KR100813280B1 - 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 - Google Patents

프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 Download PDF

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KR100813280B1
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Abstract

본 발명은 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓에 관한 것으로, 특히 일측이 막혀있는 통 형상으로 그 측면에 길이방향으로 가이드 홈 또는 가이드 슬롯을 가지는 배럴부, 상기 배럴부의 내부에 삽입되는 탄성부재 및, 외주면에 돌출간을 가지고, 상기 탄성부재의 상부에 결합하여 상기 배럴부에 일부가 삽입되어, 상기 돌출간이 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯에 삽입되어 위치하는 플런저부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓에 관한 것이다.
이를 통하여 탄성부재(스프링) 및 이의 상하 부재가 일체형이면서도 조립이 용이하여 기존의 프로브 핀에 비하여 제조비용이 저렴하고 생산성이 높은 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓을 제공할 수 있다.
프로브 핀, 돌출간

Description

프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 {PROBE PIN AND TEST SOCKET INCLUDING THE SAME}
도 1은 종래의 프로브 핀에 대한 일 실시예를 도시한 사시도이다.
도 2는 종래의 프로브 핀에 대한 다른 실시예를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 프로브 핀에 대한 일 실시예를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 일 실시예의 분해 사시도를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 프로브 핀에 대한 다른 실시예의 일부를 확대 촬영한 사진이다.
도 6은 본 발명의 프로브 핀에 대한 또 다른 실시예에 적용되는 돌출간을 확대 도시한 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10: 배럴부 12: 가이드 홈 또는 가이드 슬롯
14: 연결홈 또는 연결슬롯 20: 탄성부재(스프링)
30: 플런저부 32: 돌출간
본 발명은 프로브 핀에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 탄성부재(스프링) 및 이의 상하 부재가 일체형이면서도 조립이 용이하여 기존의 프로브 핀에 비하여 제조비용이 저렴하고 생산성이 높은 프로브 핀을 제공할 수 있는 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓에 관한 것이다.
프로브 핀은 포고 핀으로도 불리는 것으로 단독 또는 다른 종류의 핀과 함께 웨이퍼 형성된 소자 또는 반도체 칩 패키지 등을 테스트하기 위한 테스트 소켓 등에 널리 사용되는 탐침으로 이와 같은 프로브 핀이 테스트 소켓에 사용되는 예는 특허출원 제1999-68258호, 실용신안등록출원 제2001-31810호 및, 실용신안등록출원 제2005-3537호 등에 잘 나타나있다.
도 1 내지 도 2는 이러한 프로브 핀의 실시예들을 도시한 것이다. 이러한 프로브 핀은 일정한 진폭내에서 각각 독립적으로 이동이 가능하게 결합하는 상부 및 하부와 이들의 상대 운동을 탄성적으로 이루어지게 하는 탄성부재, 바람직하게는 스프링을 포함하여 구성된다.
그러나 도 1에 도시한 바와 같은 구성의 프로브 핀의 경우에는 상부인 플런저(plunger)와 스프링(내부에 포함되어 미도시)이 하부인 배럴(barrel)안에 삽입되어 결합되고, 삽입되어진 플런저 및 스프링의 이탈을 방지하기 위하여 배럴의 상부에 원주방향을 따라 요홈인 카시메(casimae)를 형성하여 구성된다. 그러나 이와 같이 매 프로브 핀마다 카시메를 형성하며 프로브 핀을 제작하는 경우에는 이러한 카시메의 형성을 위한 고압 프레스 장비 및 몰드의 제작 등이 필요하므로 제작비용이 상승하는 문제점이 있다.
또한 도 2에 도시한 방식의 경우에는 상부가 하부에 단순히 삽입되어있는 형태이므로 테스트 소켓에 프로브 핀을 조립하는 경우에 세 개의 부품을 일일이 새로 끼워 넣어야 하므로 테스트 소켓에 프로브 핀을 결합하는 조립시간이 도 1의 경우에 비하여 세배가량 증가하는 문제점이 있다.
