KR20060009170A - Carrier device for display panel - Google Patents

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KR20060009170A
KR20060009170A KR1020040056663A KR20040056663A KR20060009170A KR 20060009170 A KR20060009170 A KR 20060009170A KR 1020040056663 A KR1020040056663 A KR 1020040056663A KR 20040056663 A KR20040056663 A KR 20040056663A KR 20060009170 A KR20060009170 A KR 20060009170A
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Abstract

미소유량제어가 가능할 뿐만 아니라 에어(air) 압력변동이나 떨림에 대응이 가능하기 때문에 오르내림과 같은 흔들림을 현저하게 줄일 수 있어 디스플레이 패널을 안전하고 정밀하게 반송할 수 있는 디스플레이 패널용 반송장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 반송장치는 다수의 지지대와, 수평한 사각관 형상을 가지면 지지대에 안치되는 에어공급관을 갖는 에어공급부; 수평한 판 형상을 가지며 하부가 에어공급관의 상부에 밀착되게 장착되는 안내플레이트와, 안내플레이트의 상부에서 안내플레이트의 내측으로 침강되게 형성됨과 아울러 에어공급관 측으로 안내된 에어를 공급받아 안내하는 다수의 안착홈을 갖는 에어안내부; 및 각각의 안착홈에 안착되어 에어가 안내됨과 아울러 내부에는 부상체가 배치되는 에어디스크와, 에어디스크의 상부에 배치되고 안내되 에어를 배출할 수 있도록 다수의 미세배출공이 형성된 배출판과, 에어디스크 및 배출판을 각각의 안착홈에 한정하는 장착캡을 갖는 에어배출부를 구비한다. In addition to micro flow control, it is possible to cope with air pressure fluctuations and tremors, which can significantly reduce shaking, such as up and down, thereby providing a display panel conveying apparatus that can safely and precisely convey display panels. have. According to an aspect of the present invention, a conveying apparatus includes: an air supply unit having a plurality of supports and an air supply pipe disposed in the support when the horizontal rectangular tube shape is provided; The guide plate has a horizontal plate shape and the lower part is mounted to be in close contact with the upper part of the air supply pipe, and is formed to settle to the inside of the guide plate at the upper part of the guide plate, and a plurality of seats to receive and guide the air guided to the air supply pipe side. An air guide having a groove; And an air disk seated in each seating groove and guided therein, and an air disk having a floating body disposed therein, a discharge plate having a plurality of fine discharge holes formed thereon for discharging the air, which is disposed on the upper part of the air disk, and the air disk. And an air discharge portion having a mounting cap defining a discharge plate to each seating groove.

Description

디스플레이 패널용 반송장치{Carrier device for display panel} Carrier device for display panel

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널용 반송장치의 나타낸 분해사시도이고,1 is an exploded perspective view showing a conveying apparatus for a display panel according to the present invention,

도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널용 반송장치의 결합상태를 나타낸 사시도이며,FIG. 2 is a perspective view illustrating a coupling state of the display device transport apparatus shown in FIG. 1;

도 3은 도 2의 선 A-A를 따라서 도시된 단면도이고,3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 2,

도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 부상체의 다른 실시예를 보인도면이며, 그리고4 and 5 are views showing another embodiment of the floating body shown in Figure 3, and

도 6 및 7은 본 발명에 따른 디스플레이 패널용 반송장치의 작동상태를 보인 도면이다. 6 and 7 is a view showing an operating state of the display panel transport apparatus according to the present invention.

<도면의주요부분에대한부호의설명>Explanation of symbols on the main parts of the drawing

100 : 디스플레이 패널용 반송장치110 : 에어공급부100: conveying device for display panel 110: air supply unit

