KR100904259B1 - Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it - Google Patents

Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it Download PDF

Info

Publication number
KR100904259B1
KR100904259B1 KR1020020033385A KR20020033385A KR100904259B1 KR 100904259 B1 KR100904259 B1 KR 100904259B1 KR 1020020033385 A KR1020020033385 A KR 1020020033385A KR 20020033385 A KR20020033385 A KR 20020033385A KR 100904259 B1 KR100904259 B1 KR 100904259B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
line
substrate
panel
liquid crystal
Prior art date
Application number
KR1020020033385A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20030095811A (en
Inventor
어지흠
채경수
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020020033385A priority Critical patent/KR100904259B1/en
Publication of KR20030095811A publication Critical patent/KR20030095811A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100904259B1 publication Critical patent/KR100904259B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341Filling or closing of cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 불량 액정단위패널을 효과적으로 보관 처리하여 불필요한 공정의 진행을 방지할 수 있고, 공정라인 및 공정시간을 최소화할 수 있는 액정표시장치의 공정라인 및 이를 이용한 제조방법에 관한 것으로, 로더와 언로더를 구비하는 액정표시장치의 공정라인에 있어서, 배향막 도포 전 세정 공정, 배향막 도포, 배향막 소성, 검사 및 러빙을 포함하는 배향 공정을 진행하는 제1 라인과, 상기 러빙 후 세정, 액정 적하, 씨일재 도포, 진공 합착 및 경화 공정을 포함하는 갭 공정을 진행하는 제 2 라인과, 상기 합착 및 경화 공정 후 스크라이브/브레이크 공정, 연마 공정 및 단위 액정 패널의 검사 공정, 최종 검사 공정을 포함하는 검사 공정으로 이루어지는 단선 단일의 제3 라인과, 상기 배향 공정, 갭 공정, 검사 공정 각 공정 라인의 언로더에 위치하여 상기 공정 중에 발생한 불량 패널을 적재 또는 처리하는 버퍼용 카세터을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a process line of a liquid crystal display device and a manufacturing method using the same, which can prevent the progress of unnecessary processes by effectively storing and treating a defective liquid crystal unit panel, and minimizing a process line and process time. A process line of a liquid crystal display device having a loader, comprising: a first line for carrying out an alignment process including an alignment film applying process, an alignment film coating, an alignment film firing, an inspection, and rubbing; 2nd line which carries out the gap process including the application | coating, vacuum bonding, and hardening process, and the inspection process including the scribe / break process, the grinding | polishing process, the inspection process of a unit liquid crystal panel, and a final inspection process after the said bonding and hardening process A third single line consisting of a single wire and an unloader of each of the alignment process, the gap process and the inspection process And a buffer catheter for loading or processing the defective panel generated during the process.

단선 단일 라인, 이선 이중 라인, 로컬처리장치, 버퍼용 카세트Single wire single line, double wire double line, local processing unit, buffer cassette

Description

액정표시장치의 공정라인 및 이를 이용한 제조방법{PROCESSING LINE OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD USING IT}PROCESSING LINE OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD USING IT}

도 1은 종래의 진공주입방법을 이용한 액정 셀 공정도.1 is a liquid crystal cell process diagram using a conventional vacuum injection method.

도 2는 종래의 셀 공정 중 단위 패널 내에 액정을 주입하는 방법을 보여주는 개략도.2 is a schematic view showing a method of injecting liquid crystal into a unit panel during a conventional cell process.

도 3은 종래의 불량 단위기판 영역을 설명하기 위한 예시도.3 is an exemplary view for explaining a conventional defective unit substrate region.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 액정적하방식을 설명하기 위한 사시도.4A and 4B are perspective views for explaining the liquid crystal dropping method of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 배향 공정을 설명하기 위한 공정흐름도.5 is a process flow chart for explaining the alignment process according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 갭 공정의 공정흐름도.6 is a process flow diagram of a gap process according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 불량 단위기판 영역을 설명하기 위한 예시도.7 is an exemplary view for explaining a defective unit substrate region according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 검사공정라인을 설명하기 위한 공정배치도.8 is a process layout for explaining the inspection process line according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

300 : TFT 단위기판 영역 400 : 컬러필터 단위기판 영역300: TFT unit board area 400: Color filter unit board area

500 : 제 1 기판 600 : 제 2 기판500: first substrate 600: second substrate

800 : 제 3 라인 810 : 로더800: third line 810: loader

900 : 로컬처리장치 910 : 언로더 900: local processing unit 910: unloader                 

1000 : 버퍼용카세트1000: buffer cassette

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 공정라인의 단순화를 이룰 수 있는 액정표시장치의 공정라인 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a process line of a liquid crystal display device capable of simplifying a process line and a method of manufacturing a liquid crystal display device using the same.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, the LCD (Lipuid Crystal Display Device), PDP (Plasma Display Panel), ELD (Electro Luminescent Display), and VFD (Vacuum Fluorescent) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 브라운관(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 액정표시장치가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 텔레비전 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, liquid crystal displays are the most widely used, replacing the cathode ray tubes for mobile image display devices because of their excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the same mobile type, various developments have been made for television monitors.

이러한 액정표시장치는 크게 어레이(Array) 공정, 칼라 필터(Color Filter) 공정, 액정 셀(Cell) 공정 등을 거쳐 제조된다. Such liquid crystal displays are largely manufactured through an array process, a color filter process, a liquid crystal cell process, and the like.

상기 어레이 공정은 증착(Deposition) 및 사진 석판술(Photolithography), 식각(Etching) 공정을 반복하여 제 1 기판 상에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT로 약칭) 및 화소전극을 형성하는 공정이다. The array process is a process of forming a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode on a first substrate by repeating deposition, photolithography, and etching processes.

상기 칼라 필터 공정은 화소 전극이 형성된 영역을 제외한 영역에는 빛의 누설을 방지하기 위해 제 2 기판에 블랙 매트릭스(Black Matrix)를 형성하고, 염료나 안료를 사용하여 적(Red), 녹(Green), 청(Blue)의 칼라 필터를 제작한 후, 공통전극용 ITO(Indium Tin Oxide)막을 형성하는 공정이다.In the color filter process, a black matrix is formed on the second substrate to prevent light leakage in regions other than the region where the pixel electrode is formed, and red and green colors are formed using dyes or pigments. After manufacturing a blue color filter, it is a process of forming an indium tin oxide (ITO) film for common electrodes.

상기 액정 셀 공정은 스페이서를 이용하여 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 일정한 셀겝을 유지하고 씨일재를 이용하여 양 기판을 합착한 후, 단위 패널로 절단하고 액정을 주입하여 액정 셀을 완성하는 공정이다. The liquid crystal cell process maintains a constant cell gap between the first substrate and the second substrate by using a spacer, bonds both substrates using a seal material, and then cuts the unit panel and injects liquid crystal to complete the liquid crystal cell. It is a process.

이하, 도면을 참조로 종래의 액정 셀 공정을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, a conventional liquid crystal cell process will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 진공주입방법을 이용한 액정 셀 공정을 도시한 도면이다.1 is a view showing a liquid crystal cell process using a conventional vacuum injection method.

도 1에서 알 수 있듯이, 우선, TFT 기판과 컬러필터 기판 상에 배향물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정(1S)을 각각 진행한다. 상기 배향 공정(1S)은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 배향막 소성, 배향막 검사, 러빙 공정 순으로 진행된다. As can be seen in FIG. 1, first, an alignment material is applied onto a TFT substrate and a color filter substrate, and then an alignment process 1S is performed so that the liquid crystal molecules have uniform orientation. The alignment step (1S) proceeds in order of washing before application of the alignment film, alignment film printing, alignment film firing, alignment film inspection, and rubbing process.

