KR100798151B1 - 밀봉재 밀봉방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 주변 환경에 민감한 박막 디바이스를 보호하기에 적합하도록 한 쌍의 유리 패키지를 밀봉재(sealant)를 이용하여 밀봉하는 방법에 관한 것으로, 에너지 세기가 균질화되고 프로파일이 성형된 레이저 라인빔을 이용하여 한 쌍의 유리 패키지를 밀봉하는 밀봉재 밀봉방법에 관한 것이다.

이를 위하여 본 발명은 레이저 발진기로부터 발생되는 빔을 마이크로광학계를 이용하여 소정 프로파일을 갖는 라인 빔, 또는 작업 빔으로 성형하고, 이러한 작업 빔을 작업물에 나란히 배치함으로써 도포된 밀봉재를 따라 소정 거리를 이동할 필요 없이 밀봉을 수행할 수 있으며, 상기 작업 빔이 도포된 밀봉재의 프로파일에 따른 소정의 세기 프로파일을 가지므로 균일하게 밀봉재를 용융시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 레이저 빔을 이용하여 밀봉재의 도포상태정보와 용융상태정보를 판독하여 이에 따라 작업 빔의 세기 프로파일을 형성함으로써 가공 정확성을 달성할 수 있다.

밀봉재, 라인 빔, 마이크로광학계, 제어유닛, 레이저 밀봉(Laser sealing)

Description

밀봉재 밀봉방법{FRIT SEALING METHOD USING A LASER SYSTEM}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 면광원을 이용한 평판디스플레이용 유리판 패키지 밀봉재 밀봉방법을 설명하는 개략도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔 프로파일 변환기의 개략적인 분해 사시도,

도 3은 본 발명의 일 실시예에 다른 라인 빔을 이용하여 유리기판을 동시에 밀봉재 밀봉하는 방법을 설명하기 위한 개략도,

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 밀봉재 밀봉과정을 설명하는 플로우챠트.

본 발명은 주변 환경에 민감한 박막 디바이스를 보호하기에 적합하도록 한 쌍의 유리 패키지를 밀봉재 밀봉하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 성형된 레이저 라인 빔을 이용하여 한 쌍의 유리 패키지를 밀봉재 밀봉하는 방법에 관한 것이다.

예를 들어, 유기 발광 다이오드(OLED)디스플레이, LCD 디스플레이, 및 PDP 디스플레이와 같은 디스플레이, 센서, 및 다른 광학 디바이스 들은 그 내부에 전극, 데이터 라인(Data Line) 및 유기층, 발광원을 구비하므로 외부로부터 산소 및 수분이 그 디스플레이 내로 유입되는 것을 방지하는 것이 매우 중요하다.

종래에는 외부로부터 산소 및 수분이 디스플레이 내로 유입되는 것을 방지하기 위해서 이러한 전극 및 유기층을 덮는 한 쌍의 유리기판을 밀봉재을 이용하여 밀봉하는 방법이 사용되었다.

일반적으로 밀봉재는 상판과 하판을 봉합하는 데 사용되는 물질로, 유리성분의 저온 용융 재료이며 일반적으로 글라스 프릿이라는 분말 유리를 의미하지만, 디스플레이 패널에서는 상판과 하판을 봉합하는데 사용하는 유전체 페이스를 통칭하여 부른다.

이러한 밀봉재는 산소 및 물에 대한 장벽을 제공하여야 하며 그 기밀 밀봉 두께가 OLED 디스플레이와 같은 소형 디스플레이인 경우에 예를 들어 2mm 이하, 바람직하게는 1mm 이하여야 한다.

한편, 밀봉 공정 동안 발생되는 온도가 디스플레이 내의 전극 및 유기층에 손상을 입혀서는 안 된다.

종래에는 유리기판 사이에 밀봉재을 배치하고 고온에서 열 경화시키거나 UV 램프를 사용하여 경화시켜 밀봉하였다.

따라서 디스플레이 내부의 전극 또는 유기층의 금속요소에 열이 전달될 뿐만 아니라 소정의 영역 이외의 영역을 가열하기 때문에 유리기판상의 국부 영역을 가공하는 데에는 어려움이 있었다.

