KR100790566B1

KR100790566B1 - Semiconductor visual inspection facility

Info

Publication number: KR100790566B1
Application number: KR1020020010908A
Authority: KR
Inventors: 김영삼; 이일표; 김영길; 이민석
Original assignee: 주식회사 하이닉스반도체
Priority date: 2002-02-28
Filing date: 2002-02-28
Publication date: 2008-01-02
Also published as: KR20030071273A

Abstract

본 발명은 반도체 광학 검사장비에 관한 것으로, 이를 위한 구성은, 피사체의 상태를 검사하는 광학부와, 상기 광학부에 연결되어서 이를 고정시키는 지지기능을 수행하는 지지축과, 상기 지지축이 연결되며, 검사장비의 기준이 되는 부분으로 전체적인 결합 및 지지역할을 수행하는 베이스부와, 필름형태로 되어 있는 피사체가 감기면서 공급 및 권취 기능을 수행하는 복수개의 필름공급부, 그리고, 상기 필름공급부와 함께 상기 베이스에 대해 종횡 방향으로 이동자재하게 연결되며, 상기 필름공급부로부터 공급되는 필름이 이동되는 경로를 제공하는 이동식 베이스부를 포함하고 있다.The present invention relates to a semiconductor optical inspection equipment, the configuration for this, the optical unit for inspecting the state of the subject, the support shaft is connected to the optical unit to perform a support function for fixing it, and the support shaft is connected In addition, the base unit for performing the overall combination and support area as a reference portion of the inspection equipment, a plurality of film supply unit for performing the supply and winding function while winding the subject in the form of film, and the film supply unit together with the It is movable in the longitudinal and transverse direction with respect to the base, and comprises a movable base portion for providing a path for the film supplied from the film supply portion is moved.

이와 같은 본 발명의 검사장비에 의하면, 광학부인 스코프를 고정시킨 상태에서 피사체가 놓이는 스테이지가 X축 및 Y축 방향으로 자유롭게 이동되면서 검사작업이 이루어지므로 작업상의 피로도가 저하되며, 그에 따른 작업능률이 향상되는 효과가 있다.According to the inspection apparatus of the present invention, the stage in which the subject is placed in the state in which the scope, which is the optical unit, is fixed, the inspection work is performed while moving freely in the X-axis and Y-axis directions, thereby reducing work fatigue, and thus working efficiency. There is an effect to be improved.

스코프, 검사장비, 집적회로, 필름, 반도체Scope, Inspection Equipment, Integrated Circuit, Film, Semiconductor

Description

Semiconductor visual inspection facility

도 1은 본 발명의 반도체 광학 검사장비의 실시예에 의한 측면도이다.1 is a side view according to an embodiment of a semiconductor optical inspection equipment of the present invention.

도 2는 도 1의 검사장비를 이용한 칩 검사가 이루어지는 방식의 예를 보여주는 도면이다.2 is a diagram illustrating an example of a method of performing chip inspection using the inspection apparatus of FIG. 1.

도 3a 및 도 3b는 도 1의 검사장비의 작업 스테이지가 X축 방향으로 이동가능함을 보여주는 도면이다.3A and 3B are views showing that the working stage of the inspection equipment of FIG. 1 is movable in the X-axis direction.

도 4는 도 1의 본 발명의 실시예에 의한 광학부가 필름의 이동에 따른 검사위치를 보여주는 도면이다.4 is a view showing an inspection position according to the movement of the optical unit according to the embodiment of the present invention of FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 광학부 12 : 지지축10 optical section 12 support shaft

14 : 베이스 16 : 필름공급부14: base 16: film supply unit

18 : 이동식 베이스 20 : 필름공급롤18: movable base 20: film feed roll

22 : 필름가이드 24 : 필름권취롤22: film guide 24: film winding roll

100 : 검사장비100: Inspection Equipment

본 발명은 반도체 광학 검사장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체의 광학 검사 공정내 검사 장비의 필름검사 방식을 개선한 반도체 광학 검사장비에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor optical inspection equipment, and more particularly, to a semiconductor optical inspection equipment in which a film inspection method of an inspection equipment in an optical inspection process of a semiconductor is improved.

