KR100846575B1 - Twin fluid atomizer for cleaning fpd glass - Google Patents

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KR100846575B1 KR1020080001744A KR20080001744A KR100846575B1 KR 100846575 B1 KR100846575 B1 KR 100846575B1 KR 1020080001744 A KR1020080001744 A KR 1020080001744A KR 20080001744 A KR20080001744 A KR 20080001744A KR 100846575 B1 KR100846575 B1 KR 100846575B1
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최갑수
김효진
고원일
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Abstract

A twin fluid atomizer for cleaning an FPD(Flat Panel Display) glass is provided to atomize the cleaning solution to the FPD glass surface uniformly without adjusting the height of the atomizer, and to improve the cleaning ability by using strong atomization ability with small amount of the cleaning solution. The air is introduced into an air buffer tank from an air supply source. A cleaning solution is flowed into a cleaning solution buffer tank from a cleaning solution supply source. A large number of air exhaust lines(30) are connected with the air buffer tank, and exhaust the air. A large number of cleaning solution discharge lines are connected with the cleaning solution buffer tank, and discharge the cleaning solution. A large number of outlets(50) are formed at the joining place of the outlet of the air exhaust line and the outlet of the cleaning solution discharge line, and eject the air and the cleaning solution to the outside. The air and cleaning solution ejected from the large number of outlet is mixed at the inside of a slit part(60) and atomized to the outside of the slit part according to the slit shape.

Description

평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치{Twin Fluid Atomizer for Cleaning FPD Glass}Technical Field [0001] The present invention relates to a Twin Fluid Atomizer for Cleaning FPD Glass,

제1도는 종래 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치의 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a conventional flat display glass cleaning air injection device.

제2도는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치의 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view of an air injection device for cleaning a flat panel display glass according to the present invention.

제3도는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치의 단면도이다.FIG. 3 is a sectional view of an air injection device for cleaning a flat display glass according to the present invention.

제4도는 분사 장치의 중앙 판 좌측(A), 우측(B) 측면도이다.FIG. 4 is a left side view (A) and a right side view (B) of the center plate of the injector.

제5도는 본 발명에 따른 이류체 분사 장치와 종래 슬릿형 분사 장치의 분사 타력을 비교하기 위해 실시한 테스트의 결과를 보여주는 그래프이다.FIG. 5 is a graph showing the results of a test performed to compare the spraying force of the air injecting apparatus according to the present invention and the conventional slit injecting apparatus.

제6도는 본 발명에 따른 이류체 분사 장치와 종래 슬릿형 분사 장치의 분사 균일성을 비교하기 위해 실시한 테스트의 결과를 보여주는 그래프이다.FIG. 6 is a graph showing the results of a test conducted to compare spray uniformity of an air jet spraying apparatus according to the present invention and a conventional slit spraying apparatus.

제7도는 본 발명에 따른 다른 이류체 분사 장치의 단면도이다.7 is a sectional view of another air injecting apparatus according to the present invention.

제8도는 본 발명에 따른 이류체 분사 시스템의 단면도이다.FIG. 8 is a sectional view of the air injection system according to the present invention; FIG.

제9도는 본 발명에 따른 다른 이류체 분사 시스템의 단면도이다.FIG. 9 is a cross-sectional view of another air injection system according to the present invention; FIG.

* 도면의 주요부호에 대한 간단한 설명 *BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.

10 : 공기 버퍼 탱크 11 : 제1 공기 버퍼 탱크10: air buffer tank 11: first air buffer tank

12 : 제2 공기 버퍼 탱크 20 : 세정액 버퍼 탱크12: second air buffer tank 20: cleaning liquid buffer tank

21 : 제1 세정액 버퍼 탱크 22 : 제2 세정액 버퍼 탱크21: first rinse solution buffer tank 22: second rinse solution buffer tank

30 : 공기 배출 라인 40 : 세정액 배출 라인30: air discharge line 40: cleaning liquid discharge line

41 : 입구 42 : 출구41: inlet 42: outlet

43 : 제1 세정액 배출 라인 44 : 제2 세정액 배출 라인43: first cleaning liquid discharge line 44: second cleaning liquid discharge line

50 : 배출구 51 : 제1 배출구50: outlet 51: first outlet

52 : 제2 배출구 60 : 슬릿부52: second outlet 60:

61 : 제1 슬릿부 62 : 제2 슬릿부61: first slit part 62: second slit part

70 : 구멍 A : 공기 공급원70: hole A: air source

B : 세정액 공급원B:

발명의 분야Field of invention

본 발명은 평판 디스플레이(FPD: Flat Panel Display) 글라스를 세정하기 위한 이류체 분사 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 복수개의 각 배출구 끝단에서 만나 강하게 배출되는 세정액과 공기가 슬릿부에 의해 'ㅡ'자로 균일 분사되어 강력하고 균일한 세정이 가능한 이류체 분사 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to an airflow injector for cleaning a flat panel display (FPD) glass. More particularly, the present invention relates to an air jet injector capable of uniformly spraying a cleaning liquid and air, which are strongly discharged from a plurality of discharge port ends, uniformly sprayed by a slit portion.

