KR100888754B1 - 중결정(重結晶)을 제조하기 위한결정인상장치(結晶引上裝置) 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 쵸크랄스키 방법에 따라 인상장치를 이용하여 특히 중결정(重結晶)(5)을 인상할 수 있는 인상설비 및 인상방법에 관한 것이다. 이를 위하여 상기 결정(5)의 경부(頸部)(4)에 융기부(10)가 형성되어 있으며, 이 융기부(10)는 지지장치에 의하여 밑에서 지지된다. 이 지지장치에는 걸쇠(7)들이 장치되어, 정지위치로부터 작업위치로 전환될 수 있도록 되어있으며, 상기 작업위치에서는 걸쇠(7)들이 상기 융기부(10)를 밑에서 지지하여 준다. 이때 각 걸쇠(7)는 기초부(1)에 장착되어 선회축(8)을 중심으로 선회할 수 있도록 지지되어 있으며, 2개의 안정된 위치, 즉, 정지위치와 작업위치를 취할 수 있다. 상기 각 위치는 상기 기초부(1)에 형성된 스토퍼(stopper)에 의하여 결정된다. 상기 걸쇠가 한쪽의 스토퍼에 놓일 때는 그의 중심(重心)이 경부(4)로부터 보아 선회축(8) 반대쪽에 위치하고, 상기 걸쇠가 다른 쪽 스토퍼에 놓일 때는 그의 중심은 선회축(8) 쪽에 위치하게 된다.
상기 걸쇠(7)의 조작은 인상설비에 설치하여 고정된 조작장치에 의하여 이루어진다.
결정인상장치, 쵸크랄스키 방법, 중결정

Description

중결정(重結晶)을 제조하기 위한 결정인상장치(結晶引上裝置) 및 방법{Kristallziehanlage und Verfahren zur Herstellung von schweren Kristallen}
본 발명은 특히 결정(結晶)이 그의 경부(頸部/neck)에 매달려 용탕(鎔湯)으로부터 당겨 올려져 인상되는 결정인상 및 결정회전 장치를 가지고 있으며, 이때 상기 경부(네크) 부분은 위쪽의 가느다란 부위(部位) 및 아래쪽에 굵은 부위와, 이들 사이에 형성된 융기부(隆起部)로 이루어져 있고, 상기 결정인상 및 결정회전 장치와는 독립적으로 하강이 가능하며, 상기 결정인상 및 결정회전 장치와 협동하여 상승시킬 수 있는 기초부를 가지고 있는 결정인상 및 결정회전 장치를 보완하여주는 결정지지장치를 가지고 있으며, 이때 상기 기초부에는 2개의 걸쇠(잠금쇠)를 가지고 있고, 이 걸쇠들은 상기 융기부를 방해하지 않고 통과시킬 수 있는 정지위치로부터, 이 걸쇠들이 상기 융기부를 밑에서 받쳐 지지하는 작업위치로 전환할 수 있도록 장치되는 쵸크랄스키 방식의 결정인상설비에 관한 것이다. 본 발명의 또 다른 요지는 상기 결정인상장치에 중결정(重結晶)을 제조하는 방법이다.
쵸크랄스키-성장법에 의하여 결정을 인상할 때, 제일 먼저 횡단면을 매우 가늘게 성장(成長) 시킴으로써, 융해할 때 기인(起因)하거나, 또는 결정핵(結晶核)으 로부터 유래(由來)되는 구조결함(構造缺陷), 특히 종자결정의 경부(頸部)로부터 솟는 일종의 “성장돌출(成長突出)”에 의한 결정의 구조불량, 특히 전위불량(轉位不良)을 최소화 내지 제거하게 된다. 그런 다음 성장이 원추형 단면(斷面)에 이어서 훨씬 큰, 거의 동일한 직경을 갖는 원주형(圓柱形) 단면이 이어지고, 끝에는 다시 원추형 단면이 이어지도록 조절된다. 예를 들어 웨이퍼 생산을 위한 1차제품으로서, 상기 제조공정에서 최종적으로 얻어지는 원주형 단면을 갖는 결정(結晶) 만이 중요한 것이다. 웨이퍼의 경제적 제조를 최적화 하기 위해서는, 항상 보다 큰 직경이 필요로 하게되는 것이다. 따라서 결과적으로 성장된 결정의 무게가 높아지게 되는 것이다. 이때 성장기술상의 이유에서 가늘게 유지해야하는 네크 부분은 결정의 무게를 더 이상 지탱할 수 없게되는 문제가 발생하게 된다.
