KR100766697B1 - 연마 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 회전하는 연마 휠에 축선 방향의 진동을 부가함으로써 연마 휠의 눈메움 현상을 방지함과 더불어 연마 품질을 향상시킬 수 있도록 한 연마 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 연마 장치는, 구동원(200)에 의해 회전하면서 가공물의 표면을 연마하는 연마 휠(110)을 포함하는 연마 휠 유닛(100); 상기 연마 휠 유닛(100)이 탑재되어 일체화를 이루고, 탑재된 연마 휠 유닛(100)을 연마 장비의 테이블(50)에 대하여 연마 휠(100)의 축선 방향(이송 방향)으로 직선 왕복 운동 가능하게 안내하는 직선 운동 가이드 유닛(300); 및 상기 연마 휠 유닛(100)에 축선 방향으로의 진동을 전달함으로써 상기 연마 휠(110)을 축선 방향으로 고속 미세 왕복 운동시키는 진동 발생 유닛(400); 을 포함하여 이루어진다.

이러한 본 발명의 연마 장치는, 연마 휠의 고유한 회전 운동과 이송 운동에 더하여, 진동 발생 유닛에 의해 연마 휠을 축선 방향으로 고속 미세 진동시킴으로써, 연마 휠의 표면으로부터 가공물의 찌꺼기가 쉽게 배출되도록 하여 연마 휠의 눈메움을 방지하고, 연마 휠에 다양한 방향으로의 복합 운동을 제공하는 것에 의해 연마면의 정밀도와 연마 품질을 향상시킨 것이다.

연마, 휠, 조도, 진동, 눈메움

Description

연마 장치{Grinding Machine}

도 1은 종래의 일반적인 연마 공정을 설명하기 위한 사시도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연마 장치의 전체적인 구성을 보여주는 사시도이다.

도 3은 도 2의 A-A선에 따른 단면도로서, 본 발명에 따른 직선 운동 가이드의 바람직한 일례를 보여주는 도면이다.

도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명에 따른 진동 발생 기구의 바람직한 일례를 보여주는 것으로서, 도 4a는 도 2의 'B' 방향에서 바라본 도면이고, 도 4b는 도 4a의 평면도이다.

도 5a 및 도 5b는 각각 종래의 연마 장치에 의한 가공물의 표면 연마 상태와 본 발명에 따른 연마 장치에 의한 가공물의 표면 연마 상태를 비교하여 보여주는 확대도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 가공물 20 : 연마 휠

50 : 테이블 100 : 연마 휠 유닛

110 : 연마 휠 120, 210, 421 : 회전축

121, 211 : 풀리 130 : 베어링 하우징

131 : 베이스 140 : 보호 커버

200 : 구동원(모터) 220 : 벨트

300 : 직선 운동 가이드 유닛 310 : 가이드 레일

320 : 가이드 블록 400 : 진동 발생 유닛

410 : 모터 420 : 크랭크 축

421 : 회전축 422 : 편심축

423 : 베어링 430 : 커넥팅 로드

431 : 브래킷 432 : 힌지축

본 발명은 연마 장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 회전하는 연마 휠에 축선 방향의 진동을 부가함으로써 연마 휠의 눈메움 현상을 방지함과 더불어 연마 품질을 향상시킬 수 있도록 한 연마 장치에 관한 것이다.

첨부도면 도 1에는 종래의 일반적인 연마 공정을 설명하기 위한 사시도가 도시되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 연마 장치는 원형의 연마 휠(20)이 회전하면서 원형 가공물(10)에 가압 접촉하여 가공물(10)의 표면을 연마(연삭)하게 된다. 이 때 , 원형 가공물(10)은 연마 휠(20)과 상이한 원주 속도로 동일 방향 또는 반대 방향으로 회전한다. 이러한 연마 공정에서는 일반적으로 가공물(10)의 폭이 연마 휠(20)의 폭보다 크기 때문에, 연마 휠(20)이 가공물(10)에 접촉된 상태에서 회전과 동시에 축선 방향으로 이동하면서 가공물(10)의 표면을 연마한다.

