KR100816456B1 - 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 하부 판, 하부 판 상에 부착된 복수의 고정부, 고정부 각각에 수평으로 부착된 복수의 구동부, 및 복수의 구동부 상에 얹혀지는 상부 판을 포함하고, 복수의 구동부 각각은 수평 방향 브릿지(bridge) 구조체, 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향 대각선으로 내접하고 전압원에 연결된 압전 소자, 및 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향에 수직인 타방향 대각선으로 연결되고 상측으로 돌출된 수직 방향 반-브릿지 구조체로 구성되는 금형 셋업을 위한 틸트 스테이지를 제공한다.
LCD, LGP, 금형, 틸팅, 압전소자, 브릿지구조, 증폭

Description

대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지{TILT STAGE FOR LARGE SURFACE AND HEAVY LOAD}
도 1은 본 발명에 따른 틸트 스테이지의 사시도,
도 2는 도 1의 구동부의 사시도.
<도면의 부호에 대한 설명>
1: 틸트 스테이지 10: 하부 판
20: 고정부 30: 구동부
40: 상부 판
301: 수평 브릿지 구조체 302: 압전 소자
303: 수직 반-브릿지 구조체
본 발명은 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 면적이 넓고 하중이 큰 금형을 정밀하게 가공하기 위해 금형의 기울어짐을 보정할 수 있는 스테이지에 관한 것이다.
오늘날 디스플레이 산업의 시장 규모는 커지고 있으며, 이에 따라 LCD(Liquid Crystal Display)의 대화면화와 화질 개선을 위한 고휘도화에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다. LCD의 핵심 기술이라 할 수 있는 배광 장치(Back Light Unit, BLU)는 냉음극 형광 램프(Cold Cathode Fluorescent Lamp, CCFL), 도광판(Light Guide Panel, LGP), 확산 필름, 프리즘 필름, 반사 필름, 램프 커버 등의 많은 구성 요소들로 구성되어 있다.
이 중 LGP는 광학적 패턴을 형성하기 위해 미세 패턴 금형을 가공하고 이를 이용한 성형 공정이 이루어지고 있다. LGP의 미세 패턴 금형의 가공에서 중요한 요소로는 금형의 전체적인 균일화, 미세 패턴의 조밀도, 가공 깊이, 표면 조도 등이 있다. 이러한 요소들을 만족하기 위해서는 금형 가공을 위해 금형 셋업시 상면의 평편도가 가장 우선시된다. 특히, LCD의 면적이 넓어지는 근래의 경향에 인하여 LGP 또한 넓어지고 있으므로, LGP 공작물의 작은 기울어짐도 최종 제품에 그대로 전사되어 화면의 왜곡을 유발할 수 있다.
현재 패턴 금형 가공시에 별도의 금형 셋업을 위한 장치를 사용하지 않고 금형 자체를 가공기에 올려 놓고 패턴 가공에 앞서 면을 가공하고 있다.
금형 셋업 장치를 만들기 위해서는 우선 고하중(150 kg 이상)을 견디면서 넓은 면적(400 × 400)의 금형을 0.1 ㎛ 이내의 정밀도 이내에서 구동할 수 있고, 가공시의 상황에 맞게 높은 강성을 갖는 틸트 스테이지가 필요하다.
현재 이용되고 있는 정밀 스테이지는 평면(X, Y축) 제어 스테이지이고, 수직(Z축) 제어 구동과 피치(pitch, X축 중심 회전), 롤(roll, Z축 중심 회전) 구동이 가능한 스테이지에 대하여는 개발되어 있지 않다. 그리고, 연구가 되어 있는 경우 라도, 가벼운 하중을 위한 구동에 대한 스테이지에 대하여 개발되어 있다.