따라서 이미 각종의 지지장치들이 제안되었다. 독일특허 제DE 101 11 953 A1호에서 성장공정의 일정한 제어를 통하여 목적이 달성되는 융기부를 갖는 경부(頸部)를 형성하는 장치가 공개되었다. 이때 상기 융기부 아래쪽의 경부(頸部)는 융기부 위쪽의 경부단면 보다 굵게 형성되었다. 상기 융기부를 하나의 지지장치가 밑에서 지지함으로써, 지지장치 위쪽의 부하(負荷) 일부를 또 다른 인상장치로 옮겨주어 분담(分擔)하도록 되어있다. 상기 지지장치는 하나의 환상 기초부(環狀基礎部)로 이루어져 있고, 그 안에 2개의 걸쇠 또는 레버(lever)가 선회할 수 있도록 장착되어 있다. 상기 기초부에 장치된 유압장치(油壓裝置)를 이용하여 상기 걸쇠들이 융기부를 통과할 수 있는 정지위치로부터, 상기 융기부를 밑에서 지지하여주는 작업위치로 전환하게 된다. 그러한 유압작동장치는 비교적 비용이 많이 소요된다. 즉, 각각의 걸쇠를 위하여 공압식으로 동작하는 실린더와 탄력성 스러스트 베어링(thrust bearing)을 장치해야 한다. 상기 지지장치가 위치하는 설비부분은 온도가 높기 때문에 그와 같은 작동방법은 많은 비용이 들고, 그뿐만 아니라 고장(故障)을 일으키기 쉬운 것이다.
미국특허 제US PS 5,938,843호에서는 매우 간단한 원리가 기술되어 있다. 여기서 걸쇠의 구조는 기초부에 장착되어 선회하도록 되어있는 2개의 갈퀴(fork)로 이루어져 있다. 이 갈퀴들은 작업위치를 나타내는 스토퍼(stopper)에 기대어 장착되어 있다.
상기 기초부가 결정의 경부를 연하여 내려갈 때 상기 갈퀴들이 융기부에 의하여 옆으로 밀쳐짐으로써 기초부가 융기부를 지나갈 수 있도록 되어있다. 상기 기초부가 융기부 아래로 내려오자마자 갈퀴들이 찰칵 닫힌다. 기초부를 상승시킬 때는 갈퀴들이 융기부의 하부면을 받쳐주고, 이때 갈퀴들은 스스로 상기 스토퍼를 떠받쳐주고 있다. 상기 기초부를 계속 들어 올려줄 때에는 결정의 중량이 갈퀴들에 의하여 떠받쳐질 수 있게된다. 이와 같은 구조는 매우 간단하기는 하지만, 기초부를 하강시킬 때 상기 갈퀴들은 융기부를 연하여 활주하게 됨으로써, 융기부를 손상시킬 수 있다는 단점을 가지고 있다. 그뿐만 아니라 마찰에 의하여 마모된 입자들이 발생하여, 용탕과 결정을 오염시킬 것이며, 전위형성(轉位形成)을 일으킬 수 있게될 것이다. 또한 결정과 접촉함으로써 결정체의 진동을 일으키고, 동시에 결정구조결함을 야기할 수 있다.
