상기한 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 리드프레임은,
반도체 칩이 실장되는 칩본딩패드와; 상기 칩본딩패드와 인접 배치되는 것으로, 절연홈에 의하여 상기 칩본딩패드와 전기적으로 구분되는 적어도 하나의 리드와; 상기 리드를 도피하여 상기 칩본딩패드 둘레에 형성되는 것으로, 상기 칩본딩패드와의 사이에 형성된 구분홈에 의하여 구분되는 방열연장패드와; 상기 구분홈 내에 마련되는 것으로, 상기 칩본딩패드와 상기 방열연장패드를 연결하는 패드연결부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 반도체 패키지는 상기한 구조의 리드프레임과; 상기 칩본딩패드의 일면에 실장된 적어도 하나의 반도체 칩과; 상기 반도체 칩과 상기 칩본딩패드 및/또는 상기 반도체 칩과 상기 리 드를 전기적으로 연결하는 본딩 와이어와; 상기 절연홈 및 상기 구분홈 내부를 통하여 주입되는 것으로, 상기 절연홈 및 상기 구분홈 내부와, 상기 반도체 칩의 전체 또는 둘레에 상기 반도체 칩 높이 이상으로 성형된 플라스틱 소재의 패키지 몸체;를 포함하여,
상기 방열연장패드와, 상기 칩본딩패드의 상기 반도체 칩이 실장된 이면 및 상기 리드가 외부로 노출되고, 이 노출된 부분들을 통하여 상기 패키지 몸체의 전방위로 열을 방출할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 패키지 제조방법은,
리드프레임 본체를 준비하는 단계와; 이 리드프레임 본체를 식각하여 절연홈과 구분홈을 형성함에 의하여 상기한 구조의 리드프레임을 형성하는 단계와; 상기 칩본딩패드 상에 반도체 칩을 실장하는 단계와; 상기 반도체 칩과 상기 칩본딩패드 및/또는 상기 반도체 칩과 상기 리드를 와이어 본딩하는 단계와; 상기 절연홈 및 상기 구분홈 내부를 통하여 플라스틱 수지를 주입하여, 상기 절연홈 및 상기 구분홈 내부와, 상기 반도체 칩의 전체 또는 둘레에 상기 반도체 칩 높이 이상으로 패키지 몸체를 성형하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 패키지 제조방법은, 리드프레임 본체를 준비하는 단계와; 상기 리드프레임 본체를 식각하여 절연홈과 구분홈을 형성함에 의하여, 상기한 구조의 리드프레임을 형성하는 단계와; 상기 절연홈 및 상기 구분홈 내부를 통하여 플라스틱 수지를 주입하여, 상기 절연홈 및 상기 구분홈의 내부와, 상기 칩 본딩패드 둘레에 소정 높이로 패키지 몸체를 성형하는 단계와; 상기 칩본딩패드 상에 반도체 칩을 실장하는 단계와; 상기 반도체 칩과 상기 칩본딩패드 및/또는 상기 반도체 칩과 상기 리드를 와이어 본딩하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 리드프레임, 이를 이용한 반도체 패키지 및 이 반도체 패키지 제조방법을 상세히 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 리드프레임을 보인 평면 사시도이고, 도 7은 도 6의 A-A선 단면도이며, 도 8은 도 6의 저면 사시도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 리드프레임(100)은 후술하는 구성요소들로 이루어진 단위 리드프레임(110)의 조합으로 이루어진다. 즉, 리드프레임(100)은 테두리(125) 내에 복수개의 단위 리드프레임(110)이 서로 연결되어 전체적으로 하나의 스트립(strip)을 이루는 것으로, 상기 테두리(125)를 점선으로 도시된 절단선 Ls1을 따라 절단함에 의하여 단위 리드프레임(110)으로 개별화할 수 있다.
상기 리드프레임(100)을 구성하는 각각의 단위 리드프레임(110)은 반도체 칩이 실장되는 칩본딩패드(111)와, 반도체 칩에 전원을 인가하는 전극으로 이용되는 리드(lead)(113)와, 방열연장패드(117) 및, 칩본딩패드(111)와 방열연장패드(117)를 연결하는 패드연결부(121)를 포함한다.