112 : 지지대114 : 안치홈112: support 114: settling groove

116 : 에어공급관118 : 수평에어공급관116: air supply pipe 118: horizontal air supply pipe

120 : 수직에어공급관130 : 에어안내부120: vertical air supply pipe 130: air guide

132 : 안내플레이트134 : 안착홈132: guide plate 134: seating groove

136 : 장착공150 : 에어배출부136: mounting hole 150: air outlet

152 : 에어디스크154 : 제 1 끼움돌기152: Air disk 154: the first fitting protrusion

156 : 제 2 끼움돌기158 : 확산홈156: second fitting protrusion 158: diffusion groove

160 : 에어안내공162 : 부상체160: air guide 162: floating body

166 : 베출판167 : 미세배출공166: exit plate 167: fine discharge hole

168 : 장착캡170 : 삽입홈168: mounting cap 170: insertion groove

172 : 배출공D : 디스플레이 패널172: Drain hole D: Display panel

본 발명은 디스플레이 패널용 반송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 미소유량제어가 가능할 뿐만 아니라 에어(air) 압력변동이나 떨림에 대응이 가능하기 때문에 오르내림과 같은 흔들림을 현저하게 줄일 수 있어 디스플레이 패널을 안전하고 정밀하게 반송할 수 있는 디스플레이 패널용 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying apparatus for a display panel, and more particularly, it is possible not only to control the flow rate, but also to cope with air pressure fluctuations and shaking, which can significantly reduce shaking such as up and down, thereby reducing the display panel. The present invention relates to a display device for conveying device that can be conveyed safely and precisely.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel)의 패턴결합이나 이물질 등을 검사하는 장비이다. 이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔(scan) 단계와 검출된 불량 이미지를 처리하고 분류하는 이미지처리단계로 나눈다. In general, in-line FPD automatic optical inspection is a device for inspecting a pattern combination or a foreign matter of a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, a color filter, and the like. The inline inspection equipment is divided into a scan step for detecting a defect and an image processing step for processing and classifying the detected bad image.

그런데, 종래의 인라인 검사장비는 디스플레이 패널이 작업 시작부터 끝까지 롤러(roller) 위에서 굴러가면서 검사를 진행하므로, 스캔(scan) 도중 디스플레이 패널의 진행방향이 비뚤어지거나 어긋나고, 롤러(roller)와 디스플레이 패널 간에 미끄러짐(slip)이 발생하여 스크래치 및 얼룩으로 인한 검사 결과의 정확도가 떨어지는 문제점이 있었다. However, in the conventional inline inspection equipment, since the display panel rolls on the roller from the start to the end of the operation, the inspection proceeds, so that the direction of the display panel is skewed or shifted during the scan, and the roller and the display panel are separated. There was a problem in that the slip (slip) occurs and the accuracy of the inspection results due to scratches and stains are inferior.

이러한 문제점을 해결하기 위해서 소정의 플레이트(plate)에 미세한 홀을 가공한 후 에어를 주입하여 디스플레이 패널을 부상 반송하는 반송장치들이 개발되어 왔으나, 이러한 반송장치들은 홀 가공 및 정밀한 유량제어가 어려워 원활한 반송이 이루어지지 못하는 문제점이 있었다. In order to solve this problem, transfer devices have been developed for processing a small hole in a predetermined plate and injecting air to float the display panel. However, these transfer devices are difficult to carry out hole processing and precise flow rate control, and thus smooth transportation. There was a problem that could not be achieved.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 미소유량제어가 가능할 뿐만 아니라 에어(air) 압력변동이나 떨림에 대응이 가능하기 때문에 오르내림과 같은 흔들림을 현저하게 줄일 수 있어 디스플레이 패널을 안전하고 정밀하게 반송할 수 있는 디스플레이 패널용 반송장치를 제공하는데 있다. The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and the object of the present invention is not only possible to control the micro flow rate, but also to respond to air pressure fluctuations or tremors, so that shaking such as up and down is remarkably performed. The present invention provides a conveying apparatus for a display panel which can be reduced, which can safely and precisely convey the display panel.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,In order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention,

디스플레이 패널용 반송장치에 있어서;A conveying apparatus for display panel;

반송장치는,The conveying device is

다수의 지지대와, 수평한 사각관 형상을 가지면 지지대에 안치되는 에어공급관을 갖는 에어공급부;An air supply unit having a plurality of supports and an air supply pipe placed in the support when the horizontal rectangular tube has a shape;

수평한 판 형상을 가지며 하부가 에어공급관의 상부에 밀착되게 장착되는 안내플레이트와, 안내플레이트의 상부에서 안내플레이트의 내측으로 침강되게 형성됨과 아울러 에어공급관 측으로 안내된 에어를 공급받아 안내하는 다수의 안착홈을 갖는 에어안내부; 및 The guide plate has a horizontal plate shape and the lower part is mounted to be in close contact with the upper part of the air supply pipe, and is formed to settle to the inside of the guide plate at the upper part of the guide plate, and a plurality of seats to receive and guide the air guided to the air supply pipe side. An air guide having a groove; And

각각의 안착홈에 안착되어 에어가 안내됨과 아울러 내부에는 부상체가 배치되는 에어디스크와, 에어디스크의 상부에 배치되고 안내되 에어를 배출할 수 있도록 다수의 미세배출공이 형성된 배출판과, 에어디스크 및 배출판을 각각의 안착홈에 한정하는 장착캡을 갖는 에어배출부를 구비하는 디스플레이 패널용 반송장치를 제공한다.The air disk is seated in each seating groove and guided therein, and an air disk having a floating body disposed therein, a discharge plate having a plurality of fine discharge holes formed thereon for discharging the air disposed on the upper portion of the air disk, and the air disk and Provided is a conveying apparatus for a display panel having an air discharge portion having a mounting cap defining a discharge plate to each seating groove.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 미소유량제어가 가능할 뿐만 아니라 에어(air) 압력변동이나 떨림에 대응이 가능하기 때문에 오르내림과 같은 흔들림을 현저하게 줄일 수 있어 디스플레이 패널을 안전하고 정밀하게 반송할 수 있다.As described above, according to the present invention, not only the micro flow rate control is possible, but also the air pressure fluctuations and vibrations can be handled, which can significantly reduce shaking such as up and down, thereby conveying the display panel safely and precisely. can do.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 반송장치에 대해 설명한다.Hereinafter, a conveying apparatus for a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널용 반송장치의 나타낸 분해사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널용 반송장치의 결합상태를 나타낸 사시도이며 그리고 도 3은 도 2의 선 A-A를 따라서 도시된 단면도이다.1 is an exploded perspective view showing a display panel conveying apparatus according to the present invention, Figure 2 is a perspective view showing a coupling state of the display panel conveying apparatus shown in Figure 1 and Figure 3 is shown along the line AA of FIG. Section.

도 1 및 3을 참조하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널용 반송장치(100)는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩섹션(unloading section)으로 이루어진 통상의 인라인 검사장비에 장착되어 디스플레이 패널(D)을 각각의 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩섹션(unloading section)으로 안내한다. 1 and 3, the display panel conveying apparatus 100 according to the present invention is a conventional in-line inspection equipment consisting of a scan section (scan section), review section (review section) and unloading section (unloading section) It is mounted to guide the display panel D to each scan section, review section and unloading section.

이러한 디스플레이 패널용 반송장치(100)는 스캔섹션(scan section) 및 리뷰섹션(review section) 사이 또는 리뷰섹션(review section) 및 언로딩섹션(unloading section) 사이에 배치되는 에어공급부(110)와, 에어공급부(110)의 상부에 배치되는 에어안내부(130)와, 에어안내부(130)에 결합되는 다수의 에어배출부(150)를 구비한다.The display apparatus transport apparatus 100 includes an air supply unit 110 disposed between a scan section and a review section or between a review section and an unloading section; It is provided with an air guide portion 130 disposed on the upper portion of the air supply unit 110, a plurality of air discharge unit 150 coupled to the air guide portion 130.

먼저, 에어공급부(110)는 다수의 지지대(112) 및 지지대(112)의 상부에 배치되는 에어공급관(116)을 구비한다. 지지대(112)는 소정의 간격을 가지면서 서로 이격되게 스캔섹션(scan section) 및 리뷰섹션(review section) 사이, 또는 리뷰섹션(review section) 및 언로딩섹션(unloading section) 사이에 수직하게 고정 배치된다. 이러한 지지대(112)의 상부면 중앙부분에는 에어공급관(116)이 안치될 수 있도록 사각형상의 안치홈(114)이 각각 형성된다. 에어공급관(116)은 수평한 사각관 형상을 가진다. 이러한 에어공급관(116)에는 에어공급관(116)의 일단에서부터 타단까지 수평하게 관통되는 수평에어공급공(118)이 형성되고, 에어공급관(116)의 상부면 상에는 소정의 간격을 가지면 이격되는 다수의 수직에어공급공(120)이 형성된다. 이때, 각각의 수직에어공급공(120)은 에어공급관(116)의 상부면 상에서 수직하게 에어공급관(116) 내부로 연장되어 수평에어공급공(118)과 연통하며, 수평에어공급공(118)의 양단에는 에어(air)를 공급받을 수 있도록 통상의 컴프레서(도시되지 않음)와 연결된다. 이와 같이 형성된 에어공급관(116)의 상부에는 에어안내부(130)가 배치된다.First, the air supply unit 110 includes a plurality of supports 112 and an air supply pipe 116 disposed on the support 112. The support 112 is fixedly disposed vertically between the scan section and the review section at a predetermined interval, or between the review section and the unloading section. do. In the central portion of the upper surface of the support 112, a rectangular set groove 114 is formed so that the air supply pipe 116 can be placed, respectively. The air supply pipe 116 has a horizontal rectangular tube shape. The air supply pipe 116 is formed with a horizontal air supply hole 118 that is horizontally penetrated from one end to the other end of the air supply pipe 116, a plurality of spaced apart on the upper surface of the air supply pipe 116 at a predetermined interval The vertical air supply hole 120 is formed. At this time, each vertical air supply hole 120 extends into the air supply pipe 116 vertically on the upper surface of the air supply pipe 116 to communicate with the horizontal air supply hole 118, the horizontal air supply hole 118 Both ends of the is connected to a conventional compressor (not shown) to be supplied with air (air). The air guide 130 is disposed above the air supply pipe 116 formed as described above.

에어안내부(130)는 안내플레이트(132)와, 안내플레이트(132)에 소정의 간격을 가지면 이격되게 형성되는 다수의 안착홈(134)을 구비한다. 안내플레이트(132)는 수평한 판 형상을 가진다. 이러한 안내플레이트(132)의 하부면은 에어공급관(116)의 상부면 상에 밀착되게 장착된다. 한편, 다수의 안착홈(134)은 안내플레이트(132)의 상부에서 안내플레이트(132)의 내측으로 침강되게 형성된다. 이러한 각각의 안착홈(134)의 하부에는 각각의 수직에어공급공(120)과 연통함과 아울러 수직에어공급공(120) 보다 큰 직경을 가지는 장착공(136)이 형성되고, 마찬가지로 각각의 안착홈(134)의 하부에는 장착공(136)의 방사상 외측으로는 다수의 제 1 결합공(138)이 형성된다. 이때, 제 1 결합공(138)의 내주면 상에는 암나사(140)가 형성된다. 이와 같이 형성된 에어안내부(130)의 각각의 안착홈(134)에는 에어배출부(150)가 결합된다. The air guide unit 130 includes a guide plate 132 and a plurality of seating grooves 134 formed spaced apart from the guide plate 132 at a predetermined interval. The guide plate 132 has a horizontal plate shape. The lower surface of the guide plate 132 is mounted in close contact with the upper surface of the air supply pipe 116. On the other hand, the plurality of seating grooves 134 is formed to settle to the inside of the guide plate 132 in the upper portion of the guide plate 132. A lower portion of each of the seating recesses 134 communicates with each of the vertical air supply holes 120 and has a mounting hole 136 having a diameter larger than that of the vertical air supply holes 120. A plurality of first coupling holes 138 are formed below the groove 134 in the radially outer side of the mounting hole 136. At this time, the female screw 140 is formed on the inner peripheral surface of the first coupling hole (138). Each of the seating grooves 134 of the air guide unit 130 formed as described above is coupled to the air discharge unit 150.

