KR100739834B1

KR100739834B1 - 레티클용 진공포장장치

Info

Publication number: KR100739834B1
Application number: KR1020070023624A
Authority: KR
Inventors: 김정수; 이재성
Original assignee: 정일반도체(주)
Priority date: 2007-03-09
Filing date: 2007-03-09
Publication date: 2007-07-13

Abstract

본 발명은 레티클의 모든 포장공정을 하나의 시스템 장비를 통해 자동으로 이루어지도록 함으로써, 포장시 레티클의 안정성을 확보함과 동시에 포장작업의 능률을 향상시킬 수 있도록 한 레티클용 진공포장장치에 관한 것으로,

본 발명에 따르면,

레티클로더를 통해 이송된 레티클을 포장하기 위한 포장장치에 있어서,

상기 레티클용 진공포장장치는

다수개의 수직바와 다수개의 수평바로 이루어진 본체프레임;

상기 본체프레임의 내부에 서로 대칭되게 설치되며, 상부에 각각 제1 슬라더가 제1 서보모터의 동력을 전달받아 슬라이딩이동 가능하도록 설치된 한 쌍의 제1 LM가이드;

상기 한 쌍의 제1 LM가이드를 따라 슬라이딩이동 가능하도록 상기 한 쌍의 제1 슬라이더 상부에 설치된 제2 LM가이드;

레티클을 수용하여 포장하기 위한 상하 결합구조를 갖는 빈 케이스를 공급할 수 있도록 상기 본체프레임의 일측에 설치된 케이스진입수단;

상기 레티클로더를 통해 레티클이 수용된 케이스의 테두리부위를 면밀히 밀폐할 수 있도록 상기 케이스진입수단에 인접한 일측의 본체프레임에 설치된 케이스밀봉수단;

상기 케이스밀봉수단을 통해 밀폐된 케이스를 비닐팩에 삽입할 수 있도록 상 기 케이브밀봉수단의 인접한 일측에 설치된 케이스주입수단;

상기 케이스를 케이스진입수단과 케이스밀봉수단 및 케이스주입수단의 상방으로 이동하며 이송할 수 있도록 상기 제2 LM가이드에 슬라이딩이동 가능하도록 설치된 케이스이송수단;

상기 본체프레임 내에서 상기 제2 LM가이드와 대향되게 설치된 제4 LM가이드;

상기 본체프레임에 설치된 비닐팩적재함에 적층된 비닐팩을 이송하여 비닐팩의 개방부위를 벌릴 수 있도록 상기 제4 LM가이드를 따라 슬라이딩이동 가능하도록 설치된 비닐팩개방수단;

상기 케이스주입수단을 통해 케이스가 수용된 비닐팩의 개방부위를 열에 의해 압착하여 밀폐할 수 있도록 상기 본체프레임에 설치된 비닐팩접합수단;

상기 비닐팩에 삽입된 케이스를 이송할 수 있도록 상기 비닐팩적재함의 인접한 일측 본체프레임에 설치된 제1 배출수단 및

상기 제1 배출수단을 통해 이송된 비닐팩에 삽입된 케이스를 본체프레임의 외부로 이송할 수 있도록 상기 제1 배출수단의 인접한 일측 본체프레임에 설치된 제2 배출수단을 포함하여 구성된다.

레티클, 비닐팩, 케이스, 진공, 포장

Description

레티클용 진공포장장치{A reticle vacuum packaging apparatus}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치의 개략적인 설치상태를 나타낸 평면도,

도 2a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스진입수단을 나타낸 측면도,

도 2b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스진입수단을 나타낸 평면도,

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치의 요부를 개략적으로 나타내기 위한 요부확대 평면도,

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스이송수단을 나타낸 정면도,

도 5a,5b 및 5c는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스이송수단의 동작상태를 나타낸 정면도,

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스밀봉수단을 나타낸 평면도,

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스밀봉수단을 나타낸 측면도,

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스밀봉수단의 동작상태를 나타낸 평면도,

도 9은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스주입수단을 나타낸 사시도,

도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스주입수단을 나타낸 측면도,

도 11a 및 도 11b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스주입수단의 동작상태를 나타낸 평면도,

도 12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 비닐팩개방수단과 비닐팩접합수단을 나타낸 평면도,

도 13a,13b,13c,13d,13e 및 13f는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 비닐팩개방수단과 비닐팩접합수단의 동작상태를 나타낸 측면도,

도 14a 및 도 14b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 제1 배출수단을 나타낸 평면도 및

도 15는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 제2 배출수단을 나타낸 측면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 레티클로더 100 : 본체프레임

200 : 케이스진입수단 300 : 케이스이송수단

400 : 케이스밀봉수단 500 : 케이스주입수단

600 : 비닐팩개방수단 700 : 비닐팩접합수단

800,900 : 제1,2 배출수단 R : 레티클

본 발명은 진공포장장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레티클의 모든 포장공정을 하나의 시스템 장비를 통해 자동으로 이루어지도록 함으로써, 포장시 레티클의 안정성을 확보함과 동시에 포장작업의 능률을 향상시킬 수 있도록 한 레티클용 진공포장장치에 관한 것이다.

일반적으로 레티클은 스텝 앤드 리피트 (step-and-repeat) 방식으로 웨이퍼 상에 소정 패턴을 전사(transfer)할 수 있도록 노광 공정에 이용되는 것으로, 반도체 소자 또는 집적 회로의 구조를 크롬이 증착된 유리판 위에 형성한 장치이다.

이와 같은 레티클은 그 위에 먼지 등의 이물질 부착을 방지하기 위해서, 프레임의 일면 또는 양면에 펠리클(pellicle)이라는 보호체가 구비된다.

이때, 상기 펠리클은 레티클의 패턴을 포위하도록 충분한 크기를 갖는 지지 프레임 (frame) 및 레티클 표면으로부터 소정의 간격으로 지지 프레임의 일단면에 부착된 투명 폴리머 막 (transparent polymer film)으로 구성된다.

이와 같은 레티클은 석영 판 (quartz plate) 위에 크롬 또는 몰리브덴 실리사이드 등의 물질로 미세회로 패턴을 형성하고, 파티클 흡착 (particle adhesion) 등의 오염 (contamination)으로부터 미세회로를 보호하기 위해 알루미늄 프레임과 같은 지지 프레임 과 투명 폴리머 막인 펠리클을 덧씌운 구조로 되어 있다.

