 움직일 때 안정적으로 전력을 공급하도록 하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a stable power supply when the mobile linear evaporator is moved by using a power rail for supplying power and a contact portion in contact with the power rail. .

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원은 선형 증발원; 상기 선형 증발원을 구동시키는 구동부; 상기 선형 증발원 아래에서 상기 선형 증발원의 장방향에 수직인 방향으로 형성되어 전력을 공급하는 전력 레일; 및 상기 선형 증발원의 하부에 연결되고 상기 전력 레일과 접촉하여, 상기 선형증발원을 가열하는 가열부에 상기 전력 레일에 공급된 전력을 인가하는 접촉부를 포함한다. In order to achieve the above object, a mobile linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film according to an embodiment of the present invention is a linear evaporation source; A driving unit for driving the linear evaporation source; A power rail formed under the linear evaporation source in a direction perpendicular to the long direction of the linear evaporation source to supply power; And a contact portion connected to a lower portion of the linear evaporation source and in contact with the power rail to apply power supplied to the power rail to a heating portion for heating the linear evaporation source.

상기한 바와 같은 본 발명의 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원에 따르면 다음과 같은 효과가 있다. According to the mobile linear evaporation source for manufacturing the organic light emitting device thin film of the present invention as described above has the following effects.

플렉서블 케이블을 사용하지 않고 전력 레일을 이용하여 선형증발원의 가열부에 전력을 공급할 수 있어서, 선형증발원의 이동시 파티클에 의한 장치의 오염을 막을 수 있고, 안정적으로 선형증발원을 이동시킬 수 있다는 장점이 있다. It is possible to supply power to the heating part of the linear evaporator using a power rail without using a flexible cable, thereby preventing contamination of the device by particles during the movement of the linear evaporator, and stably moving the linear evaporator. .

실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of the embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다 Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for describing a mobile linear evaporation source for fabricating an organic light emitting diode thin film according to embodiments of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원을 포함하는 증착 장치의 정면도이고, 도 3은 도 2의 측면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전력 레일과 접촉부의 연결관계를 도시한 평면도(a), 사시도(b), 정면도(c)이고, 도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 전력 레일과 접촉부의 연결관계를 도시한 평면도(a), 사시도(b), 정면도(c)이다. 2 is a front view of a deposition apparatus including a mobile linear evaporator for fabricating an organic light emitting diode thin film according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a side view of FIG. 2, and FIG. 4 is according to an embodiment of the present invention. A plan view (a), a perspective view (b), and a front view (c) illustrating a connection relationship between a power rail and a contact portion, and FIG. 5 is a plan view illustrating a connection relationship between a power rail and a contact portion according to another embodiment of the present invention. (a), a perspective view (b), and a front view (c).

본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원은 선형증발원(220), 구동부(250), 전력 레일(230), 접촉부(240)를 포함하여 구성될 수 있다. The mobile linear evaporator for manufacturing an organic light emitting diode thin film according to an embodiment of the present invention may include a linear evaporator 220, a driver 250, a power rail 230, and a contact 240.

선형증발원(220)은 내부에 증착용 유기물질이 저장 또는 유지될 수 있도록 내부 공간을 구비하는 도가니(미도시)와 도가니(미도시)를 가열하여 증착 물질을 증발 또는 기화시키는 가열부(미도시) 및 도가니(미도시)의 상면을 덮으며 증발된 물질이 통과하여 빠져나가도록 천공이 형성된 덮개부(222)를 포함하여 구성될 수 있다. 선형증발원(220)은 한쪽 방향으로 긴 형상이며 그 폭은 상부에 고정되어 증착시킬 기판(210)의 폭보다는 조금 더 큰 것이 바람직하다. The linear evaporation source 220 heats a crucible (not shown) and a crucible (not shown) having an internal space to store or maintain the organic material for deposition therein, and a heating unit (not shown) to evaporate or vaporize the deposition material. ) And a cover portion 222 formed with perforations to cover the upper surface of the crucible (not shown) and pass through the evaporated material. The linear evaporation source 220 is elongated in one direction, and the width thereof is preferably fixed to the top and slightly larger than the width of the substrate 210 to be deposited.

또한, 선형증발원(220)의 긴 형상의 하우징에 점증발원을 다수 배열하는 방법으로 구성될 수 있다. 선형증발원(220)의 구성은 전술한 것에 한정되지 않고 다양한 방법으로 구성될 수 있으며, 이는 당업자에 있어서 널리 알려진 공지된 기술이다. In addition, it may be configured by a method of arranging a plurality of evaporation sources in the elongated housing of the linear evaporator (220). The configuration of the linear evaporator 220 may be configured in various ways without being limited to the above, which is a known technique well known to those skilled in the art.

