KR100696986B1

KR100696986B1 - 이젝터 충돌 방지장치

Info

Publication number: KR100696986B1
Application number: KR1020060032507A
Authority: KR
Inventors: 이민형; 최한현
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2006-04-10
Filing date: 2006-04-10
Publication date: 2007-03-20
Also published as: TWI320210B; CN100541757C; JP5000996B2; CN101034680A; TW200739753A; JP2007281418A

Abstract

본 발명의 이젝터 충돌 방지장치에 관한 것으로, 본 발명은 칩(chip)들이 배열된 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 테이블과, 상기 웨이퍼 테이블을 움직이게 하는 테이블 구동 어셈블리와, 상기 웨이퍼 테이블의 내부에 위치하여 웨이퍼의 칩을 픽업시 그 칩을 지지하는 이젝터와, 상기 테이블 내부에 구비되어 상기 이젝터와 접촉시 상기 테이블 구동 어셈블리를 정지시키는 안전 유닛을 포함하여 구성된다. 이로 인하여, 소프트웨어의 오류나 데이터 입력 오류 등으로 인하여 웨이퍼 테이블이 설정된 범위 이상으로 움직이게 될 경우 웨이퍼 테이블과 이젝터가 충돌하는 것을 방지하게 되므로 웨이퍼 테이블과 이젝터를 포함하는 부품들의 파손을 방지하게 되어 장비의 신뢰성을 높일 수 있도록 한 것이다.

Description

이젝터 충돌 방지장치{APPARATUS FOR PREVENTING COLLISION OF EJECTOR}

도 1은 구동 칩이 구비된 테잎을 도시한 평면도,

도 2는 구동 칩들이 배열된 웨이퍼를 도시한 평면도,

도 3은 본 발명의 출원인이 연구 개발 중인 본딩 장비를 개략적으로 도시한 정면도,

도 4는 상기 본딩 장비를 구성하는 웨이퍼 공급유닛을 도시한 사시도,

도 5는 상기 본딩 장비를 구성하는 웨이퍼 공급유닛을 도시한 평면도,

도 6은 상기 본딩 장비를 구성하는 웨이퍼 공급유닛을 도시한 정면도,

도 7은 상기 웨이퍼 공급유닛의 작동 상태를 도시한 정단면도,

도 8은 상기 웨이퍼 공급유닛을 구성하는 웨이퍼 테이블과 이젝터의 충돌상태를 도시한 평면도,

도 9는 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치의 일실시예가 구비된 본딩 장비의 웨이퍼 공급유닛을 도시한 평면도,

도 10은 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치를 도시한 평면도,

도 11은 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치의 일부분을 도시한 사시도,

도 12는 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치를 구성하는 안전 유닛의 다른 실시예를 도시한 평면도,

도 13,14는 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치의 작동 상태를 각각 도시한 평면도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

200; 웨이퍼 테이블 300; 이젝터

400; 안전 유닛 410; 제1 단자

420; 제2 단자 430,750; 스위칭 부재

600; 웨이퍼 팽창 링 710; 센서 몸체

720; 탄성 지지부재 730; 제1 단자

740; 제2 단자

본 발명은 이젝터 충돌 방지장치에 관한 것으로, 특히, 소프트웨어의 오류나 데이터 입력의 오류 등으로 인하여 웨이퍼 테이블이 설정된 범위 이외로 이동할 경우 그 웨이퍼 테이블과 이젝트가 충돌하는 것을 방지할 수 있도록 한 이젝터 충돌 방지장치에 관한 것이다.

엘시디 모니터의 경우 그 엘시디 패널에 다수개의 구동 회로가 구비되며, 그 구동 회로는 구동 칩과 그 구동 칩에 연결되는 다수개의 와이어 단자 등으로 구현된다.

상기 구동 회로를 제작시, 도 1에 도시한 바와 같이, 절연 필름(1)에 다수개 의 단위 메탈 패턴(2)이 형성된 테잎(tape)(T)에 구동 칩(3)을 각각 그 테잎(T)의 단위 메탈 패턴(2)에 접착하는 일련의 공정을 거쳐 제작되고, 그 테잎의 메탈 패턴(2)에 구동 칩(3)을 접착하는 공정은 본딩 장비에 의해 진행된다. 상기 메탈 패턴(2)은 다수개의 와이어 단자를 이루게 된다.

상기 구동 칩(3)들은, 도 2에 도시한 바와 같이, 원판 형상의 웨이퍼(wafer)(W)에 다수개 배열되도록 제작된다. 이와 같은 웨이퍼(W)는 본딩 장비의 웨이퍼 공급유닛으로 공급된다.

도 3은 본 발명의 출원인이 연구 개발 중인 본딩 장비의 일예를 개략적으로 도시한 것이다.

이에 도시한 바와 같이, 상기 본딩 장비는 절연 필름에 다수개의 단위 메탈 패턴(matel pattern)이 형성된 테잎(T)이 감겨진 릴(reel)(10)에서 테잎(T)이 풀리면서 테잎 피더(20)가 테잎(T)을 지속적으로 피딩하게 되며 그 테잎(T)은 테잎 가이드(30)를 따라 본딩 헤드(40)측으로 이동하게 된다. 이와 동시에, 구동 칩들이 배열된 웨이퍼(W)가 웨이퍼 공급유닛(50)에 의해 공급되고 그 웨이퍼 공급유닛(50)의 측부에 위치한 칩 전달 유닛(60)이 웨이퍼(W)에 배열된 구동 칩을 픽업하여 상기 본딩 헤드(40)측으로 이동시키게 된다.

상기 본딩 헤드(40)가 그 칩 전달 유닛(60)에 의해 공급되는 구동 칩을 흡착하여 테잎(T)에 배열된 단위 메탈 패턴에 접착시키게 된다. 이때, 상기 메탈 패턴과 구동 칩은 가열되고 가압되어 서로 접착되고, 그 테잎(T)의 하부에 하부 툴(또는, 본딩 스테이지)이 위치하여 그 구동 칩 및 본딩 헤드(40)를 지지하게 된다.

이와 같은 과정이 반복되면서 웨이퍼(W)에 배열된 구동 칩들을 테잎(T)에 배열된 단위 메탈 패턴들에 각각 접착시키게 된다. 상기 구동 칩이 접착된 테잎은 별도의 릴(11)에 감기게 된다.

상기 본딩 장비에서 웨이퍼(W)를 공급하는 웨이퍼 공급유닛(50)은, 도 4, 5, 6에 도시한 바와 같이, 본딩 장비의 베이스 프레임(80)에 장착되는 X축 엘엠 가이드(51)와, 그 X축 엘엠 가이드(51)를 따라 움직임 가능하게 결합되는 제1 베이스 플레이트(52)와, 제1 상기 베이스 플레이트(52)를 직선 왕복 운동시키는 제1 구동 유닛(M1)과, 상기 X축 엘엠 가이드(51)에 대하여 수직 방향으로 위치하도록 상기 제1 베이스 플레이트(52)에 결합되는 Y축 엘엠 가이드(53)와, 상기 Y축 엘엠 가이드(53)를 직선 왕복 운동시키는 제2 구동 유닛(M2)과, 상기 Y축 엘엠 가이드(53)를 따라 움직임 가능하게 결합되는 제2 베이스 플레이트(54)와, 상기 제2 베이스 플레이트(54)에 결합되는 테이블 가이드(55)와, 상기 테이블 가이드(55)내부에 회전 가능하게 결합되며 구동 칩이 배열된 웨이퍼(W)가 안착되는 웨이퍼 테이블(56)과, 상기 제2 베이스 플레이트(54)에 장착되어 그 웨이퍼 테이블(56)을 회전시키는 회전 구동유닛(M3)과, 상기 웨이퍼 테이블(56)내에 상하 움직임 가능하도록 결합되어 웨이퍼 테이블(56)에 안착된 웨이퍼(W) 내부를 밀어 팽창시키는 웨이퍼 팽창 링(57)과, 상기 웨이퍼 팽창 링(57)을 상하로 움직이게 하는 링 구동유닛(M4)과, 상기 웨이퍼 팽창 링(57)의 내부에 위치하도록 상기 베이스 프레임(80)에 고정 결합되어 칩 전달유닛(60)이 웨이퍼(W)의 구동 칩을 픽업할 수 있도록 지지하는 이젝터(ejector)(E)를 포함하여 구성된다. 상기 이젝터(E)는 일정 길이를 가지며 수직 방 향으로 위치하는 돔(58)과 그 돔을 상하로 이동시키는 구동유닛(59)을 포함하여 구성된다.

