KR101893942B1 - Shadow mask tension device for deposition apparatus and method for attaching substrate and mask using the same device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법에 관한 것으로서, 증착 패턴이 형성된 마스크의 외곽 둘레에 구성되는 고정 프레임과; 상기 고정 프레임의 안쪽에 이동 가능하게 설치되고, 마스크의 가장자리 부분이 고정되어 있는 하나 또는 그 이상의 가동 프레임과; 상기 고정 프레임 쪽에 구비되어 상기 가동 프레임을 이동시켜 마스크를 당겨주는 당김 기구를 포함하여 구성됨으로써, 마스크를 사방으로 당겨서 팽팽한 상태에서 기판과 합착할 수 있게 되어, 합착 공정 중에 기판과 마스크의 밀착 정도를 높이고, 기판의 처짐 현상도 최소화하여 증착 품질을 향상시킬 수 있으며, 이에 따라 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과를 제공한다. The present invention relates to a mask tensioning apparatus for a deposition apparatus, and a method for assembling a substrate and a mask using the mask tensioning apparatus, the apparatus comprising: a stationary frame disposed around an outer periphery of a mask having a deposition pattern; At least one movable frame movably installed inside the fixed frame and having an edge portion fixed to the movable frame; And a pulling mechanism provided on the fixed frame side to move the movable frame to pull the mask. Thus, the mask can be pulled in all directions and can be attached to the substrate in a taut state, so that the degree of close contact between the substrate and the mask And the sagging phenomenon of the substrate is also minimized to improve the quality of the deposition, thereby improving the reliability of the deposition equipment.

Description

증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법{Shadow mask tension device for deposition apparatus and method for attaching substrate and mask using the same device}[0001] The present invention relates to a deposition apparatus for depositing a mask on a substrate,

본 발명은 OLED 등을 제조하기 위해 유기 물질을 증발시켜 기판에 증착시키는 증착 장비에 관한 것으로서, 특히 증착 챔버 내에서 기판과 마스크를 합착하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition apparatus for vaporizing an organic material to deposit on a substrate for manufacturing an OLED and the like, and more particularly to an apparatus and a method for attaching a substrate and a mask in a deposition chamber.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-luminous devices that emit light by themselves using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through the fluorescent organic compound, and a backlight for applying light to the non- It is possible to manufacture a lightweight thin flat panel display device.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and is emerging as a next generation display device. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.

유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. / RTI >

진공열 증착방법은 증착 챔버 내의 기판 지지부에 기판을 로딩하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 기판을 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is loaded on a substrate supporting part in a deposition chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned with a substrate, heat is applied to an evaporation source containing the evaporation material, Is evaporated onto the substrate.

여기서, 기판은 양측 사이드 부분이 기판 홀더에 의해 지지되는 방식으로 로딩된 후에 쉐도우 마스크와 합착하게 된다.Here, the substrate is bonded to the shadow mask after being loaded in such a manner that both side portions are supported by the substrate holder.

하지만, 기판이 대형화되면서 양쪽 기판 홀더에 올려진 기판은 가운데 부분이 아래쪽으로 처지게 되고, 이렇게 기판이 처진 상태에서 마스크와 합착하게 되면, 마스크와의 정렬이 쉽지 않을 뿐만 아니라 마스크와의 합착 정도가 떨어지고, 이에 따라 증착 정밀도가 떨어져 증착 품질이 저하될 수 있는 문제점이 있다.However, as the substrate is enlarged, the substrate placed on both substrate holders is sagged downward in the middle, and when the substrate is caught and attached to the mask in this state, alignment with the mask is not easy, The deposition accuracy is lowered, and the deposition quality may be deteriorated.

한국 공개특허 10-2014-0133105호Korean Patent Publication No. 10-2014-0133105 한국 등록특허 10-0592917호Korean Patent No. 10-0592917

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 마스크를 사방으로 당길 수 있도록 구성함으로써, 기판과 마스크의 밀착 정도를 높이고, 기판의 처짐 현상도 최소화하여, 증착 품질을 향상시킴과 아울러 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법을 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to improve the deposition quality by increasing the degree of close contact between the substrate and the mask, And a method of attaching the substrate and the mask using the mask tension device.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 텐션 장치는, 증착 패턴이 형성된 마스크의 외곽 둘레에 구성된 고정 프레임과; 상기 고정 프레임의 안쪽 부분에 이동 가능하게 설치되고, 상기 마스크의 가장자리 부분이 고정되며, 상기 고정 프레임과 함께 마스크 프레임을 구성하는 하나 또는 그 이상의 가동 프레임과; 상기 고정 프레임에 구비되고, 상기 고정 프레임에 대하여 상기 가동 프레임을 이동시켜 상기 마스크를 당기는 당김 기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a mask tension apparatus for a deposition apparatus including: a fixed frame formed around an outer periphery of a mask having a deposition pattern; One or more movable frames movably installed on an inner portion of the fixed frame and fixed to the edge portions of the mask and constituting a mask frame together with the fixed frame; And a pulling mechanism provided in the fixed frame and moving the movable frame relative to the fixed frame to pull the mask.

