KR100805258B1 - 번들 형태의 복수의 채널로부터 오물 및/또는 폐색물을제거하는 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 액체(2)를 이용한 처리에 의해, 촉매 모듈로서의 번들(11) 형태의 복수의 채널(12), 특히, 견고하게 상호 연결되어 있으며, 서로 평행하게 배치된 번들 형태의 복수의 채널(12)로부터 오물(14) 및/또는 폐색물(13)을 제거하는 방법으로서, 상기 채널의 단부로부터 채널에 액체(2)를 충전시킨 다음, 충전된 액체(2)를 상기 단부를 통해 적어도 일부 배출하는 공정을 반복적으로 또는 교호적으로 수행하는 단계를 포함하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 방법에 따라 매우 신속하고 저렴한 비용으로 오물이나 폐색물의 제거가 가능하다.
채널, 촉매, 활성, 세정, 탈질, 탈다이옥신, 방법
Description
본 발명은 액체를 이용한 처리에 의해 번들(bundle) 형태의 복수의 채널, 특히, 견고하게 상호 연결되어 있으며, 서로 평행하게 배치된 번들 형태의 복수의 채널로부터 오물 및/또는 폐색물을 제거하는 방법, 및 상기 방법을 수행하기 위한 장치에 관한 것이다.
서로 평행하게 배치되며, 특히 상호 연결되어 있는 번들 형태의 복수의 채널을 청정한 상태로 유지시키기 위한 세정 공정, 또는 상기 채널 자체를 세정하는 공정은 매우 중요하다. 이들 채널은 서로 인접하여 고정될 수 있으며, 그 단면 형태로서 직사각형, 벌집형, 타원형, 원형 등을 가질 수 있다.
상호 연결된 번들 형태의 복수의 채널은 번들 형태의 열 교환기, 선택적 촉매 환원법(SCR: selective catalytic reduction) 등에 이용되는 복수의 촉매와 같은 하나의 패키지로서 간주된다.
본 발명은 NOx 제거 또는 다이옥신 제거용 폐촉매의 재생 공정과 관련된 것이다. 이들 촉매는 연도 가스(flue gas) 또는 그 외의 배기 가스 및 오프 가스(off-gas) 중의 질소 산화물 및/또는 특히 할로겐화된 다이옥신 및 할로겐화된 퓨 란을 환원 및 분해하기 위한, 이른바 탈질(deNOx) 또는 탈다이옥신(dedioxin) 장비에 이용된다.
선택적 촉매 환원법, 간단히 칭하여 SCR이라 알려져 있는 방법은 NO와 NO2의 혼합물인 질소 산화물(NOx)의 수준, 예를 들면, 연소 플랜트에서 화석 연료를 연소시킬 때 발생하는 질소 산화물의 수준을 감소시키거나, 또는 상기 질소 산화물의 수준을 보다 실질적으로 감소시키는 데 이용될 수 있는 방법 중 하나이다. 전술한 SCR 공정에서는 암모니아, 또는 환원제로서 시스템 조건 하에서 암모니아를 형성하는 성분, 및 촉매를 이용하여, 질소 산화물을 질소와 물로 전환시킨다. 이 때, 상기 촉매에 의한 반응은 상기 촉매의 표면에서 진행되기 때문에, 상기 촉매로서 비표면적이 큰 다공성 재료를 이용해야 한다. 이에 따라, 전술한 바와 같이 비표면적이 큰 다공성 재료로서 예를 들면, 벌집형의 세라믹 균일 촉매를 이용한다. 이처럼, 비표면적이 큰 특성을 갖는 대부분의 촉매는 티타늄 디옥사이드(TiO2) 기재, 및 상기 기재 중에 균일하게 분포되어 있는 활성 금속 화합물(특히, V2O3, WO3)로 구성된다. 전술한 촉매는 코팅물로서 담체, 예를 들면 금속 시트에도 적용될 수 있다. 아울러, 연소 플랜트와 같은 산화 반응이 수행되는 조건에서는 불완전 연소에 의해 발생한 것으로서, 오프 가스 중에 포함되어 방출되는 유기 생성물(예를 들면, 할로겐화된 다이옥신 및 할로겐화된 퓨란)의 수준을 감소시키기 위해, 동일 촉매(identical catalyst) 또는 개질된 촉매가 사용될 수 있다. 촉매 표면에서 일어나는 화학 반응의 상부 스트림 및 하부 스트림에서 전환 공정(transport process) 들이 존재한다. 상기 촉매의 내표면 상에 반응물이 흡착된 다음, 상기 반응에 참여하는 반응물과 상기 촉매 간의 화학적 결합에 의해, 반응을 개시하는 데 필수적인 활성화 에너지가 저하된다. 그 결과, 반응 속도가 빨라지거나, 평형 상태가 확립된다.