상기한 바와 같은 웨이퍼 공급유닛의 작동은 다음과 같다.

먼저, 본딩 장비를 구성하는 웨이퍼 이송유닛(미도시)에 의해 웨이퍼(W)가 상기 웨이퍼 테이블(56)에 안착된다. 그리고 웨이퍼(W)가 안착된 웨이퍼 테이블(56)은 제1 구동 유닛(M1)과 제2 구동 유닛(M2)의 구동에 의해 X축 엘엠 가이드(51)와 Y축 엘엠 가이드(53)를 따라 움직이면서 설정된 위치로 이동하게 되며, 또한 회전 구동유닛(M3)의 구동에 의해 그 웨이퍼 테이블(56)이 회전되면서 그 웨이퍼(W)를 설정된 위치로 회전시키게 된다.

이와 동시에 상기 링 구동유닛(M4)의 구동에 의해 웨이퍼 팽창 링(57)이 위로 움직이면서, 도 7에 도시한 바와 같이, 그 웨이퍼 테이블(56)에 안착된 웨이퍼(W) 내부를 밀어 그 웨이퍼(W)를 팽창시켜 그 웨이퍼(W)에 배열된 구동 칩들의 간격을 벌리게 된다.

그리고 상기 칩 전달유닛(60)이 상기 웨이퍼(W)에 배열된 구동 칩을 픽업하게 되며 이때 웨이퍼 테이블(56) 내부에 위치하는 이젝터의 돔(58)이 웨이퍼(W)의 하면을 흡착하면서 구동 칩이 웨이퍼(W)에서 분리되도록 지지하게 된다.

상기 칩 전달유닛(60)은 구동 칩을 픽업하여 본딩 헤드(40)측에 전달하게 되고, 그 칩 전달유닛(60)이 다음 구동 칩을 픽업할 수 있도록 상기 웨이퍼(W)를 이동시킨다. 상기 이젝터 돔(58)은 그 위치가 고정된다.

그러나 상기한 바와 같은 웨이퍼 공급유닛은 소프트웨어의 오류나 데이터 입력의 오류 등이 발생하게 될 경우, 도 8에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 테이블(56)의 웨이퍼 팽창 링(57)과 이젝터 돔(58)이 충돌하게 되어 그 웨이퍼 테이블(56)과 이젝터 돔(58)을 포함하는 부품들이 파손되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 소프트웨어의 오류나 데이터 입력의 오류 등으로 인하여 웨이퍼 테이블이 설정된 범위 이외로 이동할 경우 그 웨이퍼 테이블과 이젝트가 충돌하는 것을 방지할 수 있도록 한 이젝터 충돌 방지장치를 제공함에 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 칩들이 배열된 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 테이블과, 상기 웨이퍼 테이블을 움직이게 하는 테이블 구동 어셈블리와, 상기 웨이퍼 테이블의 내부에 위치하여 웨이퍼의 칩을 픽업시 그 웨이퍼의 칩을 지지하는 이젝터와, 상기 웨이퍼 테이블 내부에 구비되어 상기 이젝터와 접촉시 상기 테이블 구동 어셈블리를 정지시키는 안전 유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 이젝터 충돌 방지장치가 제공된다.

이하, 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라 설명하면 다음과 같다.

도 9는 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치의 일실시예가 구비된 본딩 장비의 웨이퍼 공급유닛을 도시한 평면도이다.