에어배출부(150)는 각각의 안착홈(134)에 안착되는 에어디스크(152)와, 에어디스크(152)의 상부에 배치되는 배출판(166)과, 에어디스크(152) 및 배출판(166)을 안착홈(134)에 한정하는 장착캡(168)을 구비한다. 에어디스크(152)는 각각의 안착홈(134)에 형성된 제 1 결합공(138)에 간섭되지 않는 소정의 두께를 가지는 원판형상을 가진다. 이러한 에어디스크(152)의 하부에는 장착공(136)에 끼워지는 제 1 끼움돌기(154)와, 제 1 끼움돌기(154)에서 연장되어 수직에어공급공(120)에 끼워지는 제 2 끼움돌기(156)가 일체로 형성되고, 상부에는 소정의 직경을 가지면서 에어디스크(152)의 내측으로 연장되는 확산홈(158)이 형성된다. 이때, 제 2 끼움돌기(156)의 하부에는 각각의 수직에어공급공(120)과 연통하면서 공급되는 에어(air)를 확산홈(158)까지 안내할 수 있도록 수직한 에어안내공(160)이 형성된다. 한편, 확산홈(158)은 방사상 하측으로 좁아지게 형성된다. 이러한 확산홈(158)에는 공급되는 에어(air)에 의해서 부상하면서 에어(air)를 확산시킴과 아울러 에어(air) 공급이 차단되면 에어안내공(160)을 폐쇄하는 부상체(162)가 배치된다. 바람직하게는 부상체(162)는 볼 형상 또는 방사상 하측으로 좁아지는 원추 형상 중 어느 하나로 제작된다(도 4 참조). 이때, 볼 형상의 부상체는 4~10㎜의 직경을 가진다. 더욱 바람직하게는 부상체(162)는 에어안내공(160)의 직경보다 큰 박막의 필름형상으로 제작될 수 있다(도 5 참조). 또한, 제 2 끼움돌기(156)의 원주면 상에는 안내되는 에어(air)의 누출을 방지할 수 있도록 오링(164)이 끼워진다. 배출판(166)은 다수의 미세배출공(167)이 형성된 원판형상을 가진다. 이러한 배출판(166)은 에어디스크(152)의 상부에 안착되어 확산홈(158) 내의 부상체(162)를 한정하면서 확산홈(158)을 따라서 안내되는 에어(air)를 배출한다. 바람직하게는 미세배출공(167)은 3~12㎛의 직경을 가진다. 한편, 장착캡(168)은 배출판(166)이 안착된 에어디스크(152)가 삽입된 상태에서 안착홈(158)에 결합될 수 있도록 소정의 두께를 가지는 원판형상을 가진다. 이러한 장착캡(168)의 하부에는 배출판(166) 및 에어디스크(152)가 삽입되는 삽입홈(170)이 장착캡(168)의 내측으로 형성되고, 장착캡(168)의 상부에는 삽입홈(170)의 직경보다 작은 직경을 가지면서 삽입홈(170)에 삽입된 배출판(166)이 노출되게 하는 배출공(172)이 일체로 형성된다. 이때, 장착캡(168)의 상부에 형성된 배출공(172)의 방사상 외측으로는 다수의 제 1 결합공(138)과 연통하는 다수의 제 2 결합공(174)이 형성되고, 제 2 결합공(174) 및 제 1 결합공(138)에는 다수의 결합볼트(176)가 체결된다. The air discharge part 150 includes an air disc 152 seated in each seating groove 134, a discharge plate 166 disposed on the air disc 152, an air disc 152, and an discharge plate ( 166 is provided with a mounting cap 168 for confining the seating groove 134. The air disk 152 has a disk shape having a predetermined thickness that does not interfere with the first coupling hole 138 formed in each seating groove 134. The first fitting protrusion 154 inserted into the mounting hole 136 and the second fitting protrusion extending from the first fitting protrusion 154 and fitted into the vertical air supply hole 120 are disposed below the air disk 152. 156 is integrally formed, and a diffusion groove 158 extending inwardly of the air disk 152 is formed at an upper portion thereof. In this case, a vertical air guide hole 160 is provided at the lower portion of the second fitting protrusion 156 to guide the air supplied to the diffusion groove 158 while communicating with each vertical air supply hole 120. Is formed. On the other hand, the diffusion groove 158 is formed to be narrow in the radially lower side. In the diffusion groove 158, a floating body 162 is provided to diffuse air while floating by the supplied air, and to close the air guide hole 160 when the air supply is blocked. do. Preferably, the floating body 162 is made of either a ball shape or a cone shape narrowing radially downward (see FIG. 4). At this time, the ball-shaped floating body has a diameter of 4 ~ 10mm. More preferably, the floating body 162 may be manufactured in the form of a thin film larger than the diameter of the air guide hole 160 (see FIG. 5). In addition, an o-ring 164 is fitted on the circumferential surface of the second fitting protrusion 156 to prevent leakage of guided air. The discharge plate 166 has a disc shape in which a plurality of fine discharge holes 167 are formed. The discharge plate 166 is seated on an upper portion of the air disk 152 to discharge air guided along the diffusion groove 158 while defining the floating body 162 in the diffusion groove 158. Preferably, the fine discharge hole 167 has a diameter of 3 ~ 12㎛. On the other hand, the mounting cap 168 has a disc shape having a predetermined thickness so that it can be coupled to the seating groove 158 in the state in which the air disk 152 on which the discharge plate 166 is seated. An insertion groove 170 into which the discharge plate 166 and the air disk 152 are inserted is formed at an inner side of the mounting cap 168 at the lower portion of the mounting cap 168, and an insertion groove is formed at the upper portion of the mounting cap 168. The discharge hole 172 is formed integrally to expose the discharge plate 166 inserted into the insertion groove 170 while having a diameter smaller than the diameter of the 170. At this time, a plurality of second coupling holes 174 communicating with the plurality of first coupling holes 138 are formed on the radially outer side of the discharge hole 172 formed on the mounting cap 168, and the second coupling hole is formed. A plurality of coupling bolts 176 are fastened to 174 and the first coupling hole 138.

