KR100698818B1 - 리젝션을 보상하는 서로 다른 2 채널을 갖는 음향 필터 - Google Patents

리젝션을 보상하는 서로 다른 2 채널을 갖는 음향 필터 Download PDF

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Abstract

표면 음향파 필터는 제 1 및 제 2 채널을 구비하고, 각각의 채널은 하나 이상의 입력 트랜스듀서 및 출력 트랜스듀서를 구비한다. 제 1 채널과 제 2 채널의 전달 함수는 필터의 패스 밴드 내에서는 동위상이고, 필터의 리젝션 밴드에서는 역위상이다. 이러한 유형의 구성은 각각의 채널에 대한 주파수 응답을 이용가능하게 하고, 넓은 밴드는 필터의 크기를 크게 감소시키며, 동시에 전체 필터의 리젝션 밴드를 감소시킬 수 있게 한다.
응용 : 이동 전화 통신

Description

리젝션을 보상하는 서로 다른 2 채널을 갖는 음향 필터 {ACOUSTIC FILTER WITH TWO DIFFERENT CHANNELS WITH COMPENSATION FOR REJECTION}
도 1 은 2 채널을 구비하고, 각 채널은 입력 트랜스듀서 및 출력 트랜스듀서를 갖는 본 발명에 따른 필터의 개략도.
도 2 는 출력단에 단일 트랜스듀서를 구비하는, 본 발명에 따른 필터의 개략도.
도 3 은 입력과 출력단에 서로 다른 트랜스듀서를 구비하는, 음파의 커플링 현상을 나타낸 도면.
도 4 는 직렬 연결된 2 개의 트랜스듀서를 나타낸 도면.
도 5 는 반 파장 만큼 오프셋된 동일한 2 채널로 분할되고, 플로팅 전위를 갖는 중심 버스에 의해 직렬 연결된 트랜스듀서를 나타낸 도면.
도 6 은 플로팅 버스에 의해 직렬 연결된 2 개의 서로 다른 트랜스듀서를 나타낸 도면.
도 7 은 병렬 연결된 2 개의 트랜스듀서를 나타낸 도면.
도 8 은 종래 기술에 따른, 반 파장 만큼 오프셋되고 병렬 연결된 2 개의 동일한 트랜스듀서를 나타낸 도면.
도 9 는 본 발명에 따른 필터에 이용되는, 병렬 연결된 서로 다른 2 개의 트랜스듀서를 나타낸 도면.
도 10 은 220.38 ㎒ 에서 작동하는 본 발명에 따른 예시 필터에 사용되는 2 개 트랜스듀서의 각 채널에 대한 가중 함수를 나타낸 도면.
도 11 은 가중 함수의 이산화 (discretization) 를 나타낸 도면.
도 12 는 분리된 채널의 응답을 결정하는 방법을 나타낸 도면.
도 13 은 합성 필터 (resulting filter) 의 전달 함수의 진폭뿐만 아니라, 분리된 경우, 220.38 ㎒ 에서 작동하는 본 발명에 따른 예시 필터의 2 채널의 전달 함수의 진폭을 나타낸 도면.
도 14 는 합성 필터 (resulting filter) 의 전달 함수의 진폭과 위상뿐만 아니라, 분리된 경우, 220.38 ㎒ 에서 작동하는 본 발명에 따른 예시 필터의 2 채널의 전달 함수의 위상을 나타낸 도면.
※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
T1U : 제 1 입력 트랜스듀서 T1L : 제 2 입력 트랜스듀서
T2U : 제 1 출력 트랜스듀서 T2L : 제 2 출력 트랜스듀서
FU, FL : 음파
본 발명은 보다 상세하게는, 단방향성 DART 형 트랜스듀서를 이용할 수 있는 표면 음향파 필터 (surface acoustic filter) 에 관한 것이다.
이러한 유형의 트랜스듀서는 기본적으로 단방향으로 음파를 전송 및 수신하는 장점을 갖는다. 이로 인해서, 트랜스듀서의 효율을 크게 향상시킨다. 이는 변환 중심과 반사 중심의 세트로 이루어져, 이들의 분포에 의해 매우 중요한 필터링 특성을 얻을 수 있다. 그러나, 이들의 디자인으로 인해, λ가 디바이스 동작의 중심 주파수에서의 파장인 경우, DART 필터는 그 길이가 통상 수백 λ로 비교적 긴 장치가 된다.
