KR100828987B1 - Noncontact adsorbent plate - Google Patents

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KR100828987B1
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원용연
김현수
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Abstract

에어 분출공과 피운반체 사이에 강한 회전류가 발생되도록 회전류형성디스크를 구비함으로써, 피운반체에 대한 부하를 최소화하면서 피운반체를 비접촉 상태로 안전하게 수직, 수평으로 이송할 수 있고, 구조가 단순하여 생산단가를 절감할 수 있을 뿐만 아니라 다양한 산업분야에서 이용이 가능하여 구매자의 구매욕구를 충족시킬 수 있는 비접촉 흡착 플레이트가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 비접촉 흡착 플레이트는 본체부와, 본체부의 상부면 상에 형성되면서 중앙에는 원판형상의 회전류안내돌기가 형성된 다수의 안착부와, 본체부의 하부면 상에서 각각의 안착부 측으로 압축에어를 안내 분출하는 에어안내부를 가지는 챔버플레이트; 각각의 에어안내부의 하부를 한정하면서 압축에어를 공급하는 에어공급용피팅이 장착되는 하부플레이트; 및 각각의 안착부 내에 장착되면서 에어안내부를 따라 안내된 분출에어에 회전력이 발생되게하는 회전류형성디스크로 이루어진다.By providing a rotational flow forming disk to generate a strong rotational flow between the air jet hole and the conveying body, the conveying body can be safely transported vertically and horizontally in a non-contact state while minimizing the load on the conveying body. A non-contact adsorption plate is disclosed that can not only reduce the unit cost but also can be used in various industries to satisfy a purchaser's purchase desire. The non-contact adsorption plate according to the present invention is formed on the main body portion and the upper surface of the main body portion, and a plurality of seating portions, each of which has a disk-shaped rotary flow guide protrusion formed at the center thereof, and compressed air to each seating portion side on the lower surface of the main body portion. A chamber plate having an air guide for guiding air; A lower plate on which an air supply fitting for supplying compressed air is defined while defining a lower portion of each air guide portion; And a rotating flow-forming disk mounted in each seating portion so as to generate rotational force in the ejected air guided along the air guide portion.

Description

비접촉 흡착 플레이트{NONCONTACT ADSORBENT PLATE}Non-contact adsorption plate {NONCONTACT ADSORBENT PLATE}

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 비접촉 흡착 플레이트를 나타낸 사시도이며,1 is a perspective view showing a non-contact adsorption plate according to a first embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 선 A-A를 따라서 도시된 단면도이고,2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 1,

도 3은 도 1에 도시된 회전류형성디스크의 저면을 보인 도면이며,3 is a view showing the bottom surface of the rotary flow forming disk shown in FIG.

도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 비접촉 흡착 플레이트를 나타낸 사시도이고,4 is a perspective view showing a non-contact adsorption plate according to a second embodiment of the present invention,

도 5는 도 4의 선 B-B를 따라서 도시된 단면도이며, 그리고5 is a cross-sectional view taken along the line B-B of FIG. 4, and

도 6은 도 1에 도시된 회전류형성디스크의 저면을 보인 도면이다. FIG. 6 is a view illustrating a bottom surface of the rotational flow forming disk shown in FIG. 1.

<도면의주요부분에대한부호의설명>Explanation of symbols on the main parts of the drawing

100, 200 : 비접촉 흡착 플레이트 110, 210 : 챔버플레이트100, 200: non-contact adsorption plate 110, 210: chamber plate

112, 212 : 본체부 113 : 에어분출공112, 212: main body 113: air blowing hole

114, 214 : 안착부 116 : 회전류안내돌기 118, 218 : 에어안내부 120, 220 : 제 1 에어안내공 122, 222 : 제 2 에어안내공 124, 224 : 제 3 에어안내공 130, 230 : 하부플레이트 132, 232 : 에어공급용피팅 140, 240 : 회전류형성디스크 142, 242 : 회전류형성홈114, 214: seating portion 116: rotary flow guide projections 118, 218: air guide 120, 220: first air guide 122, 222: second air guide 124, 224: third air guide 130, 230: Lower plates 132, 232: fittings for air supply 140, 240: rotational flow forming disks 142, 242: rotational flow forming grooves

본 발명은 비접촉 흡착 플레이트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에어 분출공과 피운반체 사이에 강한 회전류가 발생되도록 회전류형성디스크를 구비함으로써, 피운반체에 대한 부하를 최소화하면서 피운반체를 비접촉 상태로 안전하게 수직, 수평으로 이송할 수 있고, 구조가 단순하여 생산단가를 절감할 수 있을 뿐만 아니라 다양한 산업분야에서 이용이 가능하여 구매자의 구매욕구를 충족시킬 수 있는 비접촉 흡착 플레이트에 관한 것이다.The present invention relates to a non-contact adsorption plate, and more particularly, by having a rotational flow forming disk so that a strong rotational flow is generated between the air blowing hole and the carrier, thereby minimizing the load on the carrier and safely bringing the carrier in a non-contact state. The present invention relates to a non-contact adsorption plate capable of transporting vertically and horizontally and having a simple structure to reduce production cost as well as being available in various industrial fields to satisfy a purchaser's desire to purchase.