발명의 배경BACKGROUND OF THE INVENTION

FPD(Flat Panel Display) 글라스를 처리하는 공정으로 액상의 세정액, 에칭액, 현상액 등을 이용하여 FPD 글라스를 세정, 에칭, 현상 또는 스트립핑하는 습윤 공정이 있다.A process for processing an FPD (Flat Panel Display) glass is a wet process for cleaning, etching, developing or stripping an FPD glass using a liquid cleaning liquid, an etching liquid, a developing liquid, or the like.

이러한 습윤 공정 동안에는 통상 FPD 글라스가 컨베이어 수단에 의해 일정한 속도로 수평 이동하고, 그 이동 방향과 직교되는 방향으로 그 상부에 위치한 분사 장치를 통해 액상의 물질이 분사되면서 FPD 글라스 표면이 세정, 에칭, 현상, 스트립핑 된다. 본 명세서에서는 FPD 글라스 표면을 세정, 에칭, 현상 스트립핑하는 경우를 모두 '세정'으로 통칭한다.During the wetting process, the FPD glass is generally horizontally moved at a constant speed by the conveyor means, and the liquid material is sprayed through the injector located above the FPD glass in a direction orthogonal to the direction of movement, so that the FPD glass surface is cleaned, , And stripped. In the present specification, the case of cleaning, etching, and developing stripping an FPD glass surface are collectively referred to as " cleaning ".

습윤 공정에는 DIW와 같은 세정액이나 기타 처리액에, 그 처리 효과를 높이기 위해 공기를 유입시켜 버블 상태로 만든 이류체(二流體)가 많이 사용된다. 이러한 이류체 분사 장치에는 도 1에 도시된 바와 같이 일정한 간격으로 배열된 단위 노즐을 통해 이류체가 분사되는 노즐형 분사 장치와 이류체가 슬릿을 통하여 'ㅡ'자 형태로 분사되는 슬릿형 분사 장치가 있다.In the wetting process, a double-fluid body, in which air is introduced into the cleaning liquid such as DIW or the other processing liquid to bubble the air to increase the processing effect, is often used. As shown in FIG. 1, there is a nozzle type injector in which an adiabatic nozzle is injected through unit nozzles arranged at regular intervals as shown in FIG. 1, and a slit type injector in which the advector is injected in a '' shape through a slit .

그러나 도 1에 도시된 것과 같은 노즐형 분사 장치는 단위 노즐이 일정한 간격으로 배열되어 특정한 분사 패턴(P)을 형성하기 때문에 FPD 글라스 표면이 균일 하게 처리되지 못하고, 노즐의 높이에 따라 분산 패턴의 크기가 변하기 때문에 그 설치 높이를 정확히 하여야 하고, 공정 조건이 변함에 따라 그 설치 높이를 조절해야하는 등의 결점이 있다.However, in the nozzle-type injector as shown in FIG. 1, since the unit nozzles are arranged at regular intervals to form a specific injection pattern P, the FPD glass surface can not be uniformly processed and the size of the dispersion pattern It is necessary to precisely set the installation height thereof and to adjust the installation height thereof in accordance with the change of the process conditions.

반면 슬릿형 분사 장치는 이류체가 'ㅡ'자형 슬릿을 통하여 'ㅡ'자 형태로 분사됨으로써 설치 높이를 조절할 필요가 없고, FPD 글라스 표면을 비교적 균일하게 처리할 수 있으나 세정액의 소모가 크고, 세정액이 슬릿 전체에서 균일하게 분사되지 못하는 결점이 있다.On the other hand, the slit-type spraying device does not need to adjust the installation height because the air stream is injected in the shape of '-' through the '-' shaped slit, and the surface of the FPD glass can be processed relatively uniformly, but the consumption of the cleaning liquid is large, There is a drawback that the slit can not be uniformly sprayed over the entire slit.

또한 종래의 이류체 분사 장치는 세정액과 공기가 분사 장치 내부에서 혼합되어 버블이 형성된 후 배출되기 때문에 이류체가 강하게 분사되지 못하는 결점이 있다.Further, in the conventional air injecting apparatus, since the cleaning liquid and air are mixed in the injecting apparatus, the air is ejected after the bubbles are formed, so that the air flow can not be injected strongly.