상기 리드(113)는 상기 칩본딩패드(111)에 인접 배치되는 것으로, 절연홈 (115)에 의하여 상기 칩본딩패드(111)와 전기적으로 구분된다. 이 리드(113)는 상기 칩본딩패드(111)에 실장되는 반도체 칩의 일 전극과 본딩 와이어에 의하여 전기적으로 연결되어, 상기 반도체 칩의 구동에 필요한 전원을 공급한다. 여기서, 상기 리드(113)는 도시된 바와 같이 하나의 부재로 구성되는 것에 한정되는 것은 아니며, 상기 칩본딩패드(111)의 일측에 복수개 구비되는 것도 가능하다.
상기 방열연장패드(117)는 상기 리드(113)를 도피하여, 상기 칩본딩패드(111) 둘레에 형성된다. 이 방열연장패드(117)는 후술하는 패키지 몸체를 통하여 상기 반도체 칩과 칩본딩패드(111)를 패키징시, 대부분의 영역이 외부로 노출된다. 이 방열연장패드(117)는 상기 칩본딩패드(111)와의 사이에 형성된 구분홈(119)에 의하여 상기 칩본딩패드(111)와 구분된다
상기 패드연결부(121)는 상기 절연홈(115) 및 상기 구분홈(119) 내에 마련되는 것으로, 상기 칩본딩패드(111)와 상기 방열연장패드(117)를 연결한다. 상기 패드연결부(121)는 방열연장패드(117)와 칩본딩패드(111) 사이의 흡습경로 및 박리를 최소화할 수 있도록 함과 아울러 전방위로 열을 분사 방출하기 위하여, 상기 칩본딩패드(111) 주변 여러 곳에 나뉘어 형성된다. 즉, 상기 패드연결부(121)는 상기 절연홈(115)과 상기 구분홈(119) 내의 적어도 3군데(도 6에서는 5군데 도시됨)에 형성되어, 방열연장패드(117)를 물리적으로 안정감 있게 고정할 수 있다. 또한, 상기 칩본딩패드(111)에서 전달된 열이 보다 효율적으로 상기 방열연장패드(117)로 전달될 수 있다. 여기서, 상기 방열연장패드(117)는 후술하는 패키지 몸체가 사각형일 경우는 종래의 반도체 패키지와는 달리 패키지 몸체의 일측면 이상을 점하는 크기를 가질 수 있다. 그리고, 패키지 몸체가 사각형이 아닌 경우는 상기 방열연장패드(117)는 패키지 몸체의 전체 둘레의 1/4 이상을 점하는 것이 바람직하다.
이와 같이 방열연장패드(117)는 비교적 좁은 폭으로 하고, 넓게 펼치는 반면, 상기 패드연결부(121)는 상대적으로 좁은 폭으로 하되, 이와 상관하여 가능한 여러 군데에 걸쳐 형성함으로써, 박리와 흡습에 대한 신뢰성을 높일 수 있고, 열 방출시의 병목현상을 완화할 수 있다.
도 7을 참조하면, 상기 구분홈(119)은 상기 칩본딩패드(111)의 일면 즉, 반도체 칩이 실장되는 면에서 바라본 부분(119a)의 폭에 비하여 그 이면에서 바라본 부분(119b)의 폭이 넓도록, 그 단면 형상이 단차지게 형성되어 있다. 그리고, 상기 절연홈(115)은 상기 구분홈(119)과 마찬가지로 상기 칩본딩패드(110)의 일면에서 바라본 부분의 폭에 비하여 그 이면에서 바라본 부분의 폭이 넓도록 단차지게 형성되어 있다. 또한, 상기 절연홈(115)과 상기 구분홈(119) 각각의 상대적으로 폭이 넓은 부분(115b, 119b)은 공간적으로 상호 연결되어 있다. 따라서, 패키지 몸체용 플라스틱 수지가 이 연결된 공간을 통하여 상기 절연홈(115) 및 구분홈(119)에 주입된다.
상기한 바와 같이 절연홈(115) 및 구분홈(119)을 단차지게 형성함으로써, 주입 형성된 패키지 몸체와의 사이에 형성되는 흡습 경로를 길게 연장할 수 있으므로, 외부로부터의 수분 유입을 효율적으로 차단할 수 있다. 또한, 폭이 좁은 부분(119a)을 사이에 두고, 상,하부면에 패키지 몸체(도 10의 141, 145 참조)가 형성되므로, 이 패키지 몸체를 이루는 플라스틱 수지와 강한 접착을 유도할 수 있다.
