KR100779135B1 - Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel - Google Patents

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KR100779135B1
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마코토 키쿠타
쿠니히로 미즈노
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
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Abstract

본 발명에 따른 액정패널 검사장치는, 편광판이 없는 상태의 액정패널을 촬상장치를 이용해서 검사하는 장치에 있어서, 액정패널의 양쪽 표면에 부착된 먼지의 영상과, 액정패널의 내부의 결함을 구별할 수 있도록 하기 위한 것이다. 백라이트 스위치(36)를 켜고, 경사조명 스위치(40)는 끈다. 셔터(32)를 열어서 백라이트 장치(30)의 빛을 확산판(24)과 제1 편광판(22)을 통해 액정패널(12)의 뒷면에 조사(照射)하고, CCD카메라(44)로 액정패널(12)을 촬영한다. 이 때, 액정패널(12)의 내부먼지와 양쪽 표면의 먼지(외부먼지)가 투영된다. 두개의 영상을 비교함으로써 내부먼지와 외부먼지를 구별할 수 있다. The liquid crystal panel inspection apparatus according to the present invention is an apparatus for inspecting a liquid crystal panel without a polarizing plate by using an imaging device, wherein the image of dust adhering to both surfaces of the liquid crystal panel is distinguished from defects inside the liquid crystal panel. It is to make it possible. The backlight switch 36 is turned on and the oblique light switch 40 is turned off. The shutter 32 is opened to irradiate the back light of the backlight device 30 to the rear surface of the liquid crystal panel 12 through the diffusion plate 24 and the first polarizing plate 22, and then the liquid crystal panel with the CCD camera 44. Take 12. At this time, the inside dust of the liquid crystal panel 12 and the dust (outside dust) of both surfaces are projected. By comparing two images, internal dust and external dust can be distinguished.

Description

액정패널 검사장치{Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel}Liquid crystal panel inspection device {Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel}

도1은 본 발명의 액정패널검사장치의 하나의 실시예의 구성도이다.1 is a configuration diagram of one embodiment of a liquid crystal panel inspection device of the present invention.

도2는 패널지지대의 사시도이다.2 is a perspective view of a panel support.

도3은 패널지지대의 정면단면도이다.3 is a front sectional view of the panel support.

도4는 조명계와 촬상계만을 나타낸 정면단면도이다.4 is a front sectional view showing only the illumination system and the imaging system.

도5는 도4의 상태에 있어서의 먼지에 의한 빛의 난반사 상태를 모식적으로 나타낸 정면단면도이다.FIG. 5 is a front sectional view schematically showing a diffuse reflection state of light due to dust in the state of FIG.

도6은 셔터를 닫아서 경사조명광원을 점등한 상태에 있어서의 도4와 같은 정면단면도이다.Fig. 6 is a front sectional view similar to Fig. 4 in the state where the inclined illumination light source is turned on by closing the shutter.

도7은 도6의 상태에 있어서의 먼지에 의한 빛의 난반사 상태를 모식적으로 나타낸 도5와 같은 정면단면도이다.FIG. 7 is a front cross-sectional view as in FIG. 5 schematically showing a diffuse reflection state of light due to dust in the state of FIG.

도8은 액정패널의 영상의 일부를 확대해서 나타낸 모식도이다.8 is an enlarged schematic view of a part of an image of a liquid crystal panel.

*도면의 주요 부호에 대한 설명** Description of Major Symbols in Drawings *

10: 패널지지대 12: 액정패널 10: panel support 12: liquid crystal panel

20: 경사조명광원 22: 제1 편광판 20: oblique light source 22: first polarizing plate

24: 확산판 30: 백라이트장치 24: diffusion plate 30: backlight device

32: 셔터 34: 셔터 구동기구 32: shutter 34: shutter drive mechanism

36: 백라이트 스위치 38: 백라이트 전원 36: backlight switch 38: backlight power

40: 경사조명 스위치 42: 경사조명전원 40: inclined light switch 42: inclined light power supply

44: CCD카메라 46: 제2 편광판 44: CCD camera 46: second polarizing plate

48: 화상처리부48: image processing unit

발명의 분야Field of invention

본 발명은 액정패널(liquid crystal panel)을 백라이트로 비춰서 액정패널의 내부먼지(dust) 등의 결함을 촬상장치로 관찰하는 타입(type)의 액정패널 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a liquid crystal panel inspection apparatus of a type for illuminating a liquid crystal panel with a backlight and observing defects such as dust of the liquid crystal panel with an imaging device.

발명의 배경Background of the Invention

액정패널을 백라이트로 비춰서 액정패널의 내부먼지 등의 결함을 촬상장치로 관찰하는 타입의 액정패널 검사장치에 대해서는 다음의 특허문헌 1 및 특허문헌 2에 기재되어 있다.The following patent document 1 and patent document 2 are described about the liquid crystal panel inspection apparatus of the type which illuminates a liquid crystal panel with a backlight, and observes defects, such as an internal dust of a liquid crystal panel, with an imaging device.

[특허문헌1] 일본특허공개공보 평성11-326123호[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. 11-326123

[특허문헌2] 일본특허공개공보 평성10-227721호[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. 10-227721

특허문헌 1의 액정패널검사장치는, 액정패널의 아랫면을 마주보도록 백라이트를 배치하고, 액정패널의 윗면을 마주보도록 센서카메라(sensing camera)를 배치하고 있다. 이하, 센서카메라를 마주보고 있는 쪽을 앞면(제1면)이라 부르고, 백라이트를 마주보고 있는 쪽을 뒷면(제2면)이라 부르기로 한다. 백라이트를 점등해서 액정패널을 투과해 오는 백라이트광을 카메라로 촬영함으로써 액정패널의 내부결함을 검사한다. 이 경우, 액정패널의 내부 결함뿐만 아니라, 액정패널의 제1면에 있어서의 보호필름(film)의 상처나 표면에 부착된 먼지 등도 센서카메라로 촬영되어진다. 그래서 특허문헌1에서는 내부결함과 표면먼지 등을 구별할 수 있도록 경사조명램프를 이용해서 액정패널의 앞면을 향해 경사진 방향으로부터 빛을 조사할 수 있도록 하고 있다. 먼저 백라이트를 소등해두고, 경사조명광만을 액정패널의 앞면에 조사하여 그 반사광을 센서카메라로 촬영한다. 이 때 센서카메라에 투영되는 것은 액정패널 표면의 상처나 먼지 등이며, 액정패널의 내부결함은 투영되지 않는다. 이어서 경사조명램프를 소등하고, 백라이트를 점등해서 그 투과광을 카메라로 촬영한다. 이 때 센서카메라에 투영되는 것은 액정패널의 내부결함과 액정패널의 앞면에 있어서의 상처나 먼지, 양쪽 모두이다. 마지막으로 백라이트에 의한 촬영화상정보로부터 경사조명광에 의한 촬영화상정보를 감하여 액정패널의 내부결함만을 얻을 수 있다. The liquid crystal panel inspection apparatus of patent document 1 arrange | positions a backlight so that the lower surface of a liquid crystal panel may face, and arranges a sensor camera so that the upper surface of a liquid crystal panel may face. Hereinafter, the side facing the sensor camera will be referred to as the front side (first side), and the side facing the backlight will be referred to as the back side (second side). The internal defect of the liquid crystal panel is inspected by photographing the backlight light that passes through the liquid crystal panel by turning on the backlight. In this case, not only the internal defect of the liquid crystal panel but also the wound of the protective film on the first surface of the liquid crystal panel, the dust adhered to the surface, etc. are photographed by the sensor camera. Therefore, Patent Document 1 uses an inclined illumination lamp to irradiate light from a direction inclined toward the front side of the liquid crystal panel so that internal defects and surface dust and the like can be distinguished. First, the backlight is turned off, and only the inclined illumination light is irradiated to the front surface of the liquid crystal panel, and the reflected light is photographed by the sensor camera. At this time, the projections on the sensor camera are scratches or dust on the surface of the liquid crystal panel, and internal defects of the liquid crystal panel are not projected. Next, the inclined light lamp is turned off, the backlight is turned on, and the transmitted light is photographed with a camera. At this time, both the internal defects of the liquid crystal panel and the scratches and dust on the front surface of the liquid crystal panel are projected onto the sensor camera. Finally, the internal defect of the liquid crystal panel can be obtained by subtracting the captured image information by the inclined illumination light from the captured image information by the backlight.

