KR100863213B1 - 엘씨디 글래스 패널 건조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 습식 세정과정(wet clean)이 수행된 글래스 패널에 잔류하는 물방울 등의 수분제거가 보다 신속하게 수행되고, 건조공기 분출압력을 낮출 수 있도록 하여 구동 소음의 발생을 최소화하며, 이미 사용된 건조공기의 강제배기에 따라 작업구간 내에서 발생되는 기판의 오염을 방지할 수 있도록 한 LCD 글래스 패널 건조장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 세정과정이 수행된 LCD의 글래스 패널을 이동시키며, 글래스 패널의 상부에서 압축공기를 분사하여 글래스 패널에 잔류하는 수분을 건조시키기 위한 장치에 있어서, 상기 압축공기를 생성하는 압축공기 생성유닛과; 상기 압축공기 생성유닛과 압축공기가 공급될 수 있도록 연결되고, 글래스 패널의 상부에 설치되어 공급된 압축공기를 글래스 패널로 분사하는 노즐유닛과; 상기 압축공기 생성유닛과 노즐유닛의 공기가 공급되는 사이에 설치되어 공급진행되는 압축공기를 가열하는 고온의 압축공기로 변환시키는 가열유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 패널 건조장치.
LCD, 글래스 패널, 건조장치

Description

엘씨디 글래스 패널 건조장치{DRY APPARATUS OF GLASS PANEL}
본 발명은 평판 디스플레이(Flate Panel Display, FPD)의 기판이 되는 엘시디 글래스 패널 건조장치에 관한 것이다.
상세하게는 습식 세정과정(wet clean)이 수행된 글래스 패널에 잔류하는 물방울 등의 수분제거가 보다 신속하게 수행되고, 건조공기 분출압력을 낮출 수 있도록 하여 구동 소음의 발생을 최소화하며, 이미 사용된 건조공기의 강제배기에 따라 작업구간 내에서 발생되는 기판의 오염을 방지할 수 있도록 한 LCD 글래스 패널 건조장치에 관한 것이다.
FDP의 가장 보편적인 형태인 LCD(액정디스플레이; Liquid Crystal Display)는 백라이트 등의 광원에서 출사되는 빛을 칼라필터(color filter)를 통과시킴에 의해 목적하는 칼라 화면을 출력하게 된다.
상기 칼라필터는 기판의 상면에 감광제(Photo Resistor, PR)를 코팅하고, 패턴공정을 수행하여 목적하는 형태의 칼라패턴을 형성하게 된다. 이 때, 상기 기판 은 빛이 투과될 수 있도록 제작된 글래스 패널(glass panel)이 적용된다.
상기와 같이 감광제가 코팅되고 패턴공정이 수행되면 글래스 패널에 대해 습식세정(wet clean)과정을 수행하게 된다. 여기서, 상기 습식세정이 수행된 글래스 패널에는 물방울 등의 수분이 표면에 잔류하게 되며, 이 수분은 에어나이프(air knife)를 이용하여 건조시키게 된다.
도 1은 상기와 같은 종래의 건조장치를 나타낸 구성도이다.
도면을 참조하면, 상기 건조장치는 전술된 바 있듯이 "에어나이프"라 통칭되며, 감광제 패턴이 표면에 형성된 글래스 패널(1)을 일측방향으로 이동시키며 그 상부에서 일정압력의 압축공기를 분사하여 수분을 건조시키게 된다.
이와 같은 구성에서 상기 압축공기는 컴프레서(2)에 의해 공급되며, 상기 컴프레서(2)에서 공급되는 압축공기는 공급관(3)을 통해 에어나이프 본체(4)로 진행된다. 이 후 에어나이프 본체(4)로 유입된 공기는 본체(4) 내부의 유로를 거쳐 노즐(5)을 통해 분사된다.
상기와 같이 분사된 압축공기에 의해 글래스 패널(1)은 도면의 화살표 방향으로 이동되며 수분을 건조된다. 이와 같은 건조장치는 기존에 주로 사용되는 0.7t의 글래스 패널에 적용되는 전용의 장치이다.