선형증발원(220)을 사용하여 기판(210)을 증착시킬 때 선형증발원(220)을 고정시킨 다음 상부의 기판(210)을 움직이거나, 또는 기판(210)을 고정시킨 다음 선형증발원(220)을 이동시키거나, 또는 선형증발원(220)과 기판(210) 모두를 움직이는 방법으로 기판(210)의 전면적을 증착시킬 수가 있는데, 본 발명은 선형증발원(220)이 움직이는 이동식 선형증발원(220)에 관한 것이다. When the substrate 210 is deposited using the linear evaporator 220, the linear evaporator 220 is fixed and then the upper substrate 210 is moved, or the substrate 210 is fixed, and then the linear evaporator 220 is fixed. The entire area of the substrate 210 may be deposited by moving or moving both the linear evaporator 220 and the substrate 210. The present invention relates to a mobile linear evaporator 220 in which the linear evaporator 220 is moved. will be.

구동부(250)는 선형증발원(220)을 전후 방향으로 구동시킨다. 한 방법으로 선형증발원(220)을 스테이지(224) 상에 설치하고, 스테이지(224) 아래를 LM 가이드를 이용하여 연결시키고 리니어 모터 등을 이용하여 선형증발원(220)을 구동시킬 수 있다. 또 다른 방법으로 선형증발원(220)의 스테이지(224) 아래를 볼 스크류와 연결하고 볼 스크류를 모터 등에 의해 구동시킴으로써 선형증발원(220)을 구동시킬 수 있다. 구동부(250)의 구성은 이에 한정되지 않고 다양한 방법으로 구성될 수 있다. The driver 250 drives the linear evaporator 220 in the front-rear direction. In one method, the linear evaporator 220 may be installed on the stage 224, connected below the stage 224 using an LM guide, and the linear evaporator 220 may be driven using a linear motor. In another method, the linear evaporator 220 may be driven by connecting a ball screw under the stage 224 of the linear evaporator 220 and driving the ball screw by a motor or the like. The configuration of the driver 250 is not limited thereto and may be configured in various ways.

전력 레일(230)은 선형증발원(220)의 아래에서 선형증발원(220)의 장방향에 수직인 방향으로, 즉 선형증발원(220)이 이동하는 방향으로 설치된다. 전력 레일(230)은 전기가 통하는 재질로 별도의 전원공급부(미도시)에 의해 전력이 공급된다. 바람직하게는 도 2 내지 도 5와 같이 한쌍 형성되어 하나는 입력단(230a)으로 하나는 출력단(230b)으로 형성될 수 있다. 전력 레일(230)은 접촉부(240)와 접촉하게 되어 선형증발원(220)의 가열부(미도시)에 전력을 공급하게 된다. The power rail 230 is installed below the linear evaporator 220 in a direction perpendicular to the long direction of the linear evaporator 220, that is, in a direction in which the linear evaporator 220 moves. The power rail 230 is a material through which electricity is supplied with power by a separate power supply unit (not shown). Preferably, a pair is formed as shown in FIGS. 2 to 5 so that one may be formed as an input terminal 230a and one as an output terminal 230b. The power rail 230 is in contact with the contact unit 240 to supply power to a heating unit (not shown) of the linear evaporator 220.

접촉부(240)는 선형증발원(220)의 하부에 연결되어 전력 레일(230)과 접촉하여 선형증발원(220)을 가열하는 가열부(미도시)에 전력 레일(230)에 공급된 전력을 인가시킨다. 접촉부(240)와 전력 레일(230)이 접촉하는 방법은 도 4 및 도 5에 도시되어 있다. The contact unit 240 is connected to the lower portion of the linear evaporator 220 to contact the power rail 230 to apply a power supplied to the power rail 230 to a heating unit (not shown) that heats the linear evaporator 220. . How the contact 240 and the power rail 230 contact is illustrated in FIGS. 4 and 5.

본 발명의 일 실시예에 따라 접촉부(240)는 도 4와 같이 중공이 형성된 스냅링 형상이고, 스냅링의 중공에 전력 레일(230)이 삽입되어 접촉을 하면서 전력 레일(230)에 공급되는 전력을 접촉부(240)에 통전시킨다. 접촉부(240)에 통전된 전력은 선형증발원(220) 내의 가열부(미도시)에 공급되는 것이다. According to an exemplary embodiment of the present invention, the contact portion 240 has a hollow ring shape as shown in FIG. 4, and the power rail 230 is inserted into the hollow of the snap ring to make contact with the power supplied to the power rail 230. Energize (240). Electric power supplied to the contact unit 240 is supplied to a heating unit (not shown) in the linear evaporator 220.

또 다른 실시예에 따라 접촉부(240)는 도 5와 같이 말단의 밑면이 평탄한 모양으로 형성되며, 밑면이 전력 레일(230) 위에 놓여져 전력 레일(230)과 접촉할 수 있다. According to another embodiment of the present invention, the contact portion 240 may have a flat bottom surface as shown in FIG. 5, and the bottom surface may be placed on the power rail 230 to contact the power rail 230.