이때 상기 레티클은 내부 압력 변화로 인하여 펠리클이 부풀어 오르는 것을 방지하기 위해 지지 프레임에 바람 구멍(vent)을 만들어 기체가 이 바람 구멍을 통해 이동할 수 있도록 설계되어 있다.

이러한 레티클은 외부 충격에 의해 흠집이 쉽게 발생하는 고가의 물품으로 운반에 세심한 주의를 필요로 한다. 이에 따라, 상기 레티클은 운반시 이를 보호하기 위한 별도의 케이스에 포장하여 운반하는 것이 일반적이다.

그러나, 종래 레티클의 포장은 레티클의 지지프레임을 잡을 수 있는 간단한 수공구를 이용한 수작업으로 이루어지기 때문에 포장작업도중 작업자의 실수로 인해 레티클에 흠집이 발생하여 이로 인한 불량제품이 양산 및 막대한 재산상의 피해를 초래하는 문제점이 있었다.

또한, 수작업으로 이루어지는 레티클의 포장작업은 세심한 주의를 필요로 하기 때문에 작업자가 쉽게 피로해져 작업능률이 저하됨과 아울러 이에 따른 생산성이 떨어지는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 그 목적은 레티클의 모든 포장공정을 하나의 시스템 장비를 통해 자동으로 이루어지도록 함으로써, 포장시 레티클의 안정성을 확보함과 동시에 포장작업의 능률을 향상시킬 수 있도록 한 레티클용 진공포장장치를 제공한다.

상기 목적을 달성시키기 위한 본 발명은

상기 레티클용 진공포장장치는

상기 케이스밀봉수단을 통해 밀폐된 케이스를 비닐팩에 삽입할 수 있도록 상기 케이브밀봉수단의 인접한 일측에 설치된 케이스주입수단;

이하, 첨부된 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치의 개략적인 설치상태를 나타낸 평면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 레티클용 진공포장장치(A)는 레티클로더(10)를 통해 이송된 레티클(R)을 진공포장하기 위한 것으로, 다수개의 수직바(101)와 수평바(102)로 이루어진 본체프레임(100)과, 상기 본체프레임(100)의 내부에 서로 대칭되게 설치되며, 상부에 각각 제1 슬라이더(105)가 제1 서보모터(S1)의 동력을 전달받아 슬라이딩이동 가능하도록 설치된 한 쌍의 제1 LM가이드(L1)와, 상기 한 쌍의 제1 LM가이드(L1)를 따라 슬라이딩이동 가능하도록 상기 한 쌍의 제1 슬라이더(105) 상부에 안착되어 설치된 제2 LM가이드(L2), 케이스진입수단(200), 케이스밀봉수단(400), 케이스주입수단(500), 케이스이송수단(300), 상기 본체프레임(100) 내에서 상기 제2 LM가이드(L2)와 대향되게 설치된 제4 LM가이드(L4), 비닐팩개방수단(600), 비닐팩접합수단(700), 제1 배출수단(800) 및 제2 배출수단(900)을 포함하여 구성된다.

이에 각 수단의 구성 및 연결관계를 그 부분에 대한 상세도면을 통해 상세히 설명하기로 한다.

도 2a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스 진입수단을 나타낸 측면도이고, 도 2b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스 진입수단을 나타낸 평면도이다.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 상기 케이스진입수단(200)은 레티클(R)을 수용하여 포장하기 위해 상/하 결합구조를 갖는 빈 케이스(20)를 공급할 수 있도록 상기 본체프레임(100)의 일측에 설치된다.

이때, 상기 케이스진입수단(200)은 상기 본체프레임(100)의 일측에 제1 가이드홈(201)을 갖는 제1 베이스플레이트(202)가 설치되고, 상기 제1 베이스플레이트(202)의 하부에는 제1 리니어모터(203)가 설치된다.

여기서, 상기 제1 리니어모터(203)는 그 일측에 상기 제1 리니어모터(203)의 동력을 전달받아 제1 리니어모터(203)를 따라 슬라이딩 이동하는 제1 이동자(204)가 설치되고, 상기 제1 이동자(204)는 그 일측에 상기 제1 이동자(204)와 함께 슬라이딩 이동할 수 있도록 제1 이송프레임(205)이 볼트결합된다.

또한, 상기 제1 이송프레임(205)은 그 상부가 상기 제1 가이드홈(201)에 삽입되어 상기 제1 베이스플레이트(202)의 상방으로 돌출되며, 단부에 제1 케이스이송스테이지(206)가 결합된다.

이에 따라, 상기 제1 케이스이송스테이지(206)에 상/하로 분할되는 케이스(20)를 올려놓으면, 상기 케이스(20)는 상기 제1 리니어모터(203)의 동력을 전달받아 슬라이딩 이동하는 제1 이동자(204), 제1 이송프레임(205) 및 제1 케이스이송스테이지(206)에 의해 상기 본체프레임(100) 내부로 이송된다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치의 요부를 개략적으로 나타내기 위한 요부확대 평면도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스이송수단을 나타낸 정면도이며, 도 5a,5b 및 5c는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스이송수단의 동작상태를 나타낸 정면도이다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 케이스이송수단(300)은 상기 케이스(20)를 케이스진입수단(200)과 케이스밀봉수단(400) 및 케이스주입수단(500)의 상방으로 이동하며 이송할 수 있도록 상기 제2 LM가이드(L2)에 슬라이딩이동 가능하도록 설치된다.

이때, 상기 케이스이송수단(300)은 슬라이더브라켓(301), 제3 LM가이드(L2), 설치스테이지(303), 지지구(305) 및 이송암(307)을 포함하여 구성된다.

상기 슬라이더브라켓(301)은 상기 제2 LM가이드(L2)에 슬라이딩 이동가능하도록 설치된다. 이때, 상기 슬라이더브라켓(301)은 그 일측에 상기 슬라이더브라 켓(301)의 슬라이딩 이동에 따른 동력을 제공하기 위한 제2 서보모터(S2)가 설치되고, 그 전면에 상기 슬라이더브라켓(301)을 따라 함께 슬라이딩 이동하는 제3 LM가이드(L3)가 설치된다.

또한, 상기 설치스테이지(303)는 상기 제3 LM가이드(L3)에 슬라이딩 이동가능하도록 설치된다.

이때, 상기 설치스테이지(303)는 그 일측에 상기 설치스테이지(303)이 슬라이딩 이동에 따른 동력을 제공하기 위한 제3 서보모터(S3)가 설치되며, 상기 제3 서보모터(S3)이 하부에는 제2 유압모터(M2)가 설치된다.

여기서, 상기 제2 유압모터(M2)는 그 단부에 상기 제2 유압모터(M2)이 동력을 전달받아 상/하 승강이동 하는 지지구(305)가 연결된다.

또한, 상기 설치스테이지(303)의 양측에는 한 쌍의 제3 유압모터(M3)가 서로 대칭되게 설치된다. 이때, 상기 각 제3 유압모터(M3)는 그 단부에 좌/우 이동을 통해 선택적으로 케이스(20)를 파지하기 위한 이송암(307)이 설치된다.

이에 따라 상기 제1 케이스이송스테이지(106)를 따라 본체프레임(100)의 내부로 이송된 상/하 이분할 구조를 갖는 케이스(20)는 제1 LM가이드(L1), 제2 LM가이드(L2) 및 제3 LM가이드(L3)를 통해 케이스진입수단(200), 케이스밀봉수단(400) 및 케이스주입수단(500)으로 이동하는 이송암(307)에 의해 선택적으로 파지되어 각 수단으로 이송된다.

즉, 도 5a에 도시된 바와 같이 제1 케이스이송스테이지(206)를 통해 본체프레임(100)의 내부로 이송된 케이스(20)의 상부에는 상기 제2 LM가이드(L2)을 따라 슬라이딩 이동하는 이송암(307)이 위치된다.

이후, 상기 이송암(307)는 상기 제3 LM가이드(L3)를 따라 슬라이딩 이동하는 설치스테이지(303)에 의해 케이스(20)의 양측면에 위치하게 된다.

이후, 상기 제3 유압모터(M3)를 구동시켜 이송암(307)이 케이스(20)를 파지할 수 있도록 한다. 이때, 상기 이송암(307)은 상/하 이분할된 케이스(20)의 연결부위를 파지하여 케이스(20)를 이송한다.

이후, 케이스(20)를 파지한 이송암(307)은 제2 LM가이드(L2) 및 제3 LM가이드(L3)를 따라 케이스(20)를 케이스밀봉수단(400)으로 이송한다.

이때, 도 5b에 도시된 바와 같이 이송된 케이스(20)중 그 하부는 상기 후술한 안착스테이지(411)에 안착되고, 그 케이스(20)의 상부는 이송암(307)에 의해 더 이송된다.

이에 따라, 상기 케이스(20)는 내부가 개방되며, 이와 같이 개방된 케이스(20)에는 레티클로더(10)를 통해 레티클(R)이 이송되어 삽입된다.

이때, 상기 레티클로더(10)는 일반적으로 널리 알려진 공지의 기술로 이에 따른 구성 및 작동관계에 대한 설명은 생략하기로 한다.

이후, 레티클(R)이 수용된 케이스(20)는 그 상부가 상기 이송암(307)을 통해 이송된 케이스(20)를 통해 마감된다.

이와 같이 레티클(R)이 수용된 케이스(20)는 상기 이송암(307)을 통해 케이스밀봉수단(400)으로 이송한다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스 밀봉수단을 나타낸 평면도이고, 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스밀봉수단을 나타낸 측면도이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 케이스밀봉수단(400)은 레티클로더(10)를 통해 레티클(R)이 수용된 상/하 이분할된 케이스(20)의 테두리부위를 면밀히 밀폐할 수 있도록 상기 케이스진입수단(200)에 인접한 일측의 본체프레임(100)에 설치된다.

상기 케이스밀봉수단(400)은 케이스회전부(410), 접착띠부착부(430) 및 접착면밀착부(450)를 포함하여 구성된다.

한편, 상기 케이스회전부(410)는 상기 케이스이송수단(300)을 통해 이송된 케이스(20)를 회전시킬 수 있도록 상기 케이스진입수단(200)에 인접한 일측의 본체프레임(100)에 제4 서보모터(S4)가 설치되고, 상기 제4 서보모터(S4)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 안착스테이지(411)가 회전 가능하도록 설치된다. 또한, 상기 제4 서보모터(S4)는 상기 안착스테이지(411)에 그 회전력을 제공할 수 있도록 밸트(413)를 통해 연결된다.

그리고, 상기 안착스테이지(411)는 그 상부에 케이스(20)의 이탈을 방지할 수 있도록 단턱(415)이 형성되고, 내부에 다수개의 공기흡입구(417)가 형성되며, 상기 각 공기흡입구(417)의 단부에는 제1 흡착구(419)가 설치된다.

이때, 상기 공기흡입구(417)는 공기압발생장치(30)와 연결관을 통해 연결된다.

이에 따라, 이송된 상기 케이스(20)는 상기 제1 흡착구(419)에 의해 안착스 테이지(411)에 선택적으로 흡착된다.

한편, 상기 접착띠부착부(430)는 레티클(R)이 수용된 케이스(20)의 외주면을 접착띠(433)로 부착할 수 있도록 상기 케이스회전부(410)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 설치플레이트(431)가 고정된다.

여기서, 상기 설치플레이트(431)는 그 상부에 접착띠(433)가 감긴 권취롤러(435)가 회전가능하게 설치되며, 상기 권취롤러(435)의 인접한 일측 설치플레이트(431)에 제4 유압모터(M4)가 설치된다. 이때, 상기 제4 유압모터(M4)는 그 단부에 상기 권취롤러(435)에서 풀린 접착띠(433)를 케이스(20)의 외주면에 밀착시켜 부착할 수 있도록 푸시바(437)가 구비된다.

또한, 상기 제4 유압모터(M4)의 인접한 일측 설치플레이트(431)에는 제5 유압모터(M5)가 설치된다. 이때, 상기 제5 유압모터(M5)는 그 단부에 상기 케이스(20)의 외주면을 감싸도록 부착된 접착띠(433)의 요부를 절단할 수 있도록 커팅날(439)이 구비된다.