본 발명의 과제는 전술한 문제점들을 해결하는 동시에 간단히 조립/설치가 가능하고, 고장을 일으키지 않는 결정지지장치를 구비하는 결정인상설비를 제공하는 것이다.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위하여, 기초부 위에서 걸쇠들이 각각 선회축을 중심으로 선회할 수 있도록 지지되어 있고, 상기 기초부에는 각각의 걸쇠를 위하여 정지위치를 결정해주는 하나의 스토퍼(stopper)와, 작업위치를 결정해주는 또 하나의 스토퍼가 각각 설치되어 있으며, 이때 이들 스토퍼들은 정지위치에서는 걸쇠의 중심(重心)이 경부(頸部)로부터 떨어진 건너편에 놓이고, 작업위치에서는 선회축 쪽에 놓이도록 장치된다.
따라서 각 걸쇠는 기초부 위에서 선회축을 중심으로 선회할 수 있도록 지지되어 있어서 2개의 안정된 위치, 즉, 정지위치와 작업위치에 번갈아 놓여질 수 있도록 되어있다. 이러한 방법에 의하여 정지위치로부터 상기 걸쇠를 선회축 위쪽에 걸쇠의 중심이 놓여있는 불안정한 위치로 이동시켜, 이 위치에서 걸쇠가 자동적으로 작업위치로 기울어지도록 기계적으로 작용하는 간단한 장치만으로 충분하기 때문에 걸쇠를 정지위치로부터 해제(release/解除)하는 것을 단순화시킬 수 있다는 것은 명백하다. 본 발명에 따라 이때 상기 걸쇠들은 결정에 영향을 주지 않고 해제된다: 즉, 정지위치로부터 작업위치로 걸쇠들의 전환운동을 결정과 접촉하지 않고 기동(起動)시킬 수 있다. 따라서 정지위치로부터 작업위치로의 해제과정에 의한 결 정성장의 방해가 일어나지 않는다.
상기 기초부는 결정의 경부를 둘러싸는 환상체로 이루어져 있고, 상기 걸쇠들이 동일한 간격을 두고 빙둘러 배치되어 장치되는 것이 바람직하다. 가장 간단한 경우로서 2개의 걸쇠를 서로 대향(對向)하여 마주보게 장치하는 것으로 충분하다.
본 발명은 또한 결정인상설비 내에 고정하여 장치된 조작부를 이용하여 상기 걸쇠들을 정지위치로부터 작업위치로 전환시킬 수 있도록 장치하였다.
그러한 구조에 있어서는 상기 기초부 자체는 조작부로부터 자유롭게 지지될 수 있으므로 기초부는 간단히 조립된다. 외부에 장치된 조작부에 의하여 상기 기초부를 하강시키는 동안 융기부가 통과할 때 걸쇠들은 정지위치에 유지될 수 있으므로 융기부와 걸쇠들 사이에 접촉이 이루어지지 않게 된다. 상기 기초부가 융기부를 통과하자마자 외부에 장치된 조작부들에 의하여 상기 걸쇠들이 기계적으로 정지위치로부터 작업위치로 전환된다.
상기 걸쇠들이 외부에 장치된 조작부와 협동작용을 할 수 있도록 하기 위하여, 걸쇠의 일부분을 막대 형태로 형성하여, 이 막대가 정지위치에서 반경방향으로 결정의 가장자리를 초월하여 밖으로 뻗도록 되어있다. 상기 조작장치들은 계획(설계)된 결정의 직경 밖에 위치하는 설비영역 내에 위치해야 하며, 그렇게 함으로써 인상공정의 진행과정에서 결정이 조작장치들 사이를 지나 움직일 수 있게 되어있다. 상기 조작장치들은 주로 긴 장대 모양으로 형성되어 결정(結晶) 쪽으로 접선(接線) 방향으로 연장되어 상기 막대들의 운동로(運動路) 내에 위치하는 구성 멤버(member)들이다.
