KR101617347B1 - Block type bubble jet nozzle - Google Patents

Block type bubble jet nozzle Download PDF

Info

Publication number
KR101617347B1
KR101617347B1 KR1020140181380A KR20140181380A KR101617347B1 KR 101617347 B1 KR101617347 B1 KR 101617347B1 KR 1020140181380 A KR1020140181380 A KR 1020140181380A KR 20140181380 A KR20140181380 A KR 20140181380A KR 101617347 B1 KR101617347 B1 KR 101617347B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
block
air
groove
nozzle
cleaning liquid
Prior art date
Application number
KR1020140181380A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이기우
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨텍 filed Critical 주식회사 케이씨텍
Priority to KR1020140181380A priority Critical patent/KR101617347B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101617347B1 publication Critical patent/KR101617347B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1316—Methods for cleaning the liquid crystal cells, or components thereof, during manufacture: Materials therefor
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

The present invention relates to a block type bubble jet cleaning nozzle which comprises: a first block unit in which an air supply groove, through which air is supplied to a lower surface, is formed; a second block unit coupled to a lower portion of the first block unit and having a plurality of spray holes which spray air, supplied to the air supply groove, downwardly; and a third block unit coupled to a lower portion of the second block unit wherein a cleaning liquid supply hole to which cleaning liquid is supplied is formed on an upper surface of the third block unit, each of the plurality of spray holes is located in an upper center of the third block unit, and the third block unit has a plurality of nozzle holes of which diameters are larger than the spray holes and a connection groove which supplies cleaning liquid to the nozzle holes by connecting the cleaning liquid supply groove to the plurality of nozzle holes respectively.

Description

블록형 버블젯 세정 노즐{Block type bubble jet nozzle}[0001] Block type bubble jet nozzle [0002]

본 발명은 블록형 버블젯 세정 노즐에 관한 것으로, 더 상세하게는 이류체를 분사하여 기판을 세정하는 블록형 버블젯 세정 노즐에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a block type bubble jet cleaning nozzle, and more particularly, to a block type bubble jet cleaning nozzle that cleans a substrate by jetting an air flow body.

일반적으로, 평판 디스플레이 패널 제조에 사용되는 대면적의 유리 기판은 일방향으로 이송되면서 세정 공정이 진행된다. Generally, a large-area glass substrate used for manufacturing a flat panel display panel is transported in one direction and the cleaning process proceeds.

이때의 세정은 통상 기판에 세정액을 분사하는 방식을 사용하기도 하지만, 세정의 효율을 높이기 위해서 세정액에 공기를 혼합하여 분사하는 이류체 분사방식을 사용하기도 한다.
The cleaning at this time is usually a method of spraying the cleaning liquid on the substrate, but an air jet system in which air is mixed with the cleaning liquid to spray the cleaning liquid is also used.

이류체 세정의 경우에는 버블이 기판에 접하여 터질 때 발생하는 압력을 이용하기 때문에 세정의 효율이 더 높은 장점이 있으나, 노즐의 구조와 형상이 세정액만을 분사하는 방식에 비하여 복잡하여, 제조비용이 증가하게 된다는 단점이 있다.However, since the structure and shape of the nozzle are more complicated than the method of spraying only the cleaning liquid, the manufacturing cost is increased .

또한 가공이나 조립이 용이하지 않기 때문에 상대적으로 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
In addition, there is a problem that the productivity is lowered because processing or assembly is not easy.

이러한 이류체 세정 노즐의 예로는 등록특허 10-0586239호(2006년 5월 26일, 평판 디스플레이 세정용 유체 혼합 분사 장치)가 있다. 이 등록특허의 내용에는 'ㅓ'형의 액체기체 혼합분사기를 구비하여 액체와 기체를 혼합하여 분사하는 기재가 있으며, 등록특허의 도면 도 5에 구체적인 구성을 기재하고 있다.An example of such an air cleaning nozzle is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-0586239 (May 26, 2006, Fluid Mixing Injection Apparatus for Flat Panel Display Cleaning). The contents of this patent include a base material which is provided with a liquid-type liquid-gas mixing injector of the "ㅓ" type and mixes liquid and gas and injects them, and the specific configuration of the registered patent is shown in FIG.