상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되는 전자석을 포함하고, 상기 가동 프레임은 상기 전자석에 대응토록 자석에 붙는 금속이 포함되어 구성될 수 있다.The pulling mechanism may include an electromagnet provided on the fixed frame side, and the movable frame may include a metal attached to the magnet so as to correspond to the electromagnet.

또한, 상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되는 전자석과, 상기 가동 프레임에 구비되어 상기 전자석에 대응되는 영구 자성체를 포함하여 구성되는 것도 가능하다.The pulling mechanism may include an electromagnet provided on the fixed frame side and a permanent magnet provided on the movable frame and corresponding to the electromagnet.

상기 고정 프레임과 가동 프레임 사이에는 상기 가동 프레임의 직선 이동을 안내하는 가이드부가 구성되는 것이 바람직하다.And a guide portion for guiding the linear movement of the movable frame is preferably formed between the fixed frame and the movable frame.

상기 고정 프레임은 사각틀체 구조로 형성되고, 상기 가동 프레임은 상기 고정 프레임의 안쪽 4개의 변에 각각 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that the fixed frame is formed in a rectangular frame structure, and the movable frame is provided on four inner sides of the fixed frame.

상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되어 직선 운동력을 발생시키는 솔레노이드 액츄에이터와, 상기 솔레노이드 액츄에이터의 구동력에 의해 상기 가동 프레임을 당겨주는 전달 부재를 포함하여 구성되는 것도 가능하다.The pulling mechanism may include a solenoid actuator provided on the fixed frame side to generate a linear motion force and a transmitting member for pulling the movable frame by a driving force of the solenoid actuator.

상기 증착 장비의 마스크 텐션 장치는, 상기 당김 기구에 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The mask tensioning device of the deposition apparatus may further include a power supply unit for supplying power to the pulling mechanism.

상기 고정 프레임은 증착 장비 내에서 마스크 홀더 위에 올려져 로딩되고, 상기 전원 공급부는 상기 마스크 홀더를 통해 전원을 공급하며, 상기 마스크 홀더와 고정 프레임에는 상기 고정 프레임이 마스크 홀더에 로딩될 때 전기적으로 접속되는 전기 접속부가 구비되는 것이 바람직하다.The fixed frame is mounted on a mask holder and loaded on a mask holder. The power supply unit supplies power to the mask holder and the fixed frame. The fixed frame is electrically connected to the mask holder when the fixed frame is loaded in the mask holder. It is preferable that an electrical connecting portion is provided.

다음, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 텐션 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법은, 기판 홀더 및 마스크 홀더에 각각 기판 및 마스크(상기 고정 프레임, 상기 가동 프레임 및 상기 당김 기구를 포함하는 마스크 텐션 장치에 의하여 지지된 마스크)를 로딩하는 제 1 단계와; 상기 제 1 단계 후에 상기 기판 홀더 및 상기 마스크 홀더를 상대 이동시켜서 상기 기판과 상기 마스크를 밀착시켜 합착하는 제 2 단계와; 상기 기판과 밀착된 상기 마스크를 상기 마스크 텐션 장치의 상기 당김 기구로 당겨서 상기 기판의 처진 부분을 밀어 올리는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A substrate and a mask holder are mounted on a substrate holder and a mask holder, respectively, by using a mask and a mask (the stationary frame, the movable frame, and the pulling mechanism (E.g., a mask supported by a mask tension device including a mask); A second step of relatively moving the substrate holder and the mask holder after the first step to adhere the substrate and the mask in close contact with each other; And a third step of pushing up the masked portion of the substrate by pulling the mask in close contact with the substrate with the pulling mechanism of the mask tensioning device.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.The above and other objects and advantages of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments thereof with reference to the attached drawings in which: In addition to the principal task solutions as described above, various task solutions according to the present invention will be further illustrated and described.

본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법은, 마스크를 사방으로 당겨서 팽팽한 상태에서 기판과 합착할 수 있도록 구성되기 때문에 합착 공정 중에 기판과 마스크의 밀착 정도를 높이고, 기판의 처짐 현상도 최소화하여 증착 품질을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.Since the mask tension device of the deposition apparatus and the substrate and mask sticking method using the same according to the present invention are constructed so that the mask can be attached to the substrate in a state in which the mask is pulled in four directions in a squeezed state, So that the deposition quality can be improved and the reliability of the deposition equipment can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 구비된 증착 장비의 내부 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 주요부 상세도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 평면 구성도이다.
도 4는 도 3의 A-A선 방향의 단면도이다.
도 5는 도 3의 B-B선 방향의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 평면 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an internal configuration diagram of a deposition apparatus equipped with a mask tension apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 2 is a detailed view of a main part of a mask tension device according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view showing a mask tension device according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view taken along the line AA of Fig.
5 is a cross-sectional view in the BB line direction of Fig.
6 is a plan view showing a mask tension device according to another embodiment of the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 도면들로서, 도 1은 마스크 텐션 장치가 구비된 증착 장비의 내부 구성도, 도 2 및 도 3은 마스크 텐션 장치의 주요부 상세도 및 평면 구성도, 도 4 및 도 5는 도 3의 A-A선 및 B-B선 방향의 단면도이다.1 to 5 are diagrams showing a mask tension apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 is an internal configuration view of a deposition apparatus equipped with a mask tension apparatus, and FIGS. 2 and 3 show a main part Figs. 4 and 5 are sectional views taken along the lines AA and BB in Fig. 3. Fig.

