KR100769471B1

KR100769471B1 - 적층 세라믹 전자 부품용 유전체 페이스트 및 적층 세라믹전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법

Info

Publication number: KR100769471B1
Application number: KR1020067018556A
Authority: KR
Inventors: 시게키 사토; 다케시 노무라
Original assignee: 티디케이가부시기가이샤
Priority date: 2004-03-16
Filing date: 2005-03-16
Publication date: 2007-10-24
Also published as: TW200540891A; TWI272626B; JP4412012B2; WO2005087688A1; US20070202256A1; CN1946654A; KR20070001178A; JP2005263501A

Abstract

적층 세라믹 전자 부품에 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 원하는 바와 같이 스페이서층을 형성할 수 있는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법을 제공한다. 바인더로서 아크릴계 수지를 포함하는 세라믹 그린 시트 상에 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 유전체 페이스트를 소정의 패턴으로 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법.

적층, 세라믹, 전자 부품, 유전체, 페이스트, 바인더, 에틸셀룰로오스, 아크릴, 수지, 겉보기, 스페이서, 용제.

Description

적층 세라믹 전자 부품용 유전체 페이스트 및 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법{DIELECTRIC PASTE FOR MULTILAYER CERAMIC ELECTRONIC COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING MULTILAYER UNIT FOR MULTILAYER CERAMIC ELECTRONIC COMPONENT}

본 발명은 적층 세라믹 전자 부품용 유전체 페이스트 및 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 스페이서층에 인접하는 층에 포함되어 있는 바인더를 용해하지 않고, 적층 세라믹 전자 부품에 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 적층 세라믹 전자 부품의 스페이서층용 유전체 페이스트 및 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법에 관한 것이다.

최근 각종 전자 기기의 소형화에 따라, 전자 기기에 실장되는 전자 부품의 소형화 및 고성능화가 요구되게 되었으며, 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 세라믹 전자 부품에서도 적층 수의 증가, 적층 단위의 박층화가 강하게 요구되고 있다.

적층 세라믹 콘덴서에 의해 대표되는 적층 세라믹 전자 부품을 제조하려면, 먼저 세라믹 분말과, 아크릴 수지, 부틸알 수지 등의 바인더와, 프탈산 에스테르류, 글리콜류, 아디프산, 인산 에스테르류 등의 가소제와, 톨루엔, 메틸에틸케톤, 아세톤 등의 유기 용매를 혼합 분산하여 세라믹 그린 시트용 유전체 페이스트를 조제한다.

이어서, 유전체 페이스트를 익스트루젼 코터나 그라비아 코터 등을 사용하여 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)나 폴리프로필렌(PP) 등에 의해 형성된 지지 시트 상에 도포하고 가열하여 도막을 건조시켜 세라믹 그린 시트를 제작한다.

또한, 니켈 등의 도전체 분말과 바인더를 터피네올 등의 용제에 용해하여 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 도전체 페이스트를 스크린 인쇄기 등에 의해 소정의 패턴으로 인쇄하고 건조시켜 전극층을 형성한다.

전극층이 형성되면, 전극층이 형성된 세라믹 그린 시트를 지지 시트로부터 박리하여 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 적층체 유닛을 형성하고, 원하는수의 적층체 유닛을 적층하여 가압하고, 얻어진 적층체를 칩 형태로 절단하여 그린 칩을 제작한다.

마지막으로, 그린 칩으로부터 바인더를 제거하여 그린 칩을 소성하고, 외부 전극을 형성함으로써 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 세라믹 전자 부품이 제조된다.

전자 부품의 소형화 및 고성능화의 요청에 따라, 현재, 적층 세라믹 콘덴서의 층간 두께를 결정하는 세라믹 그린 시트의 두께를 3μm 혹은 2μm 이하로 할 것이 요구되며, 300 이상의 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 적층체 유닛을 적층할 것이 요구되고 있다.

그러나 종래의 적층 세라믹 콘덴서에서는, 세라믹 그린 시트의 표면에 소정의 패턴으로 전극층이 형성되기 때문에, 각 세라믹 그린 시트의 표면의 전극층이 형성된 영역과 전극층이 형성되지 않은 영역 사이에 단차가 형성되고, 따라서 각각이 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 다수의 적층체 유닛을 적층할 것이 요구되는 경우에는 다수의 적층체 유닛에 포함된 세라믹 그린 시트들을 원하는 바와 같이 접착시키기가 어려워짐과 함께, 다수의 적층체 유닛이 적층된 적층체가 변형을 일으키거나 디라미네이션이 발생한다는 문제가 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 유전체 페이스트를 전극층의 패턴과 반대의 패턴으로 세라믹 그린 시트의 표면에 인쇄하고, 스페이서층을 서로 이웃한 전극층 사이에 형성하여 각 세라믹 그린 시트의 표면에서의 단차를 해소시키는 방법이 제안된 바 있다.

이와 같이 서로 이웃한 전극층 사이의 세라믹 그린 시트의 표면에 인쇄에 의해 스페이서층을 형성하여 적층체 유닛을 제작한 경우에는 각 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트의 표면에서의 단차가 해소되며, 각각이 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 수 많은 적층체 유닛을 적층하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작하는 경우에도 원하는 바와 같이 다수의 적층체 유닛에 포함된 세라믹 그린 시트를 접착시키는 것이 가능해짐과 함께, 각각이 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 수 많은 적층체 유닛이 적층되어 형성된 적층체가 변형을 일으키는 것을 방지할 수 있다는 이점이 있다.

그러나, 세라믹 그린 시트용 바인더로서 널리 사용되고 있는 아크릴계 수지를 사용한 세라믹 그린 시트 상에 스페이서층을 형성하기 위한 유전체 페이스트의 용제로서 가장 일반적으로 사용되고 있는 터피네올을 사용하여 조제된 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에는, 유전체 페이스트 중의 터피네올에 의해 세라믹 그린 시트의 바인더가 용해되어 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되어 세라믹 그린 시트와 스페이서층 사이의 계면에 공극이 발생하거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하고, 적층체 유닛을 적층하고 소성하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서 중에 보이드가 발생한다는 문제가 있었다. 나아가, 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하면 그 부분은 결락되기 쉽기 때문에, 적층체 유닛을 적층하여 적층체를 제작하는 공정에서 적층체 내에 이물질로서 혼입되어 적층 세라믹 콘덴서의 내부 결함의 원인이 되며, 스페이서층이 결락된 부분에 보이드가 발생한다는 문제도 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 용제로서 케로센, 데칸 등의 탄소 수소계 용제를 사용할 것이 제안된 바 있는데, 케로센, 데칸 등의 탄소 수소계 용제는 유전체 페이스트에 사용되는 바인더 성분도 용해하지 않기 때문에 종래 사용되고 있는 터피네올 등의 용제를 케로센, 데칸 등의 탄소 수소계 용제에 의해 완전히 치환할 수 없고, 따라서 유전체 페이스트 중의 용제가 여전히 세라믹 그린 시트의 바인더인 아크릴계 수지에 대하여 어느 정도의 용해성을 가지고 있기 때문에 세라믹 그린 시트의 두께가 매우 얇은 경우에는 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 크랙이 발생하는 것을 방지하기가 곤란하며, 또한 케로센, 데칸 등의 탄소 수소계 용제는 터피네올에 비하여 점도가 낮기 때문에 유전체 페이스트의 점도 제어가 곤란해진다는 문제도 있었다.

또한 일본 특허 공개 평 5-325633호 공보, 일본 특허 공개 평 7-21833호 공보 및 일본 특허 공개 평 7-21832호 공보 등은 터피네올 대신 디하이드로터피네올 등의 수소 첨가 터피네올이나 디하이드로터피네올아세테이트 등의 테르펜계 용제를 제안하고 있는데, 디하이드로터피네올 등의 수소 첨가 터피네올이나 디하이드로터피네올아세테이트 등의 테르펜계 용제는 여전히 세라믹 그린 시트의 바인더인 아크릴계 수지에 대하여 어느 정도의 용해성을 가지고 있기 때문에, 세라믹 그린 시트의 두께가 매우 얇은 경우에는 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 크랙이 발생하는 것을 방지하기가 곤란하다는 문제가 있었다.

따라서 본 발명은, 적층 세라믹 전자 부품의 스페이서층에 인접하는 층에 포함되어 있는 바인더를 용해하지 않고, 적층 세라믹 전자 부품에 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 적층 세라믹 전자 부품의 스페이서층용 유전체 페이스트를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 적층 세라믹 전자 부품에 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 원하는 바와 같이 스페이서층을 형성할 수 있는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명자는 본 발명의 이러한 목적을 달성하기 위하여 예의 연구를 거듭한 결과, 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 바인더로서 사용하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 사용하여 스페이서층용 유전체 페이스트를 조제한 경우에는, 인쇄에 적합한 점도를 갖는 유전체 페이스트를 조제할 수 있을 뿐만 아니라, 원하는 바와 같이 유전체 페이스트의 바인더를 용제에 용해시킬 수 있으며, 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하여도 유전체 페이스트 중에 포함된 용제에 의해 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 바인더가 용해되지 않고, 따라서 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되어 세라믹 그린 칩과 스페이서층 사이의 계면에 공극이 발생하거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하는 것을 확실하게 방지할 수 있고, 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 세라믹 전자 부품에 보이드가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다는 것을 발견하였다.

본 발명은 이러한 깨달음에 따른 것이며, 따라서 본 발명의 상기 목적은 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 페이스트에 의해 달성된다.

본 발명에서는, 스페이서층용 유전체 페이스트는 유전체 원료(세라믹 분말)와 용제 중에 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 용해시킨 유기 비히클을 혼련하여 조제된다.

유전체 원료로는 복합 산화물이나 산화물이 되는 각종 화합물, 예컨대 탄산염, 질산염, 수산화물, 유기 금속 화합물 등으로부터 적당히 선택되며, 이들을 혼합하여 사용할 수 있는데, 바람직하게는 후술하는 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 유전체 원료의 분말과 동일 조성의 유전체 원료의 분말이 사용된다. 유전체 원료는 통상적으로 평균 입자 지름이 약 0.1μm 내지 약 3.0μm 정도인 분말로서 사용된다.