또한, 밀봉재를 유리기판의 테두리를 따라 격벽을 형성하도록 도포할 때, 균일하게 도포되지 않는 문제점이 있었다. 따라서 불균일하게 도포된 밀봉재에 균일한 열을 가할 경우 열 흡수율의 차이에 의해서 밀봉재가 불균일하게 용융되는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 레이저를 이용하여 유리기판의 테두리를 따라 도포된 밀봉재를 레이저로 조사하여 용융하는 경우에 레이저 또는 유리기판을 이동시켜야 하며, 이러한 위치 이동은 가공 성능을 열화시키며 밀봉재의 불균일한 용융을 야기할 수 있었다.

따라서 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 에너지세기가 균질화되고 세기 프로파일이 성형된 레이저 라인 빔을 이용하여 소정의 가공영역 이외의 영역에 열 영향을 주지 않고 밀봉을 수행할 수 있는 밀봉재 밀봉방법을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 유리기판 상에 도포된 밀봉재의 도포상태정보를 판독하고 이에 따라 레이저 라인 빔의 패턴을 성형함으로써 밀봉재 밀봉의 효율성을 향상시킨 밀봉재 밀봉방법을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 유리기판 상에 소정 영역에 걸쳐 도포된 밀봉재를 동시에 용융시킬 수 있는 밀봉재 밀봉방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 이러한 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따르면, 레이저 발진기와, 레이저의 세기 프로파일을 균질화하는 마이크로광학계와, 상기 레이저 발진기의 레이저 빔 발생을 단속하는 셔터를 포함하는 레이저시스템을 이용하여 한 쌍의 유리기판을 밀봉재 밀봉하는 레이저를 이용한 밀봉재 밀봉방법이 제공된다.

상기 레이저를 이용한 밀봉재 밀봉방법은 레이저 빔을 조사하여 한 쌍의 유리기판 중 적어도 하나에 도포된 밀봉재의 도포상태정보를 얻는 단계와, 상기 밀봉재의 도포상태정보에 따라 상기 레이저 시스템의 마이크로광학계를 제어하여 상기 밀봉재의 도포상태정보에 대응하는 레이저 라인 빔을 형성하는 단계와, 상기 레이저 라인 빔의 프로파일이 대상 밀봉재의 프로파일에 겹치게 배치하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 레이저 라인 빔의 프로파일이 대상 밀봉재의 프로파일에 겹치게 배치하는 단계는 레이저 라인 빔의 반사량을 통해 상기 대상 밀봉재의 용융상태 정보를 알리는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 레이저 라인 빔은 X축과 Y축에 나란하게 이동가능한 각 한 쌍씩의 레이저 라인 빔을 구비할 수도 있다.

상기 밀봉재의 도포상태 정보는 밀봉재의 단면 프로파일, 밀봉재의 위치정보, 밀봉재의 물질정보를 포함할 수도 있다.

상기 밀봉재의 위치정보가 불연속적인 경우에 상기 셔터를 이용하여 상기 레이저 라인 빔을 단속시켜, 라인 빔 사이에 소정의 폭의 공간을 형성할 수도 있다.

상기 레이저 라인 빔 프로파일이 가우시안 형상을 가질 수도 있다.

상기 레이저 라인 빔 프로파일이 플랫 형상을 가질 수도 있다.

상기 레이저 시스템을 통해 밀봉재에 조사된 빔은 반사되어 비젼에 입력되어 밀봉재 영상 정보를 형성하며, 상기 비젼은 밀봉재 영상 정보를 제어 유닛에 전달하고 제어 유닛은 그 내부에 저장된 밀봉재 프로파일 정보에 따른 레이저 빔 세기 프로파일을 결정하기 위하여 상기 마이크로광학계를 배열하는 정보에 기초하여 레이저 빔 프로파일 변환 명령을 상기 레이저 시스템에 전달할 수도 있다.

상기 제어 유닛은 상기 밀봉재 도포상태 정보에 따라 면취수, 레이저 라인 빔의 길이, 레이저 세기 프로파일, 및 레이저 빔 모드 프로파일을 결정할 수도 있다.

상기 마이크로 광학계는 원통형 렌즈가 접속되어 구성된 접속렌즈배열과 접속 렌즈배열로부터의 작은 빔을 모으는 초점렌즈를 포함할 수도 있다.

상기 초점렌즈는 오목렌즈를 이용할 수 있다.

