KR100863690B1 - 웨이퍼 디텍팅 시스템 - Google Patents
웨이퍼 디텍팅 시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100863690B1 KR100863690B1 KR1020080005750A KR20080005750A KR100863690B1 KR 100863690 B1 KR100863690 B1 KR 100863690B1 KR 1020080005750 A KR1020080005750 A KR 1020080005750A KR 20080005750 A KR20080005750 A KR 20080005750A KR 100863690 B1 KR100863690 B1 KR 100863690B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- wafer
- sensor
- light emitting
- diffuse reflection
- light receiving
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
Claims (5)
- 삭제
- 에어락 챔버 내에 출입하는 웨이퍼의 안착 상태를 감지하는 웨이퍼 디텍팅 시스템에 있어서,최외곽 웨이퍼 안착 영역에 인접하여 구비되고, 웨이퍼가 상기 에어락 챔버 내로 출입하는 경우 상기 웨이퍼가 웨이퍼 안착 영역 이외의 부분에 놓이면 에러 신호를 발생하는 확산반사형 센서를 포함하되,상기 확산반사형 센서는 부착 평면에 대하여 수광부가 발광부 보다 높게 위치하고, 동시에 수광부, 발광부를 잇는 선분이 상기 부착 평면의 법선과 이루는 각도가 82도 내지 89도를 형성하는 웨이퍼 디텍팅 시스템.
- 제2항에 있어서,상기 확산반사형 센서는 상기 최외곽 웨이퍼 안착 영역에 인접하여 3개가 구비되는 웨이퍼 디텍팅 시스템.
- 제3항에 있어서,상기 확산반사형 센서, 상기 웨이퍼 안착 영역의 중심 및 인접하는 확산반사형 센서가 이루는 각이 120도인 웨이퍼 디텍팅 시스템.
- 에어락 챔버 내에 출입하는 웨이퍼의 안착 상태를 감지하는 웨이퍼 디텍팅 시스템에 있어서,최외곽 웨이퍼 안착 영역에 인접하여 구비되고, 웨이퍼가 상기 에어락 챔버 내로 출입하는 경우 상기 웨이퍼가 웨이퍼 안착 영역 이외의 부분에 놓이면 에러 신호를 발생시키며, 수광부가 발광부 보다 높게 형성되고, 동시에 수광부, 발광부를 잇는 선분이 센서 바닥면의 법선과 이루는 각도가 82도 내지 89도를 형성하는 웨이퍼 디텍팅 시스템 전용 센서.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080005750A KR100863690B1 (ko) | 2008-01-18 | 2008-01-18 | 웨이퍼 디텍팅 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080005750A KR100863690B1 (ko) | 2008-01-18 | 2008-01-18 | 웨이퍼 디텍팅 시스템 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100863690B1 true KR100863690B1 (ko) | 2008-10-15 |
Family
ID=40153426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080005750A KR100863690B1 (ko) | 2008-01-18 | 2008-01-18 | 웨이퍼 디텍팅 시스템 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100863690B1 (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101482593B1 (ko) * | 2013-07-02 | 2015-01-14 | (주)드림솔 | 웨이퍼 정 위치 감지 장치 |
CN107389190A (zh) * | 2017-07-28 | 2017-11-24 | 华东师范大学 | 一种在硅圆片上单片集成的微型光谱仪及其制作方法 |
KR102126390B1 (ko) | 2019-03-08 | 2020-06-25 | (주)에이스트 | 웨이퍼 위치 감지시스템 |
CN111725116A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-09-29 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体设备中的装载腔与晶圆分布状态检测方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030014842A (ko) * | 2001-08-13 | 2003-02-20 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 장비의 베이크 장치 |
-
2008
- 2008-01-18 KR KR1020080005750A patent/KR100863690B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030014842A (ko) * | 2001-08-13 | 2003-02-20 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 장비의 베이크 장치 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101482593B1 (ko) * | 2013-07-02 | 2015-01-14 | (주)드림솔 | 웨이퍼 정 위치 감지 장치 |
CN107389190A (zh) * | 2017-07-28 | 2017-11-24 | 华东师范大学 | 一种在硅圆片上单片集成的微型光谱仪及其制作方法 |
KR102126390B1 (ko) | 2019-03-08 | 2020-06-25 | (주)에이스트 | 웨이퍼 위치 감지시스템 |
CN111725116A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-09-29 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体设备中的装载腔与晶圆分布状态检测方法 |
CN111725116B (zh) * | 2020-06-29 | 2023-12-22 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体设备中的装载腔与晶圆分布状态检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20200185257A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate transfer method | |
US8025475B2 (en) | Wafer transfer apparatus, wafer transfer method and storage medium | |
KR100516367B1 (ko) | 웨이퍼위치에러검출및보정시스템 | |
US6990430B2 (en) | System and method for on-the-fly eccentricity recognition | |
KR100863690B1 (ko) | 웨이퍼 디텍팅 시스템 | |
KR20020068779A (ko) | 반도체 제조장치의 로드포트 | |
US20070140826A1 (en) | Wafer positioning systems and methods thereof | |
KR20130105237A (ko) | 반도체 웨이퍼 제조 공정을 제어하는 시스템 및 방법 | |
CN107799430B (zh) | 晶片位置检测方法 | |
KR100862702B1 (ko) | 기판 정렬 감지장치 | |
CN110364461B (zh) | 晶圆状态检测设备、方法及晶圆装卸载腔室 | |
US20100085582A1 (en) | Apparatus and method for the determination of the position of a disk-shaped object | |
KR102126390B1 (ko) | 웨이퍼 위치 감지시스템 | |
US6671576B1 (en) | Wafer carrier | |
JP2006294987A (ja) | 試料処理装置 | |
CN110752168B (zh) | 一种晶片检测装置、晶片传输系统及晶片检测方法 | |
KR20180125760A (ko) | 웨이퍼 검사 방법 | |
US6950181B2 (en) | Optical wafer presence sensor system | |
CN219513051U (zh) | 晶圆位置检测装置 | |
US20240310205A1 (en) | Sample related system that includes a load lock | |
KR20150004205A (ko) | 웨이퍼 정 위치 감지 장치 | |
CN218887129U (zh) | 晶圆放置异常检测装置 | |
KR20040021985A (ko) | 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조 | |
KR20070049454A (ko) | 기판 처리 장치 및 그 제어방법 | |
KR20040005359A (ko) | 기판 안착상태 감지장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121009 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130724 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140930 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150916 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161102 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170901 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180726 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190827 Year of fee payment: 12 |