KR100879005B1 - Laser bonding apparatus and laser bonding method - Google Patents
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Abstract
본 발명은 복수의 레이저 발진기를 이용하여 형성한 레이저 빔을 접합단자가 형성된 영역의 ACF에 조사함으로써, 불필요한 레이저 소스와 광학계에 소요되는 비용을 줄이고 생산성을 극대화 할 수 있는 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치 및 본딩방법을 제공함에 목적이 있다.The present invention provides a laser bonding device for a large-area display that can reduce the cost of unnecessary laser sources and optical systems and maximize productivity by irradiating a laser beam formed by using a plurality of laser oscillators to an ACF in a region where a junction terminal is formed. And a bonding method.
본 발명의 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치는 이방 도전성 필름을 이용하여 대면적 디스플레이 기판과 구동 드라이버 기판을 접합하기 위한 레이저 본딩장치에 있어서, 복수의 레이저 발진기를 포함하는 레이저 조사부; 상기 대면적 디스플레이 기판을 고정하기 위한 지그부; 및 상기 대면적 디스플레이 기판, 이방 도전성 필름 및 구동 드라이버 기판을 정렬하기 위한 모니터링부를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a laser bonding apparatus for a large area display, comprising: a laser irradiation unit for bonding a large area display substrate and a driver driver substrate using an anisotropic conductive film; A jig portion for fixing the large area display substrate; And a monitoring unit for aligning the large area display substrate, the anisotropic conductive film, and the drive driver substrate.
레이저, 빔형성, 모니터링, ACF Laser, Beamforming, Monitoring, ACF
Description
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치의 구성도,1 is a block diagram of a laser bonding device for a large-area display according to an embodiment of the present invention,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치의 구성도,2 is a block diagram of a laser bonding apparatus for a large-area display according to another embodiment of the present invention,
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치의 구성도.3 is a block diagram of a laser bonding apparatus for a large-area display according to another embodiment of the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *
110: 레이저 발진기 120: 빔 형성기110: laser oscillator 120: beam former
130: CCD 카메라 140: ACF130: CCD camera 140: ACF
150: 레이저 전달기 160: 광학계 홀더150: laser transmitter 160: optical system holder
170: 구동 드라이버 기판 180: 대면적 디스플레이 기판170: drive driver substrate 180: large area display substrate
181: 접합부 190: 투명 가압기 181: junction 190: transparent press
본 발명은 레이저를 이용한 본딩장치 및 본딩방법에 관한 것으로, 구체적으로는 이방도전성필름에 레이저를 조사하여 대면적 디스플레이 패널과 구동 드라이버 기판을 본딩하는데 사용되는 레이저 본딩장치 및 본딩방법에 관한 것이다. The present invention relates to a bonding apparatus and a bonding method using a laser, and more particularly, to a laser bonding apparatus and a bonding method used to bond a large area display panel and a driving driver substrate by irradiating a laser to an anisotropic conductive film.