이는 세정액 저장부 하단에 마련된 수평유로와 기체 저장부의 하단에 마련된 수직유로가 형성되어 세정액과 기체를 공급받아 혼합하여 분사하는 구성을 가지고 있다.This has a structure in which a horizontal flow path provided at the lower end of the cleaning liquid storage portion and a vertical flow path provided at the lower end of the gas storage portion are formed to supply and mix the cleaning liquid and the gas.

그러나 이러한 유로를 형성하기 위해서는 다수의 유로를 개별적으로 가공해야 하거나, 수평방향으로 복수의 블록과, 그 중 하나의 블록의 상부측에 격벽을 결합하되, 상기 수평유로와 수직유로가 형성될 수 있도록 상호간의 간격이 정확하게 이격되도록 조립되어야 하는 것으로 조립이 어려워 생산성이 저하되고, 비용이 증가하는 문제점이 있었다.
However, in order to form such a flow path, a plurality of flow paths must be individually processed, or a plurality of blocks in a horizontal direction and a partition wall are coupled to an upper side of one of the blocks, It is difficult to assemble them so that the distance between them is precisely spaced apart, so that the productivity is lowered and the cost is increased.

또한 등록특허 10-0783763호(2007년 12월 3일 등록, 기판 세정장치)의 도 3에는 수직유로와 수평유로를 형성하기 위하여 다수의 판상 블록을 수직방향으로 세워서 수평방향으로 상호 결합한 구조가 기재되어 있다.In addition, in FIG. 3 of the registered patent 10-0783763 (Registered on December 3, 2007, substrate cleaning apparatus), a plurality of plate blocks are vertically erected to form a vertical flow path and a horizontal flow path, .

즉, 세정액과 공기가 각각 공급되는 두 블록의 사이에 통공을 가지는 다수의 수직판들을 연결하여 수평방향으로 세정액과 공기를 유도하고, 결국 수직방향 노즐공에서 상호 연결되도록 구성하고 있다.That is, a plurality of straight plates having a through hole are connected between two blocks to which a cleaning liquid and air are supplied, respectively, so that the cleaning liquid and air are guided in a horizontal direction and are connected to each other at a vertical nozzle hole.

그러나 이와 같은 방식 역시 부품의 수가 많으며, 가공이 용이하지 않는 문제점을 가지고 있다.
However, this method also has a problem that the number of parts is large and the processing is not easy.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 가공이 용이하며 조립이 매우 용이한 블록형 버블젯 세정 노즐을 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide a block type bubble jet cleaning nozzle that is easy to process and is easy to assemble.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 저면에 공기가 공급될 수 있는 공기공급홈이 형성된 제1블록부와, 상기 제1블록부의 하부에 결합되며, 상기 공기공급홈에 공급된 공기를 하향으로 분사하는 다수의 분사공이 마련된 제2블록부와, 상기 제2블록부의 하부에 결합되며, 상면에 세정액이 공급되는 세정액 공급홈이 형성되고, 상기 다수의 분사공 각각이 상부 중앙에 위치하도록 배치되며, 상기 분사공에 비해 직경이 더 큰 다수의 노즐공을 구비하며, 상기 세정액 공급홈과 상기 다수의 노즐공 각각을 연결하여 세정액이 상기 노즐공으로 공급될 수 있도록 하는 연결홈을 포함한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided an air purifier comprising: a first block having an air supply groove through which air can be supplied to a bottom surface thereof; a first block coupled to a lower portion of the first block, A second block portion provided with a plurality of spray nozzles for spraying downward, and a cleaning liquid supply groove connected to a lower portion of the second block portion and supplied with a cleaning liquid on an upper surface thereof, And a plurality of nozzle holes each having a diameter larger than that of the spray holes, and a connection groove connecting the cleaning liquid supply groove and each of the plurality of nozzle holes to supply a cleaning liquid to the nozzle hole.