특허문헌 2의 액정패널검사장치도 특허문헌 1의 장치와 동일하다. 즉, 액정 패널의 앞면을 마주보도록 TV카메라를 배치하고, 액정패널의 제2면을 마주보도록 백라이트를 배치한다. 백라이트에 의한 점등검사 전 혹은 후에, 백라이트를 소등해두고 경사조명광만을 액정패널의 앞면에 조사하고, 그 반사광을 TV카메라로 촬영한다. 이 때 TV카메라에 투영되는 것은 액정패널의 앞면 쪽 표면의 보호시트(protection sheet)의 상처나 보호시트 위의 먼지 등(이하, 표면결함이라 한다)이며, 액정패널의 내부결함은 투영되지 않는다. 한편, 점등검사 때는 경사조명램프를 소등하고 백라이트를 점등해서 그 투과광을 카메라로 촬영한다. 이 때 TV카메라에 투영되는 것은 액정패널의 내부결함과 액정패널의 표면결함의 양쪽 모두이다. 경사조명광에 의한 촬영화상정보(반사화상정보)와 백라이트광에 의한 촬영화상정보(투과화상정보)를 좌표위치를 맞춰서 비교하여, 어느 쪽의 촬영화상정보에나 투영되는 것이 액정패널의 표면결함이고, 백라이트 빛에 의한 촬영화상정보에만 투영되는 것이 액정패널의 내부결함이라고 판단할 수 있다.The liquid crystal panel test | inspection apparatus of patent document 2 is also the same as the apparatus of patent document 1. That is, the TV camera is disposed to face the front surface of the liquid crystal panel, and the backlight is disposed to face the second surface of the liquid crystal panel. Before or after the lighting test by the backlight, the backlight is turned off and only the inclined illumination light is irradiated on the front surface of the liquid crystal panel, and the reflected light is photographed by a TV camera. At this time, the projections on the TV camera are scratches on the protection sheet on the front surface of the liquid crystal panel, dust on the protection sheet (hereinafter referred to as surface defects), and internal defects of the liquid crystal panel are not projected. On the other hand, during the lighting test, the inclined light lamp is turned off, the backlight is turned on, and the transmitted light is photographed by a camera. At this time, both of the internal defects of the liquid crystal panel and the surface defects of the liquid crystal panel are projected onto the TV camera. Comparing the captured image information (reflected image information) by the inclined illumination light and the image information (transmitted image information) by the backlight light at the coordinate position, and projecting on either of the captured image information is the surface defect of the liquid crystal panel. It may be determined that the projection of only the image information captured by the backlight light is an internal defect of the liquid crystal panel.

상기의 특허문헌 1과 특허문헌 2에 기재된 액정패널검사장치에는 다음과 같은 문제점이 있다. 이들 종래기술에서는 액정패널의 뒷면 쪽 표면에 부착된 먼지와 액정패널의 내부결함을 구별할 수 없다. 즉, 경사조명광을 액정패널의 앞면에 조사해도 뒷면 쪽의 표면에 부착되어 있는 먼지는 카메라의 화상에는 투영되지 않는다. 한편 백라이트광으로 촬영하면 액정패널의 뒷면 쪽의 표면먼지와 액정패널의 내부결함이 양쪽 모두 화상으로 투영되기 때문에, 그들을 구별할 수 없다.The liquid crystal panel inspection apparatus described in the above Patent Document 1 and Patent Document 2 has the following problems. In these prior arts, it is impossible to distinguish between dust adhering to the back surface of the liquid crystal panel and internal defects of the liquid crystal panel. That is, even if the inclined illumination light is irradiated on the front surface of the liquid crystal panel, dust adhering to the surface of the rear side is not projected on the image of the camera. On the other hand, when shooting with backlight light, both the surface dust on the back side of the liquid crystal panel and the internal defects of the liquid crystal panel are projected on the image, so that they cannot be distinguished.

또한, 상기의 특허문헌 1과 특허문헌 2는 편광판(polarizing plate)을 갖춘 액정패널에 대한 내부먼지 등의 유무를 검사하는 것이고, 편광판을 부착하기 전의 액정패널에 대해서는 아무것도 기재하고 있지 않다. 편광판을 부착하기 전의 단계에서 액정패널의 내부에 먼지 등이 들어가 있는 것을 판명하면 그 후 불필요한 수고(편광판의 부착 작업 등)를 하지 않아도 되지만, 특허문헌 1과 특허문헌 2에서는 편광판이 없는 상태의 액정패널에 대한 내부 먼지 등의 검사에 관해서 어떠한 연구가 필요한지 전혀 기재되어 있지 않다.In addition, the said patent document 1 and patent document 2 test | inspect the presence or absence of the internal dust etc. with respect to the liquid crystal panel provided with a polarizing plate, and nothing describes about the liquid crystal panel before attaching a polarizing plate. If it is found that dust or the like enters the inside of the liquid crystal panel at the stage before the polarizing plate is attached, unnecessary labor (such as the work of attaching the polarizing plate) is not required afterwards, but in Patent Document 1 and Patent Document 2, the liquid crystal without the polarizing plate There is no description of what kind of research is necessary regarding the inspection of internal dust and the like on the panel.