본 발명에서 바람직하게는, 유전체 페이스트가 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11.5만 내지 18만인 에틸셀룰로오스를 포함하고 있다.

본 발명에서, 유전체 페이스트에 바인더로서 포함되는 에틸셀룰로오스의 겉보기의 중량 평균 분자량은 중량 평균 분자량이 서로 다른 2종 이상의 에틸셀룰로오스를 혼합함으로써 에틸셀룰로오스의 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만이 되도록 조정하여도, 혹은 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 이용하여 에틸셀룰로오스의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만이 되도록 조정하여도 좋다. 중량 평균 분자량이 서로 다른 2종 이상의 에틸셀룰로오스를 혼합함으로써 에틸셀룰로오스의 겉보기의 중량 평균 분자량을 조정하는 경우에는, 예컨대 중량 평균 분자량이 7.5만인 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량이 13만인 에틸셀룰로오스를 혼합하거나, 혹은 중량 평균 분자량이 13만인 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량이 23만인 에틸셀룰로오스를 혼합하여 에틸셀룰로오스의 겉보기의 중량 평균 분자량이 13만 내지 19만이 되도록 조정할 수 있다.

스페이서층용 유전체 페이스트는 유전체 원료의 분말 100 중량부에 대하여 바람직하게는 약 4 중량부 내지 약 15 중량부, 특히 바람직하게는 약 4중량부 내지 약 10 중량부의 에틸셀룰로오스를 포함하고, 바람직하게는 약 40 중량부 내지 약 250 중량부, 더욱 바람직하게는 약 60 중량부 내지 약 140 중량부, 특히 바람직하게는 약 70 중량부 내지 약 120 중량부의 용제를 포함하고 있다.

스페이서층용 유전체 페이스트는 유전체 원료의 분말 및 에틸셀룰로오스 이외에 임의 성분으로서 가소제 및 박리제를 포함하고 있어도 좋다.

스페이서층용 유전체 페이스트에 포함되어 있는 가소제는 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 프탈산 에스테르, 아디프산, 인산 에스테르, 글리콜류 등을 들 수 있다. 스페이서층용 유전체 페이스트에 포함되는 가소제는 후술하는 세라믹 그린 시트에 포함되는 가소제와 동일한 계열이어도, 동일한 계열이 아니어도 좋다. 스페이서층용 유전체 페이스트는 에틸셀룰로오스 100 중량부에 대하여 약 0 중량부 내지 약 200 중량부, 바람직하게는 약 10 중량부 내지 약 100 중량부, 더욱 바람직하게는 약 20 중량부 내지 약 70 중량부의 가소제를 포함하고 있다.

스페이서층용 유전체 페이스트에 포함되는 박리제는 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 파라핀, 왁스, 실리콘유 등을 들 수 있다. 스페이서층용 유전체 페이스트는 에틸셀룰로오스 100 중량부에 대하여 약 0 중량부 내지 약 100 중량부, 바람직하게는 약 2 중량부 내지 약 50 중량부, 보다 바람직하게는 약 5 중량부 내지 약 20 중량부의 박리제를 포함하고 있다.

본 발명의 상기 목적은 또한 바인더로서 아크릴계 수지를 포함하는 세라믹 그린 시트 상에 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 유전체 페이스트를 소정의 패턴으로 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법에 의해 달성된다.

본 발명에 의하면, 인쇄에 적합한 점도를 갖는 유전체 페이스트를 조제할 수 있고, 원하는 바와 같이 스페이서층을 형성하는 것이 가능해질 뿐만 아니라, 바인더로서 아크릴계 수지를 포함하는 매우 얇은 세라믹 그린 시트 상에 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하여도 유전체 페이스트 중에 포함된 용제에 의해 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 바인더가 용해되지 않고, 따라서 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되어 세라믹 그린 시트와 스페이서층 사이의 계면에 공극이 발생하거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하는 것을 확실하게 방지하는 것이 가능해지므로, 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 세라믹 전자 부품에 보이드가 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

여기서, 에틸셀룰로오스의 겉보기의 중량 평균 분자량은 중량 평균 분자량이 서로 다른 2종 이상의 에틸셀룰로오스를 혼합함으로써 에틸셀룰로오스의 겉보기의 중량 평균 분자량이 11.5만 내지 18만이 되도록 조정하여도, 혹은 중량 평균 분자량이 11.5만 내지 18만인 에틸셀룰로오스를 이용하여 에틸셀룰로오스의 중량 평균 분자량이 11.5만 내지 18만이 되도록 조정하여도 좋다.

본 발명에서, 바인더로서 세라믹 그린 시트에 포함되는 아크릴계 수지의 중량 평균 분자량이 25만 이상 50만 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는, 아크릴계 수지의 중량 평균 분자량이 45만 이상 50만 이하이다.

본 발명에서, 바인더로서 세라믹 그린 시트에 포함되는 아크릴계 수지의 산가가 5mgKOH/g 이상 10mgKOH/g 이하인 것이 바람직하며, 산가가 5mgKOH/g 이상 10mgKOH/g 이하인 아크릴계 수지를 세라믹 그린 시트의 바인더로서 사용함으로써 원하는 점도를 갖는 세라믹 그린 시트용 유전체 페이스트를 조제할 수 있고, 세라믹 그린 시트용 유전체 페이스트의 분산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시 태양에서는, 상기 스페이서층의 형성에 앞서, 혹은 상기 스페이서층을 형성하고 건조한 후에, 상기 세라믹 그린 시트 상에 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 도전체 페이스트를 상기 스페이서층의 패턴과 상보적인 패턴으로 인쇄하여 전극층이 더 형성된다.

전극층을 형성하기 위한 도전체 페이스트에 포함되는 용제로서 지금까지 사용되어 온 터피네올과 케로센의 혼합 용제, 디하이드로터피네올, 터피네올 등은 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되어 있는 아크릴계 수지를 용해하기 때문에 아크릴계 수지를 바인더로서 사용한 세라믹 그린 시트 상에 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하였을 때 도전체 페이스트 중에 포함된 용제에 의해 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 바인더가 용해되어 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 크랙이 발생한다는 문제가 있었으나, 본 발명의 바람직한 실시 태양에 의하면, 전극층을 형성하기 위하여 사용하는 유전체 페이스트는 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하고 있으며, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되어 있는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않기 때문에 바인더로서 아크릴계 수지를 포함하는 매우 얇은 세라믹 그린 시트 상에 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하는 경우에서도 도전체 페이스트 중에 포함된 용제에 의해 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 바인더가 용해되지 않고, 따라서 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되지 않으므로 세라믹 그린 시트의 두께가 매우 얇은 경우에서도 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 크랙이 발생하는 것을 확실하게 방지하는 것이 가능해진다.

나아가, 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 도전체 페이스트는 인쇄에 적합한 점도를 가지고 있으므로, 세라믹 그린 시트 상에 스페이서층의 패턴과 상보적인 패턴으로 도전체 페이스트를 인쇄하여 원하는 바와 같이 전극층을 형성하는 것이 가능해진다.

또한 매우 얇은 세라믹 그린 시트에 전극층용 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하고, 스페이서층용 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에는, 전극층용 도전체 페이스트 중의 용제 및 스페이서층용 유전체 페이스트 중의 용제가 세라믹 그린 시트의 바인더 성분을 용해 또는 팽윤시키고, 그 한편으로 세라믹 그린 시트 중에 도전체 페이스트 및 유전체 페이스트가 배어든다는 문제가 있어 쇼트 불량의 원인이 된다는 문제가 있기 때문에, 전극층 및 스페이서층을 별도의 지지 시트 상에 형성하고 건조 후에 접착층을 통하여 세라믹 그린 시트의 표면에 접착하는 것이 바람직하다는 것이 본 발명자들의 연구에 의해 밝혀졌으나, 이와 같이 전극층 및 스페이서층을 별도의 지지 시트 상에 형성하는 경우에는 전극층 및 스페이서층으로부터 지지 시트를 박리하기 쉽게 하기 위하여 지지 시트의 표면에 세라믹 그린 시트와 동일한 바인더를 포함하는 박리층을 형성하고, 박리층 상에 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하고, 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 세라믹 그린 시트와 동일한 조성을 갖는 박리층 상에 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에도, 박리층이 아크릴계 수지를 바인더로서 포함하고 유전체 페이스트가 터피네올을 용제로서 포함하고 있을 때에는 박리층에 포함된 바인더가 유전체 페이스트에 포함된 용제에 의해 용해되어 박리층이 부풀거나 부분적으로 용해되어 박리층과 스페이서층 사이의 계면에 공극이 발생하거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하고, 적층체 유닛을 적층하고 소성하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서 중에 보이드가 발생한다는 문제가 있었다. 나아가, 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하면 그 부분은 결락되기 쉽기 때문에, 적층체 유닛을 적층하여 적층체를 제작하는 공정에서 적층체 내에 이물로서 혼입하여 적층 세라믹 콘덴서의 내부 결함의 원인이 되고, 스페이서층이 결락된 부분에 보이드가 발생한다는 문제가 있었다.

그러나 본 발명에 의하면, 스페이서층용 유전체 페이스트는 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하고 있으며, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 세라믹 그린 시트와 동일한 바인더를 포함하는 박리층을 형성하고, 박리층 상에 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에도 박리층이 부풀거나 부분적으로 용해되어 박리층과 스페이서층 사이의 계면에 공극이 발생하거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 세라믹 전자 부품에 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

발명을 실시하기 위한 최량의 형태

본 발명의 바람직한 실시 태양에 있어서는, 먼저 아크릴계 수지를 바인더로서 포함하는 세라믹 그린 시트용 유전체 페이스트가 조제되고, 익스트루젼 코터나 와이어 바 코터 등을 이용하여 길이가 긴 지지 시트 상에 도포되어 도막이 형성된다.

세라믹 그린 시트 형성용 유전체 페이스트는, 통상적으로 유전체 재료(세라믹 분말)와 유기 용제 중에 아크릴계 수지를 용해시킨 유기 비히클을 혼련하여 조제된다.

아크릴계 수지의 중량 평균 분자량은 25만 이상 50만 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 45만 이상 50만 이하이다.