이에 본 출원인은 FPD 글라스 표면에 세정액을 균일하게 분사할 수 있고, 설치 높이를 조절할 필요가 없고, 적은 양의 세정액으로도 강력한 분사 능력으로 세정 능력을 향상시킬 수 있는 새로운 형태의 이류체 처리장치를 개발하게 이른 것이다.Therefore, the applicant of the present invention has proposed a new type air treatment apparatus which can uniformly spray the cleaning liquid on the surface of the FPD glass, does not need to adjust the installation height, and can improve the cleaning ability even with a small amount of cleaning liquid Development.

본 발명의 목적은 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide an airflow injecting apparatus for cleaning a flat display glass.

본 발명의 다른 목적은 이류체를 강력하게 분사할 수 있는 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide an airflow injecting apparatus for cleaning a flat panel display glass capable of strongly jetting an airflow body.

본 발명의 또 다른 목적은 적은양의 이류체로 효율적으로 세정할 수 있는 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치를 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide an airflow injecting apparatus for cleaning a flat display glass which can be efficiently cleaned with a small amount of advection.

본 발명의 또 다른 목적은 이류체가 균일하게 분사될 수 있는 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치를 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide an airflow injecting apparatus for cleaning a flat panel display glass in which the airflow can be uniformly injected.

본 발명의 또 다른 목적은 상하면 동시에 세정이 가능한 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치를 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide an airflow injecting apparatus for cleaning a flat display glass,

본 발명의 또 다른 목적은 공간 효율성이 높은 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치를 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide an airflow injecting apparatus for cleaning a flat display glass having high space efficiency.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 상세히 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.These and other objects of the present invention can be achieved by the present invention which is described in detail. Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail.

발명의 요약SUMMARY OF THE INVENTION

본 발명에 따른 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치는 공기 공급원으로부터 공기가 유입되는 공기 버퍼 탱크, 세정액 공급원으로부터 세정액이 유입되는 세정액 버퍼 탱크, 상기 공기 버퍼 탱크와 연결되어 공기가 배출되는 다수의 공기 배출 라인, 상기 세정액 버퍼 탱크와 연결되어 세정액이 배출되는 다수의 세정액 배출 라인, 상기 공기 배출 라인의 출구와 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 배출구, 및 상기 다수의 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 슬릿부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.An air buffer tank into which air flows from an air supply source; a cleaning liquid buffer tank through which a cleaning liquid flows from a cleaning liquid supply source; a plurality of air A plurality of cleaning liquid discharge lines connected to the cleaning liquid buffer tank to discharge a cleaning liquid, a plurality of discharge openings formed at a position where an outlet of the air discharge line and an outlet of the cleaning liquid discharge line meet, And a slit part for mixing the air injected into the plurality of outlets and the cleaning liquid into the slit part and injecting the slit part out of the slit part.

또한 상기 공기 버퍼 탱크를 두 개의 공간으로 나누는 다공판을 더 포함하고, 공기 공급원으로부터 유입된 공기는 상기 다공판을 통과한 후 공기 배출 라인으로 배출되게 함으로써 공기 공급원으로부터 유입된 공기가 각 공기 배출 라인으로 균일하게 배출될 수 있도록 할 수 있다.And the air introduced from the air supply source is discharged to the air discharge line after passing through the perforated plate, so that the air introduced from the air supply source flows through the air discharge line So that it can be uniformly discharged.

또한 상기 공기 배출 라인과 세정액 배출 라인의 단면적을 버퍼탱크 쪽이 배출구 쪽 보다 크도록 하여 공기 배출 라인과 세정액 배출 라인으로 유입되는 공기와 세정액의 압력이 떨어지지 않도록 하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the cross-sectional area of the air discharge line and the cleaning liquid discharge line is set so that the buffer tank side is larger than the discharge side so that the pressure of the cleaning liquid and the air flowing into the air discharge line and the cleaning liquid discharge line do not fall.