상기 배향 공정(1S) 후 갭(Gap) 공정이 진행된다. 갭 공정은 TFT 기판 및 컬러필터 기판을 각각 세정(2S)한 다음, TFT 기판에 셀 갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포(3S)하고, 컬러필터 기판의 외곽부에 씨일(Seal)재를 도포(4S)한 후, 상기 TFT 기판과 컬러필터기판에 압력을 가하여 합착(5S)하는 공정으로 이루어진다. After the alignment process 1S, a gap process proceeds. In the gap process, each of the TFT substrate and the color filter substrate is cleaned (2S), and then a spacer (3S) for maintaining a constant cell gap on the TFT substrate is spread (3S), and the outer portion of the color filter substrate After the seal material is applied (4S) to the TFT, the TFT substrate and the color filter substrate are applied to each other to form a bonding process (5S).

이러한 갭 공정은 TFT 기판과 컬러필터 기판이 각각 다른 라인에서 진행하는 2선 이중 라인의 공정으로 진행되다가, 합착 공정에서는 단선 단일 라인으로 진행된다. 다시 말하면, 상기 갭 공정은 2선 이중 라인에서 공정이 진행되다가 단선 단일 라인으로 공정이 진행되는 복합 라인으로 구성되는 공정이다.Such a gap process proceeds with a two-line double line process in which the TFT substrate and the color filter substrate each proceed in different lines, and in the bonding process, it proceeds as a single-line single line. In other words, the gap process is a process consisting of a complex line in which the process proceeds in a two-line double line and then the process proceeds to a single-line single line.

상기 합착 공정 후, 단위 패널로 절단 및 가공하는 공정을 수행한다(6S). After the bonding process, a process of cutting and processing into unit panels is performed (6S).

그후, 단위패널에 액정을 주입하고, 주입구를 봉지(7S)하여 액정층을 형성한다. Thereafter, liquid crystal is injected into the unit panel, and the injection hole is sealed (7S) to form a liquid crystal layer.

그후, 각 단위패널의 절단된 면을 연마한 다음, 단위패널의 외관 및 전기적 불량 검사(8S)를 진행함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다. After that, the cut surface of each unit panel is polished, and then the liquid crystal display device is manufactured by performing the external panel and electrical defect inspection 8S of the unit panel.

도 2는 이와 같은 종래의 셀 공정 중 단위 패널 내에 액정을 주입하는 방법을 보여주는 개략도이다. 2 is a schematic view showing a method of injecting liquid crystal into a unit panel during the conventional cell process.

도 2와 같이, 우선, 챔버(2) 내에 액정 물질(1)을 담은 용기(3)를 위치시킨 후, 챔버(2) 내부를 진공상태로 유지하여 액정(1) 물질 속이나 용기(3) 안벽에 붙어 있는 수분을 제거하고 기포를 제거한다.As shown in FIG. 2, first, the container 3 containing the liquid crystal material 1 is placed in the chamber 2, and then the inside of the chamber 2 is kept in a vacuum state so as to be in the liquid crystal 1 material or the container 3. Remove moisture from the inner wall and remove bubbles.

그후, 여러 장의 단위 패널(4)을 용기(3)에 담그거나 접촉시킨 후, 챔버(2) 안에 질소(N2) 가스를 유입하여 챔버(2) 내의 압력을 대기압 상태까지 높이면, 단위 패널(4) 안의 압력과 챔버(2) 내의 압력 사이의 차이에 의하여 액정물질(1)이 단위 패널(4)의 내부로 주입되게 된다. Thereafter, after immersing or contacting the unit panels 4 of the several sheets in the container 3, nitrogen (N 2 ) gas is introduced into the chamber 2 to raise the pressure in the chamber 2 to the atmospheric pressure state. The liquid crystal material 1 is injected into the unit panel 4 by the difference between the pressure in the chamber 4 and the pressure in the chamber 2.

이때, 단위 패널(4)에는 기판 합착을 위해 도포되는 씨일재가 패터닝되어 액정 주입구가 형성되어 있으므로, 상기 주입구를 통해 액정물질(1)이 단위 패널(4) 내에 주입되는 것이다.In this case, since the seal material applied for bonding the substrate is patterned on the unit panel 4 to form a liquid crystal injection hole, the liquid crystal material 1 is injected into the unit panel 4 through the injection hole.

그후, 액정(1)이 단위 패널(4)에 충진되면, 주입구를 밀봉하는 봉지 공정을 수행하여 액정셀을 완성하게 된다.  After that, when the liquid crystal 1 is filled in the unit panel 4, the liquid crystal cell is completed by encapsulating the injection hole.

그러나, 이러한 진공 주입 방법은 다음과 같은 문제점이 있다.However, this vacuum injection method has the following problems.

첫째, 진공 주입 방법은 압력차에 의해 단위 패널 내에 액정을 주입하게 되어 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다. First, since the vacuum injection method injects the liquid crystal into the unit panel due to the pressure difference, it takes a long time to inject the liquid crystal and thus there is a problem that productivity is lowered.

둘째, 종래의 진공주입법을 적용한 액정표시장치의 제조공정라인에 있어서, 절단 공정(6S), 주입 봉지 공정(7S) 및 검사 공정(8S)은 각각 별개의 독립된 라인에서 진행된다. 다시 말해서, 절단 공정(6S), 주입 봉지 공정(7S) 및 검사 공정(8S)은 공정 라인이 3개로 나뉜 3중 라인에서 진행되므로, 그 만큼의 물류장비와, 각각의 공정라인을 포함할 수 있는 공간이 확보되어야 하며, 또한 각각의 공정을 거쳐 제조되는 공정시간이 길어져 생산비용이 증가하였다.Second, in the manufacturing process line of the liquid crystal display device using the conventional vacuum injection method, the cutting process 6S, the injection encapsulation process 7S, and the inspection process 8S are each performed in separate independent lines. In other words, the cutting process (6S), the injection encapsulation process (7S) and the inspection process (8S) is carried out in a triple line divided into three process lines, it can include as many logistics equipment, each process line. Space should be secured, and the production time is increased due to the long process time that is produced through each process.

셋째, 상기 TFT 기판과 컬러필터 기판은 서로 대향하는 대면적의 유리기판 상에 복수 개의 단위 셀이 형성되어 있다. Third, the TFT substrate and the color filter substrate have a plurality of unit cells formed on a glass substrate having a large area facing each other.

따라서, 도 3에 도시된 바와 같이 복수 개의 단위 셀이 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200)에 형성되어 있다. 이러한 제 1, 제 2 기판(100, 200)은 전술한 바와 같은 어레이 공정 및 컬러필터 공정에서 적어도 하나 이상의 불량(No Good; "NG"로 약칭) 단위기판 영역을 포함할 수 있다.Therefore, as illustrated in FIG. 3, a plurality of unit cells are formed on the first substrate 100 and the second substrate 200. The first and second substrates 100 and 200 may include at least one No Good unit substrate region in the array process and the color filter process as described above.

이러한 대면적의 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200)을 합착한 다음, 절단 공정을 거쳐 다수의 단위패널을 형성하면, 양품(Good; "G"로 약칭) 판정을 받은 단위 기판 영역들로 형성된 액정단위패널은 제품화될 수 있지만, 불량(NG) 판정을 받은 적어도 하나의 단위기판 영역을 포함하는 액정단위패널은 제품화할 수 없다.When the first substrate 100 and the second substrate 200 having such a large area are bonded together, and a plurality of unit panels are formed through a cutting process, the unit substrate region has been judged good (abbreviated as "G"). The liquid crystal unit panel formed of the present invention may be commercialized, but the liquid crystal unit panel including at least one unit substrate region that has been judged as defective (NG) cannot be commercialized.

그러나, 이러한 불량(NG) 액정단위패널이 양품(G) 액정단위패널과 동일하게 연마, 세정, 및 검사공정이 수행되어 불필요한 공정 추가로 경제성이 떨어지는 문제점이 있다.However, such a defective (NG) liquid crystal unit panel has a problem in that the polishing, cleaning, and inspection processes are performed in the same manner as the good (G) liquid crystal unit panel, so that unnecessary economic processes are additionally added.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 짧은 시간 내에 액정층을 형성시켜 생산성이 향상된 액정표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device having improved productivity by forming a liquid crystal layer within a short time.