도 1을 참조하면, 증착 챔버(10)의 내측 하부에는 증착 물질을 증발시켜 공급하는 증발원(20)이 위치되고, 내측 상부에는 기판(S) 및 마스크(M)를 합착하고 지지하는 기판 정렬/지지 장치(30)가 구성된다.Referring to FIG. 1, an evaporation source 20 for evaporating and supplying a deposition material is located in an inner lower portion of the deposition chamber 10, and a substrate alignment / The supporting device 30 is constituted.

증발원(20)의 구성은 증착 장비의 주요 구성 부분으로 널리 공지되어 있으므로 자세한 설명은 생략한다.The configuration of the evaporation source 20 is widely known as a main constituent part of the deposition equipment, and a detailed description thereof will be omitted.

기판 정렬/지지 장치(30)는, 도 1 및 도 2를 참조하면, 챔버(10) 내에 구비되어 기판(S)이 올려지는 기판 홀더(32)와, 이 기판 홀더(32)의 하측에 위치되어 마스크(M)가 올려지는 마스크 홀더(34)와, 상기 기판 홀더(32)의 상측에 위치되어 기판(S)의 상부가 밀착되는 기판 지지대(40)와, 이 기판 지지대(40)를 승강시키는 승강 기구(50)를 포함하여 구성된다.1 and 2, the substrate aligning / supporting apparatus 30 includes a substrate holder 32 provided in the chamber 10 and on which a substrate S is placed, A mask holder 34 on which the mask M is mounted, a substrate support 40 positioned above the substrate holder 32 to closely contact the top of the substrate S, And a lifting mechanism (50).

이와 같이 구성되는 기판 정렬/지지 장치(30)의 주요 구성 부분을 상세히 설명한다.The main constituent parts of the substrate aligning / supporting apparatus 30 thus configured will be described in detail.

먼저, 상기 기판 홀더(32)는 기판(S)의 양측 하부를 지지하도록 구성되는 것이 바람직하다.First, the substrate holder 32 is configured to support both sides of the substrate S.

이러한 기판 홀더(32)는 기판 지지대(40)에 기판을 밀착시키기 위해 승강 가능하게 구성하는 것도 가능하다. 본 실시예의 도면에서는 기판 지지대(40)가 승강 기구(50)에 의해 승강하도록 구성되므로 기판 홀더(32)는 승강하지 않은 구조이나, 실시 조건에 따라서는 기판 홀더(32) 또는 마스크 홀더(34)를 승강시키도록 구성하는 것도 가능하다.The substrate holder 32 may be configured to be movable up and down to closely contact the substrate to the substrate support 40. The substrate holder 32 is structured so as not to move up and down but the substrate holder 32 or the mask holder 34 may be moved up or down according to the conditions of the operation, It is also possible to arrange such that it is raised and lowered.

다음, 상기 마스크 홀더(34)는, 마스크(M)가 지지되는 부분으로서, 상기 기판 홀더(32)와 같이 마스크(M)의 양쪽을 지지할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.Next, it is preferable that the mask holder 34 is configured such that it can support both sides of the mask M like the substrate holder 32 as a portion where the mask M is supported.

마스크 홀더(34)는 마스크(M)와 기판(S)의 합착을 위해 승강 가능하게 구성되는 것이 바람직하다. 마스크 홀더(34)의 승강 가능 구조는 널리 공지되어 있으므로 구체적인 도면 예시 및 설명은 생략한다.The mask holder 34 is preferably configured to be movable up and down for attaching the mask M and the substrate S. Since the movable structure of the mask holder 34 is well known, the detailed drawing examples and explanations are omitted.

여기서, 마스크(M)는 통상 마스크 홀더(34)에 안정되게 위치될 수 있도록 마스크 프레임(35)에 지지되게 구성된다. Here, the mask M is configured to be supported on the mask frame 35 so as to be normally placed in a stable position in the mask holder 34.

