KR100887467B1

KR100887467B1 - 미세입자 분류시스템

Info

Publication number: KR100887467B1
Application number: KR1020080006338A
Authority: KR
Inventors: 김용훈; 신재욱
Original assignee: 김용훈
Priority date: 2007-01-21
Filing date: 2008-01-21
Publication date: 2009-03-10
Also published as: KR20080068791A; KR20080068792A; KR100887468B1

Abstract

본 발명은 미세입자 분류시스템에 관한 것으로, 상세하게는 공급된 미분류입자를 초음파와 회전력을 이용하여 공기 중으로 부상시킨 후 진공펌프수단를 이용하여 부상된 미분류입자를 흡입된 기체와 함께 강제 이동시켜 필터를 통과하도록 하여 필터를 통과한 것과 통과하지 못한 일정한 사이즈의 미세입자를 보다 용이하게 분리 및 포집할 수 있도록 한 미세입자 분류시스템에 관한 것인바, 본 발명은 미세입자 분류시스템에 있어서 분리하고자 하는 미분류입자가 공급되어 일시 저장되는 호퍼수단(10)과; 상기 호퍼수단(10)의 하단에 연결 설치되어 공급된 미분류입자를 초음파와 회전력을 이용하여 부상시키는 분류용기수단(20)과; 상기 분류용기수단(20)에 연결 설치되어 공급되는 기체의 이물질을 여과하는 인렛필터수단(30)과; 상기 분류용기수단(20)을 통과하여 진공펌프수단(40) 쪽으로 나오는 기체를 여과시키는 아웃렛필터수단(30a)과; 상기 아웃렛필터수단(30a)에 연결 설치되어 분류용기수단(20)의 내부공기를 강제 순환시키는 진공펌프수단(40)과; 상기 인렛필터수단(30)과 아웃렛필터수단(30a)에 연결 구성되며 컨트롤수단(50)에 의해 작동되도록 설치된 밸브수단(60)(60a)과; 상기 밸브수단(60)(60a) 및 진공펌프수단(40)의 작동을 조절하는 스위치가 구비된 컨트롤수단(50)을 포함하여 이루어진 것에 그 특징이 있다.

Description

미세입자 분류시스템{FINE PARTICLE CLASSIFICATION SYSTEM}

본 발명은 미세입자 분류시스템에 관한 것으로, 상세하게는 공급된 미분류입자를 초음파와 회전력을 이용하여 공기 중으로 부상시킨 후 진공펌프수단를 이용하여 부상된 미분류입자를 흡입된 기체와 함께 강제 이동시킨 후 필터를 통과시켜 필터를 통과하지 못한 일정한 사이즈의 미세입자를 보다 용이하게 분리 및 포집할 수 있도록 한 미세입자 분류시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 분말(Powder)을 구성하는 미세입자를 크기별로 분리하는데 사용되는 분류기로는 적층된 시이브(Sieve: 체)가 주로 사용되고 있으며, 분리된 분말은 이를테면 반도체재료, 제약원료, 발색재료 등 반도체산업, 제약산업, 화학산업과 같은 산업분야 전반의 재료들로 사용되고 있다.

종래 분류기는 도 1에 도시된 바와 같이 소정 사이즈의 메쉬망(100a)으로 이루어진 망체(100)가 도 2에서와 같이 다수 적층 되되 적층된 망체(100)(110)(120)(130)의 크기는 아래로 갈수록 작아지도록 설치되며 상기한 망체(100)(110)(120)(130)는 하 부에 설치된 컨트롤러(140)에 의해 제어되도록 설치되어 있다.

상기한 컨트롤러(140)에는 미도시된 진동장치가 설치되어 있어 망체(100)(110)(120)(130)가 진동장치의 작동에 의해 진동하게 되어 공급된 미세입자는 망체(100)(110)(120)(130)의 메쉬망(100a) 사이즈에 따라 망체(100)(110)(120)로 분류되고, 이들을 순차 적층 함으로써 분류하고자 하는 분말들이 그 사이즈에 따라 분리되도록 구성된다.

그러나 이와 같은 종래 분류기는 망체 제조의 기술적 한계로 인해 입자가 미세할수록 상기 망체를 이용하여 일정한 사이즈로 분리하기가 불가능하다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래 미세입자 분류시스템이 갖는 구조적인 제반 문제점을 감안하여 이를 해결하고자 안출된 것으로, 초음파의 음파에너지와 회전자의 회전운동에너지를 이용하여 미분류입자를 부상시킨 다음 기체를 강제 순환시켜 분리필터를 통과한 미세입자와 통과하지 못한 입자를 분리하도록 함으로써 크기에 따라서 분리가 용이하며, 사용자의 조절에 의해 부상하는 입자의 양과 높이를 조절할 수 있고, 분리필터의 사이즈(필터링 할 수 있는 홀의 크기)에 따라 사용자가 원하는 크기로 분리가능하여 보다 효율적인 분리작업이 이루어질 수 있도록 한 미세입자 분류시스템를 제공함에 그 주된 목적이 있다.

상기한 본 발명의 목적은 미세입자 분류시스템에 있어서, 분리하고자 하는 미분류입자가 공급되어 일시 저장되는 호퍼수단과; 상기 호퍼수단의 하단에 연결 설치되어 공급된 미분류입자를 초음파와 회전력을 이용하여 부상시키는 분류용기수단과; 상기 분류용기수단에 연결 설치되어 공급되는 기체의 이물질을 여과하는 인렛필터수단과; 상기 분류용기수단를 통과하여 나오는 기체를 여과시키는 아웃렛필터수단과; 상기 아웃렛필터수단에 연결 설치되어 분류용기수단의 내부공기를 흡입하는 진공펌프수단과; 상기 인렛필터수단과 아웃렛필터수단에 연결 구성되며 컨트롤수단에 의해 작동되는록 설치된 밸브수단과; 상기 아웃렛필터수단과 연결 설치된 밸브수단과 연결되어 분류용기수단의 내부공기를 흡입하는 진공펌프수단과; 상기 밸브수단 및 진공펌프수단의 작동을 조절하는 컨트롤수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분류시스템에 의하여 달성된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명은 미분류입자들을 부상분리 방식을 통해 일정한 사이즈별로 분리, 포집할 수 있어 분리작업이 용이하고, 분리효율이 우수하여 반도체재료, 제약원료, 발색재료 등 반도체산업, 제약산업 및 화학산업 등 산업 전반에 사용되는 부품 및 재료의 효율을 증대시키는 효과가 있다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 첨부도면 도 3a는 본 발명의 기술이 적용된 미세입자 분류시스템의 구조를 보여주는 구성블록도로서 이에 따르면 본 발명의 미세입자 분류시스템(1)은 분리하고자 하는 미분류입자들이 공급되어 일시 저장되는 호퍼수단(10)과, 상기 호퍼수단(10)의 하단에 연결 설치되어 공급된 미분류입자들을 초음파와 회전력을 이용하여 부상시키는 분류용기수단(20)과, 상기 분류용기수단(20)에 연결 설치되어 공급되는 기체의 이물질을 여과하는 인렛필터수단(30)과, 상기 분류용기수단(20)를 통과하여 나오는 기체를 여과시키는 아웃렛필터수단(30a)과, 상기 아웃렛필터수단(30a)에 연결 설치되어 분류용기수단의 내부공기를 흡입하는 진공펌프수단(40)과, 상기 인렛필터수단(30)과 아웃렛필터수단(30a)에 연결 구성되며 컨트롤수단(50)에 의해 작동되도록 설치된 밸브수단(60)(60a)과, 상기 밸브수단(60)(60a) 및 진공펌프수단(40)의 작동을 조절하는 스위치가 구비된 컨트롤수단(50)을 포함하여 이루어진 구조이다.

상기 분류용기수단(20)는 첨부도면 도 5에 도시된 바와 같이 미분류입자가 공급되도록 상부가 개방되고 내측에 공간을 구비하되 상부 양측으로 대향되게 파이프가 설치된 탱크하우징(21)의 외측 하부에는 초음파를 발생시켜 미분류입자들을 부상 및 분산시킬 수 있도록 메인컨트롤수단(28)과 연결 설치된 초음파발생수단(20a)과 상기 탱크하우징(21) 하부 중앙에서 내측으로 관통 설치된 구동모터(20b-1)의 회전축에 회전자(20b-2)가 설치되어 구동모터(20b-1)의 작동에 의해 회전력을 일으킬 수 있도록 컨트롤수단(50)과 연결 구성된 회전발생수단(20b)이 설치된다.

한편 상기 탱크하우징(21)의 상부 측면에는 외부 기체를 탱크하우징(21) 내부로 흡입 및 배출하도록 하는 파이프가 대향되게 설치되며, 상기한 파이프에는 탱크하우징(21) 내측으로 흡입되는 기체의 공급, 및 배출방향을 제어하는 덕트밸브(21-1)(21-2)가 설치된다.

또한 탱크하우징(21) 일 측 방향으로는 내부에서 부상한 미분류입자들을 이동시키는 파이프와 연결되고 반대측은 포집함(25a-1)이 결합 설치된 외부사이클론부재(25a)를 관통하여 내측에 설치된 일측 끝단에 일정한 크기로 분리하는 분리필터(25b-1)가 설치되고 그 타측은 아웃렛필터수단(30a)와 연결 설치되는 내부사이클론부재(25b)로 이루어진 사이클론수단(25) 및 상기 탱크하우징(21)과 연결되어 부상한 미세입자를 기류의 흐름에 의해 포집하는 사이클론수단(25) 및 초음파발생수단(20a) 및 회전발생수단(20b)과 연결되어 초음파세기와 RPM을 조절하며 타이머가 부착 설치된 메인컨트롤수단(28)을 포함하여 이루어진 것을 구조이다.

여기서 상기 분류용기수단(20)에 공급되는 기체는 외부의 대기중 공기를 사용하며 첨부도면 도 3b에 도시된 바와 같이 상기 인렛필터수단(30)과 연결 구성된 밸브수단(60)과 도 4a 내지 도 4b에 도시된 바와 같이 상기 인렛필터수단(30)과 연결 구성된 밸브수단(60) 및 아웃렛필터수단(30a)과 연결 구성된 밸브수단(60a)에 질소탱크(70)를 더 연결 설치하여 사용할 수도 있다. 이때 상기 질소탱크(70)에는 질소가 충입되어 있으며 상기 분류용기수단(20) 내부로 흡입 공급되는 기체를 질소 가스로도 사용할 수 있다.

상기에서와 같이 질소가스를 이용하는 이유는 공기 중에는 수분이 포함되어 있는데 상기 수분과 미세입자가 반응하여 미세입자의 종류에 따라 엉키어서 덩어리를 이루거나 산화하는 것을 방지하기 위함이다.

한편 첨부도면 도 4에 도시된 바와 같이 인렛필터수단(30)과 연결 구성된 밸브수단(60) 및 아웃렛필터수단(30a)과 연결 구성된 밸브수단(60a)을 바이페스관(80)으로 서로 연결하여 사용할 수도 있다.

또한 상기 진공펌프수단(40)에는 분리필터(25b-1)의 막힘에 의해 압력이 감압되는 것을 검출하는 감압센서를 더 설치하여 사용할 수도 있다. 미설명부호 24는 상기 탱크하우징(21)의 외측에 설치되어 초음파발생수단(20a)으로부터 발생되는 초음파를 탱크하우징(21)의 내측으로 전달시키는 챔버수단이다.

상기 탱크하우징(21)에 부상되는 미세입자의 양을 검출하는 미세입자관찰센서(26)를 더 설치하여 사용할 수도 있으며, 상기 미세입자관찰센서(26)는 수광부와 발광부로 이루어진 광센서를 사용한다. 상기 미세입자관찰센서(26)는 탱크하우징(21)에 부상되는 미세입자의 양을 검출하여 검출된 신호를 컨트롤수단(50)에 전달하여 전달된 미세입자의 양이 기 설정된 값보다 이하가 되면 덕트밸브(21-1)(21-2)를 닫음과 동시에 호퍼수단(10)과 분류용기수단(20) 사이에 설치된 일정량공급밸브수단(90)을 작동시켜 호퍼수단(10)에 저장된 미분류입자를 일정량씩 탱크하우징(21)으로 투입 공급하도록 한다.

상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 미세입자 분류시스템의 작용을 살펴보면 먼저 도 3a에 도시된 바와 같이 컨트롤수단(50) 및 메인컨트롤수단(28)을 이용하여 전원공급 후 진공펌프수단(40)와 분류용기수단(20)의 초음파발생수단(20a) 및 회전발생수단(20b), 밸브수단(60)(60a)을 작동시킨다.

상기와 같이 전원이 공급되어 각 수단들이 작동하면 첨부도면 도 5에 도시된 바와 같이 호퍼수단(10)으로 미분류입자를 투입하여 일시 저장한 다음 메인컨트롤수단(28)에 의해 작동시간이 조절되도록 연결되어 있는 일정량공급부재(90)에 의하여 일정량의 미분류입자를 하부에 설치된 분류용기수단(20)으로 투입 공급하며 일정량공급부재(90)의 작동에 의하여 미분류입자의 공급량을 조절할 수 있다.

상기 분류용기수단(20)를 구성하는 탱크하우징(21) 내부로 공급된 미분류입자는 탱크하우징(21) 하부로 떨어지게 되며 이때 상기 메인컨트롤수단(28)과 연결 설치된 초음파발생수단(20a)과 회전발생수단(20b)이 작동하여 미세입자를 부상시킨다.

상기 초음파발생수단(20a)은 초음파를 발생시켜 미분류입자가 서로 응집되는 것을 방지하게 되며 더불어 바닥으로부터 부상시키는 효과를 얻을 수 있다. 또한 메인컨트롤수단(28)과 연결 구성된 회전발생수단(20b)의 작동은 구동모터(20b-1)의 작동에 의해 회전운동을 일으키며 구동모터(20b-1)의 회전축이 회전자(20b-2)를 회전시킴으로써 회전력에 따라서 사이즈가 일정한 크기 이하의 미세입자들을 부상시키게 된다.

상기 분류용기수단(20)를 구성하는 탱크하우징(21) 내부로 미분류입자의 공급시에 덕트밸브(21-1)(21-2)는 닫혀있으며, 상기에서와 같이 탱크하우징(21) 내부로 공급된 미분류입자가 초음파진동수단(20a)과 회전발생수단(20b)의 작동에 의해 부상되면 진공펌프수단(40)이 작동되고 있으므로 탱크하우징(21) 내측의 기체 흐름이 진공펌프수단(40) 쪽으로 이동하게 되기 때문에 부상한 미세입자는 기체의 흐름을 따라 이동하게 된다(순방향이동 - 도 3a참조).

이때 상기 진공펌프수단(40)이 작동됨과 동시에 상기 인렛필터수단(30)과 아웃렛필터수단(30a)에 연결 구성되며 컨트롤수단(50)에 의해 작동되도록 설치된 밸브수단(60)(60a)도 동시에 작동하여 진공펌프수단(40) 방향으로 기체가 이동할 수 있도록 개방된다.

상기 탱크하우징(21)의 미세입자관찰센서(26)는 부상한 미세입자의 량의 양에 따라 변화되는 투과도값을 측정하여 측정된 신호를 메인컨트롤수단(28)에 전달하며 전달된 투과도 값이 기 설정된 값보다 높은 수치가 되면 덕트밸브(20-1)(21-2)를 닫고 동시에 호퍼수단(10)과 분류용기수단(20) 사이에 설치된 일정량공급밸브수단(90)을 작동시켜 호퍼수단(10)에 저장된 미분류입자를 일정량씩 탱크하우징(21)으로 투입 공급하도록 한다.

이후 상기 미세입자관찰센서(26)가 측정한 투과도 값이 기 설정된 값보다 이하로 검출되면 덕트밸브(21-1)(21-2)를 개방시킨다.

상기 미세입자관찰센서(26)는 수광부와 발광부로 이루어진 광센서를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 미세입자관찰센서(26)를 사용하기 위해서는 탱크하우 징(21)이 투명한 재질 중 유리재를 사용하는 것이 바람직하다. 그 이유는 부상된 미세입자가 탱크하우징(21)의 내측면과 접촉하여 반응을 하는 것을 방지하고 탱크하우징(21) 내부의 상태확인이 용이하기 때문이다.

더불어 덕트밸브(21-1)(21-2)가 동시에 개방되고 인렛필터수단(30)에 연결된 덕트밸브(21-1)를 통해 외부 공기가 유입되는데 유입되는 외부 공기는 인렛필터수단(30)에 의하여 수분과 이물질이 여과된 깨끗한 공기가 공급되는 것이다.

상기에서와 같이 분류용기수단(20)를 구성하는 탱크하우징(21) 내부로 공기가 흡입되면 흡입된 공기는 미세입자를 사이클론수단(25)으로 이동시킨다. 상기 사이클론수단(25)으로 이동된 미세입자는 크기가 다른 미세입자들로 분리된다.

상기 사이클론수단(25)의 작동을 구체적으로 살펴보면 포집함(25a-1)이 결합 설치된 외부사이클론부재(25a)를 관통하면서 분리필터(25b-1)를 통과하지 못한 미세입자는 포집함(25a-1)에 쌓여지게 되어 사이즈가 다른 미세입자를 용이하게 분류하여 얻을 수 있다.

이때 상기 외부사이클론부재(25a)에 진동부재(25c)를 더 부착 설치하여 사용할 수 있으며, 상기 진동부재(25c)는 초음파진동자를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 외부사이클론부재(25a)에 진동부재(25c)를 설치하는 이유는 미세입자가 표면에 붙게 되는 것을 방지하기 위함이다.

상기 분류용기수단(20)를 통과한 공기는 아웃렛필터수단(30a)에 의해 여과되어 밸브수단(60a)과 진공펌프수단(40)을 경유하여 외부로 배출된다. 상기 기체의 흐름을 구체적으로 살펴보면 도 6a에 도시된 바와 같이 컨트롤수단(50)의 조작에 의해 작동되는 진공펌프수단(40)이 온(on)되면 밸브수단(60)으로부터 외부 공기가 흡입되어 후단의 밸브수단(60a)을 경유하여 진공펌프수단(40)에 의해 외부로 배출되는 기체 흐름을 형성한다.

한편 첨부도면 도 3b에 도시된 바와 같이 상기 밸브수단(60)에 질소탱크(70)를 연결하여 사용할 수 있으며 첨부도면 도 4a 내지 도 4b에 도시된 바와 같이 밸브수단(60)(60a)을 바이패스관(80)으로 연결하여 사용할 수도 있다.

첨부도면 도 4와 같이 밸브수단(60)(60a)을 바이패스관(80)으로 연결한 구조에 있어서 미세입자의 분류는 도 3 및 도 6a와 그 작동이 동일하지만 (왼쪽에서 오른쪽 방향으로 흐름을 표시하는 화살표 참조 - 순방향작동) 미세입자의 분리작업을 하는 도중 분리필터(25b-1)가 입자들에 의해 막히게 되면 진공펌프수단(40)에서 설정된 압력보다 이하로 떨어지는 감압현상이 발생하게 되며, 상기 감압 상태가 감압센서에 의해 검출되면 감압된 압력 상태를 컨트롤수단(50)에 신호를 보내어서 컨트롤수단(50)에서 첨부도면 도 4b 및 6b에 도시된 바와 같이 밸브수단(60)(60a)의 방향을 바꾸게 된다.