이에 따라, 상기 푸시바(437)와 커팅날(439)은 상기 제4 유압모터(M4)와 제5 유압모터(M5)를 통해 슬라이딩 이동한다.

또한, 상기 푸시바(437)의 단부에는 상기 접착띠(433)의 표면을 보호할 수 있도록 탄성체가 부착되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 접착면밀착부(450)는 상기 접착띠(433)가 부착된 케이스(20)의 외주면을 가압하여 접착띠(433)가 면밀히 부착될수 있도록 상기 설치플레이트(431)의 인접한 일측의 본체프레임(100)에 연결플레이트(451)가 고정된다.

이때, 상기 연결플레이트(451)는 그 상부에 제6 유압모터(M6)가 설치되고, 상기 제6 유압모터(M6)의 단부에는 이동스테이지(453)가 결합된다. 이에 따라, 상기 이동스테이지(453)는 상기 제6 유압모터(M6)의 동력을 전달받아 슬라이딩 이동한다.

또한, 상기 이동스테이지(453)는 그 일측에 연결편(455)의 일단이 제1 힌지핀(456)에 의해 힌지회동 가능하도록 설치되고, 상기 연결편(455)의 타단은 롤러(457)가 제2 힌지핀(458)에 의해 힌지결합된다.

이때, 상기 롤러(457)는 그 외주면에 상기 접착띠(433)와 접촉시 접착띠(433)를 가압할 수 있도록 탄성력을 갖는 것이 바람직하다.

또한, 상기 연결편(455)과 이동스테이지(453) 사이에는 상기 연결편(455)에 탄성력을 제공할 수 있도록 스프링(459)이 연결된다.

이때, 상기 스프링(459)은 그 단부가 상기 연결편(455)과 이동스테이지(453)의 하부에 구비된 고리에 의해 연결되는 것이 바람직하다.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스밀봉수단의 동작상태를 나타낸 평면도이다.

도 8a 및 도 8b를 참조하면서 상기 케이스밀봉수단의 동작상태를 살펴보기로 한다.

먼저, 상기 안착스테이지(411)에 케이스(20)가 이송되면, 상기 접착띠(433)의 단부가 상기 케이스(20)의 외주면 일측에 위치된다. 이때, 상기 접착띠(433)는 상기 푸시바(437)에 의해 그 접착면이 케이스(20)에 부착된다.

여기서, 상기 안착스테이지(411)에 안착된 케이스(20)는 상기 안착스테이지(411)가 제3 서보모터(S3)의 회전력을 전달받아 회전함에 따라 안착스테이지(411)와 함께 회전한다.

이와 같이 상기 케이스(20)가 회전하면, 상기 접착띠(433)는 권취롤러(435)에서 권해되어 케이스(20)의 외주면을 따라 부착된다. 이때, 상기 케이스(20)가 1회전하여 그 외주면에 접착띠(433)가 모두 부착되면, 상기 커팅날(439)이 제5 유압모터(M5)의 구동력을 전달받아 전진하여 접착띠(433)의 요부를 절단한다.

이후, 상기 접착띠(433)가 절단되면, 상기 안착스테이지(411)는 다시 회전하게 되며, 이때, 상기 이동스테이지(453)가 제6 유압모터(M6)의 구동력을 전달받아 상기 안착스테이지(411)의 회전에 방해를 받을 않는 범위에서 안착스테이지(411) 측으로 이동한다.

이와 같이 상기 이동스테이지(453)가 이동하면, 상기 이동스테이지(453)에 설치된 롤러(457)가 상기 케이스(20)에 접촉되어 케이스(20)의 표면에 부착된 접착띠(433)를 더욱 면밀히 부착되도록 한다.

이때, 상기 케이스(20)의 모서리 부위에서는 상기 연결편(455)이 제1 힌지핀(456)을 기준으로 힌지회전하며, 상기 케이스(20)의 면 부위에서는 상기 스프링(459)의 탄성력에 의해 상기 연결편(455)이 이동스테이지(453) 측으로 밀착된다.

이에 따라, 레티클(R)이 수용된 케이스(20)를 접착띠(433)를 통해 면밀히 밀폐한다.

도 9은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스 주입수단을 나타낸 사시도이고, 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스주입수단을 나타낸 측면도이다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 케이스주입수단(500)은 진입부(510) 및 개방부(530)를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 진입부(510)는 상기 케이스밀봉수단(400)을 통해 밀폐된 케이스(20)를 비닐팩(40)에 삽입할 수 있도록 상기 케이스밀봉수단(400)의 인접한 일측의 본체프레임(100)에 제7 유압모터(M7)가 설치된다. 이때, 상기 제7 유압모터(M7)는 그 단부에 결합편(511)이 고정된다.

또한, 상기 결합편(511)은 그 상부에 연결스테이지(512)가 결합되며, 상기 연결스테이지(512)의 일측 상부에 제8 유압모터(M8)가 설치되며, 상기 제8 유압모터(M8)의 일측에는 가이드바(513)가 구비된다. 이때, 상기 가이드바(513)의 외주면에는 상기 제8 유압모터(M8)의 구동력을 전달받아 상기 가이드바(513)를 따라 슬라이딩 이동하는 제1 이동슬라이더(514)가 결합된다.

여기서, 상기 제1 이동슬라이더(514)는 그 일측에 체결편(515)이 구비되고, 상기 체결편(515)의 단부에는 푸시로드(516)가 구비된다.

또한, 상기 제8 유압모터(M8)의 인접한 일측에 상기 연결스테이지(512)와 함께 제7 유압모터(M7)의 구동력을 전달받아 슬라이딩 이동하는 안착플레이트(517)가 결합된다. 이때, 상기 안착플레이트(517)는 그 일단에 상기 비닐팩접합수단(700) 측으로 돌출되는 한 쌍의 개방편(518)이 설치된다.

여기서, 상기 개방편(518)은 볼트체결되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 개방편(518)은 상기 비닐팩(40)에 용이하게 삽입될 수 있도록 그 상부가 상기 비닐팩접합수단(700) 측으로 하향 경사각을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 개방부(530)는 상기 케이스(20)가 수용되는 비닐팩(40)의 개방부위를 벌릴 수 있도록 상기 진입부(510)의 인접한 일측의 본체프레임(100)에 제9 유압모터(M9)가 설치된다.