본 발명의 다른 목적은 불량 액정단위패널을 효과적으로 보관 처리하여 불필요한 공정의 진행을 방지할 수 있는 액정표시장치의 공정라인 및 액정표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a process line of a liquid crystal display device and a method of manufacturing the liquid crystal display device capable of effectively storing and treating a defective liquid crystal unit panel to prevent an unnecessary process.

본 발명의 또 다른 목적은 공정라인 및 공정시간을 최소화할 수 있는 액정표시장치의 공정라인 및 액정표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a process line of a liquid crystal display device and a method of manufacturing a liquid crystal display device which can minimize a process line and a process time.

상기 목적 달성을 위한 본 발명의 액정표시장치의 공정라인 및 이를 이용한 제조방법은, 로더와 언로더를 구비하는 액정표시장치의 공정라인에 있어서, 제 1 기판 및 제 2 기판에 대하여 배향막 도포 전 세정 공정, 배향막 도포, 배향막 소성, 검사 및 러빙을 포함하는 배향 공정을 진행하는 제1 라인과, 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판에 대하여 상기 러빙 후 세정, 액정 적하, 씨일재 도포, 진공 합착 및 경화 공정을 포함하는 갭 공정을 진행하는 제2 라인과, 상기 갭 공정 후 합착된 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판에 대하여 스크라이브/브레이크 공정, 연마 공정 및 단위 액정 패널의 검사 공정, 최종 검사 공정을 포함하는 검사 공정을 진행하는 단선 단일의 제3 라인과, 상기 배향 공정을 진행하는 상기 제1 라인, 상기 갭 공정을 진행하는 상기 제2 라인 및 상기 검사 공정을 진행하는 상기 제3 라인의 각 공정 라인의 언로더에 위치하여 상기 제1 라인, 상기 제2 라인 및 상기 제3 라인 상의 공정 중에 발생한 불량 기판, 불량 패널을 적재 또는 처리하는 버퍼용 카세트를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. Process line of the liquid crystal display device and a manufacturing method using the same of the present invention for achieving the above object, in the process line of the liquid crystal display device having a loader and an unloader, cleaning before the alignment film is applied to the first substrate and the second substrate The first line undergoing an alignment process including a step, an alignment film coating, an alignment film firing, an inspection, and rubbing, the first and second substrates, the rubbing after cleaning, liquid crystal dropping, sealing material coating, vacuum bonding, and the like. A second line for performing a gap process including a curing process, a scribe / break process, a polishing process, an inspection process for a unit liquid crystal panel, and a final inspection process for the first substrate and the second substrate bonded after the gap process. Single single line performing the inspection process including a single third line, the first line through the alignment process, the second line through the gap process For buffers that are placed in the unloader of each process line of the third line for performing the inspection process, and which loads or processes the defective substrate and the defective panel generated during the process on the first line, the second line and the third line. It comprises a cassette.

삭제delete

아울러, 본 발명의 다른 견지에 의하면, 제 1 기판 및 제 2 기판에 대하여 제1 라인에서 배향막 도포 전 세정 공정, 배향막 도포, 배향막 소성, 검사 및 러빙을 포함하는 배향 공정을 진행하는 단계와, 상기 배향 공정에서 발생한 불량 기판들을 상기 제 1 라인 언로더 측부에 마련된 제 1 버퍼용 카세트에 적재 처리하는 단계와, 상기 러빙 후 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판에 대하여 제2 라인에서 세정, 액정 적하, 씨일제 도포, 진공 합착 및 경화 공정을 포함하는 갭 공정을 진행하여 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판이 합착된 대면적 패널을 형성하는 단계와, 상기 갭 공정 중에 발생한 불량 기판, 불량 패널을 상기 제2 라인 언로더에 위치한 제 2 버퍼용 카세트에 보관 처리하는 단계와, 다수의 단위패널 영역을 포함하며, 상기 다수의 단위패널 영역 중 불량 단위패널 영역 및 양품 단위패널 영역의 식별된 정보를 갖는 상기 대면적 패널을 제 3 라인에 로딩하는 단계와, 상기 대면적 패널을 상기 제3 라인에서 스크라이브/브레이크 공정으로 절단하여 다수의 단위 패널을 형성하는 단계와, 상기 불량 단위패널 영역을 포함하는 단위패널을 상기 제3 라인에서 상기 단위패널의 검사공정으로 제 3 버퍼용 카세트에 보관 처리하는 단계와, 상기 양품 단위패널 영역으로 이루어진 단위패널의 면을 상기 제3 라인에서 연마공정으로 연마하는 단계 및 상기 제3 라인에서 최종 검사 공정으로 양품 단위패널의 외관 및 전기적 불량 검사를 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the step of performing an alignment process including the cleaning process, the alignment film coating, alignment film firing, inspection and rubbing before applying the alignment film to the first substrate and the second substrate in the first line, and Loading the defective substrates generated in the alignment process into a first buffer cassette provided on the side of the first line unloader, and cleaning and liquid crystal dropping in the second line with respect to the first substrate and the second substrate after the rubbing. And forming a large area panel in which the first substrate and the second substrate are bonded by performing a gap process including applying a sealant, vacuum bonding, and curing. Storing in a second buffer cassette located in the second line unloader, and including a plurality of unit panel regions, wherein the plurality of unit panel regions are defective. Loading the large area panel with the identified information of the unit panel area and the good quality unit panel area on a third line, and cutting the large area panel in the scribe / break process on the third line to cut a plurality of unit panels. Forming and storing the unit panel including the defective unit panel region in a third buffer cassette in an inspection process of the unit panel in the third line; And polishing the surface by the polishing process in the third line and inspecting the appearance and electrical failure of the good unit panel in the final inspection process in the third line.

이와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조공정 라인 및 제조방법은 액정적하방식에 따른 것으로써, 도 4a 및 도 4b를 참조로 개략적으로 설명하기로 한다. Such a manufacturing process line and manufacturing method of the liquid crystal display according to the present invention are based on the liquid crystal dropping method, and will be described with reference to FIGS. 4A and 4B.

우선, 도 4a에서 알 수 있듯이, TFT 기판(10)에 액정주입구가 없는 프레임(Frame) 형상의 자외선 경화형 씨일재(30)를 소정의 두께로 도포하고, 상기 씨일재(30) 안쪽(박막트랜지스터 어레이 부분)에 적당량의 액정(20)을 고르게 적하한다. 이때, 상기 액정(20)은 시린지(Syringe, 60)를 이용하여 일정한 피치(Pitch) 와 패턴(Pattern)으로 일정량만큼 균일하게 도팅(Dotting)된다.First, as shown in FIG. 4A, a UV-curable seal material 30 having a frame shape without a liquid crystal injection hole is coated on the TFT substrate 10 to a predetermined thickness, and the inside of the seal material 30 (thin film transistor). An appropriate amount of liquid crystal 20 is evenly added to the array portion. In this case, the liquid crystal 20 is uniformly doted by a predetermined amount with a constant pitch and pattern using a syringe (Syringe, 60).

다음, 도 4b에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(도시되지 않음) 내에서 컬러필터 기판(50)을 상기 씨일재(30)가 인쇄된 TFT 기판(10)위에 위치시킨 다음, 합착한다. Next, as shown in FIG. 4B, the color filter substrate 50 is placed on the TFT substrate 10 on which the seal member 30 is printed in a vacuum chamber (not shown), and then bonded.

그런 다음, 도면에는 도시하지 않았지만, 진공 챔버 내를 대기압으로 복원하면 상기 합착된 TFT 기판(10) 및 컬러필터 기판(50)이 챔버 내와 기판 사이의 압력차로 인하여 기판이 가압되면서 TFT 기판(10)과 컬러필터 기판(50) 사이에 액정이 충진되어 액정층을 이룬다. 그런 다음, 상기 씨일재(30)의 도포 영역에 UV 광원을 이동시키면서 조사하여 씨일재(30)를 경화시킴으로써 액정표시장치를 제조한다. Then, although not shown in the drawing, when the inside of the vacuum chamber is restored to atmospheric pressure, the bonded TFT substrate 10 and the color filter substrate 50 are pressed by the substrate due to the pressure difference between the chamber and the substrate. ) And the color filter substrate 50 to form a liquid crystal layer. Then, the liquid crystal display device is manufactured by curing the seal material 30 by irradiating the application area of the seal material 30 while moving a UV light source.