일반적으로 액정디스플레이 구동용 집적회로를 검사하는 광학 검사장비들은 스코프(Scope) 이동방식으로서 피사체가 고정이 되어 있고, 스코프가 움직이는 방식이므로 작업자의 눈이 쉽게 피로하게 된다.In general, optical inspection equipment for inspecting an integrated circuit for driving a liquid crystal display is a scope movement method, and a subject is fixed, and the scope is moved, so that the operator's eyes are easily tired.

그런데, 검사작업을 위해 필름을 움직일 때, 검사 반대편에는 스크래치(Scratch)가 발생되고, 레일을 설치할 때 필름의 구김현상으로 제품에 손상이 가해져서 품질 저하를 초래하게 되어 어쩔 수 없이 스코프를 움직이는 장비들이 적용되고 있는 것이다.However, when moving the film for inspection, scratches are generated on the other side of the inspection, and when the rail is installed, the film is wrinkled, which causes damage to the product, resulting in deterioration of the equipment. Are being applied.

이와 같이 종래에는 검사장비를 이루는 스코프를 움직여서 피사체의 상태를 검사하게 되므로 작업자의 작업부담이 가중되고, 또한 스코프 작업의 특성상 스코프가 움직이게 되면 멀미가 나거나 몇 회의 작업만으로도 피로가 쌓이게 되어 작업능률의 저하를 불러왔다.As such, the scope of the subject is inspected by moving the scope constituting the inspection equipment, thus increasing the burden on the operator, and also, when the scope is moved due to the characteristics of the scope, motion sickness or fatigue occurs in only a few times of work. Brought up.

어떤 작업을 할 때, 피사체를 움직이면서 작업을 하는 경우에는 작업자의 피로도가 낮아지게 되므로 높은 작업능률을 올릴 수 있다. 그러나, 작업자가 움직이면서 반복되는 작업을 하는 경우에는 쉽게 피로감을 느끼게 하며, 생산성 향상에도 좋은 결과를 얻지 못하게 되고, 불량율이 높아지는 문제로 작용하게 된다.When working, if you work while moving the subject to reduce the fatigue of the worker can increase the high work efficiency. However, when the worker is repeatedly performed while moving, it makes the user feel tired easily, and does not get a good result even in productivity.

이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 스코프를 이용 하여 반도체 장치를 검사함에 있어서 스코프를 고정하고 피사체를 움직이도록 함으로써 작업능률을 향상시키기 위한 반도체 광학 검사장비를 제공하는 것이다.An object of the present invention for solving such a conventional problem is to provide a semiconductor optical inspection equipment for improving the work efficiency by fixing the scope and moving the subject in inspecting the semiconductor device using the scope.

본 발명의 다른 목적은, 피사체가 놓이는 스테이지가 X축 및 Y축 방향에서 자유롭게 이동되도록 하여 측정작업이 용이하게 진행되며, 작업상의 피로도를 줄일 수 있도록 하는 반도체 광학 검사장비를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor optical inspection device that allows the stage on which the subject is placed to move freely in the X-axis and Y-axis directions so that the measurement work can be easily performed and the work fatigue can be reduced.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 반도체 광학 검사장비는, 피사체의 상태를 검사하는 광학부와, 상기 광학부에 연결되어서 이를 고정시키는 지지기능을 수행하는 지지축과, 상기 지지축이 연결되며, 검사장비의 기준이 되는 부분으로 전체적인 결합 및 지지역할을 수행하는 베이스부와, 필름형태로 되어 있는 피사체가 감기면서 공급 및 권취 기능을 수행하는 복수개의 필름공급부, 그리고, 상기 필름공급부와 함께 상기 베이스에 대해 종횡 방향으로 이동자재하게 연결되며, 상기 필름공급부로부터 공급되는 필름이 이동되는 경로를 제공하는 이동식 베이스부를 구비한 것을 특징으로 한다.The semiconductor optical inspection device according to the present invention for achieving the above object is an optical unit for inspecting the state of the subject, a support shaft connected to the optical unit to perform a support function for fixing it, and the support shaft is connected In addition, the base unit for performing the overall combination and support area as a reference portion of the inspection equipment, a plurality of film supply unit for performing the supply and winding function while winding the subject in the form of film, and the film supply unit together with the It is characterized in that it comprises a movable base portion which is connected in a longitudinal and transverse direction with respect to the base and provides a path through which the film supplied from the film supply portion is moved.

