KR100767215B1

KR100767215B1 - Apparatus for testing glass panel

Info

Publication number: KR100767215B1
Application number: KR1020060098843A
Authority: KR
Inventors: 정민철; 강대현
Original assignee: (주)미래컴퍼니
Priority date: 2006-10-11
Filing date: 2006-10-11
Publication date: 2007-10-17

Abstract

An apparatus for testing a glass panel is provided to reduce testing time to the same tact time regardless of the size of a glass panel by forming a height difference between testing bars disposed at edges of a glass panel and moving the glass panel in the height difference. A first testing bar(12) is disposed on a first plane parallel to a glass panel(23) so as to correspond to one edge of the glass panel. A second testing bar(14) is disposed on a second plane parallel to the first plane so as to correspond to another edge adjacent to the edge. A supporting unit(18) supports the glass panel such that the glass panel moves between the first plane and the second plane. A cushion is formed on each surface of the first and second testing bars facing edges of the glass panel. A displacement sensor detects displacement amounts of the first and second testing bars. The displacement sensor measures a repulsion distance due to the cushion when the first and second testing bars contact the edges of the glass panel.

Description

Apparatus for testing glass panel

도 1은 종래 기술에 따른 유리기판 검사장치를 나타낸 개략도.1 is a schematic view showing a glass substrate inspection apparatus according to the prior art.

도 2은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 검사장치의 평면도.2 is a plan view of a glass substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 검사장치의 측면도.Figure 3 is a side view of the glass substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 검사장치의작동과정을 도시한 사시도.Figures 4a and 4b is a perspective view showing the operation of the glass substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

12 : 제1 검사바 14 : 제2 검사바12: first inspection bar 14: second inspection bar

18 : 지지부 20 : 어레이 기판18 support portion 20 array substrate

22 : 컬러필터 기판 23 : 유리기판22: color filter substrate 23: glass substrate

24a, 24b : 이동수단24a, 24b: means of transport

본 발명은 유리기판 검사장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 대면적 유리 기판을 복수의 단위 유리기판으로 절단함에 있어 단위 유리기판의 절단면의 상태를 검사하기 위한 유리기판 검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to a glass substrate inspection apparatus. More specifically, the present invention relates to a glass substrate inspection apparatus for inspecting a state of a cut surface of a unit glass substrate in cutting a large area glass substrate into a plurality of unit glass substrates.

전자산업의 발달과 더불어 디스플레이 장치가 개인용 컴퓨터, 노트북, 무선단말기 등에 확대됨에 따라 기존의 브라운관 표시장치(CRT: Cathod Ray Tube)를 대체하여 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)가 각광받고 있다. TFT-LCD 는 브라운관 표시장치에 비해 차지하는 공간이 작으며, 고화질, 저소비 전력, 대화면구현 등의 장점으로 차세대 디스플레이장치로 주목 받고 있다.With the development of the electronics industry, as display devices have expanded to personal computers, notebooks, and wireless terminals, TFT-LCDs (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Displays) have been in the spotlight in place of existing Cathode Ray Tubes (CRTs). have. TFT-LCDs occupy less space than CRT displays and are attracting attention as next-generation display devices due to their high image quality, low power consumption, and large screen.

일반적으로, 대면적의 상부 모기판에 어레이 기판들을 형성하고, 하부 모기판에 컬러필터 기판들을 형성한 다음, 상부기판 또는 하부기판 중 어느 한 기판상에 액정셀 단위로 씰 패턴을 형성하고 스페이서를 산포한 후, 씰 패턴 및 스페이서가 산포된 기판상에 적하방식에 의해 액정을 형성하게 된다. 액정을 적하한 후 상부기판과 하부기판을 합착시키게 되고, 합착된 유리기판을 액정셀 단위로 절단하게 된다.In general, array substrates are formed on an upper mother substrate of a large area, color filter substrates are formed on a lower mother substrate, a seal pattern is formed in liquid crystal cell units on either the upper substrate or the lower substrate, and spacers are formed. After spreading, the liquid crystal is formed by a dropping method on the substrate on which the seal pattern and the spacer are scattered. After dropping the liquid crystal, the upper substrate and the lower substrate are bonded to each other, and the bonded glass substrate is cut into liquid crystal cell units.

단위 유리기판으로의 절단은 커팅 휠을 이용하여 스크라이브(scribe)공정에 의해 기판 표면에 절단선을 형성하고, 절단선에 힘을 가하여 단위 유리기판으로 분리하는 브레이크(break)공정을 거치게 된다. 이와 같은 단위 유리기판의 절단면은 고르지 않으며, 버(burr)가 잔류하게 된다.The cutting of the unit glass substrate is performed by forming a cutting line on the surface of the substrate by a scribe process using a cutting wheel, and applying a force to the cutting line to break it into the unit glass substrate. The cut surface of the unit glass substrate is uneven, and burrs remain.