바람직하게는 상기 긴 장대를 결정인상설비의 케이스에 접절식(摺折式)으로 고정시킬 수 있으며, 따라서 오직 걸쇠들을 조작할 목적으로 수평으로 유지된다. 그러나 상기 조작멤버들은 또한 수평자세 이외의 적합한 모든 다른 자세로 위치시킬 수도 있다. 조작장치 구성요소들의 형상도 한가지의 장대만으로 국한되지 않는다. 즉, 예를 들어 평판 형상도 마찬가지로 적합하다. 상기 조작멤버들은 또한 밀어서 움직일 수 있도록 장착함으로써, 결정을 인상하기 전에 케이스의 미리 정해진 위치에 착설하여, 나중에 결정을 인상할 때 결정의 길이와 그에 따른 중량을 결정(決定)하도록 되어 있으며, 이 위치에서 상기 걸쇠들이 해제(release)되는 것이다. 상기 위치의 선택은 결정이 경부(頸部) 부위에서 과부하를 받아 그곳이 파열될 위험에 도달하기 전에 상기 지지장치가 결정중량의 일부를 부담할 수 있는 정도에 따라 선택하는 것이 바람직하다. 이것은 비교적 큰 직경의 결정을 인상할 때는, 조작멤버들을 결정인상장치의 케이스 아래로 내려서, 즉, 보다 작은 직경의 결정을 인상할 때보다 용탕에 더 가깝게 접근시켜 위치시키는 것을 의미한다.
상기 지지장치에는 적어도 또 하나의 상승 및 회전 장치를 연결함으로써 상기 결정중량을 2개의 상승 및 회전 장치로 분산시킨다. 상기 중량분산은 지지장치의 상승속도와 지지장치를 매달은 로프(rope)의 탄력성을 이용하여 조절된다. 상기 상승 및 회전 장치는 서로 동일한 속도로 상승 및 회전하도록 동기화 되어야 한다.
본 발명은 또한 지지장치 자체에 관한 것으로서, 이 장치는 특허청구범위 제10항의 특징으로 정의되어 있다.
상기 결정부하를 지지장치로 이동시키기 위하여, 또 다른 상승 및 회전 장치 를 이용하여, 상기 융기부가 조작장치 위쪽에 위치할 때까지 상기 지지장치를 하강시킨다. 이때 걸쇠들은 먼저 정지위치에 놓여있다. 상기 조작장치가 통과할 때 걸쇠들이 작업위치로 전환된다. 그런 다음 지지장치가 또 다른 상승 및 회전 장치와 함께 다시 올려져서, 전환된 걸쇠들이 융기부의 밑면을 받쳐 줌으로써 결정의 무게 일부를 넘겨받게 된다. 넘겨받는 부하의 크기와, 이에 따른 지지장치의 상승속도는 부하 감지기의 출력치(出力値)와 부하 설정치(負荷設定値)를 기초로 하여 조절된다. 상기 지지장치의 회전운동은 주종방식(主從方式/master-slave method)에 따라 결정용 상승 및 회전 장치와 동기화 되며, 이때 상기 결정용(結晶用) 인상 및 회전 장치는 주기능(主機能/master function)을 수행하고, 또 다른 지지장치용(支持裝置用) 상승 및 회전 장치는 종기능(從機能/slave function)을 수행하는 것이다.
본 발명의 결정인상설비는 기초부 위에서 걸쇠들이 각각 선회축을 중심으로 선회할 수 있도록 지지되어 있고, 상기 기초부에는 각각의 걸쇠를 위하여 정지위치를 결정해주는 하나의 스토퍼(stopper)와, 작업위치를 결정해주는 또 하나의 스토퍼가 각각 설치되어 있으며, 이때 이들 스토퍼들은 정지위치에서는 걸쇠의 중심(重心)이 경부(頸部)로부터 떨어진 건너편에 놓이고, 작업위치에서는 선회축 쪽에 놓이도록 장치되어, 간단히 조립/설치가 가능하고 고장을 일으키지 않는다.
본 발명의 결정인상설비의 기타 구성요소들에 관해서 기술하지 않았다. 왜냐 하면 그러한 요소들은 전문가에게는 공지된 구조에 관한 것일 것이기 때문이다.