이제 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 라인빔을 이용한 밀봉재 밀봉방법을 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 면광원을 이용한 평판디스플레이용 유리판 패키지 밀봉재 밀봉방법을 설명하는 개략도이다.

본 실시예에 있어서, OLED 디스플레이와 관련하여 설명되었지만, 동일 유사한 밀봉 공정은 한 쌍의 유리판을 서로 밀봉할 필요가 있는 다른 PDP, LCD, FED 기타 다른 평판디스플레이 또는 광학 소자에 대하여 적용될 수 있다는 것은 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진자에게 자명할 것이다.

도 1을 참조하면, OLED 디스플레이(100)는 상부 유리기판(101)과 하부 유리기판(102)이 준비되고, 상기 상부 유리기판(101) 또는 하부 유리기판(102) 중 적어도 하나에 대하여 OLEDs(104)를 구성하는 전극, 하나 또는 그 이상의 유기층을 증착하고, 상기 상부 유리기판(101) 또는 하부 유리기판(102)의 모서리를 따라 밀봉재(frit; 프릿)(106)를 증착하여 구성된다.

상기 밀봉재(106)는 상기 유기기판(101, 102)의 모서리를 따라 배치되며 열을 흡수하여 용융될 수 있도록 구성된 저온 유리 밀봉재를 이용한다. 이 때, 상기 밀봉재(106)는 상기 유리기판(101, 102)의 열팽창계수를 고려하여 실질적으로 정합할 수 있도록 상기 유리기판(101, 102)의 모서리로부터 소정 거리 대략 1mm 이내 떨어져 배치될 수도 있다.

상기 유리기판(101, 102)을 서로 대향배치한 후 본 발명의 일 실시예에 따르면 레이저 시스템(110)을 이용하여 면광원을 조사함으로써 상기 밀봉재(106)를 용융시켜 상기 상하부 유리기판(101, 102) 사이에 기밀 밀봉부(108)를 형성한다.

상기 밀봉재(106)는 하나 또는 그 이상의 전이 금속이 도핑되어 특정한 파장에 대해서 흡수 특성을 강화하여 쉽게 연화될 수 있으며, 상기 상하부 유리기판(101, 102)은 반대로 특정한 파장에서 비교적 낮은 흡수율을 갖도록 하였다.

한편, 상기 레이저시스템(110)은 레이저 빔을 상기 밀봉재(106)에 조사하여 이로부터 반사되는 광을 비젼(130)을 통해 분석하여 밀봉재의 도포위치, 물성, 두께분포와 같은 도포상태정보를 파악하고 제어유닛(150)에 전달한다.

상기 제어유닛(150)은 상기 비젼(130)으로부터 전달된 밀봉재의 도포상태정 보를 내부 저장부에 저장하고, 레이저 라인 빔을 상기 밀봉재의 도포상태정보에 정합할 수 도록 성형하기 위하여 빔 프로파일 변환명령을 생성한다.

상기 빔 프로파일 변환명령은 상기 제어유닛(150)의 데이터베이스에 저장되어 있는, 밀봉재 도포상태정보 및 이에 대응하여 레이저 라인 빔의 길이, 폭, 높이, 세기 단면 프로파일, 및 출력을 제어할 수 있도록 사전에 정의된 마이크로광학계 배열 제어정보를 검색하여 상기 입력된 밀봉재의 도포상태정보와 비교하여, 해당 밀봉재의 도포상태정보에 대응하는 빔 프로파일정보(레이저 라인빔의 길이, 폭, 높이, 세기 단면 프로파일, 및 출력)변환명령을 레이저시스템(110)에 전달한다.

이에 따라 레이저 시스템(110)은 상기 빔 프로파일정보에 따라 마이크로광학계 배열시켜 빔의 프로파일을 결정하도록 구성되어 있다.

이제 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔 프로파일의 변환과정에 대하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔 프로파일 변환기의 개략적인 분해 사시도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 밀봉재 밀봉방법에 사용된 레이저시스템(110)은, 레이저 빔을 발생하는 레이저 발진기(111)와, 분균일한 세기 프로파일(115)을 갖는 레이저 빔을 소정의 형상을 갖는 프로파일, 예를 들어 y 축방향으로 소정 길이를 갖는 직사각형, 즉, 플랫형 프로파일(115A) 또는 y축 방향으로 소정길이를 갖고, 가운데가 두꺼운 가우시안 분포의 프로파일(115A)로 변환하기 위한 마이크로광학계(117)를 구비한다. 상기 가우시안 분포의 프로파일(115A)은 밀봉재가 도포될 때 가운데가 두껍게 도포된 경우에 이용되어 불균일하게 도포된 밀봉재를 균일하게 용융시킬 수 있다.