일반적으로, 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피운반체를 반송하는 접촉식 반송수단과, 피운반체를 부상시켜 피운반체를 반송하는 비접촉식 반송수단이 개시되어 다양한 산업분야에서 사용되고 있는 실정이다. In general, as a conveying means, a contact conveying means for conveying a conveyed body by a rotational force of a roller and a non-contact conveying means for conveying a conveyed body by floating the conveyed body are disclosed and used in various industrial fields. .

상기 비접촉식 반송수단으로는 분출에어와 진공을 사용하는 비접촉식 흡착 반송수단과, 분출에어만을 사용하는 비접촉식 흡착 반송수단으로 분류되는데, 전술한 바와 같이 분출에어와 진공을 사용하는 비접촉식 흡착 반송수단은 에어를 분출하여 피운반체를 부상시키고, 진공을 이용하여 흡착하는 구조를 가지고 있으며, 또한 후술한 바와 같이 분출에어만을 사용하는 비접촉식 흡착 반송수단은 에어가 분출되는 흡착패드와 피운반체 사이의 공기류에 의해 발생되는 베루누이 효과를 이용해서 흡착, 반송하는 구조를 가지고 있다. The non-contact conveying means is classified into a non-contact adsorption conveying means using a jet air and a vacuum, and a non-contact adsorption conveying means using only a ejection air. The non-contact adsorption conveying means using only the ejection air is generated by the air flow between the adsorption pad and the conveyed body. It has a structure which adsorbs and conveys using the Berunui effect.

그런데, 전술한 비접촉식 반송수단들은 피운반체를 흡착, 반송하기 위해서 많은 양의 에어가 필요하고, 구조가 복잡하여 제작이 용이하지 않은 문제점이 있었다. 또한, 반송수단과 피운반체 사이에 회전류의 형성이 어려워 흡착력이 약한 문제점이 있었다. However, the non-contact conveying means described above has a problem in that a large amount of air is required in order to adsorb and convey the conveyed body, and the structure is complicated and thus it is not easy to manufacture. In addition, there is a problem in that the rotational flow is difficult to form between the conveying means and the conveyed body, and the adsorption force is weak.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 에어 분출공과 피운반체 사이에 강한 회전류가 발생되도록 회전류형성디스크를 구비함으로써, 피운반체에 대한 부하를 최소화하면서 피운반체를 비접촉 상태로 안전하게 수직, 수평으로 이송할 수 있고, 구조가 단순하여 생산단가를 절감할 수 있을 뿐만 아니라 다양한 산업분야에서 이용이 가능하여 구매자의 구매욕구를 충족시킬 수 있는 비접촉 흡착 플레이트를 제공하는데 있다. The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the object of the present invention is to provide a rotational flow forming disk to generate a strong rotational flow between the air blowing hole and the carrier body, thereby minimizing the load on the carrier body Non-contact adsorption plate that can transport the conveyed body safely and vertically and horizontally in a non-contact state, not only can reduce the production cost due to its simple structure, but also can be used in various industries. To provide.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,In order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention,

수평하게 연장되면서 소정이 두께를 가지는 판 형상의 본체부와, 본체부의 상부면 상에 다수의 행과 다수의 열을 가지면서 본체부의 상부면 상에서부터 본체부의 하부면 측으로 침강되게 형성됨과 아울러 중앙에는 원판형상의 회전류안내돌기가 형성된 다수의 안착부와, 본체부의 하부면 상에서 각각의 안착부 측으로 압축에어를 안내 분출할 수 있도록 본체부의 하부면 상에서 본체부의 상부면 측으로 연장되는 제 1 에어안내공과, 제 1 에어안내공의 상부면에 방사상으로 배치되면서 본체부의 상부면에 인접하게 연장되는 하나 이상의 제 2 에어안내공과, 각각의 제 2 에어안내공의 연장부에서부터 안착부에 형성된 회전류안내돌기의 외주면 외측으로 관통되는 하나 이상의 제 3 에어안내공을 구비하는 에어안내부를 가지는 챔버플레이트;A plate-shaped main body portion having a predetermined thickness and extending horizontally, and having a plurality of rows and a plurality of columns on the upper surface of the main body portion, is formed to settle from the upper surface of the main body portion to the lower surface side of the main body portion and A plurality of seating portions having disc-shaped rotary flow guide protrusions, and first air guide holes extending from the lower surface of the main body to the upper surface side of the main body so as to guide and eject compressed air to the respective seating side on the lower surface of the main body; At least one second air guide hole which is disposed radially on the upper surface of the first air guide hole and extends adjacent to the upper surface of the main body, and a rotational flow guide protrusion formed from the extension of each second air guide hole to the seating part. A chamber plate having an air guide portion having one or more third air guide holes penetrating outward of an outer circumferential surface thereof;