하기에는 전술한 바와 같이 형성된 디스플레이 패널용 반송장치(100)의 작동상태를 간략하게 설명한다. Hereinafter, the operating state of the display panel transport apparatus 100 formed as described above will be briefly described.

먼저, 상류장비에서 인라인 검사장비 측으로 디스플레이 패널(D)을 전달하기 위해서 신호를 보내면 인라인 검사장비에 장착된 본 발명에 따른 반송장치(100)는 작동을 시작한다. 이때, 에어공급관(116)의 수평에어공급공(118)의 양단 측으로는 에어(air)가 공급되고, 수평에어공급공(118) 측으로 투입된 에어(air)는 다시 각각의 수직에어공급공(120)을 따라 안내된다. First, when a signal is sent from the upstream equipment to the inline inspection equipment to transmit the display panel D, the transport apparatus 100 according to the present invention mounted on the inline inspection equipment starts to operate. At this time, air is supplied to both ends of the horizontal air supply hole 118 of the air supply pipe 116, and the air introduced into the horizontal air supply hole 118 is again supplied to each vertical air supply hole 120. Are guided along.

수직에어공급공(120) 측으로 안내된 에어(air)는 에어디스크(152)의 에어안내공(160)을 따라서 확산홈(158) 측으로 안내된다. 이때, 확산홈(158) 내에 배치된 부상체(162)는 안내되는 에어(air)에 의해서 부상하게 된다. 그 결과, 에어안내공(160) 측으로 안내된 에어(air)는 부상체(162)를 부상시키면서 확산홈(158) 전체로 확산되고, 확산된 에어(air)는 다시 배출판(166)을 통하여 배출되면서 투입되는 디스플레이 패널(D)을 부상 반송시킨다. 즉, 부상체(162)는 에어안내공(160) 측으로 안내되는 에어(air)를 확산홈(158) 전체로 확산시켜 확산홈(158) 전반에 걸쳐 일정한 에어(air) 유량이 배출될 수 있게 한다. The air guided to the vertical air supply hole 120 is guided to the diffusion groove 158 along the air guide hole 160 of the air disc 152. At this time, the floating body 162 disposed in the diffusion groove 158 is floated by the guided air (air). As a result, the air guided to the air guide hole 160 is diffused to the entire diffusion groove 158 while injuring the floating body 162, and the diffused air is again passed through the discharge plate 166. It floats and conveys the display panel D which is injected while being discharged. That is, the floating body 162 diffuses the air (air) guided to the air guide hole 160 to the entire diffusion groove 158 so that a constant air flow rate can be discharged throughout the diffusion groove 158 do.

한편, 장비의 고장되는 오작동에 의해서 에어공급관(116)에 에어(air) 공급이 중지되면, 부상체(162)는 하강하여 에어안내공(160)을 폐쇄하게 되고, 디스플레이 패널(D) 역시 장착캡(168)의 상부로 하강하게 된다. 이때, 하강하는 디스플레이 패널(D)과 에어디스크(152)의 확산홈(158) 사이에는 압력이 발생하게 되고, 발생된 압력에 의해서 디스플레이 패널(D)은 서서히 하강하게 된다. 그 결과 디스플레이 패널(D)의 파손 및 스크래치를 방지할 수 있다. On the other hand, if air supply to the air supply pipe 116 is stopped due to a malfunction of the equipment, the floating body 162 is lowered to close the air guide hole 160, and the display panel D is also mounted. It is lowered to the top of the cap 168. At this time, a pressure is generated between the descending display panel D and the diffusion groove 158 of the air disk 152, and the display panel D gradually descends by the generated pressure. As a result, breakage and scratch of the display panel D can be prevented.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 패널용 반송장치(100)는 에어공급관(116)을 구비하는 에어공급부(110)와, 에어공급관(116)의 상부에 장착되는 안내플레이트(132)와, 안내플레이트(132)에 형성된 에어공급관(116)의 에어(air)를 공급받아 안내하는 안착홈(134)을 구비하는 에어안내부(130) 및 안착홈(134)에 안착되면서 에어안내공(160)측으로 에어(air)를 공급받아 확산 배출하는 부상체(162)가 내장된 에어디스크(152)와, 에어디스크(152)의 상부에 배치되는 배출판(166) 및 에어디스크(152) 및 배출판(166)을 안착홈(134)에 한정하는 장착캡(168)을 구비하는 에어배출부(150)를 구비함으로써, 에어(air) 압력변동이나 떨림에 대응이 가능하여 디스플레이 패널(D)의 반송 중 디스플레이 패널(D)의 흔들림을 현저하게 줄여 디스플레이 패널(D)을 정밀하게 반송할 수 있는 잇점이 있다. As described above, the display panel transport apparatus 100 according to the present invention includes an air supply unit 110 having an air supply pipe 116, a guide plate 132 mounted on the air supply pipe 116, and The air guide hole 160 is seated in the air guide unit 130 and the seating groove 134 having a seating groove 134 for receiving and supplying air from the air supply pipe 116 formed in the guide plate 132. Air disk 152 with a floating body 162 is supplied to the air (diffraction) and diffused to the discharge side, discharge plate 166 and the air disk 152 and the ship disposed on the upper portion of the air disk 152 By providing an air discharge unit 150 having a mounting cap 168 for confining the publication 166 to the seating groove 134, it is possible to cope with air pressure fluctuations and vibrations, It is possible to accurately convey the display panel D by significantly reducing the shaking of the display panel D during the conveyance. There is a point.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.



Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims You will understand.



Claims (12)

디스플레이 패널용 반송장치에 있어서;A conveying apparatus for display panel; 상기 반송장치는,The conveying device, 다수의 지지대와, 수평한 사각관 형상을 가지면 상기 지지대에 안치되는 에어공급관을 갖는 에어공급부;An air supply unit having a plurality of supports and an air supply pipe disposed on the support if the horizontal rectangular tube has a shape; 수평한 판 형상을 가지며 하부가 상기 에어공급관의 상부에 밀착되게 장착되는 안내플레이트와, 상기 안내플레이트의 상부에서 상기 안내플레이트의 내측으로 침강되게 형성됨과 아울러 상기 에어공급관 측으로 안내된 에어를 공급받아 안내하는 다수의 안착홈을 갖는 에어안내부; 및 A guide plate having a horizontal plate shape and having a lower portion mounted in close contact with an upper portion of the air supply pipe, and formed to settle to the inside of the guide plate at an upper portion of the guide plate, and receive and guide air supplied to the air supply pipe side; An air guide having a plurality of seating grooves; And 각각의 상기 안착홈에 안착되어 에어가 안내됨과 아울러 내부에는 부상체가 배치되는 에어디스크와, 상기 에어디스크의 상부에 배치되고 안내되 에어를 배출할 수 있도록 다수의 미세배출공이 형성된 배출판과, 상기 에어디스크 및 상기 배출판을 각각의 상기 안착홈에 한정하는 장착캡을 갖는 에어배출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치.The air disk is seated in each of the seating groove and guided by the air inside the discharge disk, and the discharge plate formed with a plurality of fine discharge holes disposed in the upper portion of the air disk and guided to discharge the air, and And an air discharge portion having an air disc and a mounting cap defining the discharge plate to the seating grooves, respectively. 제 1 항에 있어서, 상기 에어공급부의 상부면 상에는 상기 에어공급관이 안치될 수 있도록 사각형상의 안치홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치.The conveying apparatus for a display panel according to claim 1, wherein a rectangular settling groove is formed on an upper surface of the air supply unit so that the air supply pipe can be settled. 제 1 항에 있어서, 상기 에어공급관에는 일단에서부터 타단까지 수평하게 관통되는 수평에어공급공이 형성되고, 상기 에어공급관의 상부면 상에는 상기 에어공급관의 내부로 연장되어 상기 수평에어공급공과 연통하는 다수의 수직에어공급공이 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치. The air supply pipe of claim 1, wherein a horizontal air supply hole is formed in the air supply pipe and is horizontally penetrated from one end to the other end, and a plurality of vertical air extends into the air supply pipe and communicates with the horizontal air supply hole on an upper surface of the air supply pipe. Carrying device for a display panel, characterized in that the air supply hole is formed. 제 1 항에 있어서, 각각의 상기 안착홈의 하부에는 각각의 상기 수직에어공급공과 연통함과 아울러 상기 수직에어공급공 보다 큰 직경을 가지는 장착공이 형성되고, 각각의 상기 안착홈의 하부에는 상기 장착공의 방사상 외측으로는 내주면 상에 암나사가 형성된 다수의 제 1 결합공이 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치. The mounting hole of claim 1, wherein a lower portion of each of the seating recesses communicates with each of the vertical air supply holes, and a mounting hole having a diameter larger than that of the vertical air supply holes is formed. And a plurality of first coupling holes having female threads formed on an inner circumferential surface of the outer surface of the ball. 