KR100693357B1 - Positive photosensitive composition - Google Patents

Positive photosensitive composition Download PDF

Info

Publication number
KR100693357B1
KR100693357B1 KR1020057006749A KR20057006749A KR100693357B1 KR 100693357 B1 KR100693357 B1 KR 100693357B1 KR 1020057006749 A KR1020057006749 A KR 1020057006749A KR 20057006749 A KR20057006749 A KR 20057006749A KR 100693357 B1 KR100693357 B1 KR 100693357B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
resin
photosensitive composition
positive photosensitive
copolymer
film
Prior art date
Application number
KR1020057006749A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20060038903A (en
Inventor
츠토무 사토
Original Assignee
가부시키가이샤 씽크. 라보라토리
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 씽크. 라보라토리 filed Critical 가부시키가이샤 씽크. 라보라토리
Priority to KR1020057006749A priority Critical patent/KR100693357B1/en
Publication of KR20060038903A publication Critical patent/KR20060038903A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100693357B1 publication Critical patent/KR100693357B1/en

Links

Images

Abstract

버닝불요하고 작업실 내의 습도가 25~60% 인 조건에서 도포해서 필요충분한 밀착성을 얻을 수 있고, 고감도가 유지되어 잔사가 생기지 않는 현상을 할 수 있고, 샤프한 윤곽으로 잘리고, 레지스트막이 대단히 단단해서 현상 전의 취급에 있어서 내상성이 향상하는 포지티브형 감광성 조성물을 제공한다. 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질(A), 화상 노광 광원인 적외선을 흡수해서 열로 변환하는 광열 변환 물질(B), (1)비닐피롤리돈/초산비닐 코폴리머 등으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 수지(C), 및 용해저지제(D)를 함유하도록 했다.It can be burned and applied under conditions of 25 ~ 60% of humidity in the workroom to obtain the necessary sufficient adhesiveness, high sensitivity is maintained so that no residue can be produced, sharp outlines are cut, and the resist film is very hard, Provided is a positive photosensitive composition having improved scratch resistance in handling. Alkali-soluble organic polymer material having a phenolic hydroxyl group (A), a photothermal conversion material (B) for absorbing infrared light which is an image exposure light source and converting it into heat, (1) vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, etc. At least 1 sort (s) of resin (C) and dissolution inhibitor (D) were included.

포지티브형 감광성 조성물, 버닝, 현상, 그라비아제판, 광열변환물질 Positive photosensitive composition, burning, developing, gravure plate making, photothermal conversion material

Description

포지티브형 감광성 조성물{Positive photosensitive composition}Positive photosensitive composition

본 발명은 파장 700~1,100nm의 레이저광에 노광 감응시켜서 감응부가 알칼리현상액에 가용으로 되는 적외파장 영역 레이저 감응성을 가지는 알칼리 가용성 포지티브형 감광성 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 포지티브형 감광성 조성물은 특히, 인쇄판, 전자부픔, 정밀기기부품 등의 포토패브리케이션 분야에 사용된다.The present invention relates to an alkali-soluble positive photosensitive composition having an infrared wavelength laser sensitivity in which the sensitive portion is exposed to a laser light having a wavelength of 700 to 1,100 nm so as to be soluble in an alkali developer. The positive photosensitive composition of the present invention is particularly used in the field of photofabrication of printing plates, electronic parts, precision instrument parts and the like.

화학변화 이외의 변화에 의하여 노광부의 현상액에 대한 용해도를 증대시키는 것에 의한 포지티브 화상을 형성하는 방법으로서, 포지티브형 감광성 조성물을 파장 700~1,100nm의 레이저광으로 인화하는 방법이 주목되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1~9 등 참조).As a method of forming a positive image by increasing the solubility of a developer in an exposed part by a change other than chemical change, a method of printing a positive photosensitive composition with a laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 nm has been noted. For example, refer patent documents 1-9.

상기 각 특허문헌에 기재된 평판 인쇄판의 도막(塗膜)을 형성하고 있는 포지티브형 감광성 조성물은 적외흡수 색소 등의 적외광을 흡수해서 열로 변환하는 물질과, 노볼락수지 등의 알칼리 가용성 수지를 주요한 성분으로 하고, 적외레이저광 노광으로 발생한 열에 의하여, 분자의 주쇄 또는 측쇄 부분이 절단되어서 알칼리 가용성이 한층 높아진 저분자로 되는 컨포메이션 변화를 일으키는 것과 동시에, 일 부는 어블레이션 수지의 컨포메이션 변화 등의 물리변화를 일으켜서 현상액에 대한 용해도를 증대시키는 것이다.The positive photosensitive composition which forms the coating film of the flat plate of each said patent document is a main component which absorbs infrared light, such as an infrared absorbing dye, and converts it into heat, and alkali-soluble resin, such as novolak resin. By the heat generated by the infrared laser light exposure, the main chain or side chain portion of the molecule is cleaved to cause a conformation change that results in a lower molecule with higher alkali solubility, and some of the physical changes such as the conformation change of the ablation resin. To increase the solubility in the developer.

한편, 그라비아인쇄롤의 제판 방법의 하나로서, 피(被)제판롤의 황산동도금면에 감광막을 도포 형성하여 레이저에 의하여 화상을 인화하고 나서 현상하고 식각하여 레지스트 박리해서 크롬도금하는, 소위 에칭법이 행해지고 있다. 종래의 에칭법에서는 피제판롤에 네가티브형 감광막을 도포하여 도포막을 실온에서 건조해서 네가티브형 감광막으로 하고, 아르곤 레이저로 인화를 하고 있다.On the other hand, as one of the methods for making a gravure printing roll, a so-called etching method in which a photosensitive film is coated on a copper sulfate plated surface of a plate making roll, the image is printed by a laser, then developed, etched, and the resist is peeled off and chromium plated. This is done. In the conventional etching method, a negative photosensitive film is applied to a toner plate roll, the coating film is dried at room temperature to form a negative photosensitive film, and is printed with an argon laser.

이것에 대하여, 포지티브형 감광막을 형성해서 파장 700~1,100nm의 레이저광으로 인화하는 것은 그라비아인쇄롤의 제판에서는 행해지고 있지 않았다. 파장 700~1,100nm의 레이저광을 고출력할 수 있는 반도체 레이저나 YAG레이저 등을 이용 하여 포지티브형 감광막을 사용하는 고해상도의 그라비아제판 시스템은 실용되어 있지 않고, 아르곤 레이저를 사용하는 경우에 비해서, 장치의 소형화, 제판작업시의 환경광(光) 등의 면에서 그 실현이 강하게 요구되고 있다.On the other hand, forming a positive photosensitive film | membrane and printing it with the laser beam of wavelength 700-1,100 nm was not performed in the engraving of a gravure printing roll. The high-resolution gravure plate making system using a positive photosensitive film using a semiconductor laser or a YAG laser capable of high output of laser light having a wavelength of 700 to 1,100 nm is not practical, and compared to the case of using an argon laser. The realization is strongly demanded in terms of miniaturization and environmental light during plate making.

아르곤 레이저광의 빔지름과 파장 700~1,100nm의 레이저광의 빔지름이 동일한 크기라면, 레이저의 해상도는 네가티브형보다도 포지티브형이 고해상도로 되고 또 처리시간을 대폭 단축할 수 있다. 또, 네가티브형 감광성 조성물의 감광막을 적외파장 영역의 레이저로 포지티브형 화상을 인화하는 편이, 네가티브형 감광성 조성물의 감광막을 아르곤 레이저로 네가티브 화상을 인화하는 것보다도 패턴의 섬세함이 양호하다. 이것은 포지티브형 감광성 조성물과 네가티브형 감광성 조성물과의 조성의 상위에 의한 패턴의 섬세함의 차이로 생각되어진다.If the beam diameter of the argon laser light and the beam diameter of the laser light having a wavelength of 700 to 1,100 nm are the same size, the resolution of the laser becomes higher in the positive type than the negative type, and the processing time can be greatly shortened. It is also preferable to print the positive type image by using the photosensitive film of the negative photosensitive composition with a laser of an infrared wavelength region, and the fineness of the pattern is better than printing the negative image by argon laser on the photosensitive film of the negative photosensitive composition. This is considered to be a difference in the fineness of the pattern due to the difference in composition between the positive photosensitive composition and the negative photosensitive composition.

