KR100701893B1 - Apparatus of Inspecting Liquid Crystal Display Device in In-line - Google Patents

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KR100701893B1
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Abstract

본 발명은 검사시간 및 제작비용이 저감되도록 한 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for a liquid crystal display device configured in an inline form to reduce inspection time and manufacturing cost.

본 발명의 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치는 액정패널의 불량화소를 탐지하기 위한 적어도 둘 이상의 검사부들과, 검사부들 쪽으로 액정패널을 이송시킴과 아울러 검사 완료된 액정패널을 반송시키는 이송수단을 구비한다. 본 발명에 의하면 공정소요시간이 단축됨과 아울러 로더부 및 언로더부를 일체화시킴으로써 설치 장소 및 설치비용을 저감시킬 수 있다. The inspection apparatus of the liquid crystal display device of the in-line form of the present invention comprises at least two inspection units for detecting defective pixels of the liquid crystal panel, and a transfer means for transporting the liquid crystal panel toward the inspection units and conveying the inspected liquid crystal panel. Equipped. According to the present invention, the installation time and the installation cost can be reduced by shortening the process time and by integrating the loader and the unloader.

Description

인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치{Apparatus of Inspecting Liquid Crystal Display Device in In-line} Apparatus of Inspecting Liquid Crystal Display Device in In-line}             

도 1 내지 도 3은 서로 다른 형태를 가진 종래의 검사장치를 나타내는 블록도.1 to 3 is a block diagram showing a conventional inspection device having a different form.

도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 검사장치를 나타내는 블록도.4 is a block diagram showing an inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 검사부에 형성된 지그를 나타내는 도면.5 is a view showing a jig formed in the inspection unit of the present invention.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 검사장치를 나타내는 블록도6 is a block diagram showing an inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

2,21,32,52,102 : 로더 4,22,34,62,112 : 언로더2,21,32,52,102: Loader 4,22,34,62,112: Unloader

6,8,24,38,54,57,60,104,110 : 반송유닛 10,26,42,56,58,106,108 : 검사부6,8,24,38,54,57,60,104,110: conveying units 10,26,42,56,58,106,108: inspection unit

12,28,64,66,68,114,116,118 : 로봇 20,30,40,50,100: 검사장치12,28,64,66,68,114,116,118: Robot 20,30,40,50,100: Inspection device

36 : 얼라인부 70,72,74,120,122,124 : 버퍼36: alignment part 70, 72, 74, 120, 122, 124: buffer

본 발명은 액정표시소자의 검사장치에 관한 것으로, 특히 검사시간 및 제작비용이 저감되도록 한 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for a liquid crystal display device, and more particularly, to an inspection apparatus for an liquid crystal display device configured in an inline form to reduce inspection time and manufacturing cost.

액정표시소자(Liquid Crystal Display Device : "LCD")는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(Rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성되게 된다. 여기에서 하판의 제조공정은 기판상에 전극 물질, 반도체층 및 절연막의 도포와 에칭 작업을 통한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)부의 형성과 기타 전극부의 형성 과정을 포함한다. 액정 주입 및 봉지 공정을 거친 다음 상/하판의 양쪽 면에 편광판이 부착되어 액정패널이 완성되면 최종적인 검사 작업이 이루어지게 된다. Liquid crystal display device ("LCD") is a manufacturing process of the upper and lower panels of the panel accompanying the process of forming a liquid crystal cell forming a pixel unit, the formation and rubbing process of the alignment film for liquid crystal alignment, It is completed through a number of processes such as the bonding process of the upper plate and the lower plate, and the process of injecting and encapsulating the liquid crystal between the bonded upper plate and the lower plate. Here, the manufacturing process of the lower plate includes the formation of a thin film transistor (“TFT”) portion through the application and etching of an electrode material, a semiconductor layer and an insulating film on a substrate, and the formation of other electrode portions. After the liquid crystal injection and encapsulation process, the polarizing plates are attached to both sides of the upper and lower plates, and the final inspection operation is performed when the liquid crystal panel is completed.

최종 검사 과정에서는 완성된 액정패널의 화면에 테스트(Test) 패턴을 띄우고 불량화소의 유무를 탐지하여 불량화소가 발견되었을 때 이에 대한 리페어 작업을 행하게 된다. 액정패널의 불량에는 화소셀 별 색상 불량, 휘점(항상 켜져 있는 셀), 암점(항상 꺼져 있는 셀) 등의 점 결함과, 인접한 데이터 라인간의 단락(Short)으로 인해 발생하는 선 결함(Line Defect) 등이 있다. In the final inspection process, a test pattern is displayed on the screen of the completed liquid crystal panel and the presence or absence of defective pixels is detected and repaired when the defective pixels are found. The defects of the liquid crystal panel include color defects for each pixel cell, point defects such as bright spots (cells that are always on), dark spots (cells that are always off), and line defects caused by short circuits between adjacent data lines. Etc.

도 1 내지 도 3은 서로 다른 형태를 가진 종래의 검사장치를 나타내는 블록 도이다.1 to 3 is a block diagram showing a conventional inspection device having a different form.