본 발명에 따른 다른 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치는 공기 공급원으로부터 공기가 유입되는 공기 버퍼 탱크, 세정액 공급원으로부터 세정액이 유입되는 제1, 2 세정액 버퍼 탱크, 상기 공기 버퍼 탱크와 연결되어 공기가 배출되는 다수의 공기 배출 라인, 상기 제1, 2 세정액 버퍼 탱크와 연결되어 세정액이 배출되는 다수의 제1, 2 세정액 배출 라인, 상기 공기 배출 라인의 출구와 제1 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 제1 배출구, 상기 공기 배출 라인의 출구와 제2 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 제2 배출구, 상기 다수의 제1 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 제1 슬릿부, 및 상기 다수의 제2 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 제2 슬릿부를 포함하여 이루어지고, 상기 제1, 2 슬릿부는 서로 평행하게 위치하여 적은 공간으로 2배의 세정 효율을 가질 수 있는 것을 특징으로 한다.Another air conditioner for cleaning a flat panel display glass according to the present invention comprises an air buffer tank into which air flows from an air supply source, first and second cleaning liquid buffer tanks into which a cleaning liquid flows from a cleaning liquid supply source, A plurality of first and second cleaning liquid discharge lines connected to the first and second cleaning liquid buffer tanks for discharging the cleaning liquid, a plurality of first and second cleaning liquid discharge lines for discharging the cleaning liquid at a position where the outlet of the air discharge line and the outlet of the first cleaning liquid discharge line meet And a plurality of second outlets formed at a location where the outlet of the air discharge line and the outlet of the second cleaning liquid discharge line meet and in which the air and the cleaning liquid are ejected to the outside, , The air injected to the plurality of first outlets and the cleaning liquid are mixed in the inside of the slit portion and the outside of the slit portion And a second slit part for mixing the air injected by the plurality of second outlets with the cleaning liquid mixed in the slit part and being injected into the slit part in the form of a one-slit slit, And the first and second slit portions are positioned in parallel with each other, so that the cleaning efficiency can be doubled to a small space.

또한 위와 같은 기판 세정용 이류체 분사 장치를 기판의 상부 및 하부에 위치시켜 기판의 상하면을 동시에 세정할 수 있다.In addition, the above-described substrate cleaning atomizing body spraying apparatus can be placed on the upper and lower sides of the substrate to simultaneously clean the upper and lower surfaces of the substrate.

이하 본 발명의 구체적 내용을 하기에 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명DETAILED DESCRIPTION OF EMBODIMENTS OF THE INVENTION

도2에 본 발명에 따른 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치(100)의 사시도가 도시되어 있다. 이러한 분사장치는 컨베이어 수단 상부에 설치되어 일정한 속도로 수평 이동하는 FPD 글라스 표면을 세정하며, 도1에 도시된 노즐형 분사장치와 달리 이류체가 'ㅡ'자 형태로 분사됨으로써 FPD 글라스 표면의 처리 균일성을 향상시키고, 설치 높이를 조절할 필요가 없다.2 is a perspective view of an air injection device 100 for a flat panel display glass cleaning according to the present invention. This injection device cleans the surface of the FPD glass which is horizontally moved at a constant speed by being installed on the upper part of the conveyor means. Unlike the nozzle-type injection device shown in FIG. 1, It is not necessary to improve the property and adjust the installation height.

이러한 분사 장치(100)는 도3에 도시된 바와 같이 세정에 필요한 공기와 세정액을 공급받기 위해 외부 공기 공급원(A)과 세정액 공급원(B)에 연결되어 있다.As shown in FIG. 3, the injector 100 is connected to an external air supply source A and a cleaning liquid supply source B in order to supply air and cleaning liquid required for cleaning.

공기(CDA)는 공기 공급원(A)으로부터 공기 버퍼 탱크(10)로 유입되고, 다수개의 공기 배출 라인(30)을 통해 배출된다. 이 때 공기 공급원과 연결된 부분에 가까운 공기 배출 라인으로는 공기가 강하게 배출되고 상기 연결된 부분으로부터 멀어질수록 공기가 약하게 배출되는데 이는 결과적으로 이류체가 균일하게 분사되지 못하게 하여 FPD 글라스 표면이 균일하게 처리되지 못하는 원인이 된다.Air (CDA) is introduced into the air buffer tank (10) from the air source (A) and discharged through a plurality of air discharge lines (30). At this time, the air is strongly discharged through the air discharge line near the air supply source, and the air is weakly discharged as the distance from the connected portion is weak. As a result, the air is not uniformly injected, It is a cause of failure.

따라서 본 발명에서는 공기 버퍼 탱크(10)를 두 개의 공간(11, 12)으로 나누는 다공판을 두어, 공기 공급원으로부터 유입된 난류가 층류로 변화되게 함으로써 공기 공급원으로부터 유입된 공기가 각 공기 배출 라인(30)으로 균일하게 배출될 수 있도록 한다.Therefore, in the present invention, a perforated plate dividing the air buffer tank 10 into two spaces 11 and 12 is provided so that the turbulent flow introduced from the air supply source is changed into a laminar flow so that the air introduced from the air supply source flows into each air discharge line 30).