그 결과, 하나는 입력 트랜스듀서이고 다른 하나는 출력 트랜스듀서인 2 개의 DART 형 트랜스듀서를 구비한 필터는 길이가 폭보다 상당히 긴 기판을 이용하여야 한다. 그러면, 길이가 폭보다 상당히 긴 비표준 패키지를 이용하여야 하므로, 통상의 임플랜테이션 (implantation) 시스템에 일체화시키기가 어렵고, 비틀림과 휘어짐에 약하게 된다.
이에 따라서, 본 발명은 DART 형 변환 함수와 반사 함수를 일체화시킨 트랜스듀서를 이용하는 표면 음향파 필터를 제안하며, 이 필터는 전기 접속된 2 채널을 구비하고, 각각의 채널은 입력 트랜스듀서 및 출력 트랜스듀서를 구비하며, 상기 채널들은 현재 필터 가격에 결정적인 요인인 필터 길이를 감소시킴으로써, 필터링 밴드와 리젝션 밴드 (rejection band) 에 대한 매우 만족스러운 동작 특성 수준을 얻을 수 있도록 최적화된 구조체를 갖는다.
좀더 상세하게 설명하면, 본 발명의 목적은 트랜스듀서들을 구비한 표면 음향파 필터로서, 각 트랜스듀서는 반사와 변환의 위상뿐만 아니라 트랜스듀서 내의 반사와 변환의 밀도를 나타내는 가중 함수 (weighting function) 에 의해 정의된다. 이러한 가중 함수가 당업자에게 공지된, 트랜스듀서의 각 영역에서 가중 함수로 주어진 반사기와 소오스 (source) 에 따른 반사기의 밀도와 소오스의 밀도의 선택으로 이루어지는 이산화 (discretization) 법, 또는 트랜스듀서 내에서 가중 함수에 의해 주어지는 개구 상에 소오스와 반사기를 배치하여 이루어지는, 소위 개구에 의한 가중법 중 어느 하나에 의해, 트랜스듀서 상에 물리적으로 달성될 수 있고, 소정의 패스 밴드 (passband) 와 소정의 리젝션 밴드를 갖는 상기 필터는,
제 1 전달 함수 (transfer function) 를 정의하는 하나 이상의 제 1 입력 트랜스듀서와 제 1 출력 트랜스듀서를 구비하고, 제 1 합성 가중 함수 (first resultant weighting function) 를 갖는 제 1 채널;
제 2 전달 함수를 정의하는 하나 이상의 제 2 입력 트랜스듀서와 제 2 출력 트랜스듀서를 구비하고, 제 2 합성 가중 함수 (second resultant weighting function) 를 갖는 제 2 채널;
상호 전기 접속된 상기 제 1 및 제 2 입력 트랜스듀서; 및
상호 전기 접속된 상기 제 1 및 제 2 출력 트랜스듀서를 구비하고,
2 개의 채널의 합성 가중 함수는 서로 다르고, 상기 제 1 채널의 전달 함수와 상기 제 2 채널의 전달 함수는 필터의 패스 밴드에서는 동위상이고, 필터의 리젝션 밴드에서는 역위상이다.
입력 또는 출력 트랜스듀서들은 채널마다 동일할 수도 있어서, 트랜스듀서간 회절로 인해, 일반적으로 필터의 리젝션 밴드에서 마이너 로브 (minor lobe) 의 출현을 야기하는 커플링 (coupling) 의 문제점을 제한하는 이점이 있다.
본 발명의 선택적인 일 실시 형태에 따르면, 입력 트랜스듀서 및/또는 출력 트랜스듀서를 직렬로 연결한다.
이들은 제 1 차동 입력 (differential input) (+V) 의 외부 버스에 접속된 제 1 시리즈 (series) 의 전극, 제 2 차동 입력 (-V) 의 외부 버스에 접속된 제 2 시리즈의 전극, 및 플로팅 전위를 갖는 중심 버스에 접속되고 상기 제 1 및 제 2 시리즈의 전극을 분리시키는 제 3 시리즈의 전극을 구비한다. 이러한 필터는 전위 (+V) 가 접지 전위에 의해 대체된 비차동 모드에서도 동작할 수 있다.
본 발명의 또 따른 변형예에 따르면, 입력 및/또는 출력 트랜스듀서들을 병렬 연결한다.