도 1을 참조하면, 종래의 검사장치는 검사되어질 액정패널을 외부로부터 검사장치(20) 내로 반송하는 로더(Loader)부(2)와, 검사가 완료된 액정패널을 검사장치(20)에서 외부로 반송하는 언로더(Unloader)부(4)와, 액정패널을 검사부(10) 또는 언로더부(4)로 반송시키기 위한 제 1 및 제 2 반송 유닛(6,8)과, 실제 액정패널이 안착되어 검사 작업이 이루어지는 검사부(10)와, 로더부(2)에 놓여진 액정패널을 제 1 또는 제 2 반송 유닛(6,8)으로 반송하거나, 검사가 완료된 후 제 1 또는 제 2 반송 유닛(6,8)에 있는 액정패널을 언로더부(4)로 반송하는 로봇(12)을 구비한다. Referring to FIG. 1, a conventional inspection apparatus includes a loader unit 2 for conveying a liquid crystal panel to be inspected from the outside into the inspection apparatus 20 and a liquid crystal panel from which the inspection is completed from the inspection apparatus 20 to the outside. The unloader part 4 to convey, the 1st and 2nd conveying units 6 and 8 for conveying a liquid crystal panel to the test | inspection part 10 or the unloader part 4, and an actual liquid crystal panel are seated The inspection unit 10 to which the inspection operation is performed and the liquid crystal panel placed on the loader unit 2 to the first or second conveying units 6 and 8, or after the inspection is completed, the first or second conveying unit 6. The robot 12 which conveys the liquid crystal panel in (8) to the unloader part 4 is provided.

이와 같이 구성되는 종래의 검사장치를 이용한 액정패널의 불량 화소 검사과정은 다음과 같다. 먼저, 로더부(2)의 도시되지 않은 카세트에 적재되어 있는 액정패널은 로봇(12)에 의해 제 1 반송유닛(6)내의 흡착테이블로 이송된다. 로봇(12)에 의해 액정패널이 이송되면 제 1 반송유닛(6)내의 흡착테이블은 액정패널을 검사 할 수 있도록 소정각도로 회전한 후(예를 들어 90。) 검사부(10)로 이동된다. 제 1 반송유닛(6)의 흡착테이블이 검사부(10)로 이동된 후 도시되지 않은 제어부에 의해 액정패널의 화면에 테스트 패턴이 띄워지게 된다. 작업자는 액정패널의 화면의 테스트 패턴을 보고 불량 화소의 유무를 검출하게 된다. 이때, 결함이 검출된 액정패널의 리페어가 가능하다면 CCD(Charge Coupled Device) 카메라 또는 작업자의 육안검사에 의해 리페어 할 좌표 데이터를 획득한다. 검사부(10)에서 액정패널의 불량 화소의 유무를 검출하는 동안 로더부(2)의 카세트에 적재되어 있 는 액정패널은 로봇(12)에 의해 제 2 반송유닛(8)내의 흡착테이블로 이송된다. 한편, 검사부(10)에서 불량 화소들의 좌표값을 모두 알아낸 후에는 검사부(10)에 위치한 흡착테이블은 액정패널이 언로더부(4)의 카세트에 적재될 수 있도록 소정각도(예를 들어 90。) 회전한 후 제 1 반송유닛(6)으로 이동된다. 흡착테이블이 제 1 반송유닛(6)으로 이동된 후 액정패널은 로봇(12)에 의해 언로더부(4)로 반송된다. 로봇(12)에 의해 액정패널이 제 1 반송유닛(6)으로부터 언로더부(4)로 반송된 후 제 2 반송유닛(8)내의 흡착테이블은 소정각도 회전 후 검사부(10)로 이동된다. 종래의 검사장치는 이와 같은 과정을 반복하면서 액정패널을 검사하게 된다. The defective pixel inspection process of the liquid crystal panel using the conventional inspection device configured as described above is as follows. First, the liquid crystal panel loaded in the cassette (not shown) of the loader section 2 is transferred to the suction table in the first conveying unit 6 by the robot 12. When the liquid crystal panel is transferred by the robot 12, the suction table in the first conveying unit 6 is rotated at a predetermined angle (for example, 90 °) so as to inspect the liquid crystal panel, and then moved to the inspection unit 10. After the adsorption table of the first transport unit 6 is moved to the inspection unit 10, a test pattern is floated on the screen of the liquid crystal panel by a controller (not shown). The operator looks at the test pattern on the screen of the liquid crystal panel and detects the presence of defective pixels. At this time, if repair of the liquid crystal panel where a defect is detected is possible, coordinate data to be repaired is obtained by visual inspection of a CCD (Charge Coupled Device) camera or an operator. While the inspection unit 10 detects the presence of defective pixels in the liquid crystal panel, the liquid crystal panel loaded in the cassette of the loader unit 2 is transferred to the suction table in the second transfer unit 8 by the robot 12. . On the other hand, after all the coordinate values of the bad pixels are found by the inspection unit 10, the suction table located in the inspection unit 10 may have a predetermined angle (eg, 90 degrees) so that the liquid crystal panel can be loaded into the cassette of the unloader unit 4. After rotation, it is moved to the first conveyance unit 6. After the suction table is moved to the first conveying unit 6, the liquid crystal panel is conveyed to the unloader unit 4 by the robot 12. After the liquid crystal panel is conveyed from the first conveying unit 6 to the unloader unit 4 by the robot 12, the suction table in the second conveying unit 8 is moved to the inspection unit 10 after a predetermined angle rotation. The conventional inspection apparatus inspects the liquid crystal panel while repeating the above process.

도 2를 참조하면, 종래의 검사장치는 검사되어질 액정패널을 외부로부터 검사장치(30) 내로 반송하는 로더(Loader)부(21)와, 검사가 완료된 액정패널을 검사장치(30)에서 외부로 반송하는 언로더(Unloader)부(22)와, 액정패널을 검사부(26) 또는 언로더부(22)로 반송시키기 위한 반송 유닛(24)과, 실제 액정패널이 안착되어 검사 작업이 이루어지는 검사부(26)와, 로더부(21)에 놓여진 액정패널을 반송 유닛(24)으로 반송하거나, 검사가 완료된 후 반송 유닛(24)에 있는 액정패널을 언로더부(22)로 반송하는 로봇(28)을 구비한다. Referring to FIG. 2, a conventional inspection apparatus includes a loader 21 for conveying a liquid crystal panel to be inspected from the outside into the inspection apparatus 30 and a liquid crystal panel from which the inspection is completed from the inspection apparatus 30 to the outside. An unloader section 22 for conveying, a conveying unit 24 for conveying the liquid crystal panel to the inspecting section 26 or the unloader section 22, and an inspecting section in which the actual liquid crystal panel is seated and the inspection work is performed ( 26 and the robot 28 which conveys the liquid crystal panel put in the loader part 21 to the conveying unit 24, or conveys the liquid crystal panel in the conveying unit 24 to the unloader part 22 after an inspection is completed. It is provided.