이때, 상기 제9 유압모터(M9)는 그 단부에 상기 제9 유압모터(M9)의 구동력을 전달받아 전,후방향으로 슬라이딩 이동하는 제10 유압모터(M10)가 설치되며, 상기 제10 유압모터(M10)의 단부에는 상기 제10 유압모터(M10)의 구동력을 전달받아 상,하 방향으로 슬라이딩 이동하는 연결구(531)가 설치된다.

여기서, 상기 연결구(531)는 그 상부에 한 쌍의 제11 유압모터(M11)가 서로 대칭되게 설치되며, 상기 각 제11 유압모터(M11)의 단부에는 상기 제11 유압모터(M11)의 구동력을 전달받아 좌,우 방향으로 슬라이딩 이동하여 비닐팩(40)의 개방부위를 벌리기 위한 절곡편(533)이 설치된다.

또한, 상기 연결구(531)의 일측면에는 비닐팩(40) 내부의 공기를 흡입하기 위한 공기흡입관(535)이 설치된다. 이때, 상기 공기흡입관(535)은 상기 공기압발생장치(30)와 연결관을 통해 연결되는 것이 바람직하다.

도 11a 및 도 11b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 케이스주입수단의 동작상태를 나타낸 평면도이다.

도 11a 및 도 11b를 참조하면, 상기 케이스밀봉수단(400)을 통해 접착 띠(433)가 부착된 케이스(20)는 상기 케이스이송수단(300)의 이송암(307)을 통해 상기 안착플레이트(517)로 이송된다.

이때, 후술할 비닐팩개방수단(600)을 통해 비닐팩(40)의 개방부위가 벌어지면, 상기 제7 유압모터(M7)가 구동하여 결합편(511), 연결스테이지(512) 및 안착플레이트(517)를 상기 비닐팩(40) 측으로 슬라이딩 이동시킨다.

이때, 상기 개방편(518)은 비닐팩(40)의 개방부위를 통해 비닐팩(40)의 내부로 삽입되어 비닐팩(40)의 개방부위를 벌린다.

이후, 상기 제8 유압모터(M8)를 구동시키면, 상기 제1 이동슬라이더(514), 체결편(515) 및 푸시로드(516)는 가이드바(513)를 따라 비닐팩(40)의 개방부위 측으로 슬라이딩 이동한다. 이때, 상기 푸시로드(516)는 안착플레이트(517)로 이송된 케이스(20)를 밀어 상기 케이스(20)가 비닐팩(40) 내부로 삽입되도록 한다.

이후, 상기 제7 유압모터(M7)와 제8 유압모터(M8)를 통해 상기 연결스테이지(512)와 제1 이동슬라이더(514)를 초기 위치로 이동시키면, 상기 제9 유압모터(M9)와 제10 유압모터(M10)가 구동하여 절곡편(533)과 공기흡입관(535)의 단부가 개방된 비닐팩(40)에 삽입된다.

이후, 상기 제11 유압모터(M11)를 구동시키면, 상기 절곡편(533)이 벌어지면서 상기 비닐팩(40)의 개방부위에 형성된 주름을 없애 평편한 상태가 되도록 한다.

이후, 후술할 비닐팩접합수단(700)을 통해 비닐팩(40)의 개방부위를 밀폐한다.

도 12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 비닐팩 개방수단과 비닐팩접합수단을 나타낸 평면도이고,도 13a,13b,13c,13d,13e 및 13f는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 비닐팩 개방수단과 비닐팩접합수단의 동작상태를 나타낸 측면도이다.

도 12 및 도 13을 참조하면, 상기 비닐팩개방수단(600)은 상기 본체프레임(100)에 설치된 비닐팩적재함(50)에 적층된 비닐팩(40)을 이송하여 비닐팩(40)의 개방부위를 벌릴 수 있도록 상기 제4 LM가이드(L4)를 따라 슬라이딩이동 가능하게 설치된다.

이때, 상기 비닐팩개방수단(600)은 제2 슬라이더(601), 베이스프레임(602), 흡착플레이트(603) 및 제3 흡착구(605)를 포함하여 구성된다.

상기 제2 슬라이더(601)는 상기 제4 LM가이드(L4)의 일측면에 이를 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치된다. 이때, 상기 제2 슬라이더(601)는 그 일측에 상기 제2 슬라이더(601)의 슬라이딩 이동에 따른 구동력을 제공하기 위한 제5 서보모터(S5)가 설치된다.

또한, 상기 베이스프레임(602)은 상기 제2 슬라이더(601)의 하부에 고정된다. 이에 따라, 상기 베이스프레임(602)은 상기 상기 제2 슬라이더(601)와 함께 슬라이딩 이동가능하게 된다. 그리고, 상기 베이스프레임(602)의 상부 일측에는 제12 유압모터(M12)가 설치된다.

한편, 상기 흡착플레이트(603)는 상기 제12 유압모터(M12)의 단부에 설치된다. 이에 따라 상기 흡착플레이트(603)는 상기 제12 유압모터(M12)의 구동력을 전달받아 상/하 승강이동 가능하게 된다.

또한, 상기 흡착플레이트(603)는 그 내측에 다수개의 제2 흡착구(604)가 설치된다. 이때, 상기 제2 흡착구(604)는 상기 공기압발생장치(30)와 연결관을 통해 연결된다.

이에 따라, 상기 제2 흡착구(604)는 상기 제2 슬라이더(601)를 따라 슬라이딩 이동하여 상기 비닐팩적재함(50)에 적층된 비닐팩(40)을 선택적으로 흡착한다.

한편, 상기 제3 흡착구(605)는 상기 베이스프레임(602)의 상부와 상기 베이스프레임(602)과 대칭되는 위치의 본체프레임(100)에 각각 대칭되게 설치된 제13 유압모터(M13)의 단부에 설치된다.

이때, 상기 제3 흡착구(605)는 상기 공기압발생장치(30)와 연결관을 통해 연결되는 것이 바람직하다.

따라서, 상기 제3 흡착구(605)는 상기 제13 유압모터(M13)의 구동력을 전달받아 상/하 승강이동하며, 비닐팩(40)의 개방부위 상면과 하면을 선택적으로 흡착하여 비닐팩(40)을 벌린다.

