KR100782467B1 - 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 - Google Patents
레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100782467B1 KR100782467B1 KR1020060045886A KR20060045886A KR100782467B1 KR 100782467 B1 KR100782467 B1 KR 100782467B1 KR 1020060045886 A KR1020060045886 A KR 1020060045886A KR 20060045886 A KR20060045886 A KR 20060045886A KR 100782467 B1 KR100782467 B1 KR 100782467B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- lens
- light emitting
- asymmetric
- layer
- laser irradiation
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/30—Collimators
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
- G02B3/06—Simple or compound lenses with non-spherical faces with cylindrical or toric faces
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/18—Deposition of organic active material using non-liquid printing techniques, e.g. thermal transfer printing from a donor sheet
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
- H10K71/211—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by selective transformation of an existing layer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Description
형 렌즈(240) 사이를 상하로 이동 가능하기 때문에 상기 비대칭 마이크로 렌즈(230a)의 초점 거리를 조절할 수 있으므로 화소영역의 패턴너비를 자유자재로 조절할 수 있다.
블루(B) 중 어느 하나를 나타내는 서브화소의 너비를 S2, 상기 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 모두를 나타내는 단위화소의 너비를 P2라 하며, P2는 60~500㎛ 이다.
비대칭 마이크로 렌즈(230a)의 너비를 S1, 상기 비대칭 마이크로 렌즈(230a)의 피치를 P1이라 하며, P1은 60~500㎛ 이다. 상기 비대칭 마이크로 렌즈(230a)에 의한 상기 원통형 렌즈(240)의 피치를 Px이라 하고, Px는 0보다는 크며 491(2/3)㎛와 같거나 작다.
크로 렌즈 어레이(230)를 통과한 레이저빔을 단측 방향으로 짧아지게 한다. 예를 들면, 정사각형 레이저빔은 직사각형 레이저빔으로 변형시키고, 원형 레이저빔은 타원형 레이저빔으로 변형시켜서 패턴의 너비를 조절할 수 있다. 또한 상기 원통형 렌즈(240)를 통과한 레이저빔은 균일한 강도를 갖는다.
Claims (19)
- 광원장치;상기 광원장치 하부에 위치하는 시준렌즈(collimation lens);상기 시준렌즈 하부에 위치하는 비대칭 마이크로 렌즈 어레이(asymmetrical microlens array); 및상기 비대칭 마이크로 렌즈 어레이 하부에 위치하는 원통형 렌즈(cylinderical lens)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈 어레이는 투명성 재질로 이루어진 복수의 비대칭 마이크로 렌즈의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈 어레이는 상기 시준렌즈와 상기 원통형 렌즈 사이를 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈의 초점거리는 10~300㎜ 인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈의 피치는 60~500㎛ 인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈와 상기 원통형 렌즈 사이의 거리는 5~250㎜인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 원통형 렌즈의 초점거리는 10~300㎜ 인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 투명성 재질은 유리 또는 투명성 플라스틱인 것을 특징으로 하는 레이저 조사장치.