도 8을 참조하면, 상기 절연홈(115)과 상기 구분홈(119) 각각의 상대적으로 폭이 넓은 부분(115b, 119b)에는 적어도 하나의 댐부재(127)가 더 구비될 수 있다. 상기 댐부재(127) 각각은 일단이 상기 방열연장패드(117)에 연결되고, 타단이 상기 칩본딩패드(111)에서 소정 갭만큼 분리된 상태로 마련된다. 이 댐부재(127)는 방열연장패드(117)를 물리적으로 안정감 있게 고정시켜주고, 플라스틱 몰딩용 수지 주입시 그 수지가 방열연장패드(117) 외곽으로 유입되는 것을 차단해준다.
또한, 본 발명에 따른 리드프레임(100)은 테두리(125)에 상기 절연홈(115)과 구분홈(119)에 플라스틱 몰딩용 수지를 주입할 수 있도록, 원형, 사각형 등의 형상으로 형성된 게이트부(123)를 포함한다. 이 게이트부(123)는 절단선 Ls1을 따라 테두리(125)를 절단시 함께 분리되는 부분이다.
상기한 리드프레임(110)은 통상적인 리드프레임의 두께인 0.2 ~ 0.25mm 보다 두껍게 형성된 것이 바람직하다. 즉, 대략 0.4mm, 0.5mm 및 0.76mm 이상의 두께로 형성될 수 있다. 이는 절연홈과 구분홈 형성시 반식각에 의하여 단면 형상이 단차지도록 함에 있어서, 필요한 최소 높이를 확보하여 리드프레임과 후술하는 플라스틱 몸체의 몰딩 수지와 물리적 화학적 접착효과 및 이에 따른 흡습경로 연장과 차단효과를 최대화 할 수 있도록 하기 위함이다.
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지를 보인 사시도이고, 도 10은 도 9의 B-B선 단면도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지(160)는 리드 프레임(도 6의 110)과, 이 리드프레임(110)의 칩본딩패드(111)에 실장된 반도체 칩(131)과, 본딩 와이어(135) 및 패키지 몸체(141, 145)를 포함한다.
상기 리드프레임(110)은 반도체 칩(131)이 실장되는 칩본딩패드(111)와, 반도체 칩(131)에 전원을 인가하는 전극으로 이용되는 것으로 절연홈(115)에 의해 상기 칩본딩패드(111)와 전기적으로 구별되는 리드(113)와, 구분홈(119)에 의해 상기 칩본딩패드(111)에서 분리 형성된 방열연장패드(117) 및, 칩본딩패드(111)와 방열연장패드(117)를 연결하는 패드연결부(도 6의 121)를 포함한다.
이 리드프레임은 도 6 내지 도 8을 참조하여 설명된 본 발명의 제1실시예에 따른 리드프레임과 실질상 동일하므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 반도체 칩(131)은 상기 칩본딩패드(111)에 접착제(미도시) 등에 의하여 실장되는 것으로, 전력용 트랜지터 소자, 무선통신용 고주파 소자 등의 일반적인 반도체 소자 내지는 발광소자(LED) 등으로 구성된다. 여기서, 일반적인 반도체 소자를 채용한 경우는 상기 반도체 소자 전체를 덮도록 상기 패키지 몸체(미도시)를 상기 리드프레임(110) 상에 성형한다. 반면, 반도체 칩으로서 발광소자를 채용한 경우는 도시된 바와 같이, 발광소자에서 조명된 광이 외부로 조사될 수 있도록 캐비티(cavity)(147)를 가지는 패키지 몸체(145)를 성형한다.
상기 본딩 와이어(135)는 상기 반도체 칩(131)의 일 전극과 상기 리드(113)를 전기적으로 연결하는 것으로, 이 본딩 와이어(135)를 통하여 상기 리드(113)를 통하여 외부에서 인가된 전류가 상기 반도체 칩(131)에 전달된다.
