KR100733729B1 - Substrates Aligning Apparatus - Google Patents

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이병대
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Abstract

본 발명은 기판 정렬장치에 관한 것으로서, 기판이 지지된 상태에서 기판의 하중에 대향하는 방향으로 에어를 분출하는 다수의 노즐이 마련된 지지대와; 상기 지지대에 기판이 지지된 상태에서, 상기 노즐로부터 에어가 분사됨과 동시에 상기 기판의 적어도 하나의 측면과 접촉하여 기판을 이동시키는 적어도 하나의 푸시부와; 기판이 상기 푸시부에 의해 이동될 때 기판을 소정 위치에 정렬하기 위하여 기판을 안내하도록, 상기 지지대에 위치한 기판과 인접하여 설치되는 적어도 하나의 가이드부를 포함하는 것을 한다. 이에 따라, 무거운 하중의 기판을 작은 힘으로 용이하게 정렬할 수 있는 기판 정렬장치가 제공된다. The present invention relates to a substrate alignment apparatus, comprising: a support provided with a plurality of nozzles for ejecting air in a direction opposite to the load of the substrate while the substrate is supported; At least one push unit for moving the substrate in contact with at least one side surface of the substrate while the air is ejected from the nozzle while the substrate is supported by the support; And at least one guide portion installed adjacent to the substrate located on the support to guide the substrate to align the substrate in a predetermined position when the substrate is moved by the push portion. Accordingly, there is provided a substrate alignment apparatus that can easily align a heavy load substrate with a small force.

기판, 기판정렬장치Board, Board Aligner

Description

기판 정렬장치 {Substrates Aligning Apparatus} Substrate Aligning Apparatus

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 정렬장치를 도시한 사시도, 1 is a perspective view showing a substrate aligning apparatus according to a first embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 정렬장치의 작동상태의 단면을 도시한 작동도,2 is an operation view showing a cross section of the operating state of the substrate alignment apparatus according to the first embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 정렬장치의 작동상태의 평면을 도시한 작동도,3 is an operation view showing a plane of the operating state of the substrate alignment apparatus according to the first embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 정렬장치를 도시한 사시도, 4 is a perspective view showing a substrate aligning apparatus according to a second embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 정렬장치의 작동상태의 평면을 도시한 작동도,5 is an operation view showing a plane of the operating state of the substrate alignment apparatus according to the second embodiment of the present invention,

도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 정렬장치를 도시한 사시도,6 is a perspective view showing a substrate aligning apparatus according to a third embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 정렬장치의 작동상태의 단면을 도시한 작동도이다. 7 is an operation view showing a cross section of the operating state of the substrate alignment apparatus according to a third embodiment of the present invention.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♣♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing

10: 기판 20: 지지대              10: substrate 20: support

21: 노즐 22: 함몰부              21: nozzle 22: depression

23: 유로 24: 베이스              23: Euro 24: Base

25: 지지핀 26: 노즐              25: support pin 26: nozzle

30: 공급펌프 40: 푸시부              30: supply pump 40: push

41: 푸시핸드 42: 전달바              41: Push Hand 42: Delivery Bar

43: 구동부 44: 푸시핸드              43: drive unit 44: push hand

50: 가이드부 60: 포크              50: guide portion 60: fork

본 발명은 기판 정렬장치에 관한 것으로, 무거운 하중을 가진 대형화된 기판을 보다 용이하게 정렬할 수 있는 기판 정렬장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate aligning apparatus, and more particularly, to a substrate aligning apparatus which can more easily align a large-sized substrate having a heavy load.

일반적으로 엘시디, 피디피등의 평판디스플레이장치의 기판은 사각형상의 GLASS기판 상에 박막트렌지스터, 금속배선, 화소전극 등의 소자들이 적층되어 형성된 구조를 가진다. 이러한 적층소자를 형성하기 위하여, 코팅, 열처리, 세척등의 공정을 통하여 기판 상에 적층된다. 이러한 공정에 각 개별공정에 기판을 투입하기에 앞서, 투입될 기판을 정렬하는 정렬장치가 필수적이다. 즉, 기판은 각 공정 특성에 맞도록 정렬되어야 하는데, 이는 기판이 정확한 정렬 상태에서 각 공정을 수행하여야 만 각 공정을 양호하게 이루어 제품의 품위를 향상시킬 수 있도록 하기 위함이다. In general, a substrate of a flat panel display device such as LCD and PD has a structure in which elements such as a thin film transistor, a metal wiring, and a pixel electrode are stacked on a rectangular GLASS substrate. In order to form such a laminated device, it is laminated on a substrate through a process such as coating, heat treatment, washing and the like. Prior to adding a substrate to each individual process in such a process, an alignment device for aligning the substrate to be introduced is essential. That is, the substrates should be aligned to suit each process characteristic, in order to improve the quality of the product by making each process satisfactorily only when each substrate is performed in the correct alignment state.

