KR100832906B1 - 실리콘 분말 공급장치 및 공급방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 단결정 잉곳 제조장치에 크기가 서로 상이한 실리콘 분말을 공급하는 공급장치로서,실리콘 분말로 충전되는 공급튜브와,상기 공급튜브의 상부에 설치되며 제어가능한 액추에이터와,상기 공급튜브의 하부에 설치되며 상기 액추에이터에 연결되어 상하로 수직이동가능한 원추대 형상 밸브체를 구비하며,상기 밸브체의 원추대 사면은 폐쇄시에 상기 공급 튜브의 하단부와 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 분말 공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 공급튜브의 하단부에는 하측으로 갈수록 직경이 커지는 테이퍼부가 형성되며,상기 밸브체의 원추대 사면은 폐쇄시에 상기 공급 튜브의 테이퍼부와 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 분말 공급장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 밸브체의 하단부는 중공부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 분말 공급장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 공급튜브와 밸브체는 석영 도가니의 중앙부에 위치하는 것을 특징으로 하는 실리콘 분말 공급장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 공급튜브와 밸브체 중 어느 일방이나 양방은 석영소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 분말 공급장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 액추에이터는 솔레노이드에 의해 구동되며 단부에 나사부가 형성된 로드부를 구비하며,상기 밸브체의 상부에는 상기 로드부의 나사부가 관통하여 설치되는 관통홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 분말 공급장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 실리콘 분말 공급장치를 이용하여 실리콘 분말을 공급하는 방법으로서,공급 튜브의 내부에 실리콘 분말을 충진하는 단계; 및액추에이터를 작동하여 밸브체를 개방함으로써 실리콘 분말을 밸브체 사면을 따라 원형 형태로 석영 도가니에 장입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실 리콘 분말 공급방법.
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KR1020070054613A KR100832906B1 (ko) | 2007-06-04 | 2007-06-04 | 실리콘 분말 공급장치 및 공급방법 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101456386B1 (ko) * | 2013-06-25 | 2014-10-31 | 웅진에너지 주식회사 | 분리형 실리콘 원료 공급장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000036940A (ko) * | 2000-04-01 | 2000-07-05 | 송태오 | 실리콘 단결정 성장장치 |
JP2001342026A (ja) | 2000-05-30 | 2001-12-11 | Tosoh Quartz Corp | 石英ガラスの製造方法及び製造装置 |
JP2002020132A (ja) | 2000-06-28 | 2002-01-23 | Tosoh Quartz Corp | 溶融石英ガラス製造用バーナー |
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2007
- 2007-06-04 KR KR1020070054613A patent/KR100832906B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
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