도 1은 종래 기술에 따른 유리기판 검사장치를 나타낸 개략도이다. 도 1을 참조하면, 단위 유리기판(106)의 장변에 대응하여 절단된 상태를 검사하는 제1 검사바(102)와 단위 유리기판(106)의 단변에 대응하여 절단된 상태를 검사하는 제2 검사바(104)가 도시되어 있다. 제1 검사바(102) 및 제2 검사바(104)는 터치(touch) 방식에 의하여 절단면의 버(burr)잔류여부를 검사하게 된다.1 is a schematic view showing a glass substrate inspection apparatus according to the prior art. Referring to FIG. 1, a first inspection bar 102 inspecting a cut state corresponding to a long side of the unit glass substrate 106 and a second inspecting state cut in correspondence to a short side of the unit glass substrate 106. An inspection bar 104 is shown. The first inspection bar 102 and the second inspection bar 104 inspect whether burrs remain on the cut surface by a touch method.

종래 기술에 따른 유리기판 검사장치의 구동방법을 살펴보면, 먼저 제1 검사바(102)의 두 개의 검사바가 터치방식에 의해 단위 유리기판(106)의 장변의 버의 잔류여부를 검사한 후, 서로 벌어지면서 제2 검사바(14)의 두 개의 검사바가 터치방식에 의해 단위 유리기판(106)의 단변의 버의 잔류여부를 검사하게 된다. Looking at the driving method of the glass substrate inspection apparatus according to the prior art, first of the two inspection bars of the first inspection bar (102) to check whether the burr of the long side of the unit glass substrate 106 by the touch method, and then As the two test bars of the second test bar 14 are opened, the burrs on the short sides of the unit glass substrate 106 are inspected by the touch method.

한편, 단위 유리기판(106)의 크기는 규격에 따라 크기가 달라지므로 이에 대응하기 위해 제1 검사바(102)는 검사대상이 되는 여러 모델의 단위 유리기판 중 그 크기가 가장 큰 모델의 장변의 길이에 상응하여 제작되며, 또한 제2 검사바(104)는 단변의 길이에 상응하여 제작되게 된다. 이로써 다양한 크기의 유리기판의 버 잔류여부를 검사할 수 있다.On the other hand, since the size of the unit glass substrate 106 varies in size according to the standard, the first inspection bar 102 is the long side of the long side of the model of the largest size of the unit glass substrate of the various models to be tested It is manufactured to correspond to the length, and the second test bar 104 is also made to correspond to the length of the short side. This allows inspection of burr residue in glass substrates of various sizes.

그러나, 종래 기술에 따른 유리기판 검사장치는 다양한 규격의 유리기판의 버 잔류여부를 검사할 수도 있으나, 가장 큰 규격의 유리기판과 가장 작은 규격의 유리기판의 크기가 상대적으로 크게 차이가 나는 경우 택트(tact) 타임이 길어지는 문제가 있다. However, the glass substrate inspection apparatus according to the prior art may inspect whether burrs remain in glass substrates of various specifications, but when the size of the glass substrate of the largest specification and the glass substrate of the smallest specification differ relatively large (tact) There is a problem with long time.

즉, 상기 각 검사바는 동일 평면상에 위치하여 있으므로, 먼저 제1 검사바(102)의 두 개의 검사바가 접근하면서 유리기판(106)의 장변의 버 잔류여부를 검사한 후, 단변의 버 잔류여부를 검사하기 위해 제1 검사바(102)의 두 개의 검사바가 제2 검사바(104)의 길이이상 벌어져야 제2 검사바(104)가 유리기판(106)의 단변에 접근이 가능하다. 그러므로, 가장 큰 규격의 유리기판(106)의 크기에 비해 상대 적으로 매우 적은 유리기판(106)(예를 들면, 가장 큰 규격의 유리기판이 TV 모니터로 사용되는 29 inch LCD 모니터이고, 가장 작은 규격이 디지털 카메라의 모니터로 사용되는 4inch LCD 모니터인 경우)의 버 잔류여부를 검사하기 위해서 가장 큰 규격의 유리기판(106)의 버 잔류여부 검사시간과 동일한 검사시간이 소요되는 것이다. 이 경우 택트 타임을 줄이기 위해서 검사바의 교체가 필요하다는 문제점이 있다.That is, since the test bars are located on the same plane, first, two test bars of the first test bar 102 approach the burr remaining on the long side of the glass substrate 106 while approaching, and then burr remaining on the short side. In order to check whether the two inspection bars of the first inspection bar 102 has to be more than the length of the second inspection bar 104, the second inspection bar 104 is accessible to the short side of the glass substrate 106. Therefore, a relatively small glass substrate 106 (e.g., the largest glass substrate is a 29 inch LCD monitor used as a TV monitor is relatively small compared to the size of the largest glass substrate 106), and the smallest In order to check the burr residual of the 4 inch LCD monitor used as a monitor of a digital camera, the same inspection time as the burr residual inspection time of the glass substrate 106 of the largest standard is required. In this case, there is a problem in that the inspection bar needs to be replaced to reduce the tact time.