전술한 것과 같은 종래의 건조장치는 글래스 패널의 제작기술이 발전함에 따라 빛의 투과도 및 제작단가의 측면에서 유리하게 제작하기 위해 0.5t의 제품이 제공되고 있다. 이에 따라 상기 0.7t의 글래스 패널 전용 건조장치는 압축공기의 분사압력이 0.7t의 두께에 대응되도록 형성되어 0.5t 두께의 글래스 패널에 적용될 경우 패널의 휨이나 형태변형에 의해 감광제와 글래스 패널의 접착력을 약화시키게 된다. 또한, 상기 분사압력은 0.5t의 글래스 패널을 대상으로 적용될 때 상당한 소음을 유발하게 된다.
상기와 같은 현상을 해결하기 위해 압축공기의 분사압력을 낮출 경우, 글래스 패널의 표면에 미세입자 형태로 존재하는 수분의 건조는 가능하지만, 그보다 입자가 다소 큰 물방울 형태의 수분은 일정량 잔류하게 되어 제품의 완성 후 칼라필터의 표면에 불규칙한 얼룩무늬를 형성하는 등의 문제점이 발생된다.
또한, 상기 글래스 패널로 분사되는 압축공기는 패널의 표면에서 반사되어 그 상측에 와류(渦流)를 형성하게 되며, 이 때, 주변의 미세먼지(particle) 등이 와류에 유도되어 글래스 패널표면을 오염시키는 문제점이 노출된다.
본 발명은 상기 문제점을 해소하기 위해 발명한 것이다. 이에 본 발명은 예열된 압축공기를 낮은 분사압력으로 분사하고, 글래스 패널의 건조가 수행되는 지점에 고온의 건조분위기를 형성하도록 하며, 글래스 패널에 반사된 공기를 강제배 기 시키도록 한 건조장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 아래의 구성을 갖는다.
본 발명은, 세정과정이 수행된 LCD의 글래스 패널을 이동시키며, 글래스 패널의 상부에서 압축공기를 분사하여 글래스 패널에 잔류하는 수분을 건조시키기 위한 장치에 있어서, 상기 압축공기를 생성하는 압축공기 생성유닛과; 상기 압축공기 생성유닛과 압축공기가 공급될 수 있도록 연결되고, 글래스 패널의 상부에 설치되어 공급된 압축공기를 글래스 패널로 분사하는 노즐유닛과; 상기 압축공기 생성유닛과 노즐유닛의 공기가 공급되는 사이에 설치되어 공급진행되는 압축공기를 가열하는 고온의 압축공기로 변환시키는 가열유닛;을 포함하여 구성되고, 상기 노즐유닛(20)은 압축공기가 분사되는 지점의 일측에 이격되어 글래스 패널(1)의 상부에 가열분위기를 형성하는 가열램프(22)가 설치된다.
여기서, 상기 노즐유닛은 압축공기의 분사지점이 글래스 패널의 이송방향에 따라 2지점이상 형성된다. 또한, 상기 노즐유닛은 압축공기가 분사되는 지점의 일측에 이격되어 글래스 패널의 상부에 가열분위기를 형성하는 가열램프가 설치된다.
추가하여 본 발명은, 장치를 구동시키기 위한 신호를 입력하는 신호입력부와; 상기 입력된 신호를 수신하여 각 구성을 구동시키기 위한 제어신호를 출력하는 제어부와; 상기 제어부에서 출력된 제어신호를 수신하여 압축공기의 공급, 압축공기의 가열, 글래스패널의 이송을 수행하기 위한 구동부;로 구성된 컨트롤유닛을 더 포함하여 구성된다.
바람직하게, 본 발명은 상기 노즐유닛의 공기분사에 의해 글래스 패널의 수 분이 건조되는 작업지점에 설치되어 글래스 패널에 반사된 압축공기를 외부로 강제배기시키기 위한 배기유닛을 더 포함하여 구성된다.
상기와 같은 구성에 의해 본 발명은, 예열된 압축공기의 분사에 의해 글래스 패널의 수분이 신속하게 고효율 건조되며, 글래스 패널의 건조가 수행되는 지점에 고온의 건조분위기가 형성되어 보다 높은 품질의 제품을 제작할 수 있게 된다.