제 1 채널의 트랜스듀서들은, 제 1 차동 입력 (+V) 의 외부 버스에 접속된 제 1 시리즈의 전극 및 제 2 시리즈의 전극을 구비하고, 제 2 채널의 트랜스듀서는 제 2 차동 입력 (-V) 의 외부 버스에 접속된 제 3 시리즈의 전극 및 제 4 시리즈의 전극을 구비하고, 제 2 시리즈 전극의 서브-세트 전극 (sub-set electrodes) 은 접속 패드에 의해 제 3 시리즈 전극의 서브-세트 전극에 접속되며, 제 4 시리즈 전극의 서브-세트 전극은 접속 패드에 의해 제 1 시리즈 전극의 서브-세트 전극에 접속된다.
또한, 본 발명의 목적은 소정의 템플릿 (template), 즉 소정의 패스 밴드 및 소정의 리젝션 밴드를 갖는 본 발명에 따른 필터의 제조를 위한 방법이다.
특히, 이 방법은 다음의 단계들,
필터의 패스 밴드에서는 동위상이고 리젝션 밴드에서는 역위상인 제 1 채널 의 전달 함수와 제 2 채널의 전달 함수를 정의하기 위해, 반복적인 프로세스에 의해 상기 제 1 채널 트랜스듀서와 상기 제 2 채널 트랜스듀서의 가중 함수를 결정하는 단계; 및
상기 제 1 및 제 2 채널의 트랜스듀서 세트를 이루는 전극 마스크를 완성하기 위해, 미리 결정된 가중 함수를 이산화하는 단계를 포함한다.
첨부된 도면을 참조하여, 비한정적인 실시예를 통해 주어지는 다음의 설명으로부터, 본 발명 및 장점을 더욱 명확하게 알 수 있다.
도 1 은 본 발명의 일반적인 필터의 개략도를 나타낸 것이다. 이 필터는 음파 (FU) 가 전파되는 제 1 채널을 갖고, 이 제 1 채널은 하나 이상의 입력 트랜스듀서 (T1U) 및 출력 트랜스듀서 (T2U) 를 구비한다. 이 필터는 음파 (FL) 가 전파되는 제 2 채널을 갖고, 이 필터 역시 하나 이상의 입력 트랜스듀서 (T1L) 및 출력 트랜스듀서 (T2L) 를 구비한다. 입력 트랜스듀서 (T1U 및 T1L) 는 IN 으로 부호를 붙인 입력과 전기 접속되며, 출력 트랜스듀서 (T2U 및 T2L) 는 OUT 으로 부호를 붙인 출력과 접속된다.
2 채널은 서로 다른 합성 가중 함수를 갖지만, 입력과 출력단에서, 서로 동일한 따라서, 동일한 가중 함수를 갖는 2 개의 트랜스듀서를 사용하는 것이 유리할 수도 있다.
따라서, 도 2 에 나타낸 도면은, 서로 다른 2 개의 입력 트랜스듀서 (T1U 및 T1L) 및, 동일한 2 개의 트랜스듀서와 등가인 단일 출력 트랜스듀서 (T2) 를 구비한, 본 발명에 따른 필터를 나타낸 것이다.
이러한 유형의 구조체에 의해, 채널들이 완전히 서로 다른 구조체의 단점을 보정할 수 있다. 실제로는, 도 3 에 나타낸 바와 같이, 회절로 인해, 채널들 사이에 커플링이 있을 수도 있다. 이에 의해, 음파 (1 및 2) 와는 서로 다른 음파 (3 및 4) 가 발생하게 된다. 음파 (3 및 4) 의 진폭은 작지만, 음파 (1 및 2) 의 진폭에 더해져, 마이너 로브의 증가에 의해 리젝션을 교란시킬 수도 있다.
동일한 2 개의 트랜스듀서 (T2U 및 T2L) 가 존재할 경우, 음파 (3) 의 경로는 곱셈 상수 (multiplier constant) 와는 별개로, 음파 (1) 의 경로와 동일하다. 또한, 이는 음파 (2 및 4) 의 경로에 대해서도 마찬가지이다. 커플링 효과는 음파 (3 및 4) 의 경로에 대해서는 매우 크게 감소되고, 상수와는 별개로, 음파 (1 및 2) 의 경로와 동일한 필터에 기여한다.