또한 아크릴계 수지의 산가가 5mgKOH/g 이상 10mgKOH/g 이하인 것이 바람직하다.

유기 비히클에 사용되는 유기 용제는 특별히 한정되지 않으며, 부틸카비톨, 아세톤, 톨루엔, 아세트산 에틸 등의 유기 용제가 사용된다.

유전체 재료로는 복합 산화물이나 산화물이 되는 각종 화합물, 예컨대 탄산염, 질산염, 수산화물, 유기 금속 화합물 등으로부터 적당히 선택되며, 이들을 혼합하여 사용할 수 있다. 유전체 재료는 통상 평균 입자 직경이 약 0.1μm 내지 약 3.0μm 정도인 분말로서 사용된다. 유전체 재료의 입자 직경은 세라믹 그린 시트의 두께보다 작은 것이 바람직하다.

유전체 페이스트 중의 각 성분의 함유량은 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 유전체 재료 100 중량부에 대하여 약 2.5 중량부 내지 약 10 중량부의 아크릴계 수지와 약 50 중량부 내지 약 300 중량부의 용제를 포함하도록 유전체 페이스트를 조제할 수 있다.

유전체 페이스트 중에는 필요에 따라 각종 분산제, 가소제, 대전 조제, 이형제, 젖음제 등의 첨가물이 함유되어 있어도 좋다. 유전체 페이스트 중에 이들 첨가물을 첨가하는 경우에는 총 함유량을 약 20 중량% 이하로 하는 것이 바람직하다.

유전체 페이스트를 도포하는 지지 시트로는, 예컨대 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 등이 사용되며, 박리성을 개선하기 위하여 그 표면에 실리콘 수지, 알키드수지 등이 코팅되어 있어도 좋다.

이어서, 도막이 예컨대 약 50℃ 내지 약 100℃의 온도에서 약 1분 내지 약 20분에 걸쳐 건조되어, 지지 시트 상에 세라믹 그린 시트가 형성된다.

건조 후의 세라믹 그린 시트의 두께는 3μm 이하인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 1.5μm 이하이다.

이어서, 길이가 긴 지지 시트의 표면에 형성된 세라믹 그린 시트 상에 전극층용 도전체 페이스트가 스크린 인쇄기나 그라비아 인쇄기 등을 사용하여 소정의 패턴으로 인쇄되고 건조되어 전극층이 형성된다.

전극층은 약 0.1μm 내지 약 5μm의 두께로 형성되는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 약 0.1μm 내지 약 1.5μm이다.

전극층용 도전체 페이스트는 각종 도전성 금속이나 합금으로 이루어지는 도전체 재료, 소성 후에 각종 도전성 금속이나 합금으로 이루어지는 도전체 재료가 되는 각종 산화물, 유기 금속 화합물 또는 레지네이트 등과 용제 중에 에틸셀룰로오스를 용해시킨 유기 비히클을 혼련하여 조제된다.

본 실시 태양에 있어서 도전체 페이스트는, 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하고 있다.

이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 매우 얇은 세라믹 그린 시트 상에 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하는 경우에서도 도전체 페이스트 중에 포함된 용제에 의해 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 바인더가 용해되어 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 따라서 세라믹 그린 시트의 두께가 매우 얇은 경우에서도 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 크랙이 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

또한, 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 도전체 페이스트는 인쇄에 적합한 점도를 가지고 있으므로, 스크린 인쇄기나 그라비아 인쇄기 등을 사용하여 원하는 바와 같이 세라믹 그린 시트 상에 소정의 패턴으로 전극층을 형성하는 것이 가능해진다.

도전체 페이스트를 제조할 때 사용하는 도전체 재료로는, Ni, Ni 합금 혹은 이들의 혼합물이 바람직하게 사용된다. 도전체 재료의 형상은 특별히 한정되지 않으며, 구상이어도 비늘 조각 형태이어도, 혹은 이들의 형상의 것이 혼합되어 있어도 좋다. 또한 도전체 재료의 평균 입자 직경은 특별히 한정되지 않으나, 통상적으로 약 0.1μm 내지 약 2μm, 바람직하게는 약 0.2μm 내지 약 1μm의 도전성 재료가 사용된다.

도전체 페이스트는 도전체 재료 100 중량부에 대하여 바람직하게는 약 2.5 중량부 내지 약 20중량부의 바인더를 포함하고 있다.

용제의 함유량은 도전체 페이스트 전체에 대하여 바람직하게는 약 40 중량% 내지 약 60 중량%이다.

접착성을 개선하기 위하여 도전체 페이스트가 가소제를 포함하고 있는 것이 바람직하다. 도전체 페이스트에 포함되는 가소제는 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 프탈산 에스테르, 아디프산, 인산 에스테르, 글리콜류 등을 들 수 있다. 도전체 페이스트는 바인더 100 중량부에 대하여 바람직하게는 약 10 중량부 내지 약 300 중량부, 더욱 바람직하게는 약 10 중량부 내지 약 200 중량부의 가소제를 포함하고 있다. 가소제의 첨가량이 너무 많으면 전극층의 강도가 현저하게 저하되는 경향이 있어 바람직하지 않다.

도전체 페이스트 중에는, 필요에 따라 각종 분산제, 부성분 화합물 등으로부터 선택되는 첨가물이 함유되어 있어도 좋다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는 전극층의 형성에 앞서, 혹은 전극층을 형성하여 건조한 후에, 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트가 세라믹 그린 시트의 표면에 전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 스크린 인쇄기나 그라비아 인쇄기 등을 사용하여 인쇄되어 스페이서층이 형성된다.

이와 같이 세라믹 그린 시트의 표면에 전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 스페이서층을 형성함으로써 전극층의 표면과 전극층이 형성되지 않은 세라믹 그린 시트의 표면 사이에 단차가 형성되는 것을 방지할 수 있고, 각각이 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 다수의 적층체 유닛을 적층하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 전자 부품이 변형을 일으키는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해짐과 함께, 디라미네이션의 발생을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

또한 전술한 바와 같이, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 스페이서층을 형성하기 위한 유전체 페이스트에 포함되는 용제에 의해 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되어 세라믹 그린 시트와 스페이서층 사이의 계면에 공극이 생기거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 생기는 것을 확실하게 방지하는 것이 가능해진다.

나아가, 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트는 인쇄에 적합한 점도를 가지고 있으므로, 스크린 인쇄기나 그라비아 인쇄기 등을 사용하여 원하는 바와 같이 세라믹 그린 시트 상에 전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 스페이서층을 형성하는 것이 가능해진다.

바람직하게는, 유전체 페이스트가 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11.5만 내지 18만인 에틸셀룰로오스를 포함하고 있다.

본 실시 태양에 있어서는, 스페이서층용 유전체 페이스트는 서로 다른 바인더 및 용제를 사용하는 점을 제외하고, 세라믹 그린 시트용 유전체 페이스트와 동일한 방법으로 조제된다.

이어서, 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층이 건조되어 지지 시트 상에 세라믹 그린 시트와 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛이 제작된다.

적층 세라믹 콘덴서를 제작함에 있어서는, 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트로부터 지지 시트가 박리되고 소정의 사이즈로 재단되어, 소정의 수의 적층체 유닛이 적층 세라믹 콘덴서의 외층 상에 적층되고, 적층체 유닛 상에 다른 하나의 외층이 더 적층되며, 얻어진 적층체가 프레스 성형되고 소정의 사이즈로 재단되어 다수의 세라믹 그린 칩이 제작된다.

이와 같이 하여 제작된 세라믹 그린 칩은 환원 가스 분위기 하에 놓여져서 바인더가 제거되고 또한 소성된다.

이어서, 소성된 세라믹 그린 칩에 필요한 외부 전극 등이 부착되어 적층 세라믹 콘덴서가 제작된다.

본 실시 태양에 의하면, 세라믹 그린 시트 상에 전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 스페이서층이 형성되므로, 전극층의 표면과 전극층이 형성되지 않은 세라믹 그린 시트의 표면 사이에 단차가 형성되는 것을 방지할 수 있고, 따라서 각각이 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 다수의 적층체 유닛을 적층하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 전자 부품이 변형을 일으키는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해짐과 함께, 디라미네이션의 발생을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

또한 본 실시 태양에 의하면, 바인더로서 아크릴계 수지를 포함하는 세라믹 그린 시트 상에 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 유전체 페이스트를 전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 인쇄하여 스페이서층을 형성하도록 구성되어 있으며, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 매우 얇은 세라믹 그린 시트 상에 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에서도 유전체 페이스트 중에 포함된 용제에 의해 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 바인더가 용해되어 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되어 세라믹 그린 시트와 스페이서층 사이의 계면에 공극이 생기거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 생기는 것을 확실하게 방지할 수 있고, 따라서 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 다수의 적층체 유닛을 적층하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서에 보이드가 발생하는 것을 확실하게 방지하는 것이 가능해짐과 함께, 스페이서층의 표면에 생성된 금이나 주름 부분이 적층체 유닛을 적층하여 적층체를 제작하는 공정에서 결락되어 적층체 내에 이물질로서 혼입되어 적층 세라믹 콘덴서에 내부 결함을 발생시키는 것을 확실하게 방지하는 것이 가능해진다.

아울러 본 실시 태양에 의하면, 바인더로서 아크릴계 수지를 포함하는 세라믹 그린 시트 상에 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 도전체 페이스트를 소정의 패턴으로 인쇄하여 전극층을 형성하도록 구성되어 있으며, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 매우 얇은 세라믹 그린 시트 상에 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하는 경우에서도 도전체 페이스트 중에 포함된 용제에 의해 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 바인더가 용해되어 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 따라서 세라믹 그린 시트의 두께가 매우 얇은 경우에서도 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 크랙이 발생하는 것을 효과적으로 방지하여 적층체 유닛을 적층하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서에 쇼트 불량이 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

본 발명의 다른 바람직한 실시 태양에 있어서는, 세라믹 그린 시트를 형성하기 위하여 사용한 길이가 긴 지지 시트와 다른 제2 지지 시트가 준비되며, 길이가 긴 제2 지지 시트의 표면에 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 유전체 재료와 실질적으로 동일 조성의 유전체 재료의 입자를 포함하고, 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 바인더와 동일한 바인더를 포함하는 유전체 페이스트가 와이어 바 코터 등을 이용하여 도포되고 건조되어 박리층이 형성된다.