이외, 전력 레일(230)의 단면이 사각 형상일 경우에 전술한 방법을 응용하여 중공의 모양을 사각형으로 하여 접촉할 수 있을 것이며, 이외 전술한 방법 외에 다양한 방법으로 전력 레일(230)과 접촉부(240)는 이동하면서 접촉을 하여 전력을 선형증발원(220)의 가열부(미도시)에 인가시킬 수 있을 것이다.In addition, when the cross section of the power rail 230 has a rectangular shape, the above-described method may be applied to form a hollow shape in a rectangular shape, and in addition to the above-described method, the power rail 230 and the contact portion ( 240 may be in contact with the movement to apply power to the heating unit (not shown) of the linear evaporator (220).

따라서 본 발명은 구동부(250)에 의해 선형증발원(220)이 전후 방향으로 이동함에 따라서 전력 레일(230)을 따라 접촉부(240)가 이동하면서 전력이 공급되는 전력 레일(230)과 접촉을 유지하면서, 선형증발원(220) 내의 가열부(미도시)에 전력을 연속적으로 공급하게 된다. Accordingly, the present invention maintains contact with the power rail 230 to which power is supplied while the contact unit 240 moves along the power rail 230 as the linear evaporator 220 moves forward and backward by the driving unit 250. In this case, power is continuously supplied to a heating unit (not shown) in the linear evaporation source 220.

따라서 본 발명에서는 선형증발원(220)의 가열부(미도시)에 전력을 공급하기 위해 플렉서블 케이블을 사용하지 않고 전력이 공급되는 전력 레일(230)을 따라 접촉부(240)가 움직이도록 구성함으로써, 플렉서블 케이블을 사용함으로써 가졌던 종래의 문제점을 해결할 수 있었고 선형증발원(220)의 이동시에도 안정적으로 전력을 공급할 수가 있다. Accordingly, in the present invention, the contact unit 240 moves along the power rail 230 to which power is supplied without using a flexible cable to supply power to a heating unit (not shown) of the linear evaporator 220, thereby providing flexibility. By using a cable it was possible to solve the conventional problems had had, it is possible to stably supply power even when the linear evaporator 220 is moved.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalent concept are included in the scope of the present invention. Should be interpreted.

도 1은 종래의 포인트 어레이(point array)된 증발원을 이동시키는 증착 장치에 있어서, 플렉서블 케이블을 사용하여 증발원에 전력을 공급하는 증착 장치를 도시한 도면이다. 1 is a view illustrating a deposition apparatus for supplying power to an evaporation source using a flexible cable in a deposition apparatus for moving a conventional point array evaporation source.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원을 포함하는 증착 장치의 정면도이다. 2 is a front view of a deposition apparatus including a mobile linear evaporation source for fabricating an organic light emitting diode thin film according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 측면도이다. 3 is a side view of FIG. 2.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전력 레일과 접촉부의 연결관계를 도시한 평면도(a), 사시도(b), 정면도(c)이다.4 is a plan view (a), a perspective view (b), and a front view (c) illustrating a connection relationship between a power rail and a contact unit according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 전력 레일과 접촉부의 연결관계를 도시한 평면도(a), 사시도(b), 정면도(c)이다. 5 is a plan view (a), a perspective view (b), and a front view (c) illustrating a connection relationship between a power rail and a contact unit according to another exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

220: 선형증발원220: linear evaporator

230: 전력 레일230: power rail

240: 접촉부240: contact portion

250: 구동부250: drive unit

Claims (4)

선형 증발원;Linear evaporation source; 상기 선형 증발원을 구동시키는 구동부;A driving unit for driving the linear evaporation source; 상기 선형 증발원 아래에서 상기 선형 증발원의 장방향에 수직인 방향으로 형성되어 전력을 공급하는 전력 레일; 및A power rail formed under the linear evaporation source in a direction perpendicular to the long direction of the linear evaporation source to supply power; And 상기 선형 증발원의 하부에 형성되고 상기 전력 레일과 접촉하여, 상기 선형증발원을 가열하는 가열부에 상기 전력 레일에 공급된 전력을 인가하는 접촉부를 포함하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원.And a contact portion formed below the linear evaporation source and in contact with the power rail to apply power supplied to the power rail to a heating portion for heating the linear evaporation source. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전력 레일은 입력단과 출력단으로 형성되고 상기 접촉부는 입력단과 출력단에 각각 접촉하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원.The power rail is formed of an input terminal and an output terminal, the contact portion is a mobile linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film in contact with the input terminal and the output terminal, respectively. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 접촉부는 중공이 형성된 스냅링 형상이고, 상기 중공에 상기 전력 레일이 삽입되어 접촉하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원. The contact portion has a hollow ring-shaped snap ring shape, the linear linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film is inserted into the power rail contact. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 접촉부는 상기 전력 레일 위에 놓여져 상기 전력 레일과 접촉하는 유기 발광소자 박막 제작을 위한 이동식 선형증발원. The contact portion is a mobile linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film is placed on the power rail and in contact with the power rail.
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