KR100873292B1 - 소자 격리 특성을 향상시킨 이미지센서 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 이미지센서에 관한 것으로, 특히 각 웰간 및 웰과 포토다이오드간 즉, 소자 격리 특성을 향살시킬 수 있는 이미지센서 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 반도체층; 상기 반도체층에 국부적으로 배치된 트렌치형 필드절연막; 상기 필드절연막의 하부까지 연장되어 상기 트렌치 하부 일측의 프로파일이 전사된 굴곡을 갖도록 상기 반도체층 내부에 확장되어 형성된 제1불순물영역; 및 상기 필드절연막 타측에 접하는 상기 반도체층 내부에 형성되어 상기 제1불순물영역과 상기 필드절연막에 의해 분리된 제2불순물영역을 포함하는 이미지센서를 제공한다.

또한, 본 발명은, 반도체층에 국부적으로 트렌치를 형성하는 단계; 이온주입을 실시하여 상기 트렌치 하부까지 연장되어 상기 트렌치 하부 일측의 프로파일이 전사된 굴곡을 갖도록 상기 반도체층 내에 제1불순물영역을 형성하는 단계; 상기 트렌치를 매립하는 필드절연막을 형성하는 단계; 및 이온주입을 실시하여 상기 필드절연막 타측에 접하는 상기 반도체층 내부에 상기 불순물영역과 상기 필드절연막과 분리되는 제2불순물영역을 형성하는 단계를 포함하는 이미지센서 제조방법을 제공한다.

크로스토크, 격리(Isplation), 웰, 수광소자영역, 주변회로영역, 포토다이오드, 이미지센서.

Description

소자 격리 특성을 향상시킨 이미지센서 및 그 제조 방법{Image sensor with improved isolation property and method thereof}

도 1a 내지 도 1d은 종래기술에 따른 CMOS 이미지센서의 제조 공정도.

도 2는 종래기술에 따른 웰 및 필드절연막 형성 공정 순서를 도시한 플로우챠트.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이미지센서를 도시한 단면도.

도 4는 본 발명에 따른 웰 및 필드절연막 형성 공정 순서를 도시한 플로우챠트.

도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일실시예에 따른 이미지센서 제조 공정을 도시한 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

40 : P+층 41 : P에피층

46 : P웰 47 : 필드절연막

50 : N웰 52 : 포토다이오드

본 발명은 이미지센서에 관한 것으로 특히, 이미지센서 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 고집적 및 광특성을 향상시킬 수 있는 이미지센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 이미지센서라 함은 광학 영상(Optical image)을 전기 신호로 변환시키는 반도체소자로서, 이중 전하결합소자(CCD : Charge Coupled Device)는 개개의 MOS(Metal-Oxide-Silicon) 캐패시터가 서로 매우 근접한 위치에 있으면서 전하 캐리어가 캐패시터에 저장되고 이송되는 소자이며, CMOS(Complementary MOS; 이하 CMOS) 이미지센서는 제어회로(Control circuit) 및 신호처리회로(Signal processing circuit)를 주변회로로 사용하는 CMOS 기술을 이용하여 화소수만큼 MOS트랜지스터를 만들고 이것을 이용하여 차례차례 출력(Output)을 검출하는 스위칭 방식을 채용하는 소자이다.

도 1a 내지 도 1d은 종래기술에 따른 CMOS 이미지센서의 제조 공정도로서, 이를 참조하여 종래의 CMOS 이미지센서 제조 공정을 상세히 살펴본다.

도 1a는 P+기판(10)에 P에피층(11)이 형성된 P형 에피 웨이퍼에 드라이브 트랜지스터(Dx)와 셀렉트 트랜지스터(Sx)가 형성될 P웰을 형성하기 위하여, 포토레지스트 패턴의 P웰 이온주입 마스크(12)를 형성하고 P웰 이온주입(13)을 실시하고 있는 상태를 나타낸다.

