JP2004140785A - 弾性表面波フィルタ、通信装置 - Google Patents

弾性表面波フィルタ、通信装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2004140785A
JP2004140785A JP2003184433A JP2003184433A JP2004140785A JP 2004140785 A JP2004140785 A JP 2004140785A JP 2003184433 A JP2003184433 A JP 2003184433A JP 2003184433 A JP2003184433 A JP 2003184433A JP 2004140785 A JP2004140785 A JP 2004140785A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
comb
electrode
electrode portion
acoustic wave
surface acoustic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003184433A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4049034B2 (ja
Inventor
Teruhisa Shibahara
柴原 輝久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2003184433A priority Critical patent/JP4049034B2/ja
Priority to AT03292065T priority patent/ATE297069T1/de
Priority to DE60300762T priority patent/DE60300762T2/de
Priority to EP03292065A priority patent/EP1394940B1/en
Priority to KR10-2003-0058277A priority patent/KR100494049B1/ko
Priority to US10/646,287 priority patent/US6853270B2/en
Priority to CNB031549330A priority patent/CN1260882C/zh
Publication of JP2004140785A publication Critical patent/JP2004140785A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4049034B2 publication Critical patent/JP4049034B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/0023Balance-unbalance or balance-balance networks
    • H03H9/0028Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
    • H03H9/0033Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only
    • H03H9/0038Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only the balanced terminals being on the same side of the track
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02685Grating lines having particular arrangements
    • H03H9/0274Intra-transducers grating lines
    • H03H9/02748Dog-legged reflectors
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14576Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger
    • H03H9/14582Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger the last fingers having a different pitch
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14588Horizontally-split transducers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14517Means for weighting
    • H03H9/14529Distributed tap
    • H03H9/14532Series weighting; Transverse weighting
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14547Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

