KR100816070B1 - 평판 디스플레이 제조용 디스펜서 - Google Patents

평판 디스플레이 제조용 디스펜서 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 제조용 디스펜서를 개시한다. 본 발명에 따르면, 프레임; 프레임에 지지가 되는 것으로, 기판이 적재되는 스테이지; 스테이지의 상측에 X축 방향으로 길게 연장되고 프레임에 양단이 지지가 된 헤드 지지부; 헤드 지지부의 일 측에 배치되는 것으로, 스테이지에 적재된 기판 상에 유체를 토출하는 노즐이 구비된 적어도 하나의 헤드 유닛; 헤드 유닛을 헤드 지지부에 대해 X축 방향으로 슬라이드 이동시키는 헤드 유닛용 X축 액추에이터; 헤드 유닛에 장착되고 헤드 지지부에 대해 헤드 유닛의 슬라이드 이동을 지지하는 지지 브래킷; 및 외부로부터 공기를 공급받아서 지지 브래킷을 헤드 지지부로부터 부상시켜 헤드 유닛의 슬라이드 이동을 원활하게 하는 적어도 하나의 공기 베어링;을 구비한다.

Description

평판 디스플레이 제조용 디스펜서{Dispenser for manufacturing flat panel display}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 디스펜서에 대한 사시도.
도 2는 도 1에 있어서, 헤드 지지부에 장착된 헤드 유닛을 발췌하여 도시한 부분 사시도.
도 3은 도 2에 대한 측면도.
도 4는 도 3에 있어서, 지지 브래킷에 장착된 공기 베어링을 도시한 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 공기 베어링의 구조 및 작동 예를 설명하기 위한 도면.
도 6은 도 4에 있어서, 배기구의 변형 예를 도시한 측면도.
도 7은 도 3에 있어서, 지지 브래킷의 변형 예를 도시한 측면도.
〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉
110..프레임 120..스테이지
130..헤드 지지부 140..헤드 유닛
141..노즐 150..헤드 유닛용 X축 액추에이터
160,260..지지 브래킷 170..공기 베어링
본 발명은 평판 디스플레이 제조용 디스펜서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 헤드 유닛의 슬라이드 운동시 진동 및 분진 발생이 최소화될 수 있는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치를 일컫는다. 이러한 평판 디스플레이로는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마 디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출 디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기 EL(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이 중에서, 액정 디스플레이는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정 디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정 패널의 제조 방법은 일 예로 다음과 같다. 먼저, 상부 글라스 기판에 컬러 필터 및 공통 전극을 패턴 형성하고, 상부 글라스 기판과 대향이 되는 하부 글라스 기판에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소 전극을 패턴 형성한다.
이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 프리틸트 각(pretilt angle)과 배향 방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 어느 하나의 기판에 디스펜서에 의해 씨일(seal) 페이스트를 소정 패턴으로 도포한다. 이때, 기판들에 각각 형성된 공통 전극과 화소 전극 사이를 접속시킬 수 있도록 도전성 페이스트를 도팅(dotting)하는 과정을 더 수행한다.
그 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성한 후 액정 패널을 제조하게 된다. 여기서, 액정층을 형성하는 방식으로는 액정적하 방식이 이용될 수 있다. 액정적하 방식이란 기판 상의 씨일 페이스트에 의해 한정된 공간에 액정적하장치라는 디스펜서를 이용하여 액정을 적하한 다음, 기판들 사이를 합착한 후 씨일 페이스트를 경화시켜 접합하는 방식이다.
이처럼 액정 패널의 제조에 있어서, 기판 상에 페이스트를 도포하거나, 액정을 적하하기 위해 디스펜서라는 장비가 이용되고 있다. 디스펜서는 기판이 적재되는 스테이지(stage)와, 스테이지 상에 적재된 기판에 페이스트나 액정과 같은 유체를 토출하는 노즐이 장착된 헤드 유닛과, 헤드 유닛을 지지하는 헤드 지지부를 포함하여 구성되는 것이 일반적이다.
이러한 디스펜서는 기판과 노즐 사이의 상대위치를 변화시켜 노즐이 소정 위치에 놓이게 하거나, 기판과 노즐 사이의 상대위치를 변화시켜가면서 기판 상에 소 정 패턴으로 유체가 토출될 수 있게 한다. 여기서, 기판과 노즐 사이의 상대위치 변화는 다양한 형태로 이루어질 수 있다.