여기서, 단위화소 내에는 이러한 2개의 일반적인 서브마이크론 NMOS 트랜지스터(즉, 드라이브 트랜지스터와 셀렉트 트랜지스터) 이외에도 P형 에피층 위에 형성되어야 하는 1개의 저전압 베리드 포토다이오드와 2개의 네이티브 NMOS 트랜지스터(즉, 트랜스퍼 트랜지스터와 리셋 트랜지스터)가 존재하므로 일반적인 서브마이크론 CMOS 공정에서 허용하는 웰 설계규칙(Well Design Rule)을 적용할 수가 없다. 왜냐하면 일반적인 서브마이크론 CMOS 공정에서 허용하는 웰 설계규칙(Well Design Rule)을 따르면 이후 열공정에 의한 웰 형성 도펀트(Dopant)들의 측면 확산(Lateral Diffusion) 때문에 저전압 베리드 포토다이오드와 네이티브 NMOS 트랜지스터들의 전기적인 특성이 열화되기 때문이다.

따라서, 여기서는 저전압 베리드 포토다이오드와 네이티브 NMOS 트랜지스터들의 전기적인 특성이 열화되지 않을 정도의 면적에 P웰 이온주입(13)을 실시한다. 즉, "미니 P-웰 공정"을 실시한다.

한편, 영역 구분을 위해 도시된 b-b'은 수광소자영역을 도시하며, a-a'은 인접하는 수광소자의 P웰이 형성될 영역, c-c'은 N웰이 형성될 주변회로영역을 각각 도시한다.

도 1b는 P웰 이온주입 마스크(12)를 제거한 후, 열공정에 의한 측면 확산을 통해 드라이브 트랜지스터와 셀렉트 트랜지스터를 내포할 수 있도록 P웰(14)을 형성시킨 후, 주변회로영역(c-c')에서의 PMOS 트랜지스터가 형성될 영역에 N웰을 형성하기 위하여, 포토레지스트 패턴의 N웰 이온주입 마스크(15)를 형성하고 N웰 이온주입(16)을 실시하고 있는 상태를 나타낸다.

이어서, 도 1c에 도시된 바와 같이, N웰 이온주입 마스크(15)를 제거한 후, 열공정에 의한 측면 확산을 통해 주변회로영역(c-c')에서의 PMOS 트랜지스터를 내포할 수 있도록 N웰(17)을 형성시킨다.

도 1d는 필드영역과 활성영역(Active Region)을 정의하기 위한 소자분리를 위하여 필드절연막(18)을 형성한 후, 각 트랜지스터의 게이트를 형성한 다음, 저전압 베리드 포토 다이오드의 P0도핑영역과 N-도핑영역을 각각 형성하기 위한 P0이온주입과 N-이온주입을 트랜스퍼 트랜지스터의 게이트 즉, 트랜스퍼 게이트(도시하지 않음)의 일측면에서 자기 정렬되도록 포토다이오드 형성을 위한 이온주입 마스크(19)를 이용한 이온주입 공정을 통해 수광소자영역(b-b')에 포토다이오드(PD)를 형성한다.

전술한 필드절연막(18)은 STI 구조를 그 일예로 하였는 바, 필드절연막(18)을 전술한 STI 이외에 LOCOS(LOCal Oxidation of Silicon)형 등을 사용하는 바, STI의 경우 LOCOS 방법에서의 버즈비크(Bird's beak) 부분만 확장하는 포토다이오드 형태를 취하고 있으며, 고집적화를 위해 LOCOS 방법보다는 STI로 필드절연막(18)을 형성하고 있다.

도 2는 종래기술에 따른 웰 및 필드절연막 형성 공정 순서를 도시한 플로우챠트이다.

한편, 전술한 도 1d 이후의 이미지센서 소자 형성 공정은 주지된 것으로 이하의 공정은 설명을 생략하며, 전술한 도 1d와 도 2를 참조하여 종래기술의 문제점을 살펴본다.

도 2를 참조하면, 전술한 도 1a 내지 도 1d에서 설명된 바와 같이, 먼저 웰을 형성한다(21). 이 때, N웰을 먼저 형성하거나(21a), P웰을 먼저 형성(21b)할 수도 있다. 이어서, 필드절연막을 형성하여 필드영역과 소자가 형성될 활성영역을 분리시킨다(22). 그리고, 포토다이오드 등의 수광소자를 형성한다(23).

그러나, 전술한 도 2의 순서에 의한 문제점은 도 1d에 도시된 'A'와 'B'에서 처럼, 인접영역(a-a')의 P웰(14)과 수광소자영역(b-b')의 포토다이오드(PD) 사이 및 수광소자영역(b-b')의 P웰(14)과 주변회로영역(c-c')의 N웰(17) 사이의 절연특성 악화가 발생한다.

즉, 도면 상에서는 각각의 영역이 분리된 것 처럼 보이지만 실제 소자에서는 'A'와 'B'영역에서 영역 간의 분리가 제대로 이루어지지 않아 크로스토크(Crosstalk) 등의 문제가 발생하며, 특히 포토다이오드(PD)의 전하용량 향상을 위해 그 형성 깊이를 더 깊게하면, 'A'에서의 격리(Isolation) 특성은 더욱 열화될 수 밖에 없으며, 이는 광특성의 저하 및 수율을 떨어뜨리는 원인이 된다.

상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 본 발명은, 각 웰간 및 웰과 포토다이오드간 즉, 소자 격리 특성을 향상시킬 수 있는 이미지센서 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 반도체층과, 상기 반도체층 내에 형성된 P웰과, 상기 P웰과 이격되어 상기 반도체층 내에 형성된 N웰과, 상기 P웰 및 상기 N웰과 이격되어 상기 반도체층 내에 형성된 포토다이오드와, 상기 P웰과 상기 포토다이오드, 상기 P웰과 상기 N웰 사이에 형성된 필드절연막을 포함하고, 상기 P웰은, 인접한 상기 필드절연막의 하부 일부까지 확장되고, 확장되는 부위가 다른 부위보다 깊은 프로파일을 갖도록 형성되어, 저부가 상기 N웰 및 상기 포토다이오드와 단차를 갖도록 형성된 이미지센서를 제공한다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 반도체층에 국부적으로 트렌치를 형성하는 단계와, 이온주입공정을 실시하여 일부가 상기 트렌치 하부까지 확장되고, 확장되는 부위가 다른 부위보다 깊은 프로파일을 갖도록 상기 반도체층 내에 P웰을 형성하는 단계와, 상기 트렌치를 매립하여 필드절연막을 형성하는 단계와, 이온주입공정을 실시하여 상기 P웰과 이격되도록 상기 반도체층 내에 N웰을 형성하는 단계와, 이온주입공정을 실시하여 상기 반도체층 내에 상기 필드절연막에 의해 상기 P웰과 분리되도록 포토다이오드를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 P웰을 형성하는 단계는, 인접한 상기 필드절연막의 하부 일부까지 확장하고, 확장되는 부위가 다른 부위보다 깊은 프로파일을 갖도록 형성하여, 저부가 상기 N웰 및 상기 포토다이오드와 단차를 갖도록 형성하는 이미지센서 제조방법을 제공한다.

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본 발명은, P웰과 N웰 및 P웰과 포토다이오드 사이에 각각 단차를 갖도록 하여 절연특성을 향상시켜 크로스토크 방지 및 광특성 향상을 기하고자 한다.

이를 위해, 종래의 P웰과 N웰 형성 및 필드절연막 형성과 포토다이오드 등의 수광소자 형성이라는 일반적인 공정 단계를 변화시켜, 즉 필드절연막 형성을 위한 트렌치 형성 후, 트렌치 일측면에서의 단차를 이용하여 트렌치 하부까지 확장하도록 P웰을 형성한 후, 트렌치를 매립하여 필드절연막을 형성한 후, 트렌치 즉, 필드절연막의 타측에 접하도록 N웰과 포토다이오드를 각각 형성하여 P웰과 N웰 및 포토다이오드 간의 단차를 발생시키는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이미지센서를 도시한 단면도이다.