본 발명은, 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 편광판이 없는 상태의 액정패널을 촬상장치를 이용해서 검사하는 장치에 있어서, 액정패널의 양쪽 표면에 부착되어 있는 먼지의 영상과 액정패널의 내부결함을 구별할 수 있는 액정패널 검사장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide a device for inspecting a liquid crystal panel without a polarizing plate by using an image pickup device, the apparatus comprising an image of dust adhering to both surfaces of the liquid crystal panel. An object of the present invention is to provide a liquid crystal panel inspection apparatus capable of distinguishing internal defects of a liquid crystal panel.

본 발명의 액정패널 검사장치는 다음의 (가) 내지 (사)를 구비하고 있다. (가) 편광판이 없는 상태의 액정패널을 지지하는 패널지지대(panel supporting frame). (나) 상기 액정패널의 한쪽 표면을 마주보도록 배치된 백라이트. (다) 상기 액정패널의 다른쪽 표면을 마주보도록 배치된 촬상장치. (라) 상기 액정패널과 상기 백라이트의 사이에 배치된 제1 편광판. (마) 상기 액정패널과 상기 촬상장치 사이에 배치된 제2 편광판. (바) 상기 액정패널의 상기 한쪽 표면을 향해 소정의 경사각도로 조명광을 비추는 경사조명광원(oblique lighting source)으로, 이 경사 조명광원으로부터의 조명광이 상기 제1 편광판을 통과하지 않고 상기 한쪽 표면을 비추도록 배치된 경사조명광원. (사) 상기 백라이트에 의한 액정패널의 조명과 상기 경사조명광원에 의한 액정패널의 조명을 변환하기 위한 변환장치.The liquid crystal panel inspection apparatus of this invention is equipped with the following (a)-(g). (A) Panel supporting frame for supporting liquid crystal panel without polarizer. (B) a backlight disposed so as to face one surface of the liquid crystal panel. (C) An imaging device arranged so as to face the other surface of the liquid crystal panel. (D) A first polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the backlight. (E) A second polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the imaging device. (F) an oblique lighting source that illuminates illumination light at a predetermined inclination angle toward the one surface of the liquid crystal panel, wherein illumination light from the inclination illumination light source does not pass through the first polarizing plate and illuminates one surface thereof; Inclined light source arranged so that (G) A converter for converting illumination of the liquid crystal panel by the backlight and illumination of the liquid crystal panel by the inclined illumination light source.

경사조명광원에 의한 조명광에 대해서는 상기 액정패널의 상기 한쪽 표면의 임의의 지점에 있어서 상기 경사각도를 10~50도의 범위내로 하는 것이 바람직하다. It is preferable that the inclination angle is within the range of 10 to 50 degrees at any point on the one surface of the liquid crystal panel with respect to the illumination light by the inclined illumination light source.

상기 변환장치는 액정패널과 백라이트의 사이에 배치된 셔터(shutter)를 포함할 수 있다. 이 셔터는 백라이트로부터 액정패널의 한쪽 면을 향하는 조명광을 통과시키는 개방상태와, 백라이트로부터 액정패널의 한쪽 면을 향하는 조명광을 차단하는 폐쇄상태와의 사이에서 변환이 가능하다. 셔터를 설치함으로써 백라이트에 대해서는 점등상태인 채로 조명의 변환이 가능해진다.The converter may include a shutter disposed between the liquid crystal panel and the backlight. The shutter can be switched between an open state through which illumination light is directed from the backlight to one side of the liquid crystal panel and a closed state from blocking illumination light from the backlight toward one side of the liquid crystal panel. By providing the shutter, illumination can be switched while the backlight is turned on.

액정패널이 제1변, 제2변, 제3변 및 제4변으로 이루어진 사각형의 형상을 하고 있는 경우에 상기 경사조명광원은 다음의 (a) 내지 (d)를 구비할 수 있다. (a) 상기 액정패널의 상기 제1변에 평행한 제1 사이드램프(side lamp)로, 상기 액정패널의 상기 제1변보다도 상기 백라이트 쪽에 위치하며, 상기 액정패널의 중심에서 봤을 때 상기 제1변보다도 먼 위치에 있는 제1 사이드 램프. (b) 상기 액정패널의 상기 제2변에 평행한 제2 사이드램프로, 상기 액정패널의 상기 제2변보다도 상기 백라이트쪽에 위치하며, 상기 액정패널의 중심에서 봤을 때 제2변보다 먼 위치에 있는 제2 사이드램프. (c) 상기 액정패널의 상기 제3변에 평행한 제3 사이드램프로, 상기 액정패널의 상기 제3변보다도 상기 백라이트 쪽에 위치하며, 상기 액정패널의 중심에서 봤을 때 상기 제3변보다도 먼 위치에 있는 제3 사이드램프. (d) 상 기 액정패널의 상기 제4변에 평행한 제4 사이드램프로 상기 액정패널의 상기 제4변보다도 상기 백라이트 쪽에 위치하며, 상기 액정패널의 중심에서 봤을 때 상기 제4변보다도 먼 위치에 있는 제4 사이드 램프.When the liquid crystal panel has a quadrangular shape consisting of the first side, the second side, the third side, and the fourth side, the inclined illumination light source may include the following (a) to (d). (a) a first side lamp parallel to the first side of the liquid crystal panel, the first side lamp being located on the backlight side of the first side of the liquid crystal panel and viewed from the center of the liquid crystal panel; The first side lamp at a position farther than the side. (b) a second side lamp parallel to the second side of the liquid crystal panel, positioned on the backlight side than the second side of the liquid crystal panel, and located at a position farther from the second side when viewed from the center of the liquid crystal panel; Second side lamp. (c) a third side lamp parallel to the third side of the liquid crystal panel, positioned on the backlight side than the third side of the liquid crystal panel, and positioned farther from the third side when viewed from the center of the liquid crystal panel; 3rd sidelamp in the. (d) a fourth side lamp, which is parallel to the fourth side of the liquid crystal panel, positioned on the backlight side than the fourth side of the liquid crystal panel, and positioned farther from the fourth side when viewed from the center of the liquid crystal panel; 4th side lamp in the room.

이하 도면을 참조해서 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도1은 본 발명의 액정패널 검사장치의 하나의 실시예의 구성도이며, 기계적인 구조부분은 정면단면도를 나타내고 있다. 패널지지대(10)의 윗면에는 편광판을 부착하기 전 상태의 액정패널(12)을 올려놓을 수 있다.Fig. 1 is a configuration diagram of one embodiment of the liquid crystal panel inspection device of the present invention, and the mechanical structural part thereof shows a front sectional view. The upper surface of the panel support 10 may be placed on the liquid crystal panel 12 before attaching the polarizing plate.

패널지지대(10) 내부에는 경사조명광원(20)과 제1편광판(22)과 확산판(diffusing plate)(24)이 배치되어 있다. 패널지지대(10)는 베이스(26)를 향해 지주(28)로 고정되어 있다. 베이스(26)의 윗면에는 백라이트장치(backlight device)(30)가 고정되어 있다. 백라이트장치(30)의 위쪽에는 셔터(32)가 배치되어 있다. 셔터(32)는 셔터 구동기구(shutter driving mechanism)(34)에 의해 수평방향으로(즉, 화살표(35) 방향으로) 이동할 수 있다. 이 셔터(32)는 백라이트장치(30)로부터 액정패널(12)의 아랫면을 향하는 조명광을 통과시키는 상태(개방상태)와, 백라이트장치(30)로부터 액정패널(12)의 아랫면을 향하는 조명광을 차단하는 상태(폐쇄상태)와의 사이에서 변환이 가능하다.An inclined illumination light source 20, a first polarizing plate 22, and a diffusing plate 24 are disposed in the panel support 10. The panel support 10 is fixed to the base 26 with a support 28. The backlight device 30 is fixed to the upper surface of the base 26. The shutter 32 is disposed above the backlight device 30. The shutter 32 can be moved horizontally (i.e. in the direction of the arrow 35) by the shutter driving mechanism 34. The shutter 32 blocks the illumination light directed from the backlight device 30 toward the bottom surface of the liquid crystal panel 12 (open state), and blocks the illumination light from the backlight device 30 toward the bottom surface of the liquid crystal panel 12. It is possible to switch between the closed state and the closed state.

백라이트장치(30)는 백라이트 스위치(switch)(36)를 통해서 백라이트 전원(backlight source)(38)으로부터 전력을 공급받는다. 또한, 경사조명광원(20)은 경사조명스위치(40)를 통해서 경사조명광원(42)으로부터 전력을 공급받는다. The backlight device 30 receives power from a backlight source 38 through a backlight switch 36. In addition, the inclined light source 20 receives power from the inclined light source 42 through the inclined light switch 40.

패널지지대(10)의 위쪽에는 촬상장치로서의 CCD카메라(charge-coupled device camera)(44)가 배치되어 있다. CCD카메라(44)와 액정패널(12)의 사이에는 제2편광판(46)이 배치되어 있다. CCD카메라(44)의 영상은 화상처리부(image processing portion)(48)에서 처리되고, 액정패널(12)의 내부먼지나 액정패널(12) 양쪽 표면에 부착된 먼지의 영상을 취득할 수 있다. 취득한 영상은 표시장치(49)의 화면에 투영될 수 있다.A charge-coupled device camera 44 as an imaging device is disposed above the panel support 10. The second polarizing plate 46 is disposed between the CCD camera 44 and the liquid crystal panel 12. An image of the CCD camera 44 is processed by an image processing portion 48 to acquire an image of dust inside the liquid crystal panel 12 or dust attached to both surfaces of the liquid crystal panel 12. The acquired image may be projected on the screen of the display device 49.

도2는 패널지지대(10)의 사시도이며, 그 일부를 잘라내서 나타낸 것이다. 도3은 패널지지대(10)의 정면단면도이다. 도2와 도3에 있어서, 이 패널지지대(10)는 윗판(50)과 돌출부(52)와 수직부(54)와 아랫판(56)으로 이루어지며, 이들이 일체가 되어 형성되어 있다. 패널지지대(10)의 중앙은 크게 개구되어 있으며 이 개구는 상하방향으로 관통하고 있다. 윗판(50)의 윗면은 액정패널(12)을 지지하는 지지면이 된다. 윗판(50)의 지지면의 외형치수는 액정패널의 외형치수보다도 약간 크다. 돌출부(52)는 윗판(50)의 외주부로부터 아래를 향해서 바깥쪽으로 경사지도록 돌출되어 있다. 돌출부(52)의 안쪽에는 광원수용부(57)가 형성되어 있으며 여기에 경사조명광원(20)이 수용된다. 경사조명광원(20)은 액정패널의 각 변에 평행한 가늘고 긴 형상을 하고 있으며, 이 실시예에서는 발광다이오드로 구성되어 있다. 돌출부(52)의 네 개의 변의 각각에 경사조명광원(20)이 수용되어 있다. 2 is a perspective view of the panel support 10, a part of which is cut out and shown. 3 is a front sectional view of the panel support 10. 2 and 3, the panel support 10 is composed of an upper plate 50, a protrusion 52, a vertical portion 54, and a lower plate 56, which are integrally formed. The center of the panel support 10 is largely opened and this opening penetrates in the vertical direction. The upper surface of the upper plate 50 serves as a support surface for supporting the liquid crystal panel 12. The external dimension of the support surface of the upper plate 50 is slightly larger than the external dimension of the liquid crystal panel. The protruding portion 52 protrudes from the outer peripheral portion of the upper plate 50 to be inclined outwardly downward. A light source accommodating part 57 is formed inside the protrusion part 52, and the inclined illumination light source 20 is accommodated therein. The inclined illumination light source 20 has an elongated shape parallel to each side of the liquid crystal panel, and is constituted of a light emitting diode in this embodiment. The inclined illumination light source 20 is accommodated in each of the four sides of the protrusion part 52. As shown in FIG.

수직부(54)는 돌출부(52)보다도 안쪽에 위치하고 있어, 윗판(50)과 거의 같은 정도의 외형치수를 갖는다. 도3에 명료하게 나타낸 바와 같이, 수직부(54)의 내벽에는 단부(58)가 형성되어 있으며, 이 단부(58)에 확산판(24)과 제1 편광판(22)이 고정되어 있다. 아랫판(56)은 수직부(54)의 아래 끝에서 수평방향으로 바깥쪽으 로 돌출되어 있다. 아랫판(56)의 아랫면은 지주(28)로 지지되어 있다.The vertical part 54 is located inward of the protruding part 52, and has the external dimension substantially the same as the upper plate 50. As shown in FIG. As clearly shown in Fig. 3, an end portion 58 is formed on the inner wall of the vertical portion 54, and the diffusion plate 24 and the first polarizing plate 22 are fixed to the end portion 58. As shown in Figs. The lower plate 56 protrudes outward in the horizontal direction at the lower end of the vertical portion 54. The lower surface of the lower plate 56 is supported by the support 28.

도3에 있어서, 액정패널(12)의 형상은 사각형으로, 제1변, 제2변, 제3변 및 제4변을 구비하고 있다. 그리고 경사조명광원(20)도 액정패널의 각 변에 대응해서 총 4개의 사이드램프를 구비하고 있다. 예를 들면, 제1 사이드램프(20a)는 액정패널(12)의 제1변(13a)의 근방에 있으며, 제1변(13a)보다도 백라이트 쪽에 위치하고 있으며, 액정패널(12)의 중심에서 봤을 때 제1변(13a)보다 먼 위치(도3에서는 제1변(13a)보다 왼쪽 위치)에 있다. 사이드램프를 이렇게 배치함으로써 사이드램프로부터의 조명광은 소정의 경사각도를 갖는 경사조명이 된다. 제2, 제3 및 제4의 사이드램프의 경우도 마찬가지이다.In Fig. 3, the shape of the liquid crystal panel 12 is rectangular and includes a first side, a second side, a third side, and a fourth side. Incidentally, the inclined illumination light source 20 also has a total of four side lamps corresponding to each side of the liquid crystal panel. For example, the first side lamp 20a is located near the first side 13a of the liquid crystal panel 12, is located closer to the backlight side than the first side 13a, and viewed from the center of the liquid crystal panel 12. At this time, the position is farther from the first side 13a (in Fig. 3, the position left than the first side 13a). By arranging the side lamps in this way, the illumination light from the side lamps is inclined light having a predetermined inclination angle. The same applies to the second, third and fourth side lamps.

