JP2769372B2 - LCD probe device - Google Patents

LCD probe device

Info

Publication number
JP2769372B2
JP2769372B2 JP1302784A JP30278489A JP2769372B2 JP 2769372 B2 JP2769372 B2 JP 2769372B2 JP 1302784 A JP1302784 A JP 1302784A JP 30278489 A JP30278489 A JP 30278489A JP 2769372 B2 JP2769372 B2 JP 2769372B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
liquid crystal
unit
lcd
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP1302784A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH03161947A (en
Inventor
彰 池田
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 東京エレクトロン株式会社
Priority to JP1302784A priority Critical patent/JP2769372B2/en
Publication of JPH03161947A publication Critical patent/JPH03161947A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2769372B2 publication Critical patent/JP2769372B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、LCDプローブ装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial application field) The present invention relates to an LCD probe device.
(従来の技術) LCDプローブ装置は、被検査体として例えば液晶表示
素子基板(以下、LCD基板と略記する)等を載置台に支
持固定し、この被検査体の電極パッドにプローブ電極を
接触させ、テスタによる通電検査、表示画面の目視によ
る機能検査等の電気的特性検査を実行するものである。
(Prior Art) In an LCD probe device, for example, a liquid crystal display element substrate (hereinafter abbreviated as an LCD substrate) or the like as a device under test is supported and fixed on a mounting table, and a probe electrode is brought into contact with an electrode pad of the device under test. And an electrical characteristic test such as a power test by a tester and a functional test by visual inspection of a display screen.
LCD基板を被検査体とする時は、LCD基板内に複数個形
成された被検査単位体である液晶パネルの各辺に設けら
れた複数の電極パッドに対応して複数のプローブ電極を
有するプローブユニット等を設け各ユニット等のプロー
ブ電極を被検査体に接触させて検査を行っていた。
When using the LCD substrate as a device to be inspected, a probe having a plurality of probe electrodes corresponding to a plurality of electrode pads provided on each side of a liquid crystal panel which is a unit to be inspected formed in the LCD substrate Inspection has been performed by providing units and the like and bringing the probe electrodes of each unit and the like into contact with the object to be inspected.
(発明が解決しようとする課題) しかし、近年の各種サイズ及び大型の液晶パネルの電
気的特性を検査する場合には、液晶パネルの各辺上の電
極パッド配列に合わせて、それぞれ固有のプローブカー
ドあるいはプローブユニット等を交換しなければなら
ず、交換作業及びその後の位置合わせ作業等が作業者の
負担を増大させるだけではなく、装置の使用効率の低下
を招いていた。
(Problems to be Solved by the Invention) However, when inspecting the electrical characteristics of various sizes and large-sized liquid crystal panels in recent years, each probe card has a unique probe card according to the electrode pad arrangement on each side of the liquid crystal panel. Alternatively, the probe unit or the like must be replaced, and the replacement work and the subsequent positioning work not only increase the burden on the operator, but also reduce the use efficiency of the apparatus.
又、液晶パネルは一辺に対して多数の電極パッド例え
ば1,000個の電極パッド直線状に形成されている場合も
あり、この電極パッド構成に対応してプローブユニット
を製造するとコストが嵩み各種サイズの被検査体及び被
検査体の検査には汎用性に欠けていた。又、特開昭61−
181143号公報に開示されるような機能を用い電極パッド
列に対し分割的にプローブ電極群を接触させれば被検査
体に対して装置の汎用性が生じるが、電極パッドが極端
に多く大型の液晶パネル等に対応させるとプローブユニ
ットを高精度に大型化する必要が生じ、位置制御及び装
置機構が複雑になる等の問題がある。
In addition, the liquid crystal panel may be formed with a large number of electrode pads on one side, for example, a linear shape of 1,000 electrode pads. Manufacturing a probe unit corresponding to this electrode pad configuration increases costs and increases the size of various sizes. The inspection object and the inspection of the inspection object lack versatility. Also, JP-A-61-
If the probe electrode group is brought into contact with the electrode pad array in a divided manner using the function disclosed in Japanese Patent No. 181143, the versatility of the apparatus is generated for the device under test, but the electrode pads are extremely large and large. When the probe unit is adapted to a liquid crystal panel or the like, it is necessary to increase the size of the probe unit with high precision, and there is a problem that the position control and the mechanism of the device become complicated.
