KR100879005B1 - Laser bonding apparatus and laser bonding method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수의 레이저 발진기를 이용하여 형성한 레이저 빔을 접합단자가 형성된 영역의 ACF에 조사함으로써, 불필요한 레이저 소스와 광학계에 소요되는 비용을 줄이고 생산성을 극대화 할 수 있는 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치 및 본딩방법을 제공함에 목적이 있다.The present invention provides a laser bonding device for a large-area display that can reduce the cost of unnecessary laser sources and optical systems and maximize productivity by irradiating a laser beam formed by using a plurality of laser oscillators to an ACF in a region where a junction terminal is formed. And a bonding method.

본 발명의 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치는 이방 도전성 필름을 이용하여 대면적 디스플레이 기판과 구동 드라이버 기판을 접합하기 위한 레이저 본딩장치에 있어서, 복수의 레이저 발진기를 포함하는 레이저 조사부; 상기 대면적 디스플레이 기판을 고정하기 위한 지그부; 및 상기 대면적 디스플레이 기판, 이방 도전성 필름 및 구동 드라이버 기판을 정렬하기 위한 모니터링부를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a laser bonding apparatus for a large area display, comprising: a laser irradiation unit for bonding a large area display substrate and a driver driver substrate using an anisotropic conductive film; A jig portion for fixing the large area display substrate; And a monitoring unit for aligning the large area display substrate, the anisotropic conductive film, and the drive driver substrate.

레이저, 빔형성, 모니터링, ACF Laser, Beamforming, Monitoring, ACF

Description

레이저 본딩장치 및 레이저 본딩방법{LASER BONDING APPARATUS AND LASER BONDING METHOD}LASER BONDING APPARATUS AND LASER BONDING METHOD}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치의 구성도,1 is a block diagram of a laser bonding device for a large-area display according to an embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치의 구성도,2 is a block diagram of a laser bonding apparatus for a large-area display according to another embodiment of the present invention,

도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치의 구성도.3 is a block diagram of a laser bonding apparatus for a large-area display according to another embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *

110: 레이저 발진기 120: 빔 형성기110: laser oscillator 120: beam former

130: CCD 카메라 140: ACF130: CCD camera 140: ACF

150: 레이저 전달기 160: 광학계 홀더150: laser transmitter 160: optical system holder

170: 구동 드라이버 기판 180: 대면적 디스플레이 기판170: drive driver substrate 180: large area display substrate

181: 접합부 190: 투명 가압기 181: junction 190: transparent press

본 발명은 레이저를 이용한 본딩장치 및 본딩방법에 관한 것으로, 구체적으로는 이방도전성필름에 레이저를 조사하여 대면적 디스플레이 패널과 구동 드라이버 기판을 본딩하는데 사용되는 레이저 본딩장치 및 본딩방법에 관한 것이다. The present invention relates to a bonding apparatus and a bonding method using a laser, and more particularly, to a laser bonding apparatus and a bonding method used to bond a large area display panel and a driving driver substrate by irradiating a laser to an anisotropic conductive film.

이방 도전성 필름(ACF: Anistropic Conductive Film)은 금속 코팅된 플라스틱 또는 금속입자 등의 전도성 입자를 분산시킨 필름상의 접착제로서, LCD(Liquid Crystal Display) 실장분야에서의 LCD 패널과 연성 회로 기판(FPC:Flexible Printed Circuit) 또는 PCB(Printed Circuit Board)와 연성 회로 기판 등의 전기적 접속에 널리 이용되고 있다. 최근의 LCD 기술의 발전에 따라 ACF는 접속 신뢰성의 향상과 접속 피치(Pitch)의 미세화도 급속하게 진행되고 있고, 그 결과 베어 칩(Bare Chip)을 LCD 패널에 직접 접속하여 실장하는 COG(Chip On Glass) 실장 등이 가능하게 되었다. ACF의 접속원리는 접속할 두 매체 사이에 ACF를 위치시킨 후, 소정의 온도와 압력하에서 가열과 함께 가압을 하면 ACF의 접착제가 용융되고, 분산되어 있는 도전볼이 대치하는 전극 사이를 연결하여 도전성이 얻어지는 한편, 인접하는 전극 사이에는 접착제가 충진되도록 하는 것이다. Anisotropic Conductive Film (ACF) is an adhesive on a film in which conductive particles such as metal-coated plastic or metal particles are dispersed. LCD panels and flexible circuit boards (FPCs) in liquid crystal display (LCD) mounting fields. It is widely used for electrical connection between a printed circuit (PCB) or a printed circuit board (PCB) and a flexible circuit board. With the recent development of LCD technology, ACF is rapidly improving connection reliability and minimizing connection pitch, and as a result, COG (Chip On) in which a bare chip is directly connected to an LCD panel and mounted is mounted. Glass) can be mounted. The connection principle of ACF is to place the ACF between two mediums to be connected, pressurize it with heating under a predetermined temperature and pressure, and melt the adhesive of ACF, and connect the dispersed conductive balls between the electrodes to replace the conductive. On the other hand, the adhesive is filled between the adjacent electrodes.