본 발명 블록형 버블젯 세정 노즐은, 상하로 배치되는 3개의 평판형 블록으로 구성되며, 최상층의 블록의 저면에는 공기가 공급되는 유로를 마련하고, 중간의 블록에는 공기가 분사되며, 최하층의 블록의 상부측에 마련된 유로를 통해 공급되는 세정액과 혼합되어 분사될 수 있도록 구성함으로써, 가공이 매우 용이하며, 조립성을 향상시킬 수 있어, 생산성을 향상시키고 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.
The block type bubble jet cleaning nozzle according to the present invention is constituted by three flat plate blocks arranged in the upper and lower sides, and a flow path for supplying air is provided on the bottom surface of the uppermost block, air is sprayed to the middle block, It is possible to improve the productivity and improve the productivity, and to reduce the cost of the apparatus.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 블록형 버블젯 세정 노즐의 결합상태 일부 투시 평면도이다.
도 2는 도 1에서 A-A 단면 구성도이다.
도 3은 도 1에서 B-B 단면 구성도이다.
도 4는 도 1에서 제1블록부의 저면 구성도이다.
도 5는 도 1에서 제2블록부의 저면 구성도이다.
도 6은 도 1에서 제3블록부의 상면 구성도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제3블록부의 상면 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a partially perspective plan view of a bonded state of a block-type bubble jet cleaning nozzle according to a preferred embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in Fig.
Fig. 3 is a cross-sectional view taken along line BB in Fig.
Fig. 4 is a bottom view of the first block portion in Fig. 1. Fig.
Fig. 5 is a bottom view of the second block portion in Fig. 1. Fig.
FIG. 6 is a top view of the third block in FIG. 1. FIG.
7 is a top view of a third block according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명 블록형 버블젯 세정 노즐에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
The block type bubble jet cleaning nozzle of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 블록형 버블젯 세정 노즐의 단면 구성도이고, 도 2와 도 3은 각각 도 1에서 A-A, B-B 단면 구성도이며, 도 4는 도 1에서 제1블록부의 저면 구성도이고, 도 5는 도 1에서 제2블록부의 저면구성도며, 도 6은 도 1에서 제3블록부의 상면 구성도이다.FIG. 1 is a sectional view of a block-type bubble jet cleaning nozzle according to a preferred embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 3 are sectional views of AA and BB in FIG. 1, FIG. 5 is a bottom view of the second block portion in FIG. 1, and FIG. 6 is a top view of the third block portion in FIG.

도 1 내지 도 6을 각각 참조하면 본 발명 블록형 버블젯 세정 노즐은, 상부에서 하부로 순차적층된 제1 내지 제3블록부(100,200,300)를 포함하되,1 to 6, the block type bubble jet cleaning nozzle of the present invention includes first to third block units 100, 200, and 300 sequentially layered from top to bottom,

상기 제1블록부(100)는 직육면체 제1블록바디(140)와, 상기 블록바디(140)의 저면에 공기가 공급되는 제1공기공급홈(110) 및 제2공기공급홈(120)이 마련되어 있으며, 외부에서 상기 제1공기공급홈(110)과 제2공기공급홈(120)에 공기를 공급할 수 있도록 상기 제1블록바디(140)의 저면에 마련된 공급홈(130)을 포함하고,The first block unit 100 includes a rectangular parallelepiped first block body 140 and a first air supply groove 110 and a second air supply groove 120 through which air is supplied to the bottom surface of the block body 140 And a supply groove 130 provided on the bottom surface of the first block body 140 so as to supply air from the outside to the first air supply groove 110 and the second air supply groove 120,

상기 제2블록부(200)는 상기 제1블록바디(140)와 동일한 면적의 제2블록바디(240)와, 상기 제2블록바디(240)를 상하로 관통하되, 상기 제1공기공급홈(110)과 제2공기공급홈(120)의 아래에에서 상호 소정 간격 이격되어 배치되는 복수의 분사공(210)으로 구성됨과 아울러,The second block unit 200 includes a second block body 240 having the same area as the first block body 140 and a second block body 240 passing through the second block body 240 up and down, And a plurality of spray holes 210 spaced apart from each other below the first air supply groove 110 and the second air supply groove 120,