특히, 본 발명은 예열된 압축공기의 분사에 의해 낮은 압력의 공기를 분사하여도 얇게 제작되어 공급된 글래스 패널의 수분이 신속하게 고효율 건조될 뿐만아니라, 압축공기의 분사에 따른 구동소음을 대폭 감소시킬 수 있는 효과를 얻게 된다.
상기와 같은 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 의한 글래스 패널 건조장치의 구성도, 도 3은 본 발명에 의한 글래스 패널 건조장치에 제어구성이 적용된 구성도이다. 도면에서 상기 글래스 패널은 전술한 것과 같이 이미 습식 세정(wet clean)과정이 수행된 후 수분이 잔여하는 상태를 대상으로 하는 것임을 밝혀둔다.
도면을 참조하면, 본 발명에 의한 건조장치는 압축공기 생성유닛으로 적용된 컴프레서(10), 압축공기를 글래스 패널(1)로 분사하는 노즐유닛(20), 압축공기의 분사이전에 압축공기를 가열하는 가열유닛인 히터(30)로 이루어진 기본 구성을 갖는다. 이와 같은 구성에 추가하여 각 구성이 자동화 과정에 의해 작업수행되도록 하기 위해 컨트롤유닛(40)을 포함하여 구성된다.
상기 컴프레서(10)는 압축공기를 생성하는 압축기의 형태이다. 이와 같은 컴프레서(10)는 장치의 크기 및 작업대상의 규격에 따라 공기의 진행압력을 조절할 수 있도록 한 것을 적용한다.
이와 같은 컴프레서(10)와 노즐유닛(20)의 사이에는 히터(30)가 설치된다. 상기 히터(30)는 컴프레서(10)에서 발생되어 노즐유닛(20)으로 진행되는 압축공기 진행경로 사이구간에 간섭되도록 설치되어 압축공기를 목적하는 온도로 가열하게 된다. 이와 같은 히터(30)는 외부의 전기전원에 의해 발열되는 전기히터 또는 냉매를 그 관체내부로 진행시켜 열교환을 수행하는 공조히터 등 다양한 실시예를 가질 수 있다.
특히, 상기 히터(30)는 컴프레서(10)와 별도의 구성으로 설치되거나, 컴프레서(10)에 내장되어 컴프레서(10) 자체에서 목적하는 온도의 압축공기(이하, 고온의 압축공기)를 생성할 수 있도록 구성되어도 무방하다. 도면에서는 이해의 편의를 위해 별도의 구성으로 나타내었다.
상기 노즐유닛(20)은 컴프레서(10)와 압축공기가 공급될 수 있도록 공급 관(3)으로 연결되어 구성된다. 보다 구체적으로 상기 노즐유닛(20)은 공급관(3)을 통해 히터(30)와 연결되어 고온의 압축공기를 공급받게 된다.
이와 같은 노즐유닛(20)은 글래스 패널(1)의 상부에 설치되어 글래스 패널(1)과 대향되는 끝단에 고온의 압축공기가 분사되는 지점인 분사단부(21)가 형성되어, 분사단부(21)를 통해 압축공기가 글래스 패널(1) 측으로 분사되도록 구성된다. 여기서, 상기 노즐유닛(20)의 내부에는 공급관(3)을 통해 공급된 고온의 압축공기가 분사단부(21)까지 진행되도록 하기 위해 공기진행통로(미도시)가 형성됨은 당연하다.
특히, 상기 노즐유닛(20)의 분사단부(21)는 단일의 지점에 형성되어도 건조기능을 수행할 수 있지만, 보다 높은 효율로 건조과정이 수행되도록 하기 위해 글래스 패널(1)의 이송방향에 따라 2지점이상 형성된다. 이러한 구성은 상기 글래스 패널(1)이 노즐유닛(20)의 하측을 이동하는 과정에서, 글래스 패널(1)의 수분이 잔류하는 지점이 2회 이상 건조작업 되도록 한 것이다.