각각의 에어안내부의 하부를 한정하면서 압축에어를 공급하는 통상의 에어공급용피팅이 장착되는 하부플레이트; 및A lower plate to which a normal air supply fitting for supplying compressed air is provided while defining a lower portion of each air guide portion; And

각각의 안착부 내에 장착되면서 에어안내부를 따라 안내된 분출에어에 회전력이 발생되게하는 회전류형성디스크로 이루어지며,It is made of a rotary flow-forming disk that is installed in each seating portion to generate a rotational force to the jet air guided along the air guide,

삭제delete

회전류형성디스크는 환형의 형상을 가지면서 내경은 회전류안내돌기의 외경 보다 큰 직경을 가지며, 회전류형성디스크의 하부면 상에는 각각의 제 3 에어안내공에서 분출된 압축에어를 안내하면서 회전류가 형성되게 하는 하나 이상의 회전류형성홈이 형성되는 비접촉 흡착 플레이트를 제공한다.The rotating flow forming disk has an annular shape and the inner diameter has a larger diameter than the outer diameter of the rotating flow guide protrusion, and the rotating flow guides the compressed air ejected from the respective third air guide holes on the lower surface of the rotating flow forming disk. It provides a non-contact adsorption plate is formed one or more rotational flow forming grooves to be formed.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 에어 분출공과 피운반체 사이에 강한 회전류가 발생되도록 회전류형성디스크를 구비함으로써, 피운반체에 대한 부하를 최소하면서 피운반체를 비접촉 상태로 안전하게 수직, 수평으로 이송할 수 있고, 구조가 단순하여 생산단가를 절감할 수 있을 뿐만 아니라 다양한 산업분야에서 이용이 가능하여 구매자의 구매욕구를 충족시킬 수 있다. As described above, according to the present invention, by providing a rotational flow forming disk so that a strong rotational flow is generated between the air blowing hole and the carrier body, the vehicle is safely vertically and horizontally in a non-contact state while minimizing the load on the carrier body. It can be transported to the market, and its simple structure can reduce the production cost and can be used in various industries to satisfy the buyer's purchase desire.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비접촉 흡착 플레이트에 대해 설명한다. Hereinafter, a non-contact adsorption plate according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 비접촉 흡착 플레이트를 나타낸 사시 도이며, 그리고 도 2는 도 1의 선 A-A를 따라서 도시된 단면도이이다. 1 is a perspective view showing a non-contact adsorption plate according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 1 및 2를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 비접촉 흡착 플레이트(100)는 상부면 상에는 다수의 안착부(114)가 형성되고 하부면 상에서 각각의 안착부(114) 측으로 압축에어를 안내 분출하는 에어안내부(118)가 형성된 챔버플레이트(110)와, 챔버플레이트(110)의 하부에 형성된 각각의 에어안내부(118)의 하부를 한정하면서 압축에어를 공급하는 통상의 에어공급용피팅(132)이 장착되는 하부플레이트(130)와, 각각의 안착부(114) 내에 장착되면서 에어안내부(118)를 따라 안내된 분출에어에 회전력이 발생되게하는 회전류형성디스크(140)로 이루어진다. 1 and 2, in the non-contact adsorption plate 100 according to the first embodiment of the present invention, a plurality of seating portions 114 are formed on an upper surface and compressed air toward each seating portion 114 on a lower surface. Normal air supply for supplying compressed air while defining the chamber plate 110 and the lower portion of each of the air guide portion 118 formed in the lower portion of the chamber plate 110, the air guide portion 118 for ejecting the guide Rotating flow-forming disk 140, which is installed in the lower plate 130, and the seating portion 114, the ejection air guided along the air guide portion 118 while the fitting fitting 132 is mounted Is done.

먼저, 챔버플레이트(110)는 수평하게 연장되면서 소정의 두께를 가지는 판 형상을 가지는 본체부(112)와, 본체부(112)의 상부면 상에 형성되는 다수의 안착부(114)와, 본체부(112)의 하부면 상에서 각각의 안착부(114) 측으로 압축에어를 안내 분출하는 에어안내부(118)를 구비한다. First, the chamber plate 110 extends horizontally and has a body portion 112 having a plate shape having a predetermined thickness, a plurality of seating portions 114 formed on an upper surface of the body portion 112, and a main body. It is provided with an air guide 118 for guiding the compressed air to each seating portion 114 side on the lower surface of the portion (112).

안착부(114)는 본체부(112)의 상부면 상에 다수의 행과 다수의 열을 가지면서 본체부(112)의 상부면 상에서부터 본체부(112)의 하부면 측으로 침강되게 형성된다. 이러한 각각의 안착부(114) 바닥면 중앙에는 원판형상의 회전류안내돌기(116)가 형성되는데, 회전류안내돌기(116)는 안착부(114)의 깊이보다 낮은 높이를 가진다. The seating part 114 has a plurality of rows and a plurality of columns on the upper surface of the body portion 112 and is formed to settle down from the upper surface of the body portion 112 toward the lower surface side of the body portion 112. In the center of the bottom of each seating portion 114, a disk-shaped rotary flow guide protrusion 116 is formed, the rotary flow guide protrusion 116 has a height lower than the depth of the seating portion (114).

한편, 에어안내부(118)는 안착부(114)와 마찬가지로 본체부(112)의 하부면 상에서 다수의 행과 다수의 열을 가지며 형성된다. 즉, 각각의 에어안내부(118)는 각각의 안착부(114)에 대응하도록 형성된다. 이러한 각각의 에어안내부(118)는 본 체부(112)의 하부면 상에서 본체부(112)의 상부면 측으로 연장되는 제 1 에어안내공(120)과, 제 1 에어안내공(120)의 상부면에 방사상으로 배치되면서 본체부(112)의 상부면에 인접하게 연장되는 하나 이상의 제 2 에어안내공(122)과, 각각의 제 2 에어안내공(122)의 연장부에서부터 안착부(114)에 형성된 회전류안내돌기(116)의 외주면 외측으로 관통되는 하나 이상의 제 3 에어안내공(124)을 구비한다. 이와 같이 형성된 챔버플레이트(110)의 하부에는 다수의 하부플레이트(130)가 장착되고, 챔버플레이트(110)의 상부에는 다수의 회전류형성디스크(140)가 장착된다. On the other hand, the air guide 118 is formed with a plurality of rows and a plurality of columns on the lower surface of the body portion 112, like the seating portion 114. That is, each air guide 118 is formed to correspond to each seating portion (114). Each of the air guide portion 118 is a first air guide hole 120 and the upper portion of the first air guide hole 120 that extends toward the upper surface side of the body portion 112 on the lower surface of the main body portion 112 At least one second air guide hole 122 extending radially on the surface and extending adjacent to the upper surface of the body part 112, and the seating part 114 from an extension of each second air guide hole 122. It is provided with at least one third air guide hole 124 that penetrates to the outside of the outer circumferential surface of the rotary flow guide protrusion 116 formed in the. A plurality of lower plates 130 are mounted on the lower portion of the chamber plate 110 formed as described above, and a plurality of rotational flow forming disks 140 are mounted on the upper portion of the chamber plate 110.

하부플레이트(130)는 환형의 링 형상을 가진다. 이러한 하부플레이트(130)는 본체부(112)의 하부면 상에서 각각의 에어안내부(118)를 폐쇄할 수 있도록 본체부(112)에 나사 결합되는데, 각각의 하부플레이트(130)의 내주면 상에는 압축에어를 공급하는 통상의 에어공급용피팅(132)이 각각 장착된다. The lower plate 130 has an annular ring shape. The lower plate 130 is screwed to the main body 112 so as to close the respective air guide 118 on the lower surface of the main body 112, the compression on the inner peripheral surface of each lower plate 130 Normal air supply fittings 132 for supplying air are respectively mounted.

바람직하게는, 어느 하나의 안착부(114)와 이웃한 또 다른 안착부(114) 사이에는 다수의 에어 분출공(113)이 본체부(112)를 관통하여 형성될 수 있으며, 에어 분출공(113)에는 또 다른 에어공급용피팅(도시되지 않음)이 각각 장착된다. Preferably, a plurality of air blowing holes 113 may be formed through the main body 112 between any one seating part 114 and another seating part 114 adjacent to each other. 113 is further equipped with another air supply fitting (not shown).

도 3은 도 1에 도시된 회전류형성디스크의 저면을 보인 도면이다. FIG. 3 is a view showing the bottom of the rotational flow forming disk shown in FIG. 1.

도시된 바와 같이, 회전류형성디스크(140)는 환형(環形)의 형상을 가지면서 각각의 안착부(114)에 나사 결합된다. 즉, 회전류형성디스크(140)는 관통된 내주면을 가지는 통상의 링 형상을 가지는데, 회전류형성디스크(140)의 내경은 회전류안내돌기(116)의 외경보다 큰 직경을 가진다. 한편, 회전류형성디스크(140)의 하부면 상에는 각각의 제 3 에어안내공(124)에서 분출된 압축에어를 안내하면서 회전류가 형성되게 하는 하나 이상의 회전류형성홈(142)이 형성되는데, 이러한 회전류형성홈(142)은 회전류형성디스크(140)의 바닥면 상에서 내주면까지 연장됨과 아울러 일측으로 만곡된 곡률로 제공된다. As shown, the rotary flow-forming disk 140 is screwed to each seating portion 114 having an annular shape. That is, the rotational flow forming disk 140 has a general ring shape having a penetrating inner circumferential surface, and the inner diameter of the rotating flow forming disk 140 has a diameter larger than the outer diameter of the rotating flow guide protrusion 116. On the other hand, on the lower surface of the rotational flow forming disk 140 is formed one or more rotational flow forming grooves 142 for guiding the compressed air ejected from each of the third air guide hole 124 to form a rotational flow, The rotary flow forming groove 142 extends from the bottom surface of the rotary flow forming disk 140 to the inner circumferential surface and is provided with a curved curvature to one side.