이와 같이 구성되는 종래의 검사장치를 이용한 액정패널의 불량 화소 검사과정은 다음과 같다. 먼저, 로더부(21)의 도시되지 않은 카세트에 적재되어 있는 액정패널은 로봇(28)에 의해 반송유닛(24)내의 흡착테이블로 이송된다. 로봇(28)에 의해 액정패널이 이송되면 반송유닛(24)내의 흡착테이블은 액정패널을 검사 할 수 있도록 소정각도로 회전한 후 검사부(26)로 이동된다. 반송유닛(24)의 흡착테이블이 검사부(26)로 이동된 후 도시되지 않은 제어부에 의해 액정패널의 화면에 테스트 패턴이 띄워지게 된다. 작업자는 액정패널의 화면의 테스트 패턴을 보고 불량 화소의 유무를 검출하게 된다. 이때, 결함이 검출된 액정패널의 리페어가 가능하다면 CCD(Charge Coupled Device) 카메라 또는 작업자의 육안검사에 의해 리페어 할 좌표 데이터를 획득한다. 검사부(26)에서 불량 화소들의 좌표값을 모두 알아낸 후에는 검사부(26)에 위치한 흡착테이블은 액정패널이 언로더부(22)의 카세트에 적재될 수 있도록 소정각도로 회전한 후 반송유닛(24)으로 이동된다. 흡착테이블이 반송유닛(24)으로 이동된 후 액정패널은 로봇(28)에 의해 언로더부(22)로 반송된다. 종래의 검사장치는 이와 같은 과정을 반복하면서 액정패널을 검사하게 된다. The defective pixel inspection process of the liquid crystal panel using the conventional inspection device configured as described above is as follows. First, the liquid crystal panel loaded in the cassette (not shown) of the loader portion 21 is transferred to the suction table in the transfer unit 24 by the robot 28. When the liquid crystal panel is transferred by the robot 28, the suction table in the transfer unit 24 is rotated at a predetermined angle to inspect the liquid crystal panel and then moved to the inspection unit 26. After the suction table of the transfer unit 24 is moved to the inspection unit 26, the test pattern is floated on the screen of the liquid crystal panel by a controller (not shown). The operator looks at the test pattern on the screen of the liquid crystal panel and detects the presence of defective pixels. At this time, if repair of the liquid crystal panel where a defect is detected is possible, coordinate data to be repaired is obtained by visual inspection of a CCD (Charge Coupled Device) camera or an operator. After all the coordinates of the bad pixels are found by the inspection unit 26, the suction table located in the inspection unit 26 is rotated at a predetermined angle so that the liquid crystal panel can be loaded into the cassette of the unloader unit 22, and then the transfer unit ( Is moved to 24). After the suction table is moved to the conveying unit 24, the liquid crystal panel is conveyed to the unloader 22 by the robot 28. The conventional inspection apparatus inspects the liquid crystal panel while repeating the above process.

도 3을 참조하면, 종래의 검사장치는 검사되어질 액정패널을 외부로부터 검사장치(40) 내로 반송하는 로더(Loader)부(32)와, 검사가 완료된 액정패널을 검사장치(40)에서 외부로 반송하는 언로더(Unloader)부(34)와, 액정패널이 검사부(42)로 이동 할 수 있도록 액정패널을 소정각도 회전시키는 얼라인부(36)와, 액정패널을 검사부(42) 또는 언로더부(34)로 반송시키기 위한 반송 유닛(38)과, 실제 액정패널이 안착되어 검사 작업이 이루어지는 검사부(42)와, 로더부(32)에 놓여진 액정패널을 얼라인부(36)로 반송하거나, 검사가 완료된 후 반송 유닛(38)에 있는 액정패널을 언로더부(34)로 반송하는 로봇(44)을 구비한다. Referring to FIG. 3, a conventional inspection apparatus includes a loader 32 for conveying a liquid crystal panel to be inspected from the outside into the inspection apparatus 40 and a liquid crystal panel from which the inspection is completed from the inspection apparatus 40 to the outside. The unloader part 34 which conveys, the alignment part 36 which rotates a liquid crystal panel by a predetermined angle so that a liquid crystal panel may move to the test | inspection part 42, and the liquid crystal panel may be an inspection part 42 or an unloader part. The conveying unit 38 for conveying to the 34, the inspection part 42 in which the actual liquid crystal panel is seated, and the inspection operation | work is performed, and the liquid crystal panel put in the loader part 32 are conveyed to the alignment part 36, or an inspection | inspection The robot 44 which conveys the liquid crystal panel in the conveyance unit 38 to the unloader part 34 after completion | finish is completed is provided.

이와 같이 구성되는 종래의 검사장치를 이용한 액정패널의 불량 화소 검사과정은 다음과 같다. 먼저, 로더부(32)의 도시되지 않은 카세트에 적재되어 있는 액 정패널은 로봇(44)에 의해 얼라인부(36)로 이송된다. 액정패널이 이송된 후 얼라인부(36)는 액정패널이 검사부(42)내에서 검사될 수 있도록 소정각도로 회전한다. 얼라인부(36)내에서 소정각도로 회전된 액정패널은 로봇(44)에 의해 반송유닛(38)내의 흡착테이블로 이송된다. 로봇(44)에 의해 액정패널이 이송되면 반송유닛(38)내의 흡착테이블은 검사부(42)로 이동된다. 반송유닛(38)의 흡착테이블이 검사부(42)로 이동된 후 도시되지 않은 제어부에 의해 액정패널의 화면에 테스트 패턴이 띄워지게 된다. 작업자는 액정패널의 화면의 테스트 패턴을 보고 불량 화소의 유무를 검출하게 된다. 이때, 결함이 검출된 액정패널의 리페어가 가능하다면 CCD(Charge Coupled Device) 카메라 또는 작업자의 육안검사에 의해 리페어 할 좌표 데이터를 획득한다. 검사부(42)에서 불량 화소들의 좌표값을 모두 알아낸 후에는 검사부(42)에 위치한 흡착테이블은 반송유닛(38)으로 이동된다. 흡착테이블이 반송유닛(38)으로 이동된 후 액정패널은 로봇(44)에 의해 얼라인부(36)로 이동된다. 액정패널이 이송된 후 얼라인부(36)는 액정패널이 언로더부(34)의 카세트에 적재될 수 있도록 소정각도로 회전한다. 얼라인부(36)내에서 소정각도로 회전된 액정패널은 로봇(44)에 의해 언로더(34)부로 반송된다. 종래의 검사장치는 이와 같은 과정을 반복하면서 액정패널을 검사하게 된다. The defective pixel inspection process of the liquid crystal panel using the conventional inspection device configured as described above is as follows. First, the liquid crystal panel loaded in the cassette (not shown) of the loader section 32 is transferred to the alignment section 36 by the robot 44. After the liquid crystal panel is transferred, the alignment unit 36 is rotated at a predetermined angle so that the liquid crystal panel can be inspected in the inspection unit 42. The liquid crystal panel rotated at a predetermined angle in the alignment unit 36 is transferred to the suction table in the transfer unit 38 by the robot 44. When the liquid crystal panel is transferred by the robot 44, the suction table in the transfer unit 38 is moved to the inspection unit 42. After the suction table of the transfer unit 38 is moved to the inspection unit 42, a test pattern is floated on the screen of the liquid crystal panel by a controller (not shown). The operator looks at the test pattern on the screen of the liquid crystal panel and detects the presence of defective pixels. At this time, if repair of the liquid crystal panel where a defect is detected is possible, coordinate data to be repaired is obtained by visual inspection of a CCD (Charge Coupled Device) camera or an operator. After all the coordinates of the bad pixels are found by the inspection unit 42, the suction table located in the inspection unit 42 is moved to the conveying unit 38. After the suction table is moved to the transfer unit 38, the liquid crystal panel is moved to the alignment unit 36 by the robot 44. After the liquid crystal panel is transferred, the alignment unit 36 rotates at a predetermined angle so that the liquid crystal panel can be loaded into the cassette of the unloader unit 34. The liquid crystal panel rotated by the predetermined angle in the alignment unit 36 is conveyed by the robot 44 to the unloader 34 unit. The conventional inspection apparatus inspects the liquid crystal panel while repeating the above process.

하지만, 이와 같은 종래의 검사장치는 각각의 검사장치 마다 로더 및 언로더부를 설치해야 하므로 설치비용이 상승될 뿐 아니라 공정 소요시간이 길어지는 단점이 있다. However, such a conventional inspection device has a disadvantage that the installation cost is increased and the process time is long because the loader and the unloader must be installed for each inspection device.

따라서, 본 발명의 목적은 공정 소요시간을 줄일 수 있는 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치를 제공하는데 있다.
Accordingly, it is an object of the present invention to provide an inspection apparatus of an inline type liquid crystal display device which can reduce the process time required.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치는 전 공정으로부터 이송된 기판이 일시 안착되는 로더부와, 상기 로더부에 안착되는 기판을 제1 반송유닛으로 이동시키기 위한 제 1 로봇과, 상기 기판의 불량화소를 탐지하기 위한 적어도 둘 이상의 검사부들과, 상기 검사부들 사이에 설치되어 상기 기판이 일시 안착되며, 가이드부를 통해 상기 검사부들로 기판을 이송시키는 제 3 반송유닛과, 상기 제1 반송유닛으로부터 상기 제 3 반송유닛으로 상기 기판을 이송시킴과 아울러 상기 제 3 반송유닛으로부터 상기 기판을 언로딩부로 반송시키기 위한 제 2 로봇과, 상기 로더부에 의해 이송된 기판을 일시 적재함으로써 상기 전 공정과 상기 검사부들간에 시간차이를 완충해 주기 위한 적어도 하나 이상의 버퍼를 포함하며, 상기 검사부들은 상기 제 3 반송유닛을 사이에 두고 상기 제 2 로봇의 일측면에 설치되는 제 1 및 제 2 검사부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치는, 전 공정으로부터 이송된 기판이 일시 안착되는 로더부와, 상기 로더부에 안착되는 기판을 제1 반송유닛으로 이동시키기 위한 제 1 로봇과, 상기 기판의 불량화소를 탐지하기 위한 적어도 둘 이상의 검사부들과, 상기 제1 반송유닛으로부터 상기 검사부들로 상기 기판을 이송시킴과 아울러 상기 검사부들로부터 상기 기판을 언로딩부로 반송시키기 위한 제 2 로봇과, 상기 로더부에 의해 이송된 기판을 일시 적재함으로써 상기 전 공정과 상기 검사부간들간에 시간차이를 완충해 주기 위한 적어도 하나 이상의 버퍼를 포함하며, 상기 검사부들은 상기 제 2 로봇을 사이에 두고 대면되게 설치되는 제 1 및 제 2 검사부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the inspection apparatus of the liquid crystal display device configured in the inline form of the present invention includes a loader unit on which the substrate transferred from the previous step is temporarily seated, and a substrate mounted on the loader unit to move to the first transport unit. A first robot, at least two or more inspection units for detecting defective pixels of the substrate, and a third transport unit installed between the inspection units to temporarily seat the substrate and transferring the substrate to the inspection units through a guide unit And a second robot for transferring the substrate from the first conveying unit to the third conveying unit and conveying the substrate from the third conveying unit to the unloading portion, and the substrate conveyed by the loader portion. By temporarily loading at least one buffer to buffer the time difference between the entire process and the inspection units. And the inspection unit are characterized in that it comprises a first and a second checking portion interposed between the third conveying unit that is provided on one side of the second robot.
In addition, the inspection apparatus of the liquid crystal display device configured in the in-line form of the present invention, the first robot for moving the loader unit and the substrate seated on the loader unit temporarily seated on the substrate transferred from the previous process to the first transfer unit And at least two inspection portions for detecting defective pixels of the substrate, and a second portion for transferring the substrate from the first conveying unit to the inspection portions and conveying the substrate from the inspection portions to the unloading portion. A robot and at least one buffer for buffering a time difference between the entire process and the inspection units by temporarily loading the substrate transferred by the loader unit, wherein the inspection units face the second robot therebetween. It characterized in that it comprises a first and a second inspection unit that is installed.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 6.