또한, 상기 본딩 와이어(131)는 도시된 바와 같이 상기 반도체 칩(131)의 다 른 전극과 상기 칩본딩패드(111)를 전기적으로 연결하는데 이용될 수 있다. 한편, 반도체 칩(131)의 전극과 상기 칩본딩패드(111)를 전기적으로 연결함에 있어서, 상기한 본딩 와이어(131)의 이용이 필수적인 것은 아니다. 즉, 상기 반도체 칩(131)의 전극이 하부에 마련된 유형의 경우, 상기 칩본딩패드(111) 상에 실장시 도전성 페이스트를 이용하여 접착하는 것으로 전기적으로 연결하는 것도 가능하다.
상기 패키지 몸체(141, 145)는 상기 절연홈(115)과 상기 구분홈(119) 내부를 통하여 주입된 플라스틱 수지가 성형됨에 의하여 형성된 것이다. 이 패키지 몸체의 일부분(145)은 상기 절연홈(115) 및 상기 구분홈(119) 내부에 성형되고, 다른 부분(141)은 상기 반도체 칩(131)의 전체 또는 둘레에 상기 반도체 칩(131)의 높이 이상으로 성형된다. 도면은 반도체 칩(131)으로서 발광소자를 예로 들어 나타낸 것으로, 이 경우 상기 패키지 몸체(141)는 상기 반도체 칩(131)의 둘레에 형성된다.
상기한 바와 같이, 플라스틱 수지를 주입함에 의하여 패키지 몸체(141, 145)를 성형한 경우, 도 10에 도시된 바와 같이 단면형상이 단차지게 형성된 절연홈(115) 및 구분홈(119) 전체에 플라스틱 수지가 주입 성형됨과 아울러, 상기 반도체 칩(131) 주변에 소정 높이로 성형됨으로써, 상기 단위 리드프레임(110)과, 이 리드프레임(110) 상에 설치된 구성요소를 견고히 고정시킬 수 있다.
상기한 바와 같이 구성된 반도체 패키지는 도 9에 도시된 바와 같이 방열연장패드(117) 전체와 상기 칩본딩패드(111)의 상기 반도체 칩(131)이 실장된 이면 및 상기 리드(113)의 일부가 노출되어 있다. 따라서, 이 노출된 부분들을 통하여 전방위로 열을 방출할 수 있다.
도 11 및 도 12 각각은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지의 제조공정을 설명하기 위한 도면이다.
우선, 준비된 리드프레임 본체를 식각하여 절연홈과 구분홈을 형성함에 의하여 도 6 내지 도 8을 참조하여 설명된 바와 같은 구조의 리드프레임(100)을 형성한다. 여기서, 상기 절연홈과 구분홈은 앞서 설명된 바와 같이 반도체 칩이 실장되는 부분과 그 이면 부분의 폭이 서로 다르도록 된 것으로, 이러한 형상은 관통되도록 완전시각하는 공정과, 단차가 형성되도록 반식각 공정을 통하여 수행된다. 상기 식각 및 반식각 공정 중 절연홈과 구분홈의 상대적으로 폭이 넓은 부분에 적어도 하나의 댐부재를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 댐부재(127)는 후술하는 패키지 몸체(141, 145) 성형시, 플라스틱 수지의 흐름을 가이드하여 패키지 몸체(141, 145)가 소정 형상으로 성형되도록 하며, 성형된 패키지 몸체(141, 145)를 안정적으로 고정시킨다.
상기한 식각 공정을 통하여 리드프레임을 패터닝하는 공정 자체는 널리 알려져 있으므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이어서, 금형 내부에 상기 리드프레임(100)을 위치시킨 후, 게이트(123)에 플라스틱 수지를 주입하고, 이 주입된 플라스틱 수지가 절연홈(도 10의 115) 및 구분홈(도 10의 119) 내부에 채워지도록 하고, 상기 칩본딩패드(111) 둘레에 소정 높이를 유지한 채로 성형함으로써, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같은 캐비티(도 10의 147)를 가지는 패키지 몸체(141, 145)를 성형한다.
그리고, 상기 칩본딩패드(111) 상에 반도체 칩(131)을 실장한 후, 상기 반도 체 칩(131)과 상기 칩본딩패드(111) 및/또는 상기 반도체 칩(131)과 상기 리드(113)를 본딩 와이어(131)로 본딩함으로써, 반도체 패키지(150) 제조가 완료된다. 여기서, 상기 캐비티(147) 상부에 투명한 재질의 수지 예컨대, 에폭시 수지를 충진시키는 공정을 더 포함하여 상기 반도체 칩(131)과, 본딩 와이어(135)를 보호할 수 있다.
한편, 반도체 패키지(150)는 개별적으로 제조되는 것이 아니다. 즉, 상기 칩본딩패드(111), 리드(113), 방열연장패드(117) 및 패드연결부(121)는 하나의 단위 리드프레임(110)을 이루며, 상기 단위 리드프레임(110)은 그 테두리(125)가 서로 연결된 상태로 복수개 구비되어 전체적으로 하나의 스트립을 이룬다. 이와 같은 스트립 내의 각 단위 리드프레임에 대하여 반도체 패키지(150)를 제조 한 후, 이를 절단선 Lc1을 따라 쏘우(saw) 절단 공정을 통하여 절단하여 개별화함으로써, 단위 반도체 패키지(160)의 제조가 완료된다.쏘우 절단 공정을 통하여 반도체 패키
지(150)를 개별화하는 경우, 타발 방식에 의하여 절단하는데 따른 물리적 충격에 의하여 야기되는 리드프레임과 플라스틱 패키지 몸체와의 접착계면의 박리 및 캐비티형 패키지 몸체의 취약한 물리적 강도로 인한 패키지 몸체의 크랙을 유발되는 문제점을 근본적으로 해소할 수 있다.
한편, 쏘우 절단 공정은 타발 방식에 의한 절단 공정에 비하여 공정시간이 더 걸리고 세심한 공정진행이 필요하다는 단점은 있으나, 본 발명에 따른 반도체 패키지의 경우는 절단부분이 단일 패키지에 있어서 게이트부 주변으로 국한되고, 리드프레임이 플라스틱 몸체에 의해 덮히지 않은 부분이다. 그러므로, 본 발명에 따른 쏘우 절단 공정은 종래의 쏘우 절단 공정을 이용하여 반도체 패키지를 절단하는 경우보다 상대적으로 용이하게 수행할 수 있다.
상기한 반도체 패키지 제조방법은 반드시 상기한 공정순서에 한정되는 것은 아니며, 일부 공정을 바꾸는 것도 가능하다. 즉, 리드프레임의 칩본딩패드 상에 반도체 칩을 실장하고, 이 실장된 칩을 와이어 본딩에 의하여 전기적으로 결선한 후, 패키지 몸체를 성형하는 공정을 수행할 수 있다.
도 13은 본 발명의 제2실시예에 따른 리드프레임을 보인 평면 사시도이고, 도 14는 도 13의 저면 사시도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 리드프레임(200)은 단위 리드프레임(210)의 조합으로 이루어진다. 즉, 리드프레임(200)은 테두리(235) 내에 복수개의 단위 리드프레임(210)이 서로 연결되어 전체적으로 하나의 스트립(strip) 형상을 이루는 것으로, 상기 테두리(235)를 점선으로 도시된 절단선 Ls2와 Ls3을 따라 절단함에 의하여 단위 리드프레임(210)으로 개별화할 수 있다.
상기 단위 리드프레임(210)은 반도체 칩이 실장되는 칩본딩패드(211)와, 반도체 칩에 전원을 인가하는 전극으로 이용되는 리드(213, 215)와, 방열연장패드(221, 223) 및, 칩본딩패드(211)와 방열연장패드(221, 223)를 연결하는 패드연결부(229)를 포함한다.
상기 리드는 제1리드(213)와, 상기 칩본딩패드(211)를 중심으로 상기 제1리 드(213)의 위치와 반대되는 위치에 형성된 제2리드(215)를 포함한다. 상기 제1리드(213) 각각은 제1 및 제2절연홈(214)(216)에 의하여 상기 칩본딩패드(211)와 구분된다.
상기 방열연장패드는 상기 제1 및 제2리드(213)(215)를 도피하여 상기 칩본딩패드(211) 둘레에 형성되는 것으로, 상기 칩본딩패드(211)와의 사이에 형성된 제1 및 제2구분홈(225)(227) 각각에 의하여 구분되는 제1 및 제2방열연장패드(221)(223)를 포함한다. 상기 패드연결부(229)는 상기 제1 및 제2구분홈(225)(227) 내부 각각의 적어도 2군데에 형성되어, 상기 칩본딩패드(211)에서 전달된 열이 상기 패드연결부(229)를 통하여 상기 제1 및 제2방열연장패드(221)(223)로 전달되도록 한다.
본 실시예에 따른 리드프레임은 제1실시예에 다른 리드프레임과 비교하여 볼 때, 리드로서 제1 및 제2리드(213)(215)를 구비하고, 방열연장패드로서 제1 및 제2방열연장패드(221)(223)를 구비한 점에서 구별되는 것으로서, 그 이외의 부분에 있어서는 실질상 동일하다. 따라서, 그 이외의 부분에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 상기 리드프레임(210)은 상기 제1 및 제2절연홈(214)(216)과 상기 제1 및 제2구분홈(225)(227) 각각의 상대적으로 폭이 넓은 부분에는 적어도 하나의 댐부재(237)가 더 구비될 수 있다. 상기 댐부재(237) 각각은 일단이 상기 제1 또는 제2방열연장패드(221)(223)에 연결되고, 타단이 상기 칩본딩패드(211)에서 소정 갭만큼 분리된 상태로 마련된다.
또한, 본 발명에 따른 리드프레임(200)은 테두리(235)에 원형, 사각형 등의 형상으로 형성된 게이트부(231)를 포함한다. 이 게이트부(231)는 절단선 Ls2과 Ls3
를 따라 테두리(235)를 절단시 함께 분리되는 부분이다.
도 15는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 패키지를 보인 사시도이고, 도 16은 도 15의 C-C선 단면도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 패키지(260)는 리드프레임(도 13의 210)과, 이 리드프레임(210)의 칩본딩패드(211)에 실장된 반도체 칩(261)과, 본딩 와이어(265) 및 패키지 몸체(271, 275)를 포함한다.
상기 리드프레임(210)은 도 13 및 도 14를 참조하여 설명된 본 발명의 제2실시예에 따른 리드프레임과 실질상 동일하므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 반도체 칩(260)은 상기 칩본딩패드(211)에 접착제(미도시) 등에 의하여 실장되는 것으로, 트랜지스터, 메모리소자 등의 일반적인 반도체 소자 내지는 발광소자(LED) 등으로 구성된다. 도면은 반도체 칩(260)으로서 발광소자를 채용한 경우를 예로 들어 나타낸 것으로, 발광소자에서 조명된 광이 외부로 조사될 수 있도록 패키지 몸체(275) 내에는 캐비티(277)가 형성되어 있다.
상기 본딩 와이어(265)는 상기 반도체 칩(261)의 적어도 일 전극과 상기 제1 및 제2리드(213)(215)를 전기적으로 연결한다. 따라서, 이 본딩 와이어(265)에 의하여, 상기 제1 및/또는 제2리드(213)(215)를 통하여 외부에서 인가된 전류가 상 기 반도체 칩(261)에 전달된다.
상기한 리드프레임(210)에 대한 상기 패키지 몸체(271)(275)를 성형하는 공정은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 패키지와 실질상 동일하므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기한 바와 같이 구성된 반도체 패키지는 도 16에 도시된 바와 같이 제1 및 제2방열연장패드(221)(223) 전체와 상기 칩본딩패드(211)의 상기 반도체 칩(261)이 실장된 이면 및 상기 제1 및 제2리드(213)(215)의 일부가 노출되어 있다. 따라서, 이 노출된 부분들을 통하여 전방위로 열을 방출할 수 있다.
도 17 및 도 18 각각은 도 15의 반도체 패키지의 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다.
우선, 준비된 리드프레임 본체를 식각하여 제1 및 제2절연홈과, 제1 및 제2구분홈을 형성함에 의하여 도 13 및 도 14를 참조하여 설명된 바와 같은 구조의 리드프레임(200)을 형성한다. 여기서, 상기 제1 및 제2절연홈과, 제1 및 제2구분홈은 앞서 설명된 바와 같이 반도체 칩이 실장되는 부분과 그 이면 부분의 폭이 서로 다르도록 된 것으로, 이러한 형상은 관통되도록 완전시각하는 공정과, 단차가 형성되도록 반식각 공정을 통하여 수행된다. 상기 식각 및 반식각 공정 중 절연홈과 구분홈의 상대적으로 폭이 넓은 부분에 적어도 하나의 댐부재(237)를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기한 식각 공정을 통하여 리드프레임을 패터닝하는 공정 자체는 널리 알려져 있으므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이어서, 금형 내부에 상기 리드프레임(200)을 위치시킨 후, 게이트(231)에 플라스틱 수지를 주입하고, 이 주입된 플라스틱 수지가 제1 및 제2절연홈(도 13의 214, 216)와, 제1 및 제2구분홈(도 10의 225, 227) 내부에 채워지도록 하고, 상기 칩본딩패드(211) 둘레에 소정 높이를 유지한 채로 성형함으로써, 도 15 및 도 16에 도시된 바와 같은 캐비티(277)를 가지는 패키지 몸체(271, 275)를 성형한다.
그리고, 상기 칩본딩패드(211) 상에 반도체 칩(261)을 실장한 후, 상기 반도체 칩(261)과 상기 제1 또는 제2리드(213)(215)를 본딩 와이어(265)로 본딩함으로써, 반도체 패키지(250) 제조가 완료된다. 여기서, 상기 캐비티(277) 상부에 투명한 재질의 수지 예컨대, 에폭시 수지를 충진시키는 공정을 더 포함하여 상기 반도체 칩(261)과, 본딩 와이어(265)를 보호할 수 있다.
한편, 반도체 패키지(250)는 개별적으로 제조되는 것이 아니다. 즉, 상기 칩본딩패드(211), 제1 및 제2리드(213)(215), 제1 및 제2방열연장패드(221)(223) 및 패드연결부(229)는 하나의 단위 리드프레임(260)을 이루며, 상기 단위 리드프레임(260)은 그 테두리(235)가 서로 연결된 상태로 복수개 구비되어 전체적으로 스트립 형상을 이룬다. 이와 같은 스트립의 각 단위 리드프레임에 대하여 반도체 패키지(250)를 제조 한 후, 이를 절단선 Lc2와 Lc3를 따라 쏘우(saw) 절단 공정을 통하여 절단하여 개별화함으로써, 단위 반도체 패키지(260)의 제조가 완료된다.
상기한 반도체 패키지 제조방법은 반드시 상기한 공정순서에 한정되는 것은 아니며, 일부 공정을 바꾸는 것도 가능하다. 즉, 리드프레임의 칩본딩패드 상에 반도체 칩을 실장하고, 이 실장된 칩을 와이어 본딩에 의하여 전기적으로 결선한 후, 패키지 몸체를 성형하는 공정을 수행할 수 있다.
도 19는 본 발명의 제3실시예에 따른 리드프레임을 보인 평면 사시도이고, 도 20은 도 19의 저면 사시도이다.
도면을 참조하면 본 발명의 제3실시예에 따른 리드프레임(300)은 단위 리드프레임(310)의 조합으로 이루어진다. 즉, 리드프레임(300)은 테두리(335) 내에 복수개의 단위 리드프레임(310)이 서로 연결되어 전체적으로 하나의 스트립 형상을 이루는 것으로, 상기 테두리(335)를 점선으로 도시된 절단선 Ls4와 Ls5를 따라 절단함에 의하여 단위 리드프레임(310)으로 개별화할 수 있다.
상기 단위 리드프레임(310)은 반도체 칩이 실장되는 칩본딩패드(311)와, 반도체 칩에 전원을 인가하는 전극으로 이용되는 리드(313, 315)와, 방열연장패드(321, 323) 및, 칩본딩패드(311)와 방열연장패드(321, 323)를 연결하는 패드연결부(329)를 포함한다.
상기 리드는 제1리드(313)와, 상기 칩본딩패드(311)를 중심으로 상기 제1리드(313)의 위치와 반대되는 위치에 형성된 제2리드(315)를 포함한다. 상기 제1 및 제2리드(313)(315) 각각은 복수의 리드들로 구성되는 것으로, 각 리드들은 제1 및 제2절연홈(314)(316)에 의하여 상기 칩본딩패드(211)와 구분된다.