일반적으로 이방도전성필름을 이용하여 디스플레이와 구동 드라이버 기판을 본딩하는데 필요한 열원으로 핫바(hot bar)를 사용하였다. 핫바를 이용한 열융착 공정 및 장치는 ACF 열융착에 필요한 열을 히터를 사용하여 핫바를 가열하고 조절 하였기 때문에 핫바 전체의 온도를 균일하게 하는 것이 어렵고, 접속 부위 이외에 열소모성이 크므로 열전환 효율이 떨어지며, 핫바의 지속적인 사용시 핫바 표면이 오염되어 재현성 확보가 어려운 문제점이 있다. In general, a hot bar is used as a heat source for bonding a display and a driving driver substrate using an anisotropic conductive film. In the heat fusion process and apparatus using the hot bar, it is difficult to uniformize the temperature of the entire hot bar because it uses the heater to heat and control the heat required for ACF heat fusion. Falling, the hot bar surface is contaminated during continuous use of the hot bar has a problem that it is difficult to secure reproducibility.

이러한 문제를 해결하기 위하여 다른 열원으로 레이저와 레이저가 투과할 수 있는 투명 가압부를 사용하게 되었다. 투명 가압부를 이용하여 ACF를 가압한 후, 레이저를 조사하여 디스플레이 패널과 구동 드라이버 기판을 본딩하였다. In order to solve this problem, a laser and a transparent pressing unit through which the laser penetrates to other heat sources are used. After pressurizing the ACF using the transparent pressing unit, the laser was irradiated to bond the display panel and the driving driver substrate.

그러나, 이러한 종래의 레이저 본딩장치의 레이저 조사장치는 디스플레이 패널과 구동 드라이버 기판이 본딩되어야 할 접합부에 형성된 접합단자뿐만 아니라 배선이 형성되지 않는 영역을 포함한 전 영역을 조사하게 된다. 따라서, 불필요한 영역에도 조사함에 따른 공정시간이 추가되고, 특히, 최근에 생산되고 있는 40인치 이상의 대형 디스플레이에 적용할 경우, 생산성에 막대한 악영향을 미친다는 단점이 있다. However, the laser irradiation apparatus of the conventional laser bonding apparatus irradiates the entire region including not only the junction terminal formed at the junction where the display panel and the driver driver substrate are to be bonded but also the region where no wiring is formed. Therefore, processing time is added to irradiate unnecessary areas, and in particular, when applied to a large display of 40 inches or more, which is recently produced, there is a disadvantage in that the productivity is adversely affected.

본 발명은 복수의 레이저 발진기를 이용하여 형성한 레이저 빔을 접합단자가 형성된 영역의 ACF에 조사함으로써, 불필요한 레이저 소스와 광학계에 소요되는 비용을 줄이고 생산성을 극대화할 수 있는 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치 및 본딩방법을 제공함에 목적이 있다. The present invention provides a laser bonding device for a large-area display that can reduce the cost of unnecessary laser sources and optical systems and maximize productivity by irradiating a laser beam formed by using a plurality of laser oscillators to an ACF in a region where a junction terminal is formed. And a bonding method.

본 발명의 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치는 이방 도전성 필름을 이용하여 대면적 디스플레이 기판과 구동 드라이버 기판을 접합하기 위한 레이저 본딩장치에 있어서, 복수의 레이저 발진기를 포함하는 레이저 조사부; 상기 대면적 디스플레이 기판을 고정하기 위한 지그부; 및 상기 대면적 디스플레이 기판, 이방 도전성 필름 및 구동 드라이버 기판을 정렬하기 위한 모니터링부를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a laser bonding apparatus for a large area display, comprising: a laser irradiation unit for bonding a large area display substrate and a driver driver substrate using an anisotropic conductive film; A jig portion for fixing the large area display substrate; And a monitoring unit for aligning the large area display substrate, the anisotropic conductive film, and the drive driver substrate.