도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치를 나타내는 블록도이다.FIG. 4 is a block diagram showing an inspection apparatus for a liquid crystal display device configured in an inline form according to a first embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 검사장치는 검사되어질 액정패널을 전 공정으로부터 검사장치(50) 내로 반송하는 로더(Loader)부(52)와, 검사가 완료된 액정패널을 검사장치(50)에서 후 공정으로 반송하는 언로더(Unloader)부(62)와, 액정패널을 검사부들(56,58) 또는 언로더부(62)로 반송시키기 위한 반송 유닛들(54,57,60)과, 실제 액정패널이 안착되어 검사 작업이 이루어지는 검사부들(56,58)과, 로더부(52), 반송유닛들(54,57,60) 및 언로더부(62)간에 액정패널을 이동시키기 위한 로봇들(64,66,68)을 구비한다. Referring to FIG. 4, the inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention inspects a loader 52 for conveying the liquid crystal panel to be inspected from the previous process into the inspection apparatus 50, and the inspected liquid crystal panel. An unloader section 62 for conveying the apparatus 50 to a post-process, and conveying units 54, 57 for conveying the liquid crystal panel to the inspection sections 56, 58 or the unloader section 62; 60 and the inspection units 56 and 58 where the actual liquid crystal panel is mounted and the inspection operation is performed, and the liquid crystal panel between the loader unit 52, the transfer units 54, 57, 60 and the unloader unit 62. Robots 64, 66, 68 are provided for movement.

이와 같이 구성되는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 검사장치를 이용하여 액정패널의 불량 화소 검사과정은 다음과 같다. 먼저, 전 공정으로부터 이송장치(컨베어 또는 로봇)에 의해 액정패널이 로더부(52)로 이동된다. 로더부(52)로 이동된 액정패널은 제 1 로봇(66)에 의해 제 1 반송유닛(54)으로 이송된다. 제 1 반송유닛(54)으로 이송된 액정패널은 제 2 로봇(64)에 의해 제 3 반송유닛(57)으로 이송된다. 액정패널이 이송된 후 제 3 반송유닛(57)은 액정패널 고유의 인식번호를 판독한다. 이 후에 도시되지 않은 가이드부에 의해 제 1 검사부(56)로 이동된다. 이때, 액정패널은 가이드부에 의해 검사위치에 적합하게 소정각도로 기울어진다. 제 1 검사부(56)에서 액정패널을 검사하는 과정을 도 5를 참조하여 상세히 하면 다음과 같다. 가이드부에 의해 이송된 액정패널(82)은 지그(80)상의 검사위치에 안착된다. 지그(80)상에 액정패널이 안착되면 도시되지 않은 제어부로부터 인터페이스 보드(84)로 테스트 패턴신호가 공급된다. 인터페이스 보드(84)는 테스트 패턴신호를 게이트 보드(88) 및 데이터 보드(90)로 중계한다. 게이트 보드(88) 및 데이터 보드(90)는 중계된 테스트 패턴신호를 액정패널(82)에 인가한다. 그러면 액정패널(82)의 화면에는 테스트 패턴이 띄워지게 되고, 작업자는 이 화면을 보고 불량화소의 유무를 검사하게 된다. 이때 불량화소가 검출되면 CCD(Charge Coupled Device) 카메라 또는 작업자의 육안검사에 의해 리페어 할 좌표 데이터를 획득한다. 한편, 액정패널이 제 1 검사부(56)에서 검사되는 동안 액정패널이 전 공정으로부터 로더부(52)로 반송되면 전술한 바와 같은 과정을 거쳐 제 2 검사부(58)로 이송된다. 즉, 제 1 및 제 2 검사부들(56,58)은 동시에 액정패널을 검사할 수 있다. 제 1 검사부(56)에서 검사과정이 끝난 액정패널은 제 3 반송유닛(57)으로 이송된다. 제 3 반송유닛(57)으로 이송된 액정패널은 제 2 로봇(64)에 의해 제 2 반송유닛(60)으로 반송된다. 제 2 반송유닛(60)으로 반송된 액정패널은 제 3 로봇(68)에 의해 언로더부(62)로 이동된다. 언로더부(62)로 이동된 액정패널은 이송장치(컨베어 또는 로봇)에 의해 도시되지 않은 후 공정으로 이동된다. 이러한 과정을 거쳐 제 1 및 제 2 검사부(56,58)를 동시에 사용하여 액정패널을 검사하게 된다. The defective pixel inspection process of the liquid crystal panel using the inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention configured as described above is as follows. First, the liquid crystal panel is moved to the loader portion 52 by the transfer device (conveyor or robot) from all the processes. The liquid crystal panel moved to the loader portion 52 is transferred to the first transfer unit 54 by the first robot 66. The liquid crystal panel transferred to the first transfer unit 54 is transferred to the third transfer unit 57 by the second robot 64. After the liquid crystal panel is transferred, the third conveying unit 57 reads out the identification number unique to the liquid crystal panel. After this, it is moved to the 1st inspection part 56 by the guide part which is not shown in figure. At this time, the liquid crystal panel is inclined at a predetermined angle to suit the inspection position by the guide portion. The process of inspecting the liquid crystal panel in the first inspection unit 56 will now be described in detail with reference to FIG. 5. The liquid crystal panel 82 transferred by the guide portion is seated at the inspection position on the jig 80. When the liquid crystal panel is mounted on the jig 80, a test pattern signal is supplied from the control unit (not shown) to the interface board 84. The interface board 84 relays the test pattern signal to the gate board 88 and the data board 90. The gate board 88 and the data board 90 apply the relayed test pattern signal to the liquid crystal panel 82. Then, a test pattern is floated on the screen of the liquid crystal panel 82, and the worker checks the presence or absence of defective pixels by looking at this screen. At this time, when a defective pixel is detected, coordinate data to be repaired is acquired by visual inspection of a charge coupled device (CCD) camera or an operator. On the other hand, while the liquid crystal panel is conveyed to the loader unit 52 from the previous process while the liquid crystal panel is inspected by the first inspection unit 56, the liquid crystal panel is transferred to the second inspection unit 58 through the above-described process. That is, the first and second inspection units 56 and 58 may simultaneously inspect the liquid crystal panel. After the inspection process is completed in the first inspection unit 56, the liquid crystal panel is transferred to the third transfer unit 57. The liquid crystal panel transferred to the third conveying unit 57 is conveyed to the second conveying unit 60 by the second robot 64. The liquid crystal panel conveyed to the second conveying unit 60 is moved to the unloader portion 62 by the third robot 68. The liquid crystal panel moved to the unloader portion 62 is moved by a process not shown by a transfer device (conveyor or robot) and not shown. Through this process, the liquid crystal panel is inspected using the first and second inspection units 56 and 58 simultaneously.