또한, 상기 노즐유닛(20)은 압축공기가 분사되는 지점의 일측에 가열램프(22)가 설치되어 구성된다. 이 때, 상기 가열램프(22)는 글래스 패널(1)이 하측을 통과할 때 건조작업이 수행되는 주변을 가열하여 건조분위기를 형성하게 된다. 특히, 상기 가열램프(22)는 적외선램프(IR램프)가 적용되어 보다 이상적인 건조분위기가 형성될 수 있도록 한다.
도면 중 부호 23는 공급관(3)을 통해 공급된 압축공기를 다수의 분사단부(21)로 분기진행시키기 위해 노즐유닛(20) 내부에 설치된 디퓨져(diffuser)를 나 타낸다.
상기 컨트롤유닛(40)은 장치를 구동시키기 위한 회로구성이다. 이와 같은 컨트롤유닛(40)은 신호입력부(41), 제어부(42), 구동부(45)로 이루어진다.
상기 신호입력부(41)는 장치를 구동시키기 위한 ON/OFF신호 및 컴프레서(10)의 압축공기 공급압력, 히터(30)의 가열온도 등을 설정입력하기 위한 키보드 등의 구성으로 적용된다.
상기 제어부(42)는 신호입력부(41)에서 입력된 신호에 의해 컴프레서(10), 히터(30), 글래스 패널(1)을 이송하기 위한 컨베이어(6) 등의 구동을 제어하는 마이크로 컴퓨터(43) 등으로 적용된다. 특히, 상기 제어부(42)는 마이크로 컴퓨터(43)에서 장치의 구동을 처리하는 과정이나 신호입력부(41)에서 입력된 신호 등을 확인하기 위한 모니터 등의 디스플레이부(44a)와, 제어부(42)에서 장치의 구동을 제어하기 위한 제반 데이터가 내장된 메모리(44b)를 포함한다.
상기 구동부(45)는 제어부(42)에서 출력된 신호에 의해 컴프레서(10), 히터(30), 글래스 패널(1)을 이송시키는 컨베이어(6)를 구동시키는 각각의 구동드라이버(46, 47, 48)로 구분되어 구성된다.
상기와 같은 구성에서 건조장치는 글래스 패널(1)의 수분을 건조한 고온의 압축공기를 외부로 배기시키기 위한 배기유닛(50)을 더 갖추어 구성된다.
상기 배기유닛(50)은 고온의 압축공기에 의해 글래스 패널(1) 표면의 수분이 건조되는 작업지점의 주변, 즉 노즐유닛(20)의 측부, 글래스 패널(1)의 하부에 설치된다.
이와 같은 배기유닛(50)은 노즐유닛(20)의 일측 또는 양측과 글래스 패널(1)의 하부에 형성된 덕트(51)와, 덕트(51)에 설치되어 글래스 패널(1)에 반사되거나 그 외측으로 비산되는 압축공기를 흡입하는 팬(52)으로 구성된다. 특히, 상기 팬(52)은 각각의 덕트에 설치할 수 있지만, 제작경비를 감안하여 덕트(51)를 일지점에서 연통시키고 연통지점에 단일의 팬(52)을 설치함이 바람직하다.
도 4는 본 발명에 의한 글래스 패널 건조장치의 건조과정을 나타낸 작용도.
도면을 참조하면, 상기 건조장치는 컨트롤유닛(40)의 신호입력부(41)를 통해 사용자가 장치의 구동을 개시하면, 글래스 패널(1)이 얹혀진 컨베이어(6)가 구동되어 글래스 패널(1)을 도면의 화살표 방향으로 이송하게 된다.
이와 동시에 컴프레서(10)와 히터(30)가 구동하여 컴프레서(10)에서 생성된 압축공기가 공급관(3)을 통해 히터(30)를 통과하며 목적하는 온도로 가열되며 진행된다. 이 후, 압축공기는 노즐유닛(20)으로 공급된 후 노즐유닛(20)의 분사단부(21)를 통해 글래스 패널(1) 측으로 분사된다.
상기와 같이 고온으로 가열된 압축공기는 글래스 패널(1)에 잔류하는 수분을 보다 신속하게 건조시키게 된다. 이 때, 노즐유닛(20)에 설치된 상기 가열램프(22)는 글래스 패널(1)의 상부에 일정한 온도의 건조분위기를 형성하여 압축공기에 의한 건조를 보다 신속하고 효율적으로 수행하도록 한다.