이러한 액정적하방식은 짧은 시간 동안에 직접 기판상에 액정을 적하하기 때문에 대면적의 액정표시장치의 액정층 형성도 매우 신속하게 진행할 수 있게 될 뿐만 아니라 필요한 양의 액정만을 직접 기판상에 적하하기 때문에 액정의 소모를 최소화할 수 있게 되므로 액정표시소자의 제조비용을 대폭 절감할 수 있다는 장점을 가진다.Since the liquid crystal dropping method directly drops the liquid crystal onto the substrate for a short time, not only can the liquid crystal layer formation of a large area liquid crystal display device proceed very quickly, but also only the required amount of liquid crystal is directly dropped onto the substrate. Since it is possible to minimize the consumption of the liquid crystal display device has the advantage that can significantly reduce the manufacturing cost.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 배향 공정을 설명하기 위한 공정흐름도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 갭 공정의 공정흐름도이며, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 불량 단위기판 영역을 설명하기 위한 예시도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 제 3 라인을 설명하기 위한 공정배치도이다. 5 is a process flow chart for explaining an alignment process according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a process flow chart of a gap process according to an embodiment of the present invention, Figure 7 is a defective unit substrate according to an embodiment of the present invention 8 is an exemplary diagram for describing an area, and FIG. 8 is a process arrangement diagram for describing a third line according to an exemplary embodiment of the present invention.                     

먼저, 도면에는 도시하지 않았지만, 어레이 공정 및 컬러필터 공정이 수행된 제 1 기판 및 제 2 기판을 제공한다. 상기 제 1 기판 및 제 2 기판은 복수의 제 1 단위기판("TFT 단위기판" 이라 칭함) 영역 및 제 2 단위기판("컬러필터 단위기판" 이라 칭함) 영역을 각각 포함하며, 상기 어레이 공정 및 컬러필터 공정이 완료되면 제 1 카세트 및 제 2 카세트에 각각 적재된다.First, although not shown, a first substrate and a second substrate on which an array process and a color filter process are performed are provided. The first substrate and the second substrate include a plurality of first unit substrates (called "TFT unit substrates") and a second unit substrate (referred to as "color filter unit substrates"), respectively, the array process and When the color filter process is completed, it is loaded in the first cassette and the second cassette, respectively.

이러한 제 1 카세트 및 제 2 카세트는 이송장치에 의해 액정 셀 공정 라인의 로더(Loader)에 장착된다. 여기서, 상기 TFT 단위기판 영역에는 상기 어레이 공정에 의해 일정간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수 개의 게이트 라인과 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수 개의 데이터 라인과 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 매트릭스(Matrix) 화소 영역에 각각 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 구비되어 있다.The first cassette and the second cassette are mounted to the loader of the liquid crystal cell processing line by a transfer device. Here, the TFT unit substrate region includes a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval by the array process, and a plurality of data lines and gate lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines. And a plurality of thin film transistors and pixel electrodes respectively formed in a matrix pixel area defined by a data line.

그리고, 상기 컬러필터 단위기판 영역에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)층과 삼원색으로 구성되는 컬러 필터층 및 화소전극과 함께 액정을 구동시키는 공통전극 등이 구비되어 있다.The color filter unit substrate region includes a black matrix layer for blocking light except for the pixel region, a color filter layer composed of three primary colors, and a common electrode for driving a liquid crystal together with the pixel electrode. have.

상기와 같은 조건에서의 액정 셀 공정의 제조 공정을 설명하면 다음과 같다.The manufacturing process of the liquid crystal cell process under the above conditions is as follows.

액정 셀 공정을 진행하는 라인은 로더(Loader)와 언로더(Unloader)를 각각 구비하는 3개의 공정라인에 의해 진행된다. 즉, 배향 공정, 갭 공정, 검사 공정을 각각 진행하는 제 1 내지 제 3 라인으로 이루어진다. The line for proceeding the liquid crystal cell process is carried out by three process lines each having a loader and an unloader. That is, it consists of the 1st-3rd line which advances an orientation process, a gap process, and an inspection process, respectively.

상기 배향 공정은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 소성, 검사 및 러빙 공정 등으로 이루어지고, 상기 갭 공정은 러빙 후 세정, 액정 적하, 씨일재 도포, 진공 합착 및 경화 공정을 포함하여 이루어지며, 검사 공정은 스크라이브(Scribe)/브레이크(Break) 공정, 연마 공정 및 단위 액정 패널의 검사 공정 등으로 이루어진다.The alignment process includes washing before applying the alignment film, alignment film printing, firing, inspection, and rubbing processes, and the gap process includes washing after rubbing, liquid crystal dropping, sealing material coating, vacuum bonding, and curing processes. The process consists of a scribe / break process, a polishing process, and an inspection process of a unit liquid crystal panel.

먼저, 제 1 기판 및 제 2 기판을 각각 적재하는 제 1, 제 2 카세트는 액정 셀 공정으로의 진입 시, 상기 배향 공정을 진행하는 제 1 라인의 로더(Loader)에 놓여진다.First, the first and second cassettes for loading the first substrate and the second substrate, respectively, are placed in the loader of the first line that performs the alignment process when entering the liquid crystal cell process.

다음, 상기 로더에 장착된 제 1, 제 2 카세트의 정보를 인식하는 로봇 암에 의해 제 1 카세트에 적재되어 있는 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 매칭(Matching)되는 제 2 기판을 선택하여 배향 공정 라인에 로딩한다.Next, a first substrate loaded in the first cassette and a second substrate matching the first substrate are selected by a robot arm that recognizes information of the first and second cassettes mounted on the loader. Load into the alignment process line.

이러한 배향 공정은 도 4에 도시된 바와 같이, 배향막 도포 전 세정(20S) 공정과, 배향막 도포(21S), 배향막 소성(22S), 검사(23S) 및 러빙(24S) 순으로 진행된다.As shown in FIG. 4, the alignment process proceeds in the order of cleaning before the alignment film (20S), followed by the alignment film application (21S), the alignment film firing (22S), the inspection (23S), and the rubbing (24S).

이를 간략히 설명하면, 제 1 기판 및 제 2 기판에 이물질 및 입자(Particle)를 제거하기 위한 세정(20S) 공정을 진행한 다음, 배향막을 도포(21S)한다.Briefly, this is followed by a cleaning (20S) process for removing foreign matter and particles to the first substrate and the second substrate, and then the alignment film is applied (21S).

상기 배향막 도포(21S)의 배향액은 디스펜서(Dispenser)에서 회전하고 있는 닥터 롤(Doctor Roll)과 아닐록스 롤(Anilox Roll) 사이에 적하 공급된다. 이 도포액은 2개의 롤 사이에서 아닐록스 롤 면에 액체 박막으로 되어 유지되고, 아닐록스 롤로부터 인쇄고무판이 부착된 인쇄롤로 전사된다. 그리고 도포 스테이지 위에 고정된 기판이 진행할 때에 이 도포액의 박막이 제 1 기판 및 제 2 기판에 전사 도포된다. The alignment liquid of the alignment film coating 21S is supplied dropwise between the doctor roll and the anilox roll rotating in the dispenser. This coating liquid is held as a liquid thin film on the surface of the anilox roll between the two rolls, and transferred from the anilox roll to a printing roll with a printing rubber plate. And when the board | substrate fixed on the application | coating stage progresses, the thin film of this coating liquid is apply | coated to a 1st board | substrate and a 2nd board | substrate.                     

다음, 상기 제 1 기판 및 제 2 기판 상에 인쇄된 배향막 내의 용매를 증발시키기 위한 소성(Baking) 공정(22S)을 수행하고, 배향막 상태의 검사(23S) 및 러빙 공정(24S)을 거쳐 배향 공정을 완료한다.Next, a baking process 22S for evaporating the solvent in the alignment film printed on the first substrate and the second substrate is performed, and the alignment process is performed through the inspection of the alignment film state 23S and the rubbing process 24S. To complete.