도3에 도시된 바와 같이 3개의 판(1, 2, 3)을 결합함으로써 이류체 분사 장치(100)를 구성한 실시예에서는 중앙 판(2)에 구멍(70)을 형성함으로써 공기 버퍼 탱크를 두 개의 공간, 즉 제1 공기 버퍼 탱크(11) 및 제2 공기 버퍼 탱크(12)로 나누는 다공판을 구성할 수 있다.3, by forming the holes 70 in the center plate 2 in the embodiment in which the air injector 100 is formed by coupling the three plates 1, 2 and 3, That is, the first air buffer tank 11 and the second air buffer tank 12, as shown in FIG.

상기 중앙 판(2)의 좌측면도(A)와 우측면도(B)를 도시하고 있는 도4를 참고로 보다 자세하게 설명하면, 제1 공기 버퍼 탱크(11)로 유입된 공기는 중앙 판(2)에 형성된 구멍(70)을 통과함으로써 난류에서 층류로 변화되고 아래쪽에 형성된 다수의 공기 배출 라인(30)을 향해 하강하면서 균등하게 배출된다. 4, which shows a left side view A and a right side view B of the center plate 2, air introduced into the first air buffer tank 11 passes through the center plate 2, The air is changed into a laminar flow from the turbulent flow through the hole 70 formed in the lower air discharge line 30 and is uniformly discharged while descending toward the plurality of air discharge lines 30 formed below.

이 때 공기의 배출 속도가 감소되지 않도록 하기 위해 도4(B)에 도시된 바와 같이 공기 배출 라인 입구의 단면적이 출구의 단면적 보다 넓도록 역삼각형으로 구성하는 것이 바람직하며, 특히 단면적이 점진적으로 감소되도록 역원뿔형으로 구성하는 것이 더 바람직하다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.In order to prevent the air discharge speed from being reduced at this time, it is desirable that the cross sectional area of the inlet of the air discharge line is formed to be an inverted triangle so as to be wider than the cross sectional area of the outlet as shown in FIG. 4 (B) It is more preferable to configure it as an inverted conical shape. However, the present invention is not limited thereto.

다공판은 분사 장치(100)에 유입된 공기가 공기 배출 라인(30)으로 균등하게 배출되게 하기 위한 것이므로 공기가 난류를 형성하지 않고 분사 장치 전체에 균등하게 유입되는 경우에는 생략될 수 있다.The perforated plate is for uniformly discharging the air introduced into the jetting apparatus 100 to the air discharge line 30, so that it can be omitted when air is uniformly introduced into the jetting apparatus without forming turbulence.

세정액은 세정액 공급원(B)으로부터 세정액 버퍼 탱크(20)로 유입되고, 다수개의 세정액 배출 라인(40)을 통해 배출된다. 도3에 도시된 실시예에서는 세정액 배출 라인이 중앙 판(2)에 형성되어 있는데 공기 배출 라인(30)과 마찬가지로 세정액이 빠르게 배출되도록 하기 위해 입구(41)의 단면적이 출구(42)의 단면적 보다 넓도록 구성하는 것이 바람직하며, 특히 단면적이 점진적으로 감소되도록 역원뿔형 으로 구성하는 것이 더 바람직하다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 가공비 절약을 위해 도3에 도시된 바와 같이 단차를 형성할 수도 있다.The cleaning liquid flows from the cleaning liquid supply source B into the cleaning liquid buffer tank 20 and is discharged through the plurality of cleaning liquid discharge lines 40. [ 3, the cleaning liquid discharge line is formed in the center plate 2. In order to rapidly discharge the cleaning liquid, like the air discharge line 30, the sectional area of the inlet 41 is larger than the sectional area of the outlet 42 It is more preferable to constitute the inverted conical shape so that the sectional area is gradually reduced. However, the present invention is not limited to this, and a step may be formed as shown in Fig. 3 in order to save the processing cost.

이류체를 만들기 위해 도3에 도시되어 있는 바와 같이 공기 배출 라인(30)과 세정액 배출 라인(40)이 서로 연결되도록 구성한다. 이 때 도4(B)에 도시되어 있는 바와 같이 공기 배출 라인과 세정액 배출 라인의 출구 부분이 서로 만나도록 하고 그 부분에 배출구(50)를 형성함으로써 공기와 세정액이 분사 장치 내부에서 충분히 혼합되어 버블이 형성된 후 분사되도록 하는 종래 분사장치들에 비해 이류체가 강하게 분사될 수 있다.The air discharge line 30 and the cleaning liquid discharge line 40 are connected to each other as shown in Fig. At this time, as shown in FIG. 4 (B), the air discharge line and the outlet portion of the cleaning liquid discharge line are brought into contact with each other, and the discharge port 50 is formed in the discharge port, The air entraining member can be injected more strongly than the conventional injecting apparatuses in which the air is injected after being formed.