제1a도에 따라 상기 지지장치는 하나의 기초부(1)로 이루어져 있으며, 이 기초부(1)는 적어도 2개 이상, 바람직하게는 4개의 로프(ropes)(2)들을 이용하여 여기에서 상세히 기술되지 않은 또 다른 상승 및 회전 장치에 매달려 있고, 이 때 상기 지지장치의 상승 및 회전 장치와, 결정성장용(結晶成長用) 인상 및 회전 장치를 이용하여 결정(結晶)을 용탕(鎔湯)으로부터 회전시키면서 인상(引上)하도록 되어있다.
제2도에서 알 수 있는 바와 같이, 상기 기초부(1)의 외부윤곽(外部輪廓)은 서로 대향한 양쪽 측면 쪽으로 길게 확장하여, 예를 들어 길게 연장된 8각형의 형상을 하고 있다. 상기 기초부(1)의 중앙에는 원형 구멍(3)이 형성되어 있고, 이 구멍을 통하여 결정(5)의 경부(4)가 통과한다.
상기 기초부(1)의 윗면에는 2개의 요부(凹部)(6)들이 서로 대향하여 형성되어 있으며, 그 속에 각각 하나씩의 걸쇠(7)가 선회축(8)을 중심으로 선회하도록 지지되어 있다. 상기 각 걸쇠(7)들의 윗면으로부터 막대(9)가 하나씩 서 있다.
하나의 걸쇠(7)는 2개의 안정된 위치를 취할 수 있다. 그 하나는 제1a도의 좌측에 도시된 작업위치이며, 이 위치에서는 걸쇠(7)의 밑면이 상기 요부(6)의 윗면에 놓인다. 이때 상기 걸쇠(7)는 관통구멍(3) 속으로 돌출하여, 결정(5)의 경부(4)에 형성된 상기 융기부(10)를 밑에서 받쳐주게 된다.
정지위치에서 상기 걸쇠(7)는 바깥쪽으로 세워져서, 이때 걸쇠(7)의 윗면이 상기 요부(6)의 가장자리를 떠받치거나, 또는 상기 막대(9)가 기초부(1)의 윗면을 떠받쳐주게 된다. 제1 및 2도의 오른쪽에 상기 정치위치가 도시되어 있으며, 이 정지위치에서는 걸쇠(7)의 중심(重心)이 선회축(8)의 반대쪽(걸쇠의 전단부)에 위치한다.
이때 상기 걸쇠(7)의 자유단부(전단부)는 상기 관통구멍(3)의 바깥쪽에 놓이게 됨으로써 상기 융기부(10)가 관통구멍(3)을 통과할 수 있게된다.
정지위치에서는 상기 걸쇠(7)의 중심이 선회축(8)의 반대쪽에 쉽게 놓이게 됨으로써 걸쇠(7)가 쉽게 젖혀져서 이 걸쇠(7)는 정치위치와 작업위치 사이의 불안정한 위치에 놓이게 되고, 이 위치로부터 걸쇠(7)가 중력(重力)에 의하여 왼쪽에 도시된 작업위치로 쓰러지도록 되어있다. 상기 불안정한 중간위치는 제1b도의 오른쪽에 도시되어 있다. 상기 걸쇠(7)의 중심은 선회축(8)의 바로 위쪽에 놓여있다. 상기 눕힘 운동은 막대(9)가 결정인상설비 케이스 안에 고정된 장대(11)와 접촉함으로써 촉발(觸發)되며, 그렇게 함으로써 상기 기초부(1)를 계속 하강시킬 때 막대(9)와 걸쇠(7)를 불안정한 위치(제1b도)로 젖혀주게 되고, 그 위치로부터 걸쇠(7)가 자동적으로 작업위치로 넘어지게 된다.
상기 장대(11)는 결정인상설비의 케이스에 기울일 수 있도록 장착되어 있다. 이 장대(11)들은 실제 조작위치에서는 수평으로 케이스 안으로 뻗는 것이다. 그러나 이때 장대(11)들은 결정이 통과하게 되는 부위(部位)로부터 일정한 거리를 유지한다.