도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 비접촉 흡착 플레이트를 나타낸 사시도이며, 그리고 도 5는 도 4의 선 B-B를 따라서 도시된 단면도이다. 4 is a perspective view illustrating a non-contact adsorption plate according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line B-B of FIG. 4.

도 4 및 5를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 비접촉 흡착 플레이트(200)는 상부면 상에는 다수의 안착부(214)가 형성되고 하부면 상에서 각각의 안착부(214) 측으로 압축에어를 안내 분출하는 에어안내부(218)가 형성된 챔버플레이트(210)와, 챔버플레이트(210)의 하부에 형성된 각각의 에어안내부(218)의 하부를 한정하면서 압축에어를 공급하는 통상의 에어공급용피팅(232)이 장착되는 하부플레이트(230)와, 각각의 안착부(214) 내에 장착되면서 에어안내부(218)를 따라 안내된 분출에어에 회전력이 발생되게하는 회전류형성디스크(240)로 이루어진다. 4 and 5, in the non-contact adsorption plate 200 according to the second embodiment of the present invention, a plurality of seating portions 214 are formed on an upper surface and compressed air toward each seating portion 214 on a lower surface. Normal air supply for supplying compressed air while defining the chamber plate 210 and the lower portion of each of the air guide portion 218 formed on the lower portion of the chamber plate 210, the air guide portion 218 for guiding and ejecting Rotating flow-forming disk 240 is installed in the lower plate 230, the mounting fitting 232, and the ejection air guided along the air guide 218 while being mounted in each seating portion 214 Is done.

먼저, 챔버플레이트(210)는 수평하게 연장되면서 소정의 두께를 가지는 판 형상을 가지는 본체부(212)와, 본체부(212)의 상부면 상에 형성되는 다수의 안착부(214)와, 본체부(212)의 하부면 상에서 각각의 안착부(214) 측으로 압축에어를 안내 분출하는 에어안내부(218)를 구비한다. First, the chamber plate 210 extends horizontally and has a plate-shaped body portion 212 having a predetermined thickness, a plurality of seating portions 214 formed on an upper surface of the body portion 212, and a main body. And an air guide 218 for guiding the compressed air to the respective seating portions 214 on the lower surface of the portion 212.

안착부(214)는 본체부(212)의 상부면 상에 다수의 행과 다수의 열을 가지면서 본체부(212)의 상부면 상에서부터 본체부(212)의 하부면 측으로 침강되게 형성되는데, 안착부(214)의 바닥면과 교차하는 내측면은 부드러운 곡선으로 연결된다. The seating portion 214 has a plurality of rows and a plurality of columns on the upper surface of the body portion 212 and is formed to settle from the upper surface of the body portion 212 toward the lower surface side of the body portion 212, The inner surface intersecting with the bottom surface of the seating portion 214 is connected in a smooth curve.

한편, 에어안내부(218)는 안착부(214)와 마찬가지로 본체부(212)의 하부면 상에서 다수의 행과 다수의 열을 가지며 형성된다. 즉, 각각의 에어안내부(218)는 각각의 안착부(214)에 대응하도록 형성된다. 이러한 각각의 에어안내부(218)는 본체부(212)의 하부면 상에서 본체부(212)의 상부면 측으로 연장되는 제 1 에어안내공(220)과, 제 1 에어안내공(220)의 상부면에 방사상으로 배치되면서 본체부(212)의 상부면에 인접하게 연장되는 하나 이상의 제 2 에어안내공(222)과, 각각의 제 2 에어안내공(222)의 연장부에서부터 안착부(214) 측으로 관통되는 하나 이상의 제 3 에어 안내공(224)을 구비한다. 이와 같이 형성된 챔버플레이트(210)의 하부에는 다수의 하부플레이트(230)가 장착되고, 챔버플레이트(210)의 상부에는 다수의 회전류형성디스크(240)가 장착된다. On the other hand, the air guide 218 is formed with a plurality of rows and a plurality of columns on the lower surface of the body portion 212, like the seating portion 214. That is, each air guide portion 218 is formed to correspond to each seating portion 214. Each of the air guide portion 218 is the first air guide hole 220 and the upper portion of the first air guide hole 220 which extends toward the upper surface side of the main body portion 212 on the lower surface of the main body portion 212 One or more second air guide holes 222 disposed radially on the surface and extending adjacent to the upper surface of the main body part 212, and the seating portion 214 from an extension of each second air guide hole 222. At least one third air guide hole 224 penetrates to the side. The lower plate 230 is mounted to the lower portion of the chamber plate 210 formed as described above, and the plurality of rotational flow forming disks 240 are mounted to the upper portion of the chamber plate 210.

하부플레이트(230)는 환형의 링 형상을 가진다. 이러한 하부플레이트(230)는 본체부(212)의 하부면 상에서 각각의 에어안내부(218)를 폐쇄할 수 있도록 본체부(212)에 나사 결합되는데, 각각의 하부플레이트(230)의 내주면 상에는 압축에어를 공급하는 통상의 에어공급용피팅(232)이 각각 장착된다. The lower plate 230 has an annular ring shape. The lower plate 230 is screwed to the main body 212 to close each air guide 218 on the lower surface of the main body 212, the compression on the inner peripheral surface of each lower plate 230 Normal air supply fittings 232 for supplying air are respectively mounted.