그 일 예로, 기판과 노즐 사이의 상대위치 변화를 위해, 디스펜서는 기판이 적재되는 스테이지를 Y축 방향으로 이동시키는 한편, 노즐이 장착된 헤드 유닛을 스테이지와 직교하는 방향, 즉 X축 방향으로 이동시키도록 구성된 경우가 있다. 이 경우, 헤드 유닛은 헤드 지지부에 대해 X축 방향으로 슬라이드 지지가 된 상태로 X축 액추에이터에 의해 X축 방향으로 이동하게 된다. 여기서, 헤드 유닛의 슬라이드 지지를 위해, LM(Linear Motion) 가이드가 채용되는 것이 일반적이다. 즉, 헤드 유닛과 헤드 지지부 사이에 헤드 유닛이 X축 방향으로 슬라이드 지지가 될 수 있도록 LM 가이드가 설치된다.
그런데, 종래와 같이 LM 가이드가 채용된 경우, LM 가이드가 항상 외부로 노출된 상태에 놓이게 된다. 이에 따라, LM 가이드의 윤활 작용을 위한 오일이 외부로 유출됨으로써 기판 등을 오염시킬 가능성이 있다. 따라서, 오염 방지를 위한 별도의 수단이 강구될 필요가 있게 된다.
게다가, LM 가이드가 접촉 구동 방식에 의해 헤드 유닛을 슬라이드 지지를 하게 되는바, 분진이나 진동이 발생할 우려가 있다. 분진은 스테이지 상에 적재된 기판으로 유입되면 기판을 오염시킬 수 있으며, 진동은 헤드 유닛의 노즐로 전달됨에 따라 유체 토출시 토출 정밀도를 떨어뜨릴 수 있다. 그 결과, 액정 패널의 품질 저하를 일으킬 수 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 헤드 유닛과 헤드 지지부 사이의 슬라이드 지지를 위해 공기 베어링을 구비함에 따라, 오염 물질의 발생이 없을 뿐 아니라, 헤드 유닛의 슬라이드 운동시 진동 및 분진 발생이 최소화될 수 있는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서를 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 제조용 디스펜서는, 프레임; 상기 프레임에 지지가 되는 것으로, 기판이 적재되는 스테이지; 상기 스테이지의 상측에 X축 방향으로 길게 연장되고 상기 프레임에 양단이 지지가 된 헤드 지지부; 상기 헤드 지지부의 일 측에 배치되는 것으로, 상기 스테이지에 적재된 기판 상에 유체를 토출하는 노즐이 구비된 적어도 하나의 헤드 유닛; 상기 헤드 유닛을 상기 헤드 지지부에 대해 X축 방향으로 슬라이드 이동시키는 헤드 유닛용 X축 액추에이터; 상기 헤드 유닛에 장착되고 상기 헤드 지지부에 대해 상기 헤드 유닛의 슬라이드 이동을 지지하는 지지 브래킷; 및 외부로부터 공기를 공급받아서 상기 지지 브래킷을 상기 헤드 지지부로부터 부상시켜 상기 헤드 유닛의 슬라이드 이동을 원활하게 하는 적어도 하나의 공기 베어링;을 구비한다.
여기서, 상기 공기 베어링은, 상기 지지 브래킷과 헤드 지지부 사이에서 상기 지지 브래킷에 장착되고 상기 헤드 지지부를 향해 공기를 분사할 수 있게 형성된 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평판 디스 플레이 제조용 디스펜서를 상세히 설명하기로 한다. 여기에서 설명되는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서는, 평판 디스플레이를 제조함에 있어서 각종 유체, 예컨대 액정 디스플레이인 경우 기판 상에 씨일 페이스트 또는 도전성 페이스트를 도포하거나, 액정을 적하하는데 이용될 수 있는 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 디스펜서에 대한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 조제용 디스펜서(100)에는 프레임(110)이 구비된다. 상기 프레임(110)은 지면에 지지가 되어 디스펜서(100) 전체를 지지할 수 있게 한다.
이러한 프레임(110)의 상측에는 유체가 토출될 기판을 지지하기 위한 스테이지(120)가 배치된다. 여기서, 상기 스테이지(120)는 프레임(110)의 일 측에서 공급되어 적재된 기판을 하측에서 지지할 수 있게 형성된다.
상기 스테이지(120)는 프레임(110)에 지지가 될 수 있다. 여기서, 스테이지(120)는 리니어 모터 등을 구비한 스테이지용 Y축 액추에이터(미도시)에 의해 Y축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있게 프레임(110)에 지지가 될 수 있다.
그리고, 도시하고 있지는 않지만, 상기 스테이지(120)의 슬라이드 지지를 위해, 스테이지(120)와 프레임(110) 사이에는 LM(Linear Motion) 가이드가 더 마련될 수도 있다. 또한, 상기 스테이지(120)는 스테이지용 X축 액추에이터에 의해 X축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있거나, 스테이지용 θ축 액추에이터에 의해 수평으로 θ축 방향으로 회전할 수 있게 프레임(110)에 지지가 되는 것도 가능하다. 물 론, 스테이지(120)가 프레임(110)에 고정되어 지지가 되는 것도 가능하다.
이러한 스테이지(120)의 상측에는 헤드 지지부(130)가 배치된다. 즉, 상기 헤드 지지부(130)는 스테이지(120)의 상측에 X축 방향으로 길게 연장되며, 프레임(110)에 양단이 지지가 된다.
여기서, 상기 헤드 지지부(130)는 리니어 모터 등을 구비한 헤드 지지부용 Y축 액추에이터(미도시)에 의해 Y축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있게 프레임(110)에 지지가 될 수 있다.
그리고, 상기 헤드 지지부(130)의 슬라이드 지지를 위해, 헤드 지지부(130)의 양단과 프레임(110) 사이에는 한 쌍의 LM 가이드(135)가 마련될 수 있다. 즉, LM 가이드(135)들은 헤드 지지부(130)의 양단이 대응되는 프레임(110) 양측에 Y축 방향으로 각각 설치될 수 있다. 이와 함께, 상기 LM 가이드(135)들에 Y축 방향으로 이동할 수 있게 통상 마련된 이동부들에 헤드 지지부(130)의 양단이 고정 결합함으로써, 헤드 지지부(130)의 슬라이드 이동이 지지가 될 수 있다.
상기 헤드 지지부(130)는 후술하겠지만, 지지 브래킷(160)에 의해 적어도 3면이 둘러싸져 헤드 유닛(140)을 지지할 수 있도록, 대략 사각 단면을 갖는 형상으로 형성될 수 있다. 그리고, 헤드 지지부(130)는 기판이 대면적으로 이루어진 경우, 생산성을 높이기 위해 복수 개로 구비될 수도 있다.
이러한 헤드 지지부(130)의 일 측에 헤드 유닛(140)이 배치된다. 상기 헤드 유닛(140)은 스테이지(120)에 적재된 기판 상에 유체를 토출하는 것으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 유체를 토출하는 노즐(141)과, 노즐(141)로 유체를 공급하는 시 린지(syringe, 142)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 노즐(141) 및 시린지(142)는 지지 블록(143)에 의해 지지가 될 수 있다.
그리고, 상기 노즐(141)은 상하 위치가 조정될 수 있게 노즐용 Z축 액추에이터(144)에 의해 Z축 방향으로 승강할 수 있다. 이 경우, 노즐용 Z축 액추에이터(144)는 회전 모터 또는 리니어 모터를 포함하여 구성되며, 상기 모터의 구동력에 의해 Z축으로 승강 가능하게 된 Z축 승강부를 지지 블록(143)에 고정 결합시킴으로써, 노즐(141)을 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다. 또한, 노즐(141)은 노즐용 Z축 액추에이터(144)를 Y축 방향으로 이동시키는 노즐용 Y축 액추에이터(미도시)에 의해 Y축 방향으로 이동할 수 있다.
한편, 전술한 노즐용 Z축 액추에이터(144)와 더불어, 도시하고 있지는 않지만, 노즐(141)의 상하 위치를 미세 조정하기 위한 노즐용 Z축 액추에이터를 더 구비하는 것도 가능하다. 상기 헤드 유닛(130)은 생산성 향상을 위해 복수 개로 마련될 수 있다.
이러한 헤드 유닛(140)은 헤드 유닛용 X축 액추에이터(150)에 의해 X축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다. 이에 따라, 스테이지(120)에 적재된 기판을 X축 방향으로 이동시키지 않고도, X축 방향에 따른 노즐(131)과 기판 사이의 상대 위치를 변화시키는 것이 가능해질 수 있게 된다.
상기 헤드 유닛용 X축 액추에이터(150)는 노즐(141)의 위치를 정밀하게 제어하는 한편, 구동시 분진 등의 발생을 최소화할 수 있도록 리니어 모터(151)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 여기서, 리니어 모터(151)는 전류 공급에 따라 고정자(152)와 이동자(153) 사이에 추력, 즉 미는 힘을 발생시킴으로써, 고정자(152)에 대해 이동자(153)가 직선으로 왕복 이동할 수 있는 구조로 이루어진 것이다. 여기서, 이동자(153)가 이동할 수 있게 제어하는 내용은 통상적인 사항이므로, 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이러한 리니어 모터(151)에 마련되는 고정자(152)와 이동자(153)는 헤드 지지부(130)와 헤드 유닛(140) 사이에서 상호 마주하는 부위들에 각각 배치된다. 여기서, 고정자(152)는 헤드 지지부(130)에 고정되며, 이동자(153)는 헤드 유닛(140)에 고정된다. 그리고, 고정자(152)는 이동자(153)를 둘러싸게 형성되되, 이동자(153)가 X축 방향으로 이동할 수 있게 X축 방향을 따라 연장 형성된 구조를 가질 수 있다.
이러한 헤드 유닛(140)의 슬라이드 이동을 헤드 지지부(130)에 대해 지지할 수 있도록 지지 브래킷(160)이 마련된다. 상기 지지 브래킷(160)은 헤드 유닛(140)에 고정되며, 헤드 지지부(130)를 적어도 일부 감쌀 수 있게 형성될 수 있다. 여기서, 헤드 유닛(140)이 안정된 상태로 슬라이드 이동할 수 있도록, 헤드 지지부(130)는 도 3에 도시된 바와 같이 사각 단면을 갖는 형상으로 이루어지며, 이러한 헤드 지지부(130)의 형상에 상응하여 지지 브래킷(160)은 헤드 지지부(130)의 3면을 감쌀 수 있는 형상으로 이루어질 수 있다. 그리고, 지지 브래킷(160)은 헤드 지지부(130)의 3면에 각각 나란한 면들을 갖게 형성될 수 있다.
이러한 지지 브래킷(160)을 헤드 지지부(130)로부터 부상(浮上)시켜 헤드 유닛(140)의 슬라이드 이동을 원활하게 할 수 있도록 공기 베어링(170)이 마련된다. 즉, 상기 공기 베어링(170)은 외부로부터 공기를 공급받아서 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이로 분사하여 분사된 공기 압력에 의해 지지 브래킷(160)이 헤드 지지부(130)로부터 부상할 수 있게 하는 것이다.
이러한 공기 베어링(160)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이에서 지지 브래킷(160)에 장착될 수 있다.
여기서, 공기 베어링(170)은 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이의 슬라이드 지지 효과를 높이기 위해, 복수 개로 구비되어 지지 브래킷(160)의 헤드 지지부(130)를 둘러싸는 3면에 각각 적어도 하나씩 배치되는 것이 바람직하다. 이 경우, 공기 베어링(170)들에 외부로부터 공기가 개별 공급되게 할 수도 있으나, 도 3에 도시된 바와 같이, 인접한 공기 베어링(170)들 중 어느 하나의 것으로 공급된 공기가 나머지 것들로 전달될 수 있도록, 지지 브래킷(160)에 다수의 공기 공급로(175)가 형성되는 것도 가능하다.
상기 공기 베어링(170)은 도 5에 도시된 바와 같이, 헤드 지지부(130)를 향해 공기를 분사시킬 수 있게 형성됨으로써, 분사된 공기 압력에 의해 지지 브래킷(160)이 헤드 지지부(130)로부터 부상할 수 있게 한다. 여기서, 공기 베어링(170)은 공기 분사부(171)와, 상기 공기 분사부(171)의 외면을 일부 감쌀 수 있게 형성된 커버부(172)를 구비할 수 있다.
상기 공기 분사부(171)는 외부로부터 공급받은 공기를 분사할 수 있게 다수의 분사구가 형성된 구조로 이루어진다. 여기서, 공기 분사부(171)는 분사구의 형성을 용이하게 하기 위하여, 다수의 미세 기공을 갖는 다공질 소재로 형성되는 것 이 바람직하다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 공기 분사부(171)는 공기를 분사할 수 있는 범주 내에서 다양한 구조로 이루어질 수 있다. 또한, 공기 분사부(171)는 원반 형상으로 형성되어 있으나, 이외에 다양한 형상으로 형성될 수 있음은 물론이다.
상기 커버부(172)는 전술한 공기 분사부(171)를 감싸되, 헤드 지지부(130)를 향한 면을 제외한 부위를 감쌀 수 있게 형성된 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 이는 공기 분사부(171)로 공급된 공기가 헤드 지지부(130)를 향한 면으로만 분사되도록 함으로써, 헤드 지지부(130)에 대한 지지 브래킷(160)의 부상 효과를 높일 수 있도록 하기 위함이다.
이러한 커버부(172)는 공기 분사부(171)가 끼워져 결합할 수 있게 소정 공간을 갖고 일 측이 개구된 형상으로 제조될 수 있다. 다른 대안으로, 커버부(172)는 코팅 등의 방법으로 공기 분사부(171)의 외면에 형성되되, 헤드 지지부(130)를 향한 면이 노출되게 형성되는 것도 가능하다. 상기 커버부(172)는 접착 물질 등에 의해 지지 브래킷(160)에 부착되어 장착될 수 있다.
한편, 상기 공기 베어링(170)은 지지 브래킷(160)의 면으로부터 돌출되어 장착된 것으로 도시되어 있으나, 지지 브래킷(160) 내로 삽입되어 장착되는 것도 가능하다. 즉, 공기 베어링(170)은 지지 브래킷(160)에 마련된 홈에 삽입되되, 공기 분사부(171)에서 헤드 지지부(130)를 향한 면이 노출되게 삽입되어 장착될 수 있다.
상기와 같은 공기 베어링(170)이 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이 에 마련됨에 따라, 외부로부터 공기 베어링(170)으로 공기가 공급되면, 공기를 공급받은 공기 베어링(170)은 헤드 지지부(130)를 향해 공기를 분사하게 된다. 그러면, 분사된 공기 압력에 의해 지지 브래킷(160)은 헤드 지지부(130)로부터 소정 간격을 부상할 수 있게 된다. 이렇게 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이가 접촉하지 않은 상태에서, 헤드 유닛용 X축 액추에이터(150)에 의해 헤드 유닛(140), 즉 헤드 유닛(140)에 고정된 지지 브래킷(160)이 헤드 지지부(130)에 대해 X축으로 슬라이드 이동하게 되면, 지지 브래킷(160)이 헤드 지지부(130)에 대해 원활하게 슬라이드 이동할 수 있게 되는 것이다.
이와 같이 헤드 유닛(140)이 슬라이드 이동하는 동안 공기 베어링(170)에 의해 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이로 공기가 분사되면, 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이에 잔존해 있을 분진 등이 날려서 기판 등을 오염시킬 수 있다. 따라서, 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이로 공급된 공기는 지지 브래킷(160)의 외부로 배출되는 것이 바람직하다.
이를 위해, 지지 브래킷(160)에는 흡입 펌프와 연결될 수 있는 배기구(176)가 마련됨으로써, 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이로 공급된 공기를 지지 브래킷(160)의 외부로 배출시킬 수 있다. 이 과정에서, 공기와 함께 분진 등도 배출시킬 수 있게 되므로, 분진 등이 원하지 않는 방향으로 날려서 기판 등을 오염시키는 것이 방지될 수 있다. 이러한 배기구(176)는 지지 브래킷(160)에서 공기 베어링(170)이 장착되지 않은 부위에 배치될 수 있다. 여기서, 배기구(176)는 배출 효율을 극대화할 수 있는 위치에 적어도 하나 이상으로 마련되어 배치되는 것이 바람직하다.
다른 대안으로, 배기구(176)는 도 6에 도시된 바와 같이, 지지 브래킷(160)에 형성되되 공기 베어링(170)의 공기 분사부(171)와 맞닿게 형성될 수 있다. 이에 따라, 지지 브래킷(160)과 헤드 지지부(130) 사이로 공급된 공기가 공기 분사부(171)와 배기구(176)를 통해 지지 브래킷(160)의 외부로 배출될 수 있다. 여기서, 배기구(176)는 공기 베어링(170)마다 대응되게 마련되는 것이 바람직하나, 이에 반드시 한정되지는 않는다. 한편, 배기구(176)는 공기 분사부(171)를 관통하여 형성되는 것도 가능하며, 공기 분사부(171)를 관통한 부위의 내측면에 공기 분사부(171)로 공급된 공기가 유출되지 않게 코팅 처리되는 것도 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 헤드 유닛(140)은 지지 브래킷(160)과 공기 베어링(170)에 의해 비접촉 방식으로 헤드 지지부(130)에 대해 슬라이드 지지가 되므로, 종래와 같이 LM 가이드를 구비한 경우에 비해, 윤활오일 유출과 분진 발생이 없게 된다. 이에 따라, 기판 등의 오염이 방지되며, 오염 방지를 위한 별도의 수단이 강구될 필요가 없게 된다. 뿐만 아니라, 헤드 유닛(140)의 이동시 진동의 발생이 최소화될 수 있으므로, 노즐(141)을 통한 유체의 토출시 토출 정밀도가 충분히 확보될 수 있다.
한편, 도 7은 지지 브래킷의 변형 예를 도시한 것이다. 도 7에 도시된 지지 브래킷(260)은, 슬라이드 지지 효과를 더욱 높일 수 있도록, 사각 단면을 갖는 형상으로 이루어진 헤드 지지부(130)의 4면을 감쌀 수 있는 형상으로 이루어진다. 이러한 지지 브래킷(260)에 있어서, 공기 베어링(170)은 지지 브래킷(260)의 헤드 지지부(130)를 둘러싸는 4면에 각각 적어도 하나씩 배치될 수 있도록 복수 개로 구비될 수 있다. 이 밖에도, 지지 브래킷(260)은 다양한 구조로 형성될 수 있으므로, 전술한 예들에 반드시 한정되지는 않는다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 헤드 유닛은 공기 베어링에 의해 비접촉 방식으로 헤드 지지부에 대해 슬라이드 지지가 될 수 있다. 따라서, 종래와 같이 LM 가이드를 구비한 경우에 비해, 윤활오일 유출이 없게 될 뿐 아니라, 헤드 유닛의 이동시 분진 발생이 없게 된다. 그 결과, 기판 등의 오염이 방지되며, 오염 방지를 위한 별도의 수단이 생략 가능할 수 있다.
게다가, 헤드 유닛의 이동시 진동의 발생이 최소화될 수 있음에 따라, 노즐로 진동 또한 최소화될 수 있다. 따라서, 노즐을 통한 유체의 토출시 토출 정밀도가 향상될 수 있는바, 패널의 품질 확보에 유리한 효과가 있을 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 프레임;
    상기 프레임에 지지가 되는 것으로, 기판이 적재되는 스테이지;
    상기 스테이지의 상측에 X축 방향으로 길게 연장되고 상기 프레임에 양단이 지지가 된 헤드 지지부;
    상기 헤드 지지부의 일 측에 배치되는 것으로, 상기 스테이지에 적재된 기판 상에 유체를 토출하는 노즐이 구비된 적어도 하나의 헤드 유닛;
    상기 헤드 유닛을 상기 헤드 지지부에 대해 X축 방향으로 슬라이드 이동시키는 헤드 유닛용 X축 액추에이터;
    상기 헤드 유닛에 장착되고 상기 헤드 지지부에 대해 상기 헤드 유닛의 슬라이드 이동을 지지하는 지지 브래킷; 및
    외부로부터 공기를 공급받아서 상기 지지 브래킷을 상기 헤드 지지부로부터 부상시켜 상기 헤드 유닛의 슬라이드 이동을 원활하게 하는 적어도 하나의 공기 베어링;을 구비하며,
    상기 공기 베어링은, 상기 지지 브래킷과 헤드 지지부 사이에서 상기 지지 브래킷에 장착되고, 상기 헤드 지지부를 향해 공기를 분사할 수 있게 형성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 공기 베어링은, 공급받은 공기를 분사할 수 있게 다수의 분사구가 형성된 공기 분사부와, 상기 공기 분사부를 감싸되 상기 헤드 지지부를 향한 면을 제외한 부위를 감쌀 수 있게 형성된 커버부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 공기 분사부는 다공질 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 지지 브래킷에는, 상기 공기 베어링에 의해 상기 지지 브래킷과 헤드 지지부 사이로 공급된 공기를 상기 지지 브래킷의 외부로 배출하기 위한 배기구가 더 형성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 헤드 지지부는 사각 단면을 갖는 형상으로 이루어지며,
    상기 지지 브래킷은 상기 헤드 지지부의 적어도 3면을 둘러쌀 수 있게 형성 된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 공기 베어링은 상기 지지 브래킷의 헤드 지지부를 둘러싸는 면들에 각각 적어도 하나씩 배치된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
  8. 제 2항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 헤드 유닛용 X축 액추에이터는 리니어 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
  9. 제 2항에 있어서,
    상기 스테이지는 Y축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있게 된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
  10. 제 2항에 있어서,
    상기 헤드 지지부는 Y축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있게 된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조용 디스펜서.
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