KR100793363B1 - 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 - Google Patents
레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (14)
- 광원장치;상기 광원장치 하부에 위치하는 시준렌즈(collimation lens);상기 시준렌즈 하부에 위치하는 비대칭 디오이 렌즈 어레이(asymmetrical DOE lens array); 및상기 비대칭 디오이 렌즈 어레이 하부에 위치하는 원통형 렌즈(cylinderical lens)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 디오이 렌즈 어레이는 투명성 재질로 이루어진 복수의 비대칭 디오이 렌즈의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 디오이 렌즈 어레이는 상기 시준렌즈와 상기 원통형 렌즈 사이를 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 디오이 렌즈는 1/4구 형상, 블레이즈(blaze)형상, 계단 형상 및 판상 형상 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 디오이 렌즈의 초점거리는 10~300㎜ 인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 디오이 렌즈의 피치는 60~500㎛ 인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 디오이 렌즈와 상기 원통형 렌즈 사이의 거리는 5~250㎜인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 원통형 렌즈의 초점거리는 10~300㎜ 인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 투명성 재질은 유리 또는 투명성 플라스틱인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 전극이 형성된 기판을 제공하고;기재층, 상기 기재층 상에 광-열변환층 및 상기 광-열변환층 상에 전사층을 차례로 적층하여 제조한 레이저 전사용 도너기판을 제공하고;상기 전사층이 상기 기판과 대향하도록 서로 이격되어 배치하고;광원장치, 상기 광원장치 하부에 위치하는 시준렌즈, 상기 시준렌즈 하부에 위치하는 비대칭 디오이 렌즈 어레이, 및 상기 비대칭 디오이 렌즈 어레이 하부에 위치하는 원통형 렌즈를 포함하는 레이저 조사장치를 이용하여 상기 기재층의 일부 영역에 레이저를 조사하여 상기 전사층의 전사를 수행하여 상기 기판 상에 유기막층 패턴을 형성하는 것을 포함하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 비대칭 디오이 렌즈 어레이는 투명성 재질로 이루어진 복수의 비대칭 디오이 렌즈의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 비대칭 디오이 렌즈는 상기 시준렌즈와 상기 원통형 렌즈 사이를 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 원통형 렌즈는 상기 도너기판과 상기 비대칭 디오이 렌즈 어레이 사이를 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 레이저 조사장치는 멀티 스캔 방식을 수행하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
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2006
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