제2 지지 시트로는, 예컨대 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 등이 사용되며, 박리성을 개선하기 위하여 그 표면에 실리콘 수지, 알키드 수지 등이 코팅되어 있어도 좋다.

박리층의 두께는 전극층의 두께 이하인 것이 바람직하며, 바람직하게는 전극층의 두께의 약 60% 이하, 더욱 바람직하게는 전극층의 두께의 약 30% 이하이다.

박리층이 건조된 후, 박리층의 표면 상에 전술한 것과 동일한 방법으로 조제된 전극층용 도전체 페이스트가 스크린 인쇄기나 그라비아 인쇄기 등을 이용하여 소정의 패턴으로 인쇄되고 건조되어 전극층이 형성된다.

본 실시 태양에 있어서, 도전체 페이스트는 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하고 있다.

이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 세라믹 그린 시트와 동일한 바인더를 포함하는 박리층을 형성하고, 박리층 상에 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하는 경우에도 박리층이 부풀거나 부분적으로 용해되어 박리층과 전극층 사이의 계면에 공극이 생기거나 전극층의 표면에 금이나 주름이 생기는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

또한, 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 도전체 페이스트는 인쇄에 적합한 점도를 가지고 있으므로, 스크린 인쇄기나 그라비아 인쇄기 등을 이용하여 원하는 바와 같이 세라믹 그린 시트 상에 소정의 패턴으로 전극층을 형성하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 전극층의 형성에 앞서, 혹은 전극층을 형성하여 건조한 후에, 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하고, 전술한 바와 동일하게 조제된 스페이서층용 유전체 페이스트가 박리층의 표면에 전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 스크린 인쇄기나 그라비아 인쇄기 등을 이용하여 인쇄되어 스페이서층이 형성된다.

이와 같이 박리층의 표면에 전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 스페이서층을 형성함으로써, 전극층의 표면과 전극층이 형성되지 않은 박리층의 표면 사이에 단차가 형성되는 것을 방지할 수 있고, 각각이 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 다수의 적층체 유닛을 적층하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 전자 부품이 변형을 일으키는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해짐과 함께, 디라미네이션의 발생을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

또한 전술한 바와 같이, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 세라믹 그린 시트와 동일한 바인더를 포함하는 박리층을 형성하고, 박리층 상에 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에도 박리층이 부풀거나 부분적으로 용해되어 박리층과 스페이서층 사이의 계면에 공극이 생기거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 생기는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

나아가, 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 유전체 페이스트는 인쇄에 적합한 점도를 가지고 있으므로, 스크린 인쇄기나 그라비아 인쇄기 등을 이용하여 원하는 바와 같이 박리층 상에 전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 스페이서층을 형성하는 것이 가능해진다.

나아가, 길이가 긴 제3 지지 시트가 준비되고, 접착제 용액이 바 코터, 익스트루젼 코터, 리버스 코터, 딥 코터, 키스 코터 등에 의해 제3 지지 시트의 표면에 도포되고 건조되어 접착층이 형성된다.

바람직하게는, 접착제 용액은 세라믹 그린 시트를 형성하기 위한 유전체 페이스트에 포함되는 바인더와 동일한 계열의 바인더와 세라믹 그린 시트에 포함되어 있는 유전체 재료의 입자와 실질적으로 동일한 조성을 가지며, 그 입자 직경이 접착층의 두께 이하인 유전체 재료의 입자와, 가소제와, 대전 방지제와, 박리제를 포함하고 있다.

접착층은 약 0.3μm 이하의 두께로 형성되는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 약 0.02μm 내지 약 0.3μm, 더욱 바람직하게는 약 0.02μm 내지 약 0.2μm의 두께를 갖도록 형성된다.

이와 같이 하여 길이가 긴 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층은 길이가 긴 제2 지지 시트 상에 형성된 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층 또는 지지 시트 상에 형성된 세라믹 그린 시트의 표면에 접착되고, 접착 후 접착층으로부터 제3 지지 시트가 박리되어 접착층이 전사된다.

접착층이 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층의 표면에 전사된 경우에는, 길이가 긴 지지 시트의 표면에 형성된 세라믹 그린 시트가 접착층의 표면에 접착되고, 접착 후에 세라믹 그린 시트로부터 제1 지지 시트가 박리되어 세라믹 그린 시트가 접착층의 표면에 전사되고, 세라믹 그린 시트 및 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층을 포함하는 적층체 유닛이 제작된다.

이와 같이 하여 얻어진 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트의 표면에 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층의 표면에 접착층을 전사한 것과 동일한 방법으로 접착층이 전사되고, 그 표면에 접착층이 전사된 적층체 유닛이 소정의 사이즈로 재단된다.

동일한 방법으로 그 표면에 접착층이 전사된 소정의 수의 적층체 유닛이 제작되고, 소정의 수의 적층체 유닛이 적층되어 적층체 블록이 제작된다.

적층체 블록을 제작함에 있어서는, 먼저 적층체 유닛이 폴리에틸렌테레프탈레이트 등에 의해 형성된 지지체 상에 적층체 유닛의 표면에 전사된 접착층이 지지체에 접하도록 위치 결정되고, 프레스기 등에 의해 가압되어 적층체 유닛이 접착층 을 통하여 지지체 상에 접착된다.

그 후, 제2 지지 시트가 박리층으로부터 박리되고, 지지체 상에 적층체 유닛이 적층된다.

이어서, 지지체 상에 적층된 적층체 유닛의 박리층의 표면에 표면에 형성된 접착층이 접하도록 새로운 적층체 유닛이 위치 결정되고, 프레스기 등에 의해 가압되어 지지체 상에 적층된 적층체 유닛의 박리층에 접착층을 통하여 새로운 적층체 유닛이 적층되고, 그 후에 새로운 적층체 유닛의 박리층으로부터 제2 지지 시트가 박리된다.

동일한 프로세스를 반복하여 소정의 수의 적층체 유닛이 적층된 적층체 블록이 제작된다.

한편, 접착층이 세라믹 그린 시트의 표면에 전사된 경우에는, 제2 지지 시트 상에 형성된 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층이 접착층의 표면에 접착되고, 접착후에 박리층으로부터 제2 지지 시트가 박리되어 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층 및 박리층이 접착층의 표면에 전사되고, 세라믹 그린 시트 및 전극층 및 스페이서층을 포함하는 적층체 유닛이 제작된다.

이와 같이 하여 얻어진 적층체 유닛의 박리층의 표면에 세라믹 그린 시트의 표면에 접착층을 전사한 것과 동일한 방법으로 접착층이 전사되고, 그 표면에 접착층이 전사된 적층체 유닛이 소정의 사이즈로 재단된다.

적층체 블록을 제작함에 있어서는, 먼저 적층체 유닛이 폴리에틸렌테레프탈레이트 등에 의해 형성된 지지체 상에 적층체 유닛의 표면에 전사된 접착층이 지지체에 접하도록 위치 결정되고, 프레스기 등에 의해 가압되어 적층체 유닛이 접착층을 통하여 지지체 상에 접착된다.

그 후, 지지 시트가 세라믹 그린 시트로부터 박리되어, 지지체 상에 적층체 유닛이 적층된다.

이어서, 지지체 상에 적층된 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트의 표면에 표면에 형성된 접착층이 접하도록 새로운 적층체 유닛이 위치 결정되고, 프레스기 등에 의해 가압되어 지지체 상에 적층된 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트에 접착층을 통하여 새로운 적층체 유닛이 적층되고, 그 후에 새로운 적층체 유닛의 세라믹으로부터 지지 시트가 박리된다.

이와 같이 하여 제작된 소정의 수의 적층체 유닛을 포함하는 적층체 블록은 적층 세라믹 콘덴서의 외층 상에 적층되고, 적층체 블록 상에 다른 하나의 외층이 더 적층되며, 얻어진 적층체가 프레스 형성되고 소정의 사이즈로 재단되어 다수의 세라믹 그린 칩이 제작된다.

이와 같이 하여 제작된 세라믹 그린 칩은 환원 가스 분위기 하에 놓여져 바인더가 제거되고 또한 소성된다.

본 실시 태양에 의하면, 제2 지지 시트 상에 형성된 전극층 및 스페이서층이 건조된 후에 접착층을 통하여 세라믹 그린 시트의 표면에 접착하도록 구성되어 있으므로, 세라믹 그린 시트의 표면에 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하고, 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우와 같이 도전체 페이스트나 유전체 페이스트가 세라믹 그린 시트 중에 배어들지 않고, 원하는 바와 같이 세라믹 그린 시트의 표면에 전극층 및 스페이서층을 형성하는 것이 가능해진다.

또한 본 실시 태양에 의하면, 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 유전체 페이스트를 이용하여 스페이서층이 형성되고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 세라믹 그린 시트와 동일한 바인더를 포함하는 박리층을 형성하고, 박리층 상에 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에도 박리층이 부풀거나 부분적으로 용해되어 박리층과 스페이서층 사이의 계면에 공극이 발생하거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 따라서 세라믹 그린 시트와 전극층을 포함하는 다수의 적층체 유닛을 적층하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서에 보이드가 발생하는 것을 확실하게 방지하는 것이 가능해짐과 함께, 스페이서층의 표면에 생성된 금이나 주름 부분이 적층체 유닛을 적층하여 적층체를 제작하는 공정에서 결락되어 적층체 내에 이물질로서 혼입되어 적층 세라믹 콘덴서에 내부 결함을 발생시키는 것을 확실하게 방지하는 것이 가능해진다.

나아가, 본 실시 태양에 의하면, 중량 평균 분자량(MW_L)의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MW_H)의 에틸셀룰로오스를 X:(1-X)의 중량비로 포함하는 바인더(여기서, MW_L, MW_H 및 X는 X*MW_L+(1-X)*MW_H가 15.5만 내지 20.5만이 되도록 선택된다.)와, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 도전체 페이스트를 이용하여 전극층이 형성되고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용제는 세라믹 그린 시트에 바인더로서 포함되는 아크릴계 수지를 거의 용해하지 않으므로, 세라믹 그린 시트와 동일한 바인더를 포함하는 박리층을 형성하고, 박리층 상에 도전체 페이스트를 인쇄하여 전극층을 형성하는 경우에도 박리층이 부풀거나 부분적으로 용해되어 박리층에 핀홀이나 크랙이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 적층 세라믹 콘덴서에 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

또한 본 실시 태양에 의하면, 박리층이 부풀거나 부분적으로 용해됨으로써 박리층과 전극층 및 스페이서층 사이의 박리 강도 혹은 박리층과 제2 지지 시트 사이의 박리 강도가 변화되어 적층체 유닛을 제작할 때 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.

본 발명의 다른 실시 태양에 있어서는, 접착층이 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층의 표면에 전사된 경우에, 길이가 긴 제2 지지 시트 상에 박리층, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층, 접착층 및 세라믹 그린 시트가 적층되어 형성된 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트의 표면에 접착층이 전사된 후, 적층체 유닛이 재단되지 않고 접착층에 길이가 긴 지지 시트 상에 세라믹 그린 시트, 접착층, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층 및 박리층이 적층되어 형성된 적층체 유닛의 박리층이 접착되고, 세라믹 그린 시트로부터 지지 시트가 박리되어 길이가 긴 제2 지지 시트 상에 2개의 적층체 유닛이 적층된다.

이어서, 2개의 적층체 유닛의 표면에 위치하는 세라믹 그린 시트 상에 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층이 전사되고, 또한 접착층에 길이가 긴 지지 시트 상에 세라믹 그린 시트, 접착층, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층 및 박리층이 적층되어 형성된 적층체 유닛의 박리층이 접착되고, 세라믹 그린 시트로부터 지지 시트가 박리된다.

동일한 프로세스를 반복하여 소정의 수의 적층체 유닛이 적층된 적층체 유닛 세트가 제작되고, 또한 적층체 유닛 세트의 표면에 위치하는 세라믹 그린 시트의 표면에 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층이 전사된 후, 소정의 사이즈로 재단되어 적층체 블록이 제작된다.

한편, 접착층이 세라믹 그린 시트의 표면에 전사된 경우에는, 길이가 긴 지지 시트 상에 세라믹 그린 시트, 접착층, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층 및 박리층이 적층되어 형성된 적층체 유닛의 박리층의 표면에 접착층이 전사된 후, 적층체 유닛이 재단되지 않고 접착층에 길이가 긴 제2 지지 시트 상에 박리층, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층, 접착층 및 세라믹 그린 시트가 적층되어 형성된 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트가 접착되고, 박리층으로부터 제2 지지 시트가 박리되어 길이가 긴 지지 시트 상에 2개의 적층체 유닛이 적층된다.

이어서, 2개의 적층체 유닛의 표면에 위치하는 박리층 상에 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층이 전사되고, 또한 접착층에 길이가 긴 제2 지지 시트 상에 박리층, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층, 접착층 및 세라믹 그린 시트가 적층되어 형성된 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트가 접착되고, 박리층으로부터 제2 지지 시트가 박리된다.

동일한 프로세스를 반복하여 소정의 수의 적층체 유닛이 적층된 적층체 유닛 세트가 제작되고, 또한 적층체 유닛 세트의 표면에 위치하는 박리층의 표면에 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층이 전사된 후, 소정의 사이즈로 재단되어 적층체 블록이 제작된다.

이와 같이 하여 제작된 적층체 블록을 이용하여 상기 실시 태양과 동일한 방법으로 적층 세라믹 콘덴서가 제작된다.

본 실시 태양에 의하면, 길이가 긴 제2 지지 시트 혹은 지지 시트 상에 적층체 유닛을 연달아 적층하여 소정의 수의 적층체 유닛을 포함하는 적층체 유닛 세트를 제작하고, 그 후에 적층체 유닛 세트를 소정의 사이즈로 재단하여 적층체 블록을 제작하고 있으므로, 소정의 사이즈로 재단된 적층체 유닛을 하나씩 적층하여 적층체 블록을 제작하는 경우에 비하여 적층체 블록의 제조 효율을 대폭으로 향상시키는 것이 가능해진다.

본 발명의 또 다른 실시 태양에 있어서는, 접착층이 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층의 표면에 전사된 경우에, 길이가 긴 제2 지지 시트 상에 박리층, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층, 접착층 및 세라믹 그린 시트가 적층되어 형성된 적층체 유닛의 세라믹 그린 시트의 표면에 접착층이 전사된 후, 적층체 유닛이 재단되지 않고, 접착층에 제2 지지 시트 상에 형성된 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층이 접착되고, 박리층으로부터 제2 지지 시트가 박리되어 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층 및 박리층이 접착층의 표면에 전사된다.

이어서, 접착층의 표면에 전사된 박리층의 표면에 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층이 전사되고, 지지 시트 상에 형성된 세라믹 그린 시트가 접착층에 접착되고 세라믹 그린 시트로부터 지지 시트가 박리되어 세라믹 그린 시트가 접착층의 표면에 전사된다.

나아가, 접착층의 표면에 전사된 세라믹 그린 시트의 표면에 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층이 전사되고, 제2 지지 시트 시트 상에 형성된 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층이 접착층에 접착되고, 박리층으로부터 제2 지지 시트가 박리되어 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층 및 박리층이 접착층의 표면에 전사된다.

동일한 프로세스를 반복하여 소정의 수의 적층체 유닛이 적층된 적층체 유닛 세트가 제작되고, 또한 적층체 유닛 세트의 표면에 위치하는 세라믹 그린 시트의 표면에 접착층이 전사된 후, 소정의 사이즈로 재단되어 적층체 블록이 제작된다.

한편, 접착층이 세라믹 그린 시트의 표면에 전사된 경우에는, 길이가 긴 지지 시트 상에 세라믹 그린 시트, 접착층, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층 및 박리층이 적층되어 형성된 적층체 유닛의 박리층의 표면에 접착층이 전사된 후, 적층체 유닛이 재단되지 않고, 접착층에 지지 시트 상에 형성된 세라믹 그린 시트가 접착되고, 세라믹 그린 시트로부터 지지 시트가 박리되어 세라믹 그린 시트가 접착층의 표면에 전사된다.

이어서, 접착층의 표면에 전사된 세라믹 그린 시트의 표면에 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층이 전사되고, 제2 지지 시트 상에 형성된 전극층 또는 전극층 및 스페이서층이 접착층에 접착되고, 박리층으로부터 제2 지지 시트가 박리되어 전극층 혹은 전극층 및 스페이서층 및 박리층이 접착층의 표면에 전사된다.

나아가, 접착층의 표면에 전사된 박리층의 표면에 표면에 제3 지지 시트 상에 형성된 접착층이 전사되고, 지지 시트 시트 상에 형성된 세라믹 그린 시트가 접착층에 접착되고, 세라믹 그린 시트로부터 지지 시트가 박리되어 세라믹 그린 시트가 접착층의 표면에 전사된다.

동일한 프로세스를 반복하여 소정의 수의 적층체 유닛이 적층된 적층체 유닛 세트가 제작되고, 또한 적층체 유닛 세트의 표면에 위치하는 박리층의 표면에 접착층이 전사된 후, 소정의 사이즈로 재단되어 적층체 블록이 제작된다.

본 실시 태양에 의하면, 길이가 긴 제2 지지 시트 혹은 지지 시트 상에 형성된 적층체 유닛의 표면 상에 접착층의 전사, 전극층 또는 전극층 및 스페이서층 및 박리층의 전사, 접착층의 전사 및 세라믹 그린 시트의 전사를 반복하여 적층체 유닛을 연달아 적층하여 소정의 수의 적층체 유닛을 포함하는 적층체 유닛 세트를 제작하고, 그 후에 적층체 유닛 세트를 소정의 사이즈로 재단하여 적층체 블록을 제작하고 있으므로, 소정의 사이즈로 재단된 적층체 유닛을 하나씩 적층하여 적층체 블록을 제작하는 경우에 비하여 적층체 블록의 제조 효율을 대폭으로 향상시키는 것이 가능해진다.

이하, 본 발명의 효과를 보다 명료하게 하기 위하여, 실시예 및 비교예를 들기로 한다.

실시예 1

세라믹 그린 시트용 유전체 페이스트의 조제

1.48 중량부의 (BaCa)SiO₃와, 1.01 중량부의 Y₂O₃와, 0.72 중량부의 MgCO₃와, 0.13 중량부의 MnO와, 0.045 중량부의 V₂O₅를 혼합하여 첨가물 분말을 조제하였다.

이와 같이 하여 조제한 첨가물 분말 100 중량부에 대하여, 159.3 중량부의 아세트산 에틸과 0.93 중량부의 폴리에틸렌글리콜계 분산제를 혼합하여 슬러리를 조제하고, 슬러리 중의 첨가물을 분쇄하였다.

슬러리 중의 첨가물의 분쇄에 있어서는, 11.65g의 슬러리와, 450g의 ZrO₂비 즈(직경 2mm)를 250cc의 폴리에틸렌 용기 내에 충전하고, 주속 45m/분으로 폴리에틸렌 용기를 회전시켜 16시간에 걸쳐 슬러리 중의 첨가물을 분쇄하여 첨가물 슬러리를 조제하였다.

분쇄 후의 첨가물의 중앙 직경은 0.1μm이었다.

이어서, 15 중량부의 산가 5mgKOH/g의 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머(공중합비(중량비) 82:18, 중량 평균 분자량 45만, Tg:70℃)를 50℃에서 85 중량부의 아세트산 에틸에 용해하여 유기 비히클의 8% 용액을 조제하고, 또한 이하의 조성을 갖는 슬러리를 500cc의 폴리에틸렌 용기를 이용하여 20시간에 걸쳐 혼합하여 유전체 페이스트를 조제하였다. 혼합에 있어서, 폴리에틸렌 용기 내에 344.1g의 슬러리와 900g의 ZrO₂비즈(직경 2mm)를 충전하고, 주속 45m/분으로 폴리에틸렌 용기를 회전시켰다.

