CN108754423B - 一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法，涉及显示技术领域，用于解决沉积过程中如何快速疏通堵塞的喷嘴的问题。有机蒸汽沉积装置，包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头；所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器，所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间，所述激光器用于向所述喷嘴发射激光，所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。

Description

一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法。

背景技术

目前，利用有机材料制成的光电器件备受亲睐，制造这种器件所使用的许多材料相对便宜，因此与无机器件相比，有机光电器件潜在地具有成本优势。另外，有机材料的固有性能，例如其柔性，可使得它们非常适合于特定的应用，例如在柔性基底上的制造。有机光电器件的实例包括有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)、有机光敏晶体管、有机光生伏打电池和有机光检测器。对于OLED器件来说，有机材料相对于常规材料可具有性能优势。例如，通常可容易地采用合适的掺杂剂微调有机发射层发光时的波长。此处所使用的术语“有机材料”包括制造有机光电器件可使用的聚合物材料以及小分子有机材料。

现有普通的有机材料沉积的装置和方法中通常是通过掩膜来实现图案化的沉积，然而这种加工方式效率低，并且导致有机材料浪费严重。为了避免采用掩膜带来的有机材料浪费的问题和控制有机材料沉积的均一性，本领域技术人员提出采用有机蒸汽材料沉积装置完成沉积，然而现有的有机蒸汽材料沉积装置在沉积过程中，有机材料通过喷嘴时容易造成喷嘴堵塞，并且管道出现堵塞后不容易进行清洁。

因此，如何快速疏通堵塞的喷嘴成为本领域急需解决的技术问题。

发明内容

本发明的实施例提供一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法，用于解决沉积过程中如何快速疏通堵塞的喷嘴的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

第一方面，提供一种有机蒸汽沉积装置，包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头；所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器，所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间，所述激光器用于向所述喷嘴发射激光，所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。

可选的，所述有机材料供给装置包括多个独立的子供给装置；所述子供给装置包括混合匀压腔室、与所述混合匀压腔室连接的蒸汽源供给装置和高压载气供给装置、设置在所述混合匀压腔室内的控温元件，所述混合匀压腔室的出口连接多个所述喷头；多个所述蒸汽源供给装置供给的有机蒸汽不完全相同；所述高压载气供给装置供给的载气不与所述蒸汽源供给装置供给的有机蒸汽发生气相反应。

可选的，所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述喷嘴的出口方向上的承载基板及冷却系统，所述承载基板设置在所述喷嘴的下方；所述冷却系统设置在所述承载基板的下方。

可选的，所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述喷嘴的出口方向上的承载基板及冷却系统，所述承载基板设置在所述喷嘴的下方；所述冷却系统设置在所述承载基板的内部。

可选的，所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述承载基板上的激光接收器，所述激光接收器用于根据接收到的激光强度判断所述喷头与沉积过程中放置在所述承载基板上的沉积基板的相对位置。

可选的，所述增压装置包括压电陶瓷管、进口阀、出口阀和微机电系统，所述进口阀和所述出口阀分别位于所述压电陶瓷管的进口端和出口端；所述微机电系统与所述压电陶瓷管连接以控制所述压电陶瓷管的变形，所述微机电系统与所述进口阀和所述出口阀连接以控制所述进口阀和所述出口阀的开关。

可选的，所述喷头还包括与所述激光器连接的激光控制器，所述激光控制器用于控制所述激光器的发光强度。

可选的，所述喷头还包括与所述激光器连接的激光控制器，所述激光控制器用于控制所述激光器发出散射光或直射光。

第二方面，提供一种如第一方面所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，包括：疏通喷嘴阶段：控制有机材料供给装置停止向喷头输送沉积气体；控制激光器第一次发光，使黏附在喷嘴上的有机材料升华形成残余气体；控制增压装置将残余气体喷出喷嘴；其中，所述激光器第一次发光时发出散射光。

可选的，所述控制有机材料供给装置停止向喷头输送沉积气体，具体包括：控制蒸汽源供给装置停止向混合匀压腔室输送有机蒸汽，控制高压载气供给装置向所述混合匀压腔室输送载气；所述控制增压装置将残余气体喷出喷嘴，具体包括：控制所述增压装置将残余气体和载气喷出所述喷嘴。