도5에는 세정액의 초기 압력을 0.79Mpa, 초기 유량을 15.3LPM, 공기의 초기 압력을 3MPA, 초기 유량을 1290LPM으로 했을 때 본 발명에 따른 이류체 분사장치와 종래의 슬릿형 분사장치에 의해 각각 분사된 이류체의 타력을 면압으로 측정한 결과를 보여주는 그래프가 도시되어 있다. 이러한 실험을 통해 본 발명에 따른 분사장치가 종래 슬릿형 분사장치에 비해 3배 정도 강하게 이류체를 분사할 수 있음을 확인할 수 있다.5, when the initial pressure of the cleaning liquid is 0.79 Mpa, the initial flow rate is 15.3 LPM, the initial pressure of the air is 3 MPA, and the initial flow rate is 1290 LPM, the air injection device according to the present invention and the conventional slit- A graph showing the result of measurement of the impact force of the adiabatic body by surface pressure is shown. Through these experiments, it can be confirmed that the jet device according to the present invention is able to jet the airflow object three times more strongly than the conventional slit-type jet device.

또한 도4(B)에 도시된 바와 같이 배출구로 분사된 공기와 세정액이 잘 혼합될 수 있도록 복수개의 배출구를 서로 연결한 공간인 슬릿부(60)를 구비하도록 한다. 이 슬릿부에 의해 공기와 세정액이 잘 혼합될 수 있을 뿐만 아니라 각 배출구에서 분사된 이류체가 1자 슬릿형태로 분사될 수 있다. 4B, the slit portion 60 is a space in which a plurality of outlets are connected to each other so that the air sprayed to the discharge port and the cleaning liquid can be mixed well. Not only the air and the cleaning liquid can be mixed well by the slit portion but also the airflow injected from each outlet can be injected in the form of a single slit.

이때 슬릿의 길이가 너무 짧으면 공기와 세정액이 충분히 혼합되지 못하고, 너무 길면 분사 압력이 떨어지기 때문에 이를 고려하여 0.03∼5mm의 폭과 1∼30mm 의 깊이의 범위에서 사용자가 적절히 형성하는 것이 바람직하다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니다.In this case, if the length of the slit is too short, the air and the washing liquid can not be mixed sufficiently. If the slit is too long, the injection pressure drops. Therefore, it is preferable that the user appropriately forms the spray gun with a width of 0.03 to 5 mm and a depth of 1 to 30 mm. However, the present invention is not limited thereto.

본 발명에 따른 이류체 분사 장치에서는 슬릿부(60)를 구비하고 있고, 복수개의 배출구를 통해 슬릿부로 이류체가 균일하게 분사되기 때문에 FPD 글라스 표면의 처리 균일성이 향상되고, 설치 높이를 조절할 필요가 없으며, 세정액의 소모가 적다. 즉, 본 발명에 따른 이류체 분사 장치는 단위 노즐형 분사장치와 슬릿형 분사장치의 단점을 보완하고 장점만을 살릴 수 있는 것이다.The air injection device according to the present invention is provided with the slit portion 60. Since the air flow is uniformly injected into the slit portion through the plurality of outlets, the processing uniformity of the FPD glass surface is improved, No consumption of cleaning liquid. That is, the air injecting apparatus according to the present invention can compensate for the disadvantages of the unit nozzle injecting apparatus and the slit injecting apparatus, and can only take advantage of the advantages.

도6에는 세정액의 초기 압력을 0.1Mpa, 초기 유량을 18.4LPM, 공기의 초기 압력을 0.45MPA, 초기 유량을 1950LPM으로 하고 본 발명에 따른 이류체 분사장치와 종래의 슬릿형 분사장치에 의해 각각 분사된 이류체의 균일성을 3번 측정한 결과를 보여주는 그래프가 도시되어 있다. 이를 통해 종래 슬릿형 분사장치의 경우 슬릿을 통해 가장 많이 이류체가 분사되는 부분가 가장 적게 분사되는 부분의 차이가 약 30%인데 반해 본 발명에 따른 분사장치의 경우 약 15%로 이류체가 매우 균일하게 분사됨을 확인할 수 있다.6 shows the relationship between the initial pressure of the cleaning liquid and the initial pressure of 0.1 MPa, the initial flow rate of 18.4 LPM, the initial pressure of air of 0.45 MPA, and the initial flow rate of 1950 LPM, A graph showing the results of measuring the homogeneity of the entrained air entities three times is shown. Accordingly, in the case of the conventional slit-type spraying apparatus, the difference in the portion where the adiabatic member is injected most least through the slit is about 30%, while the injection apparatus according to the present invention injects the adiabatic member uniformly .

