KR100878011B1 - 약액 공급 장치 - Google Patents

약액 공급 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100878011B1
KR100878011B1 KR1020070077839A KR20070077839A KR100878011B1 KR 100878011 B1 KR100878011 B1 KR 100878011B1 KR 1020070077839 A KR1020070077839 A KR 1020070077839A KR 20070077839 A KR20070077839 A KR 20070077839A KR 100878011 B1 KR100878011 B1 KR 100878011B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chemical liquid
mixing tanks
concentration
chemical
tank
Prior art date
Application number
KR1020070077839A
Other languages
English (en)
Inventor
김주원
정평순
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020070077839A priority Critical patent/KR100878011B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100878011B1 publication Critical patent/KR100878011B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/40—Mixing liquids with liquids; Emulsifying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/80—Mixing plants; Combinations of mixers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는, 다수의 약액이 공급되어 혼합이 이루어지는 둘 이상의 혼합 탱크, 상기 혼합 탱크들의 약액을 순환시키는 순환부, 상기 혼합 탱크들의 약액을 공정 처리 장치에 공급하는 공급부, 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리된 약액을 상기 혼합 탱크들로 회수하는 회수부, 및 상기 혼합 탱크들로부터 소정의 약액 조건에 부합하는 약액을 임시 저장하는 버퍼 탱크를 포함하며, 상기 혼합 탱크들 중 어느 하나의 혼합 탱크에서 상기 약액 조건을 만족시킨 후 상기 버퍼 탱크로 약액을 공급하는 동안 다른 혼합 탱크들로 약액이 회수된다. 본 발명에 의하면, 공정 처리 후 회수된 약액의 정확한 농도 보정이 가능함으로써, 반도체 공정 처리 장치에 약액을 안정적으로 재활용할 수 있으며, 공정 불량 발생을 방지할 수 있다.
약액, 회수, 농도, 보정, 버퍼