따라서, 밀봉재가 유리기판의 테두리를 따라 격벽을 형성하도록 도포된 경우, 예를 들어 y축을 따라 길게 도포되고, x축을 따르는 소정 폭, z축을 따라 소정 높이를 갖는 경우에 이에 대응하여 y축을 따라 소정 길이를 갖고, x축을 따르는 소정 폭(D1), z축을 따라 소정 높이(D2)를 갖는 라인 빔(115A)를 조사하여 y축을 따라 길게 도포된 밀봉재을 따라 레이저의 스폿을 이동시키지 않고도 한번에 밀봉재(106)를 가공할 수 있다.

상기 마이크로광학계(117)는 레이저의 전체 범위의 빔 형상을 새로 만들기 위한 것으로 원기둥 렌즈배열이나 교차된 원기둥 렌즈의 단일형태의 렌즈 배열을 사용하며, 에너지세기를 균질화하도록 구성된다.

예를 들어, 가장 간단하게 상기 마이크로광학계(117)은 초점길이 f_f 의 접속렌즈에 의해 초점길이 f 의 교차된 원기둥 렌즈의 배열로 구성한다.

사각의 작은 렌즈의 배열은 열린 개구 p를 가지며, 렌즈의 배열에 시준된 빛은 사각의 빔형상의 작은 빔으로 작은 렌즈의 굴절율 차이에 의해 나누어진다. 각각의 작은 빔은 렌즈배열에 의해 모아지고 초점평면 뒤에 발산된다.

오목렌즈를 상기 원기둥 렌즈배열 전면에 두면 광축의 D/2 거리안에 초점 평면을 가득 채우기 위해 각각의 작은 빔들을 굴절시킨다.

즉 광학거리는 다음 수학식 1처럼 주어진다.

D=p*f_f/f

즉, 균질하지 않은 레이저 빔이 집속 렌즈의 초점 평면에서 작은 빔으로 나누어지고 이러한 빔들이 간섭되어 균질화 될 것이다.

이 때 시준된 레이저 빔의 폭을 W라 할 때 상기 접속 렌즈배열을 지난 레이저 빔은 확장되고 광축으로부터 측정되는 빔의 발산각 θ_div 은 다음의 수학식 2와 같이 주어진다.

tanθ_div=1/2((W+D)/f_f)=1/2(W/f_f+p/f)

즉, 상기 마이크로광학계(117)를 통과한 빔은 균질한 에너지세기를 가지며 발산각 θ_div 을 갖는 레이저 라인 빔이 형성될 것이다.

이러한 라인 빔을 이용하여 유리기판(101. 102)을 프릿 밀봉하는 밀봉재 밀봉방법을 실시예를 들어 설명한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 라인 빔을 이용하여 유리기판을 동시에 밀봉재 밀봉하는 방법을 설명하기 위한 개략도이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 시스템은 4대의 레이저(111a, 111b, 111c, 111d)를 구비하여 4개의 라인 빔(110a)을 형성할 수 있다.

상기 레이저 (111a, 111b, 111c, 111d)는 각각 x축과 y축을 따라 각각 한 쌍씩 나란히 배열되어 소정의 길이와 높이를 갖는 직사각형의 라인 빔 테두리(110a) 를 만들 수 있다. 물론 상기 레이저 중 한대를 이용하고 반사경을 이용하여 상기 레이저 라인빔을 반사시켜 직사각형 라인빔을 형성할 수도 있을 것이나, 출력 상의 문제로 4대의 레이저를 이용하였다.

이 때 상기 라인 빔은 모두 균일한 세기 프로파일을 가지므로 상기 유리기판의 밀봉재의 도포방향에 나란하게 배치하기만 하면 유리기판(101, 102)을 동시에 밀봉재 밀봉할 수 있다.