따라서 걸쇠(7)의 막대(9)는 상기 장대(11)와 교차시키기 위하여 적절한 길이로 형성시켜야 한다.
상기 결정(5)은 경부(4) 위쪽에 공지된 상승 및 회전장치에 매달려 있으며, 이때 상기 장치는 로프 견인장치 또는 견인축을 구비하는 장치일 수 있다.
상기 결정(5) 및 지지장치의 회전을 동기화 함으로써, 상기 걸쇠(7)들이 융기부(10)들을 밑에서 파지할 때, 양쪽의 상승 및 회전장치는 동일한 회전속도로 회전하도록 되어있다. 이때 마스터-슬레이브-방식에 따라 조절이 이루어지며, 이때 결정의 상승 및 회전장치에 대한 조절은 마스터(master)로서의 기능을 수행하는 것이다.
양쪽의 상승 및 회전 장치들 사이에 적절한 부하분배를 달성하기 위하여, 적어도 한쪽의 상승 및 회전 장치에, 바람직하게는 지지장치를 위한 상승 및 회전 장치에다가 부하감지기 또는 회전모멘트 감지기를 장치한다.
결정이 완성된 다음에는 바람직하게는 결정을 경부 부위의 융기부 아래쪽과 지지장치의 아래쪽을 절단하여 떼어내며, 이때 걸쇠들은 여전히 작업위치에 계속 놓여있도록 되어있다.
제1a도는 하나의 걸쇠를 구비한 지지장치의 측면도이다.
제1b도는 걸쇠의 다른 위치를 보여주는 지지장치의 또 다른 측면도이다.
제2도는 제1a도에 따른 지지장치의 평면도이다.

Claims (17)

  1. 쵸크랄스키-방식에 따라 결정(結晶)이 그의 경부(頸部/neck)에 매달려 용탕으로부터 당겨 올려져 인상되는 결정인상 및 결정회전 장치를 가지고 있으며, 이때 경부(네크) 부분은 위쪽 부위(部位) 및 아래쪽 부위와, 이들 사이에 형성된 융기부(隆起部)로 이루어져 있고, 결정인상 및 결정회전 장치와는 독립적으로 하강이 가능하며, 결정인상 및 결정회전 장치와 협동하여 상승시킬 수 있는 기초부를 가지고 있는 결정인상 및 결정회전 장치를 보완하여주는 결정지지장치를 가지고 있으며, 이때 기초부에는 2개의 걸쇠(잠금쇠)를 가지고 있고, 이 걸쇠들은 융기부를 방해하지 않고 통과시킬 수 있는 정지위치로부터, 이 걸쇠들이 융기부를 밑에서 받쳐 지지하는 작업위치로 전환할 수 있도록 장치되는 결정인상장치에 있어서,
    각 걸쇠(7)들은 기초부(1)에 장착되어 선회축(8)을 중심으로 선회할 수 있도록 되어있으며, 기초부(1)에는 각 걸쇠(7)들을 위한 정지위치와 작업위치를 결정할 스토퍼(stopper)들을 형성하고 있고, 이때 이 스토퍼들은 정지위치에서는 걸쇠(7)의 중심(重心)이 경부(4)에서 보아 선회축(8)의 반대편에 놓이고, 작업위치에서는 선회축(8) 쪽으로 놓이도록 장치되는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  2. 제1항에 있어서,
    기초부(1)는 결정의 경부(4)를 둘러싸는 환상체 모양으로 형성되어 있으며, 그 환상체 주위에 걸쇠(7)들이 동일한 간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  3. 제1항에 있어서,
    걸쇠(7)들은 장치 케이스에 착설된 조작 멤버를 이용하여 정지위치로부터 작업위치로 기계적으로 전환시키는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  4. 제3항에 있어서,
    걸쇠(7)의 일부분은 막대(9)로서 형성되어, 정지위치에서는 결정(5)의 가장자리를 넘어 반경방향 바깥쪽으로 돌출하고, 이때 막대(9)는 조작멤버들 중 하나와 협동작용을 하며, 조작멤버들은 결정(5)의 기계획(旣計劃)된 직경 바깥쪽에 위치하는 장치부위에 장치되어 있는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  5. 제3 또는 4항에 있어서,
    조작멤버는 장대(11)로서 형성되어, 결정(5) 쪽으로 접선방향으로 뻗어있고, 대응(對應)하는 켤레 막대(9)의 운동진로(運動進路) 안에 위치하는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  6. 제5항에 있어서,
    장대(11)는 결정인상장치 케이스에 고정되어 접절(摺折)할 수 있도록 되어있고, 걸쇠(7)를 조작하기 위하여 수평위치로 놓을 수 있게 되어있는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  7. 제1항에 있어서,
    지지장치는 적어도 1개 이상의 또 다른 상승 및 회전 장치와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  8. 제7항에 있어서,
    결정인상장치는 양쪽의 상승 및 회전장치의 상승 및 회전 운동을 조절 또는 동기화할 수 있는 수단을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  9. 제8항에 있어서,
    또 하나의 상승 및 회전 장치는 부하 감지기 또는 회전모멘트 감지기를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 결정인상장치.