캐나다의 크레오싸이택스사의 고출력 반도체 레이저 헤드는 적외파장 영역의 레이저를 방사하는 것이고, 오프세트 인쇄기에 탑재되어 포지티브형 감광성 조성물에로 조사(照射)가 행해져 양호한 현상을 행할 수 있어 세계적으로 실용되고 있다.Canada's high power semiconductor laser head from CreoTax Inc. emits an infrared wavelength laser and is mounted on an offset printing machine to irradiate the positive photosensitive composition to perform a good phenomenon and is used worldwide. .

그래서, 그라비아인쇄롤의 제판 방법의 하나로서의 에칭법에 관해서, 노볼락수지와 시아닌 색소를 배합한 포지티브형 감광성 조성물의 원액을 만들고, 이 원액을 용제로 엷게 한 포지티브형 감광제를 그라비아용 피제판롤의 황산동도금면에 도포 형성하고, 크레오싸이택스사의 고출력 반도체 헤드를 탑재한 노광장치(주식회사 씽크·라보라토리 제조)에 의하여 적외파장 영역의 레이저를 조사해서 포지티브 화상을 인화하고 나서 현상하는 테스트를 행한 결과, 감광막이 전면적으로 이탈하여 만족한 레지스트화상을 하나도 얻을 수 없었다.Then, about the etching method as one of the methods for making a gravure printing roll, the stock solution of the positive photosensitive composition which mix | blended the novolak resin and the cyanine pigment | dye was made, and the positive photosensitive agent which thinned this stock solution with the solvent was used for the gravure roll. The test was performed on the copper sulfate plated surface of the copper sulfate plate and irradiated with a laser in the infrared wavelength region by a exposure apparatus (manufactured by Think Laboratories, Inc.) equipped with CreoTax's high-power semiconductor head to print a positive image and then develop it. As a result, the photosensitive film was detached from the entire surface, and no satisfactory resist image could be obtained.

이에 대하여, 예를 들면, 200φmm의 피제판롤을 25r.p.m의 저속도로 회전시켜서 스파이럴스캔방식으로 네가티브형 감광막을 도포해서 액흐름이 일어나지 않게되는 시간(약 5분)을 경과해서, 또 도포 완료부터 15분 경과 후에 회전을 멈춘 시점에서 성막으로 해서, 레이저에 의한 화상을 인화하고 나서 현상하면, 문제없이 양호한 패턴이 잘라진다.On the other hand, for example, after rotating the 200 mm-thick platen roll at a low speed of 25 r.pm, the negative photosensitive film was applied in a spiral scan method, and a time (approximately 5 minutes) that no liquid flow occurred was completed. After 15 minutes have elapsed, the film is formed at the point where rotation is stopped, and developed after printing the image by a laser.

그래서, 막면을 고온으로 가열조작하는 버닝을 하여 밀착력을 부여하는 것이 필요하다고 생각되었다. 버닝을 할 필요가 있다는 것은, 포지티브형 감광성 조성물의 동도금면 또는 동합금도금면에 대한 밀착성이 부족한 것에 기인해서 조막되지 않은 상태가 생기는 것으로 생각되고, 조막 후에 버닝을 하면, 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질의 수소결합을 강하게 해서 밀착성을 높일 수 있다고 생각되어졌기 때문이다.Therefore, it was thought that it is necessary to burn by heating a membrane surface at high temperature, and to provide adhesive force. The need for burning is considered to be due to the lack of adhesion to the copper-plated surface or copper alloy-plated surface of the positive photosensitive composition, resulting in a non-coated state. When burning after film formation, alkali solubility having a phenolic hydroxyl group is obtained. It is because it was thought that adhesiveness can be improved by strengthening the hydrogen bond of an organic high molecular material.