이와 같은 배향 공정이 완료되면, 제 1 기판 및 제 2 기판은 언로더(Unloader)에 마련된 제 3, 제 4 카세트에 각각 적재되고, 상기 배향 공정 중 불량이 발생한 기판, 예컨대 배향 불량, 러빙 불량 및 기타 원인으로 인해 발생한 불량 기판은 언로더의 측부에 마련된 버퍼용 카세트에 적재된다. When the alignment process is completed, the first substrate and the second substrate are loaded in the third and fourth cassettes provided in the unloader, respectively, and the substrates in which the defects occur during the alignment process, such as orientation defects, rubbing defects, and The defective substrate generated due to other causes is loaded into the buffer cassette provided on the side of the unloader.

다음, 상기 제 3, 제 4 카세트는 갭(GAP) 공정을 진행하는 제 2 라인의 로더(Loader)에 로딩된다. 상기 제 2 라인은 제 1 기판을 처리하는 제 1 갭공정라인과 제 2 기판을 처리하는 제 2 갭공정라인 및 상기 양 기판을 합착하는 합착라인으로 나뉜다. 즉, TFT 단위기판 영역들을 포함하는 제 1 기판과 컬러필터 단위기판 영역들을 포함하는 제 2 기판 상에 각각 다른 라인에서 진행하는 2선 이중 라인의 공정을 진행한 다음, 상기 제 1 기판 및 제 2 기판을 합착하는 단선 단일 라인의 갭 공정을 진행한다. 다시 말해서, 상기 갭 공정은 2선 이중 라인에서 공정이 진행되다가 단선 단일 라인으로 진행되는 복합 라인으로 구성되는 공정이다.Next, the third and fourth cassettes are loaded into a loader of a second line which undergoes a gap process. The second line is divided into a first gap process line for processing the first substrate, a second gap process line for processing the second substrate, and a bonding line for bonding the both substrates. That is, the process of the two-line double line proceeding in different lines on the first substrate including the TFT unit substrate regions and the second substrate including the color filter unit substrate regions, and then the first substrate and the second substrate The gap process of the single-wire single line which bonds a board | substrate is performed. In other words, the gap process is a process consisting of a composite line that proceeds in a two-line double line and then proceeds to a single-line single line.

이러한 갭 공정의 진행 순서는 다음과 같다.The procedure of this gap process is as follows.

도 6에 도시된 바와 같이, 제 3, 제 4 카세트에 적재되어 있는 제 1, 제 2 기판들 중 하나 씩을 선택하여 제 2 라인에 로딩한다.As shown in FIG. 6, one of the first and second substrates loaded in the third and fourth cassettes is selected and loaded into the second line.

다음, 선택된 제 1 기판 및 제 2 기판을 세정(25S)하고, 이어서 제 1 기판은 액정 디스펜싱(LC Dispensing) 장치에 로딩되고, 제 2 기판은 은(Ag) 디스펜싱(Dispensing) 장치와 씨일(Seal) 디스펜싱 장치에 순차적으로 로딩된다.Next, the selected first and second substrates are cleaned 25S, and then the first substrate is loaded into an LC dispensing apparatus, and the second substrate is sealed with an silver dispensing apparatus. (Seal) Loaded sequentially into the dispensing device.

이에 의해, 제 2 기판 상에는 은(Ag) 도트 형상이 도포(26S)되고, 각 컬러필터 단위기판 영역의 주변부에 액정주입구가 없는 씨일재가 도포된다(27S). 이때, 씨일재는 광 또는 열 경화성 수지가 이용된다.Thereby, silver (Ag) dot shape is apply | coated 26S on a 2nd board | substrate, and the seal material without a liquid crystal injection hole is apply | coated to the periphery of each color filter unit board | substrate area | region (27S). At this time, the sealing material is light or thermosetting resin.

한편, 상기 컬러필터 단위기판 영역 상의 씨일재 안쪽 영역과 대응하는 TFT 단위기판 영역상에 액정을 적하(28S)하는 공정이 진행된다.Meanwhile, a process of dropping 28S the liquid crystal onto the TFT unit substrate region corresponding to the seal material inner region on the color filter unit substrate region is performed.

액정의 적하(28S) 공정을 간략히 살펴보면 다음과 같이 진행된다.Briefly looking at the dropping process 28S of the liquid crystal proceeds as follows.

먼저, 액정을 진공하에서 탈포시킨 후, 액정적하장치를 조립 및 셋팅하여 액정 디스펜싱 장치에 장착한다. 그런 다음, 제 1 기판이 액정 디스펜싱 장치에 로딩되면, 액정적하장치를 이용하여 액정을 적하한다. First, after degassing a liquid crystal under vacuum, a liquid crystal dropping apparatus is assembled and set, and it mounts in a liquid crystal dispensing apparatus. Then, when the first substrate is loaded into the liquid crystal dispensing apparatus, the liquid crystal is dropped using the liquid crystal dropping apparatus.

다음, 상기와 같은 공정이 진행된 각각의 제 1 기판과 제 2 기판은 진공 챔버에 로딩되어 상기 적하된 액정이 균일하게 각 패널에 채워지도록 제 1 기판과 제 2 기판을 합착한 다음, 상기 씨일재를 경화하여 대면적 패널을 형성한다(30S).Next, each of the first and second substrates subjected to the above process is loaded into a vacuum chamber, and the first substrate and the second substrate are bonded to each other so that the loaded liquid crystal is uniformly filled in each panel. Curing to form a large area panel (30S).

여기서, 상기 합착 공정을 살펴보면 다음과 같이 진행된다.Here, looking at the bonding process proceeds as follows.

도면에는 도시하지 않았지만, 제 1 기판을 수평방향으로 이동 가능한 진공 용기 내의 테이블상에 탑재하고, 상기 제 1 기판의 하부 표면 전면을 제 1 흡착기구로 진공 흡착하여 고정시킨다. 다음, 제 2 기판의 하부 표면 전면을 제 2 흡착기구로 진공 흡착하여 고정하고, 진공 챔버를 닫아 진공시킨다. 그리고, 상기 제 2 흡착기구를 수직방향으로 하강시켜 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 간격을 소정 간격으로 두고, 상기 제 1 기판을 탑재한 상기 테이블을 수평 방향으로 이동시켜 제 1 기판과 제 2 기판을 위치 맞춤 한다.Although not shown in the figure, the first substrate is mounted on a table in a vacuum container that is movable in the horizontal direction, and the entire lower surface of the first substrate is vacuum-adsorbed by the first adsorption mechanism to fix it. Next, the entire lower surface of the second substrate is vacuum-adsorbed with the second adsorption mechanism, and the vacuum chamber is closed to vacuum. Then, the second adsorption mechanism is lowered in the vertical direction so as to space the first substrate and the second substrate at a predetermined interval, and the table on which the first substrate is mounted is moved in the horizontal direction so that the first substrate and the second substrate are moved. Position the substrate.

그런 다음, 상기 제 2 흡착기구를 수직방향으로 하강시켜 제 2 기판을 상기 씨일재를 통해 제 1 기판에 접합하고, 상기 적하된 액정이 제 1 기판 및 제 2 기판에 소정 두께로 충진되도록 가압하여 다수의 단위패널을 포함하는 대면적 패널을 형성한다. 이어, 상기 진공 챔버로부터 상기 패널을 꺼낸 다음, 상기 씨일재에 자외선 조사하여 갭 공정을 완료한다. Then, the second adsorption mechanism is lowered in a vertical direction to bond the second substrate to the first substrate through the seal material, and the dropping liquid crystal is pressed to fill the first substrate and the second substrate to a predetermined thickness. A large area panel is formed that includes a plurality of unit panels. Subsequently, the panel is removed from the vacuum chamber, and the seal material is irradiated with ultraviolet rays to complete the gap process.

