KR100730217B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는포토 마스크 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는포토 마스크 Download PDF

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Abstract

본 발명은 저비용으로 제조가능한 개구율이 확보된 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는 포토 마스크를 위하여, (i) 제 1 기판 상에 도전층과 상기 도전층을 덮는 포토 리지스트층을 형성하는 단계와, (ii) 상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하되, 잔존 포토 리지스트층의 형상이 상호 이격되어 배치되는 제 1 라인과 제 2 라인을 구비하는 복수개의 라인쌍들을 구비하고, 상기 제 1 라인과 상기 제 2 라인은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 패턴들과 상기 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 상기 스트라이프 패턴과 상기 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 상기 스트라이프 패턴의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 폭은 상기 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작도록 하는 단계와, (iii) 상기 도전층의 상기 잔존 포토 리지스트층 외측으로 노출된 부분을 식각하여 제 1 버스전극과 제 2 버스전극을 구비하는 복수개의 버스전극쌍들을 형성하되, 상기 제 1 버스전극과 상기 제 2 버스전극은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 형상의 전극들과 상기 스트라이프 형상의 전극들을 상호 연결시키는 쇼트바들을 구비하도록 하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는 포토 마스크를 제공한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는 포토 마스크{Method of manufacturing plasma display panel and photomask to be used in that method}
도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널을 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II 선을 따라 취한 단면을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 3은 다른 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 전극들의 배치구조를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3의 버스전극쌍들의 일부분의 사진이다.
도 5는 도 4의 A부분을 확대한 사진이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 다른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조공정의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 7 내지 도 9는 도 6의 B 부분을 확대 도시한 평면도들이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 다른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조공정의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
211: 제 1 기판 210a: 도전층
210d: 포토 리지스트층 300: 포토 마스크
301: 투명 기판 314: 차단라인쌍
312: 제 1 차단라인 313: 제 2 차단라인
3121, 3122, 3123, 3131, 3132, 3133: 스트라이프 패턴
3124, 3134: 쇼트바 패턴
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는 포토 마스크에 관한 것으로서, 더 상세하게는 저비용으로 제조가능한 개구율이 확보된 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는 포토 마스크에 관한 것이다.
일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma display panel)은 기체방전으로 생성된 자외선으로 형광체를 여기시켜 소정의 영상을 구현하는 평판 디스플레이 패널로서, 박형화가 가능하고 고해상도의 대화면 구성이 가능하여 차세대 박형 평판 디스플레이 패널로서 각광받고 있다. 이러한 플라즈마 디스플레이 패널의 발광효율을 높이기 위해서는, 패널 내부의 방전가스를 여기시키기 위한 유지 방전이 일어나는 공간의 체적이 커야 한다는 것, 형광체층의 표면적이 넓어야 한다는 것, 그리고 형광체층으로부터 방출되는 가시광선을 방해하는 구성요소가 적어야 한다는 것 등의 조건을 만족시켜야 된다.
도 1에는 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 일 예가 도시되어 있으며, 도 2에는 도 1의 II-II선을 따라 취한 단면이 도시되어 있다. 이 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 서로 대향된 제 1 기판(111)과 제 2 기판(121)을 구비한다. 상기 제 1 기판의 상기 제 2 기판 방향의 면(111a) 상에는 유지 전극쌍(114)들이 배치되고, 이 유지 전극쌍(114)들을 덮는 제 1 유전체층(115) 및 상기 제 1 유전체층(115)을 덮는 보호층(116)이 구비된다. 유지 전극쌍(114)은 X전극(112)과 Y전극(113)을 구비하며, X전극(112)과 Y전극(113)은 각각 투명전극(112b, 113b)과 버스전극(112a, 113a)을 구비한다. 제 1 기판(111)에 대향된 제 2 기판(121)의 제 1 기판 방향의 면(121a) 상에는 서로 평행하게 배치된 어드레스 전극(122)들이 구비되고, 이 어드레스 전극들을 덮는 제 2 유전체층(123), 제 2 유전체층(123) 상에 형성된 격벽(124), 그리고 제 2 유전체층(123)의 제 1 기판(111) 방향의 면과 격벽(124)의 측면에 형성된 형광체층(125)이 구비된다.
그러나 이러한 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 경우, 그 제조비용이 비싸다는 문제점이 있었다. 즉, 제 1 기판(111) 상에 형성되는 유지 전극쌍(114)은 X전극(112)과 Y전극(113)을 구비하며, X전극(112)과 Y전극(113)은 각각 투명전극(112b, 113b)과 버스전극(112a, 113a)을 구비하는데, 투명전극(112b, 113b)은 주로 ITO 등과 같은 재료로 형성하였는 바, 이러한 투명전극 형성용 재료는 그 가격이 저렴하지 않아 결과적으로 플라즈마 디스플레이 패널의 제조비용 상승의 원인이 된다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 도 3에 도시된 바와 같이 투명전극을 형 성하지 않고 버스전극쌍(104)만으로 이루어진 유지 전극쌍을 이용하는 것이 제안되었다. 즉, 버스전극쌍(104)의 제 1 버스전극(102)과 제 2 버스전극(103)을 격자 형태로 형성하여 이를 유지 전극쌍으로 이용하는 것이다. 보다 상세히 설명하면, 제 1 버스전극(102)과 제 2 버스전극(103)이 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 형상의 전극들(1021, 1022, 1023, 1031, 1032, 1033)과 이 스트라이프 형상의 전극들(1021, 1022, 1023, 1031, 1032, 1033)을 상호 연결시키는 쇼트바들(1024, 1034)을 구비하도록 함으로써, 격자 형상의 버스전극쌍들을 형성하여 값비싼 투명 전극을 형성하지 않고 저렴한 비용으로 플라즈마 디스플레이 패널을 제조한다는 것이다.
그러나 이러한 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 경우, 광취출율이 저하된다는 문제점이 있었다.
도 4는 도 3의 버스전극쌍(104)들의 일부분의 사진이고, 도 5는 도 4의 A부분을 확대한 사진이다. 도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 종래의 제조방법에 따라 제조된 버스전극쌍들로 이루어진 유지 전극쌍들을 구비하는 플라즈마 디스플레이 패널의 경우, 스트라이프 형상의 전극들(1021, 1022, 1023, 1031, 1032, 1033)과 쇼트바들(1024, 1034)이 교차하거나 만나는 부분 인근의 스트라이프 형상의 전극들(1021, 1022, 1023, 1031, 1032, 1033)의 폭과 쇼트바들(1024, 1034)의 폭이 커짐에 따라, 방전셀 내에서 발생한 광이 외부로 취출되는 것이 방해되어 결국 광취출율이 저하된다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 저비용으로 제조가능한 개구율이 확보된 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는 포토 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 (i) 제 1 기판 상에 도전층과 상기 도전층을 덮는 포토 리지스트층을 형성하는 단계와, (ii) 상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하되, 잔존 포토 리지스트층의 형상이 상호 이격되어 배치되는 제 1 라인과 제 2 라인을 구비하는 복수개의 라인쌍들을 구비하고, 상기 제 1 라인과 상기 제 2 라인은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 패턴들과 상기 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 상기 스트라이프 패턴과 상기 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 상기 스트라이프 패턴의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 폭은 상기 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작도록 하는 단계와, (iii) 상기 도전층의 상기 잔존 포토 리지스트층 외측으로 노출된 부분을 식각하여 제 1 버스전극과 제 2 버스전극을 구비하는 복수개의 버스전극쌍들을 형성하되, 상기 제 1 버스전극과 상기 제 2 버스전극은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 형상의 전극들과 상기 스트라이프 형상의 전극들을 상호 연결시키는 쇼트바들을 구비하도록 하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공한다.
이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 포토 리지스트층은 네가티브 포토 리지스트층인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 포토 리지스트층은 파지티브 포토 리지스트층인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 스트라이프 형상의 복수개의 어드레스 전극들과, 가스방전이 일어나는 방전셀들을 한정하는 격벽과, 상기 방전셀들 내에 배치된 형광체층을 구비한 제 2 기판을 상기 제 1 기판과 합착하되, 상기 버스전극쌍들과 상기 어드레스 전극들이 교차하도록 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 합착하는 단계를 더 구비하는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 버스전극쌍들을 덮는 제 1 유전체층을 형성하는 단계를 더 구비하는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 도전층은 2층 구조인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 도전층의 상부층의 반사율은 상기 도전층의 하부층의 반사율보다 큰 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 도전층의 상부층의 광흡수율은 상기 도전층의 하부층의 광흡수율보다 작은 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하는 단계는, 포토마스크를 이용하여 이루어지는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하는 단계는, 다이렉트 이미지 노광법을 이용하여 이루어지는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 제 1 기판 상에 도전층과 상기 도전 층을 덮는 포토 리지스트층을 형성하는 단계는, 도전층과 상기 도전층을 덮는 포토리지스트층을 구비하는 필름을 상기 제 1 기판 상에 부착하는 단계인 것으로 할 수 있다.
본 발명은 또한, (i) 제 1 기판 상에 도전층과 상기 도전층을 덮는 포토 리지스트층을 형성하는 단계와, (ii) 상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하되, 잔존 포토 리지스트층의 형상이 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 패턴들과 상기 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 상기 스트라이프 패턴과 상기 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 상기 스트라이프 패턴의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 폭은 상기 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작도록 하는 단계와, (iii) 상기 도전층의 상기 잔존 포토 리지스트층 외측으로 노출된 부분을 식각하여 전극을 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공한다.
본 발명은 또한, (i) 투명 기판과, (ii) 상기 투명 기판 상에 배치되며, 상호 이격된 제 1 개구부와 제 2 개구부를 갖는 복수개의 개구부쌍들을 구비하되, 상기 제 1 개구부와 상기 제 2 개구부는 각각 일 방향으로 연장된 복수개의 스트라이프 형상의 제 1 개구와 상기 제 1 개구들을 상호 연결시키는 제 2 개구들을 구비하며, 상기 제 1 개구와 상기 제 2 개구가 만나는 지점 인근의 상기 제 1 개구의 폭과 상기 제 2 개구의 폭은 상기 제 1 개구의 다른 부분의 폭과 상기 제 2 개구의 다른 부분의 폭보다 작은 차단부를 구비하는 것을 특징으로 하는 포토 마스크를 제공한다.
본 발명은 또한, (i) 투명 기판과, (ii) 상기 투명 기판 상에 배치되며, 상호 이격된 제 1 차단라인과 제 2 차단라인을 갖는 복수개의 차단라인쌍들을 구비하되, 상기 제 1 차단라인과 상기 제 2 차단라인은 각각 일 방향으로 연장된 복수개의 스트라이프 패턴들과 상기 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 상기 스트라이프 패턴과 상기 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 상기 스트라이프 패턴의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 폭은 상기 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작은 차단부를 구비하는 것을 특징으로 하는 포토 마스크를 제공한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 다른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조공정의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
먼저 제 1 기판(211) 상에 도전층(210a)과 이 도전층(210a)을 덮는 포토 리지스트층(210d)을 형성한다. 도전층(210a)은 단층일 수도 있고 필요에 따라 복층일 수도 있다. 여기서 도전층(210a)은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 버스전극에 대응하는 것일 수 있다. 도 6에서는 도전층(210a)이 2층 구조인 것이 도시되어 있다.
이 경우, 도전층(210a)의 상부층(210b)은 그 반사율이 도전층(210a)의 하부층(210c)의 반사율보다 크도록 할 수 있다. 즉, 도전층(210a)의 상부층(210b)의 광흡수율이 도전층(210a)의 하부층(210c)의 광흡수율보다 작도록 할 수 있다. 이는, 플라즈마 디스플레이 패널이 완성된 후 방전셀 내에서 생성된 광은 도전층(210a)이 패터닝되어 형성되는 버스전극쌍들 사이를 거쳐 제 1 기판(211)을 통해 외부로 취출되는데, 이때 광이 버스전극쌍들에 흡수되지 않도록 하기 위하여 버스전극쌍들의 표면의 물질은 반사율이 높은 것, 즉 광흡수율이 낮은 것이 바람직하기 때문이다. 한편 플라즈마 디스플레이 패널의 외부에서 패널 내로 입사하는 외광을 차단하는 것 역시 중요한 바, 이를 위하여 외광이 제 1 기판(211)을 통해 플라즈마 디스플레이 패널 내로 들어올 때 최초 접하게 되는 버스전극쌍들에서 흡수되도록 도전층(210a)의 하부층(210c)을 반사율이 낮은 재료, 즉 광흡수율이 높은 재료로 형성하는 것이다.
이와 같은 도전층(210a)의 재료로서, 상부층(210b)은 은(Ag)과 바인더 등을 혼합한 물질로 형성된 것을 이용할 수 있으며, 하부층(210c)은 은(Ag)과 바인더와 흑색 염료 등을 혼합한 물질로 형성된 것을 이용할 수 있다. 흑색 염료로는 크롬(Cr) 또는 코발트(Co) 등을 비롯한 다양한 물질을 이용할 수 있다. 물론 본 발명에 이용가능한 도전층(210a)의 재료 및 구조가 이에 한정되는 것은 아니며, 3층 이상의 구조로 하는 등 다양한 변형이 가능하다. 또한 도전층(210a)의 하부층(210c)은 도전성을 갖지 않을 수도 있다.
이러한 다층 구조의 도전층(210a)의 각 층은 별도로 형성할 수도 있고 일시에 형성할 수도 있다. 후자의 경우, 예컨대 필름 상에 다층 구조의 도전층(210a)을 형성한 후 이를 기판(211) 상에 전사하는 방법을 이용할 수도 있다.
이와 같이 제 1 기판(211) 상에 도전층(210a)과 이를 덮는 포토 리지스트 층(210d)을 형성한 후, 도 6에 도시된 바와 같이 포토 마스크(300)를 이용하여 포토 리지스트층(210d)을 노광 및 현상한다. 도 6에서는 포토 리지스트층(210d)이 노광된 부분의 결합이 약해지는 파지티브 포토 리지스트층인 경우를 도시하고 있다.
포토 마스크(300)는 글라스재 기판과 같이 자외선 또는 레이저 등이 통과할 수 있는 투명 기판(301)과 이 투명 기판(301) 상에 배치된 니켈(Ni), 크롬(Cr) 또는 코발트(Co) 등과 같은 광을 차폐할 수 있는 물질로 형성된 차단부를 구비한다. 이 차단부는 차단라인쌍(314)들을 구비하는데, 각 차단라인쌍(314)은 상호 이격된 제 1 차단라인(312)과 제 2 차단라인(313)을 갖는다. 제 1 차단라인(312)은 일 방향으로 연장된 복수개의 스트라이프 패턴들(3121, 3122, 3123)과 이 스트라이프 패턴들(3121, 3122, 3123)을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴(3124)들을 구비한다. 제 2 차단라인(313) 역시 일 방향으로 연장된 복수개의 스트라이프 패턴들(3131, 3132, 3133)과 이 스트라이프 패턴들(3131, 3132, 3133)을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴(3134)들을 구비한다.
도 7은 도 6의 B 부분, 즉 포토 마스크(300)의 스트라이프 패턴(3122)과 쇼트바 패턴(3124)이 만나는 부분을 확대 도시한 평면도들이다.
도 7을 참조하면, 스트라이프 패턴(3122)과 쇼트바 패턴(3124)이 만나는 지점 인근의 스트라이프 패턴(3122)의 폭과 쇼트바 패턴(3124)의 폭은, 스트라이프 패턴(3122)의 다른 부분의 폭과 쇼트바 패턴(3124)의 다른 부분의 폭보다 작게 되어 있다.
전극 형성을 위한 종래의 제조방법에서 사용된 포토 마스크의 경우, 포토 마 스크의 차단부의 패턴들이 상호 교차하는 부분에 있어서 이러한 폭의 변화 없이 패턴들이 모두 동일한 폭을 가졌다. 그 결과 도 5에 도시된 바와 같이 스트라이프 형상의 전극들(1021, 1022, 1023, 1031, 1032, 1033)과 쇼트바들(1024, 1034)이 교차하거나 만나는 부분 인근의 스트라이프 형상의 전극들(1021, 1022, 1023, 1031, 1032, 1033)의 폭과 쇼트바들(1024, 1034)의 폭이 커짐에 따라, 방전셀 내에서 발생한 광이 외부로 취출되는 것이 방해되어 결국 광취출율이 저하된다는 문제점이 있었다.
본 발명에서는 이러한 문제점을 해결하기 위하여 도 6 및 도 7에 예시적으로 도시된 바와 같이 스트라이프 패턴들(3121, 3122, 3123, 3131, 3132, 3133)과 쇼트바 패턴들(3124, 3134)이 만나는 지점 인근의 스트라이프 패턴들(3121, 3122, 3123, 3131, 3132, 3133)의 폭과 쇼트바 패턴들(3124, 3134)의 폭이 스트라이프 패턴들(3121, 3122, 3123, 3131, 3132, 3133)의 다른 부분의 폭과 쇼트바 패턴들(3124, 3134)의 다른 부분의 폭보다 작게 형성된 차단부를 갖는 포토 마스크(300)를 이용한다.
이러한 포토 마스크를 이용하여 파지티브 포토 리지스트층인 포토 리지스트층(210d)을 노광 및 현상함으로써, 잔존 포토 리지스트층의 형상이 상호 이격되어 배치되는 제 1 라인과 제 2 라인을 구비하는 복수개의 라인쌍들을 구비하고, 제 1 라인과 제 2 라인은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 패턴들과 이 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 스트라이프 패턴과 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 스트라이프 패턴의 폭과 쇼트바 패턴의 폭이 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작도록 한다.
물론 이러한 포토 마스크를 이용하지 않고 다이렉트 이미지 노광법을 이용할 수도 있다. 즉, 포토 리지스트층에 광을 조사하여 포토 리지스트층을 노광시키되, 광을 포토 리지스트층 전 영역에 걸쳐 일시에 조사하는 것이 아니라 노광될 부분에만 광을 집속하여 조사할 수도 있다. 예컨대 레이저빔을 이용하여 노광시킬 경우에는, 레이저빔을 방출시키는 광원을 이동시켜가며 포토 리지스트층의 노광될 부분에만 레이저빔이 조사되도록 한다.
그 후 도전층(210a)의 잔존 포토 리지스트층 외측으로 노출된 부분을 식각함으로써 제 1 버스전극과 제 2 버스전극을 구비하는 복수개의 버스전극쌍들을 형성한다. 제 1 버스전극과 제 2 버스전극은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 형상의 전극들과 이 스트라이프 형상의 전극들을 상호 연결시키는 쇼트바들을 구비하게 된다. 이때, 그 상부의 잔존 포토 리지스트층의 패턴에 있어서 패턴이 상호 교차하는 부분 인근의 패턴의 폭이 패턴의 다른 부분의 폭보다 작기 때문에, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 제 1 버스전극과 제 2 버스전극 각각의 스트라이프 형상의 전극들과 쇼트바들이 교차하거나 만나는 부분 인근의 스트라이프 형상의 전극들의 폭과 쇼트바들의 폭이 커지지 않게 되며, 그 결과 방전셀 내에서 발생한 광이 외부로 취출되는 과정에 있어서 광 손실 없이 취출되도록 함으로써 광취출율을 획기적으로 향상시킬 수 있다.
물론 포토 마스크(300)의 차단부에 있어서 패턴들이 교차하거나 만나는 부분 의 형상은 도 7에 도시된 형상에 한정되지 않으며, 도 8 및 도 9에 도시된 것과 같이 다양한 변형이 가능하다. 즉, 포토 마스크(300)의 차단부의 스트라이프 패턴(3122)과 쇼트바 패턴(3124)이 만나는 지점 인근의 스트라이프 패턴(3122)의 폭과 쇼트바 패턴(3124)의 폭이, 스트라이프 패턴(3122)의 다른 부분의 폭과 쇼트바 패턴(3124)의 다른 부분의 폭보다 작기만 하면 된다.
이와 같이 도전층을 패터닝하여 버스전극쌍들을 형성한 후, 이 버스전극쌍들을 덮는 제 1 유전체층을 형성함으로써, 제 1 기판(211)을 구비하는 전면 패널을 완성한다. 이 제 1 유전체층은 버스전극쌍의 제 1 버스전극과 제 2 버스전극이 서로 직접 통전되는 것을 방지하고, 하전 입자가 버스전극들에 충돌함으로써 이들을 손상시키는 것을 방지하기 위함이다. 이와 같은 유전체로는 PbO, B2O3 및 SiO2 등이 있다. 이때, 완성된 후의 방전셀 내에서 발생된 광이 제 1 기판(211)을 통해 외부로 취출되는 경우, 제 1 유전체층은 투명한 물질로 형성되도록 할 수 있다. 물론 필요에 따라 이러한 제 1 유전체층을 덮는 보호막이 더 구비될 수도 있다.
그리고 스트라이프 형상의 복수개의 어드레스 전극들과, 가스방전이 일어나는 방전셀들을 한정하는 격벽과, 방전셀들 내에 배치된 형광체층을 구비한 제 2 기판을 제조한 후, 이 제 2 기판과 제 1 기판을 합착하여 플라즈마 디스플레이 패널을 완성시킨다. 이때, 버스전극쌍들과 어드레스 전극들이 교차하도록 제 1 기판과 제 2 기판을 합착한다.
도 10은 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 다른 플라즈마 디스플레이 패 널의 제조공정의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
전술한 실시예에서는 포토 리지스트층으로 파지티브 포토 리지스트층을 이용한 경우에 대해 설명하고 있으나, 도 10에 도시된 바와 같이 네가티브 포토 리지스트층을 이용한 경우에도 적용될 수 있음은 물론이다.
먼저 제 1 기판(211) 상에 도전층(210a)과 이를 덮는 포토 리지스트층(210d)을 형성한 후, 도 10에 도시된 바와 같이 포토 마스크(400)를 이용하여 포토 리지스트층(210d)을 노광 및 현상한다.
포토 마스크(400)는 글라스재 기판과 같이 자외선 또는 레이저 등이 통과할 수 있는 투명 기판(401)과 이 투명 기판(401) 상에 배치된 니켈(Ni), 크롬(Cr) 또는 코발트(Co) 등과 같은 광을 차폐할 수 있는 물질로 형성된 차단부를 구비한다.
차단부는 복수개의 개구부쌍(414)들을 구비하는데, 각 개구부쌍(414)은 상호 이격된 제 1 개구부(412)와 제 2 개구부(413)를 갖는다. 제 1 개구부(412)는 일 방향으로 연장된 복수개의 스트라이프 형상의 제 1 개구들(4121, 4122, 4123)과 이 제 1 개구들(4121, 4122, 4123)을 상호 연결시키는 제 2 개구(4124)들을 구비한다. 제 2 개구부(413) 역시 일 방향으로 연장된 복수개의 스트라이프 형상의 제 1 개구들(4131, 4132, 4133)과 이 제 1 개구들(4131, 4132, 4133)을 상호 연결시키는 제 2 개구(4134)들을 구비한다.
도 11은 도 10의 C 부분, 즉 포토 마스크(400)의 제 1 개구(4122)와 제 2 개구(4124)가 만나는 부분을 확대 도시한 평면도이다.
도 11을 참조하면, 제 1 개구(4122)와 제 2 개구(4124)가 만나는 지점 인근 의 제 1 개구(4122)의 폭과 제 2 개구의 폭(4124)은, 제 1 개구(4122)의 다른 부분의 폭과 제 2 개구(4124)의 다른 부분의 폭보다 작게 되어 있다.
이러한 포토 마스크를 이용하여 네가티브 포토 리지스트층인 포토 리지스트층(210d)을 노광 및 현상함으로써, 잔존 포토 리지스트층의 형상이 상호 이격되어 배치되는 제 1 라인과 제 2 라인을 구비하는 복수개의 라인쌍들을 구비하고, 제 1 라인과 제 2 라인은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 패턴들과 이 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 스트라이프 패턴과 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 스트라이프 패턴의 폭과 쇼트바 패턴의 폭이 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작도록 한다.
그 후 도전층(210a)의 잔존 포토 리지스트층 외측으로 노출된 부분을 식각함으로써 제 1 버스전극과 제 2 버스전극을 구비하는 복수개의 버스전극쌍들을 형성한다. 제 1 버스전극과 제 2 버스전극은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 형상의 전극들과 이 스트라이프 형상의 전극들을 상호 연결시키는 쇼트바들을 구비하게 된다. 이때, 그 상부의 잔존 포토 리지스트층의 패턴에 있어서 패턴이 상호 교차하는 부분 인근의 패턴의 폭이 패턴의 다른 부분의 폭보다 작기 때문에, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 제 1 버스전극과 제 2 버스전극 각각의 스트라이프 형상의 전극들과 쇼트바들이 교차하거나 만나는 부분 인근의 스트라이프 형상의 전극들의 폭과 쇼트바들의 폭이 커지지 않게 되며, 그 결과 방전셀 내에서 발생한 광이 외부로 취출되는 과정에 있어서 광 손실 없이 취출되도록 함으로써 광취출 율을 획기적으로 향상시킬 수 있다.
물론 포토 마스크(400)의 차단부에 있어서 제 1 개구와 제 2 개구가 교차하거나 만나는 부분의 형상은 도 11에 도시된 형상에 한정되지 않으며, 다양한 변형이 가능하다. 즉, 포토 마스크(400)의 차단부의 제 1 개구(4121, 4122, 4123, 4131, 4132, 4133)와 제 2 개구(4124, 4134)가 만나는 지점 인근의 제 1 개구(4121, 4122, 4123, 4131, 4132, 4133)의 폭과 제 2 개구의 폭(4124, 4134)이, 제 1 개구(4121, 4122, 4123, 4131, 4132, 4133)의 다른 부분의 폭과 제 2 개구(4124, 4134)의 다른 부분의 폭보다 작기만 하면 된다.
이와 같은 포토 마스크를 이용하여 플라즈마 디스플레이 패널을 제조함으로써, 종래의 포토 마스크 및 이를 이용한 제조방법에 의해 제조된 플라즈마 디스플레이 패널에 비하여 광취출율이 획기적으로 향상된 플라즈마 디스플레이 패널을 제조할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이에 사용되는 포토 마스크에 따르면, 광취출율이 획기적으로 향상된 플라즈마 디스플레이 패널을 제조할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (14)

  1. 제 1 기판 상에 도전층과 상기 도전층을 덮는 포토 리지스트층을 형성하는 단계;
    상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하여, 상기 포토 리지스트층의 형상이, 상호 이격되어 배치되는 제 1 라인과 제 2 라인을 구비하는 복수개의 라인쌍들을 구비하고, 상기 제 1 라인과 상기 제 2 라인은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 패턴들과 상기 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 상기 스트라이프 패턴과 상기 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 상기 스트라이프 패턴의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 폭은 상기 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작도록 하는 단계; 및
    상기 도전층의 상기 잔존 포토 리지스트층 외측으로 노출된 부분을 식각하여 제 1 버스전극과 제 2 버스전극을 구비하는 복수개의 버스전극쌍들을 형성하되, 상기 제 1 버스전극과 상기 제 2 버스전극은 각각 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 형상의 전극들과 상기 스트라이프 형상의 전극들을 상호 연결시키는 쇼트바들을 구비하도록 하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 포토 리지스트층은 네가티브 포토 리지스트층인 것을 특징으로 하는 플 라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 포토 리지스트층은 파지티브 포토 리지스트층인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    스트라이프 형상의 복수개의 어드레스 전극들과, 가스방전이 일어나는 방전셀들을 한정하는 격벽과, 상기 방전셀들 내에 배치된 형광체층을 구비한 제 2 기판을 상기 제 1 기판과 합착하되, 상기 버스전극쌍들과 상기 어드레스 전극들이 교차하도록 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 합착하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 버스전극쌍들을 덮는 제 1 유전체층을 형성하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 도전층은 2층 구조인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 도전층의 상부층의 반사율은 상기 도전층의 하부층의 반사율보다 큰 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 도전층의 상부층의 광흡수율은 상기 도전층의 하부층의 광흡수율보다 작은 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하는 단계는, 포토마스크를 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하는 단계는, 다이렉트 이미지 노광법을 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 기판 상에 도전층과 상기 도전층을 덮는 포토 리지스트층을 형성하는 단계는, 상기 도전층과 상기 도전층을 덮는 포토리지스트층을 구비하는 필름을 상기 제 1 기판 상에 부착하는 단계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 제조방법.
  12. 제 1 기판 상에 도전층과 상기 도전층을 덮는 포토 리지스트층을 형성하는 단계;
    상기 포토 리지스트층을 노광 및 현상하여, 상기 포토 리지스트층의 형상이, 일 방향으로 연장되는 복수개의 스트라이프 패턴들과 상기 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 상기 스트라이프 패턴과 상기 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 상기 스트라이프 패턴의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 폭은 상기 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작도록 하는 단계; 및
    상기 도전층의 상기 잔존 포토 리지스트층 외측으로 노출된 부분을 식각하여 전극을 형성하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  13. 투명 기판; 및
    상기 투명 기판 상에 배치되며, 상호 이격된 제 1 개구부와 제 2 개구부를 갖는 복수개의 개구부쌍들을 구비하되, 상기 제 1 개구부와 상기 제 2 개구부는 각각 일 방향으로 연장된 복수개의 스트라이프 형상의 제 1 개구와 상기 제 1 개구들 을 상호 연결시키는 제 2 개구들을 구비하며, 상기 제 1 개구와 상기 제 2 개구가 만나는 지점 인근의 상기 제 1 개구의 폭과 상기 제 2 개구의 폭은 상기 제 1 개구의 다른 부분의 폭과 상기 제 2 개구의 다른 부분의 폭보다 작은 차단부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 포토 마스크.
  14. 투명 기판; 및
    상기 투명 기판 상에 배치되며, 상호 이격된 제 1 차단라인과 제 2 차단라인을 갖는 복수개의 차단라인쌍들을 구비하되, 상기 제 1 차단라인과 상기 제 2 차단라인은 각각 일 방향으로 연장된 복수개의 스트라이프 패턴들과 상기 스트라이프 패턴들을 상호 연결시키는 쇼트바 패턴들을 구비하며, 상기 스트라이프 패턴과 상기 쇼트바 패턴이 만나는 지점 인근의 상기 스트라이프 패턴의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 폭은 상기 스트라이프 패턴의 다른 부분의 폭과 상기 쇼트바 패턴의 다른 부분의 폭보다 작은 차단부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 포토 마스크.
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