동시에, 상기 배기유닛(50)의 팬(52)이 구동하여 수분을 건조시킨 후 글래스 패널(1)에 반사되거나 글래스 패널(1)의 외측으로 비산되는 압축공기를 와류가 발생되기 이전에 강제배기시키게 된다. 즉, 상기 배기유닛(50)은 종래 문제점으로 지적되는 '압축공기의 와류에 의해 파티클이 글래스 패널을 오염시키는' 현상을 미연에 방지하게 된다.
도 1은 종래 글래스 패널 건조장치의 구성도.
도 2는 본 발명에 의한 글래스 패널 건조장치의 구성도.
도 3은 본 발명에 의한 글래스 패널 건조장치에 제어구성이 적용된 구성도.
도 4는 본 발명에 의한 글래스 패널 건조장치의 건조과정을 나타낸 작용도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 글래스 패널 10: 컴프레서
20: 노즐유닛 21: 분사단부
22: 가열램프 30: 히터
40: 컨트롤부 41: 신호입력부
42: 제어부 45: 구동부
50: 배기유닛

Claims (5)

  1. 세정과정이 수행된 LCD의 글래스 패널(1)을 이동시키며, 글래스 패널(1)의 상부에서 압축공기를 분사하여 글래스 패널(1)에 잔류하는 수분을 건조시키기 위한 장치에 있어서,
    상기 압축공기를 생성하는 압축공기 생성유닛(10)과;
    상기 압축공기 생성유닛(10)과 압축공기가 공급될 수 있도록 연결되고, 글래스 패널(1)의 상부에 설치되어 공급된 압축공기를 글래스 패널(1)로 분사하는 노즐유닛(20)과;
    상기 압축공기 생성유닛(10)과 노즐유닛(20)의 공기가 공급되는 사이에 설치되어 공급진행되는 압축공기를 가열하는 고온의 압축공기로 변환시키는 가열유닛(30); 을 포함하여 이루어지고,
    상기 노즐유닛(20)은 압축공기가 분사되는 지점의 일측에 이격되어 글래스 패널(1)의 상부에 가열분위기를 형성하는 가열램프(22)가 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 패널 건조장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐유닛(20)은
    압축공기의 분사지점이 글래스 패널(1)의 이송방향에 따라 2지점이상 형성된 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 패널 건조장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    장치를 구동시키기 위한 신호를 입력하는 신호입력부(41)와;
    상기 입력된 신호를 수신하여 각 구성을 구동시키기 위한 제어신호를 출력하는 제어부(42)와;
    상기 제어부(42)에서 출력된 제어신호를 수신하여 압축공기의 공급, 압축공기의 가열, 글래스패널의 이송을 수행하기 위한 구동부(45);
    로 구성된 컨트롤유닛(40)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 패널 건조장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 노즐유닛(20)의 공기분사에 의해 글래스 패널(1)의 수분이 건조되는 작업지점에 설치되어 글래스 패널(1)에 반사된 압축공기를 외부로 강제배기시키기 위한 배기유닛(50)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 패널 건조장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101537337B1 (ko) * 2014-01-02 2015-07-21 주식회사 대신이씨엠 Ir 파장 선택이 가능한 건조장치
KR101557021B1 (ko) * 2011-11-07 2015-10-02 (주) 나인테크 평판표시패널 건조 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030046056A (ko) * 2001-12-04 2003-06-12 엘지.필립스 엘시디 주식회사 에어 나이프 건조장치
KR20060073552A (ko) * 2006-06-07 2006-06-28 (주)두일알에스 패널의 클리너장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030046056A (ko) * 2001-12-04 2003-06-12 엘지.필립스 엘시디 주식회사 에어 나이프 건조장치
KR20060073552A (ko) * 2006-06-07 2006-06-28 (주)두일알에스 패널의 클리너장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101557021B1 (ko) * 2011-11-07 2015-10-02 (주) 나인테크 평판표시패널 건조 장치
KR101537337B1 (ko) * 2014-01-02 2015-07-21 주식회사 대신이씨엠 Ir 파장 선택이 가능한 건조장치

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