또한, 종래 기술에 따른 유리기판 검사장치는 검사가 이루어진 유리기판의 언로딩(unloading)시, 유리기판을 들어 내는 로봇 핸드(robot hand) 및 동일 평면상에 위치하고 있는 검사바 간의 간섭을 피하기 위해 유리기판을 지지하는 지지부가 검사바 위로 상승한 후 로봇 핸드가 유리기판을 언로딩하게 된다. 이에 따라 지지부의 상승과 하강에 따른 전체적인 유리기판 검사공정이 길어진다는 문제점이 있었다.In addition, the glass substrate inspection apparatus according to the prior art, in order to avoid the interference between the robot hand lifting the glass substrate and the inspection bar located on the same plane during unloading of the glass substrate subjected to the inspection. The robot hand unloads the glass substrate after the support supporting the substrate is raised above the test bar. Accordingly, there was a problem in that the overall glass substrate inspection process is lengthened by the rise and fall of the support part.

본 발명은 유리기판의 일 에지에 상응하여 위치하는 검사바와 일 에지에 인접한 타 에지에 상응하여 위치한 검사바 간에 단차를 두고, 상기 단차 사이를 유리기판자체가 이동함으로써 다양한 규격의 유리기판의 버 잔류여부을 검사할 수 있고, 또한 유리기판의 규격에 관계없이 동일한 택트 타임으로 검사시간을 줄일 수 있는 유리기판 검사장치를 제공하는 것이다. The present invention has a step between an inspection bar positioned corresponding to one edge of the glass substrate and an inspection bar positioned corresponding to the other edge adjacent to one edge, and the burr remains of the glass substrate of various standards by moving the glass substrate itself between the steps. The present invention provides a glass substrate inspection apparatus capable of inspecting whether or not and also reducing inspection time with the same tact time regardless of glass substrate specifications.

본 발명의 일 측면에 따르면, 유리기판의 일 에지에 상응하여, 유리기판에 평행한 제1 평면상에 위치하는 제1 검사바와, 일 에지에 인접한 타 에지에 상응하여, 제1 평면에 평행한 제2 평면상에 위치하는 제2 검사바와, 유리기판이 제1 평면과 제2 평면 사이를 이동하도록, 유리기판을 지지하는 지지부를 포함하는 유리기판 검사장치가 제공된다.According to one aspect of the invention, the first inspection bar is located on a first plane parallel to the glass substrate, corresponding to one edge of the glass substrate, and the parallel to the first plane, corresponding to the other edge adjacent to one edge A glass substrate inspection apparatus is provided that includes a second inspection bar positioned on a second plane, and a support portion supporting the glass substrate so that the glass substrate moves between the first plane and the second plane.

제1 검사바 및 제2 검사바의 유리기판의 에지와 대향하는 면 각각에 형성되는 쿠션(cushion)과 제1 검사바 및 제2 검사바의 변위량을 감지하는 변위센서를 더 둘 수 있다. 변위센서는 제1 검사바 및 제2 검사바가 유리기판의 에지에 접촉 시 쿠션에 의한 반발거리를 측정하게 된다.A cushion formed on each of the surfaces facing the edges of the glass substrates of the first test bar and the second test bar, and a displacement sensor for detecting the amount of displacement of the first test bar and the second test bar. The displacement sensor measures the repulsion distance caused by the cushion when the first test bar and the second test bar contact the edge of the glass substrate.

제1 검사바 및 제2 검사바는 검사대상 유리기판 중 크기가 가장 큰 유리기판의 장변 및 단변에 각각 상응하는 길이로 형성하는 것이 좋다. The first test bar and the second test bar may have a length corresponding to each of the long side and the short side of the glass substrate having the largest size among the glass substrates to be inspected.

유리기판은 두 개의 서로 다른 크기의 유리기판이 합착되어 형성되는 경우, 제1 검사바와 제2 검사바 중 적어도 어느 하나는 합착된 유리기판의 에지의 계단형상에 상응하여 단턱이 형성될 수 있다.When the glass substrate is formed by bonding two different sizes of glass substrates, at least one of the first inspection bar and the second inspection bar may have a step corresponding to the stepped shape of the edge of the bonded glass substrate.

제1 검사바 및 제2 검사바는 각각 한 쌍의 검사바로 이루어질 수 있으며, 한 쌍의 검사바는 서로 대향하여 이동 가능하도록 이동수단을 더 포함할 수 있다.Each of the first test bar and the second test bar may be configured as a pair of test bars, and the pair of test bars may further include a moving unit to move to face each other.

이동수단에는 구동모터와, 구동모터와 결합되어, 구동모터의 회전수를 검출하는 엔코더(encoder) 및 구동모터의 작동을 조절하는 제어부를 둘 수 있다.The moving means may include a drive motor, an encoder coupled to the drive motor, an encoder for detecting the rotational speed of the drive motor, and a controller for controlling the operation of the drive motor.

제어부는 유리기판의 대향하는 양측 간의 길이에 상응하는 데이터를 입력받 고, 데이터에 상응하도록 한 쌍의 검사바를 유리기판의 에지 방향으로 이동시키는 제어신호를 생성한다. The control unit receives data corresponding to the length between opposite sides of the glass substrate and generates a control signal for moving a pair of test bars in the edge direction of the glass substrate so as to correspond to the data.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 잇점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.