可选的，所述有机蒸汽沉积装置的控制方法还包括：沉积阶段：控制所述有机材料供给装置向所述喷头输送沉积气体；控制所述激光器第二次发光，对所述有机材料供给装置输送的沉积气体加热；控制所述增压装置将加热后的沉积气体喷出所述喷嘴；其中，所述激光器第二次发光时发出散射光，所述激光器第一次发光时的发光强度大于第二次发光时的发光强度。

可选的，所述有机蒸汽沉积装置的控制方法还包括：对位阶段：控制所述有机材料供给装置停止向所述喷头输送气体；控制所述激光器第三次发光；控制激光接收器根据接收到的激光强度判断所述喷头与承载基板上放置的沉积基板的相对位置，对所述喷头进行定位；其中，所述激光器第三次发光时发出直射光，所述激光器第一次发光时的发光强度大于第三次发光时的发光强度。

本发明实施例提供一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法，有机蒸汽沉积装置通过激光器对有机材料供给装置输出的沉积气体进行加热，以避免沉积气体固化，在增压装置的作用下，沉积气体从喷嘴喷出。这样一来，沉积气体可快速喷射在沉积基板或其他沉积基体上，形成符合要求的有机膜，无需掩膜遮挡，避免了有机材料的浪费。其中，由于增压装置和激光器的作用，沉积气体高压喷出，解决了沉积气体从有机材料供给装置到喷嘴的压降问题，也避免了沉积气体在到达沉积基板前提前凝结的问题。

在此基础上，当喷嘴堵塞时，只需采用激光器对喷嘴中的有机材料进行加热，以使这部分有机材料升华，在增压装置的作用下从喷嘴喷出，从而达到快速疏通喷嘴的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种有机蒸汽沉积装置；

图2为本发明实施例提供的一种喷头；

图3为本发明实施例提供的另一种有机蒸汽沉积装置；

图4为本发明实施例提供的再一种有机蒸汽沉积装置；

图5为本发明实施例提供的一种沉积基板；

图6为本发明实施例提供的一种压电陶瓷管的侧视图；

图7为本发明实施例提供的一种压电陶瓷管的立体图。

附图标记

10-有机材料供给装置；11-子供给装置；111-混合匀压腔室；112-蒸汽源供给装置；113-高压载气供给装置；114-控温元件；20-喷头；21-增压装置；211-压电陶瓷管；22-喷嘴；23-激光器；30-承载基板；40-冷却系统；01-隔离柱。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的实施例提供一种有机蒸汽沉积装置，如图1所示，包括有机材料供给装置10和与有机材料供给装置10连接的多个喷头20；如图2所示，喷头20包括增压装置21以及设置在增压装置21相对两侧的喷嘴22和激光器23，有机材料供给装置10用于将有机材料供给装置10输出的沉积气体输送至激光器23与喷嘴22之间，激光器23用于向喷嘴22发射激光，增压装置21用于将有机材料供给装置10传输的沉积气体加压后从喷嘴22喷出。

需要说明的是，第一，不对有机材料供给装置10向喷头20传输的沉积气体的具体成分进行限定，其必然包括有机蒸汽即可，有机材料根据加工要求可选用不同的聚合物材料或小分子有机材料。

例如为了提升沉积效果，在一些实施例中将不与有机蒸汽发生反应的气体作为载体气体，载体气体携带有机蒸汽一起从喷头20射出。

其中，有机材料供给装置10要向喷头20传输沉积气体，其必然与喷头20连通，例如可以通过管道连通，或者其他方式。

第二，沉积过程中，有机材料供给装置10传输的沉积气体到达喷头20后，激光器23先对沉积气体进行加热，然后增压装置21加压以使加热后的沉积气体从喷嘴22喷出。有机材料供给装置10没有传输沉积气体到喷头20，激光器23可以仅对喷嘴22进行加热，也可以仅用于发出对位激光。但无论是哪种情况，激光器23发出的激光是朝向喷嘴22的。

其中，本领域技术人员应该明白，喷嘴22的口径根据工艺要求一般选择较细的口径，以提高形成的有机膜图案的分辨率。

第三，激光器23不仅在沉积过程中可对沉积气体进行加热，在停止沉积后(例如是因喷嘴22堵塞而停止)，喷嘴22上会凝结一些有机材料，此时，可通过激光器23加热，使喷嘴22上的有机材料升华，并从喷嘴22喷出。这样一来，在不沉积时可快速的对喷嘴22进行疏通清理。

本发明实施例提供一种有机蒸汽沉积装置，有机材料供给装置10将沉积气体传输至喷头20，沉积气体再从喷头20中喷出。沉积气体从有机材料供给装置10到喷嘴22以至最后的喷出是属于从大空间到小空间的移动，需要吸收热量，本发明提供的有机蒸汽沉积装置通过激光器23对有机材料供给装置10输出的沉积气体进行加热，以避免沉积气体冷凝，激光具有脉冲能量可以提供稳定的能量。在增压装置21的作用下，沉积气体从喷嘴22喷出。这样一来，沉积气体可快速喷射在沉积基板或其他沉积基体上，形成符合要求的有机膜，无需掩膜遮挡，避免了有机材料的浪费。其中，由于增压装置21和激光器23的作用，沉积气体高压喷出，解决了沉积气体从有机材料供给装置10到喷嘴22的压降问题，也避免了沉积气体在到达沉积基板前提前凝结的问题。

在此基础上，当喷嘴22堵塞时，只需采用激光器23对喷嘴22中的有机材料进行加热，以使这部分有机材料升华，并在增压装置21的作用下从喷嘴22喷出，即可达到快速疏通喷嘴22的效果。

在一些实施例中，如图3所示，有机材料供给装置10包括多个独立的子供给装置11；子供给装置11包括混合匀压腔室111，与混合匀压腔室111连接的蒸汽源供给装置112和高压载气供给装置113，设置在混合匀压腔室111内的控温元件114，混合匀压腔室111的出口连接多个喷头20；多个蒸汽源供给装置112供给的有机蒸汽不完全相同；高压载气供给装置113供给的载气不与蒸汽源供给装置112供给的有机蒸汽发生气相反应。

需要说明的是，第一，如图3所示，每个子供给装置11连接多个喷头20，多个子供给装置11供给的沉积气体不完全相同，连接同一子供给装置11的喷头20喷出的沉积气体相同。

第二，混合匀压腔室111与蒸汽源供给装置112和高压载气供给装置113连接，也就是说，蒸汽源供给装置112提供的有机蒸汽和高压载气供给装置113供给的载气在混合匀压腔室111内混合形成沉积气体，沉积气体从混合匀压腔室111的出口传输至喷头20。

其中，高压载气供给装置113一般采用气泵，载气通常选用氮气或其他惰性气体。

此外，如图3所示，三个蒸汽源供给装置112供给的有机蒸汽不同，分别用于供给向红色子像素区沉积有机薄膜的有机材料、向绿色子像素区沉积有机薄膜的有机材料、向蓝色子像素区沉积有机薄膜的有机材料，使得三个子供给装置11输出的沉积气体也不同。

第三，混合匀压腔室111内设置有控温元件114，因此，混合匀压腔室111为热腔室，具有一定的控温性能，将沉积气体保持在一定的温度下，不同的子供给装置11中控温元件114的温度不完全相同，实现对混合后的沉积气体的加热，利于有机蒸汽和载气的混合，进一步可使形成的有机膜产品更加致密。此处，加热温度高于有机蒸汽冷凝的温度。

第四，每个子供给装置11中的高压载气供给装置113提供的载气可以相同，也可以不同。为了简化结构，将每个子供给装置11中的高压载气供给装置113连通到同一载气源。

当然，本领域技术人员应该明白，高压载气供给装置113提供的载气必然不与蒸汽源供给装置112供给的有机蒸汽发生反应，仅仅起到携带作用。

此处，在沉积过程中，不可避免的会形成多种材料的有机薄膜，为了提高有机蒸汽沉积装置的适用范围，本发明提供的有机蒸汽沉积装置中的有机材料供给装置10包括多个独立的子供给装置11，每个子供给装置11供给的沉积气体不同，以满足不同需求。