상기한 연마 장치에 있어서, 통상적으로, 가공물(10)은 연마 장비의 주축에 고정되어 주축 구동 장치에 의해 회전하게 되고, 연마 휠(20)은 테이블(또는 이송대)에 탑재되어 테이블의 전, 후, 좌, 우 이송에 의해 이송 방향과 피딩(feeding) 방향으로 운동할 수 있다.

연마 깊이(또는 연마량)는 상기 연마 휠(20)이 탑재된 테이블을 유압 등의 힘에 의해 피딩 방향에 대하여 전방으로 이동시킨 거리에 의해 결정된다. 연마 휠(20)은 테이블의 좌, 우 방향(즉, 이송 방향) 왕복 운동에 의해 가공물(10)에 대하여 좌, 우 방향으로 왕복 운동한다.

이와 같은 연마 휠(20)을 이용한 연마 공정에 있어서, 연마 깊이가 너무 작고 가공물(10)의 재질이 연성이면서 연마 휠(20)의 결합도가 높은 경우에는, 연마 휠(20)의 표면에 이른바 '눈메움(loading)' 현상이 일어날 수 있다. 눈메움 현상이란, 연마할 때 발생하는 가공물(10)의 찌꺼기(연삭 칩) 등이 연마 휠(20)의 표면 공극 사이에 묻히거나 부착되는 현상을 말한다. 연마 휠(20)에 눈메움 현상이 생기면 연삭 입자가 가져야 할 절삭날의 예리함이 악화되고 연삭 입자의 탈락도 잘 이루어지지 않게 되어 이른바 '절삭날의 자생 작용'이 저하되고 결국에는 절삭성 마저 잃어버리게 된다. 이렇게 되면, 가공물(10)의 표면 조도가 악화되고 정밀도도 저하된다. 나아가서는, 연마 휠(20)의 표면에 부착된 가공물의 찌꺼기들이 가공물(10)의 표면을 긁게 되어 가공물(10)의 표면 스크래치와 같은 결함을 발생시키기거나 가공물(10)의 표면에 연마 이송 무늬를 생성하는 문제를 야기한다.

일반적으로, 눈메움 현상을 감소시키는 방법 중의 하나는 연마 휠(20)의 결합도를 조정하는 것이다. 그러나 결합도를 최적으로 조정하기란 쉬운 일이 아니고, 설사 연마 휠(20)의 결합도를 제작 가능한 한계까지 낮춘다고 하더라도 연성이 큰 가공물(10)들에 대하여 모두 소망하는 효과가 얻어지는 것은 아니었다. 또한, 결합도를 지나치게 낮출 경우에는, 연마 휠(20)이 쉽게 부서지거나 덩어리를 이루어 탈리되기 때문에 연마 작업이 불가능해질 수도 있다.

연마 휠(20)의 결합도를 조정하는 것 이외에, 연마 작업을 진행하는 동안 연마 휠(20)을 가공물(10)과 접촉하지 않은 상태에서 드레싱 후 다시 연마를 시작하는 방법도 생각해 볼 수 있다. 그러나 이러한 방법에서는, 드레싱 이후 연마 휠(20)이 다시 가공물(10)과 접촉하는 순간, 최초로 접촉한 부분에서 가공물의 표면 상태가 불 균일해질 수 있고, 연마 작업자의 부담을 증가시키게 된다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위해 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 가공물을 연마하는 연마 휠에서의 눈메움 현상을 방지함으로써 연마 성능을 개선시키고 연마 품질을 향상시킬 수 있는 연마 장치를 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적은 회전하는 연마 휠에 축선 방향으로 미세 진동을 주어 가공물의 찌꺼기를 원활히 배출 및 탈락시킬 수 있는 연마 장치를 제공함으로써 달성된다.