본 발명은 LGP와 같은 넓은 면적, 고하중을 위한 틸트 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다. 즉, 수직(Z축) 방향 구동, 피치(X축 중심 회전) 구동 및 롤(Z축 중심 회전) 구동의 3개 자유도가 가능한 틸트 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 성취하기 위해 본 발명은, 하부 판, 하부 판 상에 부착된 복수의 고정부, 고정부 각각에 수평으로 부착된 복수의 구동부, 및 복수의 구동부 상에 얹혀지는 상부 판을 포함하고, 복수의 구동부 각각은 수평 방향 브릿지(bridge) 구조체, 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향 대각선으로 내접하고 전압원에 연결된 압전 소자, 및 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향에 수직인 타방향 대각선으로 연결되고 상측으로 돌출된 수직 방향 반-브릿지 구조체로 구성되는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지를 제공한다.
고하중을 지지하기 위해 힘을 증폭하기 위하여, 일방향 대각선의 길이는 타방향 대각선의 길이보다 길고, 타방향 대각선의 길이는 수직 방향 반-브릿지 구조체의 높이보다 긴 것이 바람직하다.
상부 판이 들뜸 없이 얹혀지기 위해 복수의 고정부 및 복수의 구동부는 각각 3개인 것이 바람직하다.
압전 소자는 원통형 적층 구조이고, 수평 방향 브릿지 구조체 및 상기 수직 방향 반-브릿지 구조체는 같은 두께로 만들어지는 것이 바람직하다.
상부 판은 수평 센서를 포함할 수 있다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 기술하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 틸트 스테이지(1)의 사시도이다. 본 발명의 구성을 설명하기 위해 상부 판(40)이 얹혀지지 않은 상태가 도시되고, 사용 시에는 상부 판(40)이 구동부(30) 상에 얹혀진 상태가 된다.
본 발명에 따른 틸트 스테이지(1)는 하부 판(10), 하부 판(10) 상에 고정된 복수(도 1에서는 3개)의 고정부(20), 고정부(20) 각각에 수평으로 부착된 복수(도 1에서는 3개)의 구동부(30) 및 구동부(30) 상에 얹혀지는 상부 판(40)으로 구성된다.
하부 판(10)은 틸트 스테이지(1)의 기초가 된다. 하부 판(10)은 틸트 스테이지(1)를 고정하고 틸트 스테이지(1)를 통해 전달되는 금형의 하중을 분산시킨다. 하부 판(10)의 상면은 평탄하다.
복수의 고정부(20)는 하부 판(10)의 미리 정해진 고정된 위치에 돌출된 형상이다. 고정부(20)의 높이는 후술할 구동부(30)의 높이(Lz)의 하한보다 낮아야 한다. 고정부(20)는 하부 판(10)과 일체로 제작되거나 하부 판(10)에 부착된 후 고정될 수 있다.
복수의 구동부(30) 각각은 일단이 고정부(20)에 부착되어 고정된다. 구동부(30)의 평면 형태는 브릿지 형상이고, 측면 형태는 반-브릿지 형상으로 상측으로 돌출되어 있다. 구동부(30)는 일단이 고정부(20)이 고정된 채 하부 판(10)의 상부 평면 상에서 신장, 수축 가능하다. 구동부(30)의 하면은 하부 판(10)에 밀착되어 구동부(30)로 전달되는 금형의 하중 일부를 하부 판(10)으로 전달하지만 하부 판(10)에 고정되지는 않는다.
도 2는 구동부(30) 구조의 상세를 도시한다. 구동부(30)는 수평 브릿지 구조체(301), 수평 브릿지 구조체(301)의 중심부를 지나고 수평 브릿지 구조체(301)의 일방향(이하 'X축 방향') 대각선을 따라 수평 브릿지 구조체(301)에 내접하는 압전 소자(PZT)(302) 및 수평 브릿지 구조체(301)의 타방향(이하 'Y축 방향') 대각선을 따라 수평 브릿지 구조체(301)에 연결되고 수직 방향(이하 'Z축 방향')으로 돌출된 수직 반-브릿지 구조체(303)로 구성된다. 도 2에서 수직 반-브릿지 구조체(303)가 수평 브릿지 구조체(301)에 내접하는 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 제한되지 않고 다양한 방법으로 연결될 수 있다.