이방 도전성 필름(ACF: Anistropic Conductive Film)은 금속 코팅된 플라스틱 또는 금속입자 등의 전도성 입자를 분산시킨 필름상의 접착제로서, LCD(Liquid Crystal Display) 실장분야에서의 LCD 패널과 연성 회로 기판(FPC:Flexible Printed Circuit) 또는 PCB(Printed Circuit Board)와 연성 회로 기판 등의 전기적 접속에 널리 이용되고 있다. 최근의 LCD 기술의 발전에 따라 ACF는 접속 신뢰성의 향상과 접속 피치(Pitch)의 미세화도 급속하게 진행되고 있고, 그 결과 베어 칩(Bare Chip)을 LCD 패널에 직접 접속하여 실장하는 COG(Chip On Glass) 실장 등이 가능하게 되었다. ACF의 접속원리는 접속할 두 매체 사이에 ACF를 위치시킨 후, 소정의 온도와 압력하에서 가열과 함께 가압을 하면 ACF의 접착제가 용융되고, 분산되어 있는 도전볼이 대치하는 전극 사이를 연결하여 도전성이 얻어지는 한편, 인접하는 전극 사이에는 접착제가 충진되도록 하는 것이다. Anisotropic Conductive Film (ACF) is an adhesive on a film in which conductive particles such as metal-coated plastic or metal particles are dispersed. LCD panels and flexible circuit boards (FPCs) in liquid crystal display (LCD) mounting fields. It is widely used for electrical connection between a printed circuit (PCB) or a printed circuit board (PCB) and a flexible circuit board. With the recent development of LCD technology, ACF is rapidly improving connection reliability and minimizing connection pitch, and as a result, COG (Chip On) in which a bare chip is directly connected to an LCD panel and mounted is mounted. Glass) can be mounted. The connection principle of ACF is to place the ACF between two mediums to be connected, pressurize it with heating under a predetermined temperature and pressure, and melt the adhesive of ACF, and connect the dispersed conductive balls between the electrodes to replace the conductive. On the other hand, the adhesive is filled between the adjacent electrodes.
일반적으로 이방도전성필름을 이용하여 디스플레이와 구동 드라이버 기판을 본딩하는데 필요한 열원으로 핫바(hot bar)를 사용하였다. 핫바를 이용한 열융착 공정 및 장치는 ACF 열융착에 필요한 열을 히터를 사용하여 핫바를 가열하고 조절 하였기 때문에 핫바 전체의 온도를 균일하게 하는 것이 어렵고, 접속 부위 이외에 열소모성이 크므로 열전환 효율이 떨어지며, 핫바의 지속적인 사용시 핫바 표면이 오염되어 재현성 확보가 어려운 문제점이 있다. In general, a hot bar is used as a heat source for bonding a display and a driving driver substrate using an anisotropic conductive film. In the heat fusion process and apparatus using the hot bar, it is difficult to uniformize the temperature of the entire hot bar because it uses the heater to heat and control the heat required for ACF heat fusion. Falling, the hot bar surface is contaminated during continuous use of the hot bar has a problem that it is difficult to secure reproducibility.
이러한 문제를 해결하기 위하여 다른 열원으로 레이저와 레이저가 투과할 수 있는 투명 가압부를 사용하게 되었다. 투명 가압부를 이용하여 ACF를 가압한 후, 레이저를 조사하여 디스플레이 패널과 구동 드라이버 기판을 본딩하였다. In order to solve this problem, a laser and a transparent pressing unit through which the laser penetrates to other heat sources are used. After pressurizing the ACF using the transparent pressing unit, the laser was irradiated to bond the display panel and the driving driver substrate.
그러나, 이러한 종래의 레이저 본딩장치의 레이저 조사장치는 디스플레이 패널과 구동 드라이버 기판이 본딩되어야 할 접합부에 형성된 접합단자뿐만 아니라 배선이 형성되지 않는 영역을 포함한 전 영역을 조사하게 된다. 따라서, 불필요한 영역에도 조사함에 따른 공정시간이 추가되고, 특히, 최근에 생산되고 있는 40인치 이상의 대형 디스플레이에 적용할 경우, 생산성에 막대한 악영향을 미친다는 단점이 있다. However, the laser irradiation apparatus of the conventional laser bonding apparatus irradiates the entire region including not only the junction terminal formed at the junction where the display panel and the driver driver substrate are to be bonded but also the region where no wiring is formed. Therefore, processing time is added to irradiate unnecessary areas, and in particular, when applied to a large display of 40 inches or more, which is recently produced, there is a disadvantage in that the productivity is adversely affected.
본 발명은 복수의 레이저 발진기를 이용하여 형성한 레이저 빔을 접합단자가 형성된 영역의 ACF에 조사함으로써, 불필요한 레이저 소스와 광학계에 소요되는 비용을 줄이고 생산성을 극대화할 수 있는 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치 및 본딩방법을 제공함에 목적이 있다. The present invention provides a laser bonding device for a large-area display that can reduce the cost of unnecessary laser sources and optical systems and maximize productivity by irradiating a laser beam formed by using a plurality of laser oscillators to an ACF in a region where a junction terminal is formed. And a bonding method.
본 발명의 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치는 이방 도전성 필름을 이용하여 대면적 디스플레이 기판과 구동 드라이버 기판을 접합하기 위한 레이저 본딩장치에 있어서, 복수의 레이저 발진기를 포함하는 레이저 조사부; 상기 대면적 디스플레이 기판을 고정하기 위한 지그부; 및 상기 대면적 디스플레이 기판, 이방 도전성 필름 및 구동 드라이버 기판을 정렬하기 위한 모니터링부를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a laser bonding apparatus for a large area display, comprising: a laser irradiation unit for bonding a large area display substrate and a driver driver substrate using an anisotropic conductive film; A jig portion for fixing the large area display substrate; And a monitoring unit for aligning the large area display substrate, the anisotropic conductive film, and the drive driver substrate.
본 발명의 대면적 디스플레이용 레이저 본딩방법은 이방 도전성 필름을 이용하여 대면적 디스플레이 기판과 구동 드라이버 기판을 접합하는 방법에 있어서, 상기 대면적 디스플레이 기판, 이방 도전성 필름 및 구동 드라이버 기판을 정렬하여 접합부를 형성하는 단계; 상기 구동 드라이버 기판의 상부에서 상기 구동드라이버 기판을 가압하는 단계; 및 복수의 레이저 발진기로부터 출력된 레이저를 상기 접합부에 조사하는 단계를 포함한다.The laser bonding method for a large area display of the present invention is a method of bonding a large area display substrate and a driver driver substrate using an anisotropic conductive film, wherein the large area display substrate, the anisotropic conductive film and the driver driver substrate are aligned to form a bonding portion. Forming; Pressing the driving driver substrate on the driving driver substrate; And irradiating the joints with lasers output from a plurality of laser oscillators.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the specification and claims should not be construed as having a conventional or dictionary meaning, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to best explain their own invention. Based on the principle that can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.
도 1은 본 발명에 따른 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치의 구성도로서,레이저 조사부와 대면적 디스플레이 기판을 고정하기 위한 지그부로 이루어져 있다.1 is a configuration diagram of a laser bonding apparatus for a large area display according to the present invention, and comprises a jig portion for fixing a laser irradiation part and a large area display substrate.
본 발명에 따른 레이저 조사부는 복수의 레이저를 출력하기 위한 복수의 레이저 발진기(110)와 복수의 레이저를 소정의 크기와 형태로 변환된 단일 레이저 빔으로 출력하기 위한 빔 형성기(120)로 이루어져 있으며, 빔 형성기(120)내에는 ACF(140)에 조사하기 위하여 렌즈로 이루어진 광학계(도시안됨)를 포함한다.The laser irradiator according to the present invention includes a plurality of
본 발명에 따른 레이저 발진기(110)는 적외선 파장대의 다이오드 레이저나 Nd:YAG 레이저를 사용할 수 있으며, 레이저 발진기(110)의 출력단에는 감쇄기(도시안됨)를 구비하고 있어, 소정 세기의 레이저 빔을 출력할 수 있다. 빔 형성기(120)는 복수의 레이저 발진기로부터 출력되는 복수의 레이저 빔의 크기 및 형태를 변환하는데, 일예로, 수십 mm의 길이와 수 mm의 폭을 갖는 라인 형태의 단일 레이저 빔으로 변환할 수 있다. 빔 형성기(120)에 포함된 광학계는 렌즈들로 구성되어 있어, 빔 형성기(120)에서 라인 형태로 변환된 레이저를 접합부(181)에 조사하기 위하여 초점을 조절하는 역할을 한다. 한편, 접합부(181)는 접합단자가 형성된 대면적 디스플레이 기판, ACF(140) 및 구동 드라이버 기판으로 적층되어 있다. 또한, 레이저 조사부는 복수의 레이저 발진기(110)로부터 출력된 레이저를 빔 형성기(120)까지 전달하기 위하여 광섬유 또는 거울을 포함한 레이저 전달기(150)와 광학계 홀더(160)를 포함한다. The
광학계 홀더(160)는 레이저 전달기(150)를 통하여 빔 형성기(120)와 빔 형성기 내에 위치한 광학계까지 전달된 레이저를 흔들림 없이 안정적으로 조사하면서, 레이저의 조사위치를 변경할 수 있다. 빔 형성기(120)와 광학계는 대면적 디스플레이 기판의 접합부(181)에 대응하는 영역상에 광학계 홀더(160)에 장착된다. 따라서, 접합부(181)가 형성되지 않은 영역에는 빔 형성기(120)와 광학계를 설치할 필요가 없어 고가의 레이저 조사부를 설치하는데 소요되는 비용을 절약할 수 있다. The
구동장치(도시안됨)는 빔 형성기(120)가 광학계 홀더(160) 상에서 이동할 수 있도록 함으로써, 본딩하고자 하는 접합부에 레이저 빔을 조사할 수 있는 역할을 한다. 제어기(도시안됨)는 레이저의 크기에 따라 구동장치(도시안됨)와 함께 조사 방식을 결정한다. 일예로, 레이저의 크기가 스폿 또는 라인 형태일 경우, 구동장치는 빔 형성기(102)로부터 출력된 레이저 빔을 광학계 홀더(160) 상에서 한 방향으로 움직이는 스캔방식으로 조사함으로써, 대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)을 접합할 수 있다. 반면, 직사각형 형태의 레이저를 조사할 경우, 구동장치에 의하여 광학계 홀더상에서 이동하는 빔 형성기(120)로부터 출력되는 레이저 빔은 제어기(도시안됨)에 의하여 소정의 시간 간격을 갖고 시료에 조사됨으로써, 이른바 블럭샷의 방식으로 기판을 접합할 수 있다.The driving device (not shown) serves to irradiate a laser beam to the bonding portion to be bonded by allowing the beam former 120 to move on the
본 발명의 실시예에 따르면, 광학계를 이용하여 레이저를 ACF(140)에 조사할 수 있다. 조사된 Laser는 ACF(140)의 온도를 상승시키는 역할을 하고, ACF(140)가 일정 온도 이상이 되면 그 특성상 경화되게 된다. 이때 일정한 온도까지 상승하는것과 열경화성 접착제인 ACF(140)의 용융 및 경화에 필요한 시간의 제어는 레이저 빔의 출력을 정밀하게 조절할 수 있는 제어기를 통해 이루어진다.According to an embodiment of the present invention, the laser may be irradiated to the ACF 140 using an optical system. The irradiated laser serves to raise the temperature of the
대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)에는 전기적으로 접속하기 위한 도전성 범프가 각각 형성되어 있다. 투명 가압기(190)는 도전성 범프 사이에 ACF(140)를 위치시킨 후 지그부를 이용하여 고정한다. 이때, 대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)에 형성된 범프는 접속이 이루어지도록 정확하게 위치의 정렬이 필요하므로 기판의 양단에 설치된 CCD 카메라(130)를 포함하는 모니터링부를 이용한다.Conductive bumps for electrically connecting the large-
본 발명에 따른 지그부는 한변의 길이가 수백 mm 내지 수천 mm의 대면적 디스플레이 기판(180)에 ACF(140)와 구동 드라이버 기판(170)을 적층하기 위한 베이스와, 구동 드라이버 기판의 상부를 소정의 압력을 가하면서, 조사되는 레이저가 투과할 수 있도록 하기 위한 투명 가압기(190)를 포함한다. 레이저를 조사하면서, 기판을 가압하면 양측 범프는 ACF(140)의 도전볼에 의해 일방향으로 전기적으로 접속됨과 아울러 범프 사이에는 ACF(140)의 접착제가 충진되어 기판을 접착시킨다. The jig unit according to the present invention has a base for stacking the ACF 140 and the
또한, 본 발명에 따른 지그부는 복수개를 구비하여, 복수의 대면적 디스플레이 기판(180)을 로딩할 수 있다. 광학계 홀더(160)에 장착된 레이저 조사장치는 로딩된 복수의 대면적 디스플레이 기판(180)에 레이저를 조사함으로써, 본딩작업을 수행하게 되는데, 본딩이 완료되면 구동장치(도시안됨)에 의하여 다음 지그부에 고정된 대면적 디스플레이 기판(180)으로 이동한다. 레이저 조사부가 다음 본딩을 위 하여 레이저를 조사하는 동안, 앞서 본딩작업이 완료된 대면적 디스플레이 기판(180)은 로봇암(도시안됨)에 의하여 언로딩 되고 다른 대면적 디스플레이 기판(180)을 지그부에 로딩하게 된다. 로딩이 되면, 대면적 디스플레이 기판상에 ACF(140) 및 구동 드라이버 기판(170)이 적층된다. 적층된 기판은 CCD 카메라(130)를 포함하는 모니터링부에 의하여 정렬되고 이 후, 투명 가압기(190)에 의하여 가압처리되어 대기하게 된다. 따라서, 복수의 지그부를 사용할 경우, 대면적 디스플레이 기판(180)의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간에 레이저 조사부는 다른 기판에 레이저를 조사하여 본딩작업을 수행할 수 있다. 즉, 연속적인 대면적 디스플레이 기판(180)의 연속적인 본딩처리가 가능하여 생산량 향상을 기대할 수 있다. In addition, a plurality of jig parts according to the present invention may be provided to load a plurality of large
본 발명에 따른 레이저 조사부와 지그부는 조작패널부(도시안됨)과 연결되어, 키패드를 이용하여 레이저 본딩장치의 각 구성을 제어할 수 있다. 일예로 키패드를 통해 입력된 값으로 작업 공정의 각 변수(레이저 파장이나 세기, 조사방식, 조사시간, 압력 등)를 설정할 수 있다. 그리고 조작패널부에는 디스플레이가 구비되어 있어, CCD 카메라(130)를 통하여 입력된 영상을 확인하면서 기판을 더욱 정밀하게 정렬할 수 있다. The laser irradiator and the jig unit according to the present invention may be connected to an operation panel unit (not shown) to control each component of the laser bonding apparatus using a keypad. For example, each variable (laser wavelength or intensity, irradiation method, irradiation time, pressure, etc.) of a work process may be set using a value input through a keypad. And the display panel is provided with the operation, it is possible to align the substrate more precisely while checking the image input through the
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 본딩 장치의 구성도이다.2 is a block diagram of a laser bonding apparatus according to another embodiment of the present invention.
복수의 지그부 중 한 곳에 대면적 디스플레이 기판(180)이 로딩되면, 접합 단자가 형성된 대면적 디스플레이 기판의 일 측면상에 ACF(140)를 올려 놓은 후, 다시 구동 드라이버 기판(170)을 위치시킨다. 이때, 대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)에 형성된 범프는 서로 접속이 이루어지도록 정확하게 위치의 정렬이 필요하므로 기판의 양단에 설치된 CCD 카메라(130)를 포함하는 모니터링부를 이용한다. 정렬이 완료되면 투명 가압기(190)를 이용하여 구동 드라이버 기판(170)을 소정의 압력으로 가압하고, 복수의 레이저 발진기(110)에서 복수의 레이저가 출력된다. 출력된 복수의 레이저는 광섬유 혹은 거울로 구성된 레이저 전달기(150)를 통하여 광학계(도시안됨)를 포함하는 빔 형성기(120)로 전송된다. 복수의 레이저는 빔 형성기(120)들에 의하여 라인 형태의 단일 레이저 빔(210)으로 변환된 후 기판의 접합부(181)에 조사된다. 이때, 레이저 발진기(110), 빔 형성기(120) 및 광학계는 복수로 준비하여 대면적 디스플레이 기판(180)의 일측면에 형성된 길이방향의 모든 접합부(181)에 한차례 조사를 통하여 본딩작업이 완료될 수 있도록 한다. 그리고, 한 쪽 지그부에서 본딩 작업이 실시되는 동안 다른 지그부에서는 대면적 디스플레이 기판(180)을 로딩/언로딩 한 후, ACF(140)를 올려놓는 작업 및 CCD(130)를 이용한 정렬작업 등을 미리 수행함으로써, 본딩작업을 대기한다.When the large
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레이저 본딩 장치의 구성도이다.3 is a block diagram of a laser bonding apparatus according to another embodiment of the present invention.