구체적으로, 본 발명에 따른 연마 장치는, 구동원에 의해 회전하면서 가공물의 표면을 연마하는 연마 휠을 포함하는 연마 휠 유닛; 상기 연마 휠 유닛이 탑재되어 일체화를 이루고, 탑재된 연마 휠 유닛을 연마 장비의 테이블에 대하여 연마 휠의 축선 방향(이송 방향)으로 직선 왕복 운동 가능하게 안내하는 직선 운동 가이드 유닛; 및 상기 연마 휠 유닛 또는/및 직선 운동 가이드 유닛에 축선 방향으로의 진동을 전달함으로써 상기 연마 휠을 축선 방향으로 고속 미세 왕복 운동시키는 진동 발생 유닛; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이러한 본 발명은 연마 휠의 고유한 회전 운동과 이송 운동에 더하여, 진동 발생 유닛에 의해 연마 휠을 축선 방향으로 고속 미세 진동시킴으로써, 연마 휠의 표면으로부터 가공물의 찌꺼기가 쉽게 배출되도록 하여 눈메움을 방지하고, 연마 휠에 다양한 방향으로의 복합 운동을 제공하는 것에 의해 연마면의 정밀도와 연마 품질을 향상시킨 것이다.

상기한 본 발명의 연마 장치에 있어서, 상기 진동 발생 유닛에 의한 상기 연마 휠의 축선 방향의 진동에 있어서의 진폭은, 0.001mm ∼ 20mm로 설정되는 것이 바람직하다.

또한, 상기한 본 발명의 연마 장치에 있어서, 상기 진동 발생 유닛에 의한 상기 연마 휠의 축선 방향의 진동에 있어서의 진동 주파수(진동 주기)는, 5Hz ∼ 100,000Hz로 설정되는 것이 바람직하다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 연마 장치의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

도 2에는 본 발명에 따른 연마 장치의 전체적인 구성을 보여주는 사시도가 도시되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 연마 장치는, 연마 휠(110)을 포함하는 연마 휠 유닛(100), 구동원(200), 직선 운동 가이드 유닛(Linear Motion Guide Unit)(300), 그리고 진동 발생 유닛(400)을 포함하여, 상기 진동 발생 유닛(400)에 의해 연마 휠 유닛(100)을 연마 휠(110)의 축선(X) 방향으로 고속 미세 진동시킬 수 있도록 구성되어 있다.

위와 같은 본 발명의 연마 장치를 보다 자세하게 설명한다.

상기 연마 휠 유닛(100)은, 연마 휠(110)을 포함하여, 연마 장비에 이송 방향과 피딩 방향으로 이송 가능하게 설치되는 테이블(50) 상에 탑재된다. 그리고, 상기 연마 휠(110)은 소정의 구동원(200)에 의해 회전된다. 따라서, 연마 휠(110)은 구동원(200)에 의한 회전과 동시에 테이블(50)에 의한 이송(또는 왕복 이송) 운동에 의해 가공물의 표면을 연마한다.

도면에 도시된 실시예에서, 상기 연마 휠(110)은, 그의 회전축(120)이 베어링 하우징(130)에 의하여 회전 가능하게 지지됨으로써 그의 회전이 안정적으로 유 지되도록 하고 있으며, 외부는 보호 커버(140)에 의해 보호되어 있다.

또한 도면에 도시된 실시예에 있어서, 상기 회전축(120)을 회전시키기 위한 구동원(200)으로는 모터를 사용하고 있다. 상기 연마 휠(110)의 회전축(120)과 상기 구동원(200)인 모터의 회전축(210)은 각각의 풀리(121)(211)와 벨트(220)에 의해 구동 연결되어 있다.

구동원(200)은 예를 들면, 모터를 회전축(120)에 직접 연결하거나, 벨트 구동 방식 이외에 감속기를 이용하거나, 모터 이외에 다른 구동원들을 사용할 수 있는 등, 도면에 도시된 모터 및 벨트에 의한 연결 방식으로만 한정되는 것은 아니다.

상기 직선 운동 가이드 유닛(300)은, 상기 연마 휠(110)을 상기 테이블(50)에 대하여 축선 방향(X) 즉, 테이블(50)의 이송 방향으로, 직선 이동이 가능하게 연결하는 역할을 한다.

도면에 도시된 실시예에 있어서, 상기 직선 운동 가이드 유닛(300)은, 가이드 레일(310)에 가이드 블록(320)이 연마 휠(110)의 축선 방향(X)으로 미끄럼 이동 가능하게 결합되는 형태의 것을 채용하고 있다. 이 경우, 상기 연마 휠 유닛(100)의 베어링 하우징(130)의 기초 부분을 이루고 있는 베이스(131)는 전술한 가이드 블록(320)에 탑재되고, 가이드 레일(310)은 테이블(50) 위에 탑재된다.

도 3에 도시된 것과 같이, 상기한 직선 운동 가이드 유닛(300)은, 가이드 레일(310)과 가이드 블록(320)이 공지의 이른바 '도브 테일(dove tail)' 결합 방식으로 결합된 형태로 이루어질 수 있다. 또한 직선 운동 가이드 유닛(300)은, 도면에 도시된 실시예 이외에, 공지의 볼 스크류(ball screw) 방식이나 마그네틱 부상 방식 등 다양한 방식으로 구성할 수 있다.

그리고, 본 발명에 따른 진동 발생 유닛(400)은, 상기 연마 휠 유닛(100)을 축선(X) 방향으로 고속으로 미세 왕복 운동시키는 '진동'을 제공한다. 연마 휠 유닛(100)의 축선(X) 방향 진동은, 그에 일체화되어 있는 연마 휠(100)의 진동이 된다. 또한, 상기한 축선(X) 방향은 곧 연마 휠(110)에 고유하게 부여되어 있는 이송 방향(테이블(50)에 의한 이송 운동 방향)과 일치한다.

도 2, 도 4a 및 도 4b에 도시된 것과 같이, 상기한 진동 발생 유닛(400)은 모터(410)와 크랭크 기구로 구성할 수 있다. 이는 모터(410)의 회전 운동을 크랭크 기구에 의한 직선 왕복 운동으로 변환하고, 크랭크 기구의 직선 왕복 운동을 연마 휠 유닛(100)에 전달하여, 연마 휠 유닛(100)이 직선 운동 가이드 유닛(300)에 의해 축선 방향으로 미끄럼 왕복 운동하도록 한 것이다.

구체적으로 상기 크랭크 기구는, 모터(410)에 크랭크 축(420)이 형성되고, 상기 크랭크 축(420)과 상기 연마 휠 유닛(100)은 커넥팅 로드(430)에 의해 연결된 구조로 이루어진다. 상기 크랭크 축(420)은 상기 모터(410)의 회전축(421) 단부에 편심축(422)이 형성되고, 상기 편심축(422)은 상기 커넥팅 로드(430)의 일단부에 베어링(423)을 매개로 편심 회전 가능하게 결합되어 있다. 그리고 커넥팅 로드(430)의 타단부는 브래킷(431)과 힌지축(430)에 의해 상기 연마 휠 유닛(100) 또는 연마 휠 유닛(100)의 베이스(131) 또는 직선 운동 가이드(300)의 가이드 블록(320)에 피벗 결합되어 있다.

본 발명에 있어서의 진동 발생 유닛(400)은, 앞서 설명한 모터(410)와 크랭크 기구만으로 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 공지의 초음파 진동 발생 장치, 공압 또는 유압에 의한 진동 발생 장치, 압전 소자에 의한 진동 발생 장치 등, 다양하게 구성할 수 있다.

한편, 본 발명에 있어서, 상기 진동 발생 유닛(400)에 의한 상기 연마 휠(110)의 축선(X) 방향의 진동에 있어서의 진폭 즉, 진동 발생 유닛(400)에 의한 연마 휠(110)의 축선(X) 방향의 행정 거리(stroke)는, 0.001mm ∼ 20mm의 범위가 적당하다.

또한, 상기 진동 발생 유닛(400)에 의한 상기 연마 휠(110)의 축선(X) 방향의 진동에 있어서의 진동 주파수는, 5Hz ∼ 100,000Hz의 범위가 적당하다.

상기한 진폭 및 진동 주파수 범위라면, 가공물의 표면 경도, 연삭 입자의 결합도, 요구하는 가공면의 표면 조도, 연마 속도 등과 같은 가공 조건에 최적으로 대응할 수 있다.

상기와 같이 이루어진 본 발명의 연마 장치를 사용하여 가공물을 연마하는 과정을 도 2를 참조하여 설명한다.