BaTiO₃ 분말(SAKAI CHEMICAL INDUSTRY CO.,LTD. 제조 : 상품명 "BT-02" : 입자 직경 0.2μm) 100 중량부

첨가물 슬러리 11.2 중량부

아세트산 에틸 163.76 중량부

톨루엔 21.48 중량부

폴리에틸렌글리콜계 분산제 1.04 중량부

대전 조제 0.83 중량부

디아세톤알코올 1.04 중량부

프탈산 벤질부틸(가소제) 2.61 중량부

스테아르산 부틸 0.52 중량부

미네랄 스피릿 6.78 중량부

유기 비히클 34.77 중량부

폴리에틸렌글리콜계 분산제로는 폴리에틸렌글리콜을 지방산으로 변성한 분산제(HLB=5∼6)를 이용하고, 대전 조제로는 중량 평균 분자량 400의 폴리에틸렌글리콜을 이용하였다.

세라믹 그린 시트의 형성

얻어진 유전체 페이스트를 다이 코터를 이용하여 50m/분의 도포 속도로 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 상에 도포하여 도막을 생성하고, 80℃로 유지된 건조로 중에서 얻어진 도막을 건조하여 1μm의 두께를 갖는 세라믹 그린 시트를 형성하였다.

스페이서층용 유전체 페이스트의 조제

이와 같이 하여 조제한 첨가물 분말 100 중량부에 대하여, 150 중량부의 아세톤과 104.3 중량부의 이소보닐아세테이트와 1.5 중량부의 폴리에틸렌글리콜계 분산제를 혼합하여 슬러리를 조제하고, ASIZAWA FINETECH LTD. 제조 분쇄기 "LMZ0.6"(상품명)를 이용하여 슬러리 중의 첨가물을 분쇄하였다.

슬러리 중의 첨가물의 분쇄에 있어서는, ZrO₂비즈(직경 0.1mm)를 베셀 내에 베셀 용량에 대하여 80%가 되도록 충전하고, 주속 14m/분으로 베셀을 회전시키고, 2리터의 슬러리를 모든 슬러리가 베셀 내에 체류하는 시간이 5분이 될 때까지 베셀과 슬러리 탱크 사이를 순환시켜 슬러리 중의 첨가물을 분쇄하였다.

분쇄 후의 첨가물의 중앙 직경은 0.1μm이었다.

이어서, 증발기(evaporator)를 이용하여 아세톤을 증발시켜 슬러리로부터 제거하고, 첨가물이 이소보닐아세테이트에 분산된 첨가물 페이스트를 조제하였다. 첨가물 페이스트 중의 비휘발 성분 농도는 49.3 중량%이었다.

이어서, 중량 평균 분자량 7.5만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 25:75의 용적비로 포함하는 8 중량부의 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 11.625만인 에틸셀룰로오스를 70℃에서 92 중량부의 이소보닐아세테이트에 용해하여 유기 비히클의 8% 용액을 조제하고, 또한 이하의 조성을 갖는 슬러리를 볼 밀을 이용하여 16시간에 걸쳐 분산하였다. 분산 조건은 밀 중의 ZrO₂(직경 2.0mm)의 충전량을 30 용적%, 밀 중의 슬러리 양을 60 용적%로 하였고, 볼 밀의 주속은 45m/분으로 하였다.

첨가물 페이스트 8.87 중량부

BaTiO₃ 분말(SAKAI CHEMICAL INDUSTRY CO.,LTD. 제조 : 입자 직경 0.05μm) 95.70 중량부

유기 비히클 104.36 중량부

폴리에틸렌글리콜계 분산제 1.00 중량부

프탈산 디옥틸(가소제) 2.61 중량부

이미다졸린계 계면 활성제 0.4 중량부

아세톤 57.20 중량부

이어서, 증발기 및 가열 기구를 구비한 교반 장치를 이용하여 이와 같이 하여 얻어진 슬러리로부터 아세톤을 증발시켜 혼합물로부터 제거하여 유전체 페이스트를 얻었다.

이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 HAAKE Co., Ltd. 제조 원추 원반 점도계를 이용하여 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 7.99Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 4.24Ps·s이었다.

전극층용 도전체 페이스트의 조제

이와 같이 하여 조제한 첨가물 분말 100 중량부에 대하여 150 중량부의 아세톤과, 104.3 중량부의 이소보닐아세테이트와, 1.5 중량부의 폴리에틸렌글리콜계 분산제를 혼합하여 슬러리를 조제하고, ASHIZAWA FINETECH LTD. 제조 분쇄기 "LMZ0.6"(상품명)을 사용하여 슬러리 중의 첨가물을 분쇄하였다.

슬러리 중의 첨가물을 분쇄함에 있어서는 ZrO₂비즈(직경 0.1mm)를 베셀 내에 베셀 용량에 대하여 80%가 되도록 충전하고, 주속 14m/분으로 베셀을 회전시켜 슬러리를 전체 슬러리가 베셀에 체류하는 시간이 30분이 될 때까지 베셀과 슬러리 탱크 사이를 순환시켜 슬러리 중의 첨가물을 분쇄하였다.

분쇄 후의 첨가물의 중앙 지름은 0.1μm이었다.

이어서, 증발기를 사용하여 아세톤을 증발시켜 슬러리로부터 제거하고, 첨가물이 터피네올에 분산된 첨가물 페이스트를 조제하였다. 첨가물 페이스트 중의 비 휘발 성분 농도는 49.3 중량%이었다.

이어서, 중량 평균 분자량(MW_H) 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량(MH_W) 23만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 8 중량부의 바인더, 즉 X*MW_L+(1-X)*MW_H로 정의되는 겉보기의 중량 평균 분자량이 18만인 에틸셀룰로오스 8 중량부를 70℃에서 92 중량부의 이소보닐아세테이트에 용해하여 유기 비히클의 8% 용액을 조제하고, 또한 이하의 조성을 갖는 슬러리를 볼 밀을 이용하여 16시간에 걸쳐 분산하였다. 분산 조건은 밀 중의 ZrO₂(직경 2.0mm)의 충전량을 30 용적%, 밀 중의 슬러리 양을 60 용적%로 하였고, 볼 밀의 주속은 45m/분으로 하였다.

KAWATETSU INDUSTRY CO., LTD. 제조의 니켈 분말(입자 직경 0.2μm)

100 중량부

첨가물 페이스트 1.77 중량부

BaTiO₃분말(SAKAI CHEMICAL INDUSTRY CO.,LTD. 제조:입자 직경 0.05μm)

19.14 중량부

유기 비히클 56.25 중량부

폴리에틸렌글리콜계 분산제 1.19 중량부

이소보닐아세테이트 32.19 중량부

아세톤 56 중량부

이어서, 증발기 및 가열 기구를 구비한 교반 장치를 사용하여 이와 같이 하여 얻어진 슬러리로부터 아세톤을 증발시켜 혼합물로부터 제거하여 도전체 페이스트를 얻었다. 도전체 페이스트 중의 도전체 재료 농도는 47 중량%이었다.

스페이서층의 형성

전술한 바와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 세라믹 그린 시트 상에 소정의 패턴으로 인쇄하고, 90℃에서 5분간에 걸쳐 건조시켜 세라믹 그린 시트 상에 스페이서층을 형성하였다.

또한 금속 현미경을 이용하여 400배로 확대하여 스페이서층의 표면을 관찰하였더니, 스페이서층의 표면에 금이나 주름은 관찰되지 않았다.

전극층의 형성 및 적층체 유닛의 제작

또한, 전술한 바와 같이 하여 조제한 도전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 사용하여 세라믹 그린 시트 상에 스페이서층의 패턴과 상보적인 패턴으로 인쇄하고, 90℃에서 5분간에 걸쳐 건조하여 1μm의 두께를 갖는 전극층을 형성하여, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름의 표면에 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

이와 같이 하여 형성한 전극층을 금속 현미경을 이용하여 400배로 확대하여 전극층의 표면을 관찰하였더니, 전극층의 표면에 금이나 주름이 관찰되지 않았다.

세라믹 그린 칩의 제작

전술한 바와 같이 조제한 세라믹 그린 시트용 유전체 페이스트를 다이 코터를 사용하여 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름의 표면에 도포하여 도막을 형성하고, 도막을 건조하여 10μm의 두께를 갖는 세라믹 그린 시트를 형성하였다.

이와 같이 하여 제작한 10μm의 두께를 갖는 세라믹 그린 시트를 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름으로부터 박리하여 재단하고, 재단한 5장의 세라믹 그린 시트를 적층하여 50μm의 두께를 갖는 커버층을 형성하고, 또한 적층체 유닛을 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름으로부터 박리하여 재단하고, 재단한 50장의 적층체 유닛을 커버층 상에 적층하였다.

이어서, 10μm의 두께를 갖는 세라믹 그린 시트를 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름으로부터 박리하여 재단하고, 재단한 5장의 세라믹 그린 시트를 적층된 적층체 유닛 상에 적층하여 50μm의 두께를 갖는 하부 커버층과, 1μm의 두께를 갖는 세라믹 그린 시트와 1μm의 두께를 갖는 전극층 및 1μm의 두께를 갖는 스페이서층을 포함하는 50장의 적층체 유닛이 적층된 100μm의 두께를 갖는 유효층과, 50μm의 두께를 갖는 상부 커버층이 적층된 적층체를 제작하였다.

이어서, 이와 같이 하여 얻어진 적층체를 70℃의 온도 조건 하에서 100MPa의 압력을 가하여 프레스 성형하고, 다이싱 가공기에 의해 소정의 사이즈로 재단하여 세라믹 그린 칩을 제작하였다.

동일한 방법으로 총 30개의 세라믹 그린 칩을 제작하였다.

세라믹 그린 칩의 소성, 어닐링 처리

이와 같이 하여 제작된 세라믹 그린 칩을 각각 공기 중에서 이하의 조건으로 처리하여 바인더를 제거하였다.

승온 속도: 50℃/시간

유지 온도 : 240℃

유지 시간 : 8시간

바인더를 제거한 후, 각 세라믹 그린 칩을 각각 이슬점 20℃로 제어된 질소 가스와 수소 가스의 혼합 가스 분위기 하에서 이하의 조건으로 처리하여 소성하였다. 혼합 가스 중의 질소 가스 및 수소 가스의 함유량은 95 용적% 및 5 용적%로 하였다.