【課題】表面波励振の分布の左右非対称性を低減することにより、平衡信号の平衡度が改善され、さらに挿入損失が低減された弾性表面波フィルタおよび通信装置を提供する。
【解決手段】圧電基板201上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器6、IDT1、IDT2、IDT3、反射器7を順に並んで配設する。IDT1とIDT3とを並列に接続して不平衡信号端子13に接続する。IDT2は表面波伝搬方向に沿って二分割され、直列接続点14を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極4、5を備えている。くし歯状電極4、5をそれぞれ平衡信号端子10、11に接続する。IDT1の最外電極指17は不平衡信号端子13に接続し、IDT3の最外電極指16は接地し、IDT1とIDT3のIDT2の近傍における弾性表面波の励振区間が同数となるように、IDT1のみ、もしくはIDT1とIDT3の両方を重み付けする。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性表面波フィルタに関し、特に平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年の携帯電話機等の通信装置の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。このような通信装置に用いられるフィルタとしては、使用周波数帯域が高くなるに従い、小型化が可能な弾性表面波装置が用いられるようになっている。さらに通信装置における、各構成部品の削減、小型化のために、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。
【0003】
このような状況を背景に、携帯電話機のRF段に使用する弾性表面波フィルタに平衡−不平衡変換機能、いわゆるバランの機能を備えたものも近年盛んに研究され、GSM(Global System for Mobile communication)などを中心に実用化が始まっている。
【0004】
また、携帯電話機のシステムの構成によっては、不平衡信号端子のインピーダンスに対して、平衡信号端子のインピーダンスの2倍以上であるような平衡−不平衡変換機能付弾性表面波フィルタが要求されることがあり、この要求に応える平衡−不平衡変換機能付弾性表面波フィルタについても実用化されている。
【0005】
上記のような不平衡信号端子のインピーダンスに対して、平衡信号端子のインピーダンスが2倍以上であるような平衡−不平衡変換機能付弾性表面波フィルタとして、たとえば、図9に示すような弾性表面波フィルタ1000がある。この弾性表面波フィルタ1000は、圧電基板100上に弾性表面波の伝搬方向に沿って、反射器106、複数の電極指を有するくし歯状電極(IDT電極)を組み合わせてなるくし型電極部(Inter−Digital Transducer、以下、IDTという)101、IDT102、IDT103、反射器107を順に並べて構成されている3IDT縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。上記IDT電極は、帯状の基端部とその基端部の一方の側部から直交する方向に延びる複数の互いに平行な帯状の電極指を備えている。そして、中央に位置するIDT102は、対向するIDT電極において一方のIDT電極がIDT電極104とIDT電極105とに二分割した上で直列に接続している。また、IDT104に接続されている端子110と、IDT105に接続されている端子111とを平衡信号端子にしている。さらに、IDT101とIDT103とは並列に接続されて、不平衡端子113に接続されている。そしてIDT101、103のもう一方の端子112が接地されている。
【0006】
IDT電極104とIDT電極105とを直列接続する直列接続点114は、接地しても、周囲から絶縁された浮き電極としても、弾性表面波フィルタ1000は動作する。直列接続点114を浮き電極とした場合でも、弾性表面波フィルタ1000の動作中においては、直列接続点114は、端子110と端子111とに発生する平衡信号のほぼ中間電位となるため、実質的にはほぼ接地電位となっている。IDT102の最も外側に位置する電極指115、116は、直列接続点114に属する電極指である。そして、IDT101のIDT102に隣接する電極指117は、不平衡信号端子13に導通した信号電極指となっており、IDT103のIDT102に隣接する電極指118は接地された接地電極指となっている。
【0007】
携帯電話機のRF段に使用される平衡−不平衡変換機能付弾性表面波フィルタは、通過帯域内の信号に対してはなるべく挿入損失が小さいことが好ましい。RF段における信号の損失は、後段での増幅利得増加による消費電力の増大と、通信品位を決定付けるRF段でのS/N比(信号対雑音比)の悪化をもたらすからである。
【0008】
また、携帯電話機のRF段に使用される平衡−不平衡変換機能付弾性表面波フィルタの発生する平衡信号の平衡度は、なるべく良好であることが好ましい。携帯電話機のRF段に使用される平衡−不平衡変換機能付弾性表面波フィルタの発しする平衡信号は、後段の作動増幅器に入力されるが、作動増幅器に入力される平衡信号の平衡度が悪いと、作動増幅器の特性が損なわれてしまうからである。
【0009】
ここで、平衡信号の平衡度とは、平衡信号がどれだけ理想的な逆相同振幅であるかを示す指標であって、振幅平衡度と位相平衡度との2つの量で表現される。振幅平衡度は、2つの平衡信号の振幅比であり、その理想値は0〔dB〕である。移動平衡度は、2つの平衡信号の位相差から180°を引いた値であり、その理想値は0°である。
【0010】
以上述べてきたように、携帯電話機のRF段に使用される平衡−不平衡変換機能付弾性表面波フィルタには、小さな挿入損失と、平衡信号の良好な平衡度とが要求される。しかしながら、図9に示した弾性表面波フィルタ1000の構造には、帯域内の挿入損失を増加させ、平衡信号の平衡度を悪化させる要因が含まれている。このことについて、以下に説明する。
【0011】
不平衡信号が不平衡信号端子113に印加されたとき、IDT101の内部とIDT103の内部とで表面波が励振され、その結果、表面波を反射する反射器106と反射器107とで挟まれたIDT101、IDT102、IDT103の配置された領域に、表面波の定在波が発生する。IDT102は、IDT104とIDT105とのそれぞれにおいて、表面波の定在波のエネルギーを電気エネルギーに変換して平衡信号を発生する。これが弾性表面波フィルタ1000の動作原理である。ただし、不平衡信号が不平衡端子113に印加されたとき、表面波を励振するのは、IDT101内部とIDT103内部とだけではない。IDT101とIDT102との境界部では、電極指117と電極指115との間に電圧が印加されて表面波が励振される。しかしその一方で、IDT103とIDT102との境界部にある電極指118と電極指116との間にほとんど(あるいは全く)電圧が印加されず表面波の励振は起こらない。すなわち、不平衡信号が不平衡信号端子113に印加されたとき、表面波の励振は、弾性表面波フィルタ1000の中において左右非対称に発生することになる。なお、ここで左右とは、IDT102を中心にIDT101側を左側、IDT103側を右側とする。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
この左右非対称な表面波の励振は、表面波の定在波にも非対称性をもたらし、結果として、弾性表面波フィルタ1000の電極指に流れる電流分布における左右非対称性をもたらす。換言すれば、左右非対称な表面波の励振が弾性表面波フィルタ1000の右半分、左半分のいずれか一方への電流集中を発生させる。一部の領域の電極指への電流集中は、電極指抵抗による発熱エネルギーロスを増加させるため、弾性表面波フィルタ1000の挿入損失を増大させる原因となる。
【0013】
また、左右非対称な表面波の励振に起因する定在波の左右非対称性は、直列接続点114が接地されている場合、弾性表面波フィルタ1000の発生する平衡信号の平衡度を悪化させる決定的な原因となる。直列接続点114が接地されている場合、IDT104およびIDT105の起電力がそれぞれ平衡信号端子の電圧となるため、IDT104およびIDT105の起電力の平衡度が平衡信号の平衡度を決定付ける重要な要素となる。そしてこのとき、定在波の左右非対称性は、IDT104およびIDT105の起電力の平衡度の悪化に直結するため、結果的に弾性表面波フィルタ1000の平衡信号の平衡度を悪化させている。
【0014】
ここまで述べてきたように、IDT101とIDT102との境界部では表面波励振が発生するのに対し、IDT103とIDT102との境界部では表面波励振が発生しないという、表面波励振の左右非対称性が、弾性表面波フィルタ1000の挿入損失を増大させる。また、直列接続点114を接地した場合においては、平衡信号の平衡度を悪化させている。
【0015】
さらにここで、3IDT縦結合共振子型フィルタの左右のIDTを並列接続して不平衡信号を取り出し、表面波伝搬方向に二分割した中央IDTから平衡信号を取り出す構成においては、その原理上、表面波励振の分布を完全に左右対称にすることは不可能であることを記しておく。
【0016】
本発明の目的は、表面波励振の分布の左右非対称性を低減することにより、平衡信号の平衡度が改善され、さらに挿入損失が低減された弾性表面波フィルタおよび通信装置を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波フィルタは、上記の課題を解決するために、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、および第3くし型電極部、反射器がこの順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが、並列に接続されると共に不平衡信号端子に接続され、前記第2くし型電極部では、表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極が平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、第2くし型電極部における、第1くし型電極部および第3くし型電極部に隣接する最外電極指は直列接続点に接続されており、第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は不平衡信号端子に接続されており、第3くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は接地されており、第1くし型電極部と第3くし型電極部の第2くし型電極部の近傍における弾性表面波の励振区間が同数となるように、第1くし型電極部のみ、もしくは第1くし型電極部と第3くし型電極部の両方が重み付けされていることを特徴としている。
【0018】
上記の構成によれば、表面波励振の左右非対称性が軽減される。この結果として、挿入損失の低減、平衡信号の平衡度の改善がもたらされる。
【0019】
本発明の弾性表面波フィルタは、上記の課題を解決するために、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、および第3くし型電極部、反射器がこの順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが、並列に接続されると共に不平衡信号端子に接続され、前記第2くし型電極部では、表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極が平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、第2くし型電極部における、第1くし型電極部および第3くし型電極部に隣接する最外電極指は直列接続点に接続されており、第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は不平衡信号端子に接続されており、第3くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は接地されており、第1くし型電極部が直列重み付けされていることを特徴としている。
【0020】
ここで言う、直列重み付けとは、隣接する2本の電極指の長さを、他の電極指の長さの1/2にした上、これら2本の電極指の長さを他の電極指の長さよりも短くしたことで発生する2箇所の電極指欠損部にダミー電極指を設け、かつ、その2つのダミー電極指同士を電気的に接続することである。
【0021】
上記の構成によれば、表面波励振の左右非対称性が軽減される。この結果として、挿入損失の低減、平衡信号の平衡度の改善がもたらされる。
【0022】
また、本発明の弾性表面波フィルタは、上記の構成に加えて、前記第1くし型電極部のうちの、前記第2くし型電極部に近い側から数えて5本以内の電極指が、直列重み付けされていることが好ましい。
【0023】
上記の構成によれば、第1くし型電極部の電極指のうちなるべく第2くし型電極部に近い電極指を重み付けすることにより、表面波励振の左右非対称性を効果的に軽減することができ、挿入損失の低減、平衡信号の平衡度の改善がより一層もたらされる。
【0024】
さらに、本発明の弾性表面波フィルタは、上記の課題を解決するために、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、および第3くし型電極部、反射器がこの順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが、並列に接続されると共に不平衡信号端子に接続され、前記第2くし型電極部では、表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極が平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、第2くし型電極部における、第1くし型電極部および第3くし型電極部に隣接する最外電極指は直列接続点に接続されており、第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は不平衡信号端子に接続されており、第3くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は接地されており、第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指が交差幅重み付けされていることを特徴としている。
【0025】
また、本発明の弾性表面波フィルタは、上記の構成に加えて、前記第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指が他の電極指の約1/2の長さになるように交差幅重み付けされていると共に、該交差幅重み付けされた電極指の先端の延長線上にはダミー電極が形成されており、該ダミー電極は交差幅重み付けされた電極指を有するくし歯状電極とは異なるくし歯状電極に形成されていることが好ましい。
【0026】
さらに、本発明の弾性表面波フィルタは、上記の構成に加えて、前記第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指および該最外電極指に隣接する電極指が他の電極指の約3/4の長さになるように交差幅重み付けされていると共に、該交差幅重み付けされた電極指の先端の延長線上にはダミー電極が形成されており、該ダミー電極は交差幅重み付けされた電極指を有するくし歯状電極とは異なるくし歯状電極に形成されていることが好ましい。
【0027】
上記の構成によれば、表面波励振の左右非対称性が軽減される。この結果として、挿入損失の低減、平衡信号の平衡度の改善がもたらされる。
【0028】
またさらに、本発明の弾性表面波フィルタは、上記の課題を解決するために、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、および第3くし型電極部、反射器がこの順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが、並列に接続されると共に不平衡信号端子に接続され、前記第2くし型電極部では、表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極が平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、第2くし型電極部における、第1くし型電極部および第3くし型電極部に隣接する最外電極指は直列接続点に接続されており、第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指および該最外電極指に隣接する電極指は接地されており、第3くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は接地され、且つ第2くし型電極部に最も近接した位置にある、不平衡信号端子に接続された電極指が他の電極指の約1/2の長さになるように交差幅重み付けされていると共に、該交差幅重み付けされた電極指の先端の延長線上にはダミー電極が形成されており、該ダミー電極は交差幅重み付けされた電極指を有するくし歯状電極とは異なるくし歯状電極に形成されていることを特徴としている。
【0029】
上記の構成によれば、表面波励振の左右非対称性が軽減される。この結果として、挿入損失の低減、平衡信号の平衡度の改善がもたらされる。
【0030】
また、本発明の弾性表面波フィルタは、上記の構成に加えて、前記第2くし型電極部の直列接続点が、接地されていることが好ましい。
【0031】
上記の構成によれば、二分割した各くし歯状電極の出力電圧の平衡度がよいため、直列接続点を接地することにより、二分割した各くし歯状電極の出力電圧の平衡度をそのまま平衡信号端子の平衡度に反映することができるようになるのと同時に、直列接続点が接地されることによって、不平衡端子と平衡端子との間の電磁遮蔽が強固となり、不平衡信号端子から平衡信号端子への直達波も低減することができるため、平衡信号の平衡度は直列接続点を接地することによって確実に改善することができる。
【0032】
さらに、本発明の弾性表面波フィルタは、上記の構成に加えて、前記第2くし型電極部の直列接続点が、前記第1くし型電極部若しくは前記第3くし型電極部の電極指を介して接地されていることが好ましい。
【0033】
前記直列接続点を接地する場合、直列接続点を接地するために圧電基板上に配線や電極パッドを追加すると、寄生容量が増加して弾性表面波フィルタの特性に悪影響がもたらされる場合がある。これに対して、たとえば、第2くし型電極部の直列接続点に導通している電極指を第1くし型電極部や第3くし型電極部の接地電極に接続するか、もしくは、第1くし型電極部や第3くし型電極部の接地電極指を第2くし型電極部の直列接続点に導通させるか、あるいはその両方の措置をとることによって直列接続点を接地することができる。これらの直列接続点を接地する方法は、圧電基板上に配線や電極パッドを追加することなく直列接続点を接地することができるため、寄生容量が増加して弾性表面波フィルタの特性に悪影響がもたらされることがほとんどなく、特に好ましい。
【0034】
本発明の通信装置は、前記課題を解決するために、上記弾性表面波フィルタのいずれかを有することを特徴としている。上記の構成によれば、平衡信号の平衡度が改善され、通過帯域内の挿入損失が改善された弾性表面波フィルタを有しているので、伝送特性を向上できる。
【0035】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態1〕
本発明の実施の一形態について図1ないし図4に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【0036】
図1に、本実施形態にかかる弾性表面波フィルタ200を示す。弾性表面波フィルタ200は、圧電基板201上の表面波伝搬方向に沿って、反射器6、IDT(第1くし型電極部)1、IDT(第2くし型電極部)2、IDT(第3くし型電極部)3、反射器7を順に並べて備えている。IDT1とIDT3とは並列に接続されている。そして、IDT1およびIDT3の接地電極における端子12が接地されており、IDT1およびIDT3のもう一方の端子が不平衡端子13に接続されている。
【0037】
IDT2は、表面波伝搬方向に二分割されたIDT電極4およびIDT電極5、ならびにIDT電極である直列接続点14から構成されている。IDT電極4およびIDT電極5は、直列接続点14を介して電気的に直列に接続されている。IDT4の直列接続点14に接続されていない端子は平衡信号端子10となっている。IDT5の直列接続点14に接続されていない端子は平衡信号端子11となっている。IDT2は、最も外側に、直列接続点14に導通している電極指15、16を備えている。またさらに、本実施の形態では、電極指15および電極指16はそれぞれIDT1およびIDT3の接地電極にも接続されている。また、IDT1、2、3において、平衡信号端子10、11および不平衡信号端子13に接続されているIDT電極の電極指をシグナル(信号)電極指とし、接地されているIDT電極の電極指をアース(接地)電極指とする。
【0038】
また、IDT1のIDT2に隣接する電極指17は、不平衡端子13に導通している。IDT3のIDT2に隣接する電極指18は接地されている。さらに電極指18は、IDT2の直列接続点14にも導通している。結果的に、直列接続点14は、電極指15、16、18を介して接地されている。また、IDT1の電極指17は他の電極指の長さの半分(約1/2)になっている。さらに、電極指17に隣接するIDT1の電極指19も他の電極指の長さの半分になっている。また、電極指17、19の長さが他の電極指の長さの半分になっていることにより生じた電極指欠損部分には、電気的に導通したダミー電極指20が形成されている。このダミー電極指20は、他の電極指の長さの半分にした電極指17、19の先端方向の延長線上に形成されている。なお、ダミー電極指20は、IDT1を構成するくし歯状電極に接続されておらず、浮き電極となっている。これにより、電極指17、19には、直列重み付けがなされている。これにより、IDT1における表面波励振区間を1区間減らすことができ、IDT1とIDT3とにおける表面波励振区間の数を等しくすることができる。したがって、弾性表面波フィルタ200において、不平衡信号印加時に、表面波の左右非対称性が軽減される。なお、上記表面波励振区間とは、弾性表面波が発生する(表面波が励振が発生する)箇所のことであり、たとえば、シグナル電極指とアース電極指との間の間であって、そのシグナル電極指とアース電極指とに電圧が印加された場合に弾性表面波が発生する(表面波の励振が発生する)箇所のことをいう。ここで、直列重み付けされている箇所において、ダミー電極指20とダミー電極指20に隣接する電極指との間では、励振される表面波の励振強度が他の表面波励振区間の半分である。つまり、本実施の形態では、直列重み付けによって、特定の表面波励振区間の表面波の励振強度を他の表面波励振区間の半分とすることで、弾性表面波フィルタ200の表面波の励振の左右非対称を解決している。
【0039】
また、上記では、圧電基板201として、40±5°Y軸カットのLiTaO単結晶基板を用い、表面波伝搬方向としてはX軸方向と使用することとする。また、弾性表面波フィルタ200は、圧電基板201上に形成された厚み206nmのアルミニウム薄膜のパターンによって形成されている。
【0040】
以下に、上記弾性表面波フィルタ200の詳細な設計パラメータの一例を示す。反射器6、7には、ピッチ1.09μm、メタライズ比0.7のグレーティング200本を使用する。また、IDT1、IDT2(IDT電極4側、IDT電極5側)、IDT3は、ピッチ1.08μm、メタライズ比0.7であって、電極指本数はそれぞれ22本、32本(16本、16本)、22本である。ただし、IDT1のIDT2に近い側の電極指3本、IDT2のIDT1に近い側の電極指3本、IDT2のIDT3に近い側の3本、IDT3のIDT2に近い側の3本は、ピッチが0.97μm、メタライズ比0.6となっている。反射器6とIDT1との間隔、および反射器7とIDT3との間隔は、ともに1.0μmである。IDT1とIDT4との間隔、IDT3とIDT5との間隔は共に0.97μmである。IDT電極4とIDT電極5との間隔は、1.08μmである。
【0041】
次いで、図2に基づいて、上記弾性表面波フィルタ200を用いた弾性表面波フィルタ301について説明する。
【0042】
この弾性表面波フィルタ301は、上記弾性表面波フィルタ200における不平衡端子13に一端子対弾性表面波共振子(弾性表面波共振子)300を直列に接続している。つまり、並列に接続されているIDT101とIDT103とが、直列に接続されている弾性表面波共振子300を介して不平衡端子13に接続されている構成である。実際の携帯電話機に使用されている2GHz帯のRF用弾性表面波フィルタにおいては、不平衡端子に一端子対弾性表面波共振子が接続された弾性表面波フィルタが用いられることが多い。上記の構成は、実際の携帯電話機に用いられているRF用弾性表面波フィルタの構成を模したものとなっている。
【0043】
上記弾性表面波共振子300は、圧電基板201上に弾性表面波フィルタ200と同様に、たとえば厚さ206nmのアルミニウム薄膜のパターンによって形成されている。また、弾性表面波共振子300は、圧電基板201の表面波伝搬方向に沿って反射器22、IDT21、反射器23を順に配置されている構成である。以下に上記弾性表面波共振子300の詳細な設計パラメータの一例を示す。反射器22、23には、ピッチ1.05μm、メタライズ比0.7のグレーティング100本を使用する。また、IDT21はピッチ1.05μm、メタライズ比0.7であって、電極指本数は150本である。反射器22とIDT21との間隔、および反射器23とIDT21との間隔はともに1.05μmである。
【0044】
ここで、上記弾性表面波フィルタ301の信号伝送特性を図3に示す。上記弾性表面波フィルタ301における通過帯域は、1800MHz〜1880MHzである。図3では、上記弾性表面波フィルタ301の信号伝送特性を太線で示し、従来例の弾性表面波フィルタの信号伝送特性を細線で示す。ここで、従来例の弾性表面波フィルタとは、上記弾性表面波フィルタ301におけるIDT1の直列重み付けのないものである。図3からわかるように、特に通過帯域の低周波側において、弾性表面波フィルタ301の挿入損失が従来例の弾性表面波フィルタより小さくなっており、挿入損失が向上している。
【0045】
また、上記弾性表面波フィルタ301の平衡信号の振幅平衡度を図4に示す。図4では、上記弾性表面波フィルタ301の振幅平衡度を太線で示し、従来例の弾性表面波フィルタの振幅平衡度を細線で示す。ここで、従来例の弾性表面波フィルタとは、上記弾性表面波フィルタ301におけるIDT1の直列重み付けのないものである。図4からわかるように、従来例の弾性表面波フィルタにおける振幅平衡度の範囲が−2.0dBから1.1dBであるのに対し、上記弾性表面波フィルタ301における振幅平衡度の範囲は、−1.0dBから+1.0dBである。したがって、上記弾性表面波フィルタ301は、従来の弾性表面波フィルタより振幅平衡度が改善されていることがわかる。
【0046】
さらに、上記弾性表面波フィルタ301の平衡信号の位相平衡度を図5に示す。図5では、上記弾性表面波フィルタ301の位相平衡度を太線で示し、従来例の弾性表面波フィルタの位相平衡度を細線で示す。ここで、従来例の弾性表面波フィルタとは、上記弾性表面波フィルタ301におけるIDT1の直列重み付けのないものである。上記弾性表面波フィルタ301と従来例の弾性表面波フィルタとの間に位相平衡度に関しては単純な優劣はつけ難いが、図4に示した振幅平衡度の比較とも合わせて考えれば、上記弾性表面波フィルタ301は、従来の弾性表面波フィルタより位相平衡度が改善されていることが明らかである。
【0047】
〔実施の形態2〕
本発明の他の実施の形態について図6に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態1にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【0048】
図6に、本実施形態にかかる弾性表面波フィルタ400の構成を示す。本実施の形態の弾性表面波フィルタ400は、上記実施の形態1に示した弾性表面波フィルタ201において、IDT1に代えて、IDT1における直列重み付けの位置を、IDT2に近い方の電極指から数えて、2本目および3本目の電極指に変えたIDT1aを用いたものである。つまり、IDT2に近い方の電極指から数えて1本目の電極指30の長さを他の電極指の長さと同じにしている。また、IDT2に近い方の電極指から数えて3本目の電極指31を他の電極指の長さの半分とし、電極指19、31の長さが他の電極指の長さの半分になっていることにより生じた電極指欠損部分には、電気的に導通したダミー電極指32が形成されている。このダミー電極指32は、他の電極指の長さの半分にした電極指19、31の先端方向の延長線上に形成されている。これにより、電極指19、31には、直列重み付けがなされている。
【0049】
本実施の形態の弾性表面波フィルタ400は、上記実施の形態1に示した弾性表面波フィルタ301と比較すると、挿入損失の低減や平衡信号の平衡度の改善といった効果は少し小さくなるが、上記の構成によれば、弾性表面波フィルタにおいて重要とされる特性であるところの入出力インピーダンスの整合特性が弾性表面波フィルタ301と比較して改善する。つまり、本実施の形態の弾性表面波フィルタ400は、従来の弾性表面波フィルタと比較して、本実施の形態の弾性表面波フィルタ400は、入出力インピーダンスの整合特性が改善する。
【0050】
〔実施の形態3〕
本発明の他の実施の形態について図7に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態1および2にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【0051】
図7に、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ500の構成を示す。本実施の形態の弾性表面波フィルタ500は、実施の形態1における弾性表面波フィルタ201において、IDT1に代えて、IDT1のIDT2に隣接する電極指を1本間引くことでIDT1の表面波励振区間を2区間減らしたIDT1bを用い、さらに、IDT3に代えて、IDT3のシグナル電極指のうちの1本の長さを半分にしたIDT3bを用いたものである。
【0052】
より詳細には、上記IDT1bは、IDT2に隣接するシグナル電極指が1本間引かれている。そのため、IDT1bのIDT2に隣接する2本の電極指41、42が、アース電極指となっている。この電極指41、42は、IDT1bにおけるIDT2に隣接する最外電極指および該最外電極指に隣接する電極指に相当する。また、IDT2の電極指15はIDT1bの接地電極には接続していない。さらに、IDT3bの電極指18に隣接するシグナル電極指43とアース電極指44とを他の電極指の半分の長さにしている。
【0053】
さらに、上記IDT3bは、IDT2に隣接する電極指18がIDT2の直列接続点14に接続していない。また、IDT2の電極指16がIDT3bの設置電極に接続していない。つまり、本実施の形態において上記直列接続点14は、周囲から絶縁された浮き電極となっている。
【0054】
IDT1bにおいて電極指を間引いていない場合には、IDT2との間に表面波励振区間が左側で1区間増加するが、IDT2とIDT3bとの間では表面波励振区間が増加せず、左右非対称となる。しかしながら、上記のように、IDT1bのシグナル電極指を1本間引くことにより、IDT2とIDT1bとの間の表面波励振区間が発生せず、さらに、アース電極指41、42が並ぶために表面波励振区間が減少する。つまり、左側では表面波励振区間が2区間減少する。これに対して、IDT3bではシグナル電極指のうちの1本の長さを半分にすることにより右側の表面波励振区間を1区間減少させている。つまり、上記弾性表面波フィルタ500では表面波励振区間の数が左右対称となっており、平衡度が改善される。
【0055】
以上のように、本発明の弾性表面波フィルタは、圧電基板の表面波伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、第3くし型電極部、および反射器の順に(左から右に)並べて備えている。そして、中央に位置する第2くし型電極部は、二分割され、直列接合点を介して直列に接続されているくし歯状電極を備え、上記二分割されたくし歯状電極は、それぞれ平衡信号端子に接続されている。また、上記第1くし型電極部と第3くし型電極部とは並列に接続され、不平衡信号端子に接続されている。そして、上記第1くし型電極部と第3くし型電極部とにおける不平衡端子に接続されていないくし歯状電極は、接地されている。そして、第2くし型電極部の中心から左右において、表面波励振区間の数が等しくなるように重み付けされている。
【0056】
より具体的には、第1くし型電極部と第2くし型電極部とにおける互いに隣接する電極指間で表面波励振区間が生じ、第2くし型電極部と第3電極部とにおける互いに隣接する電極指間に表面波励振区間が生じない場合、第3くし型電極部において表面波励振区間をn(nは1以上の整数)区間減らすように電極指が重み付けされており、第1くし型電極部においては表面波励振区間をn+1区間減らすように電極指が重み付けされている。
【0057】
第2くし型電極部の中心から左右で表面波励振区間の数に差がある場合には、上記弾性表面波フィルタにおいて不平衡信号印加時に表面波が左右非対称に励振される。これにより、挿入損失の増大、平衡信号の平衡度の悪化の原因となっている。
【0058】
ここで、本発明の弾性表面波フィルタでは、第2くし型電極部の中心から左右で表面波励振区間の数が等しく揃っているため、表面波励振の左右非対称性が軽減される。そして、この結果として、挿入損失の低減、平衡信号の平衡度の改善がもたらされる。ただし、過剰な重み付けは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの特性を悪化させることが多いため、第3くし型電極部の電極指には表面波波励振区間を減らすような重み付けを行わず、第1くし型電極部の電極指のみに重み付けを施すことが好ましい。つまり、n=0として第1くし型電極部における表面波励振区間を1区間減らすことが好ましい。
【0059】
上記のように第1くし型電極部における表面波励振区間を1区間減らすための電極指の重み付け方法としては、たとえば、第1くし型電極部においてシグナル(信号)電極指のうちの1本の長さを他の電極指に対して約半分の長さにする交差幅重み付けが挙げられる。また、別の例として、第1くし型電極部において信号電極指とそれに隣接するアース(接地)電極指と他の電極指とを約半分の長さにした上で、2本の電極指を他の電極指の約半分の長さにしたことによって発生する2箇所の電極指欠損部分にそれぞれダミー電極指を設け、さらにその2つのダミー電極指どうしを電気的に接続する直列重み付けを挙げることもできる。このダミー電極指は、他の電極指の長さの半分にした電極指の先端方向の延長線上に形成されている。また、さらに、別の例として、第1くし型電極部において2本の信号電極指の長さを約1/4ずつ短くすることによる重み付けを挙げることができる。言い換えれば、第1くし型電極部において2本の信号電極指の長さを他の電極指の約3/4の長さにすることによる重み付けを挙げることができる。
【0060】
重み付けを行う位置については特に限定しないが、第1くし型電極部と第2くし型電極部との境界における表面波励振に対する補正を行うことが重み付けの目的であるため、第1くし型電極部の電極指のうちなるべく第2くし型電極部に近い電極指を重み付けすることが表面波励振の左右非対称性を軽減する上で効果的であり、たとえば、第1くし型電極部の電極指の第2くし型電極部に隣接する電極指から5本目までの電極指を重み付けすることが好ましく、第2くし型電極部に隣接する電極指を重み付けすることが特に好ましい。
【0061】
ただし、上記くし型電極部の設計パラメータによっては、第1くし型電極部において重み付けする電極指が第2くし型電極部に近ければ近いほど、通過帯域内における弾性表面波フィルタの入出力インピーダンスの周波数特性が大きくなり、通過帯域内の全周波数において弾性表面波フィルタの入出力インピーダンスを規定のインピーダンスに整合させることが困難になる場合がある。そのような場合には、第1くし型電極部において重み付けを行う電極指を第2くし型電極部から離すことにより、総合的な特性を最適化すればよい。
【0062】
また、第2くし型電極部における直列接続点を接地するか、しないかは特に限定されるものではない。ただし、本発明により弾性表面波フィルタにおける表面波励振の左右非対称性が軽減されている場合においては、表面波の定在波の左右対称性がよくなっており、第2くし型電極部の二分割した各くし歯状電極どうしの起電力の平衡度がよい。したがって、二分割した各くし歯状電極における起電力の平衡度をそのまま平衡信号の平衡度に反映させることができるように直列接続点を接地することが好ましい。
【0063】
また、本発明を適用する、しないに関わらず、直列接続点を接地した場合には、不平衡信号端子と平衡信号端子との間の電磁遮蔽が強くなり、不平衡信号端子から平衡信号端子への直達波が低減されて、平衡信号端子の平衡度が向上することが多い。しかしその一方で、直列接続点を接地することで二分割した各くし歯状電極における起電力の平衡度がそのまま平衡信号端子の平衡度を決定付ける構成となるため、二分割した各くし歯状電極における起電力の平衡度が悪い場合には、直列接続点を接地することにより、逆に平衡信号の平衡度が悪化してしまう場合もある。しかしながら、本発明を適用した場合には、二分割した各くし歯状電極の平衡度がよいため、直列接続点を接地することにより、二分割した各くし歯状電極の平衡度をそのまま平衡信号端子の平衡度に反映することができるようになるのと同時に、不平衡信号端子から平衡信号端子への直達波も低減することができるため、平衡信号の平衡度は直列接続点を接地することによって確実に改善することができる。
【0064】
さらに、直列接続点を接地する場合、直列接続点を接地するために圧電基板上に配線や電極パッドを追加すると、寄生容量が増加して弾性表面波フィルタの特性に悪影響がもたらされる場合がある。これに対して、第2くし型電極部の直列接続点に導通している電極指を第1くし型電極部や第3くし型電極部の接地電極に接続するか、もしくは、第1くし型電極部や第3くし型電極部の接地電極指を第2くし型電極部の直列接続点に導通させるか、あるいはその両方の措置をとることによって直列接続点を接地することができる。これらの直列接続点を接地する方法は、圧電基板上に配線や電極パッドを追加することなく直列接続点を接地することができるため、特に好ましい。
【0065】
次に、上記実施の形態に記載の弾性表面波フィルタを用いた通信装置について図8に基づき説明する。上記通信装置600は、受信を行うレシーバ側(Rx側)として、アンテナ601、アンテナ共用部/RFTopフィルタ602、アンプ603、Rx段間フィルタ604、ミキサ605、1stIFフィルタ606、ミキサ607、2ndIFフィルタ608、1st+2ndローカルシンセサイザ611、TCXO(temperature compensated crystal oscillator(温度補償型水晶発振器))612、デバイダ613、ローカルフィルタ614を備えて構成されている。
【0066】
Rx段間フィルタ604からミキサ605へは、図8に二本線で示したように、バランス性を確保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
【0067】
また、上記通信装置600は、送信を行うトランシーバ側(Tx側)として、上記アンテナ601及び上記アンテナ共用部/RFTopフィルタ602を共用するとともに、TxIFフィルタ621、ミキサ622、Tx段間フィルタ623、アンプ624、カプラ625、アイソレータ626、APC(automatic power control (自動出力制御))627を備えて構成されている。
【0068】
そして、上記のRx段間フィルタ604、1stIFフィルタ606、TxIFフィルタ621、Tx段間フィルタ623には、上述した本実施の形態に記載の弾性表面波フィルタが好適に利用できる。
【0069】
本発明にかかる弾性表面波フィルタは、従来の弾性表面波フィルタよりも平衡信号の平衡度が改善され、通過帯域内の挿入損失が改善されているという優れた特性を有するものである。よって、上記弾性表面波フィルタを有する本発明の通信装置は、伝送特性を向上できるものとなっている。
【0070】
全ての例について図示しないものの、本発明の弾性表面波フィルタの素子に対して、位置端子対弾性表面波共振子を平衡信号端子や不平衡信号端子に直列もしくは並列に接続したことにより構成した弾性表面波フィルタ、ならびに複数の弾性表面波フィルタ素子をカスケード接続してなる弾性表面波フィルタを含むものについても、いずれも本発明の効果を得ることができるものであり、全て本発明の特許請求の範囲内である。
【0071】
【発明の効果】
本発明の弾性表面波装置は、以上のように、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、第3くし型電極部、反射器が順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが並列に接続され、さらに不平衡信号端子に接続されており、前記第2くし型電極部が、表面波伝搬方向に沿って二分割され、直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極を備え、該二分割されているくし歯状電極がそれぞれ平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、第1くし型電極部と、第3くし型電極部とにおける表面波励振区間の数が等しくなるように重み付けされている構成である。
【0072】
上記の構成によれば、第1くし型電極部と第3くし型電極部との表面波励振区間の数が等しく揃っているため、表面波励振の左右非対称性が軽減される。そして、この結果として、挿入損失の低減、平衡信号の平衡度を改善することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1にかかる弾性表面波フィルタの概略構成図である。
【図2】図1の弾性表面波フィルタの一変形例を示す概略構成図である。
【図3】図2の弾性表面波フィルタおよび従来例の弾性表面波フィルタにおける信号伝送特性を示すグラフである。
【図4】図2の弾性表面波装置および従来例の弾性表面波フィルタにおける振幅平衡度を示すグラフである。
【図5】図2の弾性表面波装置および従来例の弾性表面波フィルタにおける位相平衡度を示すグラフである。
【図6】実施の形態2の弾性表面波フィルタを示す概略構成図である。
【図7】実施の形態3の弾性表面波フィルタを示す概略構成図である。
【図8】本発明の通信装置の要部ブロック図である。
【図9】従来の弾性表面波フィルタの概略構成図である。
【符号の説明】
1、1a、1b IDT(第1くし型電極部)
2       IDT(第2くし型電極部)
3、3b    IDT(第3くし型電極部)
6、7   反射器
10、11 不平衡信号端子
13    平衡信号端子
14    直列接続点
200、301、400、500 弾性表面波フィルタ
201 圧電基板

Claims (10)

  1. 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、および第3くし型電極部、反射器がこの順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが、並列に接続されると共に不平衡信号端子に接続され、前記第2くし型電極部では、表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極が平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、
    第2くし型電極部における、第1くし型電極部および第3くし型電極部に隣接する最外電極指は直列接続点に接続されており、
    第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は不平衡信号端子に接続されており、
    第3くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は接地されており、
    第1くし型電極部と第3くし型電極部の第2くし型電極部の近傍における弾性表面波の励振区間が同数となるように、
    第1くし型電極部のみ、もしくは第1くし型電極部と第3くし型電極部の両方が重み付けされていることを特徴とする、弾性表面波フィルタ。
  2. 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、および第3くし型電極部、反射器がこの順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが、並列に接続されると共に不平衡信号端子に接続され、前記第2くし型電極部では、表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極が平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、
    第2くし型電極部における、第1くし型電極部および第3くし型電極部に隣接する最外電極指は直列接続点に接続されており、
    第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は不平衡信号端子に接続されており、
    第3くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は接地されており、
    第1くし型電極部が直列重み付けされていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  3. 前記第1くし型電極部のうちの、前記第2くし型電極部に近い側から数えて5本以内の電極指が直列重み付けされていることを特徴とする請求項2に記載の弾性表面波フィルタ。
  4. 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、および第3くし型電極部、反射器がこの順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが、並列に接続されると共に不平衡信号端子に接続され、前記第2くし型電極部では、表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極が平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、
    第2くし型電極部における、第1くし型電極部および第3くし型電極部に隣接する最外電極指は直列接続点に接続されており、
    第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は不平衡信号端子に接続されており、
    第3くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は接地されており、
    第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指が交差幅重み付けされていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  5. 前記第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指が他の電極指の約1/2の長さになるように交差幅重み付けされていると共に、該交差幅重み付けされた電極指の先端の延長線上にはダミー電極が形成されており、該ダミー電極は交差幅重み付けされた電極指を有するくし歯状電極とは異なるくし歯状電極に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波フィルタ。
  6. 前記第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指および該最外電極指に隣接する電極指が他の電極指の約3/4の長さになるように交差幅重み付けされていると共に、該交差幅重み付けされた電極指の先端の延長線上にはダミー電極が形成されており、
    該ダミー電極は交差幅重み付けされた電極指を有するくし歯状電極とは異なるくし歯状電極に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波フィルタ。
  7. 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って、反射器、第1くし型電極部、第2くし型電極部、および第3くし型電極部、反射器がこの順に並んで配設されており、前記第1くし型電極部と前記第3くし型電極部とが、並列に接続されると共に不平衡信号端子に接続され、前記第2くし型電極部では、表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に直列接続点を介して電気的に直列に接続されているくし歯状電極が平衡信号端子に接続されている弾性表面波フィルタにおいて、
    第2くし型電極部における、第1くし型電極部および第3くし型電極部に隣接する最外電極指は直列接続点に接続されており、
    第1くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指および該最外電極指に隣接する電極指は接地されており、
    第3くし型電極部における、第2くし型電極部に隣接する最外電極指は接地され、且つ第2くし型電極部に最も近接した位置にある、不平衡信号端子に接続された電極指が他の電極指の約1/2の長さになるように交差幅重み付けされていると共に、該交差幅重み付けされた電極指の先端の延長線上にはダミー電極が形成されており、
    該ダミー電極は交差幅重み付けされた電極指を有するくし歯状電極とは異なるくし歯状電極に形成されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  8. 前記第2くし型電極部の直列接続点が、接地されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
  9. 前記第2くし型電極部の直列接続点が、前記第1くし型電極部もしくは前記第3くし型電極部の電極指を介して接地されていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
  10. 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタを備えたことを特徴とする通信装置。
JP2003184433A 2002-08-22 2003-06-27 弾性表面波フィルタ、通信装置 Expired - Fee Related JP4049034B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003184433A JP4049034B2 (ja) 2002-08-22 2003-06-27 弾性表面波フィルタ、通信装置
DE60300762T DE60300762T2 (de) 2002-08-22 2003-08-21 Oberflächenwellenbauelement und Kommunikationsgerät
EP03292065A EP1394940B1 (en) 2002-08-22 2003-08-21 Surface-acoustic wave filter and communications apparatus
AT03292065T ATE297069T1 (de) 2002-08-22 2003-08-21 Oberflächenwellenbauelement und kommunikationsgerät
KR10-2003-0058277A KR100494049B1 (ko) 2002-08-22 2003-08-22 탄성표면파 필터 및 통신 장치
US10/646,287 US6853270B2 (en) 2002-08-22 2003-08-22 Surface acoustic wave filter with split center IDT and specific weighting and communication apparatus
CNB031549330A CN1260882C (zh) 2002-08-22 2003-08-22 弹性表面波滤波器与通信装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002242260 2002-08-22
JP2003184433A JP4049034B2 (ja) 2002-08-22 2003-06-27 弾性表面波フィルタ、通信装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004140785A true JP2004140785A (ja) 2004-05-13
JP4049034B2 JP4049034B2 (ja) 2008-02-20

Family

ID=31497668

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003184433A Expired - Fee Related JP4049034B2 (ja) 2002-08-22 2003-06-27 弾性表面波フィルタ、通信装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6853270B2 (ja)
EP (1) EP1394940B1 (ja)
JP (1) JP4049034B2 (ja)
KR (1) KR100494049B1 (ja)
CN (1) CN1260882C (ja)
AT (1) ATE297069T1 (ja)
DE (1) DE60300762T2 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006068087A1 (ja) * 2004-12-20 2006-06-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. バランス型弾性波フィルタ装置
JP2006254410A (ja) * 2005-02-10 2006-09-21 Murata Mfg Co Ltd バランス型弾性波フィルタ
JP2007534243A (ja) * 2004-04-22 2007-11-22 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 縦方向に結合されている変換器を備えた表面波共振器フィルタ
US7683735B2 (en) 2005-02-16 2010-03-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Balanced acoustic wave filter
JP2012129921A (ja) * 2010-12-17 2012-07-05 Kyocera Corp 弾性波装置
WO2013141151A1 (ja) * 2012-03-22 2013-09-26 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP2015119450A (ja) * 2013-12-20 2015-06-25 株式会社村田製作所 弾性表面波装置、通信装置
US9257962B2 (en) 2011-11-10 2016-02-09 Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. Elastic wave device

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7112912B2 (en) * 2004-03-16 2006-09-26 Tdk Corporation Surface acoustic wave device and branching filter
JP4069917B2 (ja) * 2004-09-15 2008-04-02 株式会社村田製作所 バランス型弾性表面波フィルタ
CN100546179C (zh) * 2005-02-16 2009-09-30 株式会社村田制作所 平衡型声波滤波器件
JP4557008B2 (ja) * 2005-10-03 2010-10-06 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ
JP4670956B2 (ja) * 2006-09-22 2011-04-13 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性波フィルタ装置
KR101024189B1 (ko) * 2006-09-28 2011-03-22 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 필터장치
WO2009131227A1 (ja) * 2008-04-25 2009-10-29 京セラ株式会社 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置
JP5239741B2 (ja) * 2008-10-24 2013-07-17 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置
JP4900420B2 (ja) 2009-05-27 2012-03-21 株式会社村田製作所 弾性波装置
JP2011066747A (ja) * 2009-09-18 2011-03-31 Panasonic Corp 弾性波フィルタ
DE102015107231B4 (de) * 2015-05-08 2021-09-16 Snaptrack, Inc. Kaskadierter Resonator
JP6267250B2 (ja) * 2016-02-25 2018-01-24 株式会社Subaru 油圧回路の異常検知装置、及び、油圧回路の異常検知方法
US10395542B2 (en) * 2016-03-28 2019-08-27 Cisco Technology, Inc. Drone traffic engineering

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US21195A (en) * 1858-08-17 Apparatus for heating- mash-tubs
US4759562A (en) * 1986-05-09 1988-07-26 Vinyard Lillian L Walker conversions for wheel chairs
US5451193A (en) * 1992-08-12 1995-09-19 Pickard; Raleigh H. Combined wheelchair and walker
US5224731A (en) * 1992-09-08 1993-07-06 Johnson Candace L Combination wheel chair and walker
US5605345A (en) * 1993-10-21 1997-02-25 Brookefield Hunter Incorporated Wheeled apparatus for use as walker and wheelchair
US5835990A (en) * 1995-06-16 1998-11-10 Northern Telecom Limited Longitudinally coupled double mode surface wave resonators
US5558358A (en) * 1995-06-19 1996-09-24 Johnson; Candace L. Combination wheelchair and walker
JPH1197966A (ja) * 1997-09-22 1999-04-09 Tdk Corp 弾性表面波フィルタ
US5772234A (en) * 1997-09-23 1998-06-30 Luo; Chung-I Configuring frame of walker
DE19818826B4 (de) * 1998-04-27 2004-11-04 Epcos Ag Oberflächenwellenfilter mit erhöhter Bandbreite
US6378883B1 (en) * 2000-01-11 2002-04-30 Aaron J. Epstein Motorized walker/wheelchair and method
US6338493B1 (en) * 2000-04-19 2002-01-15 Eli Wohlgemuth Walker chair
TW483238B (en) * 2000-06-30 2002-04-11 Fujitsu Media Devices Ltd Surface acoustic wave device
JP3687566B2 (ja) * 2000-07-25 2005-08-24 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
EP1249934B1 (en) * 2001-04-09 2013-07-31 Murata Manufacturing Co., Ltd. Surface acoustic wave apparatus and communications unit

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007534243A (ja) * 2004-04-22 2007-11-22 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 縦方向に結合されている変換器を備えた表面波共振器フィルタ
JP4861311B2 (ja) * 2004-04-22 2012-01-25 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 縦方向に結合されている変換器を備えた表面波共振器フィルタ
WO2006068087A1 (ja) * 2004-12-20 2006-06-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. バランス型弾性波フィルタ装置
US7429905B2 (en) 2004-12-20 2008-09-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Balanced acoustic wave filter
JP2006254410A (ja) * 2005-02-10 2006-09-21 Murata Mfg Co Ltd バランス型弾性波フィルタ
US7683735B2 (en) 2005-02-16 2010-03-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Balanced acoustic wave filter
JP2012129921A (ja) * 2010-12-17 2012-07-05 Kyocera Corp 弾性波装置
US9257962B2 (en) 2011-11-10 2016-02-09 Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. Elastic wave device
WO2013141151A1 (ja) * 2012-03-22 2013-09-26 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
US9425763B2 (en) 2012-03-22 2016-08-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Longitudinally-coupled-resonator-type surface acoustic wave filter
JP2015119450A (ja) * 2013-12-20 2015-06-25 株式会社村田製作所 弾性表面波装置、通信装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE60300762T2 (de) 2006-03-23
US6853270B2 (en) 2005-02-08
KR20040018214A (ko) 2004-03-02
CN1260882C (zh) 2006-06-21
EP1394940A1 (en) 2004-03-03
ATE297069T1 (de) 2005-06-15
KR100494049B1 (ko) 2005-06-10
CN1485982A (zh) 2004-03-31
EP1394940B1 (en) 2005-06-01
JP4049034B2 (ja) 2008-02-20
DE60300762D1 (de) 2005-07-07
US20040066254A1 (en) 2004-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4049034B2 (ja) 弾性表面波フィルタ、通信装置
US10367473B2 (en) Filter, multiplexer, and communication apparatus
US10333487B2 (en) Acoustic wave element, filter element, and communication device
US7902940B2 (en) Duplexer
JP4339614B2 (ja) 弾性表面波フィルタ,平衡型回路,および通信装置
US7378923B2 (en) Balanced SAW filter
US20060244550A1 (en) Surface acoustic wave filter and duplexer using the same
EP1251638A2 (en) Surface acoustic wave filter apparatus and communications apparatus
JP2002084163A (ja) 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
EP1263137B1 (en) Surface acoustic wave filter, balanced type filter and communication device
US9154113B2 (en) Ladder acoustic wave filter device and branching filter
JP4100249B2 (ja) 弾性表面波装置、通信機
US7915972B2 (en) Balance filter and duplexer
KR20070088781A (ko) 탄성 표면파 필터 장치
US7429905B2 (en) Balanced acoustic wave filter
JP2003069383A (ja) 弾性表面波フィルタ
EP1289136A2 (en) Surface acoustic wave filter and communication apparatus.
JP3757893B2 (ja) 弾性表面波装置、および、これを搭載した通信装置
EP1251637A2 (en) Surface acoustic wave apparatus and communication apparatus
US7808344B2 (en) Boundary acoustic wave filter
JPH0879000A (ja) 弾性表面波フィルタ
Koshino et al. Simulation modeling and correction method for balance performance of RF SAW filters
JP2004007713A (ja) 弾性表面波装置、通信装置
JPH10261936A (ja) 弾性表面波フィルタ
JP2004112591A (ja) 弾性表面波フィルタ、通信装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050512

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061219

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070219

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20070219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070619

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20071106

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20071119

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4049034

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131207

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees