KR100776283B1 - 박리공정설비 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 박리공정설비에 있어서,복수의 기판을 수용하는 저장 용기를 로딩 및 언로딩시키는 로드 포트와,상기 로드 포트와 인접하게 배치되는, 그리고 상기 로드 포트로 기판을 이송하는 기판이송장치를 가지는 이에프이엠과,상기 이에프이엠과 인접하게 배치되는 로드락 챔버와,상기 박리공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 챔버, 그리고상기 로드락 챔버 및 상기 공정 챔버 상호간에 기판을 이송하는 트랜스퍼 챔버를 포함하되,상기 로드락 챔버는,펠티어 효과에 의해 기판을 가열 및 냉각하는 온도조절부재가 제공되는 것을 특징으로 하는 박리공정설비.
- 제 1 항에 있어서,상기 온조조절부재는,기판을 지지하는 지지부재와,상기 지지부재에 설치되는 제 1 금속판 및 상기 제 1 금속판과 대향되도록 설치되는 제 2 금속판과,상기 제 1 금속판 및 상기 제 2 금속판으로 전원을 공급하는 전원 공급기를 포함하는 것을 특징으로 하는 박리공정설비.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 로드락 챔버는,상기 이에프이엠으로부터 상기 트랜스퍼 챔버로 기판의 이송 및 가열을 수행하는 제 1 챔버 및 상기 트랜스퍼 챔버로부터 상기 이에프이엠으로 기판의 반송 및 냉각을 수행하는 제 2 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 박리공정설비.
- 제 3 항에 있어서,상기 온도조절부재는,제 1 온도조절부재 및 제 2 온도조절부재를 포함하되,상기 제 1 온도조절부재는,상기 제 1 챔버에 제공되고,상기 제 2 온도조절부재는,상기 제 2 챔버에 제공되는 것을 특징으로 하는 박리공정설비.
- 제 4 항에 있어서,상기 제 1 온도조절부재 및 상기 제 2 온도조절부재 각각은,기판을 지지하는 지지부재, 상기 지지부재에 설치되는 제 1 금속판 및 상기 제 1 금속판과 대향되도록 설치되는 제 2 금속판, 상기 제 1 금속판 및 상기 제 2 금속판으로 전원을 공급하는 전원 공급기를 포함하는 것을 특징으로 하는 박리공정설비.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 1 금속판은 상기 제 2 금속판보다 상기 안착부에 안착된 기판과 인접하게 배치되고,상기 제 1 온도조절부재의 전원 공급기는,상기 제 1 금속판과 상기 제 2 금속판 각각에 음전압 및 양전압을 공급하고,상기 제 2 온도조절부재의 전원 공급기는,상기 제 1 금속판과 상기 제 2 금속판 각각에 양전압 및 음전압을 공급하는 것을 특징으로 하는 박리공정설비.
- 박리공정을 수행하는 방법에 있어서,(a)이에프이엠이 저장 용기로부터 로드락 챔버로 기판을 이송하는 단계와,(b)트랜스퍼 챔버가 상기 로드락 챔버로부터 박리공정이 수행되는 공정 챔버로 기판을 이송하는 단계와,(c)기판상에 박리공정을 수행하는 단계와,(d)상기 트랜스퍼 챔버가 상기 공정 챔버로부터 상기 로드락 챔버로 이송시키는 단계와,(e)상기 로드락 챔버가 기판을 냉각하는 단계와,(f)상기 이에프이엠이 상기 로드락 챔버로부터 상기 저장 용기로 기판을 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박리공정방법.
- 제 7 항에 있어서,상기(e)단계는,상기 금속판들 각각에 서로 다른 극성의 전원을 공급하여 펠티어 효과에 의해 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 박리공정방법.
- 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,상기 박리공정방법은,상기(a)단계와 상기(b)단계 사이에 상기 로드락 챔버에서 기판을 가열하는 단계를 더 포함하고,상기 기판을 가열하는 단계는,금속판들 각각에 서로 다른 극성의 전원을 공급하여 펠티어 효과에 의해 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 박리공정방법.
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