도 3을 참조하면, 제1도전형의 고농도 실리콘층(P+, 40)과 제1도전형의 에피 실리콘층(P-Epi, 41)이 적층된 반도체층(이하 반도체층이라 함)과, 반도체층에 국부적으로 배치된 트렌치형 필드절연막(47)과, 필드절연막(47)의 하부까지 연장되어 트렌치(47) 하부 일측의 프로파일이 전사된 굴곡을 갖도록 반도체층 내부에 확장되어 형성된 제1도전형의 제1불순물영역(46)과, 필드절연막(47) 타측에 접하는 반도체층 내부에 형성되어 제1불순물영역(46)과 필드절연막(47)에 의해 분리된 제2불순물영역(52 또는 50)을 포함한다.

여기서, 제1도전형은 P형 또는 N형이 될 수 있는 바, 본 발명의 실시예에서는 제1도전형을 P형, 제2도전형을 N형으로 한정하여 설명하며, 제1불순물영역은 P웰(P-well,46), 제2불순물영역은 P형과 N형을 모두 포함하는(P0영역과 n-영역) 포토다이오드(PD, 52)와 N웰(N-well, 50)로 각각 분리하여 한정한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 인접하는 수광소자영역(a-a')의 P웰(46)과 수광소자영역(b-b')의 포토다이오드(52) 사이에는 필드절연막(47)이 배치되어 있으며, P웰(46)의 경우 필드절연막(47) 하부까지 연장되어 있고, 연장된 부분에서는 트렌치의 일측 프로파일이 전사된 형태의 굴곡을 갖도록 되어 있어, P웰(46)과 포토다이오드(52)는 단차를 갖으므로 격리(Isolation) 특성이 향상되었음을 알 수 있다.

이는 포토다이오드(52)를 깊게 형성할 수 있게 하여 전하용량의 증가를 기할 수 있음은 물론, 크로스토크 방지 특성도 향상됨을 시사한다.

또한, 수광소자영역(b-b')의 P웰(46)과 주변회로영역(c-c')의 N웰(50) 사이에는 필드절연막(47)이 배치되어 있으며, P웰(46)의 경우 필드절연막(47) 하부까지 연장되어 있고, 연장된 부분에서는 트렌치의 일측 프로파일이 전사된 형태의 굴곡 을 갖도록 되어 있어, P웰(46)과 N웰(50)는 단차를 갖으므로 격리 특성이 향성되었음을 알 수 있다.

한편, 전술한 도 3의 형상을 갖기 위한 본 발명의 이미지센서 공정 단계를 도시한 플로우 챠트인 도 4를 참조하여 살펴본다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 경우, P웰 및 N웰을 먼저 형성하던 종래와는 달리 STI구조의 필드절연막 형성을 트렌치 식각을 실시한 다음(31), 트렌치 식각된 프로파일이 전사되어 프로파일의 변화를 갖으며, 필드절연막이 형성될 트렌치 하부까지 확장되도록 이온주입을 통해 P웰을 형성한 후(32), 트렌치를 매립하여 필드절연막을 형성함으로써, 필드영역과 활성영역을 분리한다(33). 이어서, N웰 이온주입을 실시함으로써(34), 주변회로영역 등에서 N웰과 P웰의 경계에서 P웰과 N웰이 단차를 갖도록 한다. 이어서, 이온주입을 통해 포토다이오드를 형성함으로써(35), 수광소자영역에서 포도다이오드와 인접하는 수광소자영역에서의 P웰간의 단차를 확보한다.

도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일실시예에 따른 이미지센서 제조 공정을 도시한 단면도로서, 전술한 바와 같은 본 발명의 제조 공정을 상세하게 살펴 본다.

도 5a는 P+기판(40)에 P에피층(41)이 형성된 P형 에피 웨이퍼 즉, 반도체층에 패드산화막(42)과 질화막(43)을 차례로 증착한 다음, 포토레지스트 패턴의 소자분리 마스크를 형성하고, 이를 식각마스크로 패드산화막(42)과 질화막(43)을 식각하여 트렌치 형성을 위한 마스크를 형성한 다음, 패드산화막(42)과 질화막(43)의 마스크를 이용하여 반도체층을 식각하여 트렌치(t)를 형성하고 있는 상태를 나타낸 다.

여기서, 패드산화막(42)은 100Å 정도의 두께로 형성하며, 질화막은 2000Å 내외의 두께로 형성하는 것이 바람직하다.

한편, 영역 구분을 위해 도시된 b-b'은 수광소자영역을 도시하며, a-a'은 인접하는 수광소자의 P웰이 형성될 영역, c-c'은 N웰이 형성될 주변회로영역을 각각 도시한다.

도 5b는 드라이브 트랜지스터(Dx)와 셀렉트 트랜지스터(Sx)가 형성될 P웰을 형성하기 위하여, 포토레지스트 패턴의 P웰 이온주입 마스크(44)를 형성하고 P웰 이온주입(45)을 실시하고 있는 상태를 나타낸다.

여기서, 단위화소 내에는 이러한 2개의 일반적인 서브마이크론 NMOS 트랜지스터(즉, 드라이브 트랜지스터와 셀렉트 트랜지스터) 이외에도 P형 에피층 위에 형성되어야 하는 1개의 저전압 베리드 포토다이오드와 2개의 네이티브 NMOS 트랜지스터(즉, 트랜스퍼 트랜지스터와 리셋 트랜지스터)가 존재하므로 일반적인 서브마이크론 CMOS 공정에서 허용하는 웰 설계규칙(Well Design Rule)을 적용할 수가 없다. 왜냐하면 일반적인 서브마이크론 CMOS 공정에서 허용하는 웰 설계규칙(Well Design Rule)을 따르면 이후 열공정에 의한 웰 형성 도펀트(Dopant)들의 측면 확산(Lateral Diffusion) 때문에 저전압 베리드 포토다이오드와 네이티브 NMOS 트랜지스터들의 전기적인 특성이 열화되기 때문이다.

따라서, 여기서는 저전압 베리드 포토다이오드와 네이티브 NMOS 트랜지스터들의 전기적인 특성이 열화되지 않을 정도의 면적에 P웰 이온주입(45)을 실시한다. 즉, "미니 P-웰 공정"을 실시한다.

이 때, 기형성된 트렌치(t)의 일부분까지 확장되도록 하여, N웰 또는 포토다이오드영역과 이웃하는 부분에서 트렌치 하부까지 확장되어 단차를 갖도록 한다.

도 5c는 P웰 이온주입 마스크(44)를 제거한 후, 열공정에 의한 측면 확산을 통해 드라이브 트랜지스터와 셀렉트 트랜지스터를 내포할 수 있도록 P웰(46)을 형성시킨 후, 트렌치를 매립하도록 HDP(High Density Plasma)산화막, O₃-TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate)막 또는 USG(Undoped Silicate Glass)막 등을 증착하고 CMP 공정을 통해 평탄화 시킨 다음, 주변회로영역(c-c')에서의 PMOS 트랜지스터가 형성될 영역에 N웰을 형성하기 위하여, 포토레지스트 패턴의 N웰 이온주입 마스크(48)를 형성하고 N웰 이온주입(49)을 실시하고 있는 상태를 나타낸다.

여기서, 필드절연막이 형성될 트렌치 하부까지 연장되어 트렌치 하부 일측의 프로파일이 이온주입시 그 대로 전사되어 굴곡을 갖는 P웰(46)이 형성되어 있으며, 필드절연막(47) 형성 후에 이온주입되어 형성될 N웰은 인접면에서 P웰에 비해 얕은 깊이를 갖게 된다.

이어서, 도 5d에 도시된 바와 같이, N웰 이온주입 마스크(48)를 제거한 후, 열공정에 의한 측면 확산을 통해 주변회로영역(c-c')에서의 PMOS 트랜지스터를 내포할 수 있도록 N웰(50)을 형성시킨다.