본 발명의 제 1 실시예에 의한 검사장치(50)가 인라인 형태로 연결되어 동작하는 과정은 다음과 같다. 먼저 전 공정으로부터 이송장치에 의해 액정패널이 로더부(52)로 이동된다. 로더부(52)로 이동된 액정패널은 제 1 또는 제 2 검사부(56,58)로 이동된다. 이때, 액정패널의 검사시간이 길어져 전 공정으로부터 이송된 액정패널이 제 1 또는 제 2 검사부(56,58)로 반송될 수 없는 경우에 액정패널은 제 1 또는 제 2 버퍼(70,72)로 반송된다. 즉 제 1 또는 제 2 버퍼(70,72)는 액정패널을 일시 적재하여 전 공정과 검사장치(50)간에 시간차를 완충해준다. 한편, 제 1 또는 제 2 검사부(56,58)에서 검사과정을 거친 액정패널은 언로더부(62)로 반송된다. 언로더부(62)로 반송된 액정패널은 이송장치에 의해 도시되지 않은 후 공정으로 이동된다. 이때, 후 공정에서의 공정시간이 길어지거나 언로더부(62)의 점검으로 인해 액정패널이 반송될 수 없을 때 액정패널은 제 3 버퍼(74)로 반송 된다. 즉 제 3 버퍼(74)는 기판을 일시 적재하여 후 공정과 검사장치(50)간에 시간차를 완충해 준다. The inspection apparatus 50 according to the first embodiment of the present invention is connected and operated in an inline form as follows. First, the liquid crystal panel is moved to the loader portion 52 by the transfer device from the previous process. The liquid crystal panel moved to the loader unit 52 is moved to the first or second inspection unit 56 and 58. At this time, when the inspection time of the liquid crystal panel is long and the liquid crystal panel transferred from the previous process cannot be returned to the first or second inspection units 56 and 58, the liquid crystal panel is transferred to the first or second buffers 70 and 72. Is returned. That is, the first or second buffers 70 and 72 temporarily load the liquid crystal panel to buffer the time difference between the entire process and the inspection apparatus 50. On the other hand, the liquid crystal panel which has been inspected by the first or second inspection units 56 and 58 is returned to the unloader unit 62. The liquid crystal panel conveyed to the unloader section 62 is moved to the process after not shown by the conveying apparatus. At this time, when the process time in the subsequent process becomes long or the liquid crystal panel cannot be conveyed due to the inspection of the unloader unit 62, the liquid crystal panel is conveyed to the third buffer 74. That is, the third buffer 74 temporarily loads the substrate to buffer the time difference between the post process and the inspection apparatus 50.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치를 나타내는 블록도이다.6 is a block diagram illustrating an inspection apparatus for a liquid crystal display device configured in an inline form according to a second embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 검사장치는 검사되어질 액정패널을 전 공정으로부터 검사장치(100) 내로 반송하는 로더(Loader)부(102)와, 검사가 완료된 액정패널을 검사장치(100)에서 후 공정으로 반송하는 언로더(Unloader)부(112)와, 액정패널을 검사부들(106,108) 또는 언로더부(112)로 반송시키기 위한 반송 유닛들(104,110)과, 실제 액정패널이 안착되어 검사 작업이 이루어지는 검사부들(106,108)과, 로더부(102), 반송유닛들(104,110) 및 언로더부(112)간에 액정패널을 이동시키기 위한 로봇들(114,116,118)을 구비한다. Referring to FIG. 6, the inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention inspects a loader section 102 for conveying the liquid crystal panel to be inspected from the previous process into the inspection apparatus 100, and the inspected liquid crystal panel. Unloader section 112 for conveying to the post-process in the apparatus 100, conveying units 104 and 110 for conveying the liquid crystal panel to the inspection sections 106 and 108 or the unloader section 112, and the actual liquid crystal The inspection unit (106, 108) to which the panel is seated and the inspection work is carried out, and the robot (114, 116, 118) for moving the liquid crystal panel between the loader unit 102, the transfer unit (104, 110) and the unloader unit 112.