이하, 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the glass substrate inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals and Duplicate explanations will be omitted.

도 2은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 검사장치의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 검사장치의 측면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 제1 검사바(12), 제2 검사바(14), 지지부(18), 어레이 기판, 컬러필터 기판, 유리기판(23), 이동수단(24a, 24b)이 도시되어 있다.2 is a plan view of a glass substrate inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a side view of a glass substrate inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. 2 and 3, the first inspection bar 12, the second inspection bar 14, the support 18, the array substrate, the color filter substrate, the glass substrate 23, and the moving means 24a and 24b. Is shown.

본 실시예에 대한 설명에 앞서, 유리기판의 에지에 검사바를 접촉시켜 에지의 버(burr) 잔류여부를 검사하는 방법에 대해 살펴보면, 예를 들면, 일정 규격의 직사각형 형태의 유리기판의 경우, 유리기판의 장변의 양 에지의 버 잔류여부를 검사하기 위해 유리기판의 단변의 길이에 상응하는 거리가 유지되도록 한 쌍의 검사바를 장변의 양 에지 방향으로 이동시킨다. 만일 장변의 에지에 버가 존재하면 실제 유리기판의 단변의 길이는 제작하고자 하는 유리기판의 단변의 길이와 버의 길이가 합쳐진 값에 상응하는 값이 될 것이고, 이에 따라 유리기판의 단변의 길이에 상응하는 거리가 유지되도록 장변의 양 에지방향으로 이동되는 두 개의 검사바 사이의 거리는 유리기판의 단변의 길이에 상응하는 거리보다 크게 되어 검사바에 형성되는 쿠션(cushion)에 의해 두 개의 검사바가 뒤로 밀리게 된다. 이와 같이 검사바의 반발거리를 측정하여 버의 잔류여부를 검사하게 된다.Prior to the description of the present embodiment, a method of inspecting whether burrs remain on the edges by contacting the test bar with the edge of the glass substrate, for example, in the case of a rectangular glass substrate of a certain standard, In order to check whether burrs remain on both edges of the long side of the substrate, a pair of test bars are moved in the direction of both edges of the long side so that a distance corresponding to the length of the short side of the glass substrate is maintained. If the burr is present at the edge of the long side, the length of the short side of the actual glass substrate will be the value corresponding to the sum of the length of the short side of the glass substrate to be manufactured and the length of the bur, and thus the length of the short side of the glass substrate. The distance between the two test bars moved in the direction of both edges of the long side to maintain the corresponding distance is greater than the distance corresponding to the length of the short side of the glass substrate so that the two test bars are pushed back by the cushion formed on the test bar. It becomes. In this way, by measuring the repulsion distance of the test bar to check whether the burr remains.

본 실시예는 일반적인 직사각형 형태의 유리기판(23)의 에지의 버(burr) 잔류여부를 검사하기 위해 유리기판(23)의 장변과 단변에 각각 대응하는 한 쌍의 검사바를 두어 버 잔류여부를 검사할 수 있도록 구성하였다. In this embodiment, a pair of test bars corresponding to the long side and the short side of the glass substrate 23 are inspected to check whether burrs remain at the edges of the glass substrate 23 having a general rectangular shape. It was configured to be.

도 2의 (a)는 상부에 위치한 한 쌍의 검사바로 이루어진 제1 검사바(12)가 유리기판(23)의 장변의 양 에지의 버(burr) 잔류여부를 검사하는 것을 도시하고 있고, 도 2의 (b)는 제1 검사바(12)와 단차를 두어 위치하여, 하부에 위치한 한 쌍의 검사바로 이루어진 제2 검사바(14)를 이용하여 유리기판(23)의 단변의 양 에지의 버 잔류여부를 검사하는 것을 도시하고 있다. FIG. 2 (a) shows the first inspection bar 12 including a pair of inspection bars positioned at the upper part to inspect burrs remaining on both edges of the long sides of the glass substrate 23. FIG. 2 (b) is located at a step with the first inspection bar 12, using the second inspection bar 14 consisting of a pair of inspection bars located on the lower side of both edges of the short side of the glass substrate 23 This shows the inspection of burr residuals.

본 실시예에서는 상부에 유리기판의 장변의 양 에지의 버 존재여부를 검사하기 위한 제1 검사바(12)가 위치하고 하부에 단변의 양 에지의 버 존재여부를 검사하기 위한 제2 검사바(14)가 위치하고 있으나, 이와 반대로 상부에 제2 검사바(14)가 위치하고 하부에 제1 검사바(12)가 위치하도록 할 수 있음은 물론이다.In the present embodiment, the first inspection bar 12 for inspecting the presence of burrs on both edges of the long side of the glass substrate is positioned on the upper side, and the second inspection bar 14 for inspecting the presence of burrs on both edges of the short side on the lower side thereof. 2) is located on the contrary, the second inspection bar 14 is located on the upper side and the first inspection bar 12 may be located on the lower side, of course.