마스크 프레임(35)은 마스크(M)의 외곽 둘레에 설치되어 마스크(M)를 지지하도록 구성되는데, 마스크(M)가 사각 구조일 경우에는 마스크 프레임(35)은 사각테 구조로 이루어져 마스크(M)를 지지하도록 구성된다. 이에 따라 마스크 홀더(34)에는 마스크가 지지된 마스크 프레임(35)이 로딩되어 위치된다.The mask frame 35 is provided around the periphery of the mask M to support the mask M. When the mask M has a rectangular structure, the mask frame 35 has a rectangular frame structure, . Thus, the mask holder 35 on which the mask is supported is loaded and positioned in the mask holder 34.

특히, 마스크 프레임(35)에는 마스크를 사방으로 당겨주는 마스크 텐션 장치(300)가 구비되는데, 이러한 마스크 텐션 장치(300)에 대해서는 아래에서 자세히 설명한다.Particularly, the mask frame 35 is provided with a mask tension device 300 for pulling the mask in all directions. The mask tension device 300 will be described in detail below.

다음, 상기 기판 지지대(40)는, 기판(S)을 중심으로 마스크(M)의 반대쪽에서 기판의 상부를 지지하는 부분으로서, 그 구성은 실시 조건에 따라 다양하게 구성할 수 있다.Next, the substrate support 40 supports the upper portion of the substrate on the opposite side of the mask M with respect to the substrate S, and the structure thereof can be variously configured according to the operating conditions.

본 실시예 및 도면에서는 기판 지지대(40)가 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)로 구성된 실시예를 보여준다.This embodiment and the figures show an embodiment in which the substrate support 40 is composed of a cooling plate 41 and a magnet plate 45.

쿨링 플레이트(41)는 증착 공정 중에 기판(S)의 온도가 상승하는 것을 방지할 수 있도록 구성되는데, 이를 위해 그 내부에 냉각제가 순환할 수 있도록 냉각 유로 등이 형성될 수 있다.The cooling plate 41 is configured to prevent the temperature of the substrate S from rising during the deposition process. For this purpose, a cooling channel or the like may be formed so that the coolant may circulate therein.

마그넷 플레이트(45)는 자력을 제공하여 금속제로 이루어진 마스크(M)를 기판(S)의 하부에 밀착시킬 수 있도록 구성되는데, 이러한 마그넷 플레이트(45)는 쿨링 플레이트(41)의 상부에 위치되어 기판(S) 로딩시 또는 기판과 마스크 합착시에 함께 승강할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.The magnet plate 45 is configured to provide a magnetic force so that a mask M made of metal can be brought into close contact with a lower portion of the substrate S. The magnet plate 45 is positioned above the cooling plate 41, (S) or when the mask is attached to the substrate.

마그넷 플레이트(45)는 플레이트 블록(47)에 지지된 상태에서 승강 기구(50)에 연결되어 쿨링 플레이트(41)와 함께 승강되도록 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the magnet plate 45 is connected to the lifting mechanism 50 while being supported by the plate block 47 and is configured to be lifted and lowered together with the cooling plate 41.

플레이트 블록(47)은 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)와 함께 기판 지지대(40)에 포함되어 구성될 수 있다.The plate block 47 may be included in the substrate support 40 together with the cooling plate 41 and the magnet plate 45.

한편, 기판 지지대(40)는 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)로 구성되는데 한정되지 않고, 기판(S)을 중심으로 마스크(M)의 반대쪽에서 기판을 지지할 수 있는 구성이면, 공지의 기판 지지대를 이용하거나 이들을 조합하여 다양하게 구성할 수 있을 것이다.The substrate support 40 is not limited to the cooling plate 41 and the magnet plate 45 but may be configured to support the substrate S on the opposite side of the mask M, Or a combination of these may be used.

다음, 앞서 언급한 마스크 텐션 장치(300)에 대하여 도 3 내지 도 5를 참조하여 상세히 설명한다.Next, the above-mentioned mask tension device 300 will be described in detail with reference to FIG. 3 to FIG.

마스크 텐션 장치(300)는, 상기 마스크 프레임(35)을 구성하는 고정 프레임(310)과 가동 프레임(320), 그리고 당김 기구(330), 전원 공급부(340) 등을 포함하여 구성된다.The mask tension device 300 includes a fixed frame 310 and a movable frame 320 constituting the mask frame 35 and a pulling mechanism 330 and a power supply unit 340.

고정 프레임(310)은 마스크(M)의 외곽 둘레에 구성되어 앞서 설명한 마스크 홀더(34) 위에 위치되는 구성 부분이다.The fixed frame 310 is a constitutional part disposed on the outer periphery of the mask M and positioned above the mask holder 34 described above.

이러한 고정 프레임(310)은, 사각틀체 구조로 형성되고, 내측면에는 상기 가동 프레임(320)이 위치됨과 아울러 직선 이동이 가능한 공간을 형성토록 홈 구조로 이루어진 가동 공간부(312)가 구성되는 것이 바람직하다.The stationary frame 310 is formed in a rectangular frame structure, and the movable frame portion 320 is formed on the inner side surface of the stationary frame portion 310 and has a groove structure so as to form a space capable of linear movement desirable.

또한 고정 프레임(310)의 밑면에는 아래에서 설명한 전기 접속부(341)가 구성된다.Further, an electric connection portion 341 described below is formed on the bottom surface of the fixed frame 310. [

가동 프레임(320)은, 마스크(M)의 가장자리 즉, 각 변의 끝부분이 고정되고, 고정 프레임(310)의 안쪽인 가동 공간부(312)에서 전후 이동이 가능하도록 설치된다. The movable frame 320 is installed such that the edge of each side of the mask M is fixed and movable back and forth in the movable space 312 inside the fixed frame 310.

이러한 가동 프레임(320)은 상기 고정 프레임(310)의 안쪽 4개의 변에 각각 구비되어 마스크(M)를 사방으로 당길 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the movable frame 320 is provided on each of four inner sides of the fixed frame 310 so that the movable frame 320 can pull the mask M in all directions.

한편, 도 5를 참조하면, 상기 고정 프레임(310)과 가동 프레임(320) 사이에는 상기 가동 프레임(320)의 직선 이동을 안내하는 가이드부(315, 325)가 구성되는 것이 바람직하다. Referring to FIG. 5, guide portions 315 and 325 for guiding linear movement of the movable frame 320 are preferably formed between the fixed frame 310 and the movable frame 320.

가이드부(315, 325)는, 가동 프레임(320)의 양단부에 형성된 돌출부(325)와, 고정 프레임(310)의 내측에 형성되어 상기 돌출부(325)가 삽입되는 홈부(315)로 이루어져, 가동 프레임(320)이 고정 프레임(310)의 가동 공간부(312)에서 안정되게 직선 이동하도록 구성되는 것이 바람직하다. 이러한 가이드부(315, 325)의 구성은 가동 프레임(320)의 직선 이동을 안내할 수 있는 구조이면, 공지의 가이드 구조를 이용하여 다양하게 구성할 수 있음은 물론이다.The guide portions 315 and 325 are composed of a protrusion 325 formed at both ends of the movable frame 320 and a groove portion 315 formed inside the fixed frame 310 and into which the protrusion 325 is inserted, It is preferable that the frame 320 is configured to stably and linearly move in the movable space portion 312 of the fixed frame 310. Needless to say, the guide units 315 and 325 can be configured in various ways using a known guide structure as long as they can guide the linear movement of the movable frame 320.

당김 기구(330)는 상기 고정 프레임(310) 쪽에 구비되어 상기 가동 프레임(320)을 이동시켜 마스크(M)를 당겨주도록 구성된다.The pulling mechanism 330 is provided on the fixed frame 310 side to move the movable frame 320 to pull the mask M. [

이러한 당김 기구(330)는, 상기 고정 프레임(310) 쪽에 구비되는 전자석(331)을 포함하여 구성될 수 있다. 그리고 가동 프레임(320)은 상기 전자석(331)에 대응토록 자석에 붙는 금속이 포함되어 구성되는 것이 바람직하다. 이와는 달리, 도 4에 은선으로 나타낸 바와 같이 실시 조건에 따라서는 가동 프레임(320)에 상기 전자석(331)에 대응되는 영구 자성체(335)를 구성하는 것도 가능하다. The pulling mechanism 330 may include an electromagnet 331 provided on the fixed frame 310 side. Preferably, the movable frame 320 includes a metal attached to the magnet so as to correspond to the electromagnet 331. Alternatively, as shown in FIG. 4, the permanent magnet 335 corresponding to the electromagnet 331 may be formed in the movable frame 320 according to the operating conditions.

다음, 전원 공급부(340)는, 마스크 홀더(34)를 통해 전원을 공급하도록 구성되는 바, 증착 챔버 내로 전자석(331) 구동에 필요한 전원을 인가할 수 있는 구성이면, 통상적인 전원 공급 장치 등을 이용하여 구성할 수 있다.Next, the power supply unit 340 is configured to supply power through the mask holder 34. If the power supply unit 340 is configured to apply the power required to drive the electromagnet 331 into the deposition chamber, .

이러한 전원 공급부(340)는 마스크 홀더(34)와 고정 프레임(310)에 전기 접속부(341)가 구비되어 전기적으로 상호 접속되도록 구성되는 것이 바람직하다.The power supply unit 340 is preferably configured to electrically connect the mask holder 34 and the fixed frame 310 with the electrical connection unit 341.

전기 접속부(341)는 실시 조건에 따라 다양한 공지의 전기 접속 구조를 채택하여 구성할 수 있으나, 마스크 프레임(35)이 마스크 홀더(34)에 로딩 되면, 자동으로 접속될 수 있는 구조로 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 전기 접속부(341)는 마스크 홀더(34)와 고정 프레임(310)의 상호 접촉 부분에 단자부를 각각 구성하여 마스크 프레임(35)이 올려지면 양쪽 단자부가 접촉하여 자동으로 접속되게 구성하는 것이다.The electric connection part 341 may be constructed by adopting various known electric connection structures according to the conditions of implementation. However, it may be constructed such that when the mask frame 35 is loaded in the mask holder 34, desirable. That is, the electrical connection portion 341 is configured such that terminal portions are formed at mutual contact portions of the mask holder 34 and the fixed frame 310, and both terminal portions are automatically contacted when the mask frame 35 is raised.