在一些实施例中，如图4所示，有机蒸汽沉积装置还包括设置在喷嘴22的出口方向上的承载基板30及冷却系统40，承载基板30设置在喷嘴22的下方；冷却系统40设置在承载基板30的下方。

在一些实施例中，有机蒸汽沉积装置还包括设置在喷嘴22的出口方向上的承载基板30及冷却系统40，承载基板30设置在喷嘴22的下方；冷却系统40设置在承载基板30的内部。

以上，冷却系统40例如可以包括水冷元件和风冷元件，风冷元件设置在水冷元件的下方；水冷元件为水冷盘管，通过冷却系统40使承载基板30上放置的沉积基板冷却至足够使该有机蒸汽固化在沉积基板上。

热的载气夹带起有机蒸汽并膨胀通过细微的喷嘴22，形成高度准直的射流，在形成有机膜图案时，射流撞击冷的沉积基板，从而导致选择性物理吸收有机分子而不吸收载气，载气逸出，形成分辨率较高的有机薄膜。

由于本发明不使用液体溶剂，因此与其它方法，例如喷墨印刷相比，它提供基底材料和形状选择的自由度较大，从而可沉积宽范围的各种有机半导体和结构。

在一些实施例中，有机蒸汽沉积装置还包括设置在承载基板30上的激光接收器，激光接收器用于根据接收到的激光强度判断喷头20与沉积过程中放置在承载基板30上的沉积基板的相对位置。

其中，激光接收器例如可以设置在承载基板30远离喷头20一侧。对于激光接收器的排布方式，根据喷头20的排布方式合理设置即可。

以沉积形成有机发光二极管为例，如图5所示，激光器23发出的激光在相邻隔离柱01之间的区域的透过率与在隔离柱01处的透过率不同，喷头20先根据有机蒸汽沉积装置的系统坐标移动到预设位置，激光接收器通过判断接收到的激光强度，即可得到喷头20与沉积基板的相对位置，可进一步对喷头20与沉积基板的相对位置进行调整，从而提高喷头20与沉积基板的对位精度。

在一些实施例中，如图6和图7所示，增压装置21包括压电陶瓷管211、进口阀、出口阀和微机电系统，进口阀和出口阀分别位于压电陶瓷管211的进口端和出口端；微机电系统与压电陶瓷管211连接以控制压电陶瓷管211的变形，微机电系统还与进口阀和出口阀连接以控制进口阀和出口阀的开关。

其中，通过控制压电陶瓷管211内壁的变形，可在沉积气体中产生压力脉冲，利用激光的热量和脉冲能量，使有机蒸汽具有较高的热运动活性，提高分子内能。此处，利用脉冲压力将沉积气体供应至喷嘴22处，进而在沉积基板上获得比恒压馈送时更显四方形的沉积物剖面，减少沉积断差，提高沉积的精度。

示例的，压电陶瓷管211内壁由复合型薄片式压电振子构成。复合型薄片式压电振子包括驱动器(PZT压电晶片)、金属基板及传感器(PVDF压电薄膜)粘接而成的复合结构；压电振子的传感器及驱动器分别经导线与微机电系统控制电源相连。当压电振子的驱动器受外加电压作用产生弯曲变形时，传感器也受迫弯曲并产生电能；传感器生成的电能经适当转换处理后生成用于表征压电精度的输出压力和流量。

增压装置21的工作过程为：当微机电系统控制电源开启并进入稳态工作时，压电振子的驱动器受电压(输入电压-V0→0→V0)作用使其向压电陶瓷管211内腔弯曲，压电陶瓷管211内腔容积减小(流体压力增加)、进口阀关闭、出口阀开启，增压装置21的压电陶瓷管211腔内的流体经出口阀排出，此为流体排出过程；在流体排出过程中，压电振子的传感器也随同压电振子向增压装置21的压电陶瓷管211腔内部弯曲，并将机械能转换成电能(电压逐步增加，-Vg→0→Vg)。当微机电系统控制电源的输出电压换向后(V0→0→-V0)，驱动器使压电振子向压电陶瓷管211腔的外部弯曲，致使压电陶瓷管211腔容积增加、进口阀开启和出口阀关闭，流体由进口阀进入压电陶瓷管211腔，此为吸入过程；在吸入过程中，压电振子的传感器受力状态发生变化，并使其输出电压开始下降(Vg→0→-Vg)。