この発明は、上記点を鑑みなされたもので、被検査体
の各種サイズ及び大型の被検査領域サイズ内にある多数
の電極パッドに対してより少ない簡素な駆動機構で汎用
性を持たせ、従来の検査前工程であるプローブユニット
の交換作業を低減すると共にプローブユニットの製作費
用を削減するプローブ装置を提供するものである。
The present invention has been made in view of the above points, and provides versatility with a smaller number of simple driving mechanisms for a large number of electrode pads in various sizes of an inspection object and a large inspection area size. It is an object of the present invention to provide a probe device which reduces the replacement work of the probe unit, which is a pre-inspection process, and reduces the manufacturing cost of the probe unit.
〔発明の構成〕[Configuration of the invention]
(課題を解決するための手段) 本発明は、前記目的を達成するために、請求項1は、
四角形で、少なくとも3辺に多数の電極パッドを有した
LCD基板上の検査単位体の前記電極パッドにプローブを
接触させ、LCD基板の電気的特性を検査するLCDプローブ
装置において、前記LCD基板を載置して少なくとも1軸
方向に移動可能な載置台と、この載置台の移動方向と平
行に互いに対向して配置され、前記検査単位体の相反す
る辺に設けられた多数の電極パッドの一部に対応して配
置されたプローブ電極を有する固定プローブユニット
と、前記載置台の移動方向と直角に配置され、前記検査
単位体の残りの辺に設けられた多数の電極パッドに対応
して配置されたプローブ電極を有するとともに、前記載
置台と一体的に移動する可動プローブユニットとからな
り、前記載置台及び可動プローブユニットを前記LCD基
板内の検査単位体の大きさの範囲内で移動させて検査単
位体を分割検査するようにしたことを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides claim 1,
Square, with multiple electrode pads on at least three sides
In an LCD probe device for contacting a probe with the electrode pad of the inspection unit on the LCD substrate and inspecting electrical characteristics of the LCD substrate, a mounting table on which the LCD substrate is mounted and which can be moved in at least one axis direction. A fixed probe unit having probe electrodes that are arranged to face each other in parallel with the direction of movement of the mounting table and that correspond to a part of a number of electrode pads provided on opposite sides of the inspection unit body. And a probe electrode arranged at right angles to the direction of movement of the mounting table, and having probe electrodes arranged corresponding to a number of electrode pads provided on the remaining sides of the inspection unit, and integrally with the mounting table. A movable probe unit that moves, wherein the mounting table and the movable probe unit are moved within the size range of the inspection unit in the LCD substrate, and the inspection unit is divided and inspected. It is characterized in.
請求項2は、請求項1の載置台は、昇降自在であり、
LCD基板が上昇して電極パッドが固定及び可動プローブ
ユニットのプローブ電極に接触することを特徴とする。
According to a second aspect, the mounting table of the first aspect is movable up and down,
The LCD substrate is raised, and the electrode pads are in contact with the probe electrodes of the fixed and movable probe units.
(作用効果) 本発明によれば、可動プローブユニットをLCD基板を
載置する載置台と一体的に移動させることにより、固定
プローブユニットのプローブ電極とLCD基板上の検査単
位体との相対的位置が変化するまで、各種サイズの検査
単位体を分割検査でき、少ない駆動系による短い距離の
移動動作が効率的に広い範囲の検査を分割的に行ってい
くことができるので、装置に汎用性を持たせることがで
き、更にプローブユニットの交換作業を少なくさせ、作
業者の負担及び装置稼働費用の削減がはかれる。
(Operation and Effect) According to the present invention, the relative position between the probe electrode of the fixed probe unit and the inspection unit on the LCD substrate is moved by moving the movable probe unit integrally with the mounting table on which the LCD substrate is mounted. Until changes, inspection units of various sizes can be divided and inspected, and the movement of a short distance by a small number of drive systems can efficiently perform inspections over a wide range in a divided manner. It is possible to reduce the work of replacing the probe unit, thereby reducing the burden on the operator and the operating cost of the apparatus.
(実施例) 以下に本発明をLCDプローブ装置に適用した実施例に
ついて図面を参照して説明する。
Embodiment An embodiment in which the present invention is applied to an LCD probe device will be described below with reference to the drawings.
まず検査方法の説明を行う。通常の液晶パネルは液晶
表示セルの集合体であり、各セルは液晶パネル周辺に設
けられているゲート電極及びドレイン電極に各々配線さ
れ、これら電極より各セルに対して電流電圧印加が行わ
れる。この液晶表示セルの集合体である液晶パネルの検
査はゲート電極パッドに電圧をかけながらドレイン電極
パッドの漏れ電流を検出して液晶表示セルの良否を判定
する。更に、目視により表示が正しく行われているか否
かを確認する。このようにして、液晶パネルの検査が行
われていく。
First, the inspection method will be described. An ordinary liquid crystal panel is an aggregate of liquid crystal display cells. Each cell is wired to a gate electrode and a drain electrode provided around the liquid crystal panel, and a current voltage is applied to each cell from these electrodes. In the inspection of the liquid crystal panel, which is an aggregate of the liquid crystal display cells, the leakage current of the drain electrode pad is detected while applying a voltage to the gate electrode pad, and the quality of the liquid crystal display cell is determined. Further, it is visually confirmed whether the display is correctly performed. In this way, the inspection of the liquid crystal panel is performed.
次に装置の説明をする。このLCDプローブ装置(1)
は第1図に示すように、大別して、被検査体であるLCD
基板(10)の電気的特性検査を実行する検査部(2)
と、この検査部(2)にLCD基板(10)を搬送するため
の搬送部(3)とから構成されている。
Next, the device will be described. This LCD probe device (1)
As shown in FIG. 1, the LCD is roughly divided into
Inspection unit (2) that performs electrical characteristic inspection of substrate (10)
And a transport unit (3) for transporting the LCD substrate (10) to the inspection unit (2).
この搬送部(3)は、未検査LCD基板(10)を収納し
たキャリアAをセットするための収納部(31)と、検査
済LCD基板(10)を収納したキャリアBをセットするた
めの収納部(32)を有し、更に前記キャリアAから未検
査LCD基板(10)を取り出して前記検査部(2)に搬送
し、かつ、検査済LCD基板(10)をキャリアBに搬送す
るためのバキュームピンッセット(33)と、このバキュ
ームピンセット(33)によって搬送されたLCD基板(1
0)を一時載置し、所定の位置合わせを実行するプリア
ライメントステージ(34)が備えられている。このプリ
アライメントステージ(34)は、上下動及びθ回転が可
能であり、載置されたLCD基板(10)を回転させ、透過
型センサ例えばフォトインタラプタ等を利用して予備ア
ライメントする。このように、LCD基板(10)の位置決
めを予め実行することで、後述する検査部(2)でのア
ライメントを軽減し、かつ、相当の大きさを有するLCD
基板(10)が搬送される場合の周囲機構への衝突等の弊
害を防止することが可能となる。
The transport section (3) includes a storage section (31) for setting a carrier A containing an untested LCD substrate (10) and a storage section for setting a carrier B containing a tested LCD board (10). A carrier (A) for removing the untested LCD substrate (10) from the carrier A and transporting the untested LCD substrate (10) to the testing unit (2); and transporting the tested LCD substrate (10) to the carrier B. The vacuum tweezers (33) and the LCD substrate (1) transported by the vacuum tweezers (33)
0) is temporarily mounted, and a pre-alignment stage (34) for performing predetermined alignment is provided. The pre-alignment stage (34) is capable of vertical movement and θ rotation, rotates the mounted LCD substrate (10), and performs pre-alignment using a transmission type sensor such as a photo interrupter. As described above, by performing the positioning of the LCD substrate (10) in advance, the alignment in the inspection unit (2) to be described later is reduced, and the LCD having a considerable size is used.
It is possible to prevent adverse effects such as collision with the surrounding mechanism when the substrate (10) is transported.
次に、本実施例装置の特徴的構成である前記検査部
(2)の構成について、第1図、第2図及び第3図を参
照して説明する。
Next, the configuration of the inspection section (2), which is a characteristic configuration of the apparatus of this embodiment, will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 3. FIG.
前記検査部(2)には、LCD基板(10)を例えば真空
吸着して支持する載置台(20)が設けられている。この
載置台(20)は、載置面上の直交軸方向であるX軸、Y
軸方向、上下方向であるZ軸方向及びZ軸の周方向であ
るθ方向に移動自在となっており、図示しないアライメ
ント制御機構とCCDカメラ(21)を用いてLCD基板(10)
をX、Y、θ方向に移動することでアライメント可能で
あると共に、後述するプローブ電極にLCD基板(10)を
接触できるようにZ方向の駆動が可能となっている。
The inspection section (2) is provided with a mounting table (20) for supporting the LCD substrate (10) by, for example, vacuum suction. The mounting table (20) has an X-axis and a Y-axis that are orthogonal to the mounting surface.
The LCD substrate (10) is movable in the axial direction, the Z-axis direction which is the vertical direction, and the θ direction which is the circumferential direction of the Z-axis, using an alignment control mechanism (not shown) and a CCD camera (21).
Can be aligned in the X, Y, and θ directions, and can be driven in the Z direction so that the LCD substrate (10) can be brought into contact with a probe electrode described later.
上記LCD基板(10)は例えば縦450mm横450mmで、X−
Yマトリックス配線回路やTFT技術により形成された液
晶表示駆動回路からなる例えば対角長10インチの長方形
液晶パネル(15)が同間隔の距離をおいて複数形成さ
れ、更に、LCD基板(10)の角周辺にはアライメント用
のターゲットマークが設けられている。上記液晶パネル
(15)の周辺の3辺には、多数の電極パッドが、同ピッ
チ間隔例えば200μmで直線状に形成されており、対向
する長手2辺にはドレイン電極(17)が例えば各辺に80
0個形成され、他の辺にはゲート電極(25)が例えば200
個形成されている。このような液晶パネル(15)の電気
的特性の測定例えば導通チェックを実行し、LCD基板(1
0)内すべての液晶パネル(15)の検査を行っていく。
又検査部(2)は、上記液晶パネル(15)の測定に対応
する如く構成されている。即ち、検査部(2)には、プ
ローブ機構(16)が設けられており、次にこのプローブ
機構(16)の構成を説明する。
The LCD substrate (10) is, for example, 450 mm long and 450 mm wide, and
For example, a plurality of rectangular liquid crystal panels (15) having a diagonal length of 10 inches, each of which is formed of a Y matrix wiring circuit or a liquid crystal display driving circuit formed by TFT technology, are formed at equal distances. A target mark for alignment is provided around the corner. On three sides around the liquid crystal panel (15), a large number of electrode pads are formed in a straight line at the same pitch interval, for example, 200 μm. To 80
0 gate electrodes are formed on the other side.
Individually formed. The electrical characteristics of the liquid crystal panel (15) are measured, for example, a continuity check is performed, and the LCD substrate (1) is measured.
Inspection of all liquid crystal panels (15) in (0) will be performed.
The inspection section (2) is configured to correspond to the measurement of the liquid crystal panel (15). That is, the inspection section (2) is provided with a probe mechanism (16). Next, the configuration of the probe mechanism (16) will be described.
プローブ機構(16)には、第2図及び第3図に示すよ
うに、被検査体である液晶パネル(15)の検査時に、ド
レイン電極パッド(17)と接続する固定プローブユニッ
トとしてのドレインプローブユニット(18a)(18b)が
固定支持台(22a)(22b)に固定されている。又、ゲー
ト電極パッド(25)と接続する可動プローブユニットと
してのゲートプローブユニット(26)が可動支持台(2
7)に固定されている。上記ドレインプローブユニット
(18a)(18b)にはドレインプローブ電極(19a)(19
b)が液晶パネル(15)上のドレイン電極パッド(17)
の配列状態と同じ配列で例えば400個形成され、同様に
ゲートプローブユニット(26)にもゲートプローブ電極
(28)が例えば200個形成されており、ドレインプロー
ブ電極(19a)(19b)とゲートプローブ電極(28)はそ
れぞれケーブル等を介してテスタ(図示せず)に電気的
に接続されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the probe mechanism (16) has a drain probe as a fixed probe unit connected to the drain electrode pad (17) when the liquid crystal panel (15) to be inspected is inspected. The units (18a) (18b) are fixed to the fixed supports (22a) (22b). In addition, a gate probe unit (26) as a movable probe unit connected to the gate electrode pad (25) is provided with a movable support base (2).
7) Fixed to. The drain probe electrodes (19a) (19a) are connected to the drain probe units (18a) (18b).
b) The drain electrode pad (17) on the liquid crystal panel (15)
For example, 400 gate electrodes are formed in the same arrangement as that of the above, and 200 gate probe electrodes (28) are similarly formed in the gate probe unit (26), and the drain probe electrodes (19a) (19b) and the gate probe Each of the electrodes (28) is electrically connected to a tester (not shown) via a cable or the like.
上記可動支持台(27)は図中A及びBで示される1軸
方向へ駆動機構(30)により所望の距離移動可能になっ
ており、ガイドシャフト(33a)により方向が固定さ
れ、各々の固定支持台(22a)(22b)と可動支持台(2
7)はドレインプローブ電極(19a)(19b)及びゲート
プローブ電極(28)が液晶パネル(15)上のドレイン電
極パッド(17)及びゲート電極パッド(25)のそれぞれ
に接触するように所定の距離に調整された後に設置固定
されている。液晶パネル(15)の検査開始時には可動支
持台(27)はゲートプローブ電極(28)とドレインプロ
ーブ電極(19)が液晶パネル(15)内の電極パッドと同
じ位置関係になるように配置移動されている。
The movable support table (27) can be moved by a drive mechanism (30) to a desired distance in one axis direction indicated by A and B in the figure, and the direction is fixed by a guide shaft (33a). The support (22a) (22b) and the movable support (2
7) is a predetermined distance such that the drain probe electrodes (19a) (19b) and the gate probe electrode (28) are in contact with the drain electrode pad (17) and the gate electrode pad (25) on the liquid crystal panel (15), respectively. After being adjusted, the installation is fixed. At the start of the inspection of the liquid crystal panel (15), the movable support (27) is moved so that the gate probe electrode (28) and the drain probe electrode (19) have the same positional relationship as the electrode pads in the liquid crystal panel (15). ing.
次に上記プローブ装置(1)で被検査体であるLCD基
板(10)に形成された液晶パネル(15)を測定る動作作
用について説明する。
Next, the operation of the probe device (1) for measuring a liquid crystal panel (15) formed on an LCD substrate (10) as an object to be inspected will be described.
未検査LCD基板(10)が収納されたキャリアAからバ
キュームピンセット(33)によりLCD基板(10)がプリ
アライメントステージ(34)に搬送され、プローブ機構
(16)内のX軸、Y軸にそれぞれ平行になるようにLCD
基板(10)の方向が粗調整される。
The LCD substrate (10) is transported from the carrier A containing the untested LCD substrate (10) to the pre-alignment stage (34) by the vacuum tweezers (33), and is moved to the X axis and the Y axis in the probe mechanism (16), respectively. LCD to be parallel
The direction of the substrate (10) is roughly adjusted.
後にLCD基板(10)は載置台(20)へ平行搬送され、
載置台(20)に載置される。この時LCD基板(10)内の
所定のターゲットマークはそれぞれのCCDカメラ(21)
の視野にはいり、アライメント制御機構を用いて載置台
(20)をX軸、Y軸及びθ軸の各方向へ動かし、LCD基
板(10)内のXYθ各軸はプローブ機構(16)内のXYθ各
軸の方向と同じとなるように微調整される。又Z軸方向
はプローブ電極への接触ストロークのために所定の距離
間隔がおかれる。LCD基板(10)内の液晶パネル(15)
の位置情報は予めプローブ装置(1)に入力されており
該情報に基づいて、載置台(20)を駆動させ、1番目に
検査される液晶パネル(10)がプローブ機構の所定位置
へ移動させる。
Later, the LCD substrate (10) is transported in parallel to the mounting table (20),
It is mounted on a mounting table (20). At this time, the predetermined target mark on the LCD board (10) is
The mounting table (20) is moved in each of the X-axis, Y-axis, and θ-axis directions using the alignment control mechanism, and the XYθ axes in the LCD substrate (10) are the XYθ axes in the probe mechanism (16). Fine adjustment is made so as to be the same as the direction of each axis. In the Z-axis direction, a predetermined distance is provided for a contact stroke with the probe electrode. Liquid crystal panel (15) in LCD substrate (10)
Is input to the probe device (1) in advance, and based on the information, the mounting table (20) is driven to move the first inspected liquid crystal panel (10) to a predetermined position of the probe mechanism. .
プローブ機構の所定位置に移動された液晶パネル(1
5)は第2図に示された状態であり、載置台(20)をZ
方向上方へ駆動してゲートプローブ電極(28)とドレイ
ンプローブ電極(19a)(19b)を液晶パネル(15)のゲ
ート電極パッド(25)とドレイン電極パッド(17)のそ
れぞれに接触させ、テスト信号を印加する。この時点で
は液晶パネル(15)の左方側領域(34)の検査が行われ
る。該検査終了後に、載置台(20)をZ方向下方に下
げ、更に、図中の駆動機構(30)の軸方向と同じ方向で
あるA方向に載置台(20)を所定距離L、例えば本実施
例では液晶パネル(15)のドレイン電極側の辺長2分の
1と同じ距離Lだけ移動させ、更に、可動支持台(27)
を駆動機構(30)を用いて同じ長さLの距離だけA方向
へ移動させる。次に、前記と同様に、載置台(20)を上
方へ上げると、ゲートプローブ電極(28)は再度ゲート
電極パッド(25)に、ドレインプローブ電極(19)は新
たに液晶パネル(15)の右方領域(35)のドレイン電極
パッド(17)に接触する。次に、テスタ(図示せず)か
ら予め定められたテスト信号を印加し、液晶パネル(1
5)の右方領域(35)の検査をおこなう。以上で1個の
液晶パネル(15)の検査が終了する。大型液晶パネルの
場合は再度所定距離L移動することにより被検査液晶パ
ネルの分割検査を行うことができる。
The liquid crystal panel (1
FIG. 5) shows the state shown in FIG.
Drive the gate probe electrode (28) and the drain probe electrode (19a) (19b) to the gate electrode pad (25) and the drain electrode pad (17) of the liquid crystal panel (15), respectively. Is applied. At this point, the inspection of the left side area (34) of the liquid crystal panel (15) is performed. After the inspection is completed, the mounting table (20) is lowered downward in the Z direction, and the mounting table (20) is further moved a predetermined distance L, for example, in the direction A, which is the same direction as the axial direction of the drive mechanism (30) in the figure. In the embodiment, the liquid crystal panel (15) is moved by the same distance L as one half of the side length on the drain electrode side, and furthermore, the movable support (27)
Is moved in the direction A by the same length L by using the drive mechanism (30). Next, as described above, when the mounting table (20) is raised upward, the gate probe electrode (28) is again placed on the gate electrode pad (25), and the drain probe electrode (19) is newly placed on the liquid crystal panel (15). It contacts the drain electrode pad (17) in the right area (35). Next, a predetermined test signal is applied from a tester (not shown) to the liquid crystal panel (1).
Inspect the right area (35) of 5). This completes the inspection of one liquid crystal panel (15). In the case of a large liquid crystal panel, the liquid crystal panel to be inspected can be divided and inspected by moving the predetermined distance L again.
以下同様にLCD基板(10)内のすべての液晶パネル(1
5)を順次検査を行いLCD基板(10)の検査を終了する。
Hereinafter, similarly, all the liquid crystal panels (1
5) is sequentially inspected, and the inspection of the LCD substrate (10) is completed.
検査の終了したLCD基板(10)はバキュームピンセッ
ト(33)により、検査部(2)より収納部(3)へ搬送
され、キャリアBに収納される。
The inspection-completed LCD substrate (10) is transported from the inspection unit (2) to the storage unit (3) by the vacuum tweezers (33) and stored in the carrier B.
上記述べた一連の動作はすべてCPUで自動制御され、L
CD基板(10)の位置情報を入力すれば該情報に基づい
て、位置合わせ制御、検査等を自動でおこなってゆく。
All of the above-mentioned series of operations are automatically controlled by the CPU.
If position information of the CD substrate (10) is input, position control, inspection, and the like are automatically performed based on the information.
以上は1個の可動ゲートプローブ電極ユニットを設け
た実施例装置の説明であるが、この場合の液晶パネル
(15)には3辺に電極パッドが配列されていた。しか
し、他の液晶パネルでは4辺に電極パッドが設けられた
ものもあり、該液晶パネルの対向する各辺にゲート電極
パッドおよびドレイン電極パッドが設けられている。こ
の様な液晶パネルの場合には2個の可動ゲートプローブ
電極ユニットを設けると同様な作用効果がえられる。そ
の時の構成は第3図に示すように、第2図における可動
支持台(27)及びガイドシャフト(33a)等を対向する
位置にそれぞれ設け、動作はゲートプローブ電極(28)
間の距離がたえず液晶パネル(15)のゲート電極パッド
(25)列間の距離に等しくなるように動作すれば良く、
対向するゲートプローブユニットA(41)とゲートプロ
ーブユニットB(43)をそれぞれ保持する可動支持台A
(40)と可動支持台B(42)同士を連結する支持体(4
4)によりゲートプローブユニット間距離を調整固定し
ておけば、一方の駆動機構(30)により2個のプローブ
ユニットが互いの距離を保ちつつ移動することによっ
て、液晶パネル(15)内の領域を分割して検査を行って
いくことが可能である。
The above is the description of the embodiment apparatus provided with one movable gate probe electrode unit. In this case, the liquid crystal panel (15) has electrode pads arranged on three sides. However, in other liquid crystal panels, electrode pads are provided on four sides, and a gate electrode pad and a drain electrode pad are provided on opposite sides of the liquid crystal panel. In the case of such a liquid crystal panel, the same operation and effect can be obtained by providing two movable gate probe electrode units. At that time, as shown in FIG. 3, the movable support (27) and the guide shaft (33a) in FIG. 2 are provided at opposing positions, respectively, and the operation is performed by the gate probe electrode (28).
It suffices to operate so that the distance between them is always equal to the distance between the rows of gate electrode pads (25) of the liquid crystal panel (15).
Movable support A that holds the opposing gate probe unit A (41) and gate probe unit B (43), respectively
The support (4) connecting the (40) and the movable support B (42)
If the distance between the gate probe units is adjusted and fixed according to 4), the one probe mechanism (30) moves the two probe units while maintaining the distance from each other, thereby reducing the area in the liquid crystal panel (15). It is possible to carry out the inspection in a divided manner.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
第1図は本発明のプローブ装置の概略説明図、第2図は
第1図のプローブ機構の説明図、第3図は第2図のプロ
ーブ機構において2個の可動プローブユニットを設けた
場合の説明図。 15……液晶パネル、10……LCD基板 27……可動支持台、19……固定支持台 20……載置台、21……CCDカメラ 26……ゲートプローブユニット 18……ドレインプローブユニット 44……支持体
FIG. 1 is a schematic explanatory view of a probe device of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view of a probe mechanism of FIG. 1, and FIG. 3 is a case where two movable probe units are provided in the probe mechanism of FIG. FIG. 15 ... LCD panel, 10 ... LCD board 27 ... Movable support stand, 19 ... Fixed support stand 20 ... Placement stand, 21 ... CCD camera 26 ... Gate probe unit 18 ... Drain probe unit 44 ... Support

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】(57) [Claims]
  1. 【請求項1】四角形で、少なくとも3辺に多数の電極パ
    ッドを有したLCD基板上の検査単位体の前記電極パッド
    にプローブを接触させ、LCD基板の電気的特性を検査す
    るLCDプローブ装置において、 前記LCD基板を載置して少なくとも1軸方向に移動可能
    な載置台と、 この載置台の移動方向と平行に互いに対向して配置さ
    れ、前記検査単位体の相反する辺に設けられた多数の電
    極パッドの一部に対応して配置されたプローブ電極を有
    する固定プローブユニットと、 前記載置台の移動方向と直角に配置され、前記検査単位
    体の残りの辺に設けられた多数の電極パッドに対応して
    配置されたプローブ電極を有するとともに、前記載置台
    と一体的に移動する可動プローブユニットとからなり、 前記載置台及び可動プローブユニットを前記LCD基板内
    の検査単位体の大きさの範囲内で移動させて検査単位体
    を分割検査するようにしたことを特徴とするLCDプロー
    ブ装置。
    1. An LCD probe device for inspecting electrical characteristics of an LCD substrate by bringing a probe into contact with the electrode pads of a test unit on an LCD substrate having a large number of electrode pads on at least three sides in a rectangular shape. A mounting table on which the LCD substrate is mounted and movable in at least one axis direction; and a plurality of mounting tables arranged opposite to each other in parallel with the moving direction of the mounting table and provided on opposite sides of the inspection unit. A fixed probe unit having a probe electrode arranged corresponding to a part of the electrode pad, and a plurality of electrode pads arranged at right angles to the moving direction of the mounting table and provided on the remaining side of the inspection unit. A movable probe unit having a probe electrode arranged correspondingly and moving integrally with the mounting table, wherein the mounting table and the movable probe unit are connected to an inspection unit in the LCD substrate. An LCD probe device, wherein the inspection unit is divided and inspected by moving within the range of the size of the body.
  2. 【請求項2】前記載置台は、昇降自在であり、LCD基板
    が上昇して電極パッドが固定及び可動プローブユニット
    のプローブ電極に接触することを特徴とする請求項1記
    載のLCDプローブ装置。
    2. The LCD probe device according to claim 1, wherein the mounting table is movable up and down, and the LCD substrate is raised so that the electrode pads contact the probe electrodes of the fixed and movable probe units.
JP1302784A 1989-11-21 1989-11-21 LCD probe device Expired - Fee Related JP2769372B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1302784A JP2769372B2 (en) 1989-11-21 1989-11-21 LCD probe device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1302784A JP2769372B2 (en) 1989-11-21 1989-11-21 LCD probe device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03161947A JPH03161947A (en) 1991-07-11
JP2769372B2 true JP2769372B2 (en) 1998-06-25

Family

ID=17913079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1302784A Expired - Fee Related JP2769372B2 (en) 1989-11-21 1989-11-21 LCD probe device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2769372B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100449515B1 (en) * 1996-09-25 2004-11-20 삼성전자주식회사 Panel test apparatus of liquid crystal display, especially moving probe unit up and down using air cylinder
KR100477855B1 (en) * 2001-08-27 2005-03-23 에스이디스플레이 주식회사 Inspecting equipment of liquid crystal display panel
KR100489522B1 (en) * 2002-06-04 2005-05-16 참이앤티 주식회사 Apparatus for inspecting Flat Panel Display
US6833717B1 (en) * 2004-02-12 2004-12-21 Applied Materials, Inc. Electron beam test system with integrated substrate transfer module
JP2006194699A (en) * 2005-01-12 2006-07-27 Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd Probing device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0346336B2 (en) * 1984-11-01 1991-07-15 Yoshinaga Nakai
JPS62188978A (en) * 1986-02-14 1987-08-18 Toshiba Corp Pattern checker for conductive thin film
JPS63259677A (en) * 1987-04-17 1988-10-26 Nippon Micronics Prober for display panel

Also Published As

Publication number Publication date
JPH03161947A (en) 1991-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7319335B2 (en) Configurable prober for TFT LCD array testing
US7355418B2 (en) Configurable prober for TFT LCD array test
US5801545A (en) LCD testing apparatus
JP2021105620A (en) Probe system
TWI533006B (en) Inspection apparatus and inspection method
JP2769372B2 (en) LCD probe device
KR20100058395A (en) Testing apparatus for flat panel display
WO2005106510A2 (en) Apparatus for high speed probing of flat panel displays
JP2001296547A (en) Prober for liquid crystal substrate
JP2575013B2 (en) Liquid crystal display inspection equipment
KR20070117191A (en) Probe unit and apparatus for inspection of display panel
JP2599939B2 (en) Probe device and probe method
KR20180091510A (en) Display cell test equipment
JP2000180807A (en) Inspection device for liquid crystal substrate
JPH06342837A (en) Inspection and repair device and burn-in inspection device for semiconductor wafer
JPH0627252A (en) Device for aligning object to be treated
JP2636857B2 (en) Probe device and probe device for liquid crystal panel
KR19990014755U (en) Probe unit and work bench flatness inspection device
KR970703534A (en) METHOD AND APPARATUS FOR PROBE TESTING SUBSTRATE
JPH0799379B2 (en) Probe device
JPH10123193A (en) Device and method for inspecting display panel substrate
JP3257861B2 (en) Board inspection equipment
JPH0682539U (en) Multi-block LCD inspection device
JPH07199139A (en) Method and device for inspection of liquid crystal substrate
JP2678178B2 (en) Probing method and probe device

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees