KR100763956B1 - 미세한 전자부품의 외관 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전자부품 즉, 극미 박편을 위한 외관 검사장치에 관한 것으로서, 구체적으로 적층 세라믹 캐퍼시터(MLCC)와 같은 전자부품의 최종 검사를 위한 장치에서 디스크 위에 적층 세라믹 캐퍼시터(MLCC)와 같은 전자 부품을 정렬하기 위하여 필요한 진공을 공급하는 장치 및 상기 진공을 효과적으로 공급하도록 도안된 디스크에 대한 것이다. 종래의 검사장치는 MLCC와 같은 미세크기의 전자 부품을 피더로부터 회전하고 있는 디스크 표면에 균일한 정렬 상태로 안착 되지 못함에 따라, 본 발명에 따른 진공 장치 및 디스크를 사용함으로써 피더로부터 공급된 전자부품이 회전하고 있는 디스크 표면에 쉽게 안착 되고, 가이드를 통해 상기 전자 부품이 정렬되는 동안 이탈되거나 자세가 흐트러지지 않도록 진공 압력이 공급됨으로써, 카메라에서 상기 전자 부품을 정확하게 측정하여 신속하고 신뢰성 높은 전자 부품의 외관 검사를 할 수 있다.

진공장치, 디스크

Description

미세한 전자부품의 외관 검사장치{ISPECTION DEVICE OF SURFACE FOR FINE ELECTRONIC PARTS}

도 1은 종래의 벨트를 이용한 전자 부품의 육면 검사 장치에 대한 개략도.

도 2는 종래의 진공을 이용한 전자 부품의 네면 검사장치에 대한 개략도.

도 3은 본 발명에 따른 진공 장치 및 디스크가 장착되어있는 전자 부품의 외관 검사장치에 대한 전체 개략도.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 수평 및 수직 디스크를 도식적으로 나타낸 도면.

도 5a는 본 발명에 따른 진공장치에 대한 확대도.

도 5b는 본 발명에 따른 진공장치의 단면도.

도 6은 본 발명에 따른 제1 가이드 및 제2 가이드를 나타낸 도면.

본 발명은 전자부품 즉, 미세한 전자부품의 외관 검사장치에 관한 것으로서, 구체적으로 적층 세라믹 캐퍼시터(MLCC)와 같은 전자부품의 최종 검사를 위한 장치에서 디스크 위에 적층 세라믹 캐퍼시터(MLCC)와 같은 전자 부품을 정렬하기 위하여 필요한 진공을 공급하는 장치 및 상기 진공을 효과적으로 공급하도록 도안된 미세한 전자부품의 외관 검사장치에 대한 것이다.

일반적으로 전자부품 즉, 극미 박편은 그 크기가 매우 작기 때문에, 품질검사에 있어서 어려움이 있다. 또한, 예컨대 적층 세라믹 캐퍼시터(MLCC)와 같은 전자 부품은 파우더를 만들어서 시트를 만들고, 얇게 만든 시트를 적층 후 소성, 압착하여 절단하고, 절단된 칩을 연마한 후 칩의 양쪽에 Cu, Ag 등으로 외부전극을 형성한다. 이와 같은 제조과정을 거치면서, 소성 공정 중에 내부전극물질과 시트물질의 소결수축개시온도와 수축률의 차이로 인해 심한 응력이 발생 될 수 있고, 외부전극 형성공정에서 전극 페이스트의 소성과정에서 칩 내부에 큰 응력이 발생 될 수 있다. 이와 같이 미세한 크기의 전자 부품이 소성, 적층, 연마 및 도금공정 등을 거치면서 불량 도금 및 열적, 기계적, 전기적 충격에 항상 노출되어 크랙 등과 같은 불량이 발생할 위험이 있다.

상기와 같은 불량으로 인해 발생 되는 미세한 전자 부품의 기능 및 구조상 결함이 있는 전자부품을 선별하여 폐기하고 양품만을 선별하여 출하하는 공정을 거쳐야만 한다. 이로 인해, 근래에 미세한 전자부품 검사장치에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다.

초기엔 전자부품의 외관검사가 조명기를 사용하여 제품에 조광하고, 그 반사광을 조명기 근처에서 여러 명이 현미경을 이용한 육안 또는 카메라에 의한 촬영 등을 이용함으로써 이루어졌다.

그러나 현미경과 같은 기구를 이용하여 육안으로 검사하는 경우, 많은 양의 전자부품들 각각에 대해 여러 면을 검사하기 위해서는 장시간이 소요되고, 정확성 에서도 한계가 있어 효율이 매우 떨어진다.

이후 종래의 전자부품 검사장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 벨트로 칩이 이송되어 한 개의 롤러에 의해 정렬이 되고 하나의 카메라와 반사거울을 이용하여 육면체 형 전자 부품의 상면과 좌측면을 검사한 후 구동 회전 풀리에서 전자 부품이 긴 벨트와 짧은 벨트에 의해 포개져 뒤집어 진 후 다시 한번 한 개의 롤러에 의해 정렬되고, 하나의 카메라와 반사거울을 이용하여 육면체 형 전자 부품의 하면과 우측면을 검사하여 네면을 검사하는 장비가 있다.

그러나 상기 종래의 전자 부품 검사장치는 전자 부품을 정렬할 때 전자 부품의 정렬이 원활히 이루어 지지 않고, 반사거울을 이용하기 때문에 카메라의 초점이 맞지 않아 정확한 검사가 이루어지지 않는 단점이 있으며, 벨트를 이용한 전자 부품 검사기 시스템에서 발생하게 되는 정전기 문제 및 진동으로 인해 전자부품들이 벨트 바깥으로 튀어나가는 문제점이 발생한다.

또 다른 종래의 전자 부품 검사장치로는 유리판 상에 칩을 배열시켜 그 4개의 표면을 광학적으로 검사하는 것으로, 일정한 속도로 회전하는 유리판의 적소에 전자부품을 배열한 이후에, 네측면에서 각각 전자 부품의 영상을 데이터로 취득하여, 이를 기준 영상 데이터와 비교 분석한다.

이러한 상기 검사 방법은 유리판을 투과하여 제품의 밑면을 검사하기 때문에 유리디스크에 이물질이 있거나 여러번의 사용으로 인해 유리디스크에 미세한 흠집이 생긴다면 불량으로 판정하여 양질의 제품도 불량으로 판정되는 오류가 있다. 또한, 전자 부품을 일정한 속도로 회전하는 유리판 상에 배치하여야 하므로, 칩이 유리판의 예정된 장소에서 이탈하여 배열되는 경우에는 불량 제품으로 판정되기도 한다.

또 다른 종래의 전자 부품 검사장치로는 도 2에 도시된 특허 출원번호 제10-2000-0085403호의 하우징블록 측면에 각각 회전 가능하게 고정되며 하우징블록으로부터 진공 압력이 공급되는 상부 및 하부 디스크로 구성된 전자 부품 검사장치가 있다. 상기 검사장치는 중앙에 위치한 하우징블록으로부터 원판 디스크 테두리에 일정한 간격으로 진공이 공급되고, 진공이 공급되는 위치에 각각이 전자 부품 하나씩 붙어서 이동되면서 전자 부품의 품질검사가 이루어진다.

상기 방법의 전자 부품 검사장치는 상부 디스크와 하부디스크가 일정한 간격의 타이밍으로 회전하면서 전자 부품을 상부 디스크에서 하부디스크로 이동시킴으로써, 상부, 하부 디스크가 빠른 속도로 회전하지 않고 간헐적으로 일정한 시간적 간격이 있는 즉, 상부 디스크의 진공 부분과 하부디스크의 진공부분이 마주치는 지점에서는 잠깐 멈추어 제품이 이동하는 방식으로 본 발명과 같이 디스크가 연속적으로 회전하는 검사 장비에 비해 검사속도가 떨어지고, 미세한 전자부품의 검사에서는 바람직하지 않으며, 하우징블록에서 회전하는 디스크에 진공 압력을 공급함에 있어 오류의 소지가 있었다.

또 다른 종래의 전자 부품 검사장치는 열 충격을 이용한 전자 부품 검사 장치로 복수개의 전자 부품에 열 충격을 인가하여 파손되지 않은 전자 부품만을 선별하는 방법이 있다.

상기 방법의 전자 부품 검사장치는 열 충격을 주는 과정에서 전자 부품에 충 격을 줌으로써 오히려 불량을 만들 가능성이 있고, 또한 미세한 전자 부품의 검사 장치로 상용 가능성이 희박한 단점이 있다.

본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 감안하여 극복하고자한 것으로서, 본 발명의 목적은 미세한 전자 부품을 카메라가 빠르고 정확하게 촬영할 수 있도록 디스크에 바르게 정렬하기 위한 미세한 전자부품의 외관 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은,

전자 부품을 피더(3)로부터 공급받아 원판형의 디스크(21)에 정렬하고 제품을 바른 자세로 배열하여 제품의 6면의 표면을 카메라(2)로 촬영하여 전자 부품의 불량 여부를 검사하는 장치에 있어서, 전자부품을 적재하여 회전함으로써 카메라(2) 촬영위치로 전달하는 것으로서, 주연부 내측을 따라 진공압력을 이용하여 전자부품을 안착시키기 위한 다수의 미세구멍이 지그재그 형태로 통공된 원판형 디스크(21), 상기 디스크 미세구멍에 진공압력을 공급하는 공급장치, 및 디스크에 안착된 전자부품의 자세를 카메라(2) 촬영에 적합하도록 정렬하는 가이드(40) 장치를 제공한다.

바람직하게, 상기 원판형 디스크는 무자성의 스테인레스 물질로 만들어져야 할 것이다. 또한, 수평 디스크(20)의 테두리를 따라 지그재그로 형성된 다량의 미세구멍(21)은 디스크(20)와 수직방향으로 구멍이 형성되고, 밑부분의 구멍(23)이 더 넓고 윗부분의 구멍(22)이 더 좁은 형태의 미세 구멍(21)을 형성함으로써, 아래쪽에서 공급되는 진공 압력이 더 원활하게 제품으로 공급되는 효과를 보인다.

또한, 본 발명의 일실시예에서, 디스크(20) 변두리 하부에 공급되는 진공 압력은 피더(3)로부터 디스크(20)로 전자 부품이 제공되는 지점부터 상기 전자 부품이 카메라(2)에서 정확하게 촬영할 수 있도록 가이드(40)가 전자 부품의 자세를 잡아주는 지점까지 공급되는 것이 바람직하다.

이와 같이, 본 발명의 기본적인 특징은 전자 부품을 카메라(2)로 촬영하여 불량 여부를 검사하는 장치(1)에 있어서, 신뢰성을 높이고, 신속하게 많은 제품을 검사할 수 있도록 제품을 디스크(20)에 바른 자세로 정렬되도록 도와주는 진공장치(10), 가이드(40) 및 디스크(20)를 제공하는데 있다.

이하, 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물들과 변형 예들이 가능함을 이해하여야 한다.

또한, 본 발명 각 구성요소의 구체적인 재질이나 크기, 적용되는 전자부품 검사장치의 종류, 검사하려는 전자부품의 종류 및 크기, 특징, 형태 등 본 발명의 기술적 사상과 관계없는 것들은 생략되었는 바, 이와 같은 생략에 의해 본 발명의 범위가 축소되지 않음은 당 업자에게 있어 자명한 일이라 할 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 진공 장치(10) 및 디스크(20)가 장착되어있는 전자 부품의 육면 검사장치(1)에 대한 전체 개략도이며, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 수평 디스크(20) 및 수직 디스크(30)를 도식적으로 나타낸 도면이고, 도 5a는 본 발명에 따른 진공장치(10)에 대한 개략도이며, 도 5b는 본 발명에 따른 진공장치(10)의 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 제1 가이드(41) 및 제2 가이드(42)를 나타낸 도면이다.

도 3을 참조하면, 상기 전자 부품 검사장치(1)에는 전자 부품을 하나씩 디스크(20)에 공급해주는 피더(3)가 장착되어 있으며, 피더(3)로부터 공급된 전자 부품을 차례로 적재하여 회전하면서 카메라(2) 촬영 위치까지 전달하는 디스크(20)가 턴테이블(24, 25)에 장착되어 있고, 피더(3)에 의해 수평 디스크(20)에 공급된 전자 부품이 카메라(2) 촬영을 위한 적정 지점에 위치할 수 있도록 배치하고 가이드(40)를 통해 정렬되는 동안 자세의 흐트러짐이나 이탈을 막아주는 진공장치(10)가 상기 전자 부품이 수평 디스크(20)에 공급된 지점부터 가이드(40)에 의해 전자 부품이 정렬되는 지점까지 연장되어 디스크(20)의 바로 아랫부분에 장착되어 있으며, 이후 수평 디스크(20) 상에 적재된 전자 부품들이 형성하는 원형의 라인을 따라 트리거(Trigger) 센서(도면 미표시), 조명장치 및 카메라(2)들이 장착되어 있고 마지막 지점에 수직 디스크(30)와 만나는 지점이 있다.

상기 수직디스크(30) 또한 제품 하나당 하나의 진공 구멍이 아닌 디스크와 수평으로 디스크 테두리 단까지 미세하고 지그재그 또는 일렬 등의 형태로 형성된 진공 구멍을 통해 상기 전자 부품이 수평 디스크(20)로부터 수직 디스크로 이동하게 되며, 이후 트리거 센서 및 조명, 카메라(2)를 거쳐 촬영 후, 도 3에 나타난 장치와 연결된 컴퓨터 프로그램에 의해 불량품은 불량품 박스로 불량품을 제거하는 블로우(4)의 위치에서 블로우(4)에 의해 이동되고, 양품은 양품 박스로 양품을 이동시키는 블로우(4)에 의해 이동되어 불량 여부를 가려낸다.

도 4a는 본 발명의 일실시예에 따른 수평 디스크(20)에 대한 개략도이다. 도 4a에 나타난 바와 같이, 전자 부품이 피더(3)로부터 공급되는 위치 즉, 원판형 디스크의 테두리에 인접한 부근에서 수평 디스크(20)와 수직 방향으로 아래쪽의 직경(23)이 위쪽의 직경(22)보다 큰 미세 구멍(21)이 형성되어 있다. 상기 수평디스크(20)는 무자성의 스테인리스 소재가 바람직하다. 또한, 상기 미세구멍(21)은 바람직한 일실시예에서 하부 직경(23)이 0.09mm 정도이고 상부 직경(22)이 0.05mm 정도로써, 미세구멍(21)의 하부 직경(23)이 상부 직경(22)보다 더 큼으로써 진공 장치(10)로부터 공급되는 진공 압력이 전자 부품에 잘 전달되고, 게다가, 더욱더 미세한 전자 부품 예컨대, CC0402(0.04 X 0.02 X 0.02 인치)보다 더 작은 전자부품까지도 효과적으로 진공 압력을 전달해줄 수 있다.

도 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 수직 디스크(30)에 대한 개략도이다. 도 4b를 보면, 수직 디스크(30)와 수평 방향으로 미세 진공 구멍이 형성되어 있다. 상기 수직디스크(30)는 종래의 수직 디스크와 달리 전자 부품 하나에 진공구멍 하나를 이용하는 것이 아니고, 도 4b에 나타난 바와 같이, 원판형 수직디스크의 끝단을 따라 형성된 다수의 미세 진공 구멍이 지그재그형태로 형성되어 있다. 상기와 같이 다수의 미세 진공 구멍이 형성됨으로써, 검사하려는 전자 부품의 크기 및 원판 디스크의 회전 속도에 영향을 받지 않고 다양한 전자 부품 및 검사 속도에 사용 가능한 것을 특징으로 한다.

도 5a는 본 발명의 일실시예에 따른 진공장치(10)에 대한 개략도를 나타낸 것이다. 도 5a에 나타나 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 진공장치(10)는, L 형태의 단면을 가지는 하우징(15)의 내부에, 진공펌프(미도시)로부터 공급된 진공압이 저류되는 빈 공간인 진공실(12))이 원기둥의 형태로 구성되고, 진공실(12) 일측에 진공펌프로부터 진공압을 전달하는 진공호스(16)와 연결커넥터(17)에 의해 연결되는 진공압력연결구(17)가 통공되어 구성되며, 원기둥 형태의 진공실(12)에서 저류된 진공 압력이 진공압력유출로(13)를 통해 배출될 수 있도록 상기 진공실(12) 상부 일측면이 개방되어 진공장치 하우징(15) 상부면을 따라 연속적으로 형성된 진공압력유출로(13)로 진공압력이 공급되도록 진공실(12)이 구성되어 있고, 상기 진공실(12)로부터 공급받은 진공 압력을 배출시키도록 진공장치 하우징(15)의 상부면을 따라 개방되어 있는 진공압력유출로(13)로 구성되어 이루어진다. 도 5a와 같이, 상기 진공실(12) 및 진공압력 연결구(11)는 진공압력유출로(13)의 가로축 범위 내 에서 두개 정도 형성되는 것이 바람직하다.

진공장치(10)의 진공압력유출로(13)는 단면이 L 형태의 진공장치 하우징(15)의 상부에 피더(3)로부터 전자 부품이 공급되는 위치부터 가이드(40)에 의해 제품이 정렬되는 위치까지 원형 디스크(20)의 테두리를 따라 연속적으로 형성되어 있다. 또한, 진공장치 하우징(15)의 측면에 형성되어 있는 커넥터(17)가 진공압력연결구(11)를 통해 진공 압력을 공급해주는 진공호스(16)를 연결할 수 있다. 상기 하우징(15)의 아래쪽 상부에 수직으로 두개의 볼트 홀이 형성되어 있어 단면이 L형태이며, 상부면이 상기 진공장치 하우징(15)의 밑면과 똑같이 형성된 지지블록(14)과 연결 장착된다.

도 5b는 진공장치(10)의 단면도를 나타낸 것이다. 도 5b에 나타나 있는 바와 같이, 진공압력유출로(13)가 본 발명의 일실시예에 따른 수평 디스크(20)와 거의 맞닿아 있고, 도 5b처럼 진공(vaccum)호스(16)가 진공압력 연결구(11)에 삽입되어 진공압력을 공급하면 진공실(12)을 거쳐 상기 진공압력 유출로까지 공급이 되고, 그로 인해 상기 진공압력 유출로(13)와 맞닿아 있는 수평 디스크(20) 변두리에 지그재그로 형성된 다량의 미세구멍(21)을 통해 상기 수평 디스크(20) 위에 있는 전자 부품에 진공 압력이 전달된다. 이로 인해, 본 발명에 따른 검사장치(1)에 공급된 전자 부품은 피더(3)로부터 디스크(20)에 공급되고 가이드(40)에 의해 카메라(2)가 정확한 불량 측정을 할 수 있도록 배열되는 동안 상기 공급된 진공압력에 의해 디스크(20)의 올바른 위치로부터 이탈되거나 자세가 흐트러지지 않는 것이다. 또한, 상기 다량의 미세구멍(21)이 지그재그 형태로 형성됨으로써 일렬로 형성된 경우보다 훨씬 넓은 범위의 진공 압력을 전자 부품에 제공할 수 있는 것이다. 상기 수평 디스크(20)의 지그재그 형태로 형성된 다량의 미세 구멍(21)은 원판형 디스크(20) 테두리로부터 약간 안쪽에 형성되어 있다. 즉, 원판형 수평 디스크(20)의 테두리 및 상기 원판형 수평 디스크(20)를 회전시키는 턴테이블(24, 25)의 끝단 사이에 다량의 미세 구멍(21)이 지그재그로 형성되어 있다. 상기 수평 디스크(20)의 회전 및 수직 디스크(30)의 회전 방법은 당업계에 종사자라면 누구나 이해할 수 있을 것이다.

도 6은 본 발명에 따른 제1 가이드(41) 및 제2 가이드(42)를 나타낸 것이다. 도 6에 나타나 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 가이드(40)는, 도 3에 나타나 있는, 상기 수평디스크(20)의 위쪽에서 상기 진공장치(10) 옆에 장착된 가이드 지지 타워(43)로부터 상기 수평디스크(20)의 지그재그 형태로 형성된 미세 구멍(21)을 지나 상기 미세구멍(21)들이 형성하는 라인 안쪽에 제2 가이드(42)가 위치하는 지점까지 뻗은 가이드 지지 플레이트(44)에, 상기 수평디스크(20)에 공급된 전자부품이 회전하는 시점을 기준으로 제1 가이드(41)가 제2 가이드(42)보다 더 앞쪽에 위치하고, 제1 가이드(41)는 상기 수평디스크(20)에 지그재그로 형성된 미세구멍(21)이 형성하는 라인의 바깥쪽에, 제2 가이드(42)는 상기 미세구멍(21)이 형성하는 라인의 안쪽에서 상기 가이드 지지 플레이트(44)에 장착되고, 수평디스크(20) 바로 위쪽까지 뻗은 단면이 ㄱ 자 형태의 상기 제1 및 제2 가이드(41, 42)의 밑부분 일측면(제품과 접촉하는 면)이 수평디스크(20) 위에서 회전하는 전자부품의 자세를 잡아주는데 용이하도록 둥글게 형성되어 있다.