본 발명의 대면적 디스플레이용 레이저 본딩방법은 이방 도전성 필름을 이용하여 대면적 디스플레이 기판과 구동 드라이버 기판을 접합하는 방법에 있어서, 상기 대면적 디스플레이 기판, 이방 도전성 필름 및 구동 드라이버 기판을 정렬하여 접합부를 형성하는 단계; 상기 구동 드라이버 기판의 상부에서 상기 구동드라이버 기판을 가압하는 단계; 및 복수의 레이저 발진기로부터 출력된 레이저를 상기 접합부에 조사하는 단계를 포함한다.The laser bonding method for a large area display of the present invention is a method of bonding a large area display substrate and a driver driver substrate using an anisotropic conductive film, wherein the large area display substrate, the anisotropic conductive film and the driver driver substrate are aligned to form a bonding portion. Forming; Pressing the driving driver substrate on the driving driver substrate; And irradiating the joints with lasers output from a plurality of laser oscillators.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the specification and claims should not be construed as having a conventional or dictionary meaning, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to best explain their own invention. Based on the principle that can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 1은 본 발명에 따른 대면적 디스플레이용 레이저 본딩장치의 구성도로서,레이저 조사부와 대면적 디스플레이 기판을 고정하기 위한 지그부로 이루어져 있다.1 is a configuration diagram of a laser bonding apparatus for a large area display according to the present invention, and comprises a jig portion for fixing a laser irradiation part and a large area display substrate.

본 발명에 따른 레이저 조사부는 복수의 레이저를 출력하기 위한 복수의 레이저 발진기(110)와 복수의 레이저를 소정의 크기와 형태로 변환된 단일 레이저 빔으로 출력하기 위한 빔 형성기(120)로 이루어져 있으며, 빔 형성기(120)내에는 ACF(140)에 조사하기 위하여 렌즈로 이루어진 광학계(도시안됨)를 포함한다.The laser irradiator according to the present invention includes a plurality of laser oscillators 110 for outputting a plurality of lasers and a beam former 120 for outputting the plurality of lasers into a single laser beam converted into a predetermined size and shape. The beam former 120 includes an optical system (not shown) made of a lens for irradiating the ACF 140.

본 발명에 따른 레이저 발진기(110)는 적외선 파장대의 다이오드 레이저나 Nd:YAG 레이저를 사용할 수 있으며, 레이저 발진기(110)의 출력단에는 감쇄기(도시안됨)를 구비하고 있어, 소정 세기의 레이저 빔을 출력할 수 있다. 빔 형성기(120)는 복수의 레이저 발진기로부터 출력되는 복수의 레이저 빔의 크기 및 형태를 변환하는데, 일예로, 수십 mm의 길이와 수 mm의 폭을 갖는 라인 형태의 단일 레이저 빔으로 변환할 수 있다. 빔 형성기(120)에 포함된 광학계는 렌즈들로 구성되어 있어, 빔 형성기(120)에서 라인 형태로 변환된 레이저를 접합부(181)에 조사하기 위하여 초점을 조절하는 역할을 한다. 한편, 접합부(181)는 접합단자가 형성된 대면적 디스플레이 기판, ACF(140) 및 구동 드라이버 기판으로 적층되어 있다. 또한, 레이저 조사부는 복수의 레이저 발진기(110)로부터 출력된 레이저를 빔 형성기(120)까지 전달하기 위하여 광섬유 또는 거울을 포함한 레이저 전달기(150)와 광학계 홀더(160)를 포함한다. The laser oscillator 110 according to the present invention may use a diode laser or an Nd: YAG laser in the infrared wavelength band, and an attenuator (not shown) is provided at the output end of the laser oscillator 110 to output a laser beam of a predetermined intensity. can do. The beam former 120 converts the size and shape of the plurality of laser beams output from the plurality of laser oscillators. For example, the beam shaper 120 may convert a single laser beam of a line shape having a length of several tens of mm and a width of several mm. . The optical system included in the beam former 120 is composed of lenses, and serves to adjust the focus to irradiate the junction portion 181 with the laser converted into a line shape in the beam former 120. On the other hand, the junction part 181 is laminated | stacked by the large area display substrate in which the junction terminal was formed, the ACF 140, and the drive driver substrate. In addition, the laser irradiator includes a laser transmitter 150 including an optical fiber or a mirror and an optical system holder 160 to transfer the laser output from the plurality of laser oscillators 110 to the beam former 120.

광학계 홀더(160)는 레이저 전달기(150)를 통하여 빔 형성기(120)와 빔 형성기 내에 위치한 광학계까지 전달된 레이저를 흔들림 없이 안정적으로 조사하면서, 레이저의 조사위치를 변경할 수 있다. 빔 형성기(120)와 광학계는 대면적 디스플레이 기판의 접합부(181)에 대응하는 영역상에 광학계 홀더(160)에 장착된다. 따라서, 접합부(181)가 형성되지 않은 영역에는 빔 형성기(120)와 광학계를 설치할 필요가 없어 고가의 레이저 조사부를 설치하는데 소요되는 비용을 절약할 수 있다. The optical system holder 160 may change the irradiation position of the laser while stably irradiating the laser transmitted to the beam former 120 and the optical system positioned in the beam former through the laser transmitter 150 without shaking. The beam former 120 and the optical system are mounted to the optical system holder 160 on an area corresponding to the junction 181 of the large area display substrate. Therefore, it is not necessary to install the beam former 120 and the optical system in the region where the junction part 181 is not formed, thereby saving the cost of installing the expensive laser irradiation part.

구동장치(도시안됨)는 빔 형성기(120)가 광학계 홀더(160) 상에서 이동할 수 있도록 함으로써, 본딩하고자 하는 접합부에 레이저 빔을 조사할 수 있는 역할을 한다. 제어기(도시안됨)는 레이저의 크기에 따라 구동장치(도시안됨)와 함께 조사 방식을 결정한다. 일예로, 레이저의 크기가 스폿 또는 라인 형태일 경우, 구동장치는 빔 형성기(102)로부터 출력된 레이저 빔을 광학계 홀더(160) 상에서 한 방향으로 움직이는 스캔방식으로 조사함으로써, 대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)을 접합할 수 있다. 반면, 직사각형 형태의 레이저를 조사할 경우, 구동장치에 의하여 광학계 홀더상에서 이동하는 빔 형성기(120)로부터 출력되는 레이저 빔은 제어기(도시안됨)에 의하여 소정의 시간 간격을 갖고 시료에 조사됨으로써, 이른바 블럭샷의 방식으로 기판을 접합할 수 있다.The driving device (not shown) serves to irradiate a laser beam to the bonding portion to be bonded by allowing the beam former 120 to move on the optical system holder 160. The controller (not shown) determines the irradiation method with the driving device (not shown) according to the size of the laser. For example, when the size of the laser is in the form of a spot or a line, the driving apparatus irradiates the laser beam output from the beam former 102 in a scanning manner moving in one direction on the optical system holder 160, thereby providing a large-area display substrate 180. ) And the driving driver substrate 170 may be bonded to each other. On the other hand, when irradiating a rectangular laser, the laser beam output from the beam former 120 moving on the optical system holder by the driving device is irradiated onto the sample at a predetermined time interval by the controller (not shown), so-called The substrate can be bonded in a block shot manner.

본 발명의 실시예에 따르면, 광학계를 이용하여 레이저를 ACF(140)에 조사할 수 있다. 조사된 Laser는 ACF(140)의 온도를 상승시키는 역할을 하고, ACF(140)가 일정 온도 이상이 되면 그 특성상 경화되게 된다. 이때 일정한 온도까지 상승하는것과 열경화성 접착제인 ACF(140)의 용융 및 경화에 필요한 시간의 제어는 레이저 빔의 출력을 정밀하게 조절할 수 있는 제어기를 통해 이루어진다.According to an embodiment of the present invention, the laser may be irradiated to the ACF 140 using an optical system. The irradiated laser serves to raise the temperature of the ACF 140, and when the ACF 140 becomes above a predetermined temperature, it is cured due to its characteristics. At this time, the control of the time required for melting and curing of the ACF 140, which is raised to a constant temperature and the thermosetting adhesive, is made through a controller capable of precisely adjusting the output of the laser beam.

대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)에는 전기적으로 접속하기 위한 도전성 범프가 각각 형성되어 있다. 투명 가압기(190)는 도전성 범프 사이에 ACF(140)를 위치시킨 후 지그부를 이용하여 고정한다. 이때, 대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)에 형성된 범프는 접속이 이루어지도록 정확하게 위치의 정렬이 필요하므로 기판의 양단에 설치된 CCD 카메라(130)를 포함하는 모니터링부를 이용한다.Conductive bumps for electrically connecting the large-area display substrate 180 and the driver driver substrate 170 are respectively formed. The transparent presser 190 positions the ACF 140 between the conductive bumps and then fixes the ACF 140 using the jig part. In this case, since the bumps formed on the large-area display substrate 180 and the driving driver substrate 170 need to be precisely aligned so that the connection is made, the monitoring unit including the CCD camera 130 installed at both ends of the substrate is used.

본 발명에 따른 지그부는 한변의 길이가 수백 mm 내지 수천 mm의 대면적 디스플레이 기판(180)에 ACF(140)와 구동 드라이버 기판(170)을 적층하기 위한 베이스와, 구동 드라이버 기판의 상부를 소정의 압력을 가하면서, 조사되는 레이저가 투과할 수 있도록 하기 위한 투명 가압기(190)를 포함한다. 레이저를 조사하면서, 기판을 가압하면 양측 범프는 ACF(140)의 도전볼에 의해 일방향으로 전기적으로 접속됨과 아울러 범프 사이에는 ACF(140)의 접착제가 충진되어 기판을 접착시킨다. The jig unit according to the present invention has a base for stacking the ACF 140 and the driver driver substrate 170 on a large area display substrate 180 having a length of several hundred mm to several thousand mm, and the upper part of the driver driver substrate. While applying pressure, it comprises a transparent pressurizer 190 for allowing the laser to be transmitted. When the substrate is pressed while irradiating the laser, both bumps are electrically connected in one direction by the conductive balls of the ACF 140, and the adhesive of the ACF 140 is filled between the bumps to adhere the substrates.

또한, 본 발명에 따른 지그부는 복수개를 구비하여, 복수의 대면적 디스플레이 기판(180)을 로딩할 수 있다. 광학계 홀더(160)에 장착된 레이저 조사장치는 로딩된 복수의 대면적 디스플레이 기판(180)에 레이저를 조사함으로써, 본딩작업을 수행하게 되는데, 본딩이 완료되면 구동장치(도시안됨)에 의하여 다음 지그부에 고정된 대면적 디스플레이 기판(180)으로 이동한다. 레이저 조사부가 다음 본딩을 위 하여 레이저를 조사하는 동안, 앞서 본딩작업이 완료된 대면적 디스플레이 기판(180)은 로봇암(도시안됨)에 의하여 언로딩 되고 다른 대면적 디스플레이 기판(180)을 지그부에 로딩하게 된다. 로딩이 되면, 대면적 디스플레이 기판상에 ACF(140) 및 구동 드라이버 기판(170)이 적층된다. 적층된 기판은 CCD 카메라(130)를 포함하는 모니터링부에 의하여 정렬되고 이 후, 투명 가압기(190)에 의하여 가압처리되어 대기하게 된다. 따라서, 복수의 지그부를 사용할 경우, 대면적 디스플레이 기판(180)의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간에 레이저 조사부는 다른 기판에 레이저를 조사하여 본딩작업을 수행할 수 있다. 즉, 연속적인 대면적 디스플레이 기판(180)의 연속적인 본딩처리가 가능하여 생산량 향상을 기대할 수 있다. In addition, a plurality of jig parts according to the present invention may be provided to load a plurality of large area display substrates 180. The laser irradiation apparatus mounted on the optical system holder 160 performs a bonding operation by irradiating a laser onto a plurality of loaded large-area display substrates 180. When bonding is completed, the next jig is driven by a driving device (not shown). It moves to the large area display substrate 180 fixed to the part. While the laser irradiation unit irradiates the laser for the next bonding, the large-area display substrate 180 previously bonded is unloaded by the robot arm (not shown) and the other large-area display substrate 180 is attached to the jig portion. Will load. When loaded, the ACF 140 and drive driver substrate 170 are stacked on a large area display substrate. The stacked substrates are aligned by a monitoring unit including the CCD camera 130, and then pressurized by the transparent presser 190 to stand by. Therefore, when using a plurality of jig portion, the laser irradiation unit may perform a bonding operation by irradiating a laser to another substrate at a time required for loading and unloading the large area display substrate 180. That is, the continuous bonding process of the continuous large-area display substrate 180 is possible, and thus the yield can be expected to be improved.

본 발명에 따른 레이저 조사부와 지그부는 조작패널부(도시안됨)과 연결되어, 키패드를 이용하여 레이저 본딩장치의 각 구성을 제어할 수 있다. 일예로 키패드를 통해 입력된 값으로 작업 공정의 각 변수(레이저 파장이나 세기, 조사방식, 조사시간, 압력 등)를 설정할 수 있다. 그리고 조작패널부에는 디스플레이가 구비되어 있어, CCD 카메라(130)를 통하여 입력된 영상을 확인하면서 기판을 더욱 정밀하게 정렬할 수 있다. The laser irradiator and the jig unit according to the present invention may be connected to an operation panel unit (not shown) to control each component of the laser bonding apparatus using a keypad. For example, each variable (laser wavelength or intensity, irradiation method, irradiation time, pressure, etc.) of a work process may be set using a value input through a keypad. And the display panel is provided with the operation, it is possible to align the substrate more precisely while checking the image input through the CCD camera 130.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 본딩 장치의 구성도이다.2 is a block diagram of a laser bonding apparatus according to another embodiment of the present invention.

복수의 지그부 중 한 곳에 대면적 디스플레이 기판(180)이 로딩되면, 접합 단자가 형성된 대면적 디스플레이 기판의 일 측면상에 ACF(140)를 올려 놓은 후, 다시 구동 드라이버 기판(170)을 위치시킨다. 이때, 대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)에 형성된 범프는 서로 접속이 이루어지도록 정확하게 위치의 정렬이 필요하므로 기판의 양단에 설치된 CCD 카메라(130)를 포함하는 모니터링부를 이용한다. 정렬이 완료되면 투명 가압기(190)를 이용하여 구동 드라이버 기판(170)을 소정의 압력으로 가압하고, 복수의 레이저 발진기(110)에서 복수의 레이저가 출력된다. 출력된 복수의 레이저는 광섬유 혹은 거울로 구성된 레이저 전달기(150)를 통하여 광학계(도시안됨)를 포함하는 빔 형성기(120)로 전송된다. 복수의 레이저는 빔 형성기(120)들에 의하여 라인 형태의 단일 레이저 빔(210)으로 변환된 후 기판의 접합부(181)에 조사된다. 이때, 레이저 발진기(110), 빔 형성기(120) 및 광학계는 복수로 준비하여 대면적 디스플레이 기판(180)의 일측면에 형성된 길이방향의 모든 접합부(181)에 한차례 조사를 통하여 본딩작업이 완료될 수 있도록 한다. 그리고, 한 쪽 지그부에서 본딩 작업이 실시되는 동안 다른 지그부에서는 대면적 디스플레이 기판(180)을 로딩/언로딩 한 후, ACF(140)를 올려놓는 작업 및 CCD(130)를 이용한 정렬작업 등을 미리 수행함으로써, 본딩작업을 대기한다.When the large area display substrate 180 is loaded in one of the plurality of jig parts, the ACF 140 is placed on one side of the large area display substrate on which the junction terminal is formed, and then the driving driver substrate 170 is placed again. . In this case, since the bumps formed on the large-area display substrate 180 and the driving driver substrate 170 need to be aligned precisely to be connected to each other, the monitoring unit including the CCD camera 130 installed at both ends of the substrate is used. When the alignment is completed, the driving driver substrate 170 is pressed to a predetermined pressure using the transparent pressurizer 190, and a plurality of lasers are output from the plurality of laser oscillators 110. The output plurality of lasers are transmitted to the beam former 120 including the optical system (not shown) through the laser transmitter 150 composed of an optical fiber or a mirror. The plurality of lasers are converted into a single laser beam 210 in the form of lines by the beam formers 120 and then irradiated to the junction 181 of the substrate. In this case, the laser oscillator 110, the beam former 120, and the optical system are prepared in plural and the bonding operation may be completed through one irradiation on all the joints 181 in the longitudinal direction formed on one side of the large-area display substrate 180. To be able. In addition, while the bonding operation is performed in one jig part, the other jig part loads / unloads the large-area display substrate 180 and then loads the ACF 140 and aligns the CCD 130. By performing in advance, the bonding operation is awaited.

도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레이저 본딩 장치의 구성도이다.3 is a block diagram of a laser bonding apparatus according to another embodiment of the present invention.

먼저, 복수의 지그부 중 한 곳에 대면적 디스플레이 기판(180)이 로딩된 후, 접합 단자가 형성된 대면적 디스플레이 기판의 일 측면상에 ACF(140)를 올려 놓은 후, 다시 구동 드라이버 기판(170)을 위치시킨다. 이때, 대면적 디스플레이 기판(180)과 구동 드라이버 기판(170)에 형성된 범프는 서로 접속이 이루어지도록 정확하게 위치의 정렬이 필요하므로 기판의 양단에 설치된 CCD 카메라(130)를 포함하 는 모니터링부를 이용한다. 정렬이 완료되면 투명 가압기(190)를 이용하여 구동 드라이버 기판(170)을 소정의 압력으로 가압하고, 복수의 레이저 발진기(110)에서 복수의 레이저가 출력된다. 출력된 복수의 레이저는 광섬유 혹은 거울로 구성된 레이저 전달기(150)를 통하여 광학계(도시안됨)를 포함하는 빔 형성기(120)로 전송된다. 복수의 레이저는 빔 형성기(120)에서 라인 형태의 레이저 빔(310)으로 변환된 후 기판에 형성된 복수의 접합부(181)중 어느 하나에 조사된다. 이 때, 접합부(181) 하나의 크기에 대응하는 라인 형태의 레이저 빔(310)을 생성할 수 있는 출력을 가지도록 레이저 발진기(110)의 갯수를 선택하고, 빔 형성기(120) 및 광학계도 접합부(181) 하나에 대응하도록 사전 설계되어 있어야 한다. 접합 방법은 다음과 같다. 우선 생성된 라인 형태의 빔을 접합부(181) 하나에 조사하여 접합을 시킨다. 그 다음, 빔 형성기(120)를 광학계 홀더(160)상에서 이동시켜 다음 접합부(181)에 레이저가 조사될수 있도록 한 후, 레이저를 조사하여 접합시킨다. 이와 같이 모든 접합부(181)에 순차적으로 레이저 빔을 조사하여 모든 접합부(181)를 접합시킨다. 그리고, 한 쪽 지그부에서 본딩 작업이 실시되는 동안 다른 지그부에서는 대면적 디스플레이 기판(180)을 로딩/언로딩 한 후, ACF(140)를 올려놓는 작업 및 CCD(130)를 이용한 정렬작업 등을 미리 수행함으로써, 본딩작업을 대기한다.First, after the large area display substrate 180 is loaded in one of the plurality of jig parts, the ACF 140 is placed on one side of the large area display substrate on which the junction terminal is formed, and then the driving driver substrate 170 is again. Locate it. In this case, since the bumps formed on the large-area display substrate 180 and the driving driver substrate 170 need to be aligned precisely to be connected to each other, the monitoring unit including the CCD camera 130 installed at both ends of the substrate is used. When the alignment is completed, the driving driver substrate 170 is pressed to a predetermined pressure using the transparent pressurizer 190, and a plurality of lasers are output from the plurality of laser oscillators 110. The output plurality of lasers are transmitted to the beam former 120 including the optical system (not shown) through the laser transmitter 150 composed of an optical fiber or a mirror. The plurality of lasers are converted into a line-shaped laser beam 310 by the beam former 120 and then irradiated to any one of the plurality of junctions 181 formed on the substrate. At this time, the number of the laser oscillator 110 is selected to have an output capable of generating the laser beam 310 of a line shape corresponding to the size of one junction portion 181, and the beam former 120 and the optical system are also joined. (181) Predesigned to correspond with one. The joining method is as follows. First, a beam in the form of a line is irradiated onto one of the joints 181 to be bonded. Then, the beam former 120 is moved on the optical system holder 160 so that a laser can be irradiated to the next junction 181, and then irradiated and bonded to the laser. In this way, all the bonding portions 181 are sequentially irradiated with a laser beam to bond all the bonding portions 181. In addition, while the bonding operation is performed in one jig part, the other jig part loads / unloads the large-area display substrate 180 and then loads the ACF 140 and aligns the CCD 130. By performing in advance, the bonding operation is awaited.

본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상부한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양 한 변경과 수정이 가능할 것이다.Although the present invention has been shown and described with reference to the preferred embodiments as described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible.

본 발명의 레이저 조사장치는 레이저 발진기에서 출력되는 레이저의 에너지 손실없이 시료를 가공처리 할 수 있는 장점이 있다. 따라서, 시료의 가공시간과 고출력의 레이저 발진기의 추가 설비비용을 절약할 수 있어 제품의 생산성 향상 및 생산되는 제품의 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.The laser irradiation apparatus of the present invention has an advantage of processing a sample without energy loss of the laser output from the laser oscillator. Therefore, it is possible to save the processing time of the sample and the additional equipment cost of the high power laser oscillator, thereby improving the productivity of the product and lowering the unit cost of the produced product.

Claims (10)

디스플레이 기판 및 상기 디스플레이 기판의 일변에 전기적으로 연결되는 복수의 구동 드라이버 기판들, 그리고 상기 디스플레이 기판 및 상기 구동 드라이버 기판들을 전기적으로 각각 연결하는 복수의 이방성 도전필름들을 고정하기 위한 지그부;A jig part for fixing a display substrate and a plurality of driving driver substrates electrically connected to one side of the display substrate, and a plurality of anisotropic conductive films electrically connecting the display substrate and the driving driver substrates, respectively; 복수의 레이저 발진기들; 및A plurality of laser oscillators; And 상기 복수의 레이저 발진기들로부터 출력된 각각의 레이저가 입력되며, 입력된 레이저들을 단일 레이저 빔으로 변환하여 각각의 상기 이방성 도전필름에 조사함으로써 상기 이방성 도전필름을 가열하는 하나 이상의 빔 형성기를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 본딩장치.Each laser output from the plurality of laser oscillators is input, and converting the input lasers into a single laser beam and irradiating each of the anisotropic conductive films to include one or more beam formers for heating the anisotropic conductive film. Laser bonding apparatus characterized in that. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단일 레이저 빔은 상기 이방성 도전필름의 크기에 대응되는 라인 형태인 것을 특징으로 하는 레이저 본딩장치.The single laser beam is a laser bonding apparatus, characterized in that the line shape corresponding to the size of the anisotropic conductive film. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 장치는 상기 지그부 상에 고정된 상기 디스플레이 기판의 상기 일변과 대체로 나란하게 배치되어 복수의 빔 형성기들이 장착되는 광학계 홀더를 더 포함하며,The apparatus further includes an optical system holder, arranged substantially parallel to the one side of the display substrate fixed on the jig portion, to which a plurality of beam formers are mounted, 상기 빔 형성기들은 상기 광학계 홀더를 따라 상기 일변과 대체로 나란하게 이동가능한 것을 특징으로 하는 레이저 본딩장치.And the beam formers are movable in parallel with the one side along the optical system holder. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 장치는 상기 디스플레이 기판 및 이방성 도전필름, 구동 드라이버 기판의 정렬상태를 모니터링하기 위한 모니터링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 본딩장치.The apparatus further comprises a monitoring unit for monitoring the alignment of the display substrate, the anisotropic conductive film, the driving driver substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지그부는,The jig portion, 상기 디스플레이 기판, 이방 도전성 필름 및 구동 드라이버 기판을 적치시키기 위한 베이스; 및A base for depositing the display substrate, the anisotropic conductive film and the drive driver substrate; And 상기 구동 드라이버 기판 상부에서 상기 구동 드라이버 기판을 가압하기 위한 투명 가압기를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 본딩장치.And a transparent pressurizer for pressing the driving driver substrate on the driving driver substrate. 제1 및 제2 디스플레이 기판, 서로 나란하게 배치된 상기 제1 및 제2 디스플레이 기판의 일변에 전기적으로 연결되는 복수의 제1 및 제2 구동 드라이버 기판들, 그리고 상기 제1 및 제2 디스플레이 기판과 상기 제1 및 제2 구동 드라이버 기판들을 전기적으로 각각 연결하는 복수의 제1 및 제2 이방성 도전필름들을 고정하기 위한 지그부;First and second display substrates, a plurality of first and second drive driver substrates electrically connected to one side of the first and second display substrates disposed in parallel with each other, and the first and second display substrates; A jig part for fixing a plurality of first and second anisotropic conductive films electrically connecting the first and second drive driver substrates to each other; 복수의 레이저 발진기들; 및A plurality of laser oscillators; And 상기 레이저 발진기들로부터 출력된 각각의 레이저가 입력되며, 입력된 레이저들을 단일 레이저 빔으로 변환하여 각각의 상기 이방성 도전필름에 조사함으로써 상기 이방성 도전필름을 가열하는 복수의 빔 형성기들;A plurality of beam formers for inputting respective lasers output from the laser oscillators to heat the anisotropic conductive film by converting the input lasers into a single laser beam and irradiating the respective anisotropic conductive films; 상기 지그부 상에 고정된 상기 제1 및 제2 디스플레이 기판들의 일변과 대체로 나란하게 배치되어 상기 빔 형성기들이 장착되는 광학계 홀더를 더 포함하며,It further comprises an optical system holder which is disposed substantially parallel to one side of the first and second display substrates fixed on the jig portion to which the beam formers are mounted. 상기 빔 형성기들은 상기 광학계 홀더를 따라 이동하여 상기 제1 디스플레이 기판의 상부위치 또는 상기 제2 디스플레이 기판의 상부위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 본딩장치.And the beam formers move along the optical system holder and disposed at an upper position of the first display substrate or an upper position of the second display substrate. 이방성 도전필름을 이용하여 디스플레이 기판 및 상기 디스플레이 기판의 일변에 전기적으로 연결되는 복수의 구동 드라이버 기판들을 전기적으로 각각 연결하는 레이저 본딩방법에 있어서,A laser bonding method for electrically connecting a display substrate and a plurality of drive driver substrates electrically connected to one side of the display substrate using an anisotropic conductive film, 상기 디스플레이 기판, 이방성 도전필름 및 구동 드라이버 기판을 정렬하여 복수의 접합부들을 형성하는 단계;Arranging the display substrate, the anisotropic conductive film, and the driving driver substrate to form a plurality of junctions; 복수의 레이저 발진기로부터 출력된 각각의 레이저를 단일 레이저 빔으로 변환하여 상기 이방성 도전필름에 조사함으로써 상기 이방성 도전필름을 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 본딩방법.And heating the anisotropic conductive film by converting each laser output from a plurality of laser oscillators into a single laser beam and irradiating the anisotropic conductive film. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 방법은 상기 구동 드라이버 기판의 상부에서 상기 구동드라이버 기판을 가압하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 본딩방법.And the method further comprises pressing the drive driver substrate on top of the drive driver substrate. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 단일 레이저 빔은 상기 이방성 도전필름의 크기에 대응되는 라인 형태인 것을 특징으로 하는 레이저 본딩방법.The single laser beam is a laser bonding method, characterized in that the line shape corresponding to the size of the anisotropic conductive film. 제1항 또는 제6항에 있어서,The method according to claim 1 or 6, 상기 장치는 상기 레이저 발진기들로부터 출력된 각각의 레이저의 경로를 빔 형성기로 유도하는 레이저 전달기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 본딩장치.The apparatus further comprises a laser transmitter for guiding a path of each laser output from the laser oscillators to a beam former.
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