在频率及驱动电压确定时，增压装置21输出流量和输出压力之间存在较好的线性关系：当输出压力为零时压电振子变形量(压电陶瓷管211容积变化量或流量)最大，所对应传感器的输出电压也最大；相反，输出压力最大时，压电振子变形量(压电陶瓷管211容积变化量或流量)最小，所对应的传感单元输出的电压也最小。因此，根据压电振子中传感器的输出电压即可求得增压装置21的输出压力及流量。

其中，在压电陶瓷管211变形向内挤压载流混合气时，气流的喷射受到管壁的压迫，气流喷射形态变细。

在一些实施例中，喷头20还包括与激光器23连接的激光控制器，激光控制器用于控制激光器23的发光强度。

在一些实施例中，喷头20还包括与激光器23连接的激光控制器，激光控制器用于控制激光器23发出散射光或直射光。

例如可以通过控制激光器23的激光发生头来调整激光器23发出散射光或直射光。

激光器23至少在三个阶段开启：对位阶段、沉积阶段、疏通喷嘴阶段，而在每个阶段需要的激光强度不同，基于此，为了避免不必要的浪费，并且提高每个阶段的激光处理效果，本发明实施例增加激光控制器来控制激光器23在各个阶段的发光强度，同时控制激光器23根据各个阶段的需求发出散射光或直射光。

本发明实施例还提供一种有机蒸汽沉积装置的控制方法，包括：

疏通喷嘴阶段P1：

S10、控制有机材料供给装置10停止向喷头20输送沉积气体。

在一些实施例中，具体为：

控制蒸汽源供给装置112停止向混合匀压腔室111输送有机蒸汽，控制高压载气供给装置113向混合匀压腔室111输送载气。

也就是说，当有机材料供给装置10向喷头20输送沉积气体只包括有机蒸汽时，在疏通喷嘴阶段P1停止向喷头20传输有机蒸汽；当有机材料供给装置10向喷头20输送沉积气体包括有机蒸汽和载气的混合气体时，在疏通喷嘴阶段P1停止向喷头20传输沉积气体，是指停止蒸汽源供给装置112向混合匀压腔室111输送有机蒸汽，但不停止高压载气供给装置113向混合匀压腔室111输送载气，此时，有机材料供给装置10向喷头20没有输送沉积气体，但输送了载气。即，在疏通喷嘴阶段P1，有机材料供给装置10停止向喷头20输送有机蒸汽，但不停止输送其他气体。

S11、控制激光器23第一次发光，使黏附在喷嘴22上的有机材料升华形成残余气体。

本领域技术人员应该明白，激光器23第一次发光的发光强度必然可以使固态的有机材料升华。

S12、控制增压装置21将残余气体喷出喷嘴22。

在一些实施例中，具体为：

控制增压装置21将残余气体和载气喷出喷嘴22。

在疏通喷嘴阶段P1，当有机材料供给装置10向喷头20没有输送沉积气体，但是输送了载气时，增压装置21将残余气体和载气一起喷出。

其中，激光器23第一次发光时发出散射光。

本发明实施例提供一种有机蒸汽沉积装置的控制方法，当喷嘴22堵塞时，只需采用激光器23对喷嘴22中的有机材料进行加热，以使这部分有机材料升华，在增压装置21的作用下从喷嘴22喷出，从而达到快速疏通喷嘴22的效果，结构简单，易于实现，效果较好。

基于此，在一些实施例中，有机蒸汽沉积装置的控制方法还包括：

沉积阶段P2：

S20、控制有机材料供给装置10向喷头20输送沉积气体。

在一些实施例中，具体为：

控制蒸汽源供给装置112向混合匀压腔室111输送有机蒸汽，控制高压载气供给装置113向混合匀压腔室111输送载气，使有机蒸汽和载气在混合匀压腔室111内混合形成沉积气体。