본 발명에 따른 연마 휠(110)은 연마 장비의 테이블(50)에 탑재되는 것에 의해, 이송 방향 운동과 피딩 방향 운동을 그 고유한 운동으로 가지고 있으면서, 본 발명의 진동 발생 유닛(400)과 직선 운동 가이드 유닛(300)에 의해 축선(X) 방향(이송 방향과 일치하는 방향)으로 고속으로 미세하게 직선 왕복 운동하는 '진동 운동'을 부가적으로 가지게 된다.

따라서, 상기 연마 휠(110)의 축선(X) 방향 진동은, 그 고유한 이송 방향 운동과 피딩 방향 운동과는 독립적으로 부여할 수 있으며, 이는 필요할 때마다 진동 발생 유닛(400)을 구동시키거나 구동을 정지시키는 것에 의해 이루어진다.

연마 장비에 가공물을 셋팅하고, 테이블(50)을 피딩 방향(전, 후 방향)으로 조정하여 연마 깊이를 설정한 후, 구동원(200)을 구동시켜 연마 휠(110)을 회전시키면서 테이블(50)을 이송 방향으로 왕복 운동시킴으로써 전형적인 연마 공정이 수행된다.

이러한 전형적인 연마 공정과 동시에, 또는 연마 공정 도중에, 연마 휠(110)에 축선(X)의 방향 진동을 주기 위하여 진동 발생 유닛(400)을 구동하면 진동 발생 유닛(400)의 진동은 연마 휠 유닛(100)에 전달된다. 구체적으로, 진동 발생 유닛(400)의 모터(410)를 고속으로 구동하면, 모터(410)의 고속 회전 운동이 크랭크 기구(420, 430)에 의해 고속 직선 왕복 운동으로 변환되고, 크랭크 기구(420, 430)의 고속 직선 왕복 운동이 연마 휠 유닛(100)에 전달된다. 상기 연마 휠 유닛(100)은 직선 운동 가이드 유닛(300)을 매개로 테이블(50)상에 축선 방향(X)으로 미끄럼 운동이 가능하게 탑재되어 있으므로, 연마 휠 유닛(100)은 연마 휠(110)과 일체로 크랭크 기구(420, 430)의 고속 직선 왕복 운동을 받아 직선 운동 가이드 유닛(300)의 안내로 축선 방향(X)으로 고속으로 미끄럼 왕복 운동을 하게 된다. 즉, 연마 휠(110)이 축선(X) 방향으로 고속으로 미세하게 진동을 하게 된다.

이와 같이 연마 휠(110)이 축선(X) 방향으로 고속 미세 진동을 하게 되면, 연마 도중에 발생한 가공물의 찌꺼기들이 연마 휠(110)의 표면에 부착되지 못하는 한편, 이미 부착된 것은 탈락이 유도됨으로써, 연마 휠(20)의 눈메움 현상이 대폭적으로 줄어들게 됨과 더불어 연삭 입자의 탈락도 정상적으로 이루어지며, 그에 따라 연마 성능이 개선되고 연마 정밀도를 향상시킬 수가 있다. 또한, 연마 도중에 별도로 드레싱할 필요성도 줄어들게 된다.

첨부도면 도 5a 및 도 5b에는 종래의 연마 장치에 의한 가공물의 표면 연마 상태와 본 발명에 따른 연마 장치에 의한 가공물의 표면 연마 상태를 보여주는 확대도가 도시되어 있다.

먼저, 도 5a에 보인 것과 같이, 종래의 연마 장치에 의하여 연마된 가공물의 표면은, 산과 골이 어느 하나의 방향으로만 연속적으로 반복되는 형태를 이루게 된다. 이는 종래의 연마 휠(110)이 구동원에 의한 회전 운동과 테이블(50)에 의한 이송 운동만을 수행하기 때문이다. 가공물의 표면이 이러한 형태로 이루어지게 되면, 특정 방향에서 들어오는 빛(예를 들어, 산에 수직한 방향으로 입사되는 빛)에 대한 반사 면적이 매우 넓어지기 때문에, 가공물의 표면으로부터 광택이 많게 느껴지게 된다.