여기서, 상기 갭 공정 진행 중 합착시 미스 얼라인(Misalign)으로 인한 불량이나, 액정량의 부족 및 과다로 인한 불량 또는 씨일재의 단선으로 인한 불량이 발생한 패널은 갭 공정 라인의 언로더에 위치한 버퍼용 카세트에 보관 처리된다.In this case, the panel in which the defect due to misalignment during the gap process, the defect due to the lack and excessive liquid crystal amount or the defect due to the disconnection of the seal material is used for the buffer located in the unloader of the gap process line. It is stored in a cassette.

상기 대면적 패널은 TFT 단위기판 영역과 컬러필터 단위기판 영역이 각각 합착된 다수의 단위패널 영역을 구비한다. 예를 들면, 도 7에 도시된 바와 같이, 각각 9개의 TFT 단위기판 영역(300) 및 컬러필터 단위기판 영역(400)들이 제 1 기판(500) 및 제 2 기판(600)에 형성되어 있다. 이러한 제 1, 제 2 기판(500, 600)은 양품(G) 판정을 받아 액정 셀 공정을 진행하게 되는데, 전술한 바와 같이 어레이 공정 및 컬러필터 공정에서 적어도 하나 이상의 불량(NG)이 발생한 TFT 단위기판 영역 또는 컬러필터 단위기판 영역이 포함되어 있을 수 있다. The large area panel includes a plurality of unit panel regions in which a TFT unit substrate region and a color filter unit substrate region are bonded to each other. For example, as illustrated in FIG. 7, nine TFT unit substrate regions 300 and color filter unit substrate regions 400 are formed on the first substrate 500 and the second substrate 600, respectively. The first and second substrates 500 and 600 undergo a liquid crystal cell process after being judged as good quality (G). As described above, a TFT unit in which at least one defect (NG) is generated in the array process and the color filter process. The substrate region or the color filter unit substrate region may be included.

상기 불량(NG)이 발생한 단위기판 영역의 정보는 액정표시장치의 공정라인의 정보를 총괄하는 중앙처리장치에 저장되어 있으며, 이러한 기판의 정보 데이터는 이하 설명되는 검사 공정 라인 상에 배치된 로컬(Local)처리장치에 전송된다.The information on the unit substrate area where the defect (NG) has occurred is stored in a central processing unit that oversees the information of the process line of the liquid crystal display device. Local) is sent to the processing unit.

한편, 갭 공정이 완료된 대면적 패널은 제 3 라인에 로딩된다. 상기 제 3 라 인은 대면적 패널을 다수의 액정단위패널로 절단하는 공정과, 상기 액정단위패널의 절단된 면을 가공하는 연마공정 및 액정단위패널의 외관 및 전기적 불량검사를 포함하여 진행하는 단선 단일 라인으로 구성된다.On the other hand, the large area panel where the gap process is completed is loaded on the third line. The third line includes a disconnection process including a process of cutting a large area panel into a plurality of liquid crystal unit panels, a polishing process of processing the cut surface of the liquid crystal unit panel, and an appearance and electrical defect inspection of the liquid crystal unit panel. It consists of a single line.

즉, 도 8에 도시된 바와 같이, 먼저 복수의 패널이 적재된 카세트(도시되지 않음)가 제 3 라인(800)의 로더(Loader, 810)상에 배치되면, 로봇 암에 의해 상기 패널을 단위 패널로 절단하는 공정이 진행된다.That is, as shown in FIG. 8, when a cassette (not shown) on which a plurality of panels are loaded is first disposed on a loader 810 of the third line 800, the panel is united by a robot arm. The process of cutting into panels is carried out.

상기 절단 공정(30S)은 절단 휠(Wheel)을 통해 일정한 압력으로 유리재질의 패널과 밀착되어 일정한 깊이의 홈을 형성하고, 상기 패널에 홈이 형성된 이후에는 외부의 충격을 통해 크랙(Crack)이 아래방향으로 전파되도록 패널을 절삭함으로써 다수의 단위 패널을 형성한다. The cutting process (30S) is in close contact with the panel of the glass material at a constant pressure through a cutting wheel (Wheel) to form a groove of a certain depth, after the groove is formed in the panel cracks (Crack) through an external impact A plurality of unit panels are formed by cutting the panel to propagate downward.

다음, 단위 패널의 절단 부위의 상태를 검사하는 공정이 진행된다. 상기 검사공정(31S)은 절단된 단위 패널의 절단부위에 찌꺼기(Burr)가 잔류하는지를 검사하는 공정이다.Next, the process of inspecting the state of the cutting | disconnection site | part of a unit panel is advanced. The inspection step 31S is a step of inspecting whether residues of burrs remain in the cut portions of the cut unit panels.

이어, 절단된 각 단위 패널은 연마장치로 이송되어 단위 패널의 면을 연마(32S)하게 되는데, 이때 본 발명의 실시예에서는 상기 연마 공정(32S) 전, 로컬처리장치(900)에서 상기 중앙처리장치로부터 불량 단위 기판 영역의 데이터를 전송 받아, 상기 단위 패널의 연마장치로의 이송여부를 판단한다.Subsequently, each cut unit panel is transferred to a polishing apparatus to polish the surface of the unit panel 32S. In this embodiment of the present invention, before the polishing process 32S, the local processing unit 900 performs the central processing. Data of the defective unit substrate region is received from the apparatus, and it is determined whether the unit panel is transferred to the polishing apparatus.

즉, 불량이 발생한 단위기판 영역을 포함하는 단위 패널은 제 3 라인(800)의 주변부에 위치하는 버퍼용 카세트(1000)에 보관 처리되고, 도 7에서의 양품(G) 판정을 받은 단위기판 영역으로 이루어지는 액정단위패널만 연마장치로 이송되게 된다. 이에 의해, 종래의 연마장비의 불필요한 가동으로 인한 마모와, 이후 진행되는 검사공정에서의 작업자의 피로 및 시간 낭비 등을 효과적으로 줄일 수 있다.That is, the unit panel including the unit board area in which the defect has occurred is stored in the buffer cassette 1000 located at the periphery of the third line 800, and the unit board area which has been judged good quality (G) in FIG. Only the liquid crystal unit panel consisting of the transfer to the polishing apparatus. As a result, wear and tear due to unnecessary operation of the conventional polishing equipment, worker fatigue and time waste in an inspection process which can be carried out can be effectively reduced.

다음, 액정 단위패널의 외관 및 전기적 연결에 대한 최종 검사(33S)를 진행하여 액정 셀 공정을 완료한 다음, 언로더(Unloader, 910)에 마련된 카세트에 적재된다.Next, the final inspection 33S of the appearance and electrical connection of the liquid crystal unit panel is performed to complete the liquid crystal cell process, and then loaded in the cassette provided in the unloader 910.

상기 검사(33S)는 액정 배향 상태를 검사하는 외관 검사 및 A/P(Auto/Probe) 검사를 진행하는 공정으로 얼룩불량 및 전기적 점등 상태, 예를 들면 바둑판 얼룩, 검정 얼룩, 컬러필터 돌기, 사선얼룩, 러빙줄무늬, 핀 홀(Pin Hole), 게이트 라인 및 데이터 라인의 단선 또는 합선 등을 검사한다. 상기 얼룩 불량은 육안 혹은 CCD 등의 고체 촬상 소자에 의한 자동 검출이 가능하다.The inspection 33S is a process of inspecting the appearance and A / P (Auto / Probe) inspection of the liquid crystal alignment state, such as stains and electrical lighting conditions, for example checkerboard stains, black stains, color filter projections, diagonal lines Check for spots, rubbing streaks, pin holes, gate lines and data lines. The spot defect can be automatically detected by the naked eye or by a solid-state image sensor such as a CCD.