도 3은 제1 검사바(12)가 유리기판의 일 에지에 상응하여 유리기판에 평행한제1 평면상에 위치하고, 제2 검사바(14)가 제1 평면과 평행한 제2 평면상에 위치하여, 제1 검사바(12)와 제2 검사바(14)가 단차를 두어 위치하고 있음을 도시하고 있다. 이와 같이 제1 검사바(12)와 제2 검사바(14)가 단차가 있도록 위치시킨 이유는 다음과 같다.3 shows that the first inspection bar 12 is located on a first plane parallel to the glass substrate corresponding to one edge of the glass substrate, and the second inspection bar 14 is on a second plane parallel to the first plane. In this figure, the first test bar 12 and the second test bar 14 are positioned at a stepped position. The reason why the first inspection bar 12 and the second inspection bar 14 are positioned so that there is a step is as follows.

즉, 종래 기술에 따른 유리기판 검사장치는 각 검사바가 동일 평면상에 위치하고 있어, 먼저 제1 검사바(12)가 접근하면서 유리기판(23)의 장변의 버 잔류여부를 검사한 후, 단변의 버 잔류여부를 검사하기 위해 제1 검사바(12)의 두 개의 검사바가 제2 검사바(14)의 길이만큼 벌어져야 제2 검사바(14)가 유리기판(23)의 단변에 접근이 가능하다. 그러므로, 가장 큰 규격의 유리기판(23)의 크기에 비해 상대적으로 매우 적은 유리기판(23)(예를 들면, 가장 큰 규격의 유리기판이 TV 모니터로 사용되는 29 inch LCD 모니터이고, 가장 작은 규격이 디지털 카메라의 모니터로 사용되는 4inch LCD 모니터인 경우)의 버 잔류여부를 검사하기 위해서 가장 큰 규격의 유리기판의 버 잔류여부 검사시간과 동일한 검사시간이 소요되는 것이다. 이 경우 택트 타임을 줄이기 위해서 검사바의 교체가 필요하다는 문제점이 있었다. 따라서, 본 발명은 제1 검사바(12)와 제2 검사바(14)의 위치에 단차를 두고, 제1 검사바(12)가 접근하여 유리기판(23)의 장변의 버 잔류여부를 검사한 후, 단변의 버 잔류여부를 검사하기 위해 제1 검사바(12)의 두 개의 검사바가 제2 검사바(14)의 길이만큼 벌어질 필요없이 유리기판(23)을 자체를 제1 검사바(12)와 단차를 이루는 제2 검사바(14)로 이동시킴으로써 제2 검사바(14)가 유리기판(23)의 단변 에지의 버 잔류여부를 검사할 수 있게 되는 것이다.That is, in the glass substrate inspection apparatus according to the prior art, since each inspection bar is located on the same plane, first, the first inspection bar 12 approaches and checks whether burrs remain on the long side of the glass substrate 23. In order to check whether the burr remains, two test bars of the first test bar 12 must be opened by the length of the second test bar 14 so that the second test bar 14 can access the short side of the glass substrate 23. Do. Therefore, a relatively small glass substrate 23 (for example, the largest glass substrate is a 29 inch LCD monitor used as a TV monitor, compared to the size of the glass substrate 23 of the largest standard, and the smallest standard). In the case of 4inch LCD monitor used as the monitor of this digital camera, it takes the same inspection time as the inspection time of burr residual of the glass substrate of the largest standard. In this case, there is a problem in that the inspection bar needs to be replaced to reduce the tact time. Therefore, the present invention places a step at the position of the first inspection bar 12 and the second inspection bar 14, and the first inspection bar 12 approaches and inspects whether burrs remain on the long side of the glass substrate 23. After that, the two test bars of the first test bar 12 need not be opened to the length of the second test bar 14 so as to inspect the burr remaining on the short side. By moving to the second inspection bar 14, which forms a step with 12, the second inspection bar 14 can inspect whether burrs remain on the short side edge of the glass substrate 23. As shown in FIG.

제1 검사바(12) 및 제2 검사바(14)는 검사대상 유리기판(23) 중 크기가 가장 큰 유리기판(23)의 장변 및 단변에 각각 상응하는 길이로 형성되도록 하는 것이 좋다. 단위 유리기판(23)의 크기는 규격에 따라 크기가 달라지므로 이에 대응하기 위 해 제1 검사바(12)는 검사대상이 되는 여러 규격의 단위 유리기판(23) 중 그 크기가 가장 큰 규격의 장변의 길이에 상응하여 제작되도록 하며, 또한 제2 검사바(14)는 단변의 길이에 상응하여 제작되도록 한다. 이로써 다양한 크기의 유리기판(23)의 버 잔류여부를 검사할 수 있다.The first test bar 12 and the second test bar 14 may be formed to have lengths corresponding to the long and short sides of the glass substrate 23 having the largest size among the glass substrates 23 to be inspected. Since the size of the unit glass substrate 23 varies according to the standard, in order to cope with this, the first inspection bar 12 has the largest size among the unit glass substrates 23 of various standards to be inspected. The length of the long side is to be manufactured, and the second inspection bar 14 is also made to correspond to the length of the short side. As a result, it is possible to inspect whether burrs remain in the glass substrates 23 of various sizes.