일반적으로, 입력 트랜스듀서 (T1U 및 T1L) 또는 출력 트랜스듀서 (T2U 및 T2L) 를 연결하기 위해, 직렬 연결 또는 병렬 연결을 할 수 있다. 이하, 이러한 유형의 연결이 가능한 방법의 실시예들을 설명하기로 한다.
직렬 연결의 실시예
물리적인 직렬 연결 방법은, P.Dufili
Figure 111999009747377-pat00001
, F.Roux, M.Solal 이 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings, 1997, pp. 27-31 에 투고한 논문 "Balanced Drive Acoustic Reflection Transducer Structure" 에 개시된 직렬 연결된 동일한 2 채널을 갖는 차동 또는 평형 구동 트랜스듀서 제조의 공지된 방법을 취한다. 이 방법으로 인해, 비차동 모드에서 구동되어야 하는 트랜스듀서가 차동 모드로 전환될 수 있게 된다. 이를 위해, 트랜스듀서는 도 4 에 나타낸 바와 같이 직렬 연결된 동일한 2 개의 채널로 재분할된다. 활성 전극은 + 와 - 로 부호를 붙인 외부 버스에 접속하고, 나머지 전극은 도 5 에 나타낸 바와 같이 플로팅 전위를 갖는 중심 버스에 접속한다. 이러한 유형의 구조체에서는, 대칭 모드를 발생시키기 위해, 하나의 채널은 또 다른 채널에 대해 반 파장만큼 오프셋된다.
본 발명의 구조 내에서, 가중이 서로 다른 채널을 얻기 위해, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 활성 전극은 2 개의 외부 버스에 접속하고 나머지 전극은 중심 버스에 접속하는 동일한 방법을 재이용할 수 있다. 중심축 (AA') 의 양 측부 상의 전극 분포가 다르므로, 직렬 연결된 서로 다른 2 개의 트랜스듀서를 얻게 된다. 이 트랜스듀서는 본 발명에 따른 필터에 사용되는 입력 또는 출력 트랜스듀서에 대응한다.
병렬 연결의 실시예
도 7 에 개략적으로 나타낸 바와 같이, 2 개의 트랜스듀서 (T1U 및 T1L) 를 전기적으로 병렬 연결하고, 활성 전극을 2 개의 외부 버스에 접속한다.
본 발명에 이용될 수 있는 예시적인 병렬 연결은 현 출원인이 제출하여, 특히 제 2 740 908 호로 공개되어 있는 특허 출원에 개시된 방법을 취한다.
이 방법에 따르면, 도 8 에 나타낸 바와 같이, 2 개의 트랜스듀서와 4 개의 접속 버스를 갖는 구조체는, 상부에는 전위 (+V) 에 접속된 버스가 있고, 하부에는 전위 (-V) 에 접속된 버스가 있는 단지 2 개의 접속 버스를 가진 구조체로 대체된다. 각각의 채널에서, 전극은 +V 또는 -V 에 전기 접속되고, 가중 작용의 동일성과 채널간 반 파장 만큼의 오프셋은, 버스에 접속된 대향 채널의 전극을 통해, 한 채널의 전극을 이 채널에 대향하는 버스에 재접속시킬 수 있다.
서로 다른 가중 채널을 얻으려 할 경우, 2 개의 서로 다른 트랜스듀서의 병렬 연결을 이루는 것이 필요해진다. 활성 전극을 위해, 도 7 에서와 같이, 대향 버스의 전위를 감소시키는 것이 필수적이다. 도 7 에 도시된, 전기적인 접속을 나타내는 전선에 정확하게 대응하는, 도 9 에 나타낸 접속 패드에 의해, 이를 행할 수도 있다. 어떤 가능한 교차를 회피하면서 연결을 짧게 하기 위해서는 알고리즘을 준비할 수도 있다. 이를 위해, 상기 언급한 방법을 적용해야 한다. 따라서, 채널의 전극을 이 채널에 대향하는 버스에 접속하기 위해, 도 9 에 나타낸 바와 같은 다소 기울어진 상호접속 패드와 함께, 이 버스에 접속된 또 다른 채널의 전극을 이용한다.
주파수 중심이 220.38 ㎒ 인 이동 전화 통신에의 응용을 위한, 본 발명에 따른 필터의 실시예
이는 소정의 임피던스가 작동하고 트랜스듀서가 병렬 연결된 수정 (quartz) 기판 상에 제조된 필터이다.