이와 같이 구성되는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 검사장치를 이용하여 액정패널의 불량 화소 검사과정은 다음과 같다. 먼저, 전 공정으로부터 이송장치에 의해 액정패널이 로더부(102)로 이동된다. 로더부(102)로 이동된 액정패널은 제 1 로봇(116)에 의해 제 1 반송유닛(104)으로 이송된다. 제 1 반송유닛(104)으로 이송된 액정패널은 제 2 로봇(114)에 의해 제 1 검사부(106)로 이동된다. 제 1 검사부(106)로 이동된 기판은 전술한 바와 같은 검사과정을 거치게 된다. 한편, 액정패널이 제 1 검사부(106)에서 검사되는 동안 액정패널이 전 공정으로부터 로더부(102)로 반송되면 전술한 바와 같은 과정을 거쳐 제 2 검사부(108)로 이송된다. 즉, 제 1 및 제 2 검사부(106,108)는 동시에 액정패널을 검사할 수 있다. 제 1 검사부(106)에서 검사과정이 끝난 액정패널은 제 2 로봇(114)에 의해 제 2 반송유닛(110)으로 이송된다. 제 2 반송유닛(110)으로 이송된 액정패널은 제 3 로봇(118)에 의해 언로더부(112)로 이동된다. 언로더부(112)로 이동된 액정패널은 이송장치에 의해 도시되지 않은 후 공정으로 이동된다. 이러한 과정을 거쳐 제 1 및 제 2 검사부(106,108)를 동시에 사용하여 액정패널을 검사하게 된다. 그 외에 검사장치(100)가 인라인 형태로 연결되어 동작하는 과정은 전술한 바와 같으므로 생략하기로 한다. 상기 제1 및 제2 실시예에 있어서, 상기 제 2 반송유닛, 제 3 로봇 및 언로더부를 통합하여 언로딩부라 한다.상기 언로딩부는 버퍼를 더 포함할 수도 있다.The defective pixel inspection process of the liquid crystal panel using the inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention configured as described above is as follows. First, the liquid crystal panel is moved to the loader section 102 by the transfer device from the previous process. The liquid crystal panel moved to the loader unit 102 is transferred to the first transfer unit 104 by the first robot 116. The liquid crystal panel transferred to the first transfer unit 104 is moved to the first inspection unit 106 by the second robot 114. The substrate moved to the first inspection unit 106 is subjected to the inspection process as described above. On the other hand, while the liquid crystal panel is conveyed from the previous process to the loader unit 102 while the liquid crystal panel is inspected by the first inspection unit 106, the liquid crystal panel is transferred to the second inspection unit 108 through the above-described process. That is, the first and second inspection units 106 and 108 may simultaneously inspect the liquid crystal panel. After the inspection process is completed in the first inspection unit 106, the liquid crystal panel is transferred to the second transfer unit 110 by the second robot 114. The liquid crystal panel transferred to the second transfer unit 110 is moved to the unloader unit 112 by the third robot 118. The liquid crystal panel moved to the unloader unit 112 is moved to the process after not shown by the transfer apparatus. Through this process, the liquid crystal panel is inspected by using the first and second inspection units 106 and 108 simultaneously. In addition, the process in which the inspection apparatus 100 is connected and operated in an inline form is the same as described above, and thus will be omitted. In the first and second embodiments, the second conveying unit, the third robot and the unloader unit are collectively referred to as an unloading unit. The unloading unit may further include a buffer.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치에 의하면 공정소요시간이 단축됨과 아울러 로더부 및 언로더부를 일체화시킴으로써 설치 장소 및 설치비용을 저감시킬 수 있다.As described above, according to the inspection apparatus of the liquid crystal display device configured in the in-line form according to the present invention, the time required for the process can be shortened, and the installation place and the installation cost can be reduced by integrating the loader unit and the unloader unit.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (6)