도 6은 도 4에 도시된 회전류형성디스크의 저면을 보인 도면이다. FIG. 6 is a view illustrating a bottom surface of the rotational flow forming disk shown in FIG. 4.

도시된 바와 같이, 회전류형성디스크(240)는 원판 형상을 가지면서 각각의 안착부(214)에 하부가 고정된다. 이러한 회전류형성디스크(240)의 하부면과 교차하는 외주면은 부드러운 곡선으로 연결되고, 회전류형성디스크(240)의 하부면 상에는 각각의 제 3 에어 안내공(224)에서 분출된 압축에어를 안내하면서 회전류가 형성되게 하는 하나 이상의 회전류형성홈(242)이 형성되는데, 이러한 회전류형성홈(242)은 회전류형성디스크(240)의 바닥면 상에서 외주면까지 연장됨과 아울러 일측으로 만곡된 곡률로 제공된다. As shown, the rotary flow-forming disk 240 has a disk shape, the lower portion is fixed to each seating portion (214). The outer circumferential surface intersecting with the lower surface of the rotational flow forming disk 240 is connected in a smooth curve, and guides the compressed air ejected from the respective third air guide holes 224 on the lower surface of the rotating flow forming disk 240. One or more rotational flow forming grooves 242 are formed to allow the rotational flow to be formed, and the rotational flow forming grooves 242 extend from the bottom surface of the rotational flow forming disk 240 to the outer circumferential surface and are curved to one side. Is provided.

하기에는 전술한 바와 같이 형성된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 비접촉 흡착 플레이트(100)의 작용상태를 간략하게 설명한다. Hereinafter, the operation state of the non-contact adsorption plate 100 according to the first embodiment of the present invention formed as described above will be briefly described.

먼저, 상류장비에서 피운반체를 전달하기 위해서 신호를 보내면 본 발명에 따른 비접촉 흡착 플레이트(100)는 작동을 시작한다. 이렇게 비접촉 흡착 플레이트(100)가 작동을 시작하면, 고압의 압축에어(compressed air)가 각각의 에어공급용피팅(132)을 통해 공급되고, 에어공급용피팅(132)을 통해 공급된 압축에어는 하부플레이트(130)를 지나 챔버플레이트(110)의 본체부(112)에 형성된 에어안내부(116) 측으로 안내된다. First, the non-contact adsorption plate 100 according to the present invention starts to send a signal in order to deliver the carried object in the upstream equipment. When the non-contact adsorption plate 100 starts to operate, high pressure compressed air is supplied through the respective air supply fittings 132, and the compressed air supplied through the air supply fittings 132 is The lower plate 130 is guided toward the air guide part 116 formed in the main body 112 of the chamber plate 110.

각각의 에어안내부(116) 측으로 안내된 압축에어는 다시 제 1 에어안내공(120), 제 2 에어안내공(122)을 거쳐 제 3 에어 안내공(124)을 통해 안착부(114) 측으로 분출된다. Compressed air guided to each air guide portion 116 side through the first air guide hole 120, the second air guide hole 122 to the seating portion 114 side through the third air guide hole 124 Squirt.

전술한 바와 같이, 압축에어가 각각의 제 3 에어안내공(124)을 통해 분출되면, 분출된 압축에어는 회전류형성디스크(140)의 하부에 형성된 회전류형성홈(142) 측으로 전달되는데, 이렇게 회전류형성홈(142)을 지나는 분출에어는 강하게 회전하게 된다. 이때, 각각의 회전류형성홈(142)을 지나는 회전류들은 회전류안내돌기(116)의 외주면을 따라 회전함과 아울러 서로 합류하여 더욱 강한 회전류 형성한다. As described above, when the compressed air is ejected through the respective third air guide hole 124, the ejected compressed air is delivered to the rotational flow forming groove 142 formed at the lower portion of the rotary flow forming disk 140, The jet air passing through the rotational flow forming groove 142 is strongly rotated. At this time, the rotary flows passing through the respective rotary flow forming grooves 142 rotate along the outer circumferential surface of the rotary flow guide protrusion 116 and join each other to form a stronger rotary flow.

이렇게 형성된 회전류는 회전류안내돌기(116)를 따라 챔버플레이트(110)의 상부로 안내되어 피운반체를 부상시키면서 피운반체의 면을 따라 흐르게 되는데, 이때, 피운반체와 흡착플레이트(100) 사이에는 부압이 형성되고, 이로 인해 흡착 플레이트(100)는 피운반체를 부상과 함께 흡착이 동시에 이루어져 운반 중에 피운반체가 흡착플레이트(100)에 떨어지거나, 또는 운반 중에 피운반체가 흡착플레이트(100)에 달라붙는 것을 방지한다. The rotational flow thus formed is guided to the upper portion of the chamber plate 110 along the rotational flow guide protrusion 116 and flows along the surface of the transported body while floating the transported body, wherein, between the transported body and the adsorption plate 100, A negative pressure is formed, which causes the adsorption plate 100 to simultaneously adsorb and carry the adsorbed body, so that the transported body falls on the adsorption plate 100 during transport, or the transported body differs from the adsorption plate 100 during transport. Prevent sticking.