따라서 이와 같은 문제점을 해결하여 상부 및 하부의 결합이 용이하여 기존의 프로브 핀에 비하여 제조비용이 저렴하고, 탄성부재(스프링) 및 이의 상하 부재가 일체형이어서 테스트 소켓으로의 조립이 용이하여 테스트 생산성이 높은 프로브 핀을 개발하는 것이 절실한 실정이다.
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자, 본 발명은 상부 및 하부의 결합이 용이하여 기존의 프로브 핀에 비하여 제조비용이 저렴하고, 탄성부재(스프링) 및 이의 상하 부재가 일체형이어서 테스트 소켓으로의 조립이 용이하여 테스트 생산성이 높은 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은 프로브 핀의 상부 또는 하부의 마모가 심한 부품만을 별도로 분리하여 교환할 수 있어서 내구성을 높이고, 장시간 사용할 수 있게 하는 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은
일측이 막혀있는 통 형상으로 그 측면에 길이방향으로 가이드 홈 또는 가이 드 슬롯을 가지는 배럴부;
상기 배럴부의 내부에 삽입되는 탄성부재; 및,
외주면에 돌출간을 가지고, 상기 탄성부재의 상부에 결합하여 상기 배럴부에 일부가 삽입되어, 상기 돌출간이 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯에 삽입되어 위치하는 플런저부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀을 제공한다.
또한 본 발명은 이와 같은 프로브 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓을 제공한다.
이하 본 발명에 대하여 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
본 발명은 프로브 핀(probe pin)에 관한 것으로 일측이 막혀있는 통 형상으로 그 측면에 길이방향으로 가이드 홈 또는 가이드 슬롯(slot)(12)을 가지는 배럴(barrel)부(10), 상기 배럴부(10)의 내부에 삽입되는 탄성부재(20), 바람직하게는 스프링 및, 외주면에 돌출간(32)을 가지고, 상기 탄성부재(20)의 상부에 결합하여 상기 배럴부(10)에 일부가 삽입되어, 상기 돌출간(32)이 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯(12)에 삽입되어 위치하는 플런저(plunger)부(30)를 포함하도록 구성된다.
상기 배럴부는 탄성부재와 플런저부를 수용할 수 있는 통 형상이면 어떠한 형상이라도 상관이 없으며, 바람직하게는 상기 탄성부재가 코일 스프링인 경우가 대부분이므로 원통형상인 것이 좋다.
상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯은 돌출간이 배럴부의 길이 방향으로 이동할 수 있으면 그 형상에는 제한이 없고, 상기 가이드 홈은 돌출간을 안내하여야 하 므로 배럴부의 내부에 형성되는 것은 당연한 것이다.
상기 탄성부재는 공지의 다양한 탄성부재가 여기에 사용될 수 있으며, 이에는 스프링, 고무, 실리콘 수지 등이 사용될 수 있으며, 바람직하게는 코팅 스프링이 사용되는 것이 제작의 편의상 좋다.
상기 플런저부는 공지의 다양한 상부 플런저 형상이 이에 사용될 수 있으며, 이에 부가하여 그 외주면에 돌출간을 가지게 된다. 바람직하게는 상기 돌출간 및 이에 대응하는 가이드 홈 또는 가이드 슬롯은 좌우대칭 등의 대칭으로 구성되는 것이 안정적인 운동이 이루어질 수 있으므로 좋다. 상기 돌출간은 공지의 다양한 방법을 통하여 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯 내에 삽입되어질 수 있으며, 이를 통하여 플런저부와 배럴부가 서로 분리되지 않고 서로 결합하도록 하며, 가이드 홈 또는 가이드 슬롯의 길이 내에서 돌출간이 이동할 수 있으므로 이 범위 내에서 프로브 핀의 탄성변형이 이루어질 수 있도록 한다.
이에 대한 구체적인 예는 도 3 내지 도 6에 도시한 바와 같다. 즉, 도 3에는 가이드 슬롯(12)을 구비한 일 실시예를 도시한 것으로, 돌출간이 가이드 슬롯을 따라 배럴부의 길이 방향으로 이동할 수 있으므로 상부 플런저부가 눌려지는 경우에 스프링이 탄성 압축 변형하여 플런저부가 아래로 이동하게 되고 스프링의 압축력에 의하여 다시 복원되는 구성을 가진다. 상기 도시한 바는 가이드 슬롯을 가지는 경우이나 상기 가이드 슬롯을 대신하여 배럴부의 내부에 가이드 홈을 동일한 크기로 구성하는 경우에도 동일한 동작을 얻을 수 있음은 물론이다. (도 3의 가이드 슬롯 하부의 타원형 구멍은 스프링을 도시하기 위하여 나타낸 것으로 본 발명의 필 수 구성요소가 아니며, 실제로는 막힌 부분이다.)
도 3에서와 같이 상기 배럴부(10)가 가이드 슬롯(12)을 가지는 경우는, 상기 돌출간(32)은 상기 가이드 슬롯(12)을 통하여 상기 플런저부(30)에 끼워져 상기 플런저부의 외주면으로부터 돌출된 핀으로 구성할 수 있다. 즉, 도 4에 도시한 바와 같이 각각이 분리되어 있는 경우에 스프링을 배럴부에 먼저 삽입하고, 이의 상부에 플런저부를 삽입한 후에 이를 눌러 넣고 삽입된 플런저부의 핀 홀을 배럴부의 가이드 슬롯에 정렬한 후에 돌출간으로 사용될 핀을 삽입하여 조립할 수 있다.
이 경우에 상기 플런저부에 삽입되어진 핀은 기타의 다른 부품에 간섭이 일어나지 않도록 제작되어지는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 삽입된 이후에는 더 이상 움직이지 않도록 하기 위하여 억지끼움 형태로 조립되는 것이 좋다.
또한 상기 돌출간(32)을 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯에 삽입하는 다른 방법으로는 도 5에 그 실시예를 도시한 바와 같이 상기 배럴부(30)는 배럴부(30)의 타측(개방부)으로부터 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯(12)으로 연결되는 연결홈 또는 연결슬롯(14)을 더 포함하는 형태로 구성할 수 있다. 즉, 도 5에 도시한 바와 같은 돌출간은 공지의 다양한 방법을 통하여 플런저부의 외주면에 형성시키고, 이렇게 형성된 돌출간을 연결슬롯(12)을 통하여 가이드 슬롯으로 삽입할 수 있다. 도 5에 도시한 것은 슬롯형태만을 도시한 것이나 동일한 형상의 홈을 배럴부의 내면에 형성하는 경우에도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 또한 상기 연결홈 또는 연결슬롯의 형상은 반드시 도 5에 도시한 형상만으로 한정되는 것은 아니며, 돌출간을 가이드 홈 또는 가이드 슬롯으로 삽입되게만 한다면 그 형상에 무관하며, 이에 는 공지의 다양한 형상이 이에 적용될 수 있다.
이외에 상기 돌출간(32)을 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯에 삽입하는 또 다른 방법으로는 도 6에 그 실시예를 도시한 바와 같이 돌출간 자체가 탄성변형을 일으켜 삽입되어질 수도 있다. 즉, 상기 돌출간(32)은 상기 플런저부의 내측으로 탄성변형이 가능한 탄성부로 구성하는 것이다. 도 6에 도시한 바와 같이 돌출간을 구성하는 경우에는 돌출간을 플런저부의 내측인 아래로 탄성변형이 가능하고, 이 경우에 플런저부를 억지로 배럴부에 삽입하면 돌출간은 하부로 눌려져 변형되고, 가이드 홈 또는 가이드 슬롯에 해당하는 위치에 오면 다시 상부로 돌출되므로 이후에는 돌출간으로서 동작하게 된다. 도 6에 도시한 것은 이러한 탄성부로 구성된 돌출간의 일 예에 불과한 것으로 이외에도 공지의 다양한 방식에 이에 적용될 수 있음은 물론이다.
뿐만 아니라 상기 기술한 바와 같은 상기 돌출간(32)을 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯에 삽입하는 방법 이외에도 이와 같은 조립을 위한 공지의 다양한 조립방법 및 이를 위한 구성이 본 발명에 적용될 수 있음은 물론이다.
또한 본 발명은 이와 같은 상기 기술한 프로브 핀을 포함하는 테스트 소켓을 제공하는 바, 이는 상기 기술한 본 발명의 프로브 핀을 포함하는 공지의 다양한 테스트 소켓을 말하는 것으로 이에 대한 구체적인 예로는 웨이퍼 테스트 또는 반도체 칩 패키지 테스트에 사용되는 테스트 소켓을 들 수 있다.
본 발명의 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓에 따르면, 프로브 핀의 상부 및 하부의 결합이 용이하여 기존의 프로브 핀에 비하여 제조비용이 저렴하고, 탄성부재(스프링) 및 이의 상하 부재가 일체형이어서 테스트 소켓으로의 조립이 용이하여 프로브 핀의 제작 및 디바이스 테스트의 생산성을 향상할 수 있다.
또한 본 발명의 프로브 핀은 프로브 핀의 상부 및 하부를 손쉽게 분리할 수 있으므로 상부 또는 하부의 마모가 심한 부품 또는 파손된 부분만을 별도로 분리하여 교환할 수 있어서 수리하여 사용이 가능하므로 그 내구성을 높이고, 장시간 사용할 수 있게 하여 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되는 것은 아니고, 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 해당 기술분야의 당업자가 다양하게 수정 및 변경시킨 것 또한 본 발명의 범위 내에 포함됨은 물론이다.

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 일측이 막혀있는 통 형상으로 그 측면에 길이방향으로 가이드 홈 또는 가이드 슬롯을 가지는 배럴부;
    상기 배럴부의 내부에 삽입되는 탄성부재; 및,
    외주면에 돌출간을 가지고, 상기 탄성부재의 상부에 결합하여 상기 배럴부에 일부가 삽입되어, 상기 돌출간이 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯에 삽입되어 위치하는 플런저부를 포함하고,
    상기 배럴부는 배럴부의 타측으로부터 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯으로 연결되는 연결홈 또는 연결슬롯을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  3. 삭제
  4. 일측이 막혀있는 통 형상으로 그 측면에 길이방향으로 가이드 홈 또는 가이드 슬롯을 가지는 배럴부;
    상기 배럴부의 내부에 삽입되는 탄성부재; 및,
    외주면에 돌출간을 가지고, 상기 탄성부재의 상부에 결합하여 상기 배럴부에 일부가 삽입되어, 상기 돌출간이 상기 가이드 홈 또는 가이드 슬롯에 삽입되어 위치하는 플런저부를 포함하고,
    상기 돌출간은 상기 플런저부의 내측으로 탄성변형이 가능한 탄성부인 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  5. 제2항 또는 제4항의 프로브 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0351766A (ja) * 1989-07-19 1991-03-06 Fujitsu Miyagi Eretokuronikusu:Kk 導電接触子
JPH0545379A (ja) * 1991-08-21 1993-02-23 Nec Corp コンタクトプローブ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0351766A (ja) * 1989-07-19 1991-03-06 Fujitsu Miyagi Eretokuronikusu:Kk 導電接触子
JPH0545379A (ja) * 1991-08-21 1993-02-23 Nec Corp コンタクトプローブ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200457867Y1 (ko) 2009-10-01 2012-01-05 쳉 후아 후앙 인쇄회로기판 테스트 장치 및 그 탐침구조

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