상술한 제 3 라인(800)은 종래의 진공주입법을 적용한 액정표시장치의 제조공정라인에 있어서, 3개의 독립된 라인에서 각각 진행되는 절단 공정, 주입 봉지 공정 및 검사 공정으로 진행되는 것과 달리, 단선 단일 라인으로 액정 셀 공정을 완료할 수 있다. 즉, 종래 다수의 공정라인으로 인한 비효율적인 공간 사용과, 공정시간 및 생산비용을 줄일 수 있어, 최소의 공정라인으로 최대 수율을 확보를 할 수 있다.The third line 800 described above is a single-wire single line, unlike a process of cutting, injecting, and inspecting each of three independent lines in the manufacturing process line of the liquid crystal display device using the conventional vacuum injection method. Line can complete the liquid crystal cell process. That is, inefficient space use, process time, and production cost due to a plurality of conventional process lines can be reduced, so that maximum yield can be secured with a minimum process line.

이후, 도면에는 도시하지 않았지만, 드라이버 IC의 부착이나 백 라이트 장착 등을 하는 모듈공정이 진행된다.Subsequently, although not shown in the figure, a module process for attaching a driver IC, attaching a backlight, or the like proceeds.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자 에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

상술한 본 발명의 액정표시장치의 공정라인 및 이를 이용한 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.The above-described process line of the liquid crystal display device of the present invention and a manufacturing method using the same have the following effects.

첫째, 액정 셀 공정라인을 제 1 내지 제 3 라인의 단순화된 공정라인으로 액정단위패널을 형성함으로써, 종래 다수의 공정라인으로 인한 비효율적인 공간 활용을 방지하여 공간 절약을 할 수 있다.First, by forming a liquid crystal unit panel using the liquid crystal cell process line as a simplified process line of the first to third lines, space can be saved by preventing inefficient space utilization caused by a plurality of conventional process lines.

둘째, 단순화된 공정라인으로 인한 물류 장비의 절감 및 시간을 줄일 수 있어, 최소의 공정라인으로 최대 수율을 확보를 할 수 있다.Second, it is possible to reduce the logistics equipment time and time due to the simplified process line, it is possible to secure the maximum yield with a minimum process line.

셋째, 제 3 라인에 별도의 버퍼용 카세트를 마련하여 로컬처리장치의 정보에 의해 불량 단위기판 영역을 포함한 단위 패널을 보관 처리함으로써, 이후 진행되는 연마공정에서의 연마장비의 불필요한 가동으로 인한 마모와, 최종검사공정에서의 작업자의 피로 및 시간 낭비 등을 효과적으로 줄일 수 있다.Third, a separate buffer cassette is provided on the third line to store and process the unit panel including the defective unit board area by the information of the local processing apparatus, thereby reducing wear and tear caused by unnecessary operation of the polishing equipment in the subsequent polishing process. This can effectively reduce worker fatigue and waste of time in the final inspection process.

Claims (19)

로더와 언로더를 구비하는 액정표시장치의 공정라인에 있어서,In the process line of the liquid crystal display device having a loader and an unloader, 제 1 기판 및 제 2 기판에 대하여 배향막 도포 전 세정 공정, 배향막 도포, 배향막 소성, 검사 및 러빙을 포함하는 배향 공정을 진행하는 제1 라인과, A first line for carrying out an alignment process including a cleaning process, alignment film coating, alignment film firing, inspection, and rubbing before applying the alignment film to the first substrate and the second substrate, 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판에 대하여 상기 러빙 후 세정, 액정 적하, 씨일재 도포, 진공 합착 및 경화 공정을 포함하는 갭 공정을 진행하는 제2 라인과, A second line for performing a gap process including said post-rubbing cleaning, liquid crystal dropping, sealing material coating, vacuum bonding and curing process for said first substrate and said second substrate; 상기 갭 공정 후 합착된 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판에 대하여 스크라이브/브레이크 공정, 연마 공정 및 단위 액정 패널의 검사 공정, 최종 검사 공정을 포함하는 검사 공정을 진행하는 단선 단일의 제3 라인을 포함하고,After the gap process, a single-line single third line which performs an inspection process including a scribe / break process, a polishing process, an inspection process of a unit liquid crystal panel, and a final inspection process is performed on the first and second substrates bonded together after the gap process. Including, 상기 제 3 라인은 다수의 단위패널 영역을 구비하는 대면적 패널을 다수의 단위패널로 형성하는 절단장치와,The third line includes a cutting device for forming a large area panel having a plurality of unit panel areas into a plurality of unit panels; 양품 단위패널 영역의 정보를 갖는 단위패널의 단면을 연마하는 연마장치와,A polishing apparatus for polishing a section of a unit panel having information of a good unit panel region; 상기 연마된 단위패널의 외관 및 전기 불량 검사를 진행하는 검사장치를 포함하며,Including the inspection device for performing the appearance and electrical failure inspection of the polished unit panel, 상기 제1 라인, 상기 제2 라인 및 상기 제3 라인의 각 공정 라인의 언로더에 위치하여 상기 제1 라인 및 상기 제2 라인 상의 공정 중에 발생한 불량 기판을 적재 또는 처리하고, 상기 제3 라인 상의 절단된 단위패널 중 불량 단위패널 영역의 정보를 갖는 단위패널을 보관 처리하는 버퍼용 카세트를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 공정라인. Located in the unloader of each process line of the first line, the second line and the third line to load or process a defective substrate generated during the process on the first line and the second line, and on the third line And a buffer cassette for storing and processing the unit panel having information of the defective unit panel region among the cut unit panels. 삭제delete 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단위패널 영역은 제 1 단위기판 영역 상에 액정이 적하되고, 씨일재를 통해 제 2 단위기판 영역과 합착된 패널 영역인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 공정라인.Wherein the unit panel region is a panel region in which liquid crystal is dropped on the first unit substrate region and is bonded to the second unit substrate region through a seal material. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 불량 단위패널 영역은 상기 제 1 단위기판 영역 및 제 2 단위기판 영역 중 어느 하나의 영역이 불량이 발생되어 합착된 패널인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 공정라인.And wherein the defective unit panel region is a panel in which any one of the first unit substrate region and the second unit substrate region is defective and bonded together. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 불량 단위패널 영역은 어레이 공정 및 컬러필터 공정에서 불량이 발생한 제 1 단위기판 영역 또는 제 2 단위기판 영역으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 공정라인.Wherein the defective unit panel region comprises a first unit substrate region or a second unit substrate region where defects occur in an array process and a color filter process. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 대면적 패널에 형성된 다수의 단위패널 영역의 정보를 갖는 중앙처리장치로부터 데이터를 전송 받아 상기 불량 단위패널 영역을 포함하는 단위 패널을 상기 버퍼용 카세트에 보관 처리되도록 제어하는 로컬처리장치를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 공정라인.The apparatus further includes a local processing device that receives data from a central processing unit having information on a plurality of unit panel areas formed in the large area panel and stores the unit panel including the defective unit panel area in the buffer cassette. Process line of the liquid crystal display device characterized in that consisting of. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절단장치에 의해 절단된 단위패널의 절단부위의 돌기를 검사하는 검사장치를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 공정라인.And a inspection apparatus for inspecting protrusions of cut portions of the unit panel cut by the cutting apparatus. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 기판 및 제 2 기판에 대하여 제1 라인에서 배향막 도포 전 세정 공정, 배향막 도포, 배향막 소성, 검사 및 러빙을 포함하는 배향 공정을 진행하는 단계;Performing an alignment process on the first substrate and the second substrate in a first line, including a cleaning process before coating the alignment film, applying the alignment film, baking the alignment film, inspecting and rubbing; 상기 배향 공정에서 발생한 불량 기판들을 상기 제 1 라인 언로더 측부에 마련된 제 1 버퍼용 카세트에 적재 처리하는 단계;Loading the defective substrates generated in the alignment process into a first buffer cassette provided on the first line unloader side; 상기 러빙 후 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판에 대하여 제2 라인에서 세정, 액정 적하, 씨일제 도포, 진공 합착 및 경화 공정을 포함하는 갭 공정을 진행하여 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판이 합착된 대면적 패널을 형성하는 단계;After the rubbing, the first substrate and the second substrate may be subjected to a gap process including washing, liquid crystal dropping, sealant coating, vacuum bonding, and curing in a second line on the first substrate and the second substrate. Forming a large bonded panel; 상기 갭 공정 중에 발생한 불량 기판, 불량 패널을 상기 제2 라인 언로더에 위치한 제 2 버퍼용 카세트에 보관 처리하는 단계;Storing the defective substrate and the defective panel generated during the gap process in a second buffer cassette located in the second line unloader; 다수의 단위패널 영역을 포함하며, 상기 다수의 단위패널 영역 중 불량 단위패널 영역 및 양품 단위패널 영역의 식별된 정보를 갖는 상기 대면적 패널을 제 3 라인에 로딩하는 단계;Loading the large area panel including a plurality of unit panel regions, the large area panel having identified information of a defective unit panel region and a good unit panel region of the plurality of unit panel regions, on a third line; 상기 대면적 패널을 상기 제3 라인에서 스크라이브/브레이크 공정으로 절단하여 다수의 단위 패널을 형성하는 단계;Cutting the large area panel in a scribe / break process on the third line to form a plurality of unit panels; 상기 불량 단위패널 영역을 포함하는 단위패널을 상기 제3 라인에서 상기 단위패널의 검사공정으로 제 3 버퍼용 카세트에 보관 처리하는 단계;Storing the unit panel including the defective unit panel area in a third buffer cassette in an inspection process of the unit panel in the third line; 상기 양품 단위패널 영역으로 이루어진 단위패널의 면을 상기 제3 라인에서 연마공정으로 연마하는 단계; 및Polishing a surface of the unit panel including the good unit panel region by a polishing process on the third line; And 상기 제3 라인에서 최종 검사 공정으로 양품 단위패널의 외관 및 전기적 불량 검사를 진행하는 단계를 포함하고,In the third line, the final inspection process includes the step of performing the appearance and electrical failure inspection of the good unit panel, 상기 대면적 패널을 상기 제 2 버퍼용 카세트에 보관 처리하는 단계와, 상기 단위패널을 상기 제 3 버퍼용 카세트에 보관 처리하는 단계는, 상기 다수의 단위패널 영역에 대한 정보를 갖는 중앙처리장치로부터 데이터를 전송받아 상기 불량 단위패널 영역을 포함하는 상기 대면적 패널 또는 상기 단위 패널을 상기 제 2 또는 제 3 버퍼용 카세트에 보관 처리되도록 제어하는 로컬처리장치에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.The step of storing the large area panel in the second buffer cassette and the step of storing the unit panel in the third buffer cassette are performed by a central processing unit having information on the plurality of unit panel areas. And a local processing device which receives data and controls the large area panel or the unit panel including the defective unit panel area to be stored in the second or third buffer cassette. Manufacturing method. 제 14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 단위패널 영역은 상기 제 1 기판에 형성된 제 1 단위기판 영역 상에 액정이 적하되고, 씨일재를 통해 상기 제 2 기판에 형성된 제 2 단위기판 영역과 합착된 패널 영역인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.The liquid crystal display is characterized in that the unit panel region is a panel region in which liquid crystal is dropped on the first unit substrate region formed on the first substrate, and is bonded to the second unit substrate region formed on the second substrate through a sealing material. Method of manufacturing the device. 제 14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 불량 단위패널 영역은 상기 제 1 기판에 형성된 제 1 단위기판 영역 및 상기 제 2 기판에 형성된 제 2 단위기판 영역 중 어느 하나의 영역이 불량이 발생되어 합착된 패널인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.The defective unit panel region may be a panel in which any one of the first unit substrate region formed on the first substrate and the second unit substrate region formed on the second substrate is bonded to the defective unit panel. Manufacturing method. 제 16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 불량 단위패널 영역은 어레이 공정 및 컬러필터 공정에서 불량이 발생한 상기 제 1 단위기판 영역 또는 상기 제 2 단위기판 영역으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And wherein the defective unit panel region includes the first unit substrate region or the second unit substrate region where defects occur in an array process and a color filter process. 삭제delete 제 14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 단위 패널의 절단부위의 돌기를 검사하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And inspecting the projection of the cut portion of the unit panel.
KR1020020033385A 2002-06-14 2002-06-14 Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it KR100904259B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020033385A KR100904259B1 (en) 2002-06-14 2002-06-14 Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020033385A KR100904259B1 (en) 2002-06-14 2002-06-14 Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030095811A KR20030095811A (en) 2003-12-24
KR100904259B1 true KR100904259B1 (en) 2009-06-25