이러한 비접촉 흡착 플레이트(100)는 피운반체의 조건에 따라 적절하게 공급에어의 압력과 유량을 제어하고 부상 높이를 조절하여 다양한 조건의 피운반체에 유연하게 대응할 수 있다. 따라서 본 발명에 따른 비접촉 흡착 플레이트(100)는 통상적인 엘시디(LCD) 패널 반송장치, 피디피(PDP)반송장치, 에어 베어링, 에어척, 반도체 웨이퍼 반송 등 다양한 산업분야에 광범위하게 사용될 수 있다. The non-contact adsorption plate 100 can flexibly respond to the carrier of various conditions by controlling the pressure and flow rate of the supply air appropriately according to the conditions of the carrier, and adjusting the height of the float. Therefore, the non-contact adsorption plate 100 according to the present invention can be widely used in various industrial fields such as conventional LCD panel conveying apparatus, PDDP conveying apparatus, air bearing, air chuck, semiconductor wafer conveying.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉 흡착 플레이트(100)는 강한 회전류가 발생되도록 회전류형성디스크(140)를 구비함으로써, 피운반체에 대한 부하를 최소하면서 피운반체를 비접촉 상태로 안전하게 반송할 수 있는 잇점이 있다. As described above, the non-contact adsorption plate 100 according to the present invention is provided with a rotary flow-forming disk 140 to generate a strong rotational flow, thereby minimizing the load on the carrier to safely transport the carrier in a non-contact state There is an advantage to this.

또한, 회전류형성디스크(140)의 구조가 단순하여 비접촉 흡착 플레이트(100)의 생산단가를 절감할 수 있을 뿐만 아니라 에어의 압력과 유량을 적절하게 제어하여 다양한 조건의 피운반체를 반송할 수 있어 다양한 산업분야에서 이용이 가능한 잇점이 있다. In addition, since the structure of the rotary flow forming disk 140 is simple, not only can reduce the production cost of the non-contact adsorption plate 100, but also it can convey the carrier body under various conditions by appropriately controlling the pressure and flow rate of air. There are advantages that can be used in various industries.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해 할 수 있을 것이다. Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims. You will understand.

Claims (8)