또한, 일반적으로 TFT LCD에 이용되는 유리기판(23)은 두 개의 유리기판(23)이 합착되어 형성되며 그 중 하나에는 박막 트랜지스터 어레이 기판(20)이 형성되고, 나머지 하나에는 컬러필터 기판(22)이 형성되는데, 어레이 기판(20)의 가장자리에는 게이트 배선과 데이터 배선들이 접속되는 게이트 패드부와 데이터 패드부가 형성되므로 어레이 기판(20)이 컬퍼필터 기판(22) 보다 다소 크게 형성된다. 이와 같은 이유로 도2 및 도3에 도시된 바와 같이 유리기판(23)의 장변과 단변의 일측에는 계단 형상(도 4a 및 도 4b 참조)을 이루게 된다.In addition, a glass substrate 23 generally used for a TFT LCD is formed by bonding two glass substrates 23 together, one of which a thin film transistor array substrate 20 is formed, and the other is a color filter substrate 22. The gate substrate and the data pad to which the gate lines and the data lines are connected are formed at the edges of the array substrate 20, so that the array substrate 20 is somewhat larger than the culper filter substrate 22. For this reason, as shown in FIGS. 2 and 3, a step shape (see FIGS. 4A and 4B) is formed at one side of the long side and the short side of the glass substrate 23.

따라서, 유리기판(23)이 두 개의 서로 다른 크기의 유리기판(23)이 합착되어 형성되는 경우, 제1 검사바(12)와 제2 검사바(14)의 한 쌍의 검사바 중 적어도 어는 하나는 합착된 유리기판(23)의 에지의 계단형상에 상응하여 단턱이 형성되도록 한다. Therefore, when the glass substrate 23 is formed by bonding two different sized glass substrates 23, at least one of the pair of inspection bars of the first inspection bar 12 and the second inspection bar 14 One allows the stepped portion to be formed corresponding to the stepped shape of the edge of the bonded glass substrate 23.

본 실시예에서는 유리기판(23)의 단변 일측의 계단형상과 맞물리도록 제1 검사바(12)의 한 쌍의 검사바 중 합착된 유리기판(23)의 에지의 계단형상이 형성된 에지에 상응하는 검사바에 단턱을 형성하였고, 유리기판(23)의 장변 일측의 계단형상과 맞물리도록 그에 상응하는 위치의 검사바에 단턱을 형성하였다.In the present embodiment, the step corresponding to the edge of the edge of the glass substrate 23 bonded to the edge of the pair of inspection bar of the first inspection bar 12 to engage with the step shape of one side of the short side of the glass substrate 23 The stepped bar was formed on the test bar, and the stepped bar was formed on the test bar at a position corresponding to the stepped shape of one side of the long side of the glass substrate 23.

상술한 바와 같이 유리기판(23) 에지의 버 잔류여부를 검사하기 위해 제1 검 사바(12)의 두 개의 검사바는 유리기판(23)의 단변의 길이에 상응하는 거리가 유지되도록 유리기판(23)의 장변의 양 에지를 향하여 이동하게 되고, 제2 검사바(14)의 두 개의 검사바는 유리기판(23)의 장변의 길이에 상응하는 거리가 유지되도록 유리기판(23)의 단변의 양 에지를 향하여 이동하게 되므로, 제1 검사바 및 제2 검사바의 각각의 한 쌍의 검사바는 서로 대향하여 이동 가능하도록 이동수단(24a, 24b)을 더 포함할 수 있다.As described above, the two inspection bars of the first inspection bar 12 may inspect the glass substrate 23 so that the distance corresponding to the length of the short side of the glass substrate 23 may be maintained. 23, the two inspection bars of the second inspection bar 14 are moved toward both edges of the long side of the short side of the glass substrate 23 so that a distance corresponding to the length of the long side of the glass substrate 23 is maintained. Since it moves toward both edges, each pair of test bars of the first test bar and the second test bar may further include moving means 24a and 24b to be movable opposite to each other.

이동수단(24a, 24b)으로는 볼스크류바에 구동모터가 결합되어 구동모터의 회전에 의해 볼스크류바에 치합되는 볼스크류 너트가 직선운동을 하도록 하는 LM(Linear Motion) 시스템이 사용될 수 있다. 다만, 이동수단(24a, 24b)은 상술한 볼스크류 방식에 따른 것에 한정되는 것은 아니며, 검사바의 이동을 위한 것으로서 기어, 래크, 체인, 케이블, 등 당업자에게 자명한 이동수단(24a, 24b)이 사용될 수 있음은 물론이다. 또한, 이동수단(24a, 24b)에는 구동모터이외에 구동모터와 결합되어, 구동모터의 회전수를 검출하는 엔코더(encoder)와 구동모터의 작동여부를 조절하는 제어부를 더 둘 수 있다. As the moving means 24a and 24b, a linear motor (LM) system may be used in which a ball motor is coupled to a ball screw bar so that the ball screw nut engaged with the ball screw bar by the rotation of the drive motor performs linear motion. However, the moving means (24a, 24b) is not limited to the ball screw method described above, for moving the test bar, gears, racks, chains, cables, and the like means those skilled in the art 24a, 24b Of course it can be used. In addition, the moving means 24a and 24b may further include an encoder coupled to the driving motor in addition to the driving motor, an encoder for detecting the rotational speed of the driving motor, and a controller for controlling whether the driving motor is operated.