상기 제3블록부(300)는 상기 제2블록바디(240)의 저면에 접하는 제3블록바디(340)와, 상기 제3블록바디(340)의 상면에 마련된 세정액 공급홈(310)과, 상기 분사공(210)이 중앙에 위치하도록 배치되며 상기 분사공(210)에 비하여 직경이 더큰 노즐공(320)과, 상기 제3블록바디(340)의 상면에 형성되어 상기 세정액 공급홈(310)과 상기 노즐공(320)을 연결하는 연결홈(330)을 포함하여 구성된다.
The third block unit 300 includes a third block body 340 contacting the bottom surface of the second block body 240, a cleaning liquid supply groove 310 provided on the top surface of the third block body 340, A nozzle hole 320 disposed at a center of the injection hole 210 and having a diameter larger than that of the injection hole 210 and a nozzle hole 320 formed at an upper surface of the third block body 340, And a connection groove 330 connecting the nozzle hole 320 with the nozzle hole 320.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시에에 따른 블록형 버블젯 세정 노즐의 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the construction and operation of the block type bubble jet cleaning nozzle according to the preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 제1블록부(100)는 건조정화공기(Clean Dry Air)를 공급하는 블록이며, 제1블록바디(140)는 상면과 저면이 다른 면에 비해 넓은 육면체로 한다.First, the first block unit 100 is a block for supplying clean dry air. The first block body 140 has a larger hexahedron than the other sides of the upper and lower surfaces.

제1블록바디(140)는 설치상태에서 저면에 제1공기공급홈(110)과 제2공기공급홈(120)이 서로 나란하게 형성되어 있다. 제1공기공급홈(110)과 제2공기공급홈(120)은 공기가 공급되는 유로의 역할을 하는 것으로, 각각 일방향으로 길게 형성되는 홈이다.The first block body 140 is formed such that the first air supply groove 110 and the second air supply groove 120 are parallel to each other on the bottom surface of the first block body 140. The first air supply groove 110 and the second air supply groove 120 serve as a flow path for supplying air, and each groove is elongated in one direction.

본 발명에서는 한 쌍의 공기공급홈이 형성된 구조에 대하여 설명하지만, 필요에 따라 서로 평행한 셋 이상의 공기공급홈이 형성될 수 있으며, 이는 노즐의 분사구 배치에 따라 변경될 수 있다.
Although a structure in which a pair of air supply grooves are formed in the present invention, three or more air supply grooves parallel to each other may be formed as necessary, and this may be changed according to the nozzle arrangement of the nozzles.

상기 제1공기공급홈(110)과 제2공기공급홈(120) 각각의 일단을 상호 연결하여 측면에서 공기를 공급할 수 있도록 공급홈(130)이 마련된다.
A supply groove 130 is provided to interconnect one end of each of the first air supply groove 110 and the second air supply groove 120 to supply air from the side.

즉, 측면에 노출된 공급홈(130)을 통해 공기를 공급할 수 있으며, 공급된 공기는 제1공기공급홈(110)과 제2공기공급홈(120)으로 분기되어 공급된다. 이때 균일한 공기의 공급을 위하여 상기 공급홈(130)을 통해 공급된 공기를 일시적으로 보관하는 버퍼홈(131)이 형성될 수 있다.That is, air can be supplied through the supply groove 130 exposed on the side, and the supplied air is branched and supplied to the first air supply groove 110 and the second air supply groove 120. At this time, a buffer groove 131 may be formed for temporarily storing the air supplied through the supply groove 130 to supply uniform air.

상기 버퍼홈(131)은 공기의 수용 공간 증가를 위하여 상기 제1공기공급홈(110)이나 제2공기공급홈(120)에 비하여 결합상태에서 높이가 더 높은 홈으로 형성한다.
The buffer groove 131 is formed as a groove having a higher height in the coupled state than the first air supply groove 110 or the second air supply groove 120 for increasing the accommodation space of air.

상기 제1블록부(100)의 저면에 적층되는 제2블록부(200)는 상기 제1블록부(100)의 제1블록바디(140)의 저면 면적과 동일 면적의 상면과 저면을 가지는 제2블록(240)을 포함한다.
The second block unit 200 stacked on the bottom surface of the first block unit 100 has a top surface and a bottom surface having the same area as the bottom surface area of the first block body 140 of the first block unit 100, 2 < / RTI >

이때 제2블록(240)에는 다수의 분사공(210)이 상하로 관통되도록 형성되어 있다. 상기 분사공(210)은 실질적으로 노즐의 분사구의 역할을 하는 것으로, 상기 제1공기공급홈(110)의 아래쪽에 위치하는 분사공(210)들과, 제2공기공급홈(120)의 아래쪽에 위치하는 분사공(210)들은 서로 사이에 배치된다.At this time, a plurality of injection holes 210 are formed in the second block 240 so as to pass through the upper and lower portions. The spray holes 210 substantially serve as nozzles and are formed by the spray holes 210 located below the first air supply grooves 110 and the lower spray holes 210 located below the second air supply grooves 120 The spray holes 210 located in the discharge space 210 are disposed between each other.