이어서, 액정패널(12)과 내부 먼지 검사용인 두개의 편광판(22, 46)의 관계를 설명하도록 하겠다. 이하의 설명에서는, 액정패널이 TN형(twisted nematic mode)이라고 가정해서 설명한다. 이 액정패널은 상하 전극에 전압을 가하지 않을 때는 한쪽 유리판(glass plate)으로부터 다른쪽 유리판을 향해서 액정분자의 축이 90도만 꺾어진 상태에 있다. 제1 편광판(22)의 편광축은 아래쪽 유리판의 내면의 배향방향으로 평행하게 되어 있다. 제2 편광판(46)의 편광축은 제1 편광판(22)의 편광축에 평행한다. 따라서 두개의 편광판(22, 46)에 액정패널(12)이 끼워진 상태의 액정장치의 경우, 전압을 가하지 않은 상태에서는 이 액정장치는 빛을 통과시키지 않는 모드(차광모드, light blocking mode)에 있다.Next, the relationship between the liquid crystal panel 12 and the two polarizing plates 22 and 46 for inspecting the internal dust will be described. In the following description, it is assumed that the liquid crystal panel is in a twisted nematic mode. When no voltage is applied to the upper and lower electrodes, the liquid crystal panel is in a state where only 90 degrees of the axes of the liquid crystal molecules are bent from one glass plate toward the other. The polarization axis of the first polarizing plate 22 is parallel to the alignment direction of the inner surface of the lower glass plate. The polarization axis of the second polarizing plate 46 is parallel to the polarization axis of the first polarizing plate 22. Therefore, in the case of the liquid crystal device in which the liquid crystal panel 12 is inserted into the two polarizing plates 22 and 46, the liquid crystal device is in a light blocking mode (light blocking mode) without applying voltage. .

도4는 도1의 장치에 있어서의 조명계와 촬상계만을 나타내는 정면단면도이다. 아래쪽의 백라이트장치(30)와 위쪽의 CCD카메라(44)의 사이에는 밑에서부터 순 서대로 셔터(32), 확산판(24), 제1 편광판(22), 경사조명광원(20), 액정패널(12) 및 제2 편광판(46)이 배치되어 있다. 이 도4에서는 셔터(32)를 개방장치로해서 백라이트장치(30)의 빛(68)이 액정패널(12)의 아랫면을 향할 수 있는 상태를 나타내고 있다. 이 때, 경사조명광원(20)은 소등되어 있다. 백라이트장치(30)의 빛(68)은 확산판(24)을 통과함으로써 일정하게 되고, 게다가 제1편광판(22)을 통과해서 액정패널(12)의 아랫면에 도달한다. 이 백라이트광은 액정패널(12)의 양쪽 표면의 먼지도 액정패널(12)의 내부 먼지도 모두 투영해낸다. 이 점에 대해 이하에 상세하게 설명한다.4 is a front cross-sectional view showing only the illumination system and the imaging system in the apparatus of FIG. Between the lower backlight device 30 and the upper CCD camera 44, the shutter 32, the diffusion plate 24, the first polarizing plate 22, the inclined illumination light source 20, and the liquid crystal panel are sequentially disposed from the bottom. 12 and the second polarizing plate 46 are arranged. 4 shows a state in which the light 68 of the backlight device 30 can face the lower surface of the liquid crystal panel 12 with the shutter 32 as an opening device. At this time, the inclined illumination light source 20 is turned off. The light 68 of the backlight device 30 becomes constant by passing through the diffusion plate 24, and also passes through the first polarizing plate 22 to reach the bottom surface of the liquid crystal panel 12. This backlight projects both dust on both surfaces of the liquid crystal panel 12 and dust inside the liquid crystal panel 12. This point is explained in full detail below.

도5는 도4의 상태에 있어서의 먼지에 의한 빛의 난반사의 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 액정패널(12)은 그 전극에 아무런 신호가 입력되지 않은 상태이다. 두개의 편광판(22, 46)과 액정패널(12)로 이루어진 액정장치의 경우, 이 액정장치는 빛의 통과를 차단하는 모드(차광모드)에 있다. 이 때, 백라이트광(68)으로 액정패널(12)을 조사하면 CCD카메라(44)로 본 경우, 액정패널(12)은 그 전체가 어둡게 보인다. 그 이유는 다음과 같다. 백라이트광(68)이 확산판(24)과 제1 편광판(22)을 통과하면 한쪽 방향에만 진동하는 직선편광(76)이 된다. 이 직선편광(76)은 액정패널(12)에 의해 그 편광축이 90도만 회전한다. 이렇게 편광축이 회전한 직선편광은 제2 편광판(46)을 통과할 수 없다. 따라서, 액정장치 전체로서 보면, 차광모드가 되어 있다.FIG. 5 schematically shows a state of diffuse reflection of light due to dust in the state of FIG. 4. The liquid crystal panel 12 is in a state where no signal is input to the electrode. In the case of a liquid crystal device composed of two polarizing plates 22 and 46 and a liquid crystal panel 12, the liquid crystal device is in a mode (light shielding mode) that blocks the passage of light. At this time, when the liquid crystal panel 12 is irradiated with the backlight light 68, when viewed with the CCD camera 44, the entire liquid crystal panel 12 appears dark. The reason for this is as follows. When the backlight light 68 passes through the diffusion plate 24 and the first polarizing plate 22, the linearly polarized light 76 vibrates only in one direction. The polarization axis of the linearly polarized light 76 rotates only 90 degrees by the liquid crystal panel 12. The linearly polarized light in which the polarization axis is rotated cannot pass through the second polarizing plate 46. Therefore, when viewed as a whole liquid crystal device, it is in the light shielding mode.