  10. 결정인상장치에 사용하기 위한 지지장치에 있어서,
    지지장치는 하나의 환상체 모양으로 형성된 기초부(1)로 이루어져 있으며, 그 기초부(1)의 윗면에는 2개의 걸쇠(7)들이 장치되어 있으며, 이때 기초부(1)는 각 걸쇠(7)를 위하여 하나의 정지위치와 하나의 작업위치를 결정하는 스토퍼를 가지고 있으며, 이 스토퍼들은 정지위치에서 중심이 환상체의 축으로부터 보아 선회축(8) 반대쪽에 놓이고, 작업위치에서는 선회축(8) 쪽에 놓이도록 장치되어 있고, 걸쇠(7)의 일부분이 막대(9)로서 형성되어 정지위치에서 반경방향으로 바깥쪽으로 뻗어있는 것을 특징으로 하는 지지장치.
  11. 쵸크랄스키 방식에 따라, 경부(4) 부위의 부하를 경감시키기 위하여 결정인상장치 내에서 결정의 경부부위의 융기부가 지지장치의 걸쇠들에 의하여 밑에서 지지하여 파지되며, 이때 걸쇠들의 파지동작은 기계적으로 촉발하도록 되어있는 결정 제조방법에 있어서,
    걸쇠들이 융기부를 파지하는 동작은 결정인상장치 케이스에 장착된 조작멤버들과 걸쇠들 사이에 기계적으로 접촉함으로써 촉발되는 것을 특징으로 하는 결정 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    지지장치는 나중에 촉발동작을 일으킬 수 있는 회전위치로 놓인 다음, 걸쇠들이 조작멤버들에 의하여 작업위치로 전환되어 결정 융기부를 파지할 때까지 회전하지 않고 하강하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제11 또는 12항에 있어서,
    지지장치는 상승 및 회전 장치를 이용하여 지지장치의 회전속도가 결정의 회전속도와 일치하도록 회전되는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제11항에 있어서,
    결정의 경부부위의 부하경감 단계는 부하 감지기 또는 회전모멘트 감지기로부터의 출력치와, 미리 주어진 설정치를 기초로하여 조절되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    결정의 인상 및 회전 속도는 결정의 인상 및 회전 장치의 조절에 의하여 주어지며, 지지장치의 상승 및 회전장치는 감지기에 의하여 결정되는 상승 및 회전속도의 실제치(實際値)를 따르는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제11항에 있어서,
    걸쇠들은 정지위치로부터 작업위치로 전환되며, 이때 걸쇠들의 운동을 촉발시키기 위하여 결정이 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제12항에 있어서,
    결정이 완성된 다음에는 경부 부위의 융기부 아래쪽과 지지장치의 아래쪽을 절단하여 떼어내며, 이때 걸쇠들은 여전히 작업위치에 계속 놓여있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
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