본 발명에 따른 다른 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치(200)가 도7에 도시되어 있다. 이와 같은 이류체 분사장치는 공기 공급원으로부터 공기가 유입되는 공기 버퍼 탱크(10), 세정액 공급원으로부터 세정액이 유입되는 제1, 2 세정액 버퍼 탱크(21, 22), 상기 공기 버퍼 탱크로부터 공기가 배출되기 위한 다수의 공기 배출 라인(30), 상기 제1, 2 세정액 버퍼 탱크로부터 세정액이 배출되기 위한 다수의 제1, 2 세정액 배출 라인(43, 44), 상기 공기 배출 라인의 출구와 제1 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 제1 배출구(51), 상기 공기 배출 라인의 출구와 제2 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 제2 배출구(52), 상기 다수의 제1 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 제1 슬릿부(61), 및 상기 다수의 제2 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되면서 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 제2 슬릿부(62)를 포함하여 이루어지며, 상기 제1, 2, 슬릿부는 서로 평행하게 위치하도록 한다.Another airflow injecting apparatus 200 for cleaning a flat panel display glass according to the present invention is shown in Fig. The air jet apparatus includes an air buffer tank 10 through which air flows from an air supply source, first and second rinse solution buffer tanks 21 and 22 through which a rinse solution flows from a rinse solution supply source, A plurality of first and second cleaning liquid discharge lines (43, 44) for discharging the cleaning liquid from the first and second cleaning liquid buffer tanks, an outlet of the air discharge line and a first cleaning liquid discharge line A plurality of first discharge ports 51 formed at a position where the outlet of the line meets and in which air and cleaning liquid are jetted to the outside, a discharge port formed at a position where the outlet of the air discharge line meets the outlet of the second cleaning liquid discharge line, A plurality of second outlets 52 which are injected to the outside, air blasted by the plurality of first outlets, and a cleaning liquid are mixed in the inside of the slit portion, And a second slit part 62 for spraying the air injected from the plurality of second outlets and the cleaning liquid to the outside of the slit part in the form of a single slit while being mixed inside the slit part, And the first and second slit portions are disposed in parallel with each other.

또한 도9에 도시된 바와 같이 완전 대칭되도록 이류체 분사장치(300)를 구성할 수도 있다.The air injector 300 may be configured to be completely symmetrical as shown in FIG.

위와 같이 구성함으로써 이류체 분사장치를 2개 구비하는 것보다 적은 공간으로 분사장치 2개에 해당하는 세정 효율을 가질 수 있다. With the above arrangement, it is possible to have a cleaning efficiency corresponding to two ejecting apparatuses with less space than if two air jet apparatuses are provided.

도8과 도9에 도시된 바와 같이 이류체 분사 장치를 기판의 상부 및 하부에 위치시켜 기판의 상하면을 동시에 세정할 수 있도록 세정 시스템을 구성할 수 있다. As shown in FIGS. 8 and 9, the cleaning system can be configured to simultaneously clean the upper and lower surfaces of the substrate by placing the air jet device at the top and bottom of the substrate.

이 때 본 발명에 따른 이류체 분사 장치는 종래 분사 장치들에 비해 이류체가 강하게 분사되기 때문에 기판 하부에서 위를 향해 이류체가 분사되더라도 세정력이 떨어지지 않고 균일하게 세정할 수 있다.At this time, the air injection device according to the present invention is able to uniformly clean the air flow without deteriorating the detergency even if the air flow is injected upward from the lower part of the substrate because the air flow is stronger than the conventional injection devices.