그런데, 앞에서 설명한 직선편광(76)이 액정패널(12)의 내부먼지(78), 즉 2장의 유리판(80, 82)에 끼워진 공간에 존재하는 먼지(78)를 조사하면 빛이 난반사 해서 편광상태가 변화한다. 따라서 먼지(78)로부터의 산란광(84)의 일부는 제2 편광판(46)을 통과할 수 있으며, 이것이 CCD카메라(44)에 도달한다. 그 결과, 먼지(78)가 휘점(輝點)으로 영상에 투영된다. 또한, 액정패널(12)의 뒤쪽 표면에 부착된 먼지(86)에 대해서도 마찬가지로 여기에서 빛이 산란해서 그 산란광(92)이 휘점으로 투영된다. 액정패널(12)의 앞쪽 표면에 부착된 먼지(88)에 대해서도 그 산란광(94)이 휘점으로 투영된다. 이렇게 해서 액정패널(12)의 내부먼지(78)와 표면에 부착된 먼지(86, 88)의 모두가 CCD카메라(44)의 영상에 휘점으로 투영된다.However, when the linearly polarized light 76 described above irradiates the internal dust 78 of the liquid crystal panel 12, that is, the dust 78 present in the space sandwiched between the two glass plates 80 and 82, the light is diffusely reflected to form a polarized state. Changes. A portion of the scattered light 84 from the dust 78 can thus pass through the second polarizer 46, which reaches the CCD camera 44. As a result, the dust 78 is projected onto the image with bright spots. Similarly with respect to the dust 86 attached to the rear surface of the liquid crystal panel 12, light is scattered here, and the scattered light 92 is projected to the bright spot. The scattered light 94 is also projected to the bright point with respect to the dust 88 adhering to the front surface of the liquid crystal panel 12. In this way, both the internal dust 78 of the liquid crystal panel 12 and the dusts 86 and 88 adhering to the surface are projected on the image of the CCD camera 44 as bright spots.

이어서, 경사조명으로 변환한다. 도6은, 셔터(32)를 닫고 경사조명광원(20)을 점등한 상태를 나타내고 있다. 백라이트장치(30)는 점등한 상태이지만, 셔터(32)가 닫혀있으므로 백라이트장치(30)의 빛은 셔터(32)에 차단되어 액정패널(12)의 뒷면에는 도달하지 않는다.Subsequently, it is converted to inclined light. Fig. 6 shows a state in which the inclined illumination light source 20 is turned on with the shutter 32 closed. Although the backlight device 30 is turned on, since the shutter 32 is closed, the light of the backlight device 30 is blocked by the shutter 32 and does not reach the rear surface of the liquid crystal panel 12.

경사조명광원(20)의 빛은 액정패널(12)의 뒷면을 향해 소정의 경사각으로 조사된다. 도6의 왼쪽에 위치하는 경사조명광원(20)의 경우, 액정패널(12)의 네 개의 변 중 경사조명광원(20)에 가장 가까운 변(60)을 향하는 빛(62)과 액정패널(12)의 뒷면이 이루는 각도는 θ1이다. 또한, 이 경사조명광원(20)에 가장 먼 변(64)을 향하는 빛(66)과 액정패널(12)의 뒷면이 이루는 각도는 θ2이다. 때문에, 액정패널(12)의 뒷면의 임의의 위치에서 경사조명광원(20)으로부터 조사되는 빛과 액정패널(12)의 뒷면이 이루는 각도(θ)는 θ1부터 θ2까지의 범위 내에 있다. 액정패널의 내부결함을 비추지 않고, 액정패널의 양쪽 표면의 먼지만을 비추기 위해서는 각도(θ)는 10~50도의 범위 내가 바람직하다. 이 실시예에서는 θ1=45도, θ2=15도이 다. 네 개의 경사조명광원(20)의 어디에서나 액정패널과의 위치관계는 같다.Light of the inclined illumination light source 20 is irradiated at a predetermined inclination angle toward the rear surface of the liquid crystal panel 12. In the case of the inclined illumination light source 20 located on the left side of FIG. 6, the light 62 and the liquid crystal panel 12 directed toward the side 60 closest to the inclined illumination light source 20 among four sides of the liquid crystal panel 12. The angle of the back side of) is θ1. Incidentally, the angle between the light 66 directed toward the side 64 farthest from the inclined illumination light source 20 and the rear surface of the liquid crystal panel 12 is θ2. Therefore, the angle θ formed between the light irradiated from the inclined illumination light source 20 and the back side of the liquid crystal panel 12 at any position on the back side of the liquid crystal panel 12 is in a range from θ1 to θ2. In order to illuminate only the dust on both surfaces of the liquid crystal panel without illuminating the internal defect of the liquid crystal panel, the angle θ is preferably within the range of 10 to 50 degrees. In this embodiment, θ1 = 45 degrees and θ2 = 15 degrees. The positional relationship with the liquid crystal panel is the same in any of the four inclined light sources 20.

도7은 도6의 상태에 있어서의 먼지에 의한 빛의 난반사 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 경사조명광원(20)에 의해서 액정패널(12)의 뒷면을 향해 경사진 방향에서 빛을 조사하면 내부먼지(78)에 의한 난반사광(90)의 강도는 약해지고, CCD카메라(44)에 투영되는 휘점의 강도는 약해진다. 그 이유는 다음과 같다. 2장의 유리판(80, 82) 사이의 갭(gap) G는 예를 들면 5㎛ 정도이고 내부먼지(78)의 최대두께도 5㎛ 정도이다. 이러한 얇은 먼지(78)는 경사진 방향에서 빛을 조사한 경우에, CCD카메라(44)의 방향으로 난반사하는 빛(90)의 강도는 약해진다. 한편, 액정패널(12)의 뒷면 또는 앞면의 먼지(86, 88)는 예를 들면 수십 ㎛ 정도의 크기이며, 입체적이다. 이러한 먼지(86, 88)에서 난반사한 광(92, 94)은 CCD카메라(44)의 영상에 휘점으로 투영된다.FIG. 7 schematically shows a diffuse reflection state of light due to dust in the state of FIG. 6. When the light is irradiated in a direction inclined toward the rear surface of the liquid crystal panel 12 by the inclined illumination light source 20, the intensity of the diffuse reflection light 90 due to the internal dust 78 is weakened, and is projected onto the CCD camera 44. The intensity of the bright spot is weakened. The reason for this is as follows. The gap G between two glass plates 80 and 82 is about 5 micrometers, for example, and the maximum thickness of the internal dust 78 is also about 5 micrometers. When such thin dust 78 is irradiated with light in an inclined direction, the intensity of light 90 diffusely reflected in the direction of the CCD camera 44 is weakened. On the other hand, the dusts 86 and 88 on the rear surface or front surface of the liquid crystal panel 12 are about tens of micrometers in size, and are three-dimensional. Light 92 and 94 diffused from the dust 86 and 88 are projected to the image of the CCD camera 44 as a bright spot.

경사조명광원(20)의 빛은 액정패널(12)의 뒷면을 향해 비스듬히 조사되기 때문에 액정패널(12)을 투과한 광이 그대로 제2 편광판(46)을 통과해서(통과한다고 해도 특정의 편광방향에 합치하는 일부의 빛일 뿐이지만), CCD카메라(44)에 도달하는 것은 아니다. 먼지(78, 86, 88)에 의한 난반사광 중, 특정 편광방향에 합치하는 빛이 제2 편광판(46)을 통과해서 CCD카메라(44)에 도달하게 된다.Since the light of the inclined illumination light source 20 is irradiated obliquely toward the rear side of the liquid crystal panel 12, the light transmitted through the liquid crystal panel 12 passes through the second polarizing plate 46 as it is (even though it passes through) in a specific polarization direction. Is only a part of light, but does not reach the CCD camera 44. Of the diffusely reflected light by the dusts 78, 86, and 88, the light matching the specific polarization direction passes through the second polarizing plate 46 to reach the CCD camera 44.

CCD카메라(44)의 영상을 화상처리부(48)(도1 참조)에서 처리할 때, 소정의 임계치를 설정하고 그 임계치보다도 큰 검출강도의 화소데이터만을 휘점으로 취출하도록 하면, 도7의 상태에서는 강도가 약한 내부먼지(78)에 의한 난반사광(90)은 화상처리부(48)의 출력으로부터는 소실되고, 표면의 먼지(86, 88)에 의한 난반사 광(92, 94)만이 휘점으로서 취출된다. 따라서 백라이트광에 의한 휘점위치의 데이터로부터 경사조명광원에 의한 휘점위치의 데이터를 제거하면, 내부 먼지에 의한 휘점위치의 데이터만이 남게 되며, 내부먼지와 표면먼지의 구분이 가능해진다.When the image of the CCD camera 44 is processed by the image processing unit 48 (see FIG. 1), if a predetermined threshold value is set and only pixel data having a detection intensity larger than the threshold value is taken out as a bright point, in the state of FIG. The diffuse reflection light 90 due to the weak internal dust 78 is lost from the output of the image processing unit 48, and only the diffuse reflection light 92, 94 due to the dust 86, 88 on the surface is taken out as a bright spot. . Therefore, when the data of the light point position by the inclined illumination light source is removed from the data of the light point position by the backlight light, only the data of the light point position by the internal dust remain, and it is possible to distinguish between internal dust and surface dust.

이어서, 액정패널의 내부먼지를 검출하는 순서를 설명한다. 도1에 있어서, 백라이트스위치(36)를 켜고 백라이트장치(30)를 점등시킨다. 셔터(32)는 닫아두고, 경사조명 스위치(40)는 끈다. 패널지지대(10)에 편광판을 부착하기 전의 액정패널(12)을 올려놓는다. 셔터(32)를 열고 백라이트장치(30)의 빛을 확산판(24)과 제1 편광판(22)을 통해서 액정패널(12)의 뒷면에 조사한다. 그리고, CCD카메라(44)로 액정패널(12)을 촬영한다. 이것이 도5에 나타낸 상태이다.Next, the procedure of detecting internal dust of a liquid crystal panel is demonstrated. 1, the backlight switch 36 is turned on and the backlight device 30 is turned on. The shutter 32 is closed and the inclined light switch 40 is turned off. The liquid crystal panel 12 before attaching the polarizing plate to the panel support 10 is placed. The shutter 32 is opened and the light of the backlight device 30 is irradiated onto the rear surface of the liquid crystal panel 12 through the diffusion plate 24 and the first polarizing plate 22. Then, the liquid crystal panel 12 is photographed by the CCD camera 44. This is the state shown in FIG.

다음에, 셔터(32)를 닫고 백라이트장치(30)의 빛이 액정패널(12)의 뒷면을 향하는 것을 차단한다. 백라이트 스위치(36)는 켜둔 채로 둔다. 그리고 경사조명 스위치(40)를 켠다. 백라이트장치(30)를 소등하지 않는 이유는 다음과 같다. 백라이트장치(30)로서 형광등을 사용한 경우, 백라이트장치(30)가 점등해서 정상상태가 되기까지 어느 정도의 시간이 걸리기 때문에 복수개의 액정패널 검사 시의 사이클타임을 단축하기 위해 백라이트장치(30)는 점등상태인 채로 두는 것이 바람직하다. 경사조명일 때는 셔터(32)가 닫혀있기 때문에 백라이트광은 액정패널에는 조사되지 않는다. 경사조명광원(20)의 빛은 액정패널(12)의 뒷면을 향해 비스듬히 조사된다. 그리고, CCD카메라(44)로 액정패널(12)을 촬영한다. 이것이 도7에 나타낸 상태이다.Next, the shutter 32 is closed to block the light of the backlight device 30 from being directed toward the rear side of the liquid crystal panel 12. The backlight switch 36 is left on. Then, the inclined light switch 40 is turned on. The reason for not turning off the backlight device 30 is as follows. In the case where a fluorescent lamp is used as the backlight device 30, the backlight device 30 may take some time until the backlight device 30 is turned on to be in a steady state. It is preferable to leave it on. Since the shutter 32 is closed during the inclined light, the backlight does not irradiate the liquid crystal panel. Light of the inclined illumination light source 20 is irradiated obliquely toward the rear surface of the liquid crystal panel 12. Then, the liquid crystal panel 12 is photographed by the CCD camera 44. This is the state shown in FIG.

도8은 그렇게 해서 촬영한 액정패널의 영상의 일부를 확대해서 나타낸 모식 도이다. 상하방향과 좌우방향으로 연장된 선은 게이트선(70)과 데이터선(72)이다. 서로 이웃하는 두 줄의 게이트선(70)과 서로 이웃하는 두 줄의 데이터선(72)으로 둘러싸인 영역이 하나의 화소이다. 도8(A)는 백라이트광으로 촬영한 것이다. 액정패널의 내부에 있는 내부먼지가 휘점(96)으로 투영되며, 액정패널 앞쪽 또는 뒤쪽 표면에 붙은 외부먼지도 휘점(98)(이 예에서는 3개가 있다)으로 투영된다. 도8(B)은 경사조명광원으로 촬영한 것이다. 액정패널의 내부에 있는 내부먼지에 대한 휘점(96)은 소실되고, 액정패널의 앞쪽 또는 뒤쪽 표면에 붙은 외부먼지의 휘점(98)만이 투영된다. 내부먼지에 의한 휘점(96)은 완전히는 소실되지 않을지도 모르지만, 소정의 임계치 이상의 빛의 강도만을 의미 있는 데이터로서 취출함으로써, 내부 먼지에 의한 휘점(96)은 데이터로서는 소실된다.8 is a schematic diagram showing an enlarged portion of an image of a liquid crystal panel photographed in this way. The lines extending in the vertical and horizontal directions are the gate line 70 and the data line 72. An area surrounded by two gate lines 70 neighboring each other and two data lines 72 neighboring each other is one pixel. Fig. 8A is taken with backlight light. Internal dust inside the liquid crystal panel is projected to the bright point 96, and external dust adhering to the front or rear surface of the liquid crystal panel is projected to the bright spot 98 (there are three in this example). Fig. 8B is taken with an inclined light source. The bright spot 96 for the internal dust inside the liquid crystal panel is lost, and only the bright spot 98 of the external dust adhering to the front or rear surface of the liquid crystal panel is projected. Although the bright point 96 by internal dust may not be completely eliminated, only the light intensity above a predetermined threshold value is taken out as meaningful data, so that the bright point 96 by internal dust is lost as data.

화상처리부(48)(도1 참조)는 도8(A)의 화상에 있어서의 휘점의 좌표위치 데이터와 도8(B)의 화상에 있어서의 휘점의 좌표위치 데이터를 기억하고 있으며, 전자의 데이터와 후자의 데이터의 공통부분(이것은 외부 먼지에 의한 휘점의 좌표위치 데이터이다)을 데이터로서 삭제할 수 있다. 남겨진 것이 내부 먼지에 의한 휘점의 좌표위치 데이터이다. 이에 따라, 내부먼지의 유무 및 그 위치를 파악할 수 있다. The image processing unit 48 (see Fig. 1) stores coordinate position data of the bright point in the image of Fig. 8A and coordinate position data of the bright point in the image of Fig. 8B. The common part of the data of the latter and the latter (this is the coordinate position data of the bright point caused by external dust) can be deleted as data. What is left is the coordinate position data of the bright point caused by the internal dust. Accordingly, it is possible to determine the presence and the location of the internal dust.

상기 실시예에서는 셔터를 이용해서 백라이트광을 차단했으나, 셔터를 없앨 수도 있다. 이러한 경우에는 경사조명을 행할 때 백라이트를 소등한다.In the above embodiment, the backlight is blocked by using the shutter, but the shutter may be removed. In this case, the backlight is turned off when the oblique illumination is performed.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명에 의하면, 편광판이 없는 상태의 액정패널을 촬상장치를 이용해서 검사하는 경우에 액정패널의 양쪽 표면에 부착되어 있는 먼지의 영상과 액정패널의 내부 결함을 구별할 수 있는 효과를 갖는다.According to the present invention, when the liquid crystal panel without the polarizing plate is inspected using the imaging device, the image of dust adhering to both surfaces of the liquid crystal panel and the internal defect of the liquid crystal panel can be distinguished.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims (4)

(가) 편광판이 없는 상태의 액정패널을 지지하는 패널지지대;(A) a panel support for supporting a liquid crystal panel in a state without a polarizing plate; (나) 상기 액정패널의 한쪽 표면을 마주보도록 배치된 백라이트;(B) a backlight disposed to face one surface of the liquid crystal panel; (다) 상기 액정패널의 다른쪽 표면을 마주보도록 배치된 촬상장치;(C) an imaging device arranged to face the other surface of the liquid crystal panel; (라) 상기 액정패널과 상기 백라이트 사이에 배치된 제1편광판;(D) a first polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the backlight; (마)상기 액정패널과 상기 촬상장치 사이에 배치된 제2편광판;(E) a second polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the imaging device; (바) 상기 액정패널의 상기 한쪽 표면을 향해 소정의 경사각도로 조명광을 비추는 경사조명광원으로, 이 경사조명광원으로부터의 조명광이 상기 제1편광판을 통과하지 않고 상기 한쪽 표면을 비추도록 배치된 경사조명광원; 및(F) an inclined illumination light source that illuminates illumination light at a predetermined inclination angle toward the one surface of the liquid crystal panel, the inclined illumination arranged so that the illumination light from the inclined illumination light source does not pass through the first polarizing plate to illuminate the one surface; Light source; And (사) 상기 백라이트에 의한 액정패널의 조명과 상기 경사조명광원에 의한 액정패널의 조명을 변환하기 위한 변환장치;(G) a converter for converting illumination of the liquid crystal panel by the backlight and illumination of the liquid crystal panel by the inclined illumination light source; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.Liquid crystal panel inspection apparatus comprising a. 제1항에 있어서, 상기 액정패널의 상기 한쪽 표면의 임의의 지점에 있어서 상기 경사각도가 10~50도의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the inclination angle is in a range of 10 to 50 degrees at any point on the one surface of the liquid crystal panel. 제1항 또는 2항에 있어서, 상기 변환장치는 상기 액정패널과 상기 백라이트와의 사이에 배치된 셔터를 포함하며, 상기 셔터는 상기 백라이트로부터 상기 액정패널의 상기 한쪽 면을 향하는 조명광을 통과시키는 개방상태와, 상기 백라이트로부터 상기 액정패널의 상기 한쪽 면을 향하는 조명광을 차단하는 폐쇄상태와의 사이에서 변환 가능한 것을 특징으로 하는 액정패널검사장치.3. The converter according to claim 1 or 2, wherein the converter includes a shutter disposed between the liquid crystal panel and the backlight, wherein the shutter is opened to pass illumination light from the backlight toward the one side of the liquid crystal panel. And a closed state for blocking illumination light directed from the backlight to the one side of the liquid crystal panel. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 액정패널은 제1변, 제2변, 제3변 및 제4변으로 이루어진 사각형 형상을 하고 있으며, 상기 경사조명광원은:The liquid crystal panel of claim 1 or 2, wherein the liquid crystal panel has a quadrangular shape consisting of a first side, a second side, a third side, and a fourth side, and the inclined light source comprises: (a) 상기 액정패널의 상기 제1변에 평행한 제1 사이드램프로, 상기 액정패널보다도 상기 백라이트 쪽에 위치하며, 상기 액정패널의 중심에서 보면 상기 제1변보다 먼 위치에 있는 제1 사이드램프;(a) a first side lamp parallel to the first side of the liquid crystal panel, the first side lamp being located on the backlight side of the liquid crystal panel and located farther from the first side when viewed from the center of the liquid crystal panel; ; (b) 상기 액정패널의 상기 제2변에 평행한 제 2사이드램프로, 상기 액정패널보다 상기 백라이트 쪽에 위치하며, 상기 액정패널의 중심에서 보면 상기 제2변보다 먼 위치에 있는 제2 사이드램프;(b) a second side lamp parallel to the second side of the liquid crystal panel, the second side lamp being located on the backlight side of the liquid crystal panel and located farther from the second side when viewed from the center of the liquid crystal panel; ; (c) 상기 액정패널의 상기 제3변에 평행한 제3 사이드램프로, 상기 액정패널보다 상기 백라이트 쪽에 위치하며 상기 액정패널의 중심에서 보면 제3변보다도 먼 위치에 있는 제3 사이드램프; 및(c) a third side lamp parallel to the third side of the liquid crystal panel, the third side lamp being located at the backlight side of the liquid crystal panel and farther from the third side when viewed from the center of the liquid crystal panel; And (d) 상기 액정패널의 상기 제4변에 평행한 제4 사이드램프로, 상기 액정패널보다 상기 백라이트 쪽에 위치하며 상기 액정패널의 중심에서 보면 상기 제4변보다 먼 위치에 있는 제4 사이드램프;(d) a fourth side lamp parallel to the fourth side of the liquid crystal panel, the fourth side lamp positioned on the backlight side of the liquid crystal panel and located farther from the fourth side when viewed from the center of the liquid crystal panel; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.Liquid crystal panel inspection apparatus comprising a.
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