Description

약액 공급 장치{CHEMICAL SUPPLY APPARATUS}
본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정 처리 후 회수된 약액의 정확한 농도 보정이 가능하여 반도체 공정 처리 장치에 약액을 안정적으로 재활용할 수 있는 약액 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 소정의 막을 형성하고, 그 막을 전기적 특성을 갖는 패턴으로 형성함으로써 제조된다. 상기 패턴은 막 형성, 포토리소그래피, 식각, 이온 주입, 연마 등과 같은 단위 공정들의 순차적 또는 반복적인 수행에 의해 형성된다.
이러한 각 공정에 있어서, 약액이 사용될 때에는 별도의 약액 공급 장치를 통해 공정 처리 장치에 약액이 공급된다. 이때, 해당 공정의 조건에 부합하도록 약액이 공급되어야 한다.
도 1은 종래의 약액 공급 장치의 구성을 도시한 개략도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 약액 공급 장치는 제 1 및 제 2 혼합 탱크(11)(12)와, 제 1 및 제 2 혼합 탱크(11)(12)의 약액을 각각 순환시키는 제 1 및 제 2 순환 라인(21)(22)과, 제 1 및 제 2 혼합 탱크(11)(12)의 약액을 공정 처리 장치(1)로 공급하는 공급 라인(30)과, 공정 처리 장치(1)에서 공정 처리된 약액을 회수하여 제 1 및 제 2 혼합 탱크(11)(12)로 재공급하는 회수 탱크(40) 및 회수 라인(50) 등을 구비한다.
상기와 같은 구성을 갖는 종래의 약액 공급 장치는 둘 이상의 약액이 제 1 및 제 2 혼합 탱크(11)(12)에 공급되어 혼합이 이루어진다. 제 1 혼합 탱크(11)는 제 1 순환 라인(21)을 통해 약액을 순환시키며 소정의 약액 조건, 예컨대 약액의 농도 및 온도 조건 등을 만족시킨다. 약액 조건에 부합하는 제 1 혼합 탱크(11)의 약액은 공급 라인(30)을 통해 공정 처리 장치(1)로 공급된다. 이때, 제 1 혼합 탱크(11)로부터 공정 처리 장치(1)에 약액이 공급되는 동안 제 2 혼합 탱크(12)는 제 2 순환 라인(22)을 통해 약액을 순환시키며 약액 조건을 만족시킨다. 공정 처리 장치(1)에서 공정 처리 후 약액은 회수 탱크(40)로 회수되어 저장되며, 회수 탱크(40)에서 약액의 농도 및 온도 보정이 수행된 후 제 1 및 제 2 혼합 탱크(11)(12)로 재공급된다.
그러나, 회수 탱크(40)에서 약액의 농도 보정을 수행하더라도 공정 처리된 약액이 회수 탱크(40)로 계속 회수되면, 회수 탱크(40)로 회수된 약액의 정확한 농도 보정이 불가능하다. 따라서 공정 처리 후 약액의 재활용이 어렵고, 공정 불량이 발생하는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 공정 처리 후 회수된 약액의 정확한 농도 보정이 가능하여 반도체 공정 처리 장치에 약액을 안정적으로 재활용할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는, 다수의 약액이 공급되어 혼합이 이루어지는 둘 이상의 혼합 탱크, 상기 혼합 탱크들의 약액을 순환시키는 순환부, 상기 혼합 탱크들의 약액을 공정 처리 장치에 공급하는 공급부, 상기 공정 처리 장치에서 공정 처리된 약액을 상기 혼합 탱크들로 회수하는 회수부, 및 상기 혼합 탱크들로부터 소정의 약액 조건에 부합하는 약액을 임시 저장하는 버퍼 탱크를 포함하며, 상기 혼합 탱크들 중 어느 하나의 혼합 탱크에서 상기 약액 조건을 만족시킨 후 상기 버퍼 탱크로 약액을 공급하는 동안 다른 혼합 탱크들로 약액이 회수된다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 약액 공급 장치램프 어셈블리에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
첫째, 공정 처리 후 회수된 약액의 정확한 농도 보정이 가능함으로써, 반도체 공정 처리 장치에 약액을 안정적으로 재활용할 수 있으며, 공정 불량 발생을 방지할 수 있다.
둘째, 약액을 안정적으로 재활용함으로써, 사용하는 약액의 소모량을 줄일 수 있으며, 환경 오염도 최소화할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 약액 공급 장치를 상세히 설명하기로 한다. 참고로 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 구성을 도시한 개략도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 혼합 탱크(100), 순환부(200), 공급부(300), 회수부(400) 및 버퍼 탱크(500) 등을 구비한다.
상기 혼합 탱크(100)는 다수의 약액이 공급되어 혼합이 이루어지며, 두 개 이상 구비된다. 이하, 본 발명을 설명하는데 있어서 이해를 돕기 위해 혼합 탱크(100)는 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)로 구성된 것을 예시하여 설명한다.
상기 순환부(200)는 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)의 약액을 각각 순환시키는 제 1 및 제 2 순환 라인(210)(220) 등을 구비하며, 각각의 순환 라인(210)(220) 상에는 적어도 하나 이상의 펌프 및 밸브가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 공급부(300)는 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)의 약액을 공정 처리 장치(1)에 공급하도록 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)와 공정 처리 장치(1)를 연결하는 공급 라인(310) 등을 구비한다. 상기 공급 라인(310)은 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)와 후술하는 버퍼 탱크(500)를 1차로 연결하는 제 1 공급 라인(311)과, 버퍼 탱크(500)와 공정 처리 장치(1)를 2차로 연결하는 제 2 공급 라인(312)으로 구성된다. 공급 라인(310) 상에는 적어도 하나 이상의 펌프 및 밸브가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 회수부(400)는 공정 처리 장치(1)에서 공정 처리된 약액을 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)로 회수하도록 공정 처리 장치(1)와 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)를 연결하는 회수 라인(410) 등을 구비한다. 회수 라인(410) 상에는 적어도 하나 이상의 펌프 및 밸브가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 버퍼 탱크(500)는 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)로부터 소정의 약액 조건, 예컨대 약액의 농도 및 온도 조건에 부합하는 약액을 임시로 저장한다. 버퍼 탱크(500)는 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)와 공정 처리 장치(1)를 연결하는 공급 라인(310) 상에 적어도 하나 이상 설치된다. 버퍼 탱크(500)는 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)의 용량을 합친 용량 이상인 것이 바람직하다.
도면에는 도시된 바 없지만, 본 발명은 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)의 약액 농도 및 온도를 체크하기 위한 농도 체크부 및 온도 체크부와, 상기 농도 체크부 및 온도 체크부에 의해 체크된 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)의 약액 농도 및 온도를 보정하기 위한 농도 보정부 및 온도 보정부 등을 구비한다. 상기 농도 체크부 및 온도 체크부는 순환 라인(210)(220) 상에 설치된 농도계 및 온도계를 포함한다. 상기 농도 보정부는 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)의 유입 라인(111)(121) 상에 설치된 유량계 및 밸브 등을 포함하며, 온도 보정부는 순환 라인(210)(220) 상에 설치된 인라인 히터(In-line heater) 등을 포함한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는, 둘 이상의 약액이 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)에 공급되어 혼합이 이루어진다. 제 1 혼합 탱크(110)는 제 1 순환 라인(210)을 통해 약액을 순환시키며 소정의 약액 조건, 예컨대 약액의 농도 및 온도 조건 등을 만족시킨다. 약액 조건에 부합하는 제 1 혼합 탱크(110)의 약액은 제 1 공급 라인(311)을 통해 버퍼 탱크(500)로 공급된다. 이때, 제 1 혼합 탱크(110)로부터 버퍼 탱크(500)로 약액 조건에 부합하는 약액이 공급되는 동안 제 2 혼합 탱크(120)는 제 2 순환 라인(220)을 통해 약액을 순환시키며 약액 조건을 만족시킨다. 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)의 모든 약액이 버퍼 탱크(500)에 공급된 후 제 2 공급 라인(312)을 통해 버퍼 탱크(500)로부터 공정 처리 장치(1)로 약액이 공급되면서 공정이 시작된다.
공정 처리 장치(1)에서 공정 처리 후, 회수 라인(410)을 통해 약액은 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)로 회수되는데, 먼저, 제 1 혼합 탱크(110)의 약액이 일정 수위가 차면 그 다음 제 2 혼합탱크(120)로 회수된다. 제 1 혼합 탱크(110)에서 약액을 순환시키며 약액 농도 보정을 포함한 약액 조건을 만족시킨 후 버퍼 탱크(500)로 약액을 공급하는 동안 제 2 혼합 탱크(120)로 약액이 회수된다. 제 2 혼합 탱크(120)에 회수된 약액도 같은 과정을 수행하게 된다. 따라서, 제 1 혼합 탱크(110)에서 약액의 농도 보정을 수행하여 버퍼 탱크(500)로 공급하는 동안 공정 처리된 약액이 제 1 혼합 탱크(110)의 약액과 섞이지 않고 제 2 혼합 탱크(120)로 회수되도록 함으로써, 공정 처리 후 회수된 약액의 정확한 농도 보정이 가능하다. 제 1 및 제 2 혼합 탱크(110)(120)의 모든 약액이 농도 보정을 포함한 약액 조건을 만족시킨 상태로 버퍼 탱크(500)에 공급된 후 공급 라인(300)을 통해 버퍼 탱크(500)로부터 공정 처리 장치(1)로 약액이 재공급되어 사용된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 종래의 약액 공급 장치의 구성을 도시한 개략도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 구성을 도시한 개략도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 혼합 탱크 110 : 제 1 혼합 탱크
120 : 제 2 혼합 탱크 200 : 순환부
210 : 제 1 순환 라인 220 : 제 2 순환라인
300 : 공급부 310 : 공급 라인
311 : 제 1 공급 라인 312 : 제 2 공급 라인
400 : 회수부 410 : 회수 라인
500 : 버퍼 탱크