승온 속도 : 300℃/시간

유지 온도 : 1200℃

유지 시간 : 2시간

냉각 속도 : 300℃/시간

또한 소성한 세라믹 그린 칩에 각각 이슬점 20℃로 제어된 질소 가스의 분위기 하에서 이하의 조건으로 어닐링 처리를 실시하였다.

승온 속도 : 300℃/시간

유지 온도 : 1000℃

유지 시간 : 3시간

냉각 속도 : 300℃/시간

보이드의 관찰

이와 같이 하여 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 각각 이틀밤 경화성 에폭시 수지에 그 측면이 노출되도록 묻어넣고, 이틀밤 경화성 에폭시 수지를 경화시키고, 샌드 페이퍼를 이용하여 3.2mm×1.6mm 형상의 샘플을 1.6mm만 연마하여 중심 부분을 관찰할 수 있도록 하였다. 샌드 페이퍼로는 #400의 샌드 페이퍼, #800의 샌드 페이퍼, #1000의 샌드 페이퍼 및 #2000의 샌드 페이퍼를 이 순서로 이용하였다.

이어서, 1μm의 다이아몬드 페이스트를 이용하여 연마된 면을 경면 연마 처리하고, 광학 현미경에 의해 세라믹 그린 칩의 연마된 면을 각각 400배로 확대하여 보이드의 유무를 관찰하였다.

그 결과, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 어느 것에도 보이드의 존재는 보이지 않았다.

실시예 2

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 12.8Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 6.45Ps·s이었다.

이어서, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서층을 형성하였다.

이와 같이 하여 형성한 스페이서층을 금속 현미경을 이용하여 400배로 확대하여 스페이서층의 표면을 관찰하였더니, 스페이서층의 표면에 금이나 주름은 관찰되지 않았다.

이어서, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

이와 같이 하여 형성한 전극층을 금속 현미경을 이용하여 400배로 확대하여 전극층의 표면을 관찰하였더니, 전극층의 표면에 금이나 주름은 관찰되지 않았다.

아울러, 실시예 1과 동일한 방법으로 30개의 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 제작하여 실시예 1과 동일한 방법으로 보이드의 유무를 관찰하였더니, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 어느 것에도 보이드의 존재는 보이지 않았다.

실시예 3

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸 셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 75:25의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 15.5만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 15.1Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 7.98Ps·s이었다.

나아가, 실시예 1과 동일한 방법으로 30개의 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 제작하여 실시예 1과 동일한 방법으로 보이드의 유무를 관찰하였더니, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 어느 것에도 보이드의 존재는 보이지 않았다.

실시예 4

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 18만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 19.9Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 10.6Ps·s이었다.

이어서, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층 된 적층체 유닛을 제작하였다.

또한, 실시예 1과 동일한 방법으로 30개의 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 제작하여 실시예 1과 동일한 방법으로 보이드의 유무를 관찰하였더니, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 어느 것에도 보이드의 존재는 보이지 않았다.

비교예 1

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 7.5만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 10.25만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 4.61Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 2.89Ps·s이었다.

이어서, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하였더니, 유전체 페이스트의 점도가 너무 낮아 스페이서층을 형성할 수 없었다.

비교예 2

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 25:75의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 20.5만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 25.4Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 14.6Ps·s이었다.

이어서, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서층을 형성하였더니, 유전체 페이스트의 점도가 너무 높아 스크린 제판의 메시에 막힘이 발생하여 연속된 스페이서층을 형성할 수 없었다.

비교예 3

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 34.4Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서 의 점도는 19.2Ps·s이었다.

비교예 4

세라믹 그린 시트를 형성하기 위한 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량이 23만인 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머(산가 5mgKOH/g, 공중합비(중량비) 82:18, Tg:70℃)을 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 세라믹 그린 시트 형성용 유전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트를 제작하였다.

또한, 실시예 4와 동일한 방법으로 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서층을 형성하였다.

이와 같이 하여 형성한 스페이서층을 금속 현미경을 이용하여 400배로 확대하여 스페이서층의 표면을 관찰하였더니, 스페이서층의 표면에 금과 주름이 관찰되었다.

이와 같이 하여 형성한 전극층을 금속 현미경을 이용하여 400배로 확대하여 전극층의 표면을 관찰하였더니, 전극층의 표면에 금과 주름이 관찰되었다.

나아가, 실시예 1과 동일한 방법으로 30개의 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 제작하여 실시예 1과 동일한 방법으로 보이드의 유무를 관찰하였더니, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 하나의 세라믹 그린 칩에 보이드의 존재가 보였다.

실시예 5

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서, 이소보닐아세테이트 대신 디하이드로터피닐메틸에테르를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 7.76Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 4.39Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 디하이드로터피닐메틸에테르를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 6

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 5와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 11.4Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 6.05Ps·s이었다.

실시예 7

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 75:25의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 15.5만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 5와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 14.9Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 8.77Ps·s이었다.

실시예 8

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸 셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 18만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 5와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 19.0Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 11.2Ps·s이었다.

비교예 5

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 7.5만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 10.25만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 5와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 4.30Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 3.10Ps·s이었다.

비교예 6

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 25:75의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 20.5만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점 을 제외하고, 실시예 5와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 23.9Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 14.0Ps·s이었다.

비교예 7

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 5와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 32.2Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 18.8Ps·s이었다.

이어서, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서 층을 형성하였더니, 유전체 페이스트의 점도가 너무 높아 스크린 제판의 메시에 막힘이 발생하여 연속된 스페이서층을 형성할 수 없었다.

비교예 8

세라믹 그린 시트를 형성하기 위한 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량이 23만인 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 세라믹 그린 시트 형성용 유전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트를 제작하였다.

나아가, 실시예 8과 동일한 방법으로 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서층을 형성하였다.

나아가, 실시예 1과 동일한 방법으로 30개의 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 제작하여 실시예 1과 동일한 방법으로 보이드의 유무를 관찰하였더니, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 4개의 세라믹 그린 칩에 보이드의 존재가 보였다.

실시예 9

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 디하이드로터피닐옥시에탄올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 7.89Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 4.50Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서, 이소보닐아세테이트 대신 디하이드로터피닐옥시에탄올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

이와 같이 하여 형성한 전극층을 금속 현미경을 이용하여 400배로 확대하여 전극층의 표면을 관찰하였더니, 전극층의 면에 금이나 주름은 관찰되지 않았다.

실시예 10

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 9와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 12.4Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 7.36Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 디하이드로터피닐옥시에탄올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 11

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 75:25의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 15.5만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 9와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 14.9Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 8.86Ps·s이었다.

이어서, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서 층을 형성하였다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 디하이드로터피닐에탄올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 12

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 18만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 9와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25 ℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 19.3Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 11.8Ps·s이었다.

비교예 9

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 7.5만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 10.25만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 9와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 4.45Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 3.30Ps·s이었다.

비교예 10

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 25:75의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 20.5만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 9와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 24.4Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 14.5Ps·s이었다.

비교예 11

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 9와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 33.5Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 18.3Ps·s이었다.

비교예 12

나아가, 실시예 12와 동일한 방법으로 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서층을 형성하였다.

나아가, 실시예 1과 동일한 방법으로 30개의 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 제작하여 실시예 1과 동일한 방법으로 보이드의 유무를 관찰하였더니, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 3개의 세라믹 그린 칩에 보이드의 존재가 보였다.

실시예 13

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 터피닐메틸에테르를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 유전 체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 7.51Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 4.38Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 터피닐메틸에테르를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 14

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 13과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 10.6Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 6.34Ps·s이었다.

실시예 15

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 75:25의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 15.5만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 13과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 14.7Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 8.56Ps·s이었다.

실시예 16

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 18만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 13과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 18.8Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 10.9Ps·s이었다.

비교예 13

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 7.5만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 50:50의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 10.25만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 13과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함 께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 4.22Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 2.91Ps·s이었다.

비교예 14

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스와 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 25:75의 용적비로 포함하는 바인더, 즉 겉보기의 중량 평균 분자량이 20.5만인 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 13과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 24.2Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 13.7Ps·s이었다.

이어서, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서층을 형성하였더니, 유전체 페이스트의 점도가 너무 높아 스크린 제판의 메시에 막 힘이 발생하여 연속된 스페이서층을 형성할 수 없었다.

비교예 15

스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 중량 평균 분자량 23만의 에틸셀룰로오스를 사용한 점을 제외하고, 실시예 13과 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 32.0Ps·s, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 18.7Ps·s이었다.

비교예 16

나아가, 실시예 16과 동일한 방법으로 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄 하여 스페이서층을 형성하였다.

실시예 17

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 터피닐옥시에탄올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 9.67Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^{- 1}에서의 점도는 5.97Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 터피닐옥시에탄올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 18

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 d-디하이드로카베올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유 전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 9.95Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 5.78Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 d-디하이드로카베올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 19

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 I-멘틸아세테이트를 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 9.95Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 5.59Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 I-멘틸아세테이트를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 20

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 I-시트로넬롤을 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 10.1Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 5.97Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 I-시트로넬롤를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전 극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 21

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 I-트리페릴릴알코올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 10.8Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 6.15Ps·s이었다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 I-페릴릴알코올를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

실시예 22

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트를 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 15.1Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 8.48Ps·s이었다.

이어서, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하 여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서층을 형성하였다.

이어서, 도전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트를 사용한 점을 제외하고, 실시예 1과 동일한 방법으로 전극층용 도전체 페이스트를 조제하고, 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 세라믹 그린 시트와 전극층 및 스페이서층이 적층된 적층체 유닛을 제작하였다.

비교예 17

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 터피네올과 케로센의 혼합 용제(혼합비(질량비) 50:50)를 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조 제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 10.0Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 6.43Ps·s이었다.

나아가, 실시예 1과 동일한 방법으로 30개의 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 제작하여 실시예 1과 동일한 방법으로 보이드의 유무를 관찰하였더니, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 6개의 세라믹 그린 칩에 보이드의 존재가 보였다.

비교예 18

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 터피네올을 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 12.2Ps·s이었고, 전단 속도 50sec^-1에서의 점도는 6.62Ps·s이었다.