이러한 유형의 필터를 제조하기 위해서, 필수적인 특성 즉, 필터의 패스 밴드에서는 동위상이고 리젝션 밴드에서는 역위상인 전달 함수의 특성을 충족시키기 위해, 먼저, 2 개 채널 각각의 가중 함수를 결정하여, 최적화된 전달 함수를 구한다. 특히, 최적화의 방법은 P.Ventura 가 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings, 1992, pp 71-75 에 투고한 논문 "Synthesis of SPUDT Filters with Simultaneous Reflection and Transduction Optimization", P.Ventura, M.Solal, P.Dufili
Figure 112006058925728-pat00002
, S.Chamaly 가 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings, 1993, pp 5-8 에 투고한 논문 "A Global Optimization Procedure for SPUDT Filters", J.-M.Hod
Figure 112006058925728-pat00003
, J.Desbois, P.Dufili
Figure 112006058925728-pat00004
, M.Solal, P.Ventura 가 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings, 1995, pp 39-50 에 투고한 논문 "SPUDT-Based Filters : Design Principles And Optimization" 에 개시된 레메즈 알고리즘형 방법 (Remez algorithm type method) 또는 J.Franz 등이 1997 IEEE Ultrasonics Symposium pro., pp 33-36 에 투고한 "Hybrid Optimization Techniques For Design Of SAW Filters" 에 개시된 방법일 수도 있다.
도 10 은 전체 채널을 따라서 투과 및 반사 작용에 대응하는 최적화된 필터의 2 채널의 가중 함수를 나타낸 것이다.
도 11 은 트랜스듀서 (T1U 및 T2U) 의 소오스에서 가중 함수의 이산화를 나타낸 것이다. 반사와 다른 트랜스듀서에 대해 동일한 절차를 이용한다. 이산 함수가 취하는 값은 전극에 인가되는 전위, 즉, 이 전극이 접속되어야 하는 버스에 인가되는 전위를 나타낸다.
도 12 는 고채널 응답을 나타내는 방법을 나타낸 것이다. 이를 위해서는, 필터를 측정하기 전에, 높은 음향 감쇄 (FA) 를, 하부 채널 파의 경로 상에 가한다. 이 절차는 다른 채널에 대해서도 동일하다.
도 13 은 개별적으로 분석된 제 1 채널과 제 2 채널의 전달 함수의 진폭을 나타낸 것이다. 합성 필터의 전달 함수는 더 협소해지고, 2 채널 각각의 전달 함수보다 양호한 형태비 (shaped ratio) 를 가짐을 알 수 있다.
도 14 는 전달 함수의 위상을 나타낸 것이다.
이러한 현상은 2 채널의 전달 함수 위상으로 설명할 수 있다. 전달 함수의 위상들은 중심 주파수 근방에서 동위상으로 된다. 그 진폭들은 패스 밴드의 레벨에서 상호 보강적으로 더해진다.
전달 함수의 위상들은 리젝션 레벨에서 역위상으로 된다. 그 진폭들은 감소되어, 리젝션을 크게 향상시키고, 전체 필터의 리젝션 밴드를 감소시킨다.
각 채널에 대해서 주파수 응답을 더욱 넓은 밴드로 얻는다는 사실은, 필터의 크기를 크게 축소시키며, 동시에 전체 특성에 대해 협소한 리젝션 밴드를 유지하도록 한다.
따라서, 이러한 응용을 위한 종래 기술의 필터가 13.3 ×6.5 ㎟ 패키지를 필요로 하는 반면에, 7 ×5 ㎟ 패키지에 집적가능한 소형 필터를 정의할 수 있게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, DART형 변환 함수와 반사 함수가 통합된 트랜스듀서를 이용하는 표면 음향파 필터로서, 상기 필터는 전기 접속된 2 채널을 구비하고, 각각의 채널은 입력 트랜스듀서 및 출력 트랜스듀서를 구비하며, 상기 채널들은 현재 필터 가격에 대해서 결정적인 파라미터인 필터 길이를 감소시킴으로써, 필터링 밴드와 리젝션 밴드 (rejection band) 에 대하여 매우 만족스러운 실행 수준을 얻을 수 있도록 최적화된 구조체를 갖는 필터가 제공된다.

Claims (8)

  1. 트랜스듀서를 구비하는 표면 음향파 필터로서, 각각의 트랜스듀서는 상기 트랜스듀서의 반사 중심과 변환 중심의 분포를 나타내는 가중 함수에 의해 정의되고, 소정의 패스 밴드 및 소정의 리젝션 밴드를 갖는 상기 필터는,
    제 1 전달 함수를 정의하는 하나 이상의 제 1 입력 트랜스듀서 및 제 1 출력 트랜스듀서를 구비하고, 제 1 합성 가중 함수 (resultant weighting function) 를 갖는 제 1 채널;
    제 2 전달 함수를 정의하는 하나 이상의 제 2 입력 트랜스듀서 및 제 2 출력 트랜스듀서를 구비하고, 제 2 합성 가중 함수를 갖는 제 2 채널;
    상호 전기적으로 접속된 제 1 입력 트랜스듀서 및 제 2 입력 트랜스듀서; 및
    상호 전기적으로 접속된 제 1 출력 트랜스듀서 및 제 2 출력 트랜스듀서를 구비하며,
    상기 2 개의 채널의 합성 가중 함수는 서로 다르고, 상기 제 1 채널의 전달 함수와 상기 제 2 채널의 전달 함수는 상기 필터의 패스 밴드에서는 동위상이고, 상기 필터의 리젝션 밴드에서는 역위상인 것을 특징으로 하는 표면 음향파 필터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    i) 상기 제 1 입력 트랜스듀서와 제 2 입력 트랜스듀서는 동일한 가중 함수를 갖거나, 또는 ii) 상기 제 1 출력 트랜스듀서와 제 2 출력 트랜스듀서는 동일한 가중 함수를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 음향파 필터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 채널 및 제 2 채널은 동일한 가중 함수를 달성하기 위해 입력 또는 출력에서 상호 식별될 수 없는 것을 특징으로 하는 표면 음향파 필터.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 입력 트랜스듀서 및 출력 트랜스듀서 및/또는 제 2 입력 트랜스듀서 및 출력 트랜스듀서는 직렬 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 음향파 필터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 입력 트랜스듀서 및/또는 출력 트랜스듀서 및 제 2 입력 트랜스듀서 및/또는 출력 트랜스듀서는, 제 1 차동 또는 비차동 입력 (+V) 의 외부 버스에 접속된 제 1 시리즈의 전극, 제 2 차동 또는 비차동 입력 (-V) 의 외부 버스에 접속된 제 2 시리즈의 전극, 플로팅 전위를 갖는 중심 버스에 접속되고 상기 제 1 시리즈의 전극 및 제 2 시리즈의 전극을 분리시키는 제 3 시리즈의 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 음향파 필터.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입력 트랜스듀서 및/또는 출력 트랜스듀서는 병렬 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 음향파 필터.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 채널의 트랜스듀서는 제 1 차동 또는 비차동 입력 (+V) 의 외부 버스에 접속된 제 1 시리즈의 전극 및 제 2 시리즈의 전극을 구비하고, 상기 제 2 채널의 트랜스듀서는 제 2 차동 또는 비차동 입력 (-V) 의 외부 버스에 접속된 제 3 시리즈의 전극과, 제 4 시리즈의 전극을 구비하고,
    상기 제 2 시리즈 전극의 서브-세트 전극은 접속 패드에 의해 상기 제 3 시리즈 전극의 서브-세트 전극에 접속되고, 상기 제 4 시리즈 전극의 서브-세트 전극은 접속 패드에 의해 상기 제 1 시리즈 전극의 서브-세트 전극에 접속되는 것을 특징으로 하는 표면 음향파 필터.
  8. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 필터의 제조 방법으로서,
    필터의 패스 밴드에서는 동위상이고 리젝션 밴드에서는 역위상인 제 1 채널의 전달 함수 및 제 2 채널의 전달 함수를 정의하기 위해, 반복적인 프로세스에 의해서, 상기 제 1 채널의 트랜스듀서의 가중함수 및 상기 제 2 채널의 트랜스듀서의 가중 함수를 결정하는 단계; 및
    상기 제 1 채널의 트랜스듀서 및 제 2 채널의 트랜스듀서의 세트를 이루는 전극 마스크를 완성하기 위해, 미리 결정된 가중 함수의 이산화 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 필터의 제조 방법.
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