상기 방열연장패드는 상기 제1 및 제2리드(313)(315)를 도피하여 상기 칩본딩패드(311) 둘레에 형성되는 것으로, 상기 칩본딩패드(311)와의 사이에 형성된 제1 및 제2구분홈(325)(327) 각각에 의하여 구분되는 제1 및 제2방열연장패드 (321)(323)를 포함한다. 상기 패드연결부(329)는 상기 제1 및 제2구분홈(325)(327) 내부 각각의 적어도 2군데에 형성되어, 상기 칩본딩패드(311)에서 전달된 열이 상기 패드연결부(329)를 통하여 상기 제1 및 제2방열연장패드(321)(323)로 전달되도록 한다.
또한, 상기 리드프레임(310)은 상기 제1 및 제2절연홈(314)(316)과 상기 제1 및 제2구분홈(325)(327) 각각의 상대적으로 폭이 넓은 부분에는 적어도 하나의 댐부재(337)가 더 구비될 수 있다. 상기 댐부재(337) 각각은 일단이 상기 제1 또는 제2방열연장패드(321)(323)에 연결되고, 타단이 상기 칩본딩패드(311)에서 소정 갭만큼 분리된 상태로 마련된다.
또한 본 실시예에 따른 리드프레임(300)은 테두리(335)에 패키지 몸체를 구성하는 플라스틱 수지가 주입되는 게이트부(331)를 포함한다. 이 게이트부(331)는 절단선 Ls4과 Ls5를 따라 테두리(335)를 절단시 함께 분리되는 부분이다.
본 실시예에 따른 리드프레임은 제2실시예에 다른 리드프레임과 비교하여 볼 때, 제1 및 제2리드(313)(315) 각각이 복수의 리드들로 구성된 점과, 칩본딩패드(311)가 상대적으로 넓게 형성된 점에서 구별되는 것으로, 그 이외의 부분에 있어서는 실질상 동일하다.
도 21은 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 패키지를 보인 사시도이고, 도 22는 도 21의 D-D선 단면도이며, 도 23은 도 21의 E-E선 단면도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 패키지(360)는 단 위 리드프레임(도 19의 310)과, 이 리드프레임(310)의 칩본딩패드(311)에 실장된 복수의 반도체 칩(361)과, 본딩 와이어(365) 및 패키지 몸체(371, 375)를 포함한다.
상기 단위 리드프레임(310)은 도 19 및 도 20을 참조하여 설명된 본 발명의 제3실시예에 따른 리드프레임과 실질상 동일하므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 반도체 칩(360)은 상기 칩본딩패드(311)에 실장되는 것으로, 트랜지스터, 메모리소자 등의 일반적인 반도체 소자 내지는 발광소자(LED) 등으로 구성된다. 도면은 반도체 칩(360)으로서 적, 청, 녹색 파장의 광을 각각 조명하는 3개의 발광소자를 채용한 경우를 예로 들어 나타낸 것이다. 이 경우, 상기 3색 발광소자에서 조명된 광이 외부로 조사될 수 있도록 패키지 몸체(375) 내에는 캐비티(377)가 형성되어 있다.
상기 본딩 와이어(365)는 상기 반도체 칩(361) 각각과 상기 제1 및 제2리드(313)(315)를 전기적으로 연결한다. 따라서, 상기 본딩 와이어(365)에 의하여, 상기 제1 및/또는 제2리드(313)(315)를 통하여 외부에서 인가된 전류가 상기 반도체 칩(261)에 전달된다.
상기한 리드프레임(310)에 대한 상기 패키지 몸체(371)(375)를 성형하는 공정은 본 발명의 제1 및 제2실시예에 따른 반도체 패키지와 실질상 동일하므로 그 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기한 바와 같이 구성된 반도체 패키지는 도 21에 도시된 바와 같이 제1 및 제2방열연장패드(321)(323) 전체와 상기 칩본딩패드(311)의 상기 반도체 칩(361)이 실장된 이면 및 상기 제1 및 제2리드(313)(315)의 일부가 노출되어 있다. 따라서, 이 노출된 부분들을 통하여 전방위로 열을 방출할 수 있다.