그리고, 상기 전원 공급부(340)는 전기 접속부(341) 및 전자석(331)에 전원을 인가할 수 있도록 도선(343, 345, 346)이 연결되어 구성된다. 도선(343, 345, 346)의 구성은 피복 전선을 이용하거나, 마스크 홀더(34)와 고정 프레임(310)에 각각 인쇄 회로(printed circuit) 방식으로 구성하는 것도 가능하다.The power supply unit 340 is formed by connecting wires 343, 345, and 346 to power the electric connection unit 341 and the electromagnet 331. The wires 343, 345 and 346 may be formed by using a coated wire or by using a printed circuit for the mask holder 34 and the fixed frame 310, respectively.

한편, 상기한 본 발명의 실시예에서는 마스크 텐션 장치(300)가 마스크(M)의 4변을 모두 당기도록 구성된 실시예를 설명하였으나, 실시 조건에 따라서는 1변 또는 2변에서만 마스크(M)를 당기도록 구성하는 것도 가능하다.In the above embodiment of the present invention, the mask tension device 300 is configured to pull all four sides of the mask M. However, depending on the conditions, the mask M may be provided on only one side or two sides, It is also possible to constitute pulling.

다음, 상기한 바와 같은 마스크 텐션 장치(300)를 이용한 기판과 마스크 합착 방법에 대하여 설명한다.Next, a method of attaching the substrate and the mask using the mask tension device 300 as described above will be described.

도 1을 참조하면, 기판 홀더(32) 및 마스크 홀더(34)에 각각 기판(S) 및 마스크(M)를 로딩한다.1, a substrate S and a mask M are loaded onto a substrate holder 32 and a mask holder 34, respectively.

기판(S)은 양쪽 기판 홀더(32)에 의해 양쪽 사이드 부분만 지지되므로, 가운데 부분은 아래로 처지게 된다. 특히, 기판(S)이 대형화될수록 가운데 부분의 처짐량은 커지게 된다.The substrate S is supported by both substrate holders 32 on both side portions thereof, so that the middle portion is sagged downward. Particularly, as the size of the substrate S increases, the amount of deflection of the center portion becomes larger.

마스크(M)는 가동 프레임(320)에 결합된 상태에서 마스크 홀더(34)에 로딩된다. 이때 고정 프레임(310)과 마스크 홀더(34)에는 전기 접속부(341)가 구성되어 있으므로, 마스크 홀더(34)에 마스크 프레임(35)이 로딩되면, 전기 접속부(341)가 상호 접촉되면서 전기적으로 접속된 상태에 있게 된다.The mask M is loaded on the mask holder 34 while being coupled to the movable frame 320. When the mask frame 35 is loaded on the mask holder 34, the electrical connection portions 341 are electrically connected to each other while the electrical contact portions 341 are in contact with each other. .

이후, 기판 지지대(40) 및 마스크 홀더(34)를 이동시켜, 기판(S)을 기판 지지대(40)에 밀착시키고, 또한 마스크(M)를 기판(S)의 하부에 밀착시켜 기판(S)과 마스크(M)를 합착한다. 이때, 기판(S) 및 마스크(M)는 가운데 부분이 처진 상태로 밀착된다.Thereafter, the substrate support 40 and the mask holder 34 are moved so that the substrate S is brought into close contact with the substrate support 40 and the mask M is brought into close contact with the lower portion of the substrate S, And the mask M are attached to each other. At this time, the substrate S and the mask M are in close contact with each other in a state in which the middle portion is in a sagging state.

이와 같은 상태에서, 전원 공급부(340)로부터 전자석(331)에 전류를 인가하게 되면, 각각의 전자석(331)이 구동되면서 자력을 발생시켜 각각의 가동 프레임(320)을 당기게 되고, 가동 프레임(320)이 이동함에 따라 마스크(M)가 사방으로 당겨지게 된다. 이때, 마스크(M)가 팽팽하게 사방으로 펴지면서 기판(S)의 처진 부분을 밀어 올릴 수 있게 된다.In this state, when a current is applied from the power supply unit 340 to the electromagnet 331, each electromagnet 331 is driven to generate a magnetic force to pull the respective movable frame 320, and the movable frame 320 The mask M is pulled in all directions. At this time, the mask M is stretched in a four-sided manner, and the raised portion of the substrate S can be pushed up.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 평면 구성도이다.6 is a plan view showing a mask tension device according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예는 전술한 일 실시예와 당김 기구(330A)를 제외하고는 동일 유사하게 구성되는 것이 바람직하므로, 전술한 일 실시예의 구성과 동일 유사한 구성 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고, 그에 대한 반복 설명은 생략한다.Other embodiments of the present invention are desirably configured to be similar to each other except for the above-described embodiment and the pulling mechanism 330A. Therefore, the same reference numerals are given to the same constituent parts as those of the above- , And a repetitive description thereof will be omitted.

