KR100695789B1

KR100695789B1 - 디스크 장치의 헤드 서스펜션, 디스크 장치 및 헤드 ｉｃ의 검사 방법

Info

Publication number: KR100695789B1
Application number: KR1020000085660A
Authority: KR
Inventors: 고우오아끼오
Original assignee: 후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date: 2000-04-27
Filing date: 2000-12-29
Publication date: 2007-03-15
Also published as: US20040047276A1; US20010036040A1; US6690546B2; KR20010098383A; US7051423B2; JP2001312809A

Abstract

헤드 IC를 탑재한 헤드 서스펜션에 있어서, 헤드 IC의 검사를 용이하게 하여 코스트 다운을 실현한다.

헤드 서스펜션(9)에 헤드(4)와 전기적으로 접속하기 위한 제1 접속 단자(21)와, 외부 회로와 접속하기 위한 제2 접속 단자(22)와, 헤드의 전기 신호를 처리하기 위한 헤드 IC(20)와 전기적으로 접속하기 위한 제3 및 제4 접속 단자(23, 24)와, 제1 접속 단자 (21)와 제3 접속 단자(23)를 접속하는 제1 도전 회로(28)와, 제2 접속 단자(22)와 제4 접속 단자(24)를 접속하는 제2 도전 회로(26)와, 제2 접속 단자(22)와 제4 접속 단자(24) 사이에, 헤드 IC(20)의 측정을 위한 측정용 단자(25)를 설치한다. 헤드 IC를 부착하고, 헤드를 부착하지 않는 상태에서의 헤드 IC의 검사를 위한 프로브의 접촉이 용이하게 된다.

도전 회로, 접속 단자, 헤드 서스펜션

Description

디스크 장치의 헤드 서스펜션, 디스크 장치 및 헤드 ＩＣ의 검사 방법{HEAD SUSPENSION FOR A DISK DEVICE, DISK DEVICE AND HEAD IC TESTING METHOD}

도1은 본 발명의 일실시예의 디스크 장치의 상면도.

도2는 도1의 디스크 장치의 단면도.

도3은 도2의 디스크 장치의 주요부 확대도

도4는 도1의 디스크 장치의 블록도.

도5는 본 발명의 일실시예의 헤드 서스펜션의 사시도.

도6은 본 발명의 일실시예의 헤드 IC 검사 장치의 구성도.

도7은 본 발명의 일실시예의 헤드 IC 검사 방법의 설명도.

도8은 본 발명 이외의 실시예의 헤드 서스펜션의 사시도.

도9는 본 발명의 또 다른 실시예의 헤드 서스펜션의 사시도.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※

3 액츄에이터

4 자기 헤드

5 스핀들 모터

6 자기 디스크

9 헤드 서스펜션

20 헤드 IC 칩

21 헤드 접속용 제1 단자

22 외부 접속용 제2 단자

23, 24 헤드 IC접속용 단자

25 측정용 단자

26, 28 도전로

27 베이스

본 발명은 디스크 장치의 헤드를 지지하는 헤드 서스펜션, 이것을 사용한 디스크 장치 및 헤드 IC의 검사 방법에 관한 것이다.

헤드에 의해서 디스크 기억 매체를 판독하는 디스크 장치는 널리 이용되고 있다. 예를 들면 컴퓨터의 기억 장치로서 이용되고 있는 자기 디스크 드라이브는, 자기 디스크와, 자기 디스크를 회전하는 스핀들 모터와, 자기 디스크를 리드/라이트하는 자기 헤드와, 자기 디스크의 트랙에 자기 헤드를 위치시키는 VCM 액츄에이터를 구비하고 있다.

이 디스크 드라이브의 기록 밀도가 비약적으로 증대되어 있고, 자기 디스크의 트랙 밀도가 증가되고 있다. 특히 자기 헤드에 MR (GMR, TMR)헤드를 사용함으로써, 고정밀화가 가능하도록 되어 있다. 이 때문에 헤드의 신호 처리에도 고정밀한 것이 요구된다.

자기 디스크 장치에 있어서 자기 헤드는, 서스펜션에 지지되고 있다. 서스펜션은 VCM 액츄에이터의 캐리지 암으로 장착되어 있다. 서스펜션은 스프링성을 갖고, 자기 헤드가 자기 디스크 면에 추종하도록 기능한다. 이 자기 헤드는 아날로그 신호의 입출력을 행하기 때문에, 아날로그 신호의 처리를 위해서 헤드 IC가 설치되어 있다. 헤드 IC는 자기 헤드의 리드 신호를 증폭하는 프리 앰프와, 자기 헤드에 라이트 전류를 공급하는 라이트 앰프 등을 가지고 있다.

일반적으로 이 헤드 IC는 서스펜션의 후방에 위치하는 캐리지 암에 부착되어 있었다. 따라서 헤드 IC와 자기 헤드는 서스펜션 상의 리드선에 의해서 접속되어 있었다. 그러나 최근의 MR헤드와 같이 자기 헤드의 출력이 미약한 경우에는, 이러한 길이의 리드선에 혼입되는 노이즈의 영향을 무시할 수 없게 되어 왔다.

또 리드선의 길이가 길면, 리드선이 갖는 임피던스에 의해서 펄스 신호(라이트 펄스)의 상승, 하강 시간이 길어지기 때문에, 데이터의 고속 전송이 곤란하게 되는 등의 문제가 생기고 있었다. 이 때문에 헤드 IC 칩을 서스펜션 상에 설치하고, 자기 헤드와 헤드 IC와의 거리를 짧게 하는 것이 제안되고 있다.

이와 같이 구성하는 경우에는 서스펜션마다 검사를 행할 필요가 있다. 종래 헤드 IC와 자기 헤드를 설치한 슬라이더를 서스펜션에 부착하고, HGA(헤드 짐벌 어셈블리;head gimbal assembly)를 구성한 후, 이 HGA를 디스크 매체 상에 부상시키고, 헤드에 의해서 전자적으로 리드/라이트함으로써 헤드 IC의 동작의 확인 및 접속 상태의 검사를 하고 있었다.

그러나 종래 방법에서는, HGA단위의 헤드와 헤드 IC와의 조(組)로 검사하기 때문에, 어느 한쪽이 불량으로 판정되어도, 그 HGA는 불량품으로 된다. 그 때문에 수율이 저하되어 코스트 다운이 어렵다는 문제가 생기고 있었다,

본 발명의 목적은 서스펜션에 탑재된 헤드 IC를 검사하기 위한 헤드 서스펜션, 디스크 장치 및 헤드 IC의 검사 방법을 제공하는 데에 있다.

본 발명의 다른 목적은 서스펜션에 탑재된 헤드 IC를 용이하게 검사하기 위한 헤드 서스펜션, 디스크 장치 및 헤드 IC의 검사 방법을 제공하는 데에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 헤드 어셈블리의 수율을 향상시키는 헤드 IC를 검사하기 위한 헤드 서스펜션, 디스크 장치 및 헤드 IC의 검사 방법을 제공하는 데에 있다.

본 목적의 달성을 위해서 본 발명의 헤드 서스펜션은, 상기 헤드와 전기적으로 접속하기 위한 제1 접속 단자와, 외부 회로와 접속하기 위한 제2 접속 단자와, 상기 헤드의 전기 신호를 처리하기 위한 헤드 IC와 전기적으로 접속하기 위한 제3 및 제4 접속 단자와, 상기 제1 접속 단자와 상기 제3 접속 단자를 접속하는 제1 도전 회로와, 상기 제2 접속 단자와 상기 제4 접속 단자를 접속하는 제2 도전 회로와, 상기 제2 도전 회로의 상기 제2 접속 단자와 상기 제4 접속 단자 사이에 설치되고, 상기 헤드 IC의 측정을 위한 측정용 단자를 갖는다.

또 본 발명의 디스크 장치는 디스크 매체를 적어도 판독하기 위한 헤드와, 상기 헤드의 전기 신호의 처리를 행하는 헤드 IC와, 상기 헤드를 지지하고, 상기 헤드 IC를 탑재하는 헤드 서스펜션과, 상기 헤드 서스펜션을 지지하고, 상기 헤드를 상기 디스크 매체에 대하여 이동하기 위한 액츄에이터를 갖고, 상기 헤드 서스펜션은 상기 헤드와 전기적으로 접속하기 위한 제1 접속 단자와, 외부 회로와 접속하기 위한 제2 접속 단자와, 상기 헤드 IC와 전기적으로 접속하기 위한 제3 및 제4 접속 단자와, 상기 제1 접속 단자와, 상기 제3 접속 단자를 접속하는 제1 도전 회로와, 상기 제2 접속 단자와 상기 제4 접속 단자를 접속하는 제2 도전 회로와, 상기 제2 도전 회로의 상기 제2 접속 단자와 상기 제4 접속 단자 사이에 설치되고, 상기 헤드 IC의 측정을 위한 측정용 단자를 갖는다.

또 본 발명의 헤드 IC의 검사 방법은 디스크 매체를 적어도 판독하기 위한 헤드를 지지하는 헤드 서스펜션에, 상기 헤드의 전기 신호의 처리를 행하는 헤드 IC를 탑재하는 스텝과, 상기 헤드 서스펜션의 단자에 프로브를 대고, 상기 헤드 IC의 전기적 특성을 검사하는 스텝을 갖는다.

본 발명은 첫째, 헤드 서스펜션에 헤드 IC를 탑재하여, 헤드를 탑재하기 전에 헤드 IC의 검사를 하도록 하였다. 이에 의해서 헤드 IC 자체의 동작 확인, 접속 확인이 가능하게 되고, 헤드를 탑재하기 전에 헤드 어셈블리의 우량품, 불량품의 구분이 가능하게 된다. 이 때문에 수율이 향상되고, 헤드 어셈블리의 코스트 다운이 가능하게 된다.

둘째로, 서스펜션에 탑재된 헤드 IC를 검사하기 위해서는, 측정 프로브를 단자에 댈 필요가 있다. 원리적으로는 헤드 IC가 탑재되는 제3, 제4 단자 이외의 제1 단자와 제2 단자에, 프로브를 댐으로써, 헤드 IC의 검사가 가능하다. 그러나 외부 접속용의 제2 단자는, 외부 접속이 용이하게 되는 위치에 설치되어 있고, 프로브를 대는 것이 용이하지 않다. 이 때문에 본 발명에서는 제2 접속 단자와 제4 접속 단자 사이에 측정용 단자를 설치하고, 프로브 접촉을 용이하게 하고, 고속으로 헤드 IC의 검사를 행하는 것을 가능하게 한다.

또 본 발명의 헤드 서스펜션은, 상기 측정용 단자와 상기 제1 접속 단자는 상기 서스펜션의 동일 평면에 설치함으로써, 한 쌍의 프로브 접촉을 더 용이하게 하고, 더 고속으로 헤드 IC의 검사를 할 수 있게 한다.

또 본 발명의 헤드 서스펜션은 상기 제1 , 제2 , 제3, 제4 접속 단자와, 상기 제1 , 제2 도전 회로와, 상기 측정용 단자가 상기 서스펜션의 베이스에 박막 패턴으로 형성시킴으로써 측정용 단자를 다른 단자, 도전 회로와 동일공정으로 형성이 가능하게 되어 제조도 용이하다.

또 본 발명의 헤드 서스펜션은 상기 헤드 서스펜션의 베이스와, 상기 제1 , 제2 , 제3, 제4 접속 단자와, 상기 제1 , 제2 도전 회로와, 상기 측정용 단자와 설치된 플렉시블 케이블을 가짐으로써 베이스와 케이블을 분리한 것도 실현할 수 있다.

(실시예)

이하 본 발명을 디스크 장치, 헤드 서스펜션 및 검사 방법, 기타의 실시예로 나누어 설명하겠다.

[디스크 장치]

도1은 본 발명의 일실시예의 디스크 장치의 상면도, 도2는, 그 디스크 장치의 단면도, 도3은 도2의 부분 확대도이다. 이 예에서는 디스크 장치로서 하드디스크 장치를 예로 하고 있다.

도1 및 도2에 나타낸 것과 같이, 자기 디스크(6)는 기판(원판)에 자기 기록층을 설치하여 구성된다. 자기 디스크(6)는 3.5인치의 크기이고, 드라이브 내에 3매 설치되어 있다. 스핀들 모터(5)는 자기 디스크(6)를 지지하고, 또한 회전한다. 자기 헤드(슬라이더)(4)는 액츄에이터에 설치되어 있다. 액츄에이터는 회전식 VCM(보이스코일 모터)(3)와, 캐리지 암(8)과, 서스펜션(9)을 갖는다. 서스펜션(9)의 선단에 자기 헤드(4)가 장착되어 있다.

자기 헤드(4)는 자기 디스크(6)의 데이터를 판독하고 데이터를 기입한다. 자기 헤드(4)는 MR소자(재생 소자)와 라이트 소자가 형성된 슬라이더를 갖는다. 액츄에이터(3)는 자기 헤드(4)를 자기 디스크(6)의 소망하는 트랙에 위치시킨다. 액츄에이터(3) 및 스핀들 모터(5)는 드라이브 베이스(2)에 설치된다. 커버(1)는 드라이브 베이스(2)를 덮고, 드라이브 내부를 외부로부터 격리한다. 프린트 판(7)은 드라이브 베이스(2)의 아래에 설치되고, 드라이브의 제어 회로를 탑재한다. 커넥터(10)는 드라이브 베이스(2)의 아래에 설치되고, 제어 회로와 외부를 접속한다.

도3의 확대도에 나타낸 것과 같이 서스펜션(9)의 한 면에, 자기 헤드(4)와 헤드 IC칩(20)이 탑재되어 있다. 서스펜션(9)의 후단은 핀(50)에 의해서 캐리지 암(8)에 부착되어 있다. 서스펜션(9)의 외부 접속용 단자(22) (도5에서 후술하는)는 캐리지 암(8)의 측면에 가이드된다. 이 때문에 캐리지 암(8)에 서스펜션(9)이 고정된다.

또 외부 접속 단자(22)는 외부 회로와의 접속을 위해서, 도시하지 않은 플렉시블 케이블에 접속된다. 이 플렉시블 케이블은 캐리지 암(8)의 측면에 설치된다. 따라서 외부 접속 단자(22)를 암(8)의 측면에 설치했기 때문에, 플렉시블 케이블을 구부리지 않고 접속할 수 있다.

도4는 프린트 판(7) 및 드라이브 내에 설치된 제어 회로의 블록도이다. HDC(하드디스크 콘트롤러) (18)는 호스트CPU의 각종 명령의 수수, 데이터의 수수 등의 호스트CPU와의 인터페이스 제어 및 자기 디스크 매체 상의 기록 재생 포맷을 제어하기 위한 자기 디스크 장치 내부의 제어 신호의 발생 등을 행한다. 버퍼(17)는 호스트CPU로부터의 라이트 데이터의 일시적인 기억 및 자기 디스크 매체로부터의 리드 데이터의 일시적인 기억에 사용된다.

MCU(마이크로 콘트롤러)(19)는 마이크로 프로세서(MPU ), 메모리, DA컨버터, AD컨버터 등으로 구성되어 있다. MCU(이하 MPU라고 한다)(19)는 자기 헤드의 위치 맞춤을 위한 서보 제어(위치 맞춤 제어) 등을 행한다. MPU(19)는 메모리에 기억된 프로그램을 실행하고, 서보 복조 회로(16)로부터의 위치 신호를 인식하고, 위치 맞춤을 위한 액츄에이터(3)의 VCM제어 전류의 제어값을 계산한다. 또 MPU(19)는 SPM구동 회로(14)의 구동 전류의 제어를 한다.

VCM구동 회로(13)는 VCM(보이스 코일 모터)(3)로 구동 전류를 흘리기 위한 파워 앰프로 구성된다. SPM구동 회로(14)는 자기 디스크를 회전하는 스핀들 모터(SPM)(5)에 구동 전류를 흘리기 위한 파워 앰프로 구성된다.

리드 채널(15)은 기록 재생을 행하기 위한 회로이다. 리드 채널(15)은 호스트CPU로부터의 라이트 데이터를 자기 디스크 매체(6)에 기록하기 위한 변조 회로, 패럴렐 시리얼 변환 회로, 자기 디스크 매체(6)에서 데이터를 재생하기 위한 복조 회로, 시리얼 패럴렐 변환 회로 등을 갖는다. 서보 복조 회로(16)는 자기 디스크 매체(6)에 기록된 서보 패턴을 복조하는 회로이며, MPU(19)에 위치 신호를 출력한다.

또 드라이브 HDA 내에는 자기 헤드(4)에 기록 전류를 공급하는 라이트 앰프와, 자기 헤드(4)로부터의 재생 전압을 증폭하는 프리 앰프를 내장한 헤드 IC(20) (도3 참조)가 설치되어 있다.

여기에서는 디스크 장치로서 자기 디스크 장치를 예로 설명하고 있으나, DVD, MO 등의 광디스크 장치 등을 사용하여도 좋고, 리드/라이트 가능한 장치로 나타내고 있으나, 리드온리(read only)의 장치(재생 장치)를 사용하여도 좋다.

[헤드 서스펜션 및 검사 방법]

도5는 본 발명의 일실시예의 헤드 서스펜션의 사시도이고, 자기 헤드 서스펜션(9)을 나타내고 있다.

(27)은 서스펜션의 베이스이고, 스테인레스 등으로 형성되어 있다. 베이스(27) 상에는 절연층을 거쳐서 박막 패턴이 설치되어 있다. 이 박막 패턴은 자기 헤드(4)와 전기적으로 접속하기 위한 제1 접속 단자(21)와, 외부 회로와 접속하기 위한 제2 접속 단자 (22)와, 자기 헤드의 전기 신호를 처리하기 위한 헤드 IC(20)와 전기적으로 접속하기 위한 제3 및 제4 접속 단자(23, 24)와, 제1 접속 단 자(21)와 제3 접속 단자(23)를 접속하는 제1 도전 회로(28)와, 제2 접속 단자(22)와 제4 접속 단자(24)를 접속하는 제2 도전 회로(26)와, 제2 도전 회로(26)의 제2 접속 단자(22)와 제4 접속 단자(24) 사이에 설치되고, 헤드 IC(20)의 측정을 위한 측정용 단자(25)를 갖는다.

이 단자(21, 22, 23, 24, 25) 이외의 부분은 보호층으로 덮여진다. 또 서스펜션(9)에는 도3의 핀(50)이 삽입되는 구멍(29)이 설치되어 있다.

도6은 본 발명의 일실시예의 검사 장치의 구성도, 도7은 그 검사 방법의 설명도이다.

도6에 나타낸 것과 같이 검사 장치는, 서스펜션(9)을 받는 받침대(30)와, 한쌍의 프로브(32)를 갖는 측정 헤드(31)와, 도시하지 않은 전류파형 측정 장치에 접속하기 위한 커넥터(33)를 갖는다.

검사 방법을 설명하겠다. 먼저 도5의 서스펜션(9)에, 헤드 IC칩(20)을 탑재한다. 예를 들면 칩 마운터에 의해서, 서스펜션(9)의 제3, 제4 접속 단자(23, 24)에, 헤드 IC칩(20)을 탑재하고, 또한 접속한다. 이와 같이 헤드 IC칩(20)을 탑재한 서스펜션(9)을 도6의 받침대(9)에 도7와 같이 복수 배열한다.

도7과 같이 측정 헤드(31)를 강하하고, 한쌍의 프로브(32)를 서스펜션(9)의 헤드 접속용 제1 단자(21)와 IC 검사용 단자(25)에 접촉하고, 도시하지 않은 전류파형 측정 장치에 프로브(32)로부터의 측정 전류를 출력한다.

헤드 IC칩은 적어도 리드 앰프와, 라이트 앰프를 갖는다. 대표적인 예로서, TI사의 TLS26A803, TLS26A801(상품명)이 있다. 이러한 헤드 IC칩의 앰프의 동작 상 태나, 다이오드특성(VI특성), 접속 상태를 검사할 수 있다.

이와 같이 헤드 서스펜션에 헤드 IC를 탑재하고, 헤드를 탑재하기 전에, 헤드 IC의 검사를 행하도록 했기 때문에, 헤드 IC자체의 동작 확인, 접속 확인이 가능하게 되고, 헤드를 탑재하기 전에 헤드 어셈블리의 우량품, 불량품의 구분이 가능하게 된다. 이 때문에 수율이 향상되어 헤드 어셈블리의 코스트 다운이 가능하게 된다.

또 서스펜션에 탑재된 헤드 IC를 검사하기 위해서는, 측정 프로브를 단자에 댈 필요가 있다. 헤드 IC의 탑재되는 제3, 제4 단자 이외의 제1 단자(21)와 제2 단자(25)에 프로브를 댐으로써, 헤드 IC의 검사가 가능하다. 그러나 외부 접속용의 제2 단자(25)는 외부 접속이 용이하게 되는 위치(도5에서는 서스펜션(9)의 옆)에 설치되어 있어 프로브를 대는 것이 용이하지 않다. 이 때문에 본 발명에서는 제2 접속 단자(22)와 제4 접속 단자(24) 사이에 측정용 단자(25)를 설치하여, 프로브(32)의 접촉을 용이하게 하고, 고속으로 헤드 IC의 검사를 행하는 것을 가능하게 한다.

또 본 발명의 헤드 서스펜션은 측정용 단자(25)와 제1 접속 단자(21)는 서스펜션(9)의 동일 평면에 설치되어 있다. 이에 의해서 한쌍의 프로브(32)의 접촉을 더욱 용이하게 하고, 더욱 고속으로 헤드 IC의 검사를 행하는 것을 가능하게 한다.

또 도5의 헤드 서스펜션(9)은, 제1 , 제2 , 제3, 제4 접속 단자(21, 23, 24, 22)와, 제1 , 제2 도전 회로(26, 28)와, 측정용 단자(25)가 서스펜션의 베이스(27)에 박막 패턴으로 형성되어 있다. 이 때문에 측정용 단자(25)를 다른 단자, 도전 회로와 동일공정으로 형성이 가능하게 되어 제조도 용이하다.

[다른 실시의 형태]

도8은 본 발명의 다른 실시예의 헤드 서스펜션의 사시도이고, 도5에 나타낸 것과 동일한 것은, 동일한 기호로 나타내고 있다.

도8에 나타낸 것과 같이 헤드 서스펜션(9)은 헤드 서스펜션의 베이스(27)와, 제1 , 제2 , 제3, 제4 접속 단자(22, 23, 24, 25 )와, 제1 , 제2 도전 회로(26, 28)와, 측정용 단자(25)와 설치된 플렉시블 케이블(40)로 구성되어 있다.

베이스(27)에는 로드 빔(41)과, 짐벌(gimbal)(42)이 형성되어 있다. 이 예에서는 베이스(27)와 케이블(40)을 분리한 서스펜션(9)에의 적용을 나타내고 있다.

도9는 본 발명의 또 다른 실시예의 헤드 서스펜션의 사시도이고, 도5 및 도8에 나타낸 것과 동일한 것은 동일한 기호로 나타내고 있다.

도9에 나타낸 것과 같이 헤드 서스펜션(9)은 헤드 서스펜션의 베이스(27)와, 제1 , 제2 , 제3, 제4 접속 단자(22, 23, 24, 25)와, 제1 , 제2 도전 회로(26, 28)와, 측정용 단자(25)와 설치된 플렉시블 케이블(40)로 구성되어 있다.

베이스(27)에는 로드 빔(41)이 형성되고, 또 짐벌(42)을 갖는 플렉서(flexure)(43)가 부착된다. 이 예도 베이스(27)와 케이블(40)을 분리한 서스펜션(9)에의 적용을 나타내고 있다.

상술의 실시예 이외에 본 발명은, 다음과 같은 변형이 가능하다.

(1) 서스펜션의 한 면에 헤드 IC를 탑재한 예에서 설명했으나, 양면에 탑재할 수도 있다.

(2) 자기 헤드 이외에 광헤드, 광자기 헤드를 탑재하는 서스펜션에 적용할 수 있다.

이상 본 발명을 실시예에 의해서 설명했으나, 본 발명의 주지(主旨)의 범위 내에서 여러 가지의 변형이 가능하며, 이들을 본 발명의 범위에서 배제하는 것은 아니다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 다음 효과를 얻을 수 있다.

첫째로, 헤드 서스펜션에 헤드 IC를 탑재하고, 헤드를 탑재하기 전에 헤드 IC의 검사를 행하도록 하였다. 이에 의해서 헤드 IC 자체의 동작 확인, 접속 확인이 가능하게 되고, 헤드를 탑재하기 전에 헤드 어셈블리의 우량품, 불량품의 구분이 가능하게 된다. 이 때문에 수율이 향상되어 헤드 어셈블리의 코스트 다운이 가능하게 된다.

둘째로, 서스펜션에 탑재된 헤드 IC를 검사하기 위해서, 제2 접속 단자와 제4 접속 단자 사이에 측정용 단자를 설치했으므로, 프로브의 접촉을 용이하게 하고, 고속으로 헤드 IC의 검사를 행하는 것이 가능하게 한다.

Claims

디스크 매체를 적어도 판독하기 위한 헤드를 지지하는 디스크 장치의 헤드 서스펜션에 있어서,

상기 헤드와 전기적으로 접속하기 위한 제1 접속 단자와,

외부 회로와 접속하기 위한 제2 접속 단자와,

상기 헤드로부터의 전기 신호를 처리하기 위한 헤드 IC와 전기적으로 접속하는 제3 및 제4 접속 단자와,

상기 제1 접속 단자와 상기 제3 접속 단자를 접속하는 제1 도전 회로와,

상기 제2 접속 단자와 상기 제4 접속 단자를 접속하는 제2 도전 회로와,

상기 제2 도전 회로의 상기 제2 접속 단자와 상기 제4 접속 단자 사이에 설치되고, 상기 헤드 IC의 측정을 위한 측정용 단자를 포함하고,

상기 측정용 단자 및 상기 제1 접속 단자는 상기 헤드 서스펜션의 제1 평면에 설치되고,

상기 제2 접속 단자는 상기 제1 평면에 실질적으로 수직인 상기 헤드 서스펜션의 제2 평면에 설치되는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션.
삭제
제1 항에 있어서,

상기 제1 , 제2 , 제3, 제4 접속 단자와, 상기 제1 , 제2 도전 회로와, 상기 측정용 단자가 상기 서스펜션의 베이스에 박막 패턴으로 형성된 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션.
제1 항에 있어서,

상기 헤드 서스펜션의 베이스와, 상기 제1 , 제2 , 제3, 제4 접속 단자와, 상기 제1 , 제2 도전 회로와, 상기 측정용 단자와 설치된 플렉시블 케이블을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션.
디스크 매체를 적어도 판독하기 위한 헤드와,

상기 헤드로부터의 전기 신호를 처리하는 헤드 IC와,

상기 헤드를 지지하고, 상기 헤드 IC를 탑재하는 헤드 서스펜션과,

상기 헤드 서스펜션을 지지하고, 상기 헤드를 상기 디스크 매체에 대하여 이동하기 위한 액츄에이터를 갖고,

상기 헤드 서스펜션은,

상기 헤드와 전기적으로 접속하기 위한 제1 접속 단자와,

외부 회로와 접속하기 위한 제2 접속 단자와,

상기 헤드 IC와 전기적으로 접속하기 위한 제3 및 제4 접속 단자와,

상기 제1 접속 단자와 상기 제3 접속 단자를 접속하는 제1 도전 회로와,

상기 제2 접속 단자와 상기 제4 접속 단자를 접속하는 제2 도전 회로와,

상기 제2 도전 회로의 상기 제2 접속 단자와 상기 제4 접속 단자 사이에 설치되고, 상기 헤드 IC의 측정을 위한 측정용 단자를 포함하고,

상기 측정용 단자 및 상기 제1 접속 단자는 상기 헤드 서스펜션의 제1 평면에 설치되고, 상기 제2 접속 단자는 상기 제1 평면에 실질적으로 수직인 상기 헤드 서스펜션의 제2 평면에 설치되는 것을 특징으로 하는 디스크 장치.
디스크 매체를 적어도 판독하기 위한 헤드로부터의 전기 신호를 처리하는 헤드 IC를 상기 헤드를 지지하는 헤드 서스펜션에 탑재하는 스텝과,

상기 헤드 서스펜션의 단자에 프로브를 배치하여, 상기 헤드 IC의 전기적 특성을 검사하는 스텝을 포함하고,

상기 헤드 서스펜션은,

상기 프로브 중 하나가 배치되며, 상기 헤드와 전기적으로 접속하기 위한 제1 접속 단자와,

외부 회로와 접속하기 위한 제2 접속 단자와,

상기 헤드 IC와 전기적으로 접속하기 위한 제3 및 제4 접속 단자와,

상기 제1 및 제3 접속 단자를 접속하기 위한 제1 도전 회로와,

상기 제2 및 제4 접속 단자를 접속하기 위한 제2 도전 회로와,

상기 프로브 중 하나가 배치되며, 상기 제2 도전 회로의 상기 제2 접속 단자 및 상기 제4 접속 단자 사이에 설치되는 측정용 단자를 포함하고,

상기 측정용 단자 및 상기 제1 접속 단자는 상기 헤드 서스펜션의 제1 평면에 설치되고,

상기 제2 접속 단자는 상기 제1 평면에 실질적으로 수직인 상기 헤드 서스펜션의 제2 평면에 설치되는 것을 특징으로 하는 헤드 IC의 검사 방법.