반면에 도 5b에 보인 것과 같이, 본 발명에 의하여 연마 휠(110)에 진동을 더 부여한 경우에는, 연마 휠(110)은 회전 운동, 이송 방향의 운동, 그리고 진동 운동을 복합적으로 수행하기 때문에, 산과 골이 어느 한 방향으로만 연속되는 것이 아니라 다양한 각도로 발생하게 되는 연마면을 얻을 수 있게 된다. 이러한 연마면은 도 5a에 도시된 종래의 연마면에 비해 특정 각도에 대한 반사면이 작기 때문에 광택도 적게 느껴지게 되고, 표면 조도도 더욱 미세해진다.

연마 광택은 연마 품질을 좌우할 수 있는데, 연마 광택이 중요한 예로서는, 인쇄 회로 기판(PCB)의 제조에 사용되는 전해 동박을 들 수 있다. 전해 동박은 동일한 조도를 가지는 동박의 경우 광택이 적은 것이 선호된다. 그 첫 번째 이유는, 전해 동박을 취급할 때 반사광이 작업자의 피로감을 증가시켜 작업 능률을 떨어뜨린다는 측면이고, 두 번째 이유는 동박이 일정한 조도를 가지면서도 연마면의 광택이 적을수록 납의 퍼짐성이 좋아지고 납과 동박의 부착 능력이 좋아지기 때문이다. 예를 들어 동박이 상대적으로 광택이 많은 경우에는 납이 잘 퍼지지 않고, 물방울 맺히듯이 맺히는 현상이 발생하여 납땜 불량의 원인이 된다. 반면에 광택이 적은 동박은 납의 퍼짐성도 좋고 부착성도 향상되기 때문에 이러한 납땜 불량 문제를 해소할 수 있다.

이상에서는, 첨부 도면에 도시된 본 발명의 구체적인 실시예가 상세하게 설명되었으나, 이는 하나의 예시에 불과한 것이며, 본 발명의 보호 범위가 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이상과 같은 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야에 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 및 균등한 다른 실시가 가능한 것이며, 이러한 변형 및 균등한 다른 실시예는 본 발명의 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 연마 장치에 의하면, 연마 휠을 그 의 고유한 회전 운동과 이송 방향 운동에 더하여 진동 발생 유닛과 직선 운동 가이드 유닛에 의해 축선 방향으로 진동시킬 수가 있다.

이러한 본 발명에 따르면, 연마 도중에 발생한 가공물의 찌꺼기들이 연마 휠로부터 쉽게 탈락(배출)되어 연마 휠의 눈메움 현상이 대폭적으로 줄어들게 되고, 연삭 입자의 탈락도 정상적으로 이루어지게 된다.

따라서, 연마 성능이 개선되고 연마 정밀도와 연마 품질이 향상되며, 더 나아가서는 연마 도중에 별도로 드레싱할 필요성도 줄어들게 된다.

Claims (3)

1. 구동원(200)에 의해 회전하면서 가공물의 표면을 연마하는 연마 휠(110)을 포함하는 연마 휠 유닛(100);

   상기 연마 휠 유닛(100)이 탑재되어 일체화를 이루고, 탑재된 연마 휠 유닛(100)을 연마 장비의 테이블(50)에 대하여 연마 휠(100)의 축선 방향(이송 방향)으로 직선 왕복 운동 가능하게 안내하는 직선 운동 가이드 유닛(300); 및

   상기 연마 휠 유닛(100)에 축선 방향으로의 진동을 전달함으로써 상기 연마 휠(110)을 축선 방향으로 고속 미세 왕복 운동시키는 진동 발생 유닛(400)을 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 진동 발생 유닛(400)에 의한 상기 연마 휠(110)의 축선 방향의 진동에 있어서의 진폭은, 0.001mm ∼ 20mm인 것을 특징으로 하는 연마 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 진동 발생 유닛(400)에 의한 상기 연마 휠(100)의 축선 방향의 진동에 있어서의 진동 주파수는, 5Hz ∼ 100,000Hz인 것을 특징으로 하는 연마 장치.

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