본 발명의 다른 실시예의 당김 기구(330A)는 전자석 대신에 솔레노이드 액츄에이터(332)를 이용하여 가동 프레임(320)을 당기도록 구성된다.The pulling mechanism 330A of another embodiment of the present invention is configured to pull the movable frame 320 using the solenoid actuator 332 instead of the electromagnet.

즉, 당김 기구(330A)는, 상기 고정 프레임(310) 쪽에 구비된 솔레노이드 액츄에이터(332)와, 이 솔레노이드 액츄에이터(332)의 구동력에 의해 상기 가동 프레임(320)을 당겨주는 전달 부재(333)로 구성되는 것이다.That is, the pulling mechanism 330A includes a solenoid actuator 332 provided on the fixed frame 310 side and a transmitting member 333 pulling the movable frame 320 by the driving force of the solenoid actuator 332 .

솔레노이드 액츄에이터(332)는 전자석(331) 원리를 이용하여 중앙부에 위치된 축을 직선 이동시켜 직선 구동력을 발생시키는 기구로서, 앞서 일 실시예에서 설명하였던 전원 공급부(340) 및 전기 접속부(341)를 통해 전원을 공급받아 구동되도록 구성된다.The solenoid actuator 332 is a mechanism for generating a linear driving force by linearly moving an axis positioned at the center by using the electromagnet 331 principle. The solenoid actuator 332 is connected to the power supply unit 340 and the electric connection unit 341 And is configured to be driven to receive power.

전달 부재(333)는 솔레노이드 액츄에이터(332)에 구성되는 축이 가동 프레임(320)에 직접 연결되는 구조일 수 있고, 다른 연결 부재가 축과 가동 프레임(320)을 연결하는 구조일 수 있다.The transmitting member 333 may be a structure in which the shaft constituting the solenoid actuator 332 is directly connected to the movable frame 320 and another connecting member may be a structure connecting the shaft and the movable frame 320.

이와 같은 당김 기구(330A)는 각 가동 프레임(320)의 길이에 따라 각 변에 하나 또는 그 이상의 개수로 적절하게 설정하여 구성하는 것이 바람직하다. 본 실시예의 도면에서는 당김 기구(330A)가 각 변에 2개씩 구비된 실시예를 예시하였다.It is preferable that the pulling mechanism 330A is appropriately set to one or more of the sides of the movable frame 320 according to the length of each movable frame 320. [ In the drawing of this embodiment, two pawl mechanisms 330A are provided on each side.

한편, 당김 기구(330A)는 솔레노이드식 액츄에이터에 한정되지 않고, 일반 모터를 이용하되, 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 각 가동 프레임(320)을 당겨주도록 구성하는 것도 가능하다.On the other hand, the pulling mechanism 330A is not limited to the solenoid actuator, and it is also possible to use a general motor, and to convert the rotational motion into a linear motion to pull out the movable frames 320. [

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the technical ideas described in the embodiments of the present invention can be implemented independently of each other, and can be implemented in combination with each other. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art. It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

10 : 챔버 20 : 증발원
30 : 기판 정렬/지지 장치 32 : 기판 홀더
34 : 마스크 홀더 35 : 마스크 프레임
40 : 기판 지지대 41 : 쿨링 플레이트
45 : 마그넷 플레이트 47 : 플레이트 블록
50 : 승강 기구 300 : 마스크 텐션 장치
310 : 고정 프레임 312 : 가동 공간부
315 : 홈부 320 : 가동 프레임
325 : 돌출부 330 : 당김 기구
331 : 전자석 332 : 솔레노이드 액츄에이터
333 : 전달 부재 335 : 영구 자성체
340 : 전원 공급부 341 : 전기 접속부
343, 345, 346 : 도선 10: chamber 20: evaporation source
30: substrate alignment / support device 32: substrate holder
34: mask holder 35: mask frame
40: substrate support 41: cooling plate
45: magnet plate 47: plate block
50: lifting mechanism 300: mask tensioning device
310: fixed frame 312: movable space part
315: grooves 320: movable frame
325: protrusion 330: pulling mechanism
331: Electromagnet 332: Solenoid actuator
333: transmitting member 335: permanent magnetic body
340: Power supply unit 341: Electrical connection
343, 345, 346: conductor

Claims (9)

