KR100729208B1 - 표면 조도 및 광택이 우수한 경질 박막 및 이의제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
실험 No. | 이온에칭시간 (에칭방법) | 표면조도 Ra (㎛) | 조대입자유무 | 광택 유무 | |
측면 | 상하면 | ||||
1 | 무 | 0.090 | 유 | 무 | 무 |
2 | 10분(금속) | 0.065 | 유 | 약 | 무 |
3 | 30분(금속) | 0.043 | 무 | 강 | 약 |
4 | 60분(금속) | 0.019 | 무 | 강 | 약 |
5 | 90분(금속) | 0.020 | 무 | 강 | 약 |
6 | 10분(가스) | 0.076 | 유 | 약 | 무 |
7 | 30분(가스) | 0.056 | 유 | 약 | 무 |
8 | 60분(가스) | 0.043 | 무 | 강 | 약 |
9 | 90분(가스) | 0.039 | 무 | 강 | 약 |
실험 No. | 이온에칭시간 (에칭방법) | 조대입자유무 | 광택 유무 | |
측면 | 상하면 | |||
1 | 10분(금속) | 유 | 무 | 무 |
2 | 30분(금속) | 유 | 약 | 무 |
3 | 60분(금속) | 유 | 약 | 약 |
4 | 90분(금속) | 유 | 약 | 약 |
5 | 10분(가스) | 유 | 무 | 무 |
6 | 30분(가스) | 유 | 약 | 약 |
7 | 60분(가스) | 유 | 약 | 강 |
8 | 90분(가스) | 유 | 약 | 강 |
실험 No. | 이온 에칭 순서 | 조대입자유무 | 광택 유무 | |
측면 | 상하면 | |||
1 | 금속 에칭->가스 에칭 | 무 | 강 | 강 |
2 | 가스 에칭->금속 에칭 | 유 | 강 | 강 |
가공물 | 실험 No. | 절삭속도 (m/min) | 이송속도 (mm/rev) | 절입깊이 (mm) | 절삭유 | 절삭시간 (min) |
인코넬 (718) | 1 | 50 | 0.15 | 1.0 | 습식 | 10분 |
2 | 70 | 0.10 | ||||
스테인레스강 (STS304) | 3 | 200 | 0.15 | 2.0 | 습식 | 20분 |
4 | 250 | 0.10 | ||||
탄소강 (SCM440) | 5 | 200 | 0.15 | 2.0 | 습식 | 40분 |
6 | 250 | 0.10 |
표 4
실험 No. | 측면 마모량 (mm) | 상면 마모량(mm) | ||||
에칭무 | 금속->가스 | 가스->금속 | 에칭무 | 금속->가스 | 가스->금속 | |
1 | 0.28 | 0.20 | 0.22 | 0.21 | 0.11 | 0.15 |
2 | 0.40 | 0.31 | 0.32 | 0.36 | 0.24 | 0.29 |
3 | 0.21 | 0.16 | 0.16 | 0.15 | 0.09 | 0.08 |
4 | 0.34 | 0.28 | 0.31 | 0.25 | 0.11 | 0.14 |
5 | 0.16 | 0.18 | 0.15 | 0.17 | 0.16 | 0.15 |
6 | 0.24 | 0.20 | 0.23 | 0.25 | 0.20 | 0.23 |
Claims (4)
- 물리증착법으로 절삭공구 또는 내마모성 공구에 증착된 질화계 경질박막을 코팅로 내에서 이온에칭하여 상층면의 표면조도(Ra)가 0.01~0.08㎛임을 특징으로 하는, 표면조도 및 광택이 우수한 경질박막.
- 제1항에 있어서, 상기질화계 경질박막은 TiN, TiCN TiCN TiAIN 박막임을 특징으로 하는, 표면조도 및 광택이 우수한 경질박막.
- 제1항에 있어서, 상기 이온에칭은 가스, 금속이온 중 하나 이상으로 행함을 특징으로 하는, 표면조도 및 광택이 우수한 경질박막.
- 제3항에 있어서, 상기 가스는 Ar, Kr, 이들 혼합가스중 하나이고, 금속이온은 Ti, Cr, Si, Zr, Y, V, Al 또는 이들 중 하나이상임을 특징으로 하는, 표면조도 및 광택이 우수한 경질박막.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020050127488A KR100729208B1 (ko) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 표면 조도 및 광택이 우수한 경질 박막 및 이의제조방법 |
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KR1020050127488A KR100729208B1 (ko) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 표면 조도 및 광택이 우수한 경질 박막 및 이의제조방법 |
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
KR19980046273A (ko) * | 1995-12-12 | 1998-09-15 | 미타라이 후지오 | Soi기판의 제조방법 및 제조장치 |
KR20010037811A (ko) * | 1999-10-20 | 2001-05-15 | 유창종 | 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 경질합금 |
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2005
- 2005-12-22 KR KR1020050127488A patent/KR100729208B1/ko active IP Right Grant
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