Claims (5)

  1. 다수의 약액이 공급되어 혼합이 이루어지는 둘 이상의 혼합 탱크;
    상기 혼합 탱크들의 약액을 순환시키는 순환부;
    상기 혼합 탱크들의 약액을 공정 처리 장치에 공급하는 공급부;
    상기 공정 처리 장치에서 공정 처리된 약액을 상기 혼합 탱크들로 회수하는 회수부; 및
    상기 혼합 탱크들로부터 소정의 약액 조건에 부합하는 약액을 임시 저장하는 버퍼 탱크를 포함하며,
    상기 혼합 탱크들 중 어느 하나의 혼합 탱크에서 상기 약액 조건을 만족시킨 후 상기 버퍼 탱크로 약액을 공급하는 동안 상기 회수부에 의하여 다른 혼합 탱크들로 약액이 회수되며,
    상기 약액을 회수하는 다른 혼합 탱크들은 상기 약액의 농도 및 온도를 체크하여 상기 약액의 농도 및 온도를 보정하는 농도 보정부 및 온도 보정부를 포함하는, 약액 공급 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크는 상기 혼합 탱크들과 상기 공정 처리 장치를 연결하는 공급 라인 상에 적어도 하나 이상 설치된 약액 공급 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크는 상기 혼합 탱크들의 용량을 모두 합친 용량 이상을 가지는 약액 공급 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 혼합 탱크들의 약액 농도를 체크하기 위한 농도 체크부를 더 포함하는 약액 공급장치.
  5. 삭제
KR1020070077839A 2007-08-02 2007-08-02 약액 공급 장치 KR100878011B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070077839A KR100878011B1 (ko) 2007-08-02 2007-08-02 약액 공급 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070077839A KR100878011B1 (ko) 2007-08-02 2007-08-02 약액 공급 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100878011B1 true KR100878011B1 (ko) 2009-01-12