증착 패턴이 형성된 마스크의 외곽 둘레에 구성된 고정 프레임과;
상기 고정 프레임의 안쪽 부분에 이동 가능하게 설치되고, 상기 마스크의 가장자리 부분이 고정되며, 상기 고정 프레임과 함께 마스크 프레임을 구성하는 하나 또는 그 이상의 가동 프레임과;
상기 고정 프레임에 구비되고, 상기 고정 프레임에 대하여 상기 가동 프레임을 이동시켜 상기 마스크를 당기는 당김 기구를 포함하는,
증착 장비의 마스크 텐션 장치.A fixed frame formed around an outer periphery of a mask having a deposition pattern formed thereon;
One or more movable frames movably installed on an inner portion of the fixed frame and fixed to the edge portions of the mask and constituting a mask frame together with the fixed frame;
And a pulling mechanism provided in the fixed frame and moving the movable frame relative to the fixed frame to pull the mask.
Mask tensioning device for deposition equipment. 청구항 1에 있어서,
상기 당김 기구는 상기 고정 프레임에 구비된 전자석을 포함하고,
상기 가동 프레임은 상기 전자석에 대응하도록 구비되고 자석에 붙는 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.The method according to claim 1,
Wherein the pulling mechanism includes an electromagnet provided in the fixed frame,
Wherein the movable frame includes a metal attached to the magnet and corresponding to the electromagnet. 청구항 1에 있어서,
상기 당김 기구는 상기 고정 프레임에 구비된 전자석을 포함하고,
상기 가동 프레임은 상기 전자석에 대응하도록 구비된 영구 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.The method according to claim 1,
Wherein the pulling mechanism includes an electromagnet provided in the fixed frame,
Wherein the movable frame includes a permanent magnet provided to correspond to the electromagnet. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나에 있어서,
상기 고정 프레임과 상기 가동 프레임 사이에는 상기 가동 프레임이 직선 이동을 하도록 안내하는 가이드부가 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
And a guide portion for guiding the movable frame to move linearly is formed between the fixed frame and the movable frame. 청구항 1에 있어서,
상기 고정 프레임은 사각틀체 구조로 형성되고,
상기 가동 프레임은 상기 고정 프레임의 안쪽 4개의 변에 각각 구비된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.The method according to claim 1,
Wherein the fixed frame is formed in a rectangular frame structure,
Wherein the movable frame is provided at four inner sides of the fixed frame, respectively. 청구항 1에 있어서,
상기 당김 기구는,
상기 고정 프레임에 구비되고, 직선 운동력을 발생시키는 솔레노이드 액츄에이터와;
상기 솔레노이드 액츄에이터의 구동력에 의해 상기 가동 프레임을 당기는 전달 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.The method according to claim 1,
The pulling mechanism
A solenoid actuator provided in the fixed frame and generating a linear motion force;
And a transmitting member for pulling the movable frame by a driving force of the solenoid actuator. 청구항 1, 청구항 2, 청구항 3 및 청구항 6 중 어느 하나에 있어서,
상기 증착 장비의 마스크 텐션 장치는 상기 당김 기구에 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.The method according to any one of claims 1, 2, 3, and 6,
Wherein the mask tensioning device of the deposition apparatus further comprises a power supply unit for supplying power to the pulling mechanism. 청구항 7에 있어서,
상기 고정 프레임은 증착 장비 내에서 마스크 홀더 위에 올려져 로딩되고,
상기 전원 공급부는 상기 마스크 홀더를 통해 전원을 공급하며,
상기 마스크 홀더와 고정 프레임에는 상기 고정 프레임이 마스크 홀더에 로딩될 때 전기적으로 접속되는 전기 접속부가 구비된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.The method of claim 7,
The fixed frame is loaded on the mask holder in the deposition equipment,
The power supply unit supplies power through the mask holder,
Wherein the mask holder and the fixed frame are provided with electrical connection portions electrically connected to each other when the fixed frame is loaded in the mask holder. 기판을 기판 홀더에 로딩하고, 청구항 1에 기재된 고정 프레임, 가동 프레임 및 당김 기구를 포함하는 마스크 텐션 장치에 의하여 지지된 마스크를 마스크 홀더에 로딩하는 제 1 단계와;
상기 제 1 단계 후에 상기 기판 홀더와 상기 마스크 홀더를 상대 이동시켜서 상기 기판과 상기 마스크를 밀착시켜 합착하는 제 2 단계와;
상기 기판과 밀착된 상기 마스크를 상기 마스크 텐션 장치의 상기 당김 기구로 당겨서 상기 기판의 처진 부분을 밀어 올리는 제 3 단계를 포함하는,
기판과 마스크 합착 방법.A first step of loading the substrate into the substrate holder and loading the mask supported by the mask tension device including the fixed frame, the movable frame and the pulling mechanism according to claim 1 into the mask holder;
A second step of relatively moving the substrate holder and the mask holder after the first step so that the substrate and the mask are closely contacted to each other;
And a third step of pushing up the masked portion of the substrate by pulling the mask in close contact with the substrate with the pulling mechanism of the mask tensioning device.
A method of attaching a substrate and a mask.
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