- 제 1 전극이 형성된 기판을 제공하고;기재층, 상기 기재층 상에 광-열변환층 및 상기 광-열변환층 상에 전사층을차례로 적층하여 제조한 레이저 전사용 도너기판을 제공하고;상기 전사층이 상기 기판과 대향하도록 서로 이격되어 배치하고;광원장치, 상기 광원장치 하부에 위치하는 시준렌즈, 상기 시준렌즈 하부에위치하는 비대칭 마이크로 렌즈 어레이, 및 상기 비대칭 마이크로 렌즈 어레이 하부에 위치하는 원통형 렌즈를 포함하는 레이저 조사장치를 이용하여 상기 기재층의 일부 영역에 레이저를 조사하여 상기 전사층의 전사를 수행하여 상기 기판 상에 유기막층 패턴을 형성하는 것을 포함하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 도너기판은 상기 광-열변환층과 상기 전사층 사이에 가스생성층을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈 어레이는 투명성 재질로 이루어진 복수의 비대칭 마이크로 렌즈의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈는 상기 시준렌즈와 상기 원통형 렌즈 사이를 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈의 초점거리는 10~300㎜ 인 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈의 피치는 60~500㎛ 인 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 원통형 렌즈는 상기 도너기판과 상기 비대칭 마이크로 렌즈 어레이 사이를 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 원통형 렌즈의 초점거리는 10~300㎜ 인 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 비대칭 마이크로 렌즈와 상기 원통형 렌즈 사이의 거리는 5~250㎜인 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 원통형 렌즈와 상기 도너기판 사이의 거리는 5~250㎜인 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 레이저 조사장치는 멀티 스캔 방식을 수행하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060045886A KR100782467B1 (ko) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060045886A KR100782467B1 (ko) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070112676A KR20070112676A (ko) | 2007-11-27 |
KR100782467B1 true KR100782467B1 (ko) | 2007-12-05 |
Family
ID=39090925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060045886A KR100782467B1 (ko) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100782467B1 (ko) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020034875A (ko) * | 2000-10-31 | 2002-05-09 | 존 비. 메이슨 | 마이크로 전기 기계 구조의 광 변조기 및 광 디스플레이시스템 |
KR20060026788A (ko) * | 2004-09-21 | 2006-03-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법 |
KR20060027742A (ko) * | 2004-09-23 | 2006-03-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법 |
-
2006
- 2006-05-22 KR KR1020060045886A patent/KR100782467B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020034875A (ko) * | 2000-10-31 | 2002-05-09 | 존 비. 메이슨 | 마이크로 전기 기계 구조의 광 변조기 및 광 디스플레이시스템 |
KR20060026788A (ko) * | 2004-09-21 | 2006-03-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법 |
KR20060027742A (ko) * | 2004-09-23 | 2006-03-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070112676A (ko) | 2007-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100611767B1 (ko) | 레이저 전사용 도너 기판 및 그 필름을 사용하여 제조되는유기 전계 발광 소자의 제조 방법 | |
US8575649B2 (en) | Donor substrate and method of fabricating organic light emitting diode using the same | |
KR20120113747A (ko) | 도너 기판, 패터닝 방법 및 디바이스의 제조 방법 | |
EP1852921A2 (en) | Donor substrate for a flat panel display and method of fabricating an organic light emitting diode (OLED) display using the same | |
KR100623694B1 (ko) | 레이저 전사용 도너 기판 및 그 기판을 사용하여 제조되는유기 전계 발광 소자의 제조 방법 | |
JP6143278B2 (ja) | ドナーフィルム及びこれを用いた有機発光表示装置の製造方法、並びにこれを用いて製造された有機発光表示装置 | |
KR20070096082A (ko) | 레이저 전사용 도너기판 및 그 기판을 사용하여 제조되는유기전계발광소자의 제조방법 | |
KR100731728B1 (ko) | 레이저 전사용 도너 기판 및 이를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법 | |
KR100782468B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100782466B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100782470B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100796595B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100782467B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100782469B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법. | |
KR100742384B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR20070073457A (ko) | 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법 및 이를이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법 | |
KR100793363B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100796596B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100796597B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR20070107527A (ko) | 유기전계발광소자의 제조방법 | |
KR100793364B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100810636B1 (ko) | 레이저 전사용 도너 기판, 그의 제조 방법 및 이를 이용한유기전계발광소자의 제조 방법 | |
KR100796594B1 (ko) | 도너기판, 그의 제조방법 및 그를 이용한유기전계발광소자의 제조방법 | |
KR20080007001A (ko) | 레이저 조사장치 및 그를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100635057B1 (ko) | 평판 표시 소자용 도너 필름의 제조 방법 및 이를 이용한유기 전계 발광 소자의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121102 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131031 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141030 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151030 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171101 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181101 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191028 Year of fee payment: 13 |