이를 참조하여, 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치를 설명하면 다음과 같다.

상기 이젝터 충돌 방지장치는 구동 칩들이 배열된 웨이퍼(W)가 안착되는 웨이퍼 테이블(200)과, 상기 웨이퍼 테이블(200)을 움직이게 하는 테이블 구동 어셈블리와, 상기 웨이퍼 테이블(200)의 내부에 위치하여 웨이퍼(W)의 칩을 픽업시 그 웨이퍼(W)의 칩을 지지하는 이젝터(300)와, 상기 테이블 내부에 위치하며 상기 이젝터(300)와 접촉시 상기 테이블 구동 어셈블리를 정지시키는 안전 유닛(400)을 포함하여 구성된다.

상기 테이블 구동 어셈블리는 상기 웨이퍼 테이블(200)을 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시킴과 아울러 상기 웨이퍼 테이블(200)을 회전시키게 된다. 이에 대한 구체적인 구성의 일예로, 상기 테이블 구동 어셈블리는 본딩 장비의 베이스 프레임(80)에 장착되는 X축 엘엠 가이드(510)와, 그 X축 엘엠 가이드(510)를 따라 움직임 가능하게 결합되는 제1 베이스 플레이트(520)와, 제1 상기 베이스 플레이트(520)를 직선 왕복 운동시키는 제1 구동 유닛(M5)과, 상기 X축 엘엠 가이드(510)에 대하여 수직 방향으로 위치하도록 상기 제1 베이스 플레이트(520)에 결합되는 Y축 엘엠 가이드(530)와, 상기 Y축 엘엠 가이드(530)를 직선 왕복 운동시키는 제2 구동 유닛(M6)과, 상기 Y축 엘엠 가이드(530)를 따라 움직임 가능하게 결합되는 제2 베이스 플레이트(540)와, 상기 제2 베이스 플레이트(540)에 장착되어 상기 웨이퍼 테이블(200)을 회전시키는 회전 구동유닛(M7)을 포함하여 구성된다.

상기 제2 베이스 플레이트(540)에 테이블 가이드(550)가 결합되고 그 테이블 가이드(550)에 웨이퍼 테이블(200)이 회전 가능하게 장착된다.

상기 웨이퍼 테이블(200)의 내부에 일정 길이를 갖는 원통 형태의 웨이퍼 팽 창 링(600)이 상하 움직임 가능하도록 장착된다. 상기 웨이퍼 테이블(200)의 내부에 원통 형태의 내부 공간이 구비되며 그 웨이퍼 테이블(200)의 내부 공간에 상기 웨이퍼 팽창 링(600)이 위치하게 된다. 그리고 상기 제2 베이스 플레이트(540)에 상기 웨이퍼 팽창 링(600)을 상하로 움직이게 하는 링 구동유닛(M8)이 구비된다.

상기 웨이퍼 테이블(200)의 내부 공간, 즉 웨이퍼 테이블(200)의 웨이퍼 팽창 링(600)의 내부에 상기 이젝터(300)가 위치하도록 그 이젝터(300)가 상기 베이스 프레임(80)에 고정 결합된다.

상기 이젝터(300)는 소정 형상으로 형성되어 상기 베이스 프레임(80)에 고정 결합되는 몸체(310)와, 그 몸체(310)에 수직 방향으로 움직임 가능하게 장착되는 돔(320)과, 그 돔(320)을 상하로 움직이는 구동유닛(330)을 포함하여 구성된다. 상기 돔(320)은 일정 길이를 갖도록 형성되며 수직 방향으로 위치하게 된다.

상기 안전 유닛(400)은, 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 웨이퍼 테이블(200)에 일정 간격을 두고 장착되며 각각 마이콤(미도시)에 전기적으로 연결되는 제1,2 단자(410)(420)와, 상기 이젝터(300)가 위치하는 웨이퍼 테이블(200)의 내부 공간에 돌출되도록 구비되며 상기 이젝터(300)가 접촉시 상기 제1,2 단자(410)(420)를 연결시키는 탄성 재질의 스위칭 부재(430)를 포함하여 구성된다. 상기 마이콤은 제1,2 단자(410)(420)가 스위칭 부재(430)에 의해 접촉시 그 접촉을 감지하여 상기 구동유닛들의 구동이 정지되도록 제어하게 된다.