상기 광학부와 지지축과 베이스부는 고정되어 있으며, 상기 필름공급부와 이동식 베이스부는 서로 연결된 상태에서 종축 및 횡축 방향으로 이동되는 것이 바람직하다.The optical part, the support shaft, and the base part are fixed, and the film supply part and the movable base part are preferably moved in the longitudinal axis and the horizontal axis direction while being connected to each other.

이하, 본 발명의 실시예에 대한 설명은 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 아래에 기재된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명하기 위한 것에 불과한 것으로, 본 발명의 권리범위가 여기에 한정되는 것으로 이해되어서는 안될 것이다. 아래의 실시예로부터 다양한 변형, 변경 및 수정이 가능함은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백한 것이다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention described below are merely for illustrating the technical idea of the present invention by way of example, it should not be understood that the scope of the present invention is limited thereto. Various modifications, changes and variations are possible in the following examples which will be apparent to those of ordinary skill in the art.

본 발명의 실시예에 의한 검사장비(100)는, 도 1을 참조하면, 피사체의 상태를 검사하는 광학부(10)와, 여기에 연결되어서 지지기능을 수행하는 지지축(12)과, 상기 지지축(12)이 연결되며, 검사장비(100)의 기준이 되는 부분으로 전체적인 결합 및 지지역할을 수행하는 베이스(14)와, 필름형태로 되어 있으며 검사대상인 피사체가 감기면서 공급 및 권취 기능을 수행하는 필름공급부(16), 그리고, 상기 필름공급부(16)와 함께 상기 베이스(14)에 종횡(X, Y) 방향으로 이동자재하게 연결되며, 상기 필름공급부(16)로부터 공급되는 필름이 이동되는 경로를 제공하는 이동식 베이스(18)로 구성되어 있다.Inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, referring to Figure 1, the optical unit 10 for inspecting the state of the subject, the support shaft 12 is connected to perform a support function, and the The support shaft 12 is connected to the base 14 for performing overall coupling and support as a part of the inspection equipment 100 and the film 14, and the object to be inspected is wound and supplied and wound. The film supply unit 16 and the film supply unit 16 are connected to the base 14 in the vertical and horizontal (X, Y) directions, and the film supplied from the film supply unit 16 moves. It consists of a movable base 18 which provides a path to be.

이와 같이 구성되어 있는 검사장비(100)는 광학부(10)와 지지축(12)과 베이스(14)는 고정되어 있는 반면, 필름공급부(16)와 이동식 베이스(18)는 서로 연결된 상태에서 종축 및 횡축을 이동가능하게 설계되어 있어서, 광학부(10)를 움직이지 않고도 피사체를 종축 및 횡축으로 이동시켜 가면서 검사가 이루어지는 것이다.In the inspection apparatus 100 configured as described above, the optical unit 10, the support shaft 12, and the base 14 are fixed, while the film supply unit 16 and the movable base 18 are connected to each other in the longitudinal axis. And since the horizontal axis is designed to be movable, the inspection is performed while moving the subject to the vertical axis and the horizontal axis without moving the optical unit 10.

다시 말하면, 스코프인 광학부(10)를 고정시키고, 레일드럼(Rail Drum)이나 스프로켓(Sprocket) 등 필름이 지나가는 부위를 갖는 이동식 베이스(X-Y 테이블, 18)를 이용해서 움직이므로 작업자는 고정된 광학부(10)에 접안하여 장비를 움직이게 된다. 이때 작은 힘으로도 충분히 움직이도록 하며 부드러운 미끄럼을 위해 리니어 베어링(Linear Bearing)이 장착된 이동식 베이스(18)를 구비하게 된다.In other words, the scope is fixed to the optical unit 10, and the operator moves by using a movable base (XY table, 18) having a portion through which a film passes, such as a rail drum or a sprocket. The unit 10 is moved to the eyepiece. At this time, it is provided with a movable base 18 equipped with a linear bearing to move sufficiently even with a small force and smooth sliding.

이에 대한 구체적인 설명은 도 2 내지 도 4를 참조하여 더욱 상세하게 설명 한다.A detailed description thereof will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 4.