또한, 셔터(113)(도 2참조)를 상기 마이크로 광학계에 전방 또는 후방에 두어 일정 시간 동안 작은 레이저 빔이 단속되도록 함으로써 레이저 라인 빔의 y축 방향 프로파일을 변화시킬 수 있다.

따라서 밀봉재(106)의 두께가 불균일한 경우, 예를 들어 z축 방향에 대하여 가운데서 두꺼운 가우시안 분포를 따르는 경우에 z축 방향 에너지 세기 분포를 가우시안 분포를 따르도록 하여 밀봉재의 z축 프로파일과 겹치게 함으로써 밀봉재의 z축 방향 불균일한 두께에 무관하게 밀봉재가 동시에 융해될 수 있다.

또한, 4면취, 8면취, 및 16 면취와 같이 한 장의 유리기판에 4개, 8개, 16 개 등의 디스플레이를 형성하기를 원할 경우에 셔터(113)를 상기 마이크로 광학계 전방에 배치함으로써 상기 라인 빔이 스트라이프 형상을 이루게 할 수 있어서 동시에 여러 장의 디스플레이를 밀봉재 밀봉할 수 있다.

즉, 스트라이프형 라인 빔을 x축 방향과 y축 방향으로 교차시켜 소정의 디스플레이의 폭과 길이를 형성함으로써 구역을 지정하여 4면취, 8면취, 및 16면취의 공정을 수행할 수 있는 것이다.

이제 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판의 밀봉재 밀봉방법에 관하여 도 4를 참조하여 간단히 설명하겠다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 밀봉재 밀봉과정을 설명하는 플로우챠트이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 밀봉재 밀봉 과정은 먼저 레이저 빔을 밀봉재(106)에 조사하여 밀봉재(106)로부터 반사된 빔을 비젼(130)이 입력받는다(S10).

상기 비젼(130)이 상기 밀봉재의 영상 정보를 제어유닛(150)에 출력하면, 제어유닛(150)은 그 내부의 저장부에 이를 저장하고(S20), 데이터베이스에 저장된 밀봉재의 프로파일 및 위치 상태 정보에 따른 레이저 라인 빔의 프로파일 및 라인 빔의 길이, 위치 상태 정보와 비교한다(S30).

이 때, 제어유닛(150)은 유리기판의 면취수와 레이저 세기 프로파일, 레이저 라인빔의 길이, 라인빔 프로파일의 높이 및 폭, 발산각 등을 개별적으로 결정하고 레이저 빔 변환 명령을 레이저 시스템(110)에 전송한다(S40).

상기 레이저 시스템(110)내의 마이크로 광학계(117)와 셔터(130)는 상기 레이저 빔 변환 명령에 따라 레이저 빔의 프로파일에 따라 렌즈배열을 결정하며, 레이저 발진을 단속한다(S50)

레이저 시스템(110)은 밀봉재의 단면 프로파일이 가우시안 분포를 가지면 세기 프로파일도 가우시안 분포를 갖는 레이저 라인 빔을 조사할 수 있으며, 플랫 형상이면 세기 프로파일도 플랫 분포인 레이저 라인 빔을 조사할 수 있다(S60).

유리기판의 테두리를 따라 상기 레이저 라인 빔이 배치됨으로써 상기 밀봉재의 배열 형태에 따라 레이저 라인 빔이 배열되어 동시에 밀봉재를 용융할 수 있다(S70).

한편, 상기 레이저 빔을 반사되어 유리기판의 융합이 성공적인지 여부에 관한 정보를 상기 비젼(130)을 통해서 상기 제어유닛(150)에 전달할 수 있으며, 이에 따라 제어유닛(150)은 4개의 레이저 중 해당 레이저를 선택적으로 이용하여 융합이 제대로 되지 않은 부분을 찾아 융합할 수 있다(S90).

또한, 면취수에 따라 셔터의 배치를 결정함으로써 동시에 한쌍의 유리기판을 봉합할 수 있을 뿐만 아니라 여러 면취의 유리기판을 봉합할 수 있다.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

따라서 본 발명의 일 실시예에 따르면 레이저를 이용하여 소정의 가공영역이외의 영역에 열 영향을 미치지 않고 밀봉재 밀봉을 수행할 수 있는 밀봉재 밀봉방법을 제공할 수 있다.