제어부는 유리기판(23)의 대향하는 양측 간의 길이에 상응하는 데이터를 입력받고, 데이터에 상응하도록 제1 검사바(12) 및 제2 검사바(14)의 한 쌍의 검사바를 유리기판(23)의 에지 방향으로 이동시키는 제어신호를 생성한다. 이러한 제어부을 통해 유리기판(23) 에지의 버 잔류여부를 검사할 수 있고, 다양한 규격의 유리기판(23)의 검사가 가능하다.The controller receives data corresponding to a length between opposite sides of the glass substrate 23, and controls the pair of inspection bars of the first inspection bar 12 and the second inspection bar 14 to correspond to the data. Generates a control signal for moving in the direction of the edge. Through such a control unit, it is possible to inspect whether burrs remain at the edge of the glass substrate 23, and inspect the glass substrate 23 having various standards.

제1 검사바(12) 및 제2 검사바(14)의 유리기판(23)의 에지와 대향하는 면에 는 쿠션(cushion)을 두어 유리기판(23)의 대향하는 변의 양 에지에 버가 잔류하는 경우 검사바가 뒤로 밀리게 되며, 이러한 검사바의 뒤로 밀리는 반발거리를 변위센서(미도시)가 감지하게 되고 유리기판(23)의 에지의 버 잔류여부를 검사한다. 이때 구동모터에 결합되어 있는 엔코터(미도시)는 구동모터의 회전수를 검출하여 상기 변위센서와 더불어 보다 정밀한 버 잔류여부를 검토하게 된다. 또한, 쿠션은 검사바의 접촉으로 인한 유리기판(23)의 파손을 방지하는 기능도 수행한다.Cushions are provided on the surfaces of the first inspection bar 12 and the second inspection bar 14 that face the edges of the glass substrate 23 so that burrs remain on both edges of opposite sides of the glass substrate 23. If the test bar is pushed back, the displacement sensor (not shown) is detected by the repulsion distance pushed behind the test bar and inspects whether the burr remaining on the edge of the glass substrate (23). At this time, the encoder (not shown) coupled to the drive motor detects the rotational speed of the drive motor and examines whether the burr remains more precise with the displacement sensor. In addition, the cushion also serves to prevent damage to the glass substrate 23 due to the contact of the test bar.

한편, 지지부(18)는 일정한 단차를 두어 위치하고 있는 제1 검사바(12) 및 제2 검사바(14) 사이를 이동 가능하도록 구성되며, 지지부(18) 상에는 유리기판(23)이 놓여 유리기판(23)을 지지하게 되고 이 경우 유리기판(23)을 고정하기 위해 지지부(18) 상에 흡착부 등을 두어 유리기판(23)을 흡착하여 고정하도록 할 수 있다. 또한, 클램프 등을 두어 유리기판(23)을 고정하는 것도 가능하다. On the other hand, the support 18 is configured to be movable between the first test bar 12 and the second test bar 14, which is positioned at a predetermined step, the glass substrate 23 is placed on the support 18, the glass substrate In this case, the glass substrate 23 may be adsorbed and fixed by placing an adsorption unit on the support 18 to fix the glass substrate 23. It is also possible to fix the glass substrate 23 by placing a clamp or the like.

지지부(18)에는 상기 제1 검사바와 제2 검사바 간의 사이를 이동할 수 있도록 실린더 구조를 가진 유압기 등을 구비하여 유리기판(23)이 단차 사이를 이동할 수 있도록 할 수 있다.The support unit 18 may include an oil press having a cylinder structure to move between the first test bar and the second test bar, such that the glass substrate 23 may move between the steps.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 검사장치의작동과정을 도시한 사시도이다. 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 제1 검사바(12), 제2 검사바(14), 유리기판(23)이 도시되어 있다.4A and 4B are perspective views showing the operation of the glass substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 4A and 4B, a first test bar 12, a second test bar 14, and a glass substrate 23 are illustrated.

