KR100838685B1 - 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치 - Google Patents

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김용두
우진춘
허귀석
배현길
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한국표준과학연구원
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J7/00—Apparatus for generating gases

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Abstract

본 발명은 포름알데히드 인증용 표준가스 제조를 위한 발생장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상온에서 고체상으로 존재하는 시료를 가열하여 증기화함으로서 정확한 농도로 표준가스를 제조할 수 있도록 한 표준가스 제조용 발생장치에 관한 것이다.
본 발명은 표준가스를 제조하는 발생장치에 있어서, 희석용 순수가스가 저장되는 순수가스 저장용기; 제조된 표준가스가 저장되는 표준가스 저장용기; 상기 저장용기들 사이에 배치되는 것으로, 히터 및 온도센서를 구비하고, 고체상의 시료를 재치(載置)하여 실질적으로 시료를 기화시키는 가스가열부; 및 가스라인을 포함하여 구성되는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치를 제공한다.
고체상, 포름알데히드, 표준가스, HPLC(고성능 액체 크로마토그라프), 히터, 온도센서

Description

포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치{GENERATION DEVICE FOR THE PREPARATION OF FORMALDEHYDE STANDARD GAS}
도 1은 종래의 표준가스 발생장치를 나타내는 개략도.
도 2는 종래의 또 다른 표준가스 발생장치를 나타내는 개략도.
도 3은 본 발명의 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치를 도시하는 개략도.
도 4는 본 발명의 표준가스 발생장치의 가스가열부 상세 절단면도.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
100 : 순수가스 저장용기 150 : 표준가스 저장용기
200 : 밸브제어부 300 : 가스라인
400 : 가스가열부 410 : 가열용 바디
420 : 발생용 실린더 430 : 밀폐뚜껑
450 : 히터 460 : 온도센서
본 발명은 포름알데히드 인증용 표준가스 제조를 위한 발생장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상온에서 고체상으로 존재하는 시료를 가열하여 증기화함으로서 정확한 농도로 표준가스를 제조할 수 있도록 한 표준가스 제조용 발생장치에 관한 것이다.
휘발성 유기화합물(VOCs)은 그 종류와 형태에 따라 대기권 오존 오염, 오존층 파괴 및 지구온난화를 유발하여 환경 및 건강에 크게 영향을 미치고 있다. 휘발성 유기화합물 등에 의한 환경오염도 계측용 계측기는 정확한 측정을 위하여 수시로 교정되어야 하는바, 계측기의 눈금제정, 눈금 교정, 화학분석용의 정확도 높은 표준가스가 필요하다. 표준가스는 일반적으로 최소 두 가지 이상의 성분이 섞여 있다는 점에서 혼합가스에 속한다고 할 수 있다. 표준가스는 특정 성분의 정확한 농도가 알려진 가스상 물질로서, 측정의 기준이 되므로 일반적인 혼합가스에 비해 복잡한 단계의 제조 및 검정, 확인 절차를 거친다.
표준가스를 제조하는 통상적인 방법은 표준가스를 구성하는 각 성분의 무게를 측정하는 중량법, 가스 배관을 통과하는 성분별 유량을 측정하는 유량법, 성분의 충진 압력 비율에 따라 제조하는 압력법 등이 있다. 도 1에는 유량법에 의하여 표준가스를 제조하는 종래 기술로서의 발생장치가 도시되어 있다. 가스용기(1)에 저장된 시료용 가스의 유량이 유량계(3)에 의해 측정되고, 다른 저장용기(12)에 저장된 순수가스의 유량 또한 유량계(3)로 측정되어 교차점(P1)에 모인다. 교차점(P1)에서 혼합된 표준가스는 압력조절기(4)를 거쳐 표준가스용 실린더(14)에 저장된다. 표준가스의 성분은 각 유량계(3)에서 측정된 유량에 따라 정해진다. 유량법에 의한 표준가스 발생장치는 간단하게 구성할 수 있다는 장점은 있으나 농도의 정확도면에서 부정확한 측면이 있다.
각 성분의 무게를 측정하여 제조하는 중량법은 압력법에 비해 충전시의 온도상승에 의한 오차가 최소화되는 장점이 있어 표준가스의 제조법 중 가장 정확한 방법으로 알려져 있다. 도 2에는 중량법에 의하고 액상의 시료를 가열하여 제조하는 종래의 표준가스의 발생장치가 도시되어 있다. 정확하게 무게가 측정된 액상의 유기화합물은 시린지(syringe, 40)를 통해 액체주입부(60)로 주입되고, 히터(50)가 작동함에 따라 기화하여 표준가스 저장용기(70)로 저장된다. 한편, 순수가스(77) 또한 밸브제어부(20)의 제어에 의해 저장용기(70)로 저장된다. 혼합가스의 각 농도는 저장용기(70)의 최종 무게를 정확하게 측정함으로써 확정된다. 중량법에는 여러 가지의 세부적 테크닉이 필요하다. 미량의 액체상 성분을 정확히 주입, 기화시켜 표준가스로 만드는 다양한 방법들이 확립되어야 한다. 이런 측면에서 도 2에 도시한 바와 같은 종래의 발생장치는 표준가스의 정확한 농도를 결정할 수 있다는 점에서 장점이 있다.
그러나 유기화합물 시료 중 일부분은 상온에서 고체상으로 존재하는 경우가 많고, 상온이 아니더라도 시료를 고체상으로 제조하여 유통하면 취급상 장점이 많은바, 고체상의 유기화합물 시료를 이용하여 정확한 농도의 표준가스를 제조하는 발생장치가 필요하다. 도 1 혹은 도 2에 도시한 발생장치는 기체상 혹은 액체상으로 존재하는 시료에 대하여는 일부 장점을 가질 수는 있으나 고체상의 시료를 다루지는 못한다. 따라서 고체상의 시료를 이용하는 표준가스의 발생장치가 필요하다. 특히, 현재 대부분의 휘발성 유기화합물 표준가스를 수입에 의존하고 있고, 국가 환경정책에 따라 대기오염 감시, 소각로 배출가스 측정, 매립장 및 산업공정 배출가스 분석 등에 사용되는 측정기기의 교정용으로 다량의 표준가스가 필요하게 되어, 순도가 높고 정확한 농도를 갖는 유기가스 교정용 표준가스의 제조장치가 절실히 필요한 실정이다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 상온에서 고체상으로 존재하는 시료를 증기화함으로서 정확한 농도로 표준가스를 제조할 수 있도록 한 표준가스 제조용 발생장치를 제공하고자 하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 다른 목적은 고체상의 시료를 가열하고 중량법을 이용하며 다량 생산이 가능한 새로운 표준가스의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은 표준가스를 제조하는 발생장치에 있어서, 희석용 순수가스가 저장되는 순수가스 저장용기; 제조된 표준가스가 저장되는 표준가스 저장용기; 상기 저장용기들 사이에 배치되는 것으로, 히터 및 온도센서를 구비하고, 고체상의 시료를 재치(載置)하여 실질적으로 시료를 기화시키는 가스가열부; 및 가스라인을 포함하여 구성되는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치를 제공한다.
여기서, 상기 순수가스 저장용기에는 제1조절밸브가 구비되고, 상기 표준가스 저장용기에는 제2조절밸브가 구비되며, 밸브제어부가 더 포함되고, 상기 밸브제어부가 상기 제1조절밸브 및 제2조절밸브를 순차적으로 제어하여 표준가스를 제조한다.
이때, 상기 밸브제어부는 가스라인, 표준가스 저장용기 및 가스가열부를 진공으로 유지할 수 있으면 좋다.
또한, 상기 히터 및 온도센서는 상기 밸브제어부에 전기적으로 연결되어 밸브제어부에 의해 일정온도로 유지될 수 있는 것이 유리하다.
한편, 상기 가스가열부는 한쪽이 막힌 원통형의 가열용 바디 안쪽으로 원통 형상의 발생용 실린더가 일정 공간을 두어 배치되어 구성되는 것이며, 상기 히터는 상기 공간상에 상기 발생용 실린더를 감고 돌아 배치되는 것이 바람직하다.
상기 가스라인은 상기 가스가열부 내부에 배치되고, 상기 히터와 순차적으로 상기 발생용 실린더에 감기도록 배치되는 스파이어럴 배관을 포함하는 것이 특징이 다.
또한, 상기 가열용 바디 안쪽으로 단열재가 더 포함될 수 있다.
또한, 상기 발생용 실린더에는 고체상 시료를 넣을 수 있도록 된 개폐 가능한 밀폐뚜껑이 구비될 수 있다.
여기서, 상기 밀페뚜껑에는 발생용 실린더와의 사이에 패킹이 더 구비되는 것이 바람직하다.
한편으로, 상기 밀페뚜껑에는 잠금링이 더 구비되고, 상기 잠금링은 밀폐뚜껑 상에서 슬라이딩되어 회전 가능하며, 상기 회전에 의해 발생용 실린더와 긴밀한 결합이 가능한 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 측면으로서, 본 발명은 표준가스 발생장치를 이용하여 표준가스를 제조하는 방법에 있어서, 고체상의 시료 무게를 측정하고 가스가열부에 재치(載置)하는 제1단계; 표준가스 저장용기의 무게를 측정하는 제2단계; 가스가열부 및 표준가스 저장용기를 진공화하는 제3단계; 히터를 이용하여 가스가열부에 재치(載置)된 시료를 가열함으로써 기화시키고 이를 표준가스 저장용기에 저장하는 제4단계; 순수가스 저장용기를 열어 순수가스를 표준가스 저장용기 내로 주입하는 제5단계; 및 혼합가스가 저장된 표준가스 저장용기의 무게를 다시 측정하는 제6단계를 포함하는 것이 특징인 표준가스 제조방법을 제공한다.
본 발명의 도면으로서 도 3은 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치의 개략도이고, 도 4는 본 발명의 발생장치의 가스가열부 상세 절단면도를 나타낸 다. 본 발명에서는 기술적 사상의 이해를 명확하게 하기 위하여 필요하지 않은 부분은 도시를 생략하였으며, 도시되지 않은 부분은 통상의 표준가스 발생장치에 따른다.
본 발명의 표준가스 발생장치는 순수가스 저장용기(100), 표준가스 저장용기(150)와, 진공을 형성시키고 시스템상의 각종 밸브의 제어를 담당하는 밸브제어부(200) 및 가스가열부(400)를 포함하여 구성된다. 각각의 구성요소는 가스라인(300)을 통해 서로 연결되고, 그로 인해 가스성분들은 상기 가스라인(300)을 통로로 하여 이동된다.
상기 순수가스 저장용기(100)에는 순수 질소가스, 아르곤가스, 헬륨가스 등 표준가스 제조를 위한 희석용 가스가 고압으로 저장되는 곳으로, 상기 가스라인(300)의 일단에 연결되어 있으며, 상기 표준가스 저장용기(150)는 제조된 표준가스가 최종적으로 저장되는 곳으로, 상기 순수가스 저장용기(100)와 마찬가지로 상기 가스라인(300)의 타단에 연결되어 있으며, 고압상태를 유지한다.
상기 순수가스 저장용기(100)와 가스라인(300) 사이와, 상기 표준가스 저장용기 사이에는 각각 전자식의 제1조절밸브(110)와 제2조절밸브(151)가 개재되며, 상기 제1조절밸브(110)와 제2조절밸브(151)는 상기 밸브제어부(200)의 제어에 의해 개폐된다.
상기 순수가스 저장용기(100)와 표준가스 저장용기(150) 사이로 가스라인(300)의 중간부에 밸브제어부(200) 및 가스가열부(400)가 순차적으로 접속되며, 상기 밸브제어부(200)와 가스가열부(400) 사이에는 가스주입밸브(310)가 구비된다. 상기 밸브제어부(200)는 제조공정을 총괄하여 제어하는 것으로서 상기 제1조절밸브(110), 제2조절밸브(151) 및 가스주입밸브(310)를 순차적으로 제어할 뿐만 아니라, 후술하는 가스가열부(400)의 히터(450)를 온도센서(460)의 온도값에 따라 제어하는 역할을 한다. 또한, 별도의 진공펌프(미도시)를 포함하고 있어, 제조공정 초기에 가스라인(300)을 진공으로 유지하는 역할도 수행한다.
상기 가스가열부(400)는 실질적으로 고체상의 시료를 가열하여 기화시키며 순수가스가 지나는 통로 역할을 하는 것으로써, 도 4에 참조되는 것과 같이 상기 가스가열부(400)는 스테인레스 재질이고 한쪽이 막힌 원통형의 가열용 바디(410) 안쪽으로 크기만 작은뿐 닮은꼴 형상의 원통형의 발생용 실린더(420)가 일정 공간을 두고 배치되는 구성을 갖는다. 여기서, 상기 일정공간에는 가스라인(300)의 일부인 스파이어럴 배관(440)과 스파이어럴 형상의 히터(450)가 발생용 실린더(420)의 외주를 교대로 감싸며 배치된다.
한편, 상기 가열용 바디(410)에는 발생용 실린더(420)의 안착턱(421)이 안착되는 안착홈(412)이 더 구비되며, 상기 가열용 바디(410) 안쪽으로는 단열재(411)가 감싸질 수 있다. 여기서, 상기 단열재(411)는 히터(450)에 의한 가열이 발생용 실린더(420) 방향으로 효율적으로 이루어지도록 필요에 따라 구비된다. 또한, 가열용 바디(410)에는 가스라인(300)이 각각 접속하는 라인인입구(413)와 라인인출구(414)가 마련된다.
상기 발생용 실린더(420)는 고체상의 시료를 재치(載置)하고 발생용 실린더(420)를 감싸는 히터(450)를 가열하여 기화시키는 부분이다. 참조되는 도 4에서는 시료를 분말로 표시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 발생용 실린더(420)는 표준가스의 성분 농도가 변할 수 있는 가능성을 최소화하도록 용기 내부에 물리적 혹은 화학적인 처리를 하는 것이 바람직하며, 상기 발생용 실린더(420)의 하단에는 스파이어럴 배관(440)이 접속하는 인입접속구(423)이 형성되고, 이의 상단에 가스라인(300)이 접속하는 인출접속구(424)가 또한 형성된다. 상기 스파이어럴 배관(440)은 상기 가스라인(300)을 따라 이동한 순수가스의 온도가 발생용 실린더(420)로 유입되기 직전, 인접하여 순차적으로 감겨 있는 히터에 의해 일정 온도로 올라갈 수 있도록 하기 위하여 배치되는 배관이다. 상기 스파이어럴 배관(440)에 의해 상온의 순수가스는 일정 온도만큼 상승하여 기화된 유기성분과 혼합되는 바, 혼합 효율이 상승하는 장점이 있다.
한편, 상기 히터(450)는 전술한 밸브제어부(200)에 전기적으로 접속되어 온도센서(460)의 센싱값을 바탕으로 밸브제어부(200)의 제어에 따라 온오프 제어된다.
상기 발생용 실린더(420)의 열린 상방으로 밀폐뚜껑(430)이 덮이는데, 상기 밀폐뚜껑(430)은 고체상의 시료를 발생용 실린더(420)에 재치(載置)하기 위하여 필요에 따라 열릴 수 있는 구조로 마련된다. 즉, 발생용 실린더(420)의 모서리 둘레 로 구비되는 나사(422)에 결합되도록 나사산을 갖는 잠금링(431)을 구비한다. 상기 잠금링(431)은 상기 밀폐뚜껑(430)은 회전하지 않고도 밀폐뚜껑(430)이 발생용 실린더(420)에 긴밀하게 결합되도록 하는 것으로서, 안쪽에 암수의 링홀더부(4311)가 구비되어 있어 밀폐뚜껑(430)의 주위로 미끄러져 회전 가능하다. 따라서 밀폐뚜껑(430)을 발생용 실린더(420)에 덮고 잠금링(431)을 돌리면 잠금링(431)만 회전할 뿐 밀폐뚜껑(430)은 회전하지 않으며 잠금링(431)의 나사산이 발생용 실린더(420)의 나사(422)와 결합하여 발생용 실린더(420) 내부에 긴밀한 진공 조성이 가능하게 된다.
한편, 상기 밀폐뚜껑(430)과 발생용 실린더(420) 사이에는 좀 더 긴밀한 결합을 위하여 고무제의 패킹(432)이 끼워지는 것이 바람직하며, 밀폐뚜껑(430)의 하면에는 가이드부(433)가 더 구비되어 상기 밀폐뚜껑(430)을 발생용 실린더(420)에 안착시킬 때 가이드하도록 하는 것이 좋다. 또한 밀폐뚜껑(430)의 일측에는 온도센서(460)가 삽입되는 측정구(434)가 더 마련된다.
상기 밀폐뚜껑(430)과 발생용 실린더(420)의 결합구조에 관하여 본 발명에서는 나사결합만을 실시예로 들고 있으나 결합구조가 상기한 것에 한정되는 것은 아님에 주의하여야 한다.
다음으로 본 발명의 표준가스 발생장치를 이용한 표준가스 제조방법에 대하여 설명한다. 먼저 고체 상태의 시료를 고정밀 밸러스(10kg/1mg)를 이용하여 정밀하게 무게를 잰 후, 가스가열부(400)의 밀폐뚜껑(430)을 열어 발생용 실린더(420) 하부에 재치(載置)하고, 밀폐뚜껑(430)을 닫는다. 이 때 밀폐뚜껑(430)의 가이드부(433)를 이용하여 패킹(432)이 변형이 가지 않도록 조심스럽게 닫는 것이 좋다. 다음으로 밀폐뚜껑(430)의 잠금링(431)을 돌려 긴밀하게 밀폐시킨 후 , 비어 있는 표준가스 저장용기(150)의 무게를 고정밀 밸런스(balance)를 이용하여 측정한 다음, 가스라인(300)의 일측에 접속시킨다. 이후 가스라인(300)의 타측으로는 순수가스 저장용기(100)를 접속시킨 다음 밸브제어부(200)에 구비되는 버튼을 이용하여 순수가스 저장용기(100) 측의 제1조절밸브(100)는 닫고 표준가스 저장용기(150) 측의 제2조절밸브(151)는 열은 후, 가스라인(300), 가스가열부(400) 및 표준가스 저장용기(150) 전체를 진공상태를 형성시킨다. 소정의 진공상태가 완료되면 제2조절밸브(151)을 닫는다. 다음으로 히터(450)를 가열하여 발생용 실린더(420)의 내부온도를 높인다. 상기 히터(450)의 작동온도는 유기화합물 시료가 열분해되지 않고 기화만 가능하도록 온도센서(460)를 이용하여 피드백 제어한다. 통상 40~80도 정도를 유지하는 것이 좋다. 발생용 실린더(420) 내부온도가 상승함에 따라 고체상의 시료는 기화하고 발생용 실린더(420) 내부의 압력이 상승한다. 다음으로 제2조절밸브(151)를 열어 가스 상태의 유기화합물을 표준가스 저장용기(150)에 저장한다. 이때, 저장된 유기화합물 가스의 양을 측정할 수도 있지만 저장용기 등의 무게를 측정하는 고정밀 밸런스로는 밀리그램(mg) 단위의 무게 측정은 오차가 크게 발생하므로 시료의 양을 정확히 측정할 수 없다. 따라서, 저장용기를 배제하고 고체상의 시료를 직접 고정밀 밸런스로 측정하는 본 발명의 제조방법이 농도의 정확도면에서 훨씬 우수하게 된다. 유기화합물 가스를 표준가스 저장용기(150)에 저장한 후, 밸 브제어부(200)의 해당 버튼을 눌러 순수가스 저장용기(100) 상부에 위치한 제1조절밸브(110)를 열어 순수가스를 가스가열부로 흘려준다. 또한, 밸브제어부(200)와 가스가열부(400) 사이에 배치된 가스주입밸브(310)를 열어 순수가스를 가스가열부(400)를 통과시켜 표준가스 저장용기(150)에 저장한다. 이 때, 순수가스는 가스라인(300)으로부터 인입되어 가스가열부(400)의 스파이어럴 배관(440)을 지나 발생용 실린더(420)로 유입되는바, 발생용 실린더(420) 주위로 순차하여 인접 배치되는 히터(450)에 의해 일정량 온도가 상승하여 유입된다. 이에 따라 유기화합물 가스와 혼합되는 홉합효율이 상승한다. 순수가스의 주입이 완료되면 제2조절밸브(151)를 닫고 표준가스 저장용기(150)를 떼어내어 고정밀 밸런스로 총 무게를 측정한다. 측정된 혼합가스의 무게와 상기에서 측정한 고체상의 시료의 무게로부터 표준가스 내에 존재하는 유기화합물 가스의 정확한 농도를 쉽게 알 수 있다. 본 발명의 표준가스 제조방법에 의하여 제조된 표준가스의 농도는 통상 1.0~50 umol/mol 정도이다. 제조가 완료되고 나면 고정밀 액체 크로마토그라피법(HPLC)을 이용하여 검증한다. 상기 HPLC 검증법은 일정량의 표준가스를 유도화 물질이 함유된 DNPH 카트리지(Supelco)에 통과시켜 유도체한 후 이를 포름알데히드-DNPH 표준용액을 기준으로 검증하는 방법이다.
본 발명의 표준가스 발생장치 및 이를 이용한 표준가스의 제조방법은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
본 발명에 따른 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치를 이용함으로서, 고체상의 유기화합물을 기화시킨 가스와 순수가스를 용이하게 혼합하여 정확한 농도값을 갖고 순도 높은 표준가스를 제조할 수 있는 작용효과가 있다.

Claims (11)

  1. 표준가스를 제조하는 발생장치에 있어서, 희석용 순수가스가 저장되는 순수가스 저장용기(100); 제조된 표준가스가 저장되는 표준가스 저장용기(150); 상기 저장용기들 사이에 배치되는 것으로, 히터(450) 및 온도센서(460)를 구비하고, 고체상의 시료를 재치(載置)하여 시료를 기화시키는 가스가열부(400); 및 가스라인(300)을 포함하여 구성되는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 순수가스 저장용기(100)에는 제1조절밸브(110)가 구비되고, 상기 표준가스 저장용기(150)에는 제2조절밸브(151)가 구비되며, 밸브제어부(200)가 더 포함되고, 상기 밸브제어부(200)가 상기 제1조절밸브(110) 및 제2조절밸브(151)를 순차적으로 제어하여 표준가스를 제조하는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 밸브제어부(200)는 가스라인(300), 표준가스 저장용기(150) 및 가스가 열부(400)를 진공으로 유지할 수 있는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 히터(450) 및 온도센서(460)는 상기 밸브제어부(200)에 전기적으로 연결되어 상기 밸브제어부(200)에 의해 일정온도로 유지될 수 있는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가스가열부(400)는 한쪽이 막힌 원통형의 가열용 바디(410) 안쪽으로 원통 형상의 발생용 실린더(420)가 일정 공간을 두어 배치되어 구성되는 것이며, 상기 히터(450)는 상기 공간상에 상기 발생용 실린더(420)를 감고 돌아 배치되는 스파이어럴 형인 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가스라인(300)은 상기 가스가열부(400) 내부에 배치되고, 상기 히터(450)와 순차적으로 상기 발생용 실린더(420)에 감기도록 배치되는 스파이어럴 배관(440)을 포함하는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 가열용 바디(410) 안쪽으로 단열재가 더 포함되는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 발생용 실린더(420)에는 고체상 시료를 넣을 수 있도록 된 개폐 가능한 밀폐뚜껑(430)이 구비되는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 밀페뚜껑(430)에는 발생용 실린더(420)와의 사이에 패킹(432)이 더 구비되는 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 밀페뚜껑(430)에는 잠금링(431)이 더 구비되고, 상기 잠금링(431)은 밀폐뚜껑(430) 상에서 슬라이딩되어 회전 가능하며, 상기 회전에 의해 발생용 실린더(420)와 결합이 가능한 것이 특징인 포름알데히드 표준가스 제조를 위한 발생장치.
  11. 제1항에 기재된 표준가스 발생장치를 이용하여 표준가스를 제조하는 방법에 있어서, 고체상의 시료 무게를 측정하고 가스가열부(400)에 재치(載置)하는 제1단계; 표준가스 저장용기(150)의 무게를 측정하는 제2단계; 가스가열부(400) 및 표준가스 저장용기(150)를 진공화하는 제3단계; 히터(450)를 이용하여 가스가열부(400)에 재치(載置)된 시료를 가열함으로써 기화시키고 이를 표준가스 저장용기(150)에 저장하는 제4단계; 순수가스 저장용기(100)를 열어 순수가스를 표준가스 저장용기(150) 내로 주입하는 제5단계; 및 혼합가스가 저장된 표준가스 저장용기(150)의 무게를 다시 측정하는 제6단계를 포함하는 것이 특징인 표준가스 제조방법.
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