수평하게 연장되면서 소정이 두께를 가지는 판 형상의 본체부와, 상기 본체부의 상부면 상에 다수의 행과 다수의 열을 가지면서 상기 본체부의 상부면 상에서부터 상기 본체부의 하부면 측으로 침강되게 형성됨과 아울러 중앙에는 원판형상의 회전류안내돌기가 형성된 다수의 안착부와, 상기 본체부의 하부면 상에서 각각의 상기 안착부 측으로 압축에어를 안내 분출할 수 있도록 상기 본체부의 하부면 상에서 상기 본체부의 상부면 측으로 연장되는 제 1 에어안내공과, 상기 제 1 에어안내공의 상부면에 방사상으로 배치되면서 상기 본체부의 상부면에 인접하게 연장되는 하나 이상의 제 2 에어안내공과, 각각의 상기 제 2 에어안내공의 연장부에서부터 상기 안착부에 형성된 상기 회전류안내돌기의 외주면 외측으로 관통되는 하나 이상의 제 3 에어안내공을 구비하는 에어안내부를 가지는 챔버플레이트;A plate-shaped body portion having a predetermined thickness and extending horizontally, and having a plurality of rows and a plurality of columns on the upper surface of the body portion, and being settled from the upper surface of the body portion to the lower surface side of the body portion; In addition, a plurality of seating portions having a disk-shaped rotational flow guide protrusion formed at the center thereof and from the lower surface of the body portion to the upper surface side of the body portion so as to guide and eject compressed air to the seating portions on the lower surface of the body portion. An extended first air guide hole, at least one second air guide hole radially disposed on an upper surface of the first air guide hole, and extending adjacent to an upper surface of the main body, and an extension of each of the second air guide holes At least one third air guide penetrating from an outer portion to an outer circumferential surface of the rotary flow guide protrusion formed at the seating portion; A chamber plate having an air guide having a ball; 각각의 상기 에어안내부의 하부를 한정하면서 압축에어를 공급하는 통상의 에어공급용피팅이 장착되는 하부플레이트; 및A lower plate to which a normal air supply fitting for supplying compressed air is provided while defining a lower portion of each air guide portion; And 각각의 상기 안착부 내에 장착되면서 상기 에어안내부를 따라 안내된 분출에어에 회전력이 발생되게하는 회전류형성디스크로 이루어지며,It is made of a rotary flow-forming disk mounted in each of the seating portion to generate a rotational force to the jet air guided along the air guide, 상기 회전류형성디스크는 환형의 형상을 가지면서 내경은 상기 회전류안내돌기의 외경보다 큰 직경을 가지며, 상기 회전류형성디스크의 하부면 상에는 각각의 상기 제 3 에어안내공에서 분출된 압축에어를 안내하면서 회전류가 형성되게 하는 하나 이상의 회전류형성홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 흡착 플레이트.The rotational flow forming disk has an annular shape and an inner diameter is larger than an outer diameter of the rotating flow guide protrusion, and compressed air ejected from each of the third air guide holes is formed on the lower surface of the rotating flow forming disk. Non-contact adsorption plate, characterized in that at least one rotational flow forming groove is formed to guide the rotational flow is formed. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 회전류형성홈은 상기 회전류형성디스크의 바닥면 상에서 내주면까지 연장됨과 아울러 일측으로 만곡된 곡률로 제공되는 것을 특징으로 하는 비접촉 흡착 플레이트.The non-contact adsorption plate according to claim 1, wherein the rotational flow forming groove extends from the bottom surface of the rotational flow forming disk to an inner circumferential surface and is provided with a curved curvature on one side. 제 1 항에 있어서, 상기 회전류안내돌기는 상기 안착부의 깊이보다 낮은 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 비접촉 흡착 플레이트.The non-contact adsorption plate of claim 1, wherein the rotary flow guide protrusion has a height lower than a depth of the seating portion. 제 1 항에 있어서, 어느 하나의 상기 안착부와 이웃한 또 다른 상기 안착부 사이에는 다수의 에어 분출공이 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 흡착 플레이트.The non-contact adsorption plate of claim 1, wherein a plurality of air blowing holes may be formed between any one of the seating parts and another seating part adjacent to the seating part. 수평하게 연장되면서 소정이 두께를 가지는 판 형상의 본체부와, 상기 본체부의 상부면 상에 다수의 행과 다수의 열을 가지면서 상기 본체부의 상부면 상에서부터 상기 본체부의 하부면 측으로 침강되게 형성됨과 아울러 바닥면과 교차하는 내측면은 부드러운 곡선으로 연결되는 다수의 안착부와, 상기 본체부의 하부면 상에서 각각의 상기 안착부 측으로 압축에어를 안내 분출할 수 있도록 상기 본체부의 하부면 상에서 상기 본체부의 상부면 측으로 연장되는 제 1 에어안내공과, 상기 제 1 에어안내공의 상부면에 방사상으로 배치되면서 상기 본체부의 상부면에 인접하게 연장되는 하나 이상의 제 2 에어안내공과, 각각의 상기 제 2 에어안내공의 연장부에서부터 상기 안착부 측으로 관통되는 하나 이상의 제 3 에어안내공을 구비하는 에어안내부를 가지는 챔버플레이트;A plate-shaped body portion having a predetermined thickness and extending horizontally, and having a plurality of rows and a plurality of columns on the upper surface of the body portion, and being settled from the upper surface of the body portion to the lower surface side of the body portion; In addition, the inner surface intersecting the bottom surface has a plurality of seating portions connected in a smooth curve, and the upper portion of the main body portion on the lower surface of the main body portion to guide the compressed air to each of the seating portion side on the lower surface of the main body portion A first air guide hole extending toward a surface, at least one second air guide hole radially disposed on an upper surface of the first air guide hole, and extending adjacent to an upper surface of the main body, and each of the second air guide holes An air guide having at least one third air guide hole penetrating from an extension of the to the seating side The chamber plate; 각각의 상기 에어안내부의 하부를 한정하면서 압축에어를 공급하는 통상의 에어공급용피팅이 장착되는 하부플레이트; 및A lower plate to which a normal air supply fitting for supplying compressed air is provided while defining a lower portion of each air guide portion; And 각각의 상기 안착부 내에 장착되면서 상기 에어안내부를 따라 안내된 분출에어에 회전력이 발생되게하는 회전류형성디스크로 이루어지며,It is made of a rotary flow-forming disk mounted in each of the seating portion to generate a rotational force to the jet air guided along the air guide, 상기 회전류형성디스크는 원판 형상을 가지면서 하부면과 교차하는 외주면은 부드러운 곡선으로 연결됨과 하부면 상에는 각각의 상기 제 3 에어안내공에서 분출된 압축에어를 안내하면서 회전류가 형성되게 하는 하나 이상의 회전류형성홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 흡착 플레이트.The rotary flow-forming disk has a disk shape and the outer circumferential surface intersecting the lower surface is connected in a smooth curve, and at least one rotary flow is formed on the lower surface while guiding compressed air ejected from the respective third air guide holes. Non-contact adsorption plate, characterized in that the rotational flow forming groove is formed. 삭제delete 제 6 항에 있어서, 상기 회전류형성홈은 상기 회전류형성디스크의 바닥면 상에서 외주면까지 연장됨과 아울러 일측으로 만곡된 곡률로 제공되는 것을 특징으로 하는 비접촉 흡착 플레이트.The non-contact adsorption plate of claim 6, wherein the rotational flow forming groove extends from the bottom surface of the rotational flow forming disk to an outer circumferential surface and is provided with a curved curvature to one side.
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