본 발명은 이류체를 강력하게 분사할 수 있고, 적은양의 이류체로 효율적으로 세정할 수 있고, 이류체가 균일하게 분사될 수 있으며, 상하면 동시에 세정이 가능하며, 공간 효율성이 높은 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치를 제공하는 효과를 갖는다.The present invention relates to a method for cleaning a flat display glass which can spray an airy object strongly, can be efficiently cleaned with a small amount of airy material, can uniformly spray the airy object, It has an effect of providing an air flow injector.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시 될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

Claims (5)

공기 공급원으로부터 공기가 유입되는 공기 버퍼 탱크(10);An air buffer tank (10) into which air flows from an air supply source; 세정액 공급원으로부터 세정액이 유입되는 세정액 버퍼 탱크(20);A cleaning liquid buffer tank (20) into which a cleaning liquid flows from a cleaning liquid supply source; 상기 공기 버퍼 탱크와 연결되어 공기가 배출되는 다수의 공기 배출 라인(30);A plurality of air discharge lines 30 connected to the air buffer tank to discharge air; 상기 세정액 버퍼 탱크와 연결되어 세정액이 배출되는 다수의 세정액 배출 라인(40); A plurality of rinse solution discharge lines (40) connected to the rinse solution buffer tank to discharge rinse solution; 상기 공기 배출 라인의 출구와 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며, 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 배출구(50); 및A plurality of outlets (50) formed at an outlet of the air discharge line and an outlet of the cleaning liquid discharge line, the air discharge port being adapted to discharge air and a cleaning liquid to the outside; And 상기 다수의 배출구(50)로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 슬릿부(60);A slit portion 60 for mixing the air injected into the plurality of outlets 50 and the cleaning liquid mixed inside the slit portion and injecting into the slit portion in the form of a one-slit slit; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치.And an air blower for blowing air to the flat display glass. 제1항에 있어서, 상기 공기 버퍼 탱크를 두 개의 공간으로 나누는 다공판을 더 포함하고, 공기 공급원으로부터 유입된 공기는 상기 다공판을 통과한 후 공기 배출 라인으로 배출되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치.The flat display glass according to claim 1, further comprising a perforated plate dividing the air buffer tank into two spaces, and the air introduced from the air supply source is discharged to the air discharge line after passing through the perforated plate Air jet injector for cleaning. 제2항에 있어서, 상기 공기 배출 라인과 세정액 배출 라인의 단면적은 버퍼탱크 쪽이 배출구 쪽 보다 큰 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치.The apparatus as claimed in claim 2, wherein a cross sectional area of the air discharge line and the cleaning liquid discharge line is larger in the buffer tank than in the discharge side. 공기 공급원으로부터 공기가 유입되는 공기 버퍼 탱크(10);An air buffer tank (10) into which air flows from an air supply source; 세정액 공급원으로부터 세정액이 유입되는 제1, 2 세정액 버퍼 탱크(21, 22);First and second cleaning liquid buffer tanks (21, 22) through which a cleaning liquid flows from a cleaning liquid supply source; 상기 공기 버퍼 탱크와 연결되어 공기가 배출되는 다수의 공기 배출 라인(30);A plurality of air discharge lines 30 connected to the air buffer tank to discharge air; 상기 제1, 2 세정액 버퍼 탱크와 각각 연결되어 세정액이 배출되는 다수의 제1, 2 세정액 배출 라인(43, 44);A plurality of first and second cleaning liquid discharge lines (43, 44) connected to the first and second cleaning liquid buffer tanks, respectively, for discharging the cleaning liquid; 상기 공기 배출 라인의 출구와 제1 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며, 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 제1 배출구(51);A plurality of first outlets (51) formed at a position where the outlet of the air discharge line and the outlet of the first cleaning liquid discharge line meet and from which air and a cleaning liquid are ejected to the outside; 상기 공기 배출 라인의 출구와 제2 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며, 공기와 세정액이 외부로 분사되는 다수의 제2 배출구(52);A plurality of second outlets (52) formed at a position where the outlet of the air discharge line and the outlet of the second cleaning liquid discharge line meet, and in which air and a cleaning liquid are ejected to the outside; 상기 다수의 제1 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고, 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 제1 슬릿부(61); 및A first slit part (61) for mixing the air injected to the plurality of first outlets with the cleaning liquid mixed in the slit part and being injected into the slit part in a one-slit shape; And 상기 다수의 제2 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고, 슬릿부 외부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 제2 슬릿부(62);A second slit part (62) for mixing the air injected into the plurality of second outlets with the cleaning liquid mixed in the slit part and being injected into the slit part in a one-slit shape; 를 포함하여 이루어지고, 상기 제1, 2 슬릿부는 서로 평행하게 위치하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사 장치.Wherein the first and second slit portions are positioned parallel to each other. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 1 이상의 기판 세정용 이류체 분사 장치가 기판의 상부 및 하부에 위치하여 기판의 상하면을 동시에 세정할 수 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 글라스 세정 시스템.The flat panel display glass cleaning system according to any one of claims 1 to 4, wherein the at least one air cleaning body for cleaning a substrate is located at the upper and lower portions of the substrate so that the upper and lower surfaces of the substrate can be cleaned simultaneously.
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