그런데, 이러한 활성 센터가 차단되는 경우에는, 예를 들어, 비산재(fly ash) 중에 포함되어 있는 알칼리금속과 알칼리토금속, 또는 이들의 화합물의 퇴적에 의해, 활성화된 NH3 흡착 반응이 부분적으로 억제되어 촉매의 활성이 저하된다. 전술한 바와 같이, 촉매에 흡착된 독성 물질로 인해서 상기 촉매 표면의 활성 영역이 감소된다는 문제점 이외에도, 예를 들면, 칼슘 설페이트(CaSO4) 및 암모늄 수소 설페이트(NH4HSO4)가 생성되어, 이들로 인해 촉매의 기공이 폐색된다는 문제점이 있다. 촉매는 특정 반응에 대해서 100%의 선택성을 나타낼 수 없기 때문에 상기 촉매와 관련된 반응 범위 내에서, SO2의 SO3로의 전환 반응을 비롯한 2차 반응 역시 촉진한다. 이러한 2차 반응은 촉매의 조성을 조정함으로써 최소화될 수 있기는 하지만, 소량의 SO3로도, 미반응 NH3(NH3 감소량으로도 칭함), 및 H2O와 반응하여, 다양한 염, 우선적으로는 암모늄 수소 설페이트 및 암모늄 설페이트[(NH4)2SO4]이 생성되거나, 또는 상기 비산재와 결합한다는 문제점이 있다.
이러한 화합물들은 암모늄 수소 설페이트의 이슬점 미만으로 온도가 저하될 때의 응축 반응이 일어나는 온도에서 생성된다. 이렇게 생성된 화합물들은 촉매 상에 석출되어, 부착성 입자(예: 재, 미세 더스트, SiO2, Al2O3)와 함께 촉매의 기공을 폐색함으로써, 촉매의 활성을 저하시킬 수 있다.
촉매 상에 석출될 수 있는 화합물의 조성은 비산재 및 연도 가스의 조성, 및 조작 온도에 따라 좌우된다. 전술한 바와 같이 생성되는 화합물은 통상적으로 알칼리금속 화합물 및 알칼리토금속 화합물이며, 이들 화합물은 SO3와의 반응에 의해 비산재 중에 설페이트로서 포함되고, 상기 비산재 중에 포함된 기타 화합물(예를 들면, SiO2 및 Al2O3)과 함께 촉매 표면 상에 석출되어 촉매의 기공을 폐색하거나, 또는 전자 공여성(electron donor property)에 의해 촉매의 활성 센터를 차단함으로써, 활성화된 NH3의 흡착을 억제한다.
그러나, 전술한 문제점을 해결하기 위한 공지된 촉매 세정 방법에 따르면 몇 가지 문제점이 있다. 종래의 세정 방법을 예시하면, 가압수(pressurized water)를 분무함으로써 촉매의 채널을 세정하는 단계를 포함하는 방법을 들 수 있다(예: JP 58030345 A, JP 59062329 A, JP 59066352 A). 상기 방법에 따르면, 협소한 채널로 인해 소요되는 시간 및 노고가 크다는 문제점이 있다. 아울러, 상기 방법에 따른 기계적 세정 방법에 따르면 소요되는 시간이 길기 때문에 많은 비용이 소요되어 바람직하지 않았다.
JP 58030345 A에 기재된 방법에 따르면, 물 대신에 물과 압축 가스의 혼합물을 한쪽에서 채널로 분무한다. 그리고, JP 59049849 A에 기재된 방법에 따르면, 먼저 공기를 블로잉하거나 흡입시킨 다음, 촉매를 퍼지 탱크(purge tank)에 넣고 물을 충전함으로써, 촉매 채널을 세정한다.
본 발명의 목적은 채널의 세정 방법 및 장치로서, 채널의 세정에 필요한 노동 및 물질을 최소화한 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 가능한 수준 또는 바람직한 수준, 예를 들면, 사용 전 촉매의 활성 수준으로, 또는 사용 전 촉매의 활성 수준에 가까운 수준으로 촉매의 활성 센터의 개수를 증가시킴으로써, 촉매 컨버터용으로서 촉매가 완전히 또는 부분적으로 재생될 수 있도록 하는 것이다.
본 발명의 방법에 따르면, 채널의 단부로부터 채널을 액체로 충전시킨 다음, 충전된 액체의 적어도 일부를 상기 단부를 통해 배출하는 공정을 반복적으로 또는 교호적으로 수행함으로써, 오물 및 폐색물을 저렴한 비용으로 신속하게 제거할 수 있다. 또한, 상기 채널에 대해 반복적으로 액체를 충전 및 배출시키는 단계를 수행함으로써, 액체의 중력과 운동량에 의해 높은 세정률을 얻을 수 있다. 또한, 양 방향에서 액체의 충전 및 배출을 반복함으로써, 높은 세정률을 얻을 수 있다는 것이 확인되었다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 액체의 충전 및 배출을 위하여, 번들 형태의 복수의 채널을 수평 위치에 대하여 경사각을 갖도록 배치한다. 상기 채널의 경사각은 45° 미만인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 20°미만, 특히 바람직하게는 10° 미만이다.
또한, 상기 채널을 액체로 충전시키는 단계는 실질적으로 침지, 스프링클법(sprinkling), 또는 분무법에 의해 수행된다. 바람직한 액체는, 세정 용량을 증가시키는 첨가제(예: 표면 활성 성분)를 가지거나 가지지 않은, 주위 온도 또는 주위 온도보다 높은 온도의, 물이다.
상기 채널로부터 액체를 배출하는 단계는 실질적으로 중력에 의해 수행된다. 추가로, 압력이 가해질 수 있다.
전술한 물리적 요소는, 음향조사(acoustic irradiation) 또는 수용기(basin) 내에서의 추가적 유체 순환과 같은 기타 수력학적 효과에 의해 보완(support)될 수 있다.
본 발명의 특히 바람직한 구현예는, 상기 채널에 대해 액체를 충전 및 배출시키는 단계가, 채널 방향을 횡단하며 상기 번들 형태의 채널의 중력 중심 근방에 있는 축을 중심으로 채널을 선회(turning) 및/또는 회전(rotating)시킴으로써 수행되는 것을 특징으로 하며, 이 때, 상기 선회 및 회전은, 바람직하게는 상기 축의 레벨에 근접한, 상기 액체의 레벨에서 수행되며, 바람직하게는 상기 채널의 충전 및 배출 공정이 분 당 0.1 내지 2회의 빈도로 반복 수행될 수 있다. 바람직하게는, 전술한 세정 공정을 수행하는 중에 상기 액체의 레벨이 변할 수 있다.
본 발명을 수행하기 위한 장치는, 정해진 레벨, 경우에 따라서는 조정 가능한 레벨로 액체가 충전된 수용기; 및 번들 형태의 복수의 채널의 침지 및 현출상태가 유지되도록, 전술한 상태를 교대로 조작할 수 있는 지지 장치를 구비한다.
상기 지지 장치는 린스 케이지(rinsing cage)로 구성되어 있으며, 상기 린스 케이지는 상기 액체가 번들 형태의 복수의 채널을 통과하여, 상기 채널의 단부에 도달할 수 있도록, 상기 린스 케이지의 서로 대향하는 양측에 린싱 개방부(rinsing opening)가 구비되어 있으며, 번들 형태의 복수의 채널을 지지하기 위한 장치, 특히 클램핑 장치가 장착되어 있다.
또한, 본 발명의 바람직한 장치는 상기 린스 케이지가 작동 장치(actuation device)에 의해 상기 축을 중심으로 선회 및/또는 회전할 수 있도록 고안된 것을 특징으로 하며, 상기 린스 케이지의 축은 상기 채널의 중력 중심 영역, 즉, 상기 린싱 개방부의 대략 중앙에 위치해 있다.
본 발명에 따른 방법은 특히 촉매에 대해 높은 세정률을 나타냄으로써, 본 발명에 따라 세정된 촉매는 세정되지 않은 촉매에 비해서 실질적으로 증가된 촉매 활성을 나타낸다. 본 발명에 따라 처리된 촉매는 다시 활성을 회복하여, 탈질 플랜트, 탈다이옥신 플랜트, 및 이들 모두를 수행하는 플랜트에서 재사용될 수 있다.
도 1은 초기 위치에서의 본 발명의 장치를 도시한 단면도.
도 2 및 도 3은 본 발명의 방법에 따른 여러 단계에서 작동 중인 장치를 도시한 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 장치의 변형예를 도시한 도면.
도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 들어 본 발명에 대해 보다 상세하게 설명하나, 본 발명은 하기 실시예에 제한되지 않는다.
각각의 도면을 참조해 볼 때, 액체(2)를 포함하는 수용기(1)는 상기 액체(2)의 공급부(3) 및 배출부(4)가 장착되어 있으며, 여기서 배출부(4)는 상기 수용기(1)의 가장 하부에 위치해 있고, 아울러, 수용된 액체가 현출(現出)되도록 하는 위치에 이용된다. 수용기(1)에 수용된 액체(2)는 처리 센터(도시되지 않음)로 공급될 수 있고, 이후에 공급부(3)를 통해 수용기(1)로 다시 공급될 수 있다.
또한, 수용기(1)에서, 린스 케이지로서 고안된 지지 장치(5)는 중력 중심 영역에 근접하여 배치된 축(6)을 중심으로 선회 및 회전이 가능하다. 아울러, 상기 지지 장치의 작동을 위하여, 상기 축에 작동 장치가 플랜징되어 있다. 액체(2)는 린스 케이지(5)의 축(6) 높이에 근접한 레벨(7)로 상기 수용기 내에 충전되며, 이 때 상기 레벨은 수동으로 또는 레벨 조정자에 의해 조정될 수 있다.
린스 케이지(5)는 서로 대향하는 양측(8, 9)에 린싱 개방부(10)를 구비하여, 침지 중에 상기 린스 케이지가 액체(2)로 충전될 수 있도록 하고, 상부로의 운동 중에 배출될 수 있도록 한다. 이 린스 케이지(5)는 번들(11) 형태의 채널들(12)을 구비하며, 바람직하게는 린스 케이지 내의 번들(11) 형태의 복수의 채널(12)은 견고하게 상호 연결되어 있고 서로 평행하게 배치되며, 이 경우, 서로 평행한, 견고하게 상호 연결된 채널(12)들의 번들이 린스 케이지(5) 내에 위치하고, 이 때, 린스 케이지(5)가 선회하는 경우(도 2 및 도 3을 참조)에는 상기 번들 형태의 복수의 채널이 린스 케이지의 움직임을 따르며, 상기 번들 형태의 복수의 채널이 예를 들면, 지지 또는 클램핑 장치에 의해서 린스 케이지(5)에 지지되어 있는 경우에는 하나의 번들(11) 또는 하나 이상의 번들(11) 형태의 복수의 채널을 간격이 없도록 정확하게 린스 케이지(5)에 지지시킨다.
도 1을 참조해 보면, 채널(12)이 폐색물(13) 및 오물(14)에 의해 폐색되어 있다. 또한, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 린스 케이지가 선회하는 경우, 액체(2)가 한 쪽으로부터 채널로 도입되거나, 또는 다른 한 쪽에서부터 오물이 있는 쪽으로 선회한 다음에는 계속 채널(12)의 개방 단부로부터 도입된다. 전술한 바와 같이 도입된 액체(2)는 역방향 운동 중에 중력에 의해 채널(12)로부터 방출된다.
상기 작동 장치의 회전 속도 또는 조작 빈도는 가변적이며, 바람직하게는 반복 회수가 분 당 0.1 내지 2회이다. 본 발명에 따르면, 양쪽 방향으로부터 채널(12)을 액체(2)로 침지 및 배출시키는 것을 반복함으로써, 세정 효과를 높일 수 있다는 것이 확인되었다.
대안적으로 상기 채널을 충전하는 단계는, 끼얹기, 흩뿌리기, 또는 분무에 의해 수행된다. 이 경우, 린스 케이지의 움직임과 이에 따른 채널의 움직임은 전술한 바와 같지만, 세정용 수용기는 액체로 충전되지 않는다. 린스 케이지를 특정 수준으로 침지시키는 것과의 조합도 가능하다.
상기 오물 및 폐색물을 세정하기 위한 액체(2)로서는 실제의 오염물/오물의 종류에 따라서 다른 조성을 갖는 것이 이용할 수 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 상기 번들 형태의 복수의 채널에 대해 액체를 침지 및 배출시키는 단계는 채널(12)의 길이 방향을 횡단하는 방향으로 배치된, 상기 번들 형태의 복수의 채널의 중력 중심 영역에 근접한 축(6')을 중심으로 번들 형태 의 복수의 채널(12)을 회전시킴으로써 수행되며, 여기서, 상기 액체(2)의 레벨은 실질적으로 회전 축(6')의 레벨에 근접해 있다.
따라서, 전술한 경우에는 각각 수평 배향된 번들 형태의 복수의 채널(12)의 약 ½이 액체(2)에 침지될 수 있다. 번들 형태의 복수의 채널(12)이 액체(2)로 확실하게 침지 및 배출되도록, 축(6')은 수평 위치에 대해 경사각을 갖는다. 상기 경사각은 45˚ 미만인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 20˚ 미만, 특히 바람직하게는 10˚ 미만이다. 아울러, 상기 경사각은 가변적일 수 있으며, 예를 들면, 2회 내지 3회 선회한 다음, 바람직하게는 1회 선회한 다음, 상기 경사각을 상기 축의 다른 쪽에 대해서 변화시킬 수 있다. 아울러, 상기 침지 및 배출 단계는 분 당 0.1 내지 2회 반복 수행될 수 있다. 또한, 바람직하게는 액체(2)의 레벨(7)은 세정 시 각각의 단계에서 변화될 수 있다. 상기 채널의 충전은 끼얹기, 흩뿌리기, 또는 분무에 따라 수행될 수도 있다. 아울러, 상기 린스 케이지의 특정 충전 수준과의 조합도 가능하다.
예를 들어, 알코올 수용액(aqueous liquor)으로 채널을 세정하는 공정은 다양한 물리적, 화학적 힘이 상호 반응하는 복합적인 조작이다. 즉, 이러한 세정 공정은 물, 또는 활성 세정 성분의 수용액을 이용하여 수용성 석출물(14)을 제거하는 단계, 아울러 채널로부터 수용성 석출물(14)을 박리하는 단계로서 간주된다. 또한, 전술한 공정에 있어서, 예를 들면, 음향 조사에 의해, 또는 분산된 분획물을 안정화함으로써, 이미 박리된 불용성 분획물의 석출물이 다시 석출되는 것을 억제할 수 있다. 이 때, 상기 세정 공정에서의 세정제 및 수용성 화합물의 용매로서, 그리고 상기 분산된 분획물의 수송 매질로서 물을 이용한다. 상기 세정 조작은 기질의 습윤화 및 침투를 통해 개시된다.
본 발명의 방법에 따르면 특히 고효율의 촉매를 얻을 수 있음으로써, 본 발명에 따라 세정된 촉매는 세정되지 않은 촉매에 비해 촉매 활성이 실질적으로 증가하였음을 알 수 있다. 전술한 바와 같이 처리된 것으로서, 다시 활성화된 촉매는 탈질 장치, 탈다이옥신 장치, 및 이들의 조합 장치에 재사용될 수 있다.
본 발명에 따른 방법은 특히 촉매에 대해 높은 세정률을 나타냄으로써, 본 발명에 따라 세정된 촉매는 세정되지 않은 촉매에 비해서 실질적으로 증가된 촉매 활성을 나타낸다. 본 발명에 따라 처리된 촉매는 다시 활성을 회복하여, 탈질 플랜트, 탈다이옥신 플랜트, 및 이들 모두를 수행하는 플랜트에서 재사용될 수 있다.
Claims (25)
- 액체(2) 처리에 의하여, 견고하게 상호 연결되어 있으며 서로 평행하게 배치된 번들(11) 형태의 복수의 채널(12)로부터 오물(14) 또는 폐색물(13)을 제거하는 방법으로서,상기 채널의 단부로부터 상기 채널(12)에 상기 액체(2)를 충전시킨 다음, 충전된 액체(2)의 적어도 일부를 상기 단부를 통해 배출시키는 공정을 반복적으로 또는 교호적으로 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서,상기 액체(2)의 충전 및 배출을 위해, 상기 번들(11) 형태의 복수의 채널(12)을 수평 위치에 대해 경사각을 갖도록 배치하는 단계를 포함하며,상기 경사각이 45°미만인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 채널(12)을 침지법에 의해 액체(2)로 충전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 채널(12)을 스프링클법(sprinkle)에 의해 액체(2)로 충전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 채널(12)을 분무법에 의해 액체(2)로 충전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 채널(12)로부터의 액체 배출이 중력에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 채널(12)로부터의 액체 배출이 가압에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 채널(12)의 길이 방향을 횡단하는 방향으로 배치된 축(6)을 중심으로 채널(12)을 선회(turning) 또는 회전(rotating)시킴으로써, 상기 각각의 채널(12)에 대해 액체(2)를 침지 및 배출시키거나, 또는 각각의 채널에 대해 액체(2)를 배출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 채널(12)의 길이 방향으로 연장된 축(6')을 중심으로 상기 채널(12)을 선회 및 회전시킴으로써, 상기 각각의 채널(12)에 대해 액체(2)를 침지 및 배출시키거나, 또는 각각의 채널에 대해 액체(2)를 배출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항에 있어서,상기 채널(12)을 상기 액체(2)의 레벨(7) 높이에서 회전시키는 단계를 포함하며, 상기 액체(2)의 레벨(7) 높이가 상기 채널(12)의 선회 또는 회전 시의 축(6)의 높이와 대략 일치하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 채널(12)에 대해 액체를 충전 및 배출시키는 공정이 분 당 0.1 내지 2회의 빈도로 반복 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,주위 온도 또는 주위 온도보다 높은 온도의 물을 이용하여 세정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 정해지거나 또는 조정 가능한 레벨(7)로 액체(2)가 충전되는 수용기(1); 및 축(6)을 중심으로 선회 또는 회전이 가능한, 세정될 장비를 지지하기 위한 지지 장치(5)를 구비한 세정용 장치로서,상기 세정될 장비는, 견고하게 상호 연결되고 서로 평행 배향된 번들 형태의 복수개의 채널(12)을 포함하고, 상기 지지 장치(5)는, 상기 축(6)이 상기 채널의 길이 방향에 횡단하는 방향으로 연장되도록 상기 번들을 지지하는 것을 특징으로 하는 세정용 장치.
- 제13항에 있어서,상기 지지 장치(5)가, 액체를 통과시키는 린스 케이지(rinse cage)를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정용 장치.
- 제14항에 있어서,상기 액체(2)가 번들 형태의 복수의 채널(12)을 통과하여, 상기 채널(12)의 단부에 도달할 수 있도록, 상기 린스 케이지(5)가, 서로 대향하는 양측의 린싱 개방부(10)를 구비한 것을 특징으로 하는 세정용 장치.
- 제14항 또는 제15항에 있어서,상기 린스 케이지(5)는 번들(11) 형태의 복수의 채널(12)을 지지하기 위한 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 세정용 장치.
- 제14항 또는 제15항에 있어서,상기 린스 케이지(5)는 작동 장치(actuation device)에 의해 상기 축(6)을 중심으로 선회 또는 회전될 수 있는 것임을 특징으로 하는 세정용 장치.
- 제14항 또는 제15항에 있어서,상기 린스 케이지(5)가 작동 장치에 의해 상기 채널(12)에 평행한 축(6')을 중심으로 선회 또는 회전될 수 있는 것임을 특징으로 하는 세정용 장치.
- 제17항에 있어서,상기 린스 케이지(5)의 축(6)이, 상기 2개의 린싱 개방부(10)의 중앙에 위치한 중력 중심 영역에 근접하여 배치된 것을 특징으로 하는 세정용 장치.
- 제2항에 있어서,상기 경사각이 20°미만인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제2항에 있어서,상기 경사각이 10°미만인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항에 있어서,상기 축은 또한 상기 번들(11) 형태의 복수의 채널(12)의 중력 중심 영역에 근접해 배치된 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서,상기 축은 또한 상기 번들(11) 형태의 복수의 채널(12)의 중력 중심 영역에 근접해 배치된 것을 특징으로 하는 방법.
- 제12항에 있어서,상기 세정단계는 세정능을 높이기 위해 첨가제로서 표면 활성 성분을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 번들(11) 형태의 복수의 채널(12)을 지지하기 위한 장치는 클램핑 장치인 것을 특징으로 하는 세정용 장치.
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