이에 따라, 상기 케이스(20)가 상기 케이스주입수단(500)에 위치하면, 상기 제2 슬라이더(601)는 제4 LM가이드(L4)를 따라 비닐팩적재함(50)의 상방으로 이동한다. 이와 같이 상기 제2 슬라이더(601)가 비닐팩적재함(50) 측에 위치하면, 상기 제12 유압실런더(M12)가 구동력을 발생하여 흡착플레이트(603)의 제2 흡착구(604)를 비닐팩적재함(50)에 적재된 비닐팩(40)의 상면에 위치되게 한다.

이후, 상기 공기압발생장치(30)를 통해 상기 제2 흡착구(604)에 공기압을 발생시키면, 상기 비닐팩(40)은 제2 흡착구(604)에 흡착되어 후술할 제1 배출수 단(800)의 안착판(801)으로 이송한다.

이후, 상기 안착판(801)으로 이송된 비닐팩(40)은 그 개방부위의 상부와 하부가 한 쌍의 제3 흡착구(605)와 접하게 된다. 이때, 상기 제3 흡착구(605)에 공기압을 공급하여 비닐팩(40)에 흡착되도록 한 상태에서 상기 제13 유압모터(M13)를 통해 한 쌍의 제3 흡착구(605)를 벌리면, 상기 비닐팩(40)은 그 개방부위가 상,하 방향으로 벌어지게 되며, 이에 따라, 상기 케이스주입수단(500)을 통해 케이스(20)를 비닐팩(40)에 삽입할 수 있게 된다.

한편, 상기 비닐팩접합수단(700)은 상기 케이스주입수단(500)을 통해 케이스(20)가 수용된 비닐팩(40)의 개방부위를 열에 의해 압착하여 비닐팩(40)을 밀폐한다.

이때, 상기 비닐팩접합수단(700)은 한 쌍의 제14 유압모터(M14), 및 열융착구(701)를 포함하여 구성된다.

상기 제14 유압모터(M14)는 상기 케이스주입수단(500)과 비닐팩개방수단(600) 사이의 본체프레임(100)에 서로 대칭되게 설치된다.

또한, 상기 열융착구(701)는 상기 비닐팩(40)의 개방부위를 열융착하여 밀폐할 수 있도록 상기 각 제14 유압모터(M14)의 단부에 설치되어 외부 전원이 인가시 내부에 설치된 전열선을 통해 열을 발생시킨다. 이때, 상기 열융착구(701)는 전체적으로 바형상을 갖으며, 비닐에 열을 가하여 비닐이 개방부위를 밀폐하기 위한 것으로 이와 같은 열융착구(701)는 일반적인 비닐포장기에서 널리 이용되는 공지기술로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

이에 따라, 상기 케이스(20)가 수용된 비닐팩(40)의 개방부위를 서로 대칭되게 설치된 열융착구(701)를 통해 열에 의해 가압함으로써, 상기 비닐팩(40)은 긴밀한 밀폐구조를 갖게 된다.

도 14a 및 도 14b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 제1 배출수단을 나타낸 평면도이다.

도 14a 및 도 14b를 참조하면, 상기 제1 배출수단(800)은 상기 개방부위가 밀폐된 비닐팩(40)에 삽입된 케이스(20)를 상기 제2 배출수단(900)으로 이송할 수 있도록 상기 비닐팩적재함(50)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 설치된다.

여기서, 상기 제1 배출수단(800)은 상기 비닐팩적재함(50)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 안착판(801)에 설치되고, 상기 안착판(801)의 일측에 가이드로드(803)를 갖는 제15 유압모터(M15)가 설치된다.

이때, 상기 가이드로드(803)의 외주면에는 상기 가이드로드(803)를 따라 슬라이딩 이동하는 제2 이동슬라이더(805)가 결합되고, 상기 제2 이동슬라이더(805)의 일측에는 상기 케이스(20)를 이동시키기 위한 가이드편(807)이 돌출되게 형성된다.

이에 따라, 상기 안착판(801)으로 이송된 케이스(20)는 비닐팩접합수단(700)에 의해 비닐팩(40)의 개방부위가 밀폐되면, 상기 제15 유압모터(M15)의 구동력이 상기 제2 이동슬라이더(805)와 가이드편(807)에 전달되어, 상기 제2 이동슬라이더(805)와 가이드편(807)이 슬라이딩 이동한다. 이때, 상기 가이드편(807)은 그 일측면이 상기 케이스(20)와 접촉을 이루어 상기 제2 배출수단(900) 측으로 이송시킨 다.

도 15는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레티클용 진공포장장치중 제2 배출수단을 나타낸 측면도이다.

도 15를 참조하면, 상기 제2 배출수단(900)은 상기 제1 배출수단(800)을 통해 이송된 비닐팩(40)에 삽입된 케이스(20)를 본체프레임(100)의 외부로 이송할 수 있도록 상기 제1 배출수단(800)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 설치된다.

이때, 상기 제2 배출수단(900)은 상기 제1 배출수단(800)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 제2 가이드홈(901)을 갖는 제2 베이스플레이트(903)가 설치되고, 상기 제2 베이스플레이트(903)의 하부에는 제2 리니어모터(905)가 설치된다.

여기서, 상기 제2 리니어모터(905)는 그 일측에 상기 제2 리니어모터(905)의 동력을 전달받아 제2 리니어모터(905)를 따라 슬라이딩 이동하는 제2 이동자(907)가 설치되고, 상기 제2 이동자(907)는 그 일측에 상기 제2 이동자(907)와 함께 슬라이딩 이동할 수 있도록 제2 이송프레임(908)이 볼트결합된다.

또한, 상기 제2 이송프레임(908)은 그 상부가 상기 제2 가이드홈(901)에 삽입되어 제2 베이스플레이트(903)의 상방으로 돌출되며, 단부에 제2 케이스이송스테이지(909)가 결합된다.

이에 따라, 상기 제1 배출수단(800)을 통해 상기 제2 케이스이송스테이지(909)로 이송된 케이스(20)는 상기 제2 리니어모터(905)이 동력을 전달받아 슬라이딩이동하는 제2 이동자(907), 제2 이송프레임(908) 및 제2 케이스이송스테이지(909)에 의해 상기 본체프레임(100)의 외부로 배출된다.

이에 따라, 상기 레티클로더(10)를 통해 공급된 레티클(R)은 케이스진입수단(200), 케이스이송수단(300), 케이스밀봉수단(400), 케이스주입수단(500), 비닐팩개방수단(600) 비닐팩접합수단(700), 제1 배출수단(800) 및 제2 배출수단(900)을 경유하여 진공포장된 상태로 배출시켜 상기 레티클(R)을 안전하게 포장할 수 있도록 한다. 이때, 상기 각 수단들의 구동은 제어부(미도시)를 통해 제어된다.

또한, 상기 레티클용 진공포장장치(A)는 그 실시예에 따라 상기 레티클(R)이 수용된 케이스(20)를 상기 케이스진입수단(200)에 안착시켜 포장하도록 함으로써, 레티클로더(10)의 사용없이 레티클(R)을 포장할 수도 있다.

본 발명에 따르면, 레티클의 모든 포장공정을 하나의 시스템 장비를 통해 자동으로 이루어지도록 함으로써, 포장시 레티클의 안정성을 확보함과 동시에 포장작업의 능률을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims

레티클로더(10)를 통해 이송된 레티클(R)을 진공상태로 포장하기 위한 레티클용 진공포장장치(A)는,

다수개의 수직바(101)와 다수개의 수평바(102)로 이루어진 본체프레임(100);

상기 본체프레임(100)의 내부에 서로 대칭되게 설치되며, 상부에 각각 제1 슬라더(105)가 제1 서보모터(S1)의 동력을 전달받아 슬라이딩이동 가능하도록 설치된 한 쌍의 제1 LM가이드(L1);

상기 한 쌍의 제1 LM가이드(L1)를 따라 슬라이딩이동 가능하도록 상기 한 쌍의 제1 슬라이더(105) 상부에 설치된 제2 LM가이드(L2);

레티클(R)을 수용하여 포장하기 위한 상하 결합구조를 갖는 빈 케이스(20)를 공급할 수 있도록 상기 본체프레임(100)의 일측에 설치된 케이스진입수단(200);

상기 레티클로더(10)를 통해 레티클(R)이 수용된 케이스(20)의 테두리부위를 면밀히 밀폐할 수 있도록 상기 케이스진입수단(200)에 인접한 일측의 본체프레임(100)에 설치된 케이스밀봉수단(400);

상기 케이스밀봉수단(400)을 통해 밀폐된 케이스(20)를 비닐팩(40)에 삽입할 수 있도록 상기 케이브밀봉수단(400)의 인접한 일측에 설치된 케이스주입수단(500);

상기 케이스(20)를 케이스진입수단(200)과 케이스밀봉수단(400) 및 케이스주입수단(500)의 상방으로 이동하며 이송할 수 있도록 상기 제2 LM가이드(L2)에 슬라이딩이동 가능하도록 설치된 케이스이송수단(300);

상기 본체프레임(100) 내에서 상기 제2 LM가이드(L2)와 대향되게 설치된 제4 LM가이드(L4);

상기 본체프레임(100)에 설치된 비닐팩적재함(50)에 적층된 비닐팩(40)을 이송하여 비닐팩(40)의 개방부위를 벌릴 수 있도록 상기 제4 LM가이드(L4)를 따라 슬라이딩이동 가능하도록 설치된 비닐팩개방수단(600);

상기 케이스주입수단(500)을 통해 케이스(20)가 수용된 비닐팩(40)의 개방부위를 열에 의해 압착하여 밀폐할 수 있도록 상기 본체프레임(100)에 설치된 비닐팩접합수단(700);

상기 비닐팩(40)에 삽입된 케이스(20)를 이송할 수 있도록 상기 비닐팩적재함(50)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 설치된 제1 배출수단(800) 및

상기 제1 배출수단(800)을 통해 이송된 비닐팩(40)에 삽입된 케이스(20)를 본체프레임(100)의 외부로 이송할 수 있도록 상기 제1 배출수단(800)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 설치된 제2 배출수단(900)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 레티클용 진공포장장치.
제 1항에 있어서,

상기 케이스밀봉수단(400)은

상기 케이스이송수단(300)을 통해 이송된 케이스(20)를 회전시킬 수 있도록 상기 케이스진입수단(200)에 인접한 일측의 본체프레임(100)에 제4 서보모터(S4)가 설치되고, 상기 제4 서보모터(S4)와 밸트(413)를 통해 연결되어 회전하며, 상부에 케이스(20)의 이탈을 방지하기 위한 단턱(415)이 형성되고, 내부에 공기압발생장치(30)를 통해 전달된 공기압이 유입되는 다수개의 공기흡입구(417)가 형성되며, 상기 각 공기흡입구(417)의 단부에 케이스(20)를 선택적으로 흡착하기 위한 제1 흡착구(419)가 설치된 안착스테이지(411)로 이루어진 케이스회전부(410)와,

레티클(R)이 수용된 케이스(20)의 외주면을 접착띠(433)로 부착할 수 있도록 상기 케이스회전부(410)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 설치플레이트(431)가 고정되고, 상기 설치플레이트(431)의 상부에 접착띠(433)가 감긴 권취롤러(435)가 회전 가능하도록 설치되며, 상기 권취롤러(435)의 인접한 일측 설치플레이트(431)에 상기 권취롤러(435)에서 풀린 접착띠(433)를 케이스(20)이 외주면에 밀착시켜 부착할 수 있도록 푸시바(437)가 구비된 제4 유압모터(M4)가 설치되고, 상기 제4 유압모터(M4)의 인접한 일측 설치플레이트(431)에 케이스(20)의 외주면을 감싸도록 부착된 접착띠(433)의 요부를 절단할 수 있도록 커팅날(439)이 구비된 제5 유압모터(M5)가 설치된 접착띠부착부(430) 및