도 2를 참조하면, 본 실시예에 의한 필름의 공급방향과, 광학부(10), 베이스(14) 및 이동식 베이스(18)의 위치를 더욱 확실하게 보여주는 개략적인 정면도이다.2 is a schematic front view showing the supply direction of the film according to the present embodiment and the positions of the optical unit 10, the base 14, and the movable base 18 more reliably.

상기 베이스(14) 위에는 상기 이동식 베이스(18)가 이동가능하게 결합되어 있고, 그 위에는 소정 거리 이격된 위치에 광학부(10)가 위치하게 된다. 상기 광학부(10)는 접안렌즈와 대물렌즈를 포함하는 렌즈들이 설치되어 있다.The movable base 18 is movably coupled to the base 14, and the optical unit 10 is positioned at a predetermined distance from the movable base 18. The optical unit 10 is provided with lenses including an eyepiece and an objective lens.

상기 이동식 베이스(18)와 광학부(10) 사이로 필름(26)이 이동되는데, 일측에는 감겨있는 상태에서 필름이 풀려지면서 공급되도록 하는 필름공급롤(20)이 형성되어 있다. 상기 플름공급롤(20)에서 공급되는 필름(26)은 필름가이드(22)를 통해 이동식 베이스(18) 위를 통과하게 되고, 다른편 필름가이드(22)를 통해 필름권취롤(24)에 다시 감기게 된다.The film 26 is moved between the movable base 18 and the optical unit 10. On one side, a film supply roll 20 is formed to be supplied while the film is unwound in a wound state. The film 26 supplied from the plume supply roll 20 passes through the movable base 18 through the film guide 22, and then back to the film winding roll 24 through the other film guide 22. Cold.

이때 상기 필름(26)은 반도체 소자, 예를 들면 액정 디바이스 구동을 위한 소자를 제조하기 위해 사용되는 것으로 동일한 형태의 샘플들이 필름(26)상에 나열되게 형성되어 있다. 이러한 필름(26)에 각각 형성되어 있는 패턴의 형성을 검사하기 위해 본 실시예의 검사장비(100)가 사용되며, 상기 필름(26)의 전체 패턴을 검사하기 위해서 상기 광학부(10)는 고정시킨 상태로 두고 필름(26)을 종횡으로 이동시켜 가면서 검사작업이 수행된다.In this case, the film 26 is used to manufacture a semiconductor device, for example, a device for driving a liquid crystal device, and samples of the same shape are formed to be arranged on the film 26. The inspection apparatus 100 of the present embodiment is used to inspect the formation of patterns formed on the films 26, and the optical unit 10 is fixed to inspect the entire pattern of the film 26. The inspection operation is performed while moving the film 26 vertically and horizontally in the state.

상기 이동식 베이스(18)의 종횡 방향으로의 이동방식에 대해 설명한다.The moving system of the movable base 18 in the longitudinal and horizontal directions will be described.

먼저, 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 상기 이동식 베이스(18)가 종축, 즉 X축 방향으로 이동되는 상태를 개략적으로 보여주는 측면도이다.First, referring to FIGS. 3A and 3B, a side view schematically illustrating a state in which the movable base 18 is moved in the longitudinal axis, that is, the X axis direction.

베이스(14)에는 다수의 플레이트들이 적층되어 있으며, 이들의 최상단에는 이동식 베이스(18)가 결합된다. 상기 이동식 베이스(18)도 상기 베이스(14)에 대응된 플레이트가 접하고 있으며, 다수의 플레이트들이 결합된 상태로 이동식 베이스(18)를 구성한다. 이때 이들 베이스(14)와 이동식 베이스(18)의 결합은 슬라이딩(Sliding)이 자유롭게 이루어지도록 리니어 베어링(도시하지 않음)이 구비되는 것이 바람직하다.A plurality of plates are stacked on the base 14, and a movable base 18 is coupled to the top thereof. The movable base 18 is also in contact with the plate corresponding to the base 14, and constitutes the movable base 18 in a state in which a plurality of plates are coupled. At this time, the combination of these base 14 and the movable base 18 is preferably provided with a linear bearing (not shown) so that sliding is freely made.