이어서, 각 트랜지스터의 게이트를 형성한 다음, 저전압 베리드 포토 다이오드의 P0도핑영역과 N-도핑영역을 각각 형성하기 위한 P0이온주입과 N-이온주입을 트랜스퍼 트랜지스터의 게이트 즉, 트랜스터 게이트(도시하지 않음)의 일측면에서 자기 정렬되도록 포토다이오드 형성을 위한 이온주입 마스크(51)를 이용한 이온주입 공정을 통해 수광소자영역(b-b')에 포토다이오드(PD, 52)를 형성한다.

전술한 본 발명은, 필드절연막 하부에 P웰을 형성하는데 있어 추가의 마스크없이 그 순서를 바꿈으로써 가능하게 하였고, 이를 통해 인접한 소자간의 격리 특성의 향상과 함께 고집적 이미지센서 적용시 주로 필드영역과 활성영역 사이에서 발생하는 공정 결함을 이의 방법으로 격리함으로써 암신호 특성 및 고집적화로 야기될 수 있는 수광지역간 간섭현상(Crosstalk)을 방지할 수 있음을 실시예를 통해 알아 보았다.

본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

상술한 본 발명은, 이미지센서의 필드절연막에서의 소자 격리 특성을 향상시킬 수 있어, 궁극적으로 이미지센서의 성능 및 수율을 향상시킬 수 있는 탁월한 효과를 기대할 수 있다.

Claims (22)

1. 반도체층;

   상기 반도체층 내에 형성된 P웰;

   상기 P웰과 이격되어 상기 반도체층 내에 형성된 N웰;

   상기 P웰 및 상기 N웰과 이격되어 상기 반도체층 내에 형성된 포토다이오드; 및

   상기 P웰과 상기 포토다이오드, 상기 P웰과 상기 N웰 사이에 형성된 필드절연막을 포함하고,

   상기 P웰은,

   인접한 상기 필드절연막의 하부 일부까지 확장되고, 확장되는 부위가 다른 부위보다 깊은 프로파일을 갖도록 형성되어, 저부가 상기 N웰 및 상기 포토다이오드와 단차를 갖도록 형성된 이미지센서.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 P웰은 이미지센서의 리셋 트랜지스터와 트랜스퍼 트랜지스터를 내포하는 이미지센서.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 반도체층은 P형의 에피실리콘층을 포함하는 이미지센서.
8. 삭제
9. 반도체층에 국부적으로 트렌치를 형성하는 단계;

   이온주입공정을 실시하여 일부가 상기 트렌치 하부까지 확장되고, 확장되는 부위가 다른 부위보다 깊은 프로파일을 갖도록 상기 반도체층 내에 P웰을 형성하는 단계;

   상기 트렌치를 매립하여 필드절연막을 형성하는 단계;

   이온주입공정을 실시하여 상기 P웰과 이격되도록 상기 반도체층 내에 N웰을 형성하는 단계; 및

   이온주입공정을 실시하여 상기 반도체층 내에 상기 필드절연막에 의해 상기 P웰과 분리되도록 포토다이오드를 형성하는 단계를 포함하고,

   상기 P웰을 형성하는 단계는,

   인접한 상기 필드절연막의 하부 일부까지 확장하고, 확장되는 부위가 다른 부위보다 깊은 프로파일을 갖도록 형성하여, 저부가 상기 N웰 및 상기 포토다이오드와 단차를 갖도록 형성하는 이미지센서 제조방법.
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제
13. 삭제
14. 제 9 항에 있어서,

    상기 P웰은 이미지센서의 리셋 트랜지스터와 트랜스퍼 트랜지스터를 내포하는 이미지센서 제조방법.
15. 제 9 항에 있어서,

    상기 반도체층은 P형의 에피 실리콘층을 포함하는 이미지센서 제조방법.
16. 삭제
17. 삭제
18. 삭제
19. 삭제
20. 삭제
21. 삭제
22. 삭제

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