도 4a와 도 4b를 참조하면, 먼저 상부에 위치한 제1 검사바(12)가 유리기판(23) 장변의 양 에지를 향하여 이동하여 장변의 에지의 버 잔류여부를 검사하고, 제1 검사바(12)의 두 개의 검사바가 서로 벌어지면서 유리기판(23)을 지지하고 있 는 지지부(18)가 하강하여 제2 검사바(14)가 위치하는 평면상으로 이동한다. 이때 제1 검사바(12)의 두 개의 검사바가 벌어지는 거리는 제2 검사바(14)의 길이만큼 벌어질 필요없이 제1 검사바(12)의 두 개의 검사바가 유리기판(23)과 분리됨과 동시에 유리기판(23)이 지지부(18)에 의해 하강할 수 있어 택트 타임을 줄일 수 있다. 이후 제2 검사바(14)의 두 개의 검사바가 유리기판(23) 단변의 양 에지를 향하여 이동하여 단변의 에지의 버 잔류여부를 검사하게 된다. 물론, 제2 검사바(14)가 유리기판(23) 단변의 양 에지의 버 잔류여부를 검사한 후 지지부(18)가 상승하여 제1 검사바(12)가 유리기판(23) 장변의 양 에지의 버 잔류여부를 검사하는 것도 가능하다. 4A and 4B, first, the first inspection bar 12 positioned at the upper side moves toward both edges of the long side of the glass substrate 23 to inspect whether burrs remain at the edge of the long side, and the first inspection bar ( As the two test bars of 12) are opened to each other, the support part 18 supporting the glass substrate 23 descends and moves on the plane where the second test bar 14 is located. At this time, the distance between the two inspection bar of the first inspection bar 12 is not necessary to be as long as the length of the second inspection bar 14, the two inspection bars of the first inspection bar 12 is separated from the glass substrate 23 The glass substrate 23 can be lowered by the support 18, so that the tact time can be reduced. Thereafter, two test bars of the second test bar 14 move toward both edges of the short side of the glass substrate 23 to check whether burrs remain on the edge of the short side. Of course, after the second inspection bar 14 inspects whether burrs remain at both edges of the short sides of the glass substrate 23, the support 18 is raised to allow the first inspection bar 12 to measure the length of the long sides of the glass substrate 23. It is also possible to check the burr for residual edges.

한편, 제1 검사바(12)와 제2 검사바(14)가 각각 다른 평면에 위치하고 있으므로, 제2 검사바(14)에 의한 유리기판(23)의 검사가 이루어진 후 유리기판(23)을 언로딩(unloading)할 때 유리기판(23)을 들어 내는 로봇 핸드(robot hand)가 바로 유리기판(23)의 하단으로 진입하여 유리기판(23)을 들어 낼 수 있으므로 전체적인 유리기판(23) 검사공정의 택트 타임을 줄일 수 있다.On the other hand, since the first inspection bar 12 and the second inspection bar 14 are located on different planes, the glass substrate 23 is opened after the inspection of the glass substrate 23 by the second inspection bar 14. When unloading, a robot hand that lifts the glass substrate 23 may directly enter the bottom of the glass substrate 23 to lift the glass substrate 23 so that the entire glass substrate 23 may be inspected. The tact time of the process can be reduced.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 검사바의 교체없이 다양한 규격의 유리기판의 버 잔류여부을 검사할 수 있고, 또한 유리기판의 규격에 관계없이 동일한 택트 타임으로 검사시간을 줄일 수 있다.As described above, according to a preferred embodiment of the present invention, it is possible to inspect whether burrs remain on glass substrates of various standards without replacing the inspection bar, and also reduce inspection time by the same tact time regardless of the glass substrate specifications. .

또한, 유리기판의 언로딩 시 바로 유리기판을 로봇 핸드에 의해 들어 낼 수 있으므로 전체적인 유리기판 검사공정의 택트 타임을 줄일 수 있다.In addition, since the glass substrate can be lifted by the robot hand immediately when the glass substrate is unloaded, the tact time of the entire glass substrate inspection process can be reduced.

Claims

A first inspection bar positioned on a first plane parallel to the glass substrate, corresponding to one edge of the glass substrate;

A second inspection bar positioned on a second plane parallel to the first plane, corresponding to the other edge adjacent to the one edge;

And a support part supporting the glass substrate such that the glass substrate moves between the first plane and the second plane.

The method of claim 1,

A cushion formed on each of the surfaces of the first test bar and the second test bar that face the edge of the glass substrate;

Further comprising a displacement sensor for detecting the displacement of the first test bar and the second test bar,

The displacement sensor is a glass substrate inspection device, characterized in that for measuring the repulsion distance by the cushion when the first inspection bar and the second inspection bar contacts the edge of the glass substrate.

The method of claim 1,

The first test bar and the second test bar is a glass substrate inspection apparatus, characterized in that formed in the length corresponding to each of the long side and short side of the largest glass substrate of the glass substrate to be inspected.

The method of claim 1,

The glass substrate is formed by bonding two different sized glass substrates,

At least one of the first test bar and the second test bar is a glass substrate inspection apparatus, characterized in that the stepped corresponding to the stepped shape of the edge of the bonded glass substrate.

The method of claim 1,

The first test bar and the second test bar each consists of a pair of test bars,

The pair of test bar further comprises a moving means to move to face each other glass substrate inspection apparatus.

The method of claim 5,

The means for moving,

A drive motor;

An encoder coupled to the drive motor to detect a rotational speed of the drive motor;

Glass substrate inspection apparatus comprising a control unit for controlling the operation of the drive motor.

The method of claim 6,

The control unit,

Receiving data corresponding to a length between opposite sides of the glass substrate,

And a control signal for moving the pair of inspection bars in an edge direction of the glass substrate so as to correspond to the data.