또, 오프세트 인쇄판에서는 버닝을 하지 않아도 양호한 감광막이 형성되는데, 그라비아판용 피제판롤에의 감광막 형성에 버닝을 행할 필요가 있는 것은, 오프세트 인쇄판에서는 감광막을 형성하는 기재가 얇은 알루미늄판이고 밀착성이 양호한 것에 대해서, 그라비아판용 피제판롤에서는 황산동도금면이고 황산동도금면에 대한 밀착성이 극히 나쁜 상대성에 기인하고 있는 것으로 생각되었다.In the offset printing plate, a good photosensitive film is formed without burning, but it is necessary to burn the photosensitive film to the gravure plate roll, and in the offset printing plate, the substrate forming the photosensitive film is a thin aluminum plate and the adhesiveness is high. On the contrary, it was considered that the object of the gravure plate was made from copper sulfate plated surface, and the adhesion to copper sulfate plated surface was extremely poor.

그런데, 상기 작성한 노볼락수지와 시아닌 색소를 배합한 포지티브형 감광성 조성물을 피제판롤에 도포하고 막면 온도가 60℃로 되도록 30분간 버닝을 하고 나서 레이저 노광해서 현상한 결과 현상이 불량으로 되었다. 여러 번의 테스트를 반복한 결과, 성막한 때의 MEK, IPA, PM 등의 합계의 용제 잔류 농도가 대략 6% 이상인 것과 레이저로 화상을 인화할 수 없다는 것이 판명되었다.By the way, the positive photosensitive composition which mix | blended the above-mentioned novolak resin and cyanine pigment | dye was apply | coated to a toner plate roll, and it burned for 30 minutes so that temperature might become 60 degreeC, and developed by laser exposure, and the image development became poor. As a result of repeating several tests, it was found that the solvent residual concentration of the sum total of MEK, IPA, PM and the like at the time of film formation was approximately 6% or more, and that the image could not be printed by laser.

그래서, 막면 온도가 130℃로 되도록 30분간 버닝을 한 결과, 용제 농도가 2%로 되었지만, 비화선부도 포함해서 전면적으로 이탈하는 현상불량이 일어났다. 버닝을 해도 또 현상불량이 일어나는 원인으로서는 포지티브형 감광성 조성물의 황산동도금면에 대한 밀착성이 너무 낮은 것을 생각할 수 있었다.Therefore, when the film was burned for 30 minutes so that the surface temperature was 130 ° C, the solvent concentration was 2%. However, a phenomenon in which the entire surface deviated from the non-fired part also occurred. Even if it burned, it was considered that the adhesiveness with respect to the copper sulfate plating surface of a positive photosensitive composition was too low as a cause of developing defect.

그래서, 포지티브형 감광성 조성물을 사용하는 경우에는, 용제 잔류 농도를 6% 이하로 하기 위하여, 바람직하게는 3% 이하로 하기 위하여, 또, 필요충분한 밀착력을 부여하기 위하여, 감광막의 도포 후에 버닝을 필요적으로 행하는 것으로 하고, 또한, 밀착제로서 실란커플링제를 넣어서 감광막의 밀착력의 증대를 도모한 결과, 노광·현상이 약간 양호하게 행해지게 되었다. 구체적으로는, 예를 들면 200φ mm의 피제판롤을 25r.p.m의 저속도로 회전시켜서 포지티브형 감광제를 도포하고, 액흐름이 생기지 않도록 회전을 속행해서 자연건조 조건하에서 5분 경과시켜서 액흐름이 생기지 않게 된 상태에서 용제가 기화한 건조정도의 감광막을 세트하고, 그 후에, 130℃에서 30분간 버닝을 한 때의 용제 잔류 농도는 2% 미만이고, 레이저에 의한 화상을 인화할 수 있어 현상할 수 있었다.Therefore, when using a positive photosensitive composition, in order to make solvent residual concentration into 6% or less, preferably to 3% or less, and to give a sufficient adhesive force, it is necessary to burn after application of the photosensitive film. When the silane coupling agent was added as the adhesive agent to increase the adhesion of the photosensitive film, exposure and development were performed slightly