KR100849439B1 - 노광장비의 스텝퍼척 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 노광장비의 스텝퍼척 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 설명하면, 스텝퍼척의 상면에 마스킹테이프를 형성시킨 후, 다수의 원형패턴으로 절삭되도록 레이저를 조사한 다음, 그 마스킹테이프를 제거한 후 샌드 블라스트로 가공함으로써 마스킹테이프에 형성된 원형패턴은 양각의 형태로 남고 나머지부분은 깎여지도록 가공하여 스텝퍼척 상면에 돗트와 진공통로를 신속하고 정확하게 가공할 수 있도록 한 노광장비의 스텝퍼척 제조방법에 관한 것으로,

원판형태의 스텝퍼척 상면에 마스킹테이프를 형성시킨 후 저온으로 가열하여 일체로 결합시키는 준비공정과, 마스킹테이프가 형성된 스텝퍼척 상면으로 레이저을 조사하여 마스킹테이프가 원형형태의 패턴대로 절삭하는 레이져 조사공정과, 상기 절삭된 원형형태의 패턴을 제외한 마스킹테이프를 제거하고 스텝퍼척의 상면에 샌드 블라스트를 이용하여 미세한 연마재를 강한 압축공기로 분출시키는 샌드 블라스트 공정과, 상면에 남아있는 원형형태의 마스킹테이프을 제거하고 각 표면을 평활하게 가공하는 표면 가공 및 정리공정으로 그 대략적인 구성을 가진다.

상기와 같은 본 발명은, 스텝퍼척의 상면에 마스킹테이프를 형성시킨 후, 원형형태의 패턴으로 절삭되도록 레이저를 조사한 다음, 그에 샌드 블라스트 가공함으로써 마스킹테이프의 원형형태 패턴부분은 남고 나머지부분은 깎여지도록 가공하여, 스텝퍼척 상면에 양각의 형태로 돌출된 돗트와 음각의 형태로 깎여진 진공통로 가 신속하고 정확하게 가공되는 효과가 있다.

노광장치, 척, 스텝퍼척, 레이저, 마스킹테이프

Description

노광장비의 스텝퍼척 제조방법 { STEPPER CHUCK THE MANUFACTURING METHOD OF EXPOSURE APPARATUS }

본 발명은 노광장비의 스텝퍼척 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 설명하면, 스텝퍼척의 상면에 마스킹테이프를 형성시킨 후, 그 마스킹테이프의 상부 면이 다수의 원형패턴으로 절삭되도록 레이저를 조사한 다음, 그 마스킹테이프를 제거한 후 샌드 블라스트로 가공함으로써 마스킹테이프에 형성된 원형패턴은 양각의 형태로 남고 나머지부분은 깎여지도록 가공하여 스텝퍼척 상면에 돗트와 진공통로를 신속하고 정확하게 가공할 수 있도록 한 노광장비의 스텝퍼척 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자의 제조공정에는 photo공정을 진행하기 위해 노광장비가 사용되는데, 이 장비에는 공정 진행을 위한 웨이퍼가 장착되는 스텝퍼척이 구비된다.

스텝퍼척은 공정이 진행되는 동안 웨이퍼를 지지하는 역할뿐만 아니라 웨이퍼의 온도를 적정하게 유지시켜 최적의 공정조건이 유지되도록 하는 역할을 한다.

상기와 같이 반도체 소자의 제조공정에서 반드시 필요한 스텝퍼척은 그 제조방법이 상당히 난해한 문제점을 내포하고 있는바, 대략적인 종래의 스텝퍼척의 제조방법을 살펴보면, 원판형태의 스텝퍼척 상면을 정밀한 평면 연삭공구를 이용하여 돗트 형태가 무수히 배열된 양각의 형태로 절삭하며, 절삭된 부분이 진공통로로 사용되도록 하는 제조방법을 갖는다.

상기 종래의 스텝퍼척의 제조방법은, 복잡하고 미세한 돗트배열을 만들어야하고 돗트상면 평탄도를 0.0005 이하로 가공되어야 하며, 그에 따른 제작비용 또한 대단히 고가인 문제점을 내포하고 있었으며, 국내에서는 제품의 생산이 불가능하여 전량 외국으로부터 수입하여 사용하고 있는 실정이다.

