KR100711290B1 - Apparatus for transferring glass substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 구성이 간단하고, 기판의 이송이 신속하며, 경사변환이 용이하고, 외부의 이물질의 침입이 방지되며, 설치작업이 용이한 기판 이송장치를 제고한다. 그 기판 이송 장치는 베이스와, 프레임과, 측벽으로 이루어진 본체; 그 본체의 베이스에 설치되는 구동수단; 그 구동수단에 작동적으로 연결되며 본체에 수직하게 설치되는 가이드 수단; 그 가이드수단을 따라 상하로 왕복 가능하게 설치되는 이송수단; 및 본체의 상부에 설치되며 이송될 기판을 이송수단에 연동하여 이송수단에 적재 가능하게 보유하는 지지수단으로 구성된다. The present invention provides a substrate transfer device that is simple in construction, quick to transfer substrate, easy to incline, prevents foreign matter from invading, and easy to install. The substrate transfer apparatus includes a main body comprising a base, a frame, and sidewalls; Drive means installed in the base of the main body; Guide means operatively connected to the drive means and installed perpendicular to the body; Transfer means installed up and down reciprocating along the guide means; And support means installed on the upper portion of the main body and interlocked with the transfer means to hold the substrate to be transferred to the transfer means.

기판, 이송수단, 지지수단, 경사변환 Substrate, transfer means, support means, tilt conversion

Description

기판 이송장치{Apparatus for transferring glass substrate}Apparatus for transferring glass substrate

도 1은 종래의 기판 이송장치에서 신축부가 수축된 상태를 보여주는 정면도.1 is a front view showing a state in which the expansion and contraction portion contracted in the conventional substrate transfer apparatus.

도 2는 도 1의 기판 이송장치에서 신축부가 신장된 상태를 도시한 정면도.FIG. 2 is a front view illustrating a state in which the stretchable part is stretched in the substrate transfer device of FIG.

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 정면도.3 is a front view of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 4는 도 3의 기판 이송장치의 측면도.4 is a side view of the substrate transfer device of FIG.

도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 기판 이송상태를 보여주는 도면으로서, 일부는 점선으로 도시한 정면도.5 is a view showing a substrate transfer state of the substrate transfer apparatus according to the present invention, a part of which is a front view shown by a dotted line.

도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 기판 경사변환 상태를 보여주는 도면으로서, 일부는 점선으로 도시한 측면도.Figure 6 is a view showing a substrate inclination conversion state of the substrate transfer apparatus according to the present invention, a part of the side view shown by a dotted line.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

10: 본체 12: 베이스10: body 12: base

20: 구동수단 22: 액튜에이터20: drive means 22: actuator

30: 가이드수단 40: 이송수단30: guide means 40: transfer means

50: 샤프트 60: 작동수단50: shaft 60: operating means

70: 지지수단 S: 기판70: support means S: substrate

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 구성이 간단하고, 기판의 이송이 신속하고, 경사변환이 용이하며, 외부의 이물질의 침입이 방지되고, 설치작업이 용이한 기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus having a simple configuration, rapid transfer of substrates, easy change of inclination, prevention of intrusion of foreign matter, and easy installation. It is about.

액정 디스플레이 패널 또는 플라즈마 디스플레이 패널과 같은 평판 디스플레이 패널은 글래스 기판에 대해 증착, 산화, 확산 등의 여러 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 각 공정을 행하기 위해서는 기판을 하나의 처리 유니트에서 다른 처리 유니트로 이송하게 된다. 이때, 기판을 이송하는데 기판 이송장치를 사용하고 있다. A flat panel display panel such as a liquid crystal display panel or a plasma display panel is manufactured through various processes such as deposition, oxidation, and diffusion on a glass substrate. In order to perform each of these processes, the substrate is transferred from one processing unit to another processing unit. At this time, the substrate transfer apparatus is used to transfer the substrate.

최근의 팬터그래프(pantograph) 방식의 기판 이송장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 크게 베이스부(100)와 신축부(200)와 이송부(300)로 구성되어 있다. 여기서, 베이스부(100)는 신축부(200)와 이송부(300) 전체를 지지하며, 베이스부(100) 상부에는 신축부(200)의 다수개의 프레임 중에서 몇몇의 프레임(210,240,250)을 고정시키는 고정자(130,140)와, 신축부(200)를 동작시키는 구동기구(110)가 설치된다. 신축부(200)는 이송부(300)를 수직으로 상승 및 하강시킬 수 있도록 다수개의 프레임으로 이루어지며, 구동기구(110)와 연결된 제1 경사프레임(210)의 양측 끝부분 중에서 베이스부(100) 쪽의 끝부분에는 이송부(300)의 중량과 프레임 전체의 중량의 합에 상당하는 중량을 가진 추(120)가 달려있다. 제1 경사프레임(210)의 한쪽 끝부분은 제2 경사프레임(220)과 피봇 결합되고 제2 경사프레임(220)은 이송부(300)를 지지하는 지지프레임(280)과 피봇 결합된다. 고정자(130, 140) 중 하나의 고정자(130)는 제1 경사프레임(210)과는 경사방향이 반대인 제3 경 사프레임(230)의 한쪽 끝부분을 고정시키며, 다른 고정자(140)는 제1 경사프레임(210)과는 같은 방향으로 경사진 제4 경사프레임(240)의 한쪽 끝부분을 고정시킨다. 제4 경사프레임(240)과 제3 경사프레임(230)은 X자 형태로 서로 교차하고 교차점에서 서로 피봇 결합한다. 제4 경사프레임(240)의 다른 끝부분은 수평프레임(270)과 피봇 결합되고, 또한 제5 경사프레임(250)과 피봇 결합한다. 제5 경사프레임(250)은 지지프레임(280)의 끝부분과 피봇 결합한다. 제3 경사프레임(230)의 한 쪽 끝부분은 제6 경사프레임(260)과 피봇 결합하고, 제6 경사프레임(260)은 제5 경사프레임(250)과 피봇 결합한다. 이송부(300)는 실제로 기판을 이송하는 것으로, 롤러(320)가 끼워진 샤프트(310)를 포함한다. 이 샤프트(310)가 회전함으로써 롤러(320)가 회전하고 롤러(320)에 적치된 기판(500)이 이송된다. 또한, 이송부(300)의 한쪽 끝부위에 실린더(400)가 더 장착되어 있어, 이 실린더(400)의 작동으로 인해 이송부(300)가 경사지게 되어 기판(500)을 경사진 채로 이송할 수 있다.Recently, a pantograph substrate transfer apparatus includes a base portion 100, an elastic portion 200, and a transfer portion 300, as illustrated in FIGS. 1 and 2. Here, the base part 100 supports the whole of the elastic part 200 and the transfer part 300, the stator for fixing some of the frame (210, 240, 250) of the plurality of frames of the elastic part 200 above the base part 100 130 and 140 and a drive mechanism 110 for operating the expansion and contraction unit 200 are installed. The expansion and contraction unit 200 is formed of a plurality of frames to vertically raise and lower the transfer unit 300, the base portion 100 of both ends of the first inclined frame 210 connected to the drive mechanism 110. At the end of the side there is a weight 120 having a weight corresponding to the sum of the weight of the conveying part 300 and the entire weight of the frame. One end of the first inclined frame 210 is pivotally coupled to the second inclined frame 220, and the second inclined frame 220 is pivotally coupled to the support frame 280 supporting the transfer unit 300. One stator 130 of the stators 130 and 140 fixes one end portion of the third inclination frame 230 opposite to the first inclination frame 210 and the other stator 140 One end of the fourth inclined frame 240 inclined in the same direction as the first inclined frame 210 is fixed. The fourth inclined frame 240 and the third inclined frame 230 cross each other in an X shape and pivotally couple to each other at an intersection. The other end of the fourth inclined frame 240 is pivotally coupled to the horizontal frame 270, and also is pivotally coupled to the fifth inclined frame 250. The fifth inclined frame 250 is pivotally coupled to the end of the support frame 280. One end of the third inclined frame 230 is pivotally coupled to the sixth inclined frame 260, and the sixth inclined frame 260 is pivotally coupled to the fifth inclined frame 250. The transfer unit 300 actually transfers the substrate, and includes a shaft 310 into which the roller 320 is fitted. As the shaft 310 rotates, the roller 320 rotates and the substrate 500 deposited on the roller 320 is transferred. In addition, the cylinder 400 is further mounted on one end of the transfer part 300, and thus the transfer part 300 may be inclined due to the operation of the cylinder 400 to transfer the substrate 500 while inclined.

그러나, 이와 같은 팬터그래프 방식의 기판 이송장치는 다수의 프레임을 구비해야 하므로 구성이 복잡하고 구동부의 메커니즘이 복잡하여 제조비가 증가되고, 기판을 신속하게 이송할 수 없으며, 외부로부터 이물질의 침입이 용이하며, 전체적인 장비의 세팅작업이 난해한 문제점이 있다. However, such a pantograph type substrate transfer apparatus must have a plurality of frames, which is complicated in structure and complicated in mechanism of the driving unit, thereby increasing the manufacturing cost, cannot quickly transfer the substrate, and easily invading foreign substances from the outside. There is a problem that the setting of the overall equipment is difficult.

이에 본 발명은 상술된 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 구성이 간단하고, 기판을 신속하게 이송 및 처리할 수 있으며, 외부의 이물질의 침입이 방지되고, 설치작업이 용이한 기판 이송장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been invented to solve the above-described problems, the object of the present invention is a simple configuration, it is possible to quickly transfer and process the substrate, the intrusion of foreign matter is prevented, the installation work is easy It is to provide a substrate transfer device.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송장치는 베이스와, 프레임과, 측벽으로 이루어진 본체; 그 본체의 베이스에 설치되는 구동수단; 그 구동수단에 작동적으로 연결되며 상기 본체에 수직하게 설치되는 가이드수단; 그 가이드수단을 따라 상하로 왕복 가능하게 설치되는 이송수단; 및 본체의 상부에 설치되며 이송될 기판을 이송수단에 연동하여 이송수단에 적재 가능하게 보유하는 지지수단을 포함한다.Substrate transfer apparatus according to a preferred embodiment of the present invention comprises a main body consisting of a base, a frame, a side wall; Drive means installed in the base of the main body; Guide means operatively connected to the drive means and installed perpendicular to the body; Transfer means installed up and down reciprocating along the guide means; And support means installed on the upper portion of the main body and interlocked with the transfer means to hold the substrate to be transferred to the transfer means.

이하, 본 발명에 따른 기판 이송장치를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 정면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 측면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 기판 이송상태를 보여주는 정면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 기판 경사변환 상태를 보여주는 정면도이다.3 is a front view of the substrate transfer apparatus according to the present invention, FIG. 4 is a side view of the substrate transfer apparatus according to the present invention, FIG. 5 is a front view showing a substrate transfer state of the substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. A front view showing a substrate tilt conversion state of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 3 내지 도 6에 있어서, 본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판(S)을 상하로 이송시킬 수 있는 공간을 형성하는 입방체형의 본체(10)를 구비한다. 본체(10)는 수평 조절되어 유지될 수 있는 베이스(12)를 구비하며, 그 베이스(12)의 각각의 코너에는 전체적인 골격을 형성하는 프레임(14)이 수직으로 설치된다. 물론, 각각의 프레임(14)에는 본체의 외측을 형성하는 측벽(16)이 구비되어 있으며, 예컨대 전방벽을 형성하는 측벽(16)의 상부에는 기판(S)이 입장할 수 있는 인입구(I)가 형성되고, 중앙부에는 기판(S)이 퇴장하는 배출구(O)가 형성된다.3 to 6, the substrate transfer apparatus according to the present invention includes a cube-shaped main body 10 which forms a space for transferring the substrate S up and down. The main body 10 has a base 12 which can be kept horizontally adjusted, and at each corner of the base 12, a frame 14 forming an overall skeleton is vertically installed. Of course, each frame 14 is provided with a side wall 16 to form the outside of the main body, for example, an inlet I through which the substrate S can enter the upper side of the side wall 16 forming the front wall. Is formed, and the discharge port (O) through which the substrate (S) exits is formed in the center portion.

본체(10)의 베이스(12)에는 구동수단(20)이 설치된다. 구동수단(20)은 베이스(10)의 중앙에 설치되는 액튜에이터(22)를 구비한다. 액튜에이터(22)는 2개의 구동로드(24)를 동시에 회전 구동시킬 수 있는 서보모터로 구성되는 것이 바람직하다. The drive means 20 is installed in the base 12 of the main body 10. The drive means 20 has an actuator 22 installed in the center of the base 10. The actuator 22 is preferably composed of a servomotor capable of simultaneously rotating two drive rods 24.

액튜에이터(22)에 연결된 구동로드(24)의 단부에는, 베이스(12)의 중앙의 양측에 종동기구(26;28)가 설치된다. 각각의 종동기구(26;28)는 액튜에이터(22)가 작동됨에 따른 구동로드(24)의 회전 구동을 상하 직선운동으로 변환하도록 볼 스크류 구동방식으로 구성되는 것이 바람직하다. At the end of the drive rod 24 connected to the actuator 22, driven mechanisms 26 and 28 are provided on both sides of the center of the base 12. Each driven mechanism (26; 28) is preferably configured in a ball screw drive system to convert the rotational drive of the drive rod (24) in the vertical movement in accordance with the operation of the actuator (22).

본체(10)의 양측, 보다 상세하게는 본체(10)의 베이스(12)의 중앙의 양측에는 종동기구(26;28)와 연동하여 후술되는 지지수단을 상하로 안내 및 이동시키기 위한 가이드수단(30)이 구비된다. 그 가이드수단(30)은 벨트방식, 체인방식 또는 콘베이어방식으로 형성될 수 있다. Guide means for guiding and moving up and down the support means described later by interlocking with the driven mechanisms 26 and 28 on both sides of the main body 10, and more specifically, both sides of the center 12 of the base 12 of the main body 10 ( 30). The guide means 30 may be formed in a belt method, a chain method or a conveyor method.

가이드수단(30)에는 이송수단(40)이 상하로 이동 가능하게 연설된다. 이송수단(40)은 양측단이 가이드수단(30)을 따라 이동 가능하게 고정되는 브래킷(42)에 의해 양단이 가이드수단(30)에 연결되는 지지플레이트(44)를 구비한다. 지지플레이트(44)에는 원통형 또는 입방체형의 몸체(46)가 2개 설치된다. The conveying means 40 is spoken to the guide means 30 so as to be movable up and down. The conveying means 40 is provided with a support plate 44 whose both ends are connected to the guide means 30 by brackets 42 on which both ends are fixedly movable along the guide means 30. The support plate 44 is provided with two cylindrical or cubical bodies 46.

각각의 몸체(46)의 상부에는 좌, 우로 회동 가능하게 힌지 결합되는 받침대(48)가 설치되며, 그 받침대(48)에는 실제로 기판을 지지하여 이송 시키기 위한 복수의 롤러(50a)가 구비된 복수의 샤프트(50)가 회전 가능하게 설치되어 있다. The upper part of each body 46 is provided with a pedestal 48 which is hinged rotatably to the left and right, and the pedestal 48 is provided with a plurality of rollers 50a for actually supporting and transporting the substrate. Shaft 50 is rotatably provided.

특히, 지지플레이트(44)에는 상기 받침대(48) 및 각각의 샤프트(50)를 경사 변환시키기 위한 작동수단(60)이 설치된다. 작동수단(60)은 받침대(48)에 설치되며 유압 또는 공압 공급원(미도시)에 연결되는 실린더(62)와, 그 실린더(62)에 왕복 가능하게 삽입되는 작동로드(64)와, 작동로드(64)에 힌지 결합되며 상기 2개의 몸체(46) 중 하나의 몸체(46)의 받침대(48)의 하부에 고정되는 지지로드(66)로 구성된다. 이 같은 구성에 따라, 실린더(62)가 작동하여 작동로드(64)가 실린더(62) 내부로 복귀되면 지지로드(66)가 당겨지면서 받침대(48)가 힌지작동되어 경사지게 되는 것이며, 실린더(62)가 역으로 작동하여 작동로드(64)가 실린더(62) 외부로 신장되면 지지로드(66)가 밀려져 받침대(48)가 역방향으로 힌지 운동되어 수평한 상태로 복귀되는 방식으로, 경사전환을 행할 수 있는 것이다. In particular, the support plate 44 is provided with an operating means 60 for tilting the pedestal 48 and each shaft 50. The actuating means 60 is installed on the pedestal 48 and is connected to a hydraulic or pneumatic source (not shown) with a cylinder 62, an actuating rod 64 reciprocally inserted into the cylinder 62, and an actuating rod. The support rod 66 is hinged to the 64 and fixed to the lower portion of the pedestal 48 of the body 46 of one of the two bodies 46. According to this configuration, when the cylinder 62 is operated and the working rod 64 is returned to the inside of the cylinder 62, the support rod 66 is pulled and the pedestal 48 is hinged and inclined, and the cylinder 62 is inclined. ) Is operated in reverse, and when the working rod 64 is extended out of the cylinder 62, the supporting rod 66 is pushed so that the pedestal 48 is hinged in the reverse direction to return to a horizontal state. It can be done.

한편, 본체(10)의 상부 내측에는 그 본체(10)의 상부로 입장하는 기판을 일시적으로 수용하여 보유하기 위한 지지수단(70)이 설치된다. 그 지지수단(70)은 실제로 기판(S)의 하부의 코너부분을 지지하기 위한 복수의 버퍼(72)를 구비한다. On the other hand, the support means 70 for temporarily receiving and holding the substrate entering the upper portion of the main body 10 is installed inside the upper portion of the main body 10. The supporting means 70 is actually provided with a plurality of buffers 72 for supporting the lower corner portion of the substrate S. As shown in FIG.

이들 각각의 버퍼(72)는 일단부가 본체(10)의 프레임 또는 벽체에 힌지(74)에 의해 회동 가능하게 고정됨은 물론, 그 버퍼(72)의 몸체는 링크(76)에 의해 회동 가능하게 지지된다. 이에 따라, 각각의 버퍼(72)는 정상상태에서는 버퍼(72)의 자중에 의해 본체(10)의 중심축을 향해 경사지게 되는 반면, 이송수단(40)이 상승되어 기판(S)을 이송시키는 경우에는 그 이송수단(40)에 의해 각각의 코너부분으로 회동되어 전개됨으로써, 기판(S)이 이송수단(40)의 각각의 샤프트(50)에 자동으로 적재될 수 있는 것이다. 선택적으로, 각각의 버퍼(72)의 선단부에는 그 버퍼(72)에 의해 지지되는 기판의 원활한 이송을 위해 롤러(78)가 구비되는 것이 바람직하다. Each of these buffers 72 is rotatably fixed to the frame or wall of the main body 10 by the hinge 74, as well as the body of the buffer 72 is rotatably supported by the link 76. do. Accordingly, each buffer 72 is inclined toward the central axis of the main body 10 by the weight of the buffer 72 in the normal state, while the transfer means 40 is raised to transfer the substrate (S) The substrate S can be automatically loaded onto the respective shafts 50 of the transfer means 40 by being rotated and deployed to the respective corner portions by the transfer means 40. Optionally, the tip of each buffer 72 is preferably provided with a roller 78 for smooth transfer of the substrate supported by the buffer 72.

이하, 전술된 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송장치의 작동 및 그 작용모드에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation and mode of operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention configured as described above will be described in detail.

먼저, 본체(10)의 측벽(16)의 상부의 인입구(I)로 입장하는 기판(S)은 기본적으로 지지수단(70)의 각각의 버퍼(72)에 의해 지지되어 대기된다. First, the substrate S entering the inlet I on the upper side of the side wall 16 of the main body 10 is basically supported by the respective buffers 72 of the supporting means 70 and waits.

이 상태에서 본체(10)의 베이스(12)에 설치된 구동수단(20)의 액튜에이터(22)가 작동되어 각각의 구동로드(24)가 정방향으로 회전되면, 그 구동로드(24)의 단부에 설치된 종동기구(26;28)가 정방향으로 작동된다. In this state, when the actuators 22 of the drive means 20 installed in the base 12 of the main body 10 are operated to rotate each of the drive rods 24 in the forward direction, they are provided at the ends of the drive rods 24. The driven mechanisms 26 and 28 are operated in the forward direction.

이와 같이 종동기구(26;28)가 정방향으로 작동되면, 그 종동기구(26;28)에 연결된 가이드수단(30)이 작동됨과 동시에, 그 가이드수단(30)에 이송수단(40)이 상방으로 이동하기 시작한다. When the driven mechanisms 26 and 28 are operated in the forward direction as described above, the guide means 30 connected to the driven mechanisms 26 and 28 is operated, and the transfer means 40 is moved upwardly to the guide means 30. Start moving.

이송수단(40)이 계속적으로 상방으로 이동하여 복수의 샤프트(50)가 지지수단(70)의 각각의 버퍼(72)에 접촉한 후 그 버퍼(72)들을 밀면서 상방으로 계속 이동하면, 그 버퍼(72)들이 계속하여 밀려져 기판(S)의 범위를 벗어나면 그 각각의 버퍼(72)들에 의해 지지되고 있는 기판(S)은 각각의 버퍼(72)들로부터 이탈되어 이송수단(40)의 각각의 샤프트(50)에 안전하게 적재되는 것이다. 이때, 각각의 버퍼(72)의 선단부에 구비된 롤러(78)는 기판(S)을 원활하고 안정적으로 이송 및 이탈시키는 역할을 한다.When the conveying means 40 continuously moves upward and the plurality of shafts 50 contact each buffer 72 of the supporting means 70 and then continuously moves upward while pushing the buffers 72, the buffer Subsequently, when the 72s are continuously pushed out of the range of the substrate S, the substrate S supported by the respective buffers 72 is separated from the respective buffers 72 so that the transfer means 40 Each shaft 50 will be safely loaded. At this time, the roller 78 provided at the front end of each buffer 72 serves to smoothly and stably transport and leave the substrate (S).

이와 같이, 기판(S)이 이송수단(40)의 샤프트(50)에 적재되면 구동수단(20)의 액튜에이터(22)가 역으로 작동되어 각각의 구동로드(24)가 역방향으로 회전되면, 그 구동로드(24)의 단부에 설치된 종동기구(26;28)가 역방향으로 작동됨에 따 라, 그 종동기구(26;28)에 연결된 가이드수단(30)이 역으로 작동되면서 이송수단(40)이 하방으로 이동된다. 이때, 이송수단(40)의 샤프트(50)에 접촉상태를 이루고 있던 각각의 버퍼(72)들은 그것의 하중, 힌지(74) 및 링크(76)에 의해 다시 원위치로 자동으로 복귀된다.As such, when the substrate S is loaded on the shaft 50 of the transfer means 40, the actuator 22 of the drive means 20 is operated in reverse, and when each drive rod 24 is rotated in the reverse direction, As the driven mechanisms 26 and 28 installed at the end of the drive rod 24 are operated in the reverse direction, the transfer means 40 is operated while the guide means 30 connected to the driven mechanisms 26 and 28 are operated in reverse. Is moved downwards. At this time, each of the buffers 72 that are in contact with the shaft 50 of the transfer means 40 is automatically returned to its original position by its load, the hinge 74 and the link 76.

이후, 이송수단(40)이 하방으로 완전히 원위치로 이동되면, 작동수단(60)이 이송수단(40)의 몸체(46)를 경사지게 변환시켜 기판(S)을 후속되는 공정으로 이송시키거나 다른 이송수단으로 이송시키게 되는 것이다. 즉, 작동수단(60)의 실린더(62)가 작동되어 작동로드(64)가 당겨지면 지지로드(66)가 2개의 몸체(46) 중 하나의 몸체(46)의 받침대(48)를 회동시켜 샤프트(50)들을 경사 변환시키는 것이다.Then, when the conveying means 40 is completely moved downward, the operating means 60 converts the body 46 of the conveying means 40 to be inclined to convey the substrate S to a subsequent process or to another conveying process. It will be transported by means. That is, when the cylinder 62 of the actuating means 60 is actuated and the actuating rod 64 is pulled, the support rod 66 rotates the pedestal 48 of one body 46 of the two bodies 46. It is to tilt the shafts 50.

한편, 전술된 바와 같이 이송수단(40)이 하방으로 이동하는 중에는, 후속하는 다른 하나의 기판(S)이 다시 본체(10)의 인입구(I)를 통해 유입되어 지지수단(70)의 각각의 버퍼(72)에 적재되어 대기상태를 유지한다.On the other hand, while the transfer means 40 is moving downward as described above, the other substrate S to be followed again is introduced through the inlet (I) of the main body 10 to each of the support means 70 It is loaded in the buffer 72 to maintain the standby state.

이후, 기판(S)의 이송 및 배출이 완료된 후에는 작동수단(60)의 실린더(62)가 작동되어 작동로드(64)가 밀려지면 지지로드(66)가 원위치로 복귀됨과 동시에 몸체(46)의 받침대(48)가 원위치로 회동되어 수평상태를 이루게 되는 것이다. Subsequently, after the transfer and discharge of the substrate S is completed, the cylinder 62 of the actuating means 60 is operated, and when the actuating rod 64 is pushed, the support rod 66 returns to its original position and at the same time the body 46 The pedestal 48 is to be rotated to its original position to form a horizontal state.

이와 같이, 이송수단(40)이 원위치로 복귀되면, 전술된 바와 같은 방식으로 다시 상승하여 지지수단(70)에 대기중인 기판(S)을 받아 하방으로 이송한 후 다른 챔버로 이송하거나 배출하는 것이다.As such, when the transfer means 40 is returned to its original position, the transfer means 40 rises again in the same manner as described above, receives the substrate S waiting on the support means 70, transfers it downward, and transfers or discharges it to another chamber. .

따라서, 기판을 연속 반복적으로 신속하게 이송시킬 수 있는 것이다. Therefore, the substrate can be quickly and repeatedly transferred continuously.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송장치에 의하면, 이송될 기판이 이송수단의 운동범위 내에 항상 대기상태를 유지함으로써 기판을 신속하게 이송 및 처리할 수 있으며, 외부로부터 이물질의 침입이 방지할 수 있고, 설치작업이 용이하며, 구성이 간단한 효과가 있는 것이다.As described in detail above, according to the substrate transfer apparatus according to the present invention, the substrate to be transferred can be quickly transferred and processed by keeping the standby state in the movement range of the transfer means at all times, and intrusion of foreign substances from the outside is prevented. It can be prevented, easy to install, and simple configuration.

Claims (8)

베이스와, 프레임과, 측벽으로 이루어진 본체;A body consisting of a base, a frame, and sidewalls; 상기 본체의 베이스에 설치되는 구동수단;Drive means installed in the base of the main body; 상기 구동수단에 작동적으로 연결되며 상기 본체에 수직하게 설치되는 가이드 수단;Guide means operatively connected to the drive means and installed perpendicular to the body; 상기 가이드수단을 따라 상하로 왕복 가능하게 설치되는 이송수단; 및A conveying means installed reciprocally up and down along the guide means; And 상기 본체의 상부에 설치되며 이송될 기판의 하부를 지지하기 위한 복수의 버퍼를 구비하여, 상기 이송될 기판을 상기 이송수단에 연동하여 상기 이송수단에 적재 가능하게 보유하는 지지수단을 포함하는 기판 이송장치.Substrate transfer comprising a plurality of buffers installed on the upper portion of the main body for supporting the lower portion of the substrate to be transferred, the support means for holding the substrate to be transferred to the transfer means in conjunction with the transfer means Device. 제1항에 있어서, 상기 구동수단은 The method of claim 1, wherein the driving means 정역 액튜에이터와, A forward and reverse actuator, 상기 액튜에이터에 회전 가능하게 장착되는 2개의 구동로드와, Two drive rods rotatably mounted to the actuator, 상기 구동로드에 연결되며 사기 구동로드의 회전운동을 직선운동으로 변환시키기 위한 종동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And a driven mechanism connected to the driving rod and configured to convert a rotational movement of the fraudulent driving rod into a linear movement. 제2항에 있어서, 상기 가이드 수단은 체인, 벨트 및 피니언 중 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. 3. A substrate transport apparatus according to claim 2, wherein the guide means is formed by one of a chain, a belt and a pinion. 제1항에 있어서, 상기 이송수단은 The method of claim 1, wherein the transfer means 양측단이 브래킷에 의해 양측의 가이드수단에 고정되는 지지플레이트와,A support plate on which both ends are fixed to the guide means on both sides by a bracket, 상기 지지플레이트에 설치되는 2개의 몸체와, Two bodies installed on the support plate, 상기 각각의 몸체의 상부에는 좌, 우로 회동 가능하게 힌지 결합되는 받침대와, And the upper portion of each of the body and the left and right hinged rotatably coupled to the right, 상기 받침대에 회전 가능하게 설치되며, 기판을 지지하여 이송 시키기 위한 복수의 롤러가 구비된 복수의 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And a plurality of shafts rotatably installed on the pedestal and having a plurality of rollers for supporting and transporting the substrate. 제4항에 있어서, 상기 지지플레이트에는 상기 받침대 및 각각의 샤프트를 경사 변환시키기 위한 작동수단이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.5. The substrate transport apparatus of claim 4, wherein the support plate is further provided with an operation means for tilting the pedestal and each shaft. 제5항에 있어서, 상기 작동수단은 The method of claim 5, wherein the operating means 상기 지지플레이트에 설치되는 실린더와,A cylinder installed on the support plate; 상기 실린더에 왕복 가능하게 삽입되는 작동로드와, An actuating rod inserted reciprocally into the cylinder, 상기 작동로드에 힌지 결합되며 상기 2개의 몸체 중 하나의 몸체의 받침대의 하부에 고정되는 지지로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And a support rod hinged to the actuation rod and fixed to a lower portion of a pedestal of one of the two bodies. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 각각의 버퍼의 단부는 힌지에 의해 상기 본체에 고정되고, 상기 각각의 버퍼의 몸체는 링크에 의해 회동 가능하게 지지되며, 상기 각각의 버퍼의 선단에는 상기 기판의 하부를 구름 가능하게 지지하는 롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. According to claim 1, wherein the end of each buffer is fixed to the main body by a hinge, the body of each buffer is rotatably supported by a link, the lower end of the substrate at the front end of each buffer Substrate transport apparatus characterized in that the roller is supported so as to enable rolling.
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