상기 밸브수단(60)(60a)의 방향이 반대 방향으로 전환되어 바뀌게 되면 따라서 기체의 흐름 방향도 오른쪽에서 왼쪽 방향으로 흐름을 표시하는 화살표의 표기와 같이 역방향으로 바뀌게 되며 이때 기체의 흐름 방향이 바뀌어 역방향 진행시 분류용기수단(20)에 설치된 초음파 초음파발생수단(20a)과 회전발생수단(20b)의 작동이 멈춘다.

상기와 같이 밸브수단(60)(60a)의 방향이 반대 방향으로 전환되어 기체의 흐름 방향이 바뀌게 되면 첨부도면 도 4b 및 도 6b에 도시된 바와 같이 밸브수단(60a)에서 외부공기를 흡입하게 되고 아웃렛필터수단(30a)에서 수분과 이물질을 제거하여 분류용기수단(20) 내부로 공기를 공급하게 되므로 분리필터(25b-1)를 에어 세척하는 효과를 발생시켜 분리필터(25b-1)의 막힘을 제거하게 되면서 필터 청소의 효과를 얻을 수 있게 된다.

한편, 분리필터(25b-1)를 통과한 공기는 탱크하우징(21)을 통과하여 인렛필터수단(30) 쪽으로 이송되면서 인렛필터수단(30)에 의해 한번 더 여과되고 여관된 공기는 방향이 전환된 밸브수단(60) 및 바이페스관(80)을 통과하여 밸브수단(60a)으로 이송 후 진공펌프수단(40)을 통해 외부로 배출된다.

한편 상기 분류용기수단(20) 내측에 공급되는 기체를 외부공기를 이용하는 것으로 설명하고 있으나 첨부도면 도 5에 도시된 바와 같이 질소탱크(70)를 밸브수단(60)에 연결하여 진공펌프수단(40)이 작동하면 질소가스가 분류용기수단(20) 내측으로 흡입될 수 있도록 할 수도 있다.

질소가스를 이용하는 이유는 공기 중에는 수분이 포함되어 있는데 상기 수분과 미세입자의 종류에 따라 미세입자가 반응하여 서로 엉키어서 덩어리를 이루거나 또는 산화하는 것을 방지하기 위함이다. 한편 상기 역류기체에 의하여 분리필터(25b-1)가 청소되면 수분 후 컨트롤수단(50)에 의해 방향이 전환되었던 밸브수단(60)(60a)도 초기 상태로 환원되어 분리작업을 계속하게 된다.

도 1은 종래 기술에 따른 미세입자 분류시스템을 구성하는 망체의 예시도.

도 2는 종래 기술에 따른 미세입자 분류시스템의 구조를 보여주는 사시도.

도 3a는 본 발명의 기술이 적용된 미세입자 분류시스템의 구조를 보여주는 구성블록도.

도 3b는 본 발명의 기술이 적용된 미세입자 분류시스템의 다른 실시예의 구조를 보여주는 구성블록도.

도 4a는 본 발명의 다른 실시예를 보여주는 미세입자 분류시스템의 구성블록도.

도 4b는 도 4a의 역방향 작동을 보여주는 미세입자 분류시스템의 구성블록도.

도 5는 본 발명의 요부인 분류용기수단의 구조를 보여주는 예시도.

도 6a는 본 발명에 따른 기체가 순방향으로 진행될 때의 밸브수단의 연결 구조를 보여주는 예시도.

도 6b는 본 발명에 따른 기체가 역방향으로 진행될 때의 밸브수단의 연결 구조를 보여주는 예시도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10 : 호퍼수단 20 : 분류용기수단

21 : 탱크하우징 20a : 초음파발생수단

20b : 회전발생수단 20b-1 : 구동모터

20b-2,20b-4 : 회전자 20b-3 : 솔레노이드부재

21-1, 21-2 : 덕트밸브 24 : 챔버수단

25 : 사이클론수단 25a : 외부사이클론부재

25b : 내부사이클론부재 25a-1 : 포집함

25b-1 : 분리필터 30 : 인렛필터수단

30a : 아웃렛필터수단 40 : 진공펌프수단

50 : 컨트롤수단 60,60a : 밸브수단

Claims

미세입자 분류시스템에 있어서,

분리하고자 하는 미분류입자들이 공급되어 일시 저장되는 호퍼수단(10)과;

상기 호퍼수단(10)의 하단에 연결 설치되어 공급된 미분류입자를 초음파와 회전력을 이용하여 부상시키는 분류용기수단(20)과;

상기 분류용기수단(20)에 연결 설치되어 공급되는 기체의 이물질을 여과하는 인렛필터수단(30)과;

상기 분류용기수단(20)를 통과하여 진공펌프수단(40) 쪽으로 나오는 기체를 여과시키는 아웃렛필터수단(30a)과;

상기 아웃렛필터수단(30a)에 연결 설치되어 분류용기수단(20)의 내부공기를 강제순환시키는 진공펌프수단(40)과;

상기 인렛 필터(30)와 아웃렛 필터(30a)에 연결 구성되며 컨트롤수단(50)에 의해 작동되도록 설치된 밸브수단(60)(60a)과;

상기 밸브수단(60)(60a) 및 진공펌프수단(40)의 작동을 조절하는 스위치가 구비된 컨트롤수단(50)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분류시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 분류용기수단(20)는 미분류입자가 공급되도록 상부가 개방되고 내측에 공간을 구비하되 상부 양측으로 대향되게 파이프가 설치된 탱 크하우징(21)과;

상기 탱크하우징(21)의 외측 하부에 설치되어 초음파를 발생시켜 미세입자를 분산 및 부상시키며 컨트롤수단(50)과 연결 설치된 초음파발생수단(20a)과;

상기 탱크하우징(21) 하부 중앙에서 내측으로 관통 설치된 구동모터(20b-1)의 회전축에 회전자(20b-2)가 설치되어 구동모터(25b-1)의 작동에 의해 회전운동을 일으키며 컨트롤수단(50)과 연결 구성된 회전발생수단(25b)과;

상기 파이프에 설치되어 탱크하우징(21) 내측으로 흡입되는 기체의 공급 및 배출을 제어하는 덕트밸브(21-1)(21-2)와;

일측은 상기 탱크하우징(21) 내부에서 부상한 미세입자를 이동시키는 파이프와 연결되고 반대측은 포집함(25a-1)이 결합 설치된 외부사이클론부재(25a)를 관통하여 내측에 설치된 일측 끝단에 일정한 크기로 분리하는 분리필터(25b-1)가 설치되고 그 타측은 아웃렛필터수단(30a)과 연결 설치되는 내부사이클론부재(25b)로 이루어진 사이클론수단(25) 및

상기 탱크하우징(21)과 연결되어 부상한 미세입자를 기류의 흐름에 의해 포집하는 사이클론수단(25) 및 초음파발생수단(20a) 및 회전발생수단(20b)과 연결되어 초음파세기와 RPM을 조절하며 타이머가 부착 설치된 메인컨트롤수단(28)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분류시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 인렛필터수단(30)과 연결 구성된 밸브수단(60)에는 질소탱크가 더 연결 설치된 것을 특징으로 하는 미세입자 분류시스템.
제 1 항 및 제 3 항에 있어서, 상기 분류용기수단(20)에 공급되는 기체가 산소 또는 질소인 것을 특징으로 하는 미세입자 분류시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 밸브수단(60)(60a)이 바이패스관(80)으로 연결된 것을 특징으로 하는 미세입자 분류시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 진공펌프수단(40)의 역 작동으로 기체가 역순환 되어 분리필터(25b-1)를 털어주는 것을 특징으로 하는 미세입자 분류시스템.
제 1 항에 있어서, 상기 호퍼수단(10)과 분류용기수단(20) 사이에는 일정량공급부재(90)가 더 설치되어 이루어진 것을 특징으로 하는 미세입자 분류시스템.