제 4 항에 있어서, 상기 장착캡의 하부에는 상기 배출판 및 상기 에어디스크가 삽입되는 삽입홈이 상기 장착캡의 내측으로 형성되고, 상기 장착캡의 상부에는 상기 삽입홈의 직경보다 작은 직경을 가지면서 상기 삽입홈에 삽입된 상기 배출판이 노출되게 하는 배출공이 일체로 형성되며, 상기 배출공의 방사상 외측에는 상기 제 1 결합공과 연통하면서 다수의 결합볼트가 관통되는 다수의 제 2 결합공이 형성되고 상기 제 2 결합공을 관통한 상기 결합볼트는 상기 제 1 결합공에 체결되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치. According to claim 4, wherein the lower portion of the mounting cap is inserted into the discharge plate and the air disk is inserted into the inner side of the mounting cap, the upper portion of the mounting cap has a diameter smaller than the diameter of the insertion groove While the discharge hole is exposed to the discharge plate inserted into the insertion groove is integrally formed, a plurality of second coupling holes through which a plurality of coupling bolts are formed while communicating with the first coupling hole in the radially outer side of the discharge hole is formed The coupling bolt penetrating the second coupling hole is a display device for the display panel, characterized in that fastening to the first coupling hole. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 에어디스크의 하부에는 상기 장착공에 끼워지는 제 1 끼움돌기 및 상기 제 1 끼움돌기에서 연장되어 상기 수직에어공급공에 끼워지는 제 2 끼움돌기가 일체로 형성되고, 상기 에어디스크의 상부에는 상기 에어디스크의 내측으로 방사상 하측으로 좁아지게 연장되는 확산홈이 형성되며, 상기 제 2 끼움돌기의 하부에는 각각의 상기 수직에어공급공과 연통하면서 공급되는 에어를 상기 확산홈까지 안내할 수 있도록 수직한 에어안내공이 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치. According to claim 3 or 4, wherein the lower part of the air disk, the first fitting protrusion fitted to the mounting hole and the second fitting protrusion extending from the first fitting protrusion to be fitted to the vertical air supply hole integrally A diffusion groove is formed at an upper portion of the air disk to be narrowly radially lowered toward the inner side of the air disk, and the air supplied while communicating with each of the vertical air supply holes is formed at the lower portion of the second fitting protrusion. Carrying device for a display panel, characterized in that the vertical air guide hole is formed to guide to the diffusion groove. 제 6 항에 있어서, 상기 제 2 끼움돌기의 외주면 상에는 에어의 누출을 방지할 수 있도록 오링이 끼워지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치. 7. The conveying apparatus for a display panel according to claim 6, wherein an O-ring is fitted on the outer circumferential surface of the second fitting protrusion to prevent leakage of air. 제 6 항에 있어서, 상기 확산홈에는 공급되는 에어에 의해서 부상하면서 에어를 확산시킴과 아울러 에어 공급이 차단되면 상기 에어안내공을 폐쇄하는 볼 형상의 부상체가 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치.The conveyance for a display panel according to claim 6, wherein the diffusion groove is provided with a ball-shaped floating body which diffuses air while being floated by the supplied air and closes the air guide hole when the air supply is blocked. Device. 제 8 항에 있어서, 볼 형상의 상기 부상체는 4~10㎜의 직경을 가지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치.The conveying apparatus for a display panel according to claim 8, wherein the floating body having a ball shape has a diameter of 4 to 10 mm. 제 8 항에 있어서, 상기 부상체는 방사상 하측으로 좁아지게 연장되는 원추 형상인 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치.The conveying apparatus for a display panel according to claim 8, wherein the floating body has a conical shape which is narrowly extended radially downward. 제 8 항에 있어서, 상기 부상체는 상기 에어안내공의 직경보다 큰 박막의 필름형상인 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치.9. The conveying apparatus for a display panel according to claim 8, wherein the floating body has a film shape of a thin film larger than the diameter of the air guide hole. 제 1 항에 있어서, 상기 배출판의 상기 미세배출공은 3~12㎛의 직경을 가지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 반송장치.The conveying apparatus for a display panel according to claim 1, wherein the fine discharge hole of the discharge plate has a diameter of 3 to 12 µm.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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