Family

ID=32387102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020033385A KR100904259B1 (en) 2002-06-14 2002-06-14 Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100904259B1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0141196B1 (en) * 1994-06-02 1998-06-01 김광호 Panel inspection apparatus of cathode ray tube
KR19990030087A (en) * 1997-09-25 1999-04-26 쓰지 하루오 Substrate Cutting Method and Display Panel Manufacturing Method
KR19990074542A (en) * 1998-03-12 1999-10-05 윤종용 Liquid crystal display panel polishing apparatus and manufacturing method of liquid crystal display device using same
KR20000011657A (en) * 1998-07-14 2000-02-25 마찌다 가쯔히꼬 Collective substrate of active-matrix substrates, manufacturing method thereof and inspecting method thereof
KR20010084137A (en) * 2000-02-24 2001-09-06 구본준, 론 위라하디락사 Apparatus of Inspecting Liquid Crystal Display Device in In-line

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0141196B1 (en) * 1994-06-02 1998-06-01 김광호 Panel inspection apparatus of cathode ray tube
KR19990030087A (en) * 1997-09-25 1999-04-26 쓰지 하루오 Substrate Cutting Method and Display Panel Manufacturing Method
KR19990074542A (en) * 1998-03-12 1999-10-05 윤종용 Liquid crystal display panel polishing apparatus and manufacturing method of liquid crystal display device using same
KR20000011657A (en) * 1998-07-14 2000-02-25 마찌다 가쯔히꼬 Collective substrate of active-matrix substrates, manufacturing method thereof and inspecting method thereof
KR20010084137A (en) * 2000-02-24 2001-09-06 구본준, 론 위라하디락사 Apparatus of Inspecting Liquid Crystal Display Device in In-line

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030095811A (en) 2003-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4758165B2 (en) Liquid crystal panel, liquid crystal panel inspection apparatus, and liquid crystal display manufacturing method using the same
JP3842722B2 (en) Process line for liquid crystal display device and manufacturing method using the same
KR20030066910A (en) Method for manufacturing liquid crystal display device
US7352430B2 (en) Apparatus and method for manufacturing a liquid crystal display device, a method for using the apparatus, and a device produced by the method
US6741322B2 (en) Production line of liquid crystal display device having shield of UV blocking material
KR100904259B1 (en) Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it
JP2003270652A (en) Device for controlling spreading of liquid crystal and method for fabricating liquid crystal display device
KR100880215B1 (en) Auto/probe inspection equipment
KR100853777B1 (en) Lc dispensing apparatus and method for manufacturing liquid crystal display device using it
KR100847820B1 (en) Lc syringe and method for manufacturing liquid crystal display device using it
KR100731041B1 (en) Liquid crystal deaeration apparatus and method using it
JP4044427B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
KR100884995B1 (en) Liquid crystal display device fabrication line and manufacturing method using it
KR20050073659A (en) Liquid crystal display and method for manufacturing the same
KR100847818B1 (en) Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it
KR100898781B1 (en) Visual inspection apparatus and liquid crystal display manufacturing method using it
KR100875184B1 (en) Liquid crystal diffusion control device and manufacturing method of liquid crystal display device using the same
KR20030095886A (en) Method for manufacturing liquid crystal display device
KR100510725B1 (en) Method for manufacturing liquid crystal display device
KR20030095722A (en) Lcd, lcd inspection apparatus and lcd manufacturing method using it
KR100710153B1 (en) Method for manufacturing liquid crystal display device
KR100840681B1 (en) End sealing apparatus and method for manufacturing liquid display crystal panel using it
KR20040001178A (en) Screen mask and method for manufacturing liquid crystal display device using it
KR20030095655A (en) Method for manufacturing liquid crystal display device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120330

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120725

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150528

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160530

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180515

Year of fee payment: 10