수평 브릿지 구조체(301)의 측면 일부는 고정부(20)에 부착되고 하면은 하부 판(10)에 접하며, 수직 반-브릿지 구조체(303)의 상단에 후술한 상부 판(40)이 얹혀진다. 수평 브릿지 구조체(301) 및 수직 반-브릿지 구조체(303)는 강성을 높이기 위해 같은 두께인 것이 바람직하다.
압전 소자(302)는 일반적으로 압축에 강하나 인장에 약하다. 압전 소자(302)는 전압원(미도시)에 연결되고 전압원로부터 전압이 인가되는 경우 인장이 가능하다. 압전 소자(302)는 작은 압전체가 적층된 원통 구조인 것이 바람직하다.
수평 브릿지 구조체(301)의 중심으로부터 X축 방향을 따라 수평 브릿지 구조 체(301)까지의 길이 또는 압전 소자(302)의 길이의 1/2는 'Lx'(즉, 수평 브릿지 구조체(301)의 X축 대각선 길이 또는 압전 소자(302)의 길이는 '2Lx'), 수평 브릿지 구조체(301)의 중심으로부터 Y축 방향을 따라 수평 브릿지 구조체(301)까지의 길이 또는 수직 반-브릿지 구조체(303)의 수평 방향 길이의 1/2는 'Ly'(즉, 수평 브릿지 구조체(301)의 Y축 대각선 길이 또는 반-브릿지 구조체(303)의 수평 방향 길이는 '2Ly'), 그리고 수직 반-브릿지 구조체(303)의 Z축 방향 높이는 'Lz'로 표시한다.
수직 반-브릿지 구조체(303) 상단에 상부 판(40) 및 금형이 얹혀져 하중이 인가되고, 또한 금형의 가공에 의해 추가로 하중이 인가될 때, 수직 반-브릿지 구조체(303)는 Z축 방향으로 수축되고('Lz'가 작아지고) Y축 방향으로 인장된다('Ly'가 커진다). 수직 반-브릿지 구조체(303)의 Y축 방향 인장에 의해 수평 브릿지 구조체(301)는 Y축 방향으로 인장되고 X축 방향으로 수축된다('Lx'가 작아진다). 그리고, 수평 브릿지 구조체(301)의 X축 방향 수축에 의해 수평 브릿지 구조체(301)에 내접하는 압전 소자(302)는 압축력을 받는다.
실제로 구동을 할 때, 압전 소자(302)에 전압이 인가되어 압전 소자는 X축 방향으로 인장된다('Lx'가 커진다). 압전 소자(302)의 X축 방향의 인장에 의해 수평 브릿지 구조체(301)는 X축 방향으로 인장되고 Y축 방향으로 수축된다('Ly'가 작아진다). 그리고, 수평 브릿지 구조체(301)의 Y축 방향의 수축에 의해 수직 반-브릿지 구조체(302)는 Y축 방향으로 수축되고 Z축 방향으로 인장된다('Lz'가 커진다). 그리하여, 압전 소자(302)의 인장력에 의해 구동체(30)의 상부에 얹힌 상부 판(40)을 상측으로 움직일 수 있다.
길이 'Lx', 'Ly' 및 'Lz'의 비율에 따라 압전 소자(302)의 인장력은 증폭될 수 있다. 길이 'Lx'가 'Ly'에 비하여 긴 경우, 압전 소자(302)에 의한 X축 방향 인장력보다 Y축 방향 수축력이 증폭되어 커지게 된다. 길이 'Ly'가 'Lz'에 비하여 긴 경우, Y축 방향 수축력보다 Z축 방향 인장력이 증폭되어 커지게 된다. 그러므로, 고하중을 지지하기 위해서는 Lx > Ly > Lz인 것이 바람직하다. 각 길이의 비율을 조정함으로서 증폭량을 조정할 수 있다. 또한, 길이 'Lz'를 작게 하여 틸트 스테이지(1) 전체 높이가 작아져서 소형화된 장치가 가능하다.
상부 판(40)은 복수의 구동부(30) 상에 얹혀지고, 금형은 상부 판(40) 상에 고정된다. 각 구동부(30)의 압전 소자(302)에 전압을 인가하여 구동부(30) 각각의 높이(Lz)를 조정하여 상부 판(40) 및 금형의 수평을 맞춘다. 구동부(30)의 수는 상부 판(40)의 수평을 맞추기 위해서 3개 이상이어야 한다. 구동부(30)의 수가 3개보다 많은 경우 구동부(30) 중 일부와 상부 판(40) 사이에 들뜸이 있을 수 있으므로, 구동부(30)의 수는 3개인 것이 바람직하다. 그러나, 구동부(30)의 수는 상부 판(40) 및 금형에 의해 유발되는 전체 하중, 각 구동부(30)의 강성 및 압전 소자(302)의 인장력에 기인한 수직 반-브릿지 구조체(303)의 Z축 인장력을 고려하여 3개보다 많을 수 있다.
상부 판(40)은 상부 판(40) 및 금형의 수평을 측정하기 위한 수평 센서(미도시)를 포함할 수 있다. 수평 센서로부터 측정된 상부 판(40) 및 금형의 수평도에 기초하여 각 구동부(30)의 압전 소자(302)에 전압을 인가하여 상부 판(40) 및 금형의 수평을 유지한다. 이는 컴퓨터를 이용하여 수평 센서의 수평도를 측정하고 각 구동부(30)를 제어하도록 하여 수행될 수 있다.
본 발명에 따른 틸트 스테이지는 소형인 동시에 LGP와 같은 넓은 면적, 고하중의 금형의 수평을 유지시킬 수 있다. 그리하여, 금형의 상면을 평편하게 하여 금형 가공시에 금형의 전체적인 균일화, 미세 패턴의 조밀도, 가공 깊이, 표면 조도 등의 요건을 충족시킬 수 있다. 결국, LCD 전체 면적에 대하여 균일한 품질을 보장할 수 있게 한다.
이러한 틸트 스테이지는 LGP와 같은 금형의 가공을 위한 스테이지 뿐만 아니라, 가공물의 정밀한 수평도가 요구되고 가공물에 의해 고하중이 인가되는 공작 기계에 또한 응용 가능할 것이다. 본 발명은 소형화를 위하여 압전 소자를 이용하지만, 설계 목적에 따라 모터 또는 엔진을 이용한 구동, 수압, 유압, 공기압 등을 이용한 구동 등이 가능할 것이다.
비록, 본 발명은 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 특허청구의 범위에 속함은 자명하다.

Claims (9)

  1. 하부 판;
    상기 하부 판 상에 부착된 복수의 고정부;
    상기 각 고정부에 수평으로 부착된 구동부; 및
    상기 각 구동부 상에 얹혀지는 상부 판;을 포함하고,
    상기 각 구동부는 수평 방향 브릿지 구조체, 상기 수평 방향 브릿지 구조체에 일방향으로 내접하고 전압원에 연결된 압전 소자, 및 상기 수평 방향 브릿지 구조체에서 상기 일방향을 가로지르도록 연결되고 상측으로 절곡되어 돌출된 수직 방향 반-브릿지 구조체로 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수평 방향 브릿지 구조체의 상기 일방향의 길이는 상기 수직 방향 반-브릿지 구조체의 수평 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 수직 방향 반-브릿지 구조체의 수평 방향 길이는 상기 수직 방향 반-브릿지 구조체의 수직 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 고정부 및 상기 복수의 구동부는 각각 3개인 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 고정부 및 구동부는 상기 하부 판 상에 등각도로 배치된 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 압전 소자는 원통형인 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 압전 소자는 축 방향을 따라 적층 구조인 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 수평 방향 브릿지 구조체 및 상기 수직 방향 반-브릿지 구조체는 같은 두께인 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 판은 수평 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 고하중을 위한 틸트 스테이지.
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