S21、控制激光器23第二次发光，对有机材料供给装置10输送的沉积气体加热。

其中，本领域技术人员应该明白，激光器23第二次发光时的发光强度应能避免沉积气体冷凝。

S22、控制增压装置21将加热后的沉积气体喷出喷嘴22。

其中，激光器23第二次发光时发出散射光，激光器23第一次发光时的发光强度大于第二次发光时的发光强度。

基于此，在一些实施例中，有机蒸汽沉积装置的控制方法还包括：

对位阶段P3：

S31、控制有机材料供给装置10停止向喷头20输送气体。

此时，有机材料供给装置10不向喷头20输送任何气体。

S32、控制激光器23第三次发光。

S33、控制激光接收器根据接收到的激光强度判断喷头20与承载基板30上放置的沉积基板的相对位置，从而对喷头20进行定位。

其中，激光器23第三次发光时发出直射光，激光器23第一次发光时的发光强度大于第三次发光时的发光强度。激光器23第二次发光时的发光强度大于第三次发光时的发光强度。对于激光器23每次发光时的具体发光强度，应参考具体的有机材料来设定。

此处，本发明中的有机蒸汽沉积装置的控制方法包括上述疏通喷嘴阶段P1、沉积阶段P2、对位阶段P3三个阶段，但并不限定执行各个阶段的先后关系。

以上，由于在对位阶段P3激光器23仅用于调整喷头20的沉积基板的相对位置，因此，为了节省能量，提高对位精度，激光器23发出强度较低的直射光。在沉积阶段P2，激光器23用于确保喷头20内的沉积气体不会冷凝，因此，激光器23发出强度较高的散射光。在疏通喷嘴阶段P1，激光器23用于使喷嘴22上黏附的有机材料升华，此时需要较高的能量，因此，激光器23发出强度非常高的散射光。

本发明利用脉冲激光通过压电陶瓷管211进行有机蒸汽的喷射，沉积完成后又可以利用激光对沉积后的喷嘴22进行清洁。本技术高精度的超微管道加热，不仅仅给喷射提供脉冲动力，更加具有高效定位的效果，形成高精度的图案化沉积，提高像素精度，并且可以将像素做的更小，提高显示分辨率。

以下，提出一种具体的实施例对本发明提供的有机蒸汽沉积装置的控制方法进行说明。

步骤1：在喷嘴22内设置一个激光器23，激光器23的光轴和喷嘴22的中心轴重合，在开始使用时，首先调节激光器23的激光发生头成为聚光镜，发出直射光，形成一束光，照射沉积基板。承载基板30下方设置有激光接收器，激光穿过沉积基板，根据激光透过隔离柱01区域和相邻隔离柱01之间的区域的透过率不同，测定喷嘴22与沉积基板的相对位置，将喷嘴22准确移动到对应位置。

步骤2：通过具有旋转调节作用的激光发生头，将激光调节为散射光，并且将光强增加，将有机材料供给装置10中的沉积气体输送到喷头20内。具体的，蒸汽源供给装置112中有机蒸汽进入混合匀压腔室111内，与高压载气供给装置113通入的载气混合形成沉积气体，通过激光对沉积气体进行照射，利用激光的热量和脉冲能量，使有机蒸汽具有较高的热运动活性，提高分子内能，在压电陶瓷管211的作用下，沉积气体经过压电陶瓷管211从喷嘴22高速喷出，形成高度准直的射流。在形成有机膜图案时，射流撞击沉积基板，从而选择性物理吸收有机材料分子，载气则逸出，形成分辨率较高的有机薄膜。

步骤3：在沉积结束后，使激光器23对喷嘴22垂直照射，通过具有旋转调节作用的激光发生头将激光调节为散射光，并且激光强度增加至有机材料升华温度，对喷嘴22进行照射。通过激光的高温和脉冲的作用下将喷嘴22内的有机材料重新升华，并且在喷嘴22内通过高温载气将升华的有机材料带走，保证喷嘴22的干净。

本发明提供的有机蒸汽沉积装置中，蒸汽源供给装置112中有机蒸汽进入混合匀压腔室111内，与高压载气供给装置113通入的载气混合形成沉积气体，在压电陶瓷管211的作用下，沉积气体经过压电陶瓷管211从喷嘴22高速喷出，形成高度准直的射流，在形成有机膜图案时，射流撞击沉积基板，从而选择性物理吸收有机材料分子，载气则逸出，形成分辨率较高的有机膜，同时避免了采用掩膜带来的有机材料浪费的问题。

本设计通过在喷头20内增加激光器23，激光器23具有定位、加热、清洁作用。根据控制电脑中设定的有机图案，通过喷头20内的激光束进行高精度定位，激光强度为最弱。在进行蒸汽沉积时，会将激光强度增强，利用高强度激光对喷嘴22进行加热；当沉积完成后，喷嘴22移动到待机位置，这个时候提高激光强度，对喷嘴22进行自清洁，结构简单，成本低，效率高。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种有机蒸汽沉积装置，其特征在于，包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头；

所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器，所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间，所述激光器用于向所述喷嘴发射激光，所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。

2.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述有机材料供给装置包括多个独立的子供给装置；

所述子供给装置包括混合匀压腔室、与所述混合匀压腔室连接的蒸汽源供给装置和高压载气供给装置、设置在所述混合匀压腔室内的控温元件，所述混合匀压腔室的出口连接多个所述喷头；

多个所述蒸汽源供给装置供给的有机蒸汽不完全相同；所述高压载气供给装置供给的载气不与所述蒸汽源供给装置供给的有机蒸汽发生气相反应。

3.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述喷嘴的出口方向上的承载基板及冷却系统，所述承载基板设置在所述喷嘴的下方；

所述冷却系统设置在所述承载基板的下方；

或者，

所述冷却系统设置在所述承载基板的内部。

4.根据权利要求3所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述承载基板上的激光接收器，所述激光接收器用于根据接收到的激光强度判断所述喷头与沉积过程中放置在所述承载基板上的沉积基板的相对位置。

5.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述增压装置包括压电陶瓷管、进口阀、出口阀和微机电系统，所述进口阀和所述出口阀分别位于所述压电陶瓷管的进口端和出口端；

所述微机电系统与所述压电陶瓷管连接以控制所述压电陶瓷管的变形，所述微机电系统与所述进口阀和所述出口阀连接以控制所述进口阀和所述出口阀的开关。

6.根据权利要求1-5任一项所述的有机蒸汽沉积装置，其特征在于，所述喷头还包括与所述激光器连接的激光控制器，所述激光控制器用于控制所述激光器的发光强度；

和/或；

用于控制所述激光器发出散射光或直射光。

7.一种如权利要求1-6任一项所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，其特征在于，包括：

疏通喷嘴阶段：

控制有机材料供给装置停止向喷头输送沉积气体；

控制激光器第一次发光，使黏附在喷嘴上的有机材料升华形成残余气体；

控制增压装置将残余气体喷出喷嘴；

其中，所述激光器第一次发光时发出散射光。

8.根据权利要求7所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，其特征在于，

所述控制有机材料供给装置停止向喷头输送沉积气体，具体包括：

控制蒸汽源供给装置停止向混合匀压腔室输送有机蒸汽，控制高压载气供给装置向所述混合匀压腔室输送载气；

所述控制增压装置将残余气体喷出喷嘴，具体包括：

控制所述增压装置将残余气体和载气喷出所述喷嘴。

9.根据权利要求7所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，其特征在于，还包括：

沉积阶段：

控制所述有机材料供给装置向所述喷头输送沉积气体；

控制所述激光器第二次发光，对所述有机材料供给装置输送的沉积气体加热；

控制所述增压装置将加热后的沉积气体喷出所述喷嘴；

其中，所述激光器第二次发光时发出散射光，所述激光器第一次发光时的发光强度大于第二次发光时的发光强度。

10.根据权利要求7所述的有机蒸汽沉积装置的控制方法，其特征在于，还包括：

对位阶段：

控制所述有机材料供给装置停止向所述喷头输送气体；

控制所述激光器第三次发光；

控制激光接收器根据接收到的激光强度判断所述喷头与承载基板上放置的沉积基板的相对位置，对所述喷头进行定位；

其中，所述激光器第三次发光时发出直射光，所述激光器第一次发光时的发光强度大于第三次发光时的发光强度。

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