따라서 기판을 세정할 때 기판의 전면을 고르게 세정할 수 있다.Therefore, when the substrate is cleaned, the entire surface of the substrate can be cleaned evenly.

이와 같은 구조에서 상기 제1공기공급홈(110)과 제2공기공급홈(120)을 통해 공급되는 공기는 상기 분사공(210)들을 통해 하향으로 분사된다. 특히 분사공(210)의 직경은 상기 제1공기공급홈(110)이나 제2공기공급홈(120)의 폭보다 작은 것으로 하여, 분사시 압력을 높이게 된다.
In this structure, air supplied through the first air supply groove 110 and the second air supply groove 120 is injected downward through the injection holes 210. Particularly, the diameter of the injection hole 210 is smaller than the width of the first air supply groove 110 or the second air supply groove 120, thereby increasing the pressure at the time of injection.

그 다음, 제2블록부(200)의 저면에 접하도록 결합되는 제3블록부(300)는 세정액을 공급하여 상기 분사공(210)을 통해 분사되는 공기와 혼합되도록 하는 것으로, 상기 제2블록부(200)의 제2블록바디(240)의 저면 면적과 동일한 면적의 상면과 저면을 가지는 제3블록바디(340)를 포함한다.
The third block part 300 coupled to the bottom of the second block part 200 is supplied with a cleaning liquid to be mixed with the air injected through the injection hole 210, And a third block body 340 having an upper surface and a lower surface having the same area as the bottom surface area of the second block body 240 of the unit 200.

상기 제3블록바디(340)의 상면 중앙부에는 제3블록바디(340)의 길이 방향을 따라 마련된 세정액 공급홈(310)이 마련되어 있다. 상기 세정액 공급홈(310)의 일단은 상기 제3블록바디(340)의 측면에 노출되어 있으며, 타단은 저면에만 마련되어 있다.A cleaning liquid supply groove 310 provided along the longitudinal direction of the third block body 340 is formed at the center of the upper surface of the third block body 340. One end of the cleaning liquid supply groove 310 is exposed on the side surface of the third block body 340 and the other end is provided only on the bottom surface.

이와 같은 구조는 상기 제3블록바디(340)의 측면에 노출된 세정액 공급홈(310)을 통해 직접 세정액을 공급할 수 있도록 한 구조이며, 세정액 공급홈(310)에 공급된 세정액은 연결홈(330)을 통해 노즐공(320)으로 공급된다.
The cleaning fluid supplied to the cleaning fluid supply groove 310 is supplied to the connection block 330 through the connection groove 330, (Not shown).

상기 노즐공(320)은 제3블록바디(340)을 상하로 관통하는 통공이며, 상기 분사공(210)이 중앙에 위치하도록 배치된다.The nozzle hole 320 is a through hole penetrating the third block body 340 up and down, and is disposed so that the injection hole 210 is located at the center.

노즐공(320)의 직경은 상기 분사공(210)에 비하여 더 큰 것이며, 상기 제2블록부(200)와 접하는 부분에서 상기 연결홈(330)을 통해 세정액이 공급된다.
The diameter of the nozzle hole 320 is larger than the diameter of the injection hole 210 and the cleaning liquid is supplied through the connection groove 330 at a portion contacting the second block portion 200.

이때 상기 분사공(210)을 통해 분사되는 공기에 의하여 상기 분사공(210) 주변의 노즐공(320)의 내측 압력이 낮아지게 되면서, 상기 연결홈(330)을 통해 노즐공(320)으로 분사되는 세정수는 벤튜리 현상에 의해 분사된다.At this time, the inner pressure of the nozzle hole 320 around the injection hole 210 is lowered by the air injected through the injection hole 210, and the nozzle hole 320 is injected through the connection hole 330, The washing water is sprayed by the Venturi phenomenon.

이는 자흡식의 분사방식으로 상기 연결홈(330)을 통해 노즐공(320)으로 분사되는 세정수를 미립화하여 상기 분사공(210)을 통해 공급된 공기와 혼합하여 기판에 분사하게 된다. 따라서 미세 패턴의 세정에 용이하게 된다.
In the self-priming spraying method, the washing water sprayed to the nozzle hole 320 through the connection groove 330 is atomized and mixed with the air supplied through the spray hole 210 to be sprayed onto the substrate. Therefore, it is easy to clean the fine pattern.

아래의 수학식1은 베르누이 공식이며, 이 수학식1에 본 발명에서 측정된 값들을 대입하면 상기 분사공(210) 주변의 노즐공(320) 내의 압력을 산출할 수 있게 된다.The following equation (1) is the Bernoulli's formula. When the values measured in the present invention are substituted into the equation (1), the pressure in the nozzle hole 320 around the injection hole 210 can be calculated.

Figure 112014122099114-pat00001
Figure 112014122099114-pat00001

위에서 등호를 기준으로 왼편은 분사공(210)의 입구단의 유체를 정의하며, 오른편은 노즐공(320)의 출구단의 유체를 정의하는 것으로 하면, 상기 직경이 더 작은 분사공(210)을 통과하는 유체의 속도인 V1은 직경이 더 큰 노즐공(320)을 통해 분사되는 유체의 속도 V2에 비해 더 빠르게 되며, 이를 만족하기 위해 상기 분사공(210)의 출구단의 주변인 상기 연결홈(330)의 단부측의 압력인 P1은 노즐공(320)의 압력인 P2보다 더 작은 값이 된다.The left side defines the fluid at the inlet end of the injection hole 210 and the right side defines the fluid at the outlet end of the nozzle hole 320. The smaller diameter of the injection hole 210 The velocity V1 of the passing fluid is faster than the velocity V2 of the fluid injected through the nozzle hole 320 having a larger diameter, The pressure P1 on the end side of the nozzle hole 330 becomes smaller than the pressure P2 of the nozzle hole 320. [

따라서 상기 연결홈(330)을 통해 분출되는 세정수는 압력차에 의한 자흡식으로 배출되고, 미립화되어 공기와 혼합되어 분사될 수 있게 된다.
Accordingly, the washing water sprayed through the connecting groove 330 is discharged by self-priming by the pressure difference, becomes atomized, and can be mixed with air and sprayed.

상기 연결홈(330)은 각 노즐공(320)에 하나씩 연결될 수 있으나, 분사의 균일성을 위하여 적어도 3개 이상이 연결되도록 함이 바람직하다.
The connection grooves 330 may be connected to the nozzle holes 320 at one time, but at least three or more connection grooves 330 may be connected for uniformity of injection.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제3블록부(300)의 상면 구성도이다.7 is a top view of the third block unit 300 according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면 앞서 도 6에 도시한 제3블록부(300)는 노즐공(320) 마다 세 방향에서 연결홈(330)이 연결된 구성을 도시하고 설명하였으나, 도 7에서는 노즐공(320)에 연결홈(330)이 네 방향에서 연결된 구조를 도시하였다.Referring to FIG. 7, the third block unit 300 shown in FIG. 6 has a structure in which the connection holes 330 are connected to the nozzle holes 320 in three directions. In FIG. 7, And the connection grooves 330 are connected in four directions.

이와 같이 연결홈(330)의 수를 늘려 세정액의 분사 균일도를 높일 수 있게 된다.
In this way, the number of the connection grooves 330 can be increased to increase the spray uniformity of the cleaning liquid.

또한 상기 분사공(210)은 수직방향으로 관통된 관통공이며, 그 직경의 변화가 없이 일정한 것으로 한다. 상기 노즐공(320) 역시 수직방향으로 관통된 관통공이며, 그 직경의 변화가 없는 것으로 한다.
Further, the injection hole 210 is a through hole penetrating in the vertical direction, and is constant without changing the diameter. The nozzle hole 320 is also a through hole penetrating in the vertical direction, and it is assumed that there is no change in the diameter.

이와 같은 구조에 의하여 상기 노즐공(320)의 내측면을 이루는 제3블록바디(340)와, 분사공(210) 주변의 제2블록바디(240)의 저면은 서로 수직으로 접하게 되며, 상기 분사공(210)을 통해 공기가 분사되면서 그 수직 방향으로 제2블록바디(240)와 제3블록바디(340)가 접하는 부분에서는 압력이 낮아져 연결홈(330)을 통해 세정액의 분사가 이루어지면서 세정액의 입자 크기가 감소하게 된다.The third block body 340 forming the inner surface of the nozzle hole 320 and the bottom surface of the second block body 240 surrounding the injection hole 210 are perpendicular to each other, Air is injected through the holes 210 and the pressure is lowered at a portion where the second block body 240 and the third block body 340 are in contact with each other in the vertical direction so that the cleaning liquid is injected through the connection groove 330, Lt; / RTI >

이처럼 입자 크기가 감소한 세정액은 상기 분사공(210)을 통해 분사되는 공기와 혼합되어 세정대상물인 기판에 분사된다.
The cleaning liquid having a reduced particle size is mixed with the air injected through the injection hole 210 and is sprayed onto the substrate to be cleaned.

이처럼 본 발명은 제1 내지 제3블록부(100,200,300)에 홈이나 홀을 가공하여 이를 적층 결합하여 이류체를 분사할 수 있는 노즐을 구성할 수 있게 되어, 가공과 조립이 매우 용이하게 된다.
As described above, according to the present invention, it is possible to form a nozzle capable of injecting an adiabatic body by forming grooves or holes in the first to third block units 100, 200, and 300 and laminating them together, thereby facilitating processing and assembly.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention will be.

100:제1블록부 110:제1공기 공급홈
120:제2공기공급홈 130:공급홈
140:제1블록바디 200:제2블록부
210:분사공 240:제2블록바디
300:제3블록부 310:세정액 공급홈
320:노즐공 330:연결홈
340:제3블록바디100: first block 110: first air supply groove
120: second air supply groove 130: supply groove
140: first block body 200: second block part
210: blow hole 240: second block body
300: third block 310: cleaning liquid supply groove
320: nozzle ball 330: connection groove
340: third block body

Claims (6)

저면에 공기가 공급될 수 있는 공기공급홈이 형성된 제1블록부;
상기 제1블록부의 하부에 결합되며, 상기 공기공급홈에 공급된 공기를 하향으로 분사하는 다수의 분사공이 마련된 제2블록부; 및
상기 제2블록부의 하부에 결합되며, 상면에 세정액이 공급되는 세정액 공급홈이 형성되고, 상기 다수의 분사공 각각이 상부 중앙에 위치하도록 배치되며, 상기 분사공에 비해 직경이 더 큰 다수의 노즐공을 구비하며, 상기 세정액 공급홈과 상기 다수의 노즐공 각각을 연결하여 세정액이 상기 노즐공으로 공급될 수 있도록 하는 연결홈을 구비하는 제3블록부를 포함하되,
상기 제1블록부는,
상면과 저면의 면적이 다른 면에 비하여 더 큰 육면체의 제1블록바디;
상기 제1블록바디의 저면에 마련된 다수의 공기공급홈; 및
상기 다수의 공기공급홈의 일단을 상호 연결하여 상기 제1블록바디의 측면에서 주입되는 공기가 상기 다수의 공기공급홈으로 공급되도록 하는 공급홈을 포함하는 블록형 버블젯 세정 노즐.
A first block portion having an air supply groove through which air can be supplied to the bottom surface;
A second block portion coupled to a lower portion of the first block portion and having a plurality of injection holes for spraying downward the air supplied to the air supply groove; And
A cleaning liquid supply groove formed on an upper surface of the second block unit to supply a cleaning liquid to the upper surface of the second block unit; a plurality of nozzles disposed in the upper center of each of the plurality of spray nozzles, And a third block having a connection groove for connecting the cleaning liquid supply groove and the plurality of nozzle holes to supply the cleaning liquid to the nozzle hole,
The first block unit includes:
A first block body having a larger cube than an area having an upper surface and a lower surface different from each other;
A plurality of air supply grooves provided on a bottom surface of the first block body; And
And a supply groove for interconnecting one ends of the plurality of air supply grooves to supply air injected from a side of the first block body to the plurality of air supply grooves.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 공급홈을 통해 공급된 공기를 일시 저장하여 상기 다수의 공기공급홈으로 공급하는 버퍼홈을 더 포함하는 블록형 버블젯 세정 노즐.
The method according to claim 1,
And a buffer groove for temporarily storing the air supplied through the supply groove and supplying the air to the plurality of air supply grooves.
제1항에 있어서,
상기 제3블록부는,
상기 노즐공 하나에 적어도 3개 이상의 연결홈이 연결되는 것을 특징으로 하는 블록형 버블젯 세정 노즐.
The method according to claim 1,
The third block unit includes:
And at least three connection grooves are connected to one of the nozzle holes.
제1항에 있어서,
상기 분사공과 노즐공은 각각 수직방향의 관통공이며,
직경이 일정한 것을 특징으로 하는 블록형 버블젯 세정 노즐.
The method according to claim 1,
The jet hole and the nozzle hole are through holes in the vertical direction, respectively,
Wherein the diameter of the block-shaped bubble-jet cleaning nozzle is constant.
제1항에 있어서,
상기 분사공을 통해 분사되는 공기에 의하여, 상기 연결홈의 끝단 부분의 노즐공 주변은 압력이 낮아져, 상기 연결홈을 통해 분사되는 세정수는 자흡식으로 미립화되어 분사되는 것을 특징으로 하는 블록형 버블젯 세정 노즐.The method according to claim 1,
The pressure of the periphery of the nozzle hole at the end portion of the connection groove is lowered by the air injected through the injection hole and the washing water sprayed through the connection groove is atomized and atomized to be sprayed, Jet cleaning nozzle.
KR1020140181380A 2014-12-16 2014-12-16 Block type bubble jet nozzle KR101617347B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140181380A KR101617347B1 (en) 2014-12-16 2014-12-16 Block type bubble jet nozzle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140181380A KR101617347B1 (en) 2014-12-16 2014-12-16 Block type bubble jet nozzle

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101617347B1 true KR101617347B1 (en) 2016-05-02

Family

ID=56021764

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140181380A KR101617347B1 (en) 2014-12-16 2014-12-16 Block type bubble jet nozzle

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101617347B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100728882B1 (en) * 2005-12-29 2007-06-15 주식회사 케이씨텍 Two-fluid jet module for cleaning substrate and cleaning device using thereof
KR101214860B1 (en) * 2012-03-06 2012-12-24 주성엔지니어링(주) Gas injection apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100728882B1 (en) * 2005-12-29 2007-06-15 주식회사 케이씨텍 Two-fluid jet module for cleaning substrate and cleaning device using thereof
KR101214860B1 (en) * 2012-03-06 2012-12-24 주성엔지니어링(주) Gas injection apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102194657B (en) Device for cleaning and treating substrate
CN102412134B (en) Substrate processing device
JP2009066564A (en) Two-fluid slit nozzle, and method of manufacturing the same
KR20080007472A (en) High-pressure liquid atomisation nozzle for a machine for cleaning optical lenses or other substrates
KR101617347B1 (en) Block type bubble jet nozzle
CN104233229A (en) Air inlet device and plasma processing equipment
CN107993960A (en) Substrate board treatment, process fluid processing unit and ozone decomposed method
KR100783763B1 (en) Substrate cleaning apparatus
KR101426267B1 (en) Device for injecting multi phase fluid
CN105190833B (en) Entrance and the reaction system with the entrance
KR20200056045A (en) Two-liquids jetting nozzle
KR200464258Y1 (en) disease control apparatus
KR20110020507A (en) Apparatus for jetting fluid
KR20140134378A (en) Apparatus for jetting fluid and apparatus for cleaning a substrate having the same
JP3224951U (en) Vertical wet etching equipment
KR101147653B1 (en) Apparatus for treating substrates
KR100846575B1 (en) Twin fluid atomizer for cleaning fpd glass
KR101067737B1 (en) Two-liquids jetting device for cleaning flat panel display
KR101582958B1 (en) Flexible two-fluid jetting nozzle
KR101292648B1 (en) apparatus for etching substrates
KR101267464B1 (en) Apparatus for jetting fluid
KR200305052Y1 (en) Slit Type Device Nozzle for Jetting Fluid
KR101690681B1 (en) Air Knife for Use of Fluid Spray
CN215089279U (en) Cleaning device
KR20080005942U (en) Two-fluid supply module for cleaning substrate and cleaning device using the same

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190328

Year of fee payment: 4