전 공정으로부터 이송된 기판이 일시 안착되는 로더부와,A loader part on which the substrate transferred from the previous process is temporarily seated; 상기 로더부에 안착되는 기판을 제1 반송유닛으로 이동시키기 위한 제 1 로봇과,A first robot for moving the substrate seated on the loader to a first transfer unit; 상기 기판의 불량화소를 탐지하기 위한 적어도 둘 이상의 검사부들과, At least two inspection units for detecting defective pixels of the substrate; 상기 검사부들 사이에 설치되어 상기 기판이 일시 안착되며, 가이드부를 통해 상기 검사부들로 기판을 이송시키는 제 3 반송유닛과,A third transfer unit installed between the inspection units and temporarily seating the substrate and transferring the substrate to the inspection units through a guide unit; 상기 제1 반송유닛으로부터 상기 제 3 반송유닛으로 상기 기판을 이송시킴과 아울러 상기 제 3 반송유닛으로부터 상기 기판을 언로딩부로 반송시키기 위한 제 2 로봇과,A second robot for transferring the substrate from the first conveying unit to the third conveying unit and conveying the substrate from the third conveying unit to the unloading unit; 상기 로더부에 의해 이송된 기판을 일시 적재함으로써 상기 전 공정과 상기 검사부들간에 시간차이를 완충해 주기 위한 적어도 하나 이상의 버퍼를 포함하며,At least one buffer for buffering the time difference between the entire process and the inspection by temporarily loading the substrate transported by the loader, 상기 검사부들은 상기 제 3 반송유닛을 사이에 두고 상기 제 2 로봇의 일측면에 설치되는 제 1 및 제 2 검사부를 구비하는 것을 특징으로 하는 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치.And the inspection units include first and second inspection units installed on one side of the second robot with the third transfer unit interposed therebetween. 전 공정으로부터 이송된 기판이 일시 안착되는 로더부와,A loader part on which the substrate transferred from the previous process is temporarily seated; 상기 로더부에 안착되는 기판을 제1 반송유닛으로 이동시키기 위한 제 1 로봇과,A first robot for moving the substrate seated on the loader to a first transfer unit; 상기 기판의 불량화소를 탐지하기 위한 적어도 둘 이상의 검사부들과, At least two inspection units for detecting defective pixels of the substrate; 상기 제1 반송유닛으로부터 상기 검사부들로 상기 기판을 이송시킴과 아울러 상기 검사부들로부터 상기 기판을 언로딩부로 반송시키기 위한 제 2 로봇과,A second robot for transferring the substrate from the first conveying unit to the inspecting portions and conveying the substrate from the inspecting portions to the unloading portion; 상기 로더부에 의해 이송된 기판을 일시 적재함으로써 상기 전 공정과 상기 검사부간들간에 시간차이를 완충해 주기 위한 적어도 하나 이상의 버퍼를 포함하며,At least one buffer for buffering the time difference between the entire process and the inspection by temporarily loading the substrate transported by the loader, 상기 검사부들은 상기 제 2 로봇을 사이에 두고 대면되게 설치되는 제 1 및 제 2 검사부를 구비하는 것을 특징으로 하는 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치.And the inspection units include first and second inspection units disposed to face each other with the second robot interposed therebetween. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 언로딩부는,The unloading unit, 후 공정으로 이송되는 기판이 일시 안착되는 상기 언로더부와,The unloader unit is temporarily seated on the substrate to be transferred to the post-process, 상기 제 2 로봇에 의해 반송된 상기 기판이 일시 안착되는 제 2 반송유닛과,A second conveying unit on which the substrate conveyed by the second robot is temporarily seated; 상기 제 2 반송유닛으로부터 상기 언로더부로 상기 기판을 이동시키기 위한 제 3 로봇과,A third robot for moving the substrate from the second transfer unit to the unloader; 상기 기판을 일시 적재함으로써 상기 후 공정과 상기 검사부간의 시간차이를 완충해 주기 위한 적어도 하나 이상의 버퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치.And at least one buffer for buffering the time difference between the post-process and the inspection unit by temporarily loading the substrate. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100841630B1 (en) * 2002-08-22 2008-06-27 엘지디스플레이 주식회사 Full in-line structure of liquid crystal display device and fabricating method using thereof
KR101057797B1 (en) 2011-04-21 2011-08-19 주식회사 이노비즈 Led-chip sorting device
KR101124690B1 (en) * 2009-12-21 2012-03-20 (주)제이티 Apparatus for inspecting LED device
KR101536644B1 (en) * 2009-05-15 2015-07-14 (주)제이티 Apparatus for inspecting LED device

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100816329B1 (en) * 2001-05-30 2008-03-24 삼성전자주식회사 In-line manufacturing system for liquid crystal display
JP3911624B2 (en) * 2001-11-30 2007-05-09 東京エレクトロン株式会社 Processing system
KR100904259B1 (en) * 2002-06-14 2009-06-25 엘지디스플레이 주식회사 Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it
KR100726995B1 (en) * 2005-10-26 2007-06-14 세광테크 주식회사 Auto trace tester
KR100810049B1 (en) * 2006-04-18 2008-03-05 (주)구일엔지니어링 inspection mechanism for a liquid crystal display panel
KR100953203B1 (en) * 2008-04-25 2010-04-15 (주)쎄미시스코 Substrate quality tester

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05343497A (en) * 1992-06-05 1993-12-24 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wafer inspecting apparatus
JPH0855894A (en) * 1994-08-11 1996-02-27 Tokyo Electron Ltd Carrier mechanism and method
JPH10160629A (en) * 1996-11-29 1998-06-19 Micronics Japan Co Ltd Inspection system for liquid crystal panel
KR19990024147U (en) * 1997-12-11 1999-07-05 김영환 Liquid crystal cell import / export device for visual inspection
KR100306303B1 (en) * 1999-04-23 2001-10-29 정문술 Lcd handler
KR100352384B1 (en) * 1999-11-19 2002-09-11 주식회사 디이엔티 Inspecting System for Liquid Crystal Display

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05343497A (en) * 1992-06-05 1993-12-24 Tokyo Seimitsu Co Ltd Wafer inspecting apparatus
JPH0855894A (en) * 1994-08-11 1996-02-27 Tokyo Electron Ltd Carrier mechanism and method
JPH10160629A (en) * 1996-11-29 1998-06-19 Micronics Japan Co Ltd Inspection system for liquid crystal panel
KR19990024147U (en) * 1997-12-11 1999-07-05 김영환 Liquid crystal cell import / export device for visual inspection
KR100306303B1 (en) * 1999-04-23 2001-10-29 정문술 Lcd handler
KR100352384B1 (en) * 1999-11-19 2002-09-11 주식회사 디이엔티 Inspecting System for Liquid Crystal Display

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
05343497 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100841630B1 (en) * 2002-08-22 2008-06-27 엘지디스플레이 주식회사 Full in-line structure of liquid crystal display device and fabricating method using thereof
KR101536644B1 (en) * 2009-05-15 2015-07-14 (주)제이티 Apparatus for inspecting LED device
KR101124690B1 (en) * 2009-12-21 2012-03-20 (주)제이티 Apparatus for inspecting LED device
KR101057797B1 (en) 2011-04-21 2011-08-19 주식회사 이노비즈 Led-chip sorting device

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Publication number Publication date
KR20010084137A (en) 2001-09-06

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