도 3a는 이동식 베이스(18)가 'X' 방향으로 이동된 경우라면, 도 3b는 'X' 방향에서 멀어지는 방향으로 이동된 상태를 보여주고 있다. 이들의 이동방식은 상기의 리니어 베어링이 장착된 레일을 따라 액추에이터의 구동에 의해 이동되게 설계할 수 있을 것이다. 이와 같이 횡축, 즉 Y축 방향에 대해서도 동일한 방식에 의해 이동이 가능하므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.FIG. 3A illustrates a case where the movable base 18 is moved in the 'X' direction, and FIG. 3B illustrates a state in which the movable base 18 is moved away from the 'X' direction. These movements may be designed to be moved by driving the actuator along the rail on which the linear bearing is mounted. As described above, since the horizontal axis, that is, the Y axis direction can be moved in the same manner, a detailed description thereof will be omitted.

도 4를 참조하면, 상기한 이동식 베이스(18)가 종축 및 횡축으로 이동함에 따라 검사되는 상태를 보여주는 도면이다.Referring to FIG. 4, the movable base 18 is inspected as it moves along the longitudinal axis and the horizontal axis.

광학부(10)의 조사점(10a)은 초기 상태에서는 필름(26)을 구성하는 하나의 피측정체(26a)의 중앙을 지시한 상태에서 검사가 이루어진다. 중앙부의 검사가 마무리되면 영역 'X1'으로 이동하여 다음 검사가 이루어지고, 영역 'X2'로 이동한다. 그리고, 영역 'Y1'으로 이동한 후 검사가 이루어지고, 마지막으로 영역 'Y2'로 이동되어서 최종적인 검사가 마무리된다.In the initial state, the irradiation point 10a of the optical part 10 is inspected in the state which indicated the center of the one to-be-measured object 26a which comprises the film 26. As shown in FIG. After the inspection of the central part is finished, the next inspection is performed by moving to the area 'X1' and the area is moved to the area 'X2'. Then, the inspection is performed after moving to the area 'Y1', and finally, the inspection is completed by moving to the area 'Y2'.

이와 같이 본 발명의 실시예에 의하면, 필름(26)에 형성되어 있는 피측정체(26a)의 모든 영역에 대해 검사가 이루어지게 되며, 특히 광학부(10)가 이동되지 않고 필름(26)과 함께 이동식 베이스(18)가 움직이면서 검사작업이 수행된다. 따라서, 작업자는 광학부(10)를 이동시키지 않고 이동식 베이스(18)를 움직이면서 작업을 수행하므로 검사작업을 용이하게 수행할 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the exemplary embodiment of the present invention, the inspection is performed on all regions of the object under test 26a formed on the film 26, and in particular, the optical part 10 does not move and the film 26 The inspection operation is performed while the movable base 18 moves together. Therefore, since the operator performs the operation while moving the movable base 18 without moving the optical unit 10, there is an advantage that can easily perform the inspection work.

따라서, 본 발명에 의하면, 광학부인 스코프를 고정시킨 상태에서 피사체가 놓이는 스테이지가 X축 및 Y축 방향으로 자유롭게 이동되게 검사작업이 이루어지므로 작업상의 피로도가 저하되며, 그에 따른 작업능률이 향상되는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, since the inspection work is performed so that the stage on which the subject is placed freely moves in the X-axis and Y-axis directions while the scope, which is an optical unit, is fixed, the fatigue of work is lowered, and thus the work efficiency is improved. There is.

Claims

An optical unit for inspecting a state of the subject;

A support shaft connected to the optical unit to perform a support function for fixing the optical shaft;

A base portion to which the support shaft is connected and which performs overall coupling and support to the part of the inspection equipment;

A plurality of film supply units which perform a supply and winding function while the subject in the form of a film is wound; And,

A movable base part which is connected with the film supply part in a vertical and horizontal direction with respect to the base and provides a path through which the film supplied from the film supply part moves;

Semiconductor optical inspection equipment characterized in that it comprises a.

The method of claim 1,

And the optical part, the support shaft, and the base part are fixed.

The method of claim 1,

And the film supply part and the movable base part are moved in the longitudinal axis and the horizontal axis direction while being connected to each other.

The method according to any one of claims 1 to 3,

The inspection equipment,

Semiconductor optical inspection equipment, characterized in that for inspecting the semiconductor device for controlling the driving of the liquid crystal device.