나아가, 실시예 1과 동일한 방법으로 30개의 어닐링 처리가 실시된 세라믹 그린 칩을 제작하여 실시예 1과 동일한 방법으로 보이드의 유무를 관찰하였더니, 총 30개의 세라믹 그린 칩 중 14개의 세라믹 그린 칩에 보이드의 존재가 보였다.

비교예 19

스페이서층용 유전체 페이스트를 조제할 때의 용제로서 이소보닐아세테이트 대신 부틸카비톨아세테이트를 사용한 점을 제외하고, 실시예 2와 동일한 방법으로 유전체 페이스트를 조제하고, 이와 같이 하여 조제된 유전체 페이스트의 점도를 25℃, 전단 속도 8sec^-1로 측정함과 함께, 25℃, 전단 속도 50sec^-1로 측정하였다.

그 결과, 전단 속도 8sec^-1에서의 점도는 5.12Ps·s이었고, 전단 속도 50sec ^-1에서의 점도는 3.36Ps·s이었다.

이어서, 이와 같이 하여 조제한 유전체 페이스트를 스크린 인쇄기를 이용하여 실시예 1과 동일한 방법으로 형성한 세라믹 그린 시트 상에 인쇄하여 스페이서층을 형성하였더니, 유전체 페이스트의 점도가 너무 낮아 스페이서층을 형성할 수 없었다.

실시예 1 내지 22 및 비교예 17 내지 19로부터, 바인더로서 산가 5mgKOH/g의 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머(공중합비(중량비) 82:18, 중량 평균 분자량 45만, Tg:70℃)를 포함하는 유전체 페이스트를 이용하여 형성한 세라믹 그린 시트 상에 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 바인더로서 포함하고, 터피네올과 케로센의 혼합 용제(혼합비(질량비) 50:50)를 용제로서 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트, 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 바인더로서 포함하고, 터피네올을 용제로서 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트 혹은 중량 평균 분자량 13만의 에틸셀룰로오스를 바인더로서 포함하고, 부틸카비톨아세테이트를 용제로서 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트를 인쇄하여 적층체 유닛을 제작하고, 50장의 적층체 유닛을 적층하여 세라믹 그린 칩을 제작한 경우에는, 스페이서층 자체를 형성할 수 없거나, 또는 스페이서층을 형성할 수 있다고 해도 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 발생하고, 소성 후의 세라믹 그린 칩에 보이드의 발생이 보였던 것에 반하여, 바인더로서 산가 5mgKOH/g의 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머(공중합비(중량비) 82:18, 중량 평균 분자량 45만, Tg:70℃)를 포함하는 유전체 페이스트를 이용하여 형성한 세라믹 그린 시트 상에 겉보기의 중량 평균 분자량이 11.625만 내지 18만인 에틸셀룰로오스를 바인더로서 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 혹은 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트를 용제로서 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트를 인쇄하여 적층체 유닛을 제작하고, 50장의 적층체 유닛을 적층하여 세라믹 그린 칩을 제작한 경우에는, 스페이서층의 표면에 금이나 주름은 보이지 않았고, 소성 후의 세라믹 그린 칩에 보이드의 발생은 보이지 않았다.

이는, 비교예 19에 있어서, 스페이서층용 유전체 페이스트의 용제로서 사용된 부틸카비톨아세테이트는 세라믹 그린 시트를 형성하기 위하여 사용된 유전체 페이스트에 바인더로서 포함된 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머를 용해 하지 않으나, 조제한 유전체 페이스트의 점도가 너무 낮았기 때문이며, 또한 비교예 17 및 18에 있어서, 스페이서층용 유전체 페이스트의 용제로서 사용된 터피네올과 케로센의 혼합 용제(혼합비(질량비) 50:50) 및 터피네올이 세라믹 그린 시트를 형성하기 위하여 사용된 유전체 페이스트에 포함된 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머를 용해하기 때문에 세라믹 그린 시트가 부풀거나 부분적으로 용해되어 세라믹 그린 시트와 스페이서층 사이의 계면에 공극이 생기거나 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 생기고, 적층체 유닛을 적층하고 소성하여 제작된 세라믹 그린 칩 중에 보이드가 발생하거나 적층체 유닛을 적층하는 프로세스에서 금이나 주름이 생긴 스페이서층 부분이 결락되어 소성 후의 세라믹 그린 칩 중에 보이드가 발생하기 쉬웠던 데 반하여, 실시예 1 내지 22에 있어서 스페이서층용 유전체 페이스트의 용제로서 사용된 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트는 세라믹 그린 시트를 형성하기 위하여 사용된 유전체 페이스트에 포함된 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머를 거의 용해하지 않고, 따라서 스페이서층의 표면에 금이나 주름이 생기는 것이 효과적으로 방지되어, 소성 후의 세라믹 그린 칩에 보이드가 발생하는 것이 방지되었기 때문으로 사료된다.

나아가, 실시예 1 내지 16, 비교예 1, 5, 9 및 13 및 비교예 2, 3, 6, 7, 10, 11, 14 및 15로부터, 바인더로서 산가 5mgKOH/g의 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머(공중합비(중량비) 82:18, 중량 평균 분자량 45만, Tg:70℃)를 포 함하는 유전체 페이스트를 이용하여 형성한 세라믹 그린 시트 상에 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올 혹은 터피닐메틸에테르를 용제로서 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에서도, 스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 10.25만인 에틸셀룰로오스가 사용되는 경우에는 스페이서층용 유전체 페이스트의 점도가 너무 낮아 스페이서층을 형성할 수 없고, 그 한편으로 바인더로서 산가 5mgKOH/g의 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머(공중합비(중량비) 82:18, 중량 평균 분자량 45만, Tg:70℃)를 포함하는 유전체 페이스트를 이용하여 형성한 세라믹 그린 시트 상에 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올 혹은 터피닐메틸에테르를 용제로서 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트를 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 경우에서도 스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 20.5만 이상인 에틸셀룰로오스가 사용되는 경우에는, 스페이서층용 유전체 페이스트의 점도가 너무 높아 스크린 제판의 메시에 막힘이 발생하여 연속된 스페이서층을 형성할 수 없는 것으로 보이며, 스페이서층용 유전체 페이스트의 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 10.25만 초과 20.5만 미만인 에틸셀룰로오스를 사용하는 것이 필요하는 것이 밝혀졌다.

또한 실시예 1 내지 16 및 비교예 4, 8, 12 및 16으로부터, 겉보기의 중량 평균 분자량이 10.25만 초과 20.5만 미만인 에틸셀룰로오스를 바인더로서 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄 올 혹은 터피닐메틸에테르를 용제로서 포함하는 스페이서층용 유전체 페이스트를 이용하여 스페이서층을 형성하는 경우에서도 세라믹 그린 시트가 산가 5mgKOH/g의 메타크릴산 메틸과 아크릴산 부틸의 코폴리머(공중합비(중량비) 82:18, 중량 평균 분자량 23만, Tg:70℃)를 바인더로서 포함하는 유전체 페이스트를 이용하여 형성되어 있는 경우에는, 세라믹 그린 시트를 형성하기 위한 유전체 페이스트의 바인더의 일부가 스페이서층을 형성하기 위하여 사용된 유전체 페이스트 및 전극층용 도전체 페이스트에 포함되어 있는 용제에 의해 부풀고 용해되기 때문에, 세라믹 그린 시트와 스페이서층 및 전극층 사이의 계면에 공극이 생기거나 스페이서층 및 전극층의 표면에 금이나 주름이 생겨 적층체 유닛을 적층하고 소성하여 제작된 세라믹 그린 칩 중에 보이드가 발생하거나, 적층체 유닛을 적층하는 프로세스에서 금이나 주름이 생긴 스페이서층 및 전극층의 부분이 결락되어 소성 후의 세라믹 그린 칩 중에 보이드가 발생하기 쉽다는 것이 밝혀졌다.

본 발명은, 이상의 실시 태양 및 실시예에 한정되지 않으며, 특허 청구 범위에 기재된 발명의 범위 내에서 다양한 변경이 가능하며, 이들도 본 발명의 범위 내에 포함되는 것임은 말할 필요도 없다.

본 발명에 의하면, 적층 세라믹 전자 부품의 스페이서층에 인접하는 층에 포함되어 있는 바인더를 용해하지 않고 적층 세라믹 전자 부품에 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 게다가 인쇄성이 뛰어난 유전체 페이스트를 제공하는 것이 가능해진다.

또한 본 발명에 의하면, 적층 세라믹 전자 부품에 문제가 발생하는 것을 효 과적으로 방지할 수 있고, 원하는 바와 같이 스페이서층을 형성할 수 있는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법을 제공하는 것이 가능해진다.

또한 본 발명에 의하면, 적층 세라믹 전자 부품에 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 원하는 바와 같이 스페이서층을 형성할 수 있는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법을 제공하는 것이 가능해진다.

Claims

바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 페이스트.
제 1 항에 있어서, 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11.5만 내지 18만인 에틸셀룰로오스를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 유전체 페이스트.
바인더로서 아크릴계 수지를 포함하는 세라믹 그린 시트 상에 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11만 내지 19만인 에틸셀룰로오스를 포함하고, 이소보닐아세테이트, 디하이드로터피닐메틸에테르, 디하이드로터피닐옥시에탄올, 터피닐메틸에테르, 터피닐옥시에탄올, d-디하이드로카베올, I-멘틸아세테이트, I-시트로넬롤, I-페릴릴알코올 및 아세톡시-메톡시에톡시-시클로헥산올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 용제를 포함하는 유전체 페이스트를 소정의 패턴으로 인쇄하여 스페이서층을 형성하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법.
제 3 항에 있어서, 상기 유전체 페이스트가 바인더로서 겉보기의 중량 평균 분자량이 11.5만 내지 18만인 에틸셀룰로오스를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법.
제 3 항에 있어서, 상기 아크릴계 수지의 중량 평균 분자량이 25만 이상 50만 이하인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법.
제 5 항에 있어서, 상기 아크릴계 수지의 중량 평균 분자량이 45만 이상 50만 이하인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법.
제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 아크릴계 수지의 산가가 5mgKOH/g 이상 10mgKOH/g 이하인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 전자 부품용 적층체 유닛의 제조 방법.