먼저, 복수의 지그부 중 한 곳에 대면적 디스플레이 기판(180)이 로딩된 후, 접합 단자가 형성된 대면적 디스플레이 기판의 일 측면상에 ACF(140)를 올려 놓은 후, 다시 구동 드라이버 기판(170)을 위치시킨다. 이때, 대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)에 형성된 범프는 서로 접속이 이루어지도록 정확하게 위치의 정렬이 필요하므로 기판의 양단에 설치된 CCD 카메라(130)를 포함하 는 모니터링부를 이용한다. 정렬이 완료되면 투명 가압기(190)를 이용하여 구동 드라이버 기판(170)을 소정의 압력으로 가압하고, 복수의 레이저 발진기(110)에서 복수의 레이저가 출력된다. 출력된 복수의 레이저는 광섬유 혹은 거울로 구성된 레이저 전달기(150)를 통하여 광학계(도시안됨)를 포함하는 빔 형성기(120)로 전송된다. 복수의 레이저는 빔 형성기(120)에서 라인 형태의 레이저 빔(310)으로 변환된 후 기판에 형성된 복수의 접합부(181)중 어느 하나에 조사된다. 이 때, 접합부(181) 하나의 크기에 대응하는 라인 형태의 레이저 빔(310)을 생성할 수 있는 출력을 가지도록 레이저 발진기(110)의 갯수를 선택하고, 빔 형성기(120) 및 광학계도 접합부(181) 하나에 대응하도록 사전 설계되어 있어야 한다. 접합 방법은 다음과 같다. 우선 생성된 라인 형태의 빔을 접합부(181) 하나에 조사하여 접합을 시킨다. 그 다음, 빔 형성기(120)를 광학계 홀더(160)상에서 이동시켜 다음 접합부(181)에 레이저가 조사될수 있도록 한 후, 레이저를 조사하여 접합시킨다. 이와 같이 모든 접합부(181)에 순차적으로 레이저 빔을 조사하여 모든 접합부(181)를 접합시킨다. 그리고, 한 쪽 지그부에서 본딩 작업이 실시되는 동안 다른 지그부에서는 대면적 디스플레이 기판(180)을 로딩/언로딩 한 후, ACF(140)를 올려놓는 작업 및 CCD(130)를 이용한 정렬작업 등을 미리 수행함으로써, 본딩작업을 대기한다.First, after the large
본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상부한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양 한 변경과 수정이 가능할 것이다.Although the present invention has been shown and described with reference to the preferred embodiments as described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible.
본 발명의 레이저 조사장치는 레이저 발진기에서 출력되는 레이저의 에너지 손실없이 시료를 가공처리 할 수 있는 장점이 있다. 따라서, 시료의 가공시간과 고출력의 레이저 발진기의 추가 설비비용을 절약할 수 있어 제품의 생산성 향상 및 생산되는 제품의 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.The laser irradiation apparatus of the present invention has an advantage of processing a sample without energy loss of the laser output from the laser oscillator. Therefore, it is possible to save the processing time of the sample and the additional equipment cost of the high power laser oscillator, thereby improving the productivity of the product and lowering the unit cost of the produced product.
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