제1 가이드(41)가 원형 디스크(20)의 바깥쪽에서 피더(3)로부터 공급된 전자 부품의 자세를 잡아주고, 이후 제2 가이드(42)가 원형 디스크(20) 안쪽에서 상기 전자 부품의 자세를 다시 한번 잡아준다. 상기 제1 및 제2 가이드(41, 42)의 끝부분은 도 6에 나타나 있는 바와 같이 원형의 형태로 둥글게 형성되어 있고, 제1 및 제2 가이드(41, 42)가 같은 위치가 아닌 약간의 시간적 차이 즉, 지그재그로 장착된 것을 특징으로 한다. 상기 본 발명에 따른 진공 장치(10)로부터 진공압력은 피더(3)로부터 공급된 전자 부품이 상기 제2 가이드(42)를 지난 후 지점까지 공급되는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 가이드(40)는 제품의 크기나 형태에 따라 조절 가능하다.

추가로, 상기 수평 디스크(20) 및 수직 디스크(30)는 검사하려는 전자 부품의 크기 및 형태, 특징에 따라 회전속도 조절이 가능하다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허등록 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

상술한 바와 같이, 전자 부품의 불량 여부를 검사하는 장치에 있어서, 종래의 검사장치는 MLCC와 같은 미세크기의 전자 부품을 피더로부터 회전하고 있는 디스크 표면에 균일한 정렬 상태로 안착 되지 못함에 따라, 본 발명에 따른 진공 장치 및 디스크를 사용함으로써 피더로부터 공급된 전자부품이 회전하고 있는 디스크 표면에 쉽게 안착 되고, 가이드를 통해 상기 전자 부품이 정렬되는 동안 이탈되거나 자세가 흐트러지지 않도록 진공 압력이 공급됨으로써, 카메라에서 상기 전자 부품을 정확하게 측정하여 신속하고 신뢰성 높은 전자 부품의 외관 검사를 할 수 있는 장점이 있다.

Claims (7)

1. 삭제
2. 전자부품을 피더로부터 공급받고 가이드에 의해 제품의 자세를 교정함으로써 부품 검사를 위한 카메라가 부품의 면을 촬영할 수 있도록 구성된 미세한 전자부품의 외관 검사장치에 있어서,

   상기한 피더에서 전자부품이 공급되는 위치에 배치됨과 아울러 부품이 진공압에 의해 흡착되도록 미세구멍이 테두리 부분에 다수 형성되어 있는 매우 얇은 원판형의 수평디스크와, 상기한 수평 디스크의 미세 구멍이 형성된 테두리 부분은 외부로 노출되도록 상하부에서 결합되어 수평 디스크를 지지함과 아울러 수평 디스크와 함께 일정 속도로 회전하는 턴테이블과, 상기한 턴테이블의 측면에 링형상으로 배치됨과 아울러 수평 디스크가 회전할 때 테두리 부분의 미세구멍과 접촉하면서 진공압을 인가하도록 상단에 진공압력유출구가 형성된 하우징 및 상기한 하우징의 진공실에 진공압을 인가하도록 설치된 진공호스로 구성된 진공 장치를 포함함을 특징으로 하는 미세한 전자부품의 외관 검사장치.
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 제2항에 있어서,

   상기한 수평디스크의 미세구멍은 하부의 직경이 상부 직경보다 더 크게 형성된 것을 특징으로 하는 미세한 전자부품의 외관 검사장치.
7. 제2항에 있어서,

   상기한 수평디스크의 미세구멍은 지그재그 형태로 형성함을 특징으로 하는 미세한 전자부품의 외관 검사장치.

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