또한, 유리기판상에 도포되는 밀봉재의 밀봉재 도포상태정보를 판독하고 이에 따라 레이저 라인빔의 프로파일을 성형함으로써 밀봉재 밀봉의 효율성을 높힌 밀봉재 밀봉방법을 제공할 수 있다.

또한, 유리기판 상에 밀봉재가 불균일하게 도포될지라도 밀봉재를 동시에 용융시킬 수 있는 밀봉재 밀봉방법을 제공할 수 있다.

또한, 유리기판의 테두리를 따라 형성된 밀봉재를 따라 레이저 빔을 이동시킬 필요가 없이 한번에 유리기판의 테두리를 따라 형성된 밀봉재를 밀봉할 수 있다.

Claims (13)

1. 레이저 발진기와, 레이저의 세기 프로파일을 균질화하는 마이크로광학계와, 상기 레이저 발진기의 레이저 빔 발생을 단속하는 셔터를 포함하는 레이저시스템을 이용하여 한 쌍의 유리기판을 밀봉재 밀봉하는 밀봉재 밀봉방법에 있어서,

   레이저 빔을 조사하여 한 쌍의 유리기판 중 적어도 하나에 도포된 밀봉재의 도포상태정보를 얻는 단계와,

   상기 밀봉재의 도포상태정보에 따라 상기 레이저 시스템의 마이크로광학계를 제어하여 상기 밀봉재의 도포상태정보에 대응하는 레이저 라인 빔을 성형하는 단계와,

   상기 레이저 라인 빔의 프로파일이 대상 밀봉재의 프로파일에 겹치게 배치하는 단계를 포함하는 밀봉재 밀봉방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 레이저 라인 빔의 프로파일이 대상 밀봉재의 프로파일에 겹치게 배치하는 단계는 레이저 라인 빔의 반사 량을 통해 상기 대상 밀봉재의 용융상태 정보를 알리는 단계를 더 포함하는 밀봉재 밀봉방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 레이저 라인 빔은 X축과 Y축에 나란하게 이동가능한 각 한 쌍씩의 레이 저 라인 빔을 구비하는 밀봉재 밀봉방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 레이저 라인 빔을 반사경을 이용하여 반사시켜줌으로써 사각형의 테두리를 따라 이동하도록 하는 밀봉재 밀봉방법.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 밀봉재의 도포상태 정보는 밀봉재의 단면 프로파일, 밀봉재의 위치정보, 밀봉재의 물질정보를 포함하는 레이저를 이용한 밀봉재 밀봉방법.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 밀봉재가 불연속적으로 도포된 경우에 상기 셔터를 이용하여 상기 레이저 라인 빔이 단속되는 밀봉재 밀봉방법.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 레이저 라인 빔의 z축 세기 프로파일이 가우시안 형상을 갖는 레이저를 이용한 밀봉재 밀봉방법.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 레이저 라인 빔의 z축 세기 프로파일이 플랫 형상을 갖는 레이저를 이 용한 밀봉재 밀봉방법.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 레이저 시스템을 통해 밀봉재에 조사된 빔의 일부가 반사되어 비젼에 입력되고, 비젼은 반사된 빔을 이용하여 밀봉재 도포상태정보를 형성하는 밀봉재 밀봉방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 비젼은 상기 밀봉재도포상태정보를 제어 유닛에 전달하고 제어 유닛은 이를 저장하고, 그 내부에 저장된 밀봉재도포상태정보 및 이에 따른 레이저 라인빔 프로파일정보와 비교하여 상기 마이크로광학계를 배열하기 위한 레이저 라인빔 프로파일 변환 명령을 생성하는 밀봉재 밀봉방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 제어 유닛은 상기 밀봉재도포상태 정보에 따라 면취수, 레이저 라인 빔의 길이, 라인 빔의 폭, 높이, 셔터의 위치, 레이저 세기 프로파일, 및 출력을 결정하고 이에 따라 마이크로광학계를 배열하는 밀봉재 밀봉방법.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 마이크로 광학계는 원통형 렌즈가 접속되어 구성된 접속렌즈배열과 접 속 렌즈배열로부터의 빔을 밀봉재에 조사하기 위한 초점렌즈를 포함하는 레이저를 이용한 밀봉재 밀봉방법.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 초점렌즈는 오목렌즈를 이용하는 밀봉재 밀봉방법.

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