이러한 정렬장치에 있어서, 종래에 상기 기판을 정렬할 때에는, 기판을 지지대에 탑재하고 이를 핀(pin), 가이더(guider) 또는 기판의 측면으로부터 기판을 이동시키는 로봇핸드 등을 이용하여 정렬하는 방법을 사용하고 있다. In such an alignment apparatus, when aligning the substrate in the related art, a method of mounting the substrate on a support and aligning the substrate by using a pin, a guider, or a robot hand that moves the substrate from the side of the substrate is used. I use it.

하지만, 평판디스플레이장치가 대형화되고 이에 이용되는 기판도 대형화됨에 따라, 대형화된 기판의 하중에 의해 상술한 방법으로 기판을 정렬할 때, 무거운 하중의 기판을 정렬하기 위하여 정렬장치가 대형화 되는 문제점이 있다. However, as the flat panel display device is enlarged and the substrate used therein is also enlarged, there is a problem that the alignment device is enlarged to align the heavy load substrate when the substrate is aligned in the above-described manner by the load of the enlarged substrate. .

또한, 기판의 무거운 하중에 의해 기판을 정렬할 때 기판을 지지하고 있는 지지대와 기판의 접촉에 의해 기판에 손상이 발생되며, 이에 따라 제품의 불량을 초래하는 문제점이 있다. In addition, when the substrate is aligned by the heavy load of the substrate, damage is caused to the substrate by the contact between the support holding the substrate and the substrate, thereby causing a problem in product failure.

따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 간단한 구조를 가지며 작은 힘으로도 무거운 하중을 가진 기판을 정렬할 수 있는 기판 정렬장치를 제공함에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate aligning apparatus having a simple structure and capable of aligning a substrate having a heavy load with a small force.

또한, 기판을 정렬할 때, 기판을 지지하는 지지대 기판의 접촉을 방지하여 기판의 손상을 줄이며, 이에 따라 제품의 불량을 방지할 수 있는 기판 정렬장치를 제공함에 있다. In addition, when aligning the substrate, to prevent the contact of the support substrate supporting the substrate to reduce the damage to the substrate, thereby providing a substrate alignment apparatus that can prevent the failure of the product.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 정렬하는 기판 정렬장치에 있어서, 상기 기판이 지지된 상태에서 상기 기판의 하중에 대향하는 방향으로 에어를 분출하는 다수의 노즐이 마련된 지지대와; 상기 지지대에 기판이 지지된 상태에서, 상기 노즐로부터 에어가 분사됨과 동시에 상기 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판을 이동시키는 적어도 하나의 푸시부와; 상기 기판이 푸시부에 의해 이동되어 상기 기판을 소정의 위치에 정렬되도록 상기 기판을 안내하도록 상기 지지대에 위치하는 기 판에 인접하여 설치되는 적어도 하나의 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치에 의해 달성된다.According to the present invention, there is provided a substrate alignment apparatus for aligning a substrate, comprising: a support provided with a plurality of nozzles for ejecting air in a direction opposite to the load of the substrate while the substrate is supported; At least one push unit for moving the substrate in contact with the side surface of the substrate while the air is ejected from the nozzle while the substrate is supported by the support; And at least one guide portion installed adjacent to the substrate positioned on the support to guide the substrate so that the substrate is moved by the pusher to align the substrate at a predetermined position. Is achieved.

여기서, 상기 푸시부는 상기 기판을 가압하는 푸시핸드와, 상기 푸시핸드를 왕복운동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. The push unit may include a push hand for pressing the substrate and a driving unit for reciprocating the push hand.

한편, 상기 가이드부는 상기 기판이 상기 지지대에 위치한 상태에서, 상기 기판의 판면에 수직한 면을 갖고 상기 기판의 일측면에 대응하여 마련되는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the guide portion is characterized in that the substrate is located on the support, having a surface perpendicular to the plate surface of the substrate corresponding to one side of the substrate.

여기서, 상기 푸시부는 상기 제1가이드플레이트에 대응하는 기판의 일측면과 접하는 양측면과, 상기 기판을 중심으로 상기 가이드부와 대향되는 타측면에 각각 설치되는 것이 기판을 가이드부의 안내를 받아 정렬될 수 있어 바람직하다. Here, the push unit may be aligned on both sides of the side contact with one side of the substrate corresponding to the first guide plate, and the other side facing the guide unit around the substrate, respectively, guided by the guide portion of the substrate It is preferable.

한편, 상기 푸시부는 상기 기판을 중심으로 상기 가이드부에 대향되는 타측면의 각 모서리에 대응하여 각각 설치되고, 상기 푸시핸드는 상기 기판의 모서리의 형상에 대응하는 단면을 가지며, 상기 가이드부의 판면에 대하여 사선방향으로 왕복이동하는 것이 보다 간단한 구조로 기판을 정렬할 수 있어 바람직히다. On the other hand, the push unit is installed to correspond to each corner of the other side facing the guide portion with respect to the substrate, the push hand has a cross section corresponding to the shape of the edge of the substrate, and on the plate surface of the guide portion It is preferable to reciprocate in an oblique direction with respect to the substrate so that the substrate can be aligned in a simpler structure.

또한, 상기 지지대는 베이스와, 상기 베이스의 상면에 설치되는 지지핀과, 상기 지지핀의 내부에 형성되는 노즐을 포함하는 것이 기판과 지지대와의 접촉을 줄일 수 있어 더욱 바람직하다. The support may further include a base, a support pin installed on an upper surface of the base, and a nozzle formed in the support pin, thereby reducing contact between the substrate and the support.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, in the various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, different configurations from the first embodiment will be described. do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 정렬장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a substrate alignment apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 정렬장치를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 정렬장치는 상향으로 에어를 분사하는 노즐(21)을 구비하고 기판(10)이 적재되는 지지대(20)와, 노즐(21)로 공기를 공급하는 공급펌프(30)와, 기판(10)을 정렬시키기 위하여 소정거리 이동시키는 푸시부(40)와, 푸시부(40)에 의해 기판(10)이 정렬될 때 기판(10)을 정렬위치로 안내하는 가이드부(50)를 포함한다.1 is a perspective view showing a substrate alignment apparatus according to a first embodiment of the present invention. As shown in the drawing, the substrate aligning apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a support base 20 on which the substrate 10 is loaded and a nozzle 21 having a nozzle 21 for injecting air upwardly. When the substrate 10 is aligned by the supply pump 30 for supplying air, the push unit 40 for moving a predetermined distance to align the substrate 10, and the push unit 40, the substrate 10 is moved. And a guide part 50 to guide the alignment position.

지지대(20)에는 기판(10)이 지지대(20)에 적재된 상태에서 기판(10)을 이송시키는 이송로봇의 포크(60)가 삽입되는 삽입공간을 이루는 함몰부(22)가 형성되며, 노즐(21)은 함볼부(22)에 대하여 돌출된 영역에 마련된다. 노즐(21)은 지지대(10)의 내부에 형성된 유로(도 3의 23)를 통하여 후술할 공급펌프(30)와 연통되어 있다. The support 20 is formed with a depression 22 forming an insertion space into which the fork 60 of the transfer robot for transporting the substrate 10 is inserted in the state in which the substrate 10 is loaded on the support 20. 21 is provided in the area | region which protrudes with respect to the ball part 22. As shown in FIG. The nozzle 21 is in communication with a supply pump 30 to be described later through a flow path (23 of FIG. 3) formed inside the support 10.

공급펌프(30)는 지지대(10)의 내부에 형성된 유로(23)를 통하여 노즐로 공기를 공급한다. 공금펌프(30)에 의해 공급되는 공기가 노즐(21)을 통하여 상향으로 분사됨에 따라 지지대(20)에 적재된 기판(10)의 하중이 상대적으로 가벼워지는 효과를 얻을 수 있다.The supply pump 30 supplies air to the nozzle through the flow path 23 formed in the support 10. As the air supplied by the feed pump 30 is injected upward through the nozzle 21, the load of the substrate 10 loaded on the support 20 may be relatively light.

푸시부(40)는 지지대(20)에 기판(10)이 적재되었을 때, 기판(10)의 세변에 대응하여 마련되며, 기판(10)이 지지대(20)에 적재된 상태에서 기판(10)을 이동시켜 정렬하도록 기판(10)의 측면과 접촉하는 평편한 접촉면을 가진 푸시핸드(41)와, 푸시핸드(41)를 왕복이동시키는 구동부(43)를 갖는다. 푸시핸드(41)는 구동부(43)에 연결된 전달바(42)에 의해 구동부(43)로부터 구동을 전달받아 왕복이동하게 된다. 따라서, 구동부(43)는 유압 또는 공압등에 의해서 푸시핸드(41)를 전후로 왕복이동시켜주는 역할을 한다. 한편, 유압 및 공압 이외의 다른 구동매커니즘에 의해 푸시핸드를 왕복시켜줄 수도 있음은 물론이다. When the substrate 10 is loaded on the support 20, the pusher 40 is provided to correspond to three sides of the substrate 10, and the substrate 10 is mounted on the support 20. It has a push hand 41 having a flat contact surface in contact with the side of the substrate 10 to move and align it, and a drive unit 43 for reciprocating the push hand 41. The push hand 41 receives the drive from the drive unit 43 by the transfer bar 42 connected to the drive unit 43 to reciprocate. Therefore, the driving unit 43 serves to reciprocate the push hand 41 back and forth by hydraulic or pneumatic. On the other hand, it is also possible to reciprocate the push hand by a drive mechanism other than hydraulic and pneumatic.

가이드부(50)는 기판(10)이 지지대(20)에 적재된 상태에서 기판(10)의 일측면에 대응하는 위치에 마련되며, 기판(10)의 판면과 수직한 면을 갖는다. 즉, 기판(10)이 정렬된 위치에 맞도록 가이드부(50)가 위치하여 푸시부(40)에 의해 기판(10)이 정렬되는 위치를 안내한다. The guide part 50 is provided at a position corresponding to one side surface of the substrate 10 in a state in which the substrate 10 is mounted on the support 20, and has a surface perpendicular to the plate surface of the substrate 10. That is, the guide unit 50 is positioned to match the position at which the substrate 10 is aligned to guide the position at which the substrate 10 is aligned by the push unit 40.

이어 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 정렬장치의 작동에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. Next, the operation of the substrate alignment apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 정렬장치의 작동상태의 단면을 나타낸 작동도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 정렬장치의 작동상태의 평면을 나타낸 작동도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 기판(10)이 지지대(20)에 적재된 상태에서 지지대(20)에 마련된 노즐(21)로부터 상향으로 에어가 분사된다. 노즐(21)로부터 분사되는 에어에 의해 기판(10)은 상향으로 힘을 받게 되며, 이러한 상향의 힘이 기판의 하중을 상쇄시키는 역할을 한다. 즉, 에어의 분사없이 기판을 적재한 상태에서 기판을 이동시키기 위해서는 기판의 하중에 의해 매우 큰 힘이 필요하게 되나, 본 발명에 따른다면, 노즐(21)에 의해 분사되는 에어가 기판(10)의 하중을 상쇄하기 때문에 적은 힘으로도 기판(10)을 손쉽게 소정거리 이동시킬 수 있게 된 다. 2 is an operation view showing a cross section of the operation state of the alignment device according to the first embodiment of the present invention, Figure 3 is an operation view showing a plane of the operation state of the alignment device according to the first embodiment of the present invention. As shown in the figure, air is injected upward from the nozzle 21 provided in the support 20 in a state in which the substrate 10 is mounted on the support 20. The substrate 10 is forced upward by the air injected from the nozzle 21, and the upward force serves to cancel the load of the substrate. That is, in order to move the substrate in a state in which the substrate is loaded without jet of air, a very large force is required by the load of the substrate. However, according to the present invention, the air injected by the nozzle 21 is transferred to the substrate 10. Since it cancels the load of the substrate 10 can be easily moved a predetermined distance with a small force.

이어, 지지대(20)의 노즐(21)로부터 에어가 분사된 상태에서, 푸시부(40)의 푸시핸드(41)가 기판(10)의 측면과 접촉하여 이동시킨다. 이때, 가이드부(50)에 대향되는 위치의 푸시부(40a)는 가이드부(50)를 향하여 기판(10)의 일측면이 가이드부(50)에 접촉할 때 까지 기판(10)을 소정거리 이동시키며, 서로 마주보는 측면에 위치하는 푸시부(40b, 40c)는 서로 마주보는 방향으로 이동하여 기판을 이동시킨다. 따라서, 가이드부(50)와 가이드부(50)와 대향되는 방향에 위치한 푸시부(40a)는 기판(10)이 가이드부(50)에 접촉할 때까지 Y방향으로 기판(10)을 이동시키고, 서로 마주보는 푸시부(40b, 40c)는 X방향으로 기판을 이동시킴으로써 기판(10)을 소정의 위치로 정렬시킬 수 있다. 이때 가이드부(50)의 위치와 가이드부(50)와 마주보는 푸시부(40a)의 작동을 조정하여 Y방향의 정렬위치를 조절하며, 서로 마주보는 푸시부(40a, 40b)의 경우 각각 푸시핸드(41)의 이동거리를 조정하여 X방향의 정렬위치를 조절할 수 있다. Subsequently, in a state where air is injected from the nozzle 21 of the support 20, the push hand 41 of the pusher 40 moves in contact with the side surface of the substrate 10. At this time, the push portion 40a at a position opposite to the guide portion 50 moves the substrate 10 a predetermined distance until one side of the substrate 10 contacts the guide portion 50 toward the guide portion 50. The push parts 40b and 40c positioned on side surfaces facing each other move in a direction facing each other to move the substrate. Accordingly, the pusher 40a positioned in the direction opposite to the guide part 50 and the guide part 50 moves the substrate 10 in the Y direction until the substrate 10 contacts the guide part 50. In addition, the push parts 40b and 40c facing each other may align the substrate 10 to a predetermined position by moving the substrate in the X direction. At this time, the position of the guide unit 50 and the operation of the push unit 40a facing the guide unit 50 are adjusted to adjust the alignment position in the Y direction, and in the case of the push units 40a and 40b facing each other, respectively. By adjusting the moving distance of the hand 41, the alignment position in the X direction can be adjusted.

따라서, 무거운 하중을 갖는 대형의 기판(10)에 있어서도, 노즐(21)로부터 분사되는 에어에 의해 기판의 하중이 상쇄되므로 푸시부(40)의 구동부(43)의 용량이 크지 않더라도 손쉽게 기판(10)을 정렬시킬 수 있다. 이어, 소정의 위치에 정렬된 기판(10)을 이송로봇의 포크(60)를 이용하여 기판이 처리되는 공정에 투입하게 된다. 또한, 분사되는 에어에 의해 기판(10)과 지지대(20)의 접촉을 최대한 방지할 수 있어, 기판(10)의 정렬시 지지대(20)와의 접촉에 의한 기판(10)의 손상을 방지 할 수 있게 된다. Therefore, even in the large-scale board | substrate 10 which has a heavy load, since the load of a board | substrate is canceled by the air injected from the nozzle 21, even if the capacity | capacitance of the drive part 43 of the push part 40 is not large, the board | substrate 10 ) Can be sorted. Subsequently, the substrate 10 aligned at a predetermined position is input to a process in which the substrate is processed using the fork 60 of the transfer robot. In addition, the contact of the substrate 10 and the support 20 can be prevented as much as possible by the injected air, thereby preventing damage to the substrate 10 due to contact with the support 20 when the substrate 10 is aligned. Will be.

한편, 상술한 제1실시예의 설명에서 가이드부(50)가 하나이며, 푸시부(40)가 세 개인 경우를 설명하였으나, 가이드부(50)가 두 개로 마련되어 기판(10)의 네 변 중 인접한 두변에 접촉하고, 푸시부(40)가 가이드부(50)에 대향되는 위치에 두 개로 마련되어도 기판을 일정한 위치에 정렬시킬 수 있음은 물론이다. Meanwhile, in the above description of the first embodiment, the case where the guide unit 50 is one and the push unit 40 is three has been described. However, the guide unit 50 is provided in two and the four sides of the substrate 10 are adjacent to each other. Even if the two sides are in contact with each other and the push unit 40 is provided at a position opposite to the guide unit 50, the substrate may be aligned at a predetermined position.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 정렬장치에 대하여 설명한다. Next, a substrate alignment apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 정렬장치를 도시한 사시도이고, 도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 정렬장치의 작동상태의 평면을 도시한 작동도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예는 푸시부의 구성과 위치가 제1실시예와 다르며 나머지 구성은 동일하다. 4 is a perspective view illustrating a substrate aligning apparatus according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an operation view showing a plane of an operating state of the substrate aligning apparatus according to the second embodiment of the present invention. As shown in the figure, the second embodiment of the present invention is different from the first embodiment in the configuration and position of the push unit, the rest of the configuration is the same.

즉, 본 발명의 제2실시예에 따른 정렬장치는 푸시부(40)가 기판(10)을 중심으로 가이드부(50) 측의 반대측 양 모서리 부분에 기판(10)의 측면에 대하여 사선방향으로 위치하고, 푸시핸드(44)는 기판(10)의 모서리 부분의 형상에 대응되도록 "ㄴ"자 형상의 단면을 가지며, 기판(10)을 정렬하기 위한 푸시핸드(44)의 이동방향은 가이드부(50)에 대하여 사선방향(Z, Z'방향)을 갖는다. That is, in the alignment device according to the second embodiment of the present invention, the push unit 40 is disposed in an oblique direction with respect to the side surface of the substrate 10 at opposite corner portions on the opposite side of the guide unit 50 side with respect to the substrate 10. The push hand 44 has a cross section of a “b” shape so as to correspond to the shape of the edge portion of the substrate 10, and the direction of movement of the push hand 44 for aligning the substrate 10 is a guide portion ( It has a diagonal direction (Z, Z 'direction) with respect to 50).

따라서, 기판(10)을 정렬하기 위하여 푸시핸드(44)가 기판(10)의 가이드부(50)에 대향되는 양 모서리를 Z, Z'방향으로 밀어줌으로써 X방향 및 Y방향으로 정렬할 수 있게 된다. 즉, "ㄴ"형상의 단면에 의해서 한 번의 작동으로 기판을 X방향 및 Y방향으로 정렬하게 된다. Accordingly, in order to align the substrate 10, the push hand 44 pushes both edges opposite to the guide part 50 of the substrate 10 in the Z and Z 'directions so that the push hands 44 can align the X and Y directions. do. That is, the cross section of the "b" shape aligns the substrate in the X and Y directions in one operation.

다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 정렬장치에 대하여 설명한다. 도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 정렬장치를 도시한 사시도이며, 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 정렬장치의 작동을 도시한 작동도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예는 기판의 지지대의 구성이 상술한 제1 및 제2실시예와 다르며, 나머지 구성은 동일하다. Next, a substrate alignment apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described. 6 is a perspective view illustrating a substrate aligning apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an operation diagram illustrating an operation of the substrate aligning apparatus according to the third embodiment of the present invention. As shown in the figure, the third embodiment of the present invention differs from the first and second embodiments described above in the configuration of the support of the substrate, and the rest of the configuration is the same.

본 발명의 제3실시예의 지지대(20)는 베이스(24)와, 베이스(24)의 상면에 설치된 지지핀(25)과, 지지핀(25)의 내부에 설치된 노즐(26)을 포함한다. 즉, 베이스(24)의 상면에 지지핀(26)이 돌출되어 설치됨에 따라 이송로봇의 포크(60)가 기판(10)의 하면과 베이스(24) 사이의 공간으로 삽입되는 삽입공간이 형성된다. 또한, 지지핀(25)에 의해 기판(10)이 지지되므로 기판(10)과 접촉면적을 줄일 수 있게 된다. The support 20 of the third embodiment of the present invention includes a base 24, a support pin 25 provided on the upper surface of the base 24, and a nozzle 26 installed inside the support pin 25. That is, as the support pin 26 protrudes and is installed on the upper surface of the base 24, an insertion space is formed in which the fork 60 of the transfer robot is inserted into the space between the lower surface of the substrate 10 and the base 24. . In addition, since the substrate 10 is supported by the support pin 25, the contact area with the substrate 10 may be reduced.

노즐(26)은 지지핀(25)의 내부에 형성된다. 따라서, 지지핀(25)에 기판(10)이 지지된 상태에서, 지지핀(25)의 내부에 형성된 노즐(26)로부터 상향으로 분사되는 에어에 의해 기판(10)의 하중을 상쇄할 수 있어 상술한 제1실시예 및 제2실시예와 동일한 작동을 할 수 있다. The nozzle 26 is formed inside the support pin 25. Therefore, in the state in which the substrate 10 is supported by the support pin 25, the load of the substrate 10 can be canceled by the air injected upward from the nozzle 26 formed inside the support pin 25. The same operation as that of the first and second embodiments described above can be performed.

한편, 상술한 여러 실시예에서 정렬되는 기판을 사각형상으로 설정하여 설명하였으나, 기판의 형상이 사각형상이 아닌 경우에도 푸시부와 가이드부를 기판의 형상에 맞추어 적절히 배치한다면 상술한 작동을 얻을 수 있음은 물론이다. On the other hand, in the above-described embodiments, the substrate to be aligned is described by setting the quadrangular shape, but even when the shape of the substrate is not a rectangular shape, the above operation can be obtained if the push part and the guide part are properly arranged in accordance with the shape of the substrate. Of course.

또한, 본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니라 첨부된 특허청구범위내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 가능한 다양한 변형 가능한 범위까지 본 발명의 청구 범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.Further, the scope of the present invention is not limited to the above embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention as claimed in the claims, any person of ordinary skill in the art is considered to be within the scope of the claims described in the present invention to the extent possible to vary.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 간단한 구조를 가지며 작은 힘으로도 무거운 하중을 가진 기판을 정렬할 수 있는 기판 정렬장치가 제공된다. As described above, according to the present invention, there is provided a substrate alignment apparatus capable of aligning a substrate having a simple structure and having a heavy load with a small force.

또한, 기판을 정렬할 때, 기판을 지지하는 지지대 기판의 접촉을 방지하여 기판의 손상을 줄이며, 이에 따라 제품의 불량을 방지할 수 있는 기판 정렬장치가 제공된다. In addition, when aligning the substrate, it is possible to prevent the contact of the support substrate supporting the substrate to reduce the damage of the substrate, thereby providing a substrate alignment apparatus that can prevent the defect of the product.

Claims (6)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기판을 정렬하는 기판 정렬장치에 있어서,In the substrate aligning apparatus for aligning the substrate, 베이스(24)와, 상기 베이스(24)의 상면에 돌출 형성되는 다수의 지지핀(25)과, 이송로봇의 포크(60)가 삽입되도록 상기 지지핀(25)들의 사이에 형성되는 삽입공간과, 상기 지지핀(25)의 내부에 형성되어 기판(10)이 지지된 상태에서 기판(10)의 하중에 대향하는 방향으로 에어를 분출하는 노즐(21)이 마련된 지지대(20)와;An insertion space formed between the base 24, a plurality of support pins 25 protruding from the upper surface of the base 24, and the support pins 25 so that the fork 60 of the transfer robot is inserted therein; A support 20 formed in the support pin 25 and provided with a nozzle 21 for ejecting air in a direction opposite to the load of the substrate 10 while the substrate 10 is supported; 상기 지지대(20)에 기판(10)이 지지된 상태에서, 상기 노즐(21)로부터 에어가 분사됨과 동시에 상기 기판(10)의 적어도 하나의 측면과 접촉하여 기판(10)을 이동시키는 적어도 하나의 푸시부(40) 및;At least one movement of the substrate 10 in contact with at least one side surface of the substrate 10 at the same time as air is ejected from the nozzle 21 while the substrate 10 is supported by the support 20. Push unit 40; 기판(10)이 상기 푸시부(40)에 의해 이동될 때 기판(10)을 소정 위치에 정렬하기 위하여 기판(10)을 안내하도록, 상기 지지대(20)에 위치한 기판(10)의 일측면과 인접하여 설치되는 적어도 하나의 가이드부(50)를 포함하는 기판 정렬장치.When the substrate 10 is moved by the pusher 40 and one side of the substrate 10 located on the support 20 to guide the substrate 10 to align the substrate 10 to a predetermined position and Substrate alignment device comprising at least one guide unit 50 is installed adjacently.
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