Family

ID=40482458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070077839A KR100878011B1 (ko) 2007-08-02 2007-08-02 약액 공급 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100878011B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140089668A (ko) * 2013-01-04 2014-07-16 세메스 주식회사 사용량을 반영한 약액 혼합 공급 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11126764A (ja) 1997-08-21 1999-05-11 Fujitsu Ltd 薬液供給装置
KR20030046301A (ko) * 2001-12-05 2003-06-12 후지쓰브이엘에스아이가부시키가이샤 약액 공급 장치 및 슬러리의 조합 방법
KR20060021105A (ko) * 2004-09-02 2006-03-07 세메스 주식회사 약액 재생 시스템 및 약액 재생 방법, 그리고 상기시스템을 가지는 기판 처리 설비

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11126764A (ja) 1997-08-21 1999-05-11 Fujitsu Ltd 薬液供給装置
KR20030046301A (ko) * 2001-12-05 2003-06-12 후지쓰브이엘에스아이가부시키가이샤 약액 공급 장치 및 슬러리의 조합 방법
JP2003170034A (ja) * 2001-12-05 2003-06-17 Fujitsu Ltd 薬液供給装置及びスラリーの調合方法
KR20060021105A (ko) * 2004-09-02 2006-03-07 세메스 주식회사 약액 재생 시스템 및 약액 재생 방법, 그리고 상기시스템을 가지는 기판 처리 설비

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140089668A (ko) * 2013-01-04 2014-07-16 세메스 주식회사 사용량을 반영한 약액 혼합 공급 방법
KR102041311B1 (ko) * 2013-01-04 2019-11-07 세메스 주식회사 사용량을 반영한 약액 혼합 공급 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7784998B2 (en) Method for liquid mixing supply
US7157008B2 (en) Apparatus and process for water conditioning
CN111316400A (zh) 基板处理装置、基板处理装置的清洗方法
JP2009141332A (ja) オゾン水混合液供給装置及び方法、並びにこれを具備する基板処理装置
CN103523946B (zh) 一种乳化液废水的预处理方法
TWI663672B (zh) 基板液體處理方法及基板液體處理裝置
CN100486916C (zh) 一种去除废水中氟离子的方法
KR100878011B1 (ko) 약액 공급 장치
CN205662394U (zh) 一种印刷冲版废水循环系统
CN103894072B (zh) 分离膜清洗系统及使用该系统的分离膜清洗方法
JP2001345296A (ja) 薬液供給装置
KR20070019884A (ko) 폐액 처리 시스템 및 그 방법
US20120080387A1 (en) Method for tracking pollution source in process water
JP2006269743A (ja) 薬液処理装置および半導体装置の製造方法
CN109147980A (zh) 一种核设施退役去污处理系统
JP2012178424A (ja) エッチング液濃度管理装置
JP2005070351A (ja) 現像液供給方法及び装置
CN116462257A (zh) 一种工业废水的多重回收控制方法、装置、设备及介质
KR100926159B1 (ko) 약액 공급 장치
CN105274532B (zh) 固体粒子回收去除装置及液体、溶液、蚀刻液的管理装置
JP2007316360A (ja) 水系フォトレジスト剥離液の管理方法および管理装置
US20160368030A1 (en) Liquid chemical supplying system, substrate processing system, and substrate processing method
CN211419701U (zh) 一种循环消毒系统
JP2007042912A (ja) 基板洗浄装置および基板洗浄方法
KR100898045B1 (ko) 기판 처리 장치 및 그의 약액 공급 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130104

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140106

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150105

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151231

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161227

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171221

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191224

Year of fee payment: 12