상기 안전 유닛(400)의 보다 바람직한 실시예는 상기 제1,2 단자(410)(420)와 스위칭 부재(430)가 웨이퍼 테이블(200)의 내부 공간 내주벽을 따라 일정 간격 을 두고 복수개 배열된다.

상기 스위칭 부재(430)는 일정 길이를 가지며 굴곡된 형태로 형성된 판 스프링인 것이 바람직하며, 그 판 스프링의 굴곡된 부분이 웨이퍼 테이블(200)의 내부에 위치하게 된다.

상기 스위칭 부재(430)는 그 일측이 상기 제1 단자(410)에 고정 결합되고 그 타측이 제2 단자(420)의 접지부분(421)과 일정 간격을 두고 위치하게 된다. 상기 이젝터(300)의 돔(320)이 그 판 스프링을 누름시 그 판 스프링의 타측이 제2 단자(420)와 접지된다.

상기 스위칭 부재(430)는, 도 11에 도시한 바와 같이, 상기 웨이퍼 테이블(200)의 내부 공간에 장착되는 웨이퍼 팽창 링(600)의 내주벽에 돌출되도록 결합되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 웨이퍼 팽창 링(600)에 원주 방향으로 일정 간격을 두고 소정 크기의 관통 구멍(610)이 다수개 형성되고, 그 다수개의 관통 구멍(610)의 위치와 대응되는 웨이퍼 테이블(200)의 내부 공간 내벽에 장착부가 각각 구비된다. 상기 웨이퍼 테이블(200)의 장착부에 제1 단자(410)와 제2 단자(420)가 장착되고 상기 스위칭 부재(430)의 굴곡진 부분이 웨이퍼 팽창 링(600)의 내주벽 안으로 돌출되도록 그 스위칭 부재(430)의 일측이 상기 제1 단자(410)에 결합되고 그 타측이 제2 단자(420)에 위치하게 된다. 이로 인하여, 상기 스위칭 부재(430)들의 굴곡진 부분이 웨이퍼 팽창 링(600)의 내부에 위치하도록 그 웨이퍼 팽창 링(600)의 내주벽에서 돌출되게 배열된다. 상기 웨이퍼 팽창 링의 관통 구멍(610)은 그 내부에 스위칭 부재(430)가 위치한 상태에서 그 웨이퍼 팽창 링(600)이 상하 움직일 수 있 는 크기로 형성된다.

상기 스위칭 부재(430)인 판 스프링의 타측이 상기 제2 단자(420)와 접지되면 그 판 스프링이 제1 단자(410)와 제2 단자(420)를 연결시키게 되어 그 판 스프링에 이젝터(300)의 돔(320)이 접촉되었다는 신호를 마이콤에 전달하게 된다. 그 신호에 따라 마이콤은 테이블 구동 어셈블리의 구동을 정지시키게 된다.

상기 안전유닛의 다른 실시예로, 도 12에 도시한 바와 같이, 상기 이젝터 돔(320)의 외주면과 일정 간격을 이루도록 그 이젝터 돔(320)이 삽입되는 센서 몸체(710)와, 그 센서 몸체(710)를 탄성 지지하는 탄성 지지부재(720)와, 상기 센서 몸체(710)의 내주벽에 일정 간격을 두고 장착되며 각각 마이콤에 적기적으로 연결되는 복수 개의 제1,2 단자(730)(740)와, 상기 센서 몸체(710)에 복수 개 구비되어 그 센서 몸체(710)에 외력이 작용하여 이젝터의 돔(320)에 접촉시 상기 제1,2 단자(730)(740)를 연결시키는 탄성 재질의 스위칭 부재(750)를 포함하여 구성된다.

상기 센서 몸체(710)는 일정 두께와 길이를 갖는 원통 형태로 형성되며, 그 센서 몸체(710)는 웨이퍼 팽창링(600)의 내부에 위치하게 된다.

상기 탄성 지지부재(720)는 일정 길이를 갖는 탄성체로 이루어지며, 그 탄성 지지부재(720)는 센서 몸체(710)와 이젝터 몸체(310)를 연결하여 그 센서 몸체(710)를 지지하게 된다.

상기 한 쌍의 제1,2 단자(730)(740)는 상기 센서 몸체(710)의 내부에 일정 간격을 두고 배치되며 그 한 쌍의 제1,2 단자(730)(740)와 다른 한 쌍의 제1,2 단자(730)(740)는 일정 간격을 두고 배치된다. 상기 센서 몸체(710)에 구비되는 복수 개의 제1,2 단자(730)(740)는 제1,2 단자(730)(740)를 한 쌍으로 하여 4개의 쌍이 배치됨이 바람직하다.

상기 스위칭 부재(750)는 굴곡된 형태로 형성된 판 스프링이며, 그 판 스프링이 센서 몸체(710)의 내주벽에 돌출되도록 그 판 스프링의 일측이 상기 제1 단자(730)에 고정 결합되고 그 타측이 제2 단자(740)의 접지부분과 일정 간격을 두고 위치하게 된다. 상기 스위칭 부재(750)는 한 쌍의 제1,2 단자(730)(740)에 하나씩 배치되며 그 스위칭 부재(750)는 4개가 배치됨이 바람직하며, 그 스위칭 부재(750)는 이젝터 돔(320)과 접촉되지 않고 일정 간격을 이루도록 배치된다. 이때, 스위칭 부재(750)인 판 스프링의 누름시 그 판 스프링의 타측이 제2 단자(740)와 접지된다.

상기 스위칭 부재(750)인 판 스프링의 타측이 상기 제2 단자(740))와 접지되면 그 판 스프링이 제1 단자(730)와 제2 단자(740)를 연결시키게 되어 그 판 스프링에 이젝터(300)의 돔(320)이 접촉되었다는 신호를 마이콤에 전달하게 된다. 그 신호에 따라 마이콤은 테이블 구동 어셈블리의 구동을 정지시키게 된다.

한편, 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치의 다른 실시예들로, 웨이퍼 테이블의 내부에 위치하는 웨이퍼 팽창 링의 내부에 이젝터가 위치하고 그 웨이퍼 팽창 링의 내주벽에 탄성력을 갖는 복수개의 감지 센서들이 배열되며 그 웨이퍼 테이블의 이동시 이젝터가 감지 센서에 접촉시 웨이퍼 테이블의 구동을 정지시키는 것으로 구성으로 모두 적용될 수 있다.

이하, 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본딩 장비를 구성하는 웨이퍼 이송유닛(미도시)에 의해 웨이퍼(W)가 상기 웨이퍼 테이블(200)에 안착된다. 그리고 테이블 구동 어셈블리의 구동에 의해 그 웨이퍼(W)가 안착된 웨이퍼 테이블(200)이 X축 방향과 Y축 방향으로 움직임과 동시에 회전하면서 웨이퍼(W)가 설정된 위치로 이동하게 된다.

이와 동시에 상기 링 구동유닛(M8)의 구동에 의해 웨이퍼 팽창 링(600)이 위로 움직이면서 그 웨이퍼 테이블(200)에 안착된 웨이퍼(W) 내부를 밀어 그 웨이퍼(W)를 팽창시킴에 의해 그 웨이퍼(W)에 배열된 칩들의 간격을 벌리게 된다.

그리고 상기 칩 전달유닛(60)(도 2에 도시됨)이 상기 웨이퍼(W)에 배열된 칩을 픽업하게 되며 이때 웨이퍼 테이블(200) 내부에 위치하는 이젝터(300)의 돔(320)이 그 칩이 위치하는 웨이퍼(W)의 하면을 흡착하면서 칩이 웨이퍼(W)에서 분리되도록 지지하게 된다.

상기 칩 전달유닛은 칩을 픽업하여 본딩 헤드(40)(도 2에 도시됨)측에 전달하게 되고, 그 칩 전달유닛(60)이 다음 칩을 픽업할 수 있도록 상기 웨이퍼(W)를 이동시킨다.

이와 같은 과정에서, 본딩 장비를 제어하는 소프트웨어의 오류나 데이터의 입력 오류 등으로 인하여 상기 웨이퍼 테이블(200)이 설정된 범위 이외의 영역으로 움직이게 될 경우 웨이퍼 테이블(200)의 내부에 구비된 안전 유닛(400)에 의해 웨이퍼 테이블(200)과 이젝터(300)의 돔(320)이 충돌하는 것을 방지하게 된다. 그 과정을 상세하게 설명하면, 상기 웨이퍼 테이블(200)이, 도 13에 도시한 바와 같이, 이젝터(300)의 돔(320)에 인접하게 되면서 웨이퍼 테이블(200)의 웨이퍼 팽창 링 (600) 내부에 구비된 스위칭 부재(430)가 먼저 이젝터(300)의 돔(320)에 접촉되어 밀리게 된다. 상기 스위칭 부재(430)가 이젝터의 돔(320)에 의해 밀리게 되면 그 스위칭 부재(430)의 일측이 제2 단자(420)의 접지부분(421)에 접지되면서 마이콤에 신호를 전달하게 된다. 그 신호에 따라 마이콤이 테이블 구동 어셈블리의 구동을 정지시켜 웨이퍼 테이블(200)을 정지시키게 되며, 이로 인하여 웨이퍼 테이블(200)과 이젝트의 돔(320)이 충돌하는 것을 방지하게 된다.

상기 마이콤에 전달되는 신호에 의해 현재 웨이퍼 테이블(200)의 이동방향을 다른 방향으로 전환시킴으로써 웨이퍼 테이블(200)과 이젝터(300)가 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 상기 안전 유닛의 스위칭 부재(430)가 탄성 부재인 판 스프링으로 이루어져 이젝터(300)의 돔이 스위치 부재에 접촉되어도 이젝터(300)의 파손이 방지된다.

한편, 상기 안전 유닛의 다른 실시예의 경우, 도 14에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 팽창링(600)이 상기 이젝터(300)의 돔(320)에 인접하여 그 웨이퍼 팽창링(600)이 센서 몸체(710)에 접촉하게 되면 그 센서 몸체(710)가 탄성 지지부재(720)에 지지된 상태에서 밀리게 되면서 그 센서 몸체(710)의 내주벽에 돌출된 스위칭 부재(750)가 이젝터 돔(320)에 접촉되어 밀리게 된다.

상기 스위칭 부재(750)가 이젝터의 돔(320)에 의해 밀리게 되면 그 스위칭 부재(750)의 일측이 제2 단자(740)의 접지부분(741)에 접지되면서 마이콤에 신호를 전달하게 된다. 그 신호에 따라 마이콤이 테이블 구동 어셈블리의 구동을 정지시켜 웨이퍼 테이블(200)을 정지시키게 되며, 이로 인하여 웨이퍼 테이블(200)과 이젝트 의 돔(320)이 충돌하는 것을 방지하게 된다. 상기 한 쌍의 제1,2 단자(730)(740)가 4개이고 또한 스위칭 부재(750)가 4개일 경우 그 접촉되는 스위칭 부재(750)에 따라 웨이퍼 테이블(200)의 움직이는 방향을 감지할 수 있다.

본 발명의 이젝터 충돌 방지장치는 본딩 장비에 적용된 것을 기준으로 설명하였으나, 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치는 본딩 장비 뿐만 아니라 웨이퍼의 칩을 픽업하는 장비에 모두 적용될 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 이젝터 충돌 방지장치는 소프트웨어의 오류나 데이터 입력 오류 등으로 인하여 웨이퍼 테이블이 설정된 범위 이상으로 움직이게 될 경우 웨이퍼 테이블과 이젝터가 충돌하는 것을 방지하게 됨으로써 웨이퍼 테이블과 이젝터를 포함하는 부품들의 파손을 방지하게 되어 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims

칩들이 배열된 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 테이블과;

상기 웨이퍼 테이블을 움직이는 테이블 구동 어셈블리와;

상기 웨이퍼 테이블의 내부에 위치하여 웨이퍼의 칩을 픽업시 그 웨이퍼의 칩을 지지하는 이젝터와;

상기 웨이퍼 테이블의 내부에 일정 간격을 두고 장착되며 각각 마이콤에 전기적으로 연결되는 복수개의 제1,2 단자들과;

상기 웨이퍼 테이블의 내부 공간에 돌출되도록 그 웨이퍼 테이블의 내부 공간 내주벽을 따라 일정 간격을 두고 구비되며 상기 이젝터가 접촉시 상기 제1,2 단자를 연결시키는 탄성 재질의 스위칭 부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이젝터 충돌 방지장치.
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제 1 항에 있어서, 상기 스위칭 부재는 굴곡된 형태로 형성된 판 스프링이며, 그 판 스프링의 일측이 상기 제1 단자에 고정 결합되고 그 타측이 제2 단자의 접지부분과 일정 간격을 두고 위치하며, 그 판 스프링의 누름시 그 판 스프링의 타측이 제2 단자와 접지되는 것을 특징으로 하는 이젝터 충돌 방지장치.
제 1 항에 있어서, 상기 스위칭 부재는 상기 웨이퍼 테이블의 내부에 위치하여 웨이퍼를 팽창시키는 웨이퍼 팽창 링의 내주벽에 돌출되게 위치하는 것을 특징으로 하는 이젝터 충돌 방지장치.
칩들이 배열된 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 테이블과;

상기 웨이퍼 테이블을 움직이는 테이블 구동 어셈블리와;

상기 웨이퍼 테이블의 내부에 위치하여 웨이퍼의 칩을 픽업시 그 웨이퍼의 칩을 지지하는 이젝터와;

상기 웨이퍼 테이블의 내부에 일정 간격을 두고 장착되며 각각 마이콤에 전기적으로 연결되는 복수개의 제1,2 단자들과;

상기 이젝터의 돔 외주면과 일정 간격을 이루도록 그 이젝터 돔에 삽입되는 센서 몸체와;

상기 센서 몸체를 탄성 지지하는 탄성 지지부재와;

상기 센서 몸체의 내주벽에 일정 간격을 두고 장착되며 각각 마이콤에 전기적으로 연결되는 복수 개의 제1,2 단자들과;

상기 센서 몸체에 복수 개 구비되어 그 센서 몸체에 외력이 작용하여 이젝터에 접촉시 상기 제1,2 단자를 연결시키는 탄성 재질의 스위칭 부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이젝터 충돌 방지장치.
제 6 항에 있어서, 상기 스위칭 부재는 굴곡된 형태로 형성된 판 스프링이며, 그 판 스프링의 일측이 상기 제1 단자에 고정 결합되고 그 타측이 제2 단자의 접지부분과 일정 간격을 두고 위치하며, 그 판 스프링의 누름시 그 판 스프링의 타측이 제2 단자와 접지되는 것을 특징으로 하는 이젝터 충돌 방지장치.
제 7 항에 있어서, 상기 스위칭 부재는 4개와 그 제1,2 단자가 각각 4개인 것을 특징으로 하는 이젝터 충돌 방지장치.
웨이퍼 테이블의 내부에 위치하는 웨이퍼 팽창 링의 내부에 이젝터가 위치하고 그 웨이퍼 팽창 링의 내주벽에 탄성력을 갖는 복수개의 접촉 센서들이 배열되며 그 웨이퍼 테이블의 이동시 이젝터가 감지 센서에 접촉시 웨이퍼 테이블의 구동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 이젝터 충돌 방지장치.