뿐만 아니라, 무수히 배열된 돗트를 하나하나 양각의 형태로 절삭가공하여야 함으로 인해 무수히 많은 돗트를 절삭 중 어느 하나의 돗트가 파손 또는 훼손될 경우 곧바로 제품 전체의 불량으로 이어져 제조 시 불량률이 증대되며, 돗트의 가공이 정확한 위치에 이루어지기 어려워 위치결정도가 저해되는 또 다른 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 발명한 것으로, 스텝퍼척의 상면에 마스킹테이프를 재치한 후, 원형형태의 패턴이 형성되도록 레이저을 조사하여 절삭하고, 그 원형형태의 패턴만 남긴 채 마스킹테이프를 제거한 후, 샌드 블라스트로 가공함으로써 원형형태의 마스킹테이프가 남은 부분은 남고 나머지부분은 깎여지도록 가공하여, 스텝퍼척 상면에 양각의 형태로 돌출된 돗트와 음각의 형태로 깎여진 진공통로가 신속하고 정확하게 가공되도록 함을 목적으로 한다.

또한, 스텝퍼척 상면에 형성된 돌출된 돗트가 동시에 가공됨으로 인해 스텝퍼척의 생산속도가 크게 향상되며, 제작 시 불량품이 발생될 위험이 현저히 줄어들 게 되고, 마스킹테이프의 패턴대로 돗트가 형성됨으로써 각각의 돗트 위치가 정확하여 위치결정도가 높은 고품질의 스텝퍼척을 얻을 수 있도록 함을 목적으로 한다.

원판형태의 스텝퍼척 상면에 마스킹테이프를 형성시킨 후 저온으로 가열하여 일체로 결합시키는 준비공정과, 마스킹테이프가 형성된 스텝퍼척 상면으로 레이저을 조사하여 마스킹테이프가 원형형태의 패턴대로 절삭하는 레이져 조사공정과, 상기 절삭된 원형형태의 패턴을 제외한 마스킹테이프를 제거하고 스텝퍼척의 상면에 샌드 블라스트를 이용하여 미세한 연마재를 강한 압축공기로 분출시키는 샌드 블라스트 공정과, 상면에 남아있는 원형형태의 마스킹테이프을 제거하고 각 표면을 평활하게 가공하는 표면 가공 및 정리공정으로 구성됨을 특징으로 하는 노광장치의 스텝퍼척 제조방법.

상기와 같은 본 발명은, 스텝퍼척의 상면에 마스킹테이프를 형성시킨 후, 원형형태의 패턴으로 절삭되도록 레이저를 조사한 다음, 그에 샌드 블라스트 가공함으로써 마스킹테이프의 패턴부분은 남고 나머지부분은 깎여지도록 가공하여, 스텝퍼척 상면에 양각의 형태로 돌출된 돗트와 음각의 형태로 깎여진 진공통로가 신속하고 정확하게 가공되는 효과가 있다.

스텝퍼척 상면에 형성된 돌출된 돗트가 동시에 가공됨으로 인해 스텝퍼척의 생산속도가 크게 향상되며, 제작 시 불량품이 발생될 위험이 현저히 줄어들게 되고, 마스크에 형성된 패턴대로 돗트가 형성됨으로써 각각의 돗트 위치가 정확하여 위치결정도가 높은 고품질의 스텝퍼척을 얻을 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 노광장비의 스텝퍼척 제조방법에 관한 것으로, 스텝퍼척의 상면에 마스킹테이프를 형성시킨 후, 원형형태의 패턴이 형성되도록 레이저를 조사한 다음, 그 원형형태의 패턴을 제외한 마스킹테이프를 제거하고, 샌드 블라스트 가공함으로써 마스킹테이프의 원형형태의 패턴부분은 양각의 형태로 남고 나머지부분은 깎여지도록 가공하여 스텝퍼척 상면에 돗트와 진공통로를 신속하고 정확하게 가공할 수 있도록 한 특징이 있다.

본 발명은 크게 네 공정으로 구성되는바, 원판형태의 스텝퍼척(10)의 상면에 마스킹테이프(20)를 형성시킨 후 50~60℃의 온도로 가열하여 일체로 결합시키는 준비공정(S1)과, 마스킹테이프(20)가 형성된 스텝퍼척(10)의 상면에 레이저(31)를 조사하여 원형형태의 패턴으로 절삭시키는 레이저 조사공정(S2)과, 상기 원형형태의 패턴을 제외한 마스킹테이프(20)를 제거하고, 스텝퍼척(10)의 상면을 샌드 블라스트(30)를 이용하여 가공하는 샌드 블라스트 공정(S3)과, 상면에 남은 마스킹테이프(20)를 제거하고 표면을 평활하게 가공하는 표면 가공 및 정리공정(S4)으로 구성되어, 스텝퍼척을 신속하게 제작할 수 있는 대략적인 구성을 갖는다.

이하 본 발명의 실시 예를 도면을 통해 살펴보면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 공정 순서도를 나타낸 것이고, 도 2는 본 발명의 제작 공정도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명에 의해 제작된 스텝퍼척의 사시도를 나타낸 것으로, 도시한 바와 같이,

우선, 제 1공정은 마스킹테이프(20)를 스텝퍼척(10) 상에 형성시킨 후 이를 저온으로 가열하여 일체로 형성시키는 준비공정(S1)을 완료한다.

그 후 행해지는 제 2공정은, 스텝퍼척(10)의 돗트(11)와 일치하는 원형형태의 패턴으로 마스킹테이프(20)가 절삭되도록 레이저(31)를 조사하는 레이저 조사공정(S2)을 완료한다.

상기 레이저(31) 조사가 완료되면 원형형태의 패턴만을 남기고 마스킹테이프(20)를 제거하여 절삭된 원형패턴의 마스킹테이프만(20)이 남아 있는 구성을 갖는다.

그런 다음 제 3공정은, 상기 스텝퍼척(10)의 상면을 샌드 블라스트(30)를 이용하여 마스킹테이프(20)가 형성되지 않은 스텝퍼척(10)이 깎여지도록 하는 샌드 블라스트 공정(S3)을 완료한다.

상기 샌드 블라스트(30)는 다양한 형태로 여러 산업공정에서 사용되는바, 압축공기를 이용하여 미세입자의 연마재(31)를 강하게 뿜어줌으로써 마스킹테이프(20)가 형성된 부분을 제외한 스텝퍼척(10)의 상면이 깎여지도록 구성된다.

상기와 같이 마스킹테이프(20)를 제외한 부분만 깎여지도록 함으로써 마스킹테이프(20)가 형성된 부분은 양각으로 돌출된 형태로 남아 있고, 나머지 홈의 형태로 가공되어 진공통로(12)의 역할을 하도록 구성된다.

상기 연마재(31)은 통상의 탄화규소(SiC)와 알루미나(Al₂O₃), 탄화붕소(B4C) 등으로 구성된 것이다.

그 후 행해지는 마지막 공정인 제 4공정은, 상기 스텝퍼척(10) 상면에 형성된 마스킹테이프(20)를 제거하고 표면을 평활하게 가공하는 표면 가공 및 정리공정(S4)을 완료한다.

상기 마스킹테이프(20)를 제거함으로써 스텝퍼척(10)의 상면의 단면은 요철형태가 되며, 상면 전체에 상기 마스킹테이프(20)의 패턴대로 돗트(11) 형태가 무수히 배열된 형태를 가지며, 스텝퍼척(10)의 돌출된 부분과 홈이 가공된 부분이 정확히 요철을 이루도록 표면을 정리함으로써 본 발명의 제조를 완료한다.

도 1은 본 발명의 공정 순서도

도 2는 본 발명의 제작 공정도

도 3은 본 발명에 의해 제작된 스텝퍼척의 사시도

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

10: 스텝퍼척 11: 돗트

12: 진공통로 20: 마스킹테이프

30: 샌드 블라스트 31: 레이져

S1: 준비공정 S2: 레이져 조사공정

S3: 샌드 블라스트 공정 S4: 표면 가공 및 정리공정

Claims (1)

1. 노광장치의 스텝퍼척의 제조방법에 있어서,

   원판형태의 스텝퍼척(10) 상면에 마스킹테이프(20)를 형성시킨 후 저온으로 가열하여 일체로 결합시키는 준비공정(S1)과,

   마스킹테이프(20)가 형성된 스텝퍼척(10) 상면으로 레이저(31)을 조사하여 마스킹테이프(20)가 원형형태의 패턴대로 절삭하는 레이져 조사공정(S2)과,

   상기 절삭된 원형형태의 패턴을 제외한 마스킹테이프(20)를 제거하고 스텝퍼척(10)의 상면에 샌드 블라스트(30)를 이용하여 미세한 연마재(31)를 강한 압축공기로 분출시키는 샌드 블라스트 공정(S3)과,

   상면에 남아있는 원형형태의 마스킹테이프(20)을 제거하고 각 표면을 평활하게 가공하는 표면 가공 및 정리공정(S4)으로 구성됨을 특징으로 하는 노광장치의 스텝퍼척 제조방법.

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