상기 접착띠(433)가 부착된 케이스(20)의 외주면을 가압하여 접착띠(433)가 면밀히 부착될수 있도록 상기 설치플레이트(431)의 인접한 일측의 본체프레임(100)에 연결플레이트(451)가 고정되고, 상기 연결플레이트(451)의 상부에 제6 유압모터(M6)가설치되며, 상기 제6 유압모터(M6)의 단부에 이동스테이지(453)가 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되고, 상기 이동스테이지(453)의 일측에 연결편(455)의 일단 이 힌지회동 가능하도록 결합되며, 상기 연결편(455)의 타단에 롤러(457)가 힌지결합되고, 상기 연결편(455)과 이동스테이지(453) 사이에 연결편(455)에 탄성력을 제공하기 위한 스프링(459)이 연결된 접착면밀착부(450)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 레티클용 진공포장장치.
제 1항에 있어서,

상기 케이스주입수단(500)은

레티클(R)이 수용된 케이스(20)를 비닐팩(40) 내부로 삽입할 수 있도록 상기 케이스밀봉수단(400)의 인접한 일측의 본체프레임(100)에 결합편(511)이 구비된 제7 유압모터(M7)가 설치되고, 상기 결합편(511)의 상부에 상기 제7 유압모터(M7)를 통해 슬라이딩 이동가능하도록 연결스테이지(512)가 결합되며, 상기 연결스테이지(512)의 일측 상부에 가이드바(513)가 구비된 제8 유압모터(M8)가 설치되고, 상기 가이드바(513)에 가이드바(513)를 따라 슬라이딩 이동하며 일측에 푸시로드(516)와 체결편(515)이 구비된 제1 이동슬라이더(514)가 결합되며, 상기 제8 유압모터(M8)의 인접한 일측에 안착플레이트(517)가 결합되고, 상기 안착플레이트(517)의 일단에 서로 대향된 한 쌍의 개방편(518)이 설치된 진입부(510)와,

상기 케이스(20)가 수용되는 비닐팩(40)의 개방부위를 벌릴 수 있도록 상기 진입부(510)의 인접한 일측의 본체프레임(100)에 제9 유압모터(M9)가 설치되고, 상기 제9 유압모터(M9)의 단부에 이를 통해 전,후 방향으로 슬라이딩 이동하는 제10 유압모터(M10)가 설치되며, 상기 제10 유압모터(M10)의 단부에 이를 통해 상,하 방 향으로 슬라이딩 이동하는 연결구(531)가 설치되고, 상기 연결구(531)의 상부에 한 쌍의 제11 유압모터(M11)가 서로 대칭되게 설치되며, 상기 각 제11 유압모터(M11)의 단부에 이를 통해 좌,우방향으로 슬라이딩 이동하여 비닐팩(40)의 개방부위를 벌리기 위한 절곡편(533)이 설치되고, 상기 연결구(531)의 일측면에 공기압발생장치(30)와 연결되어 비닐팩(40) 내부의 공기를 흡입하기 위한 공기흡입관(535)이 설치된 개방부(530)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 레티클용 진공포장장치.
제 1항에 있어서,

상기 케이스이송수단(300)은

상기 제2 LM가이드(L2)에 제2 서보모터(S2)의 동력을 전달받아 슬라이딩 이동가능하도록 설치된 슬라이더브라켓(301)과,

상기 슬라이더브라켓(301)에 설치된 제3 LM가이드(L3)와,

상기 제3 LM가이드(L3)에 제3 서보모터(S3)의 동력을 전달받아 상기 제3 LM가이드(L3)를 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치된 설치스테이지(303)와,

상기 설치스테이지(303)에 결합된 제2 유압모터(M2)의 단부에 설치되어, 상기 제2 유압모터(M2)의 동력을 전달받아 상/하승강이동 하는 지지구(305) 및

상기 설치스테이지(303)에 결합된 한 쌍의 제3 유압모터(M3) 단부에 각각 설치되어, 케이스(20)를 선택적으로 파지할 수 있도록 좌,우 방향으로 이동하는 이송암(307)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 레티클용 진공포장장치.
제 1항에 있어서,

상기 비닐팩개방수단(600)은

상기 제4 LM가이드(L4)를 따라 슬라이딩 이동가능하도록 설치되어 제5 서보모터(S5)의 동력을 전달받는 제2 슬라이더(601)와,

상기 제2 슬라이더(601)의 하부에 상기 제2 슬라이더(601)와 함께 슬라이딩 이동 가능하도록 고정되며, 상부에 제12 유압모터(M12)가 설치된 판상체의 베이스프레임(602)과,

상기 제12 유압모터(M12)의 단부에 이를 통해 상/하 승강이동 가능하도록 설치되며, 내측에 설치된 다수개의 제2 흡착구(604)가 공기압발생장치(30)와 연결되게 설치되어 비닐팩(40)을 선택적으로 흡착하는 흡착플레이트(603) 및

상기 베이스프레임(602)의 상부와 상기 베이스프레임(602)과 대칭되는 위치의 본체프레임(100)에 각각 제13 유압모터(M13)가 대칭되게 설치되고, 상기 각 제13 유압모터(M13)의 단부에 이를 통해 상/하 승강이동 가능하도록 설치되며, 상기 공기압발생장치(30)와 연결되어 비닐팩(40)의 개방부위를 선택적으로 흡착하여 상,하 방향으로 벌리기 위한 제3 흡착구(605)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 레티클용 진공포장장치.
제 1항에 있어서,

상기 비닐팩접합수단(700)은

상기 케이스주입수단(500)과 비닐팩개방수단(600) 사이의 본체프레임(100)에 서로 대칭되게 설치된 한 쌍의 제14 유압모터(M14)와

상기 비닐팩(40)의 개방부위를 열융착하여 밀폐할 수 있도록 상기 각 제14 유압모터(M14)의 단부에 설치되어 외부 전원이 인가시 내부에 설치된 전열선을 통해 열을 발생시키는 열융착구(701)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 레티클용 진공포장장치.
제 1항에 있어서,

상기 제1 배출수단(800)은

상기 비닐팩적재함(50)의 인접한 일측 본체프레임(100)에 안착판(801)에 설치되고, 상기 안착판(801)의 일측에 가이드로드(803)를 갖는 제15 유압모터(M15)가 설치되며, 상기 가이드로드(803)에 이를 따라 슬라이딩 이동하는 제2 이동슬라이더(805)가 결합되고, 상기 제2 이동슬라이더(805)의 일측에 케이스(20)를 이동시키기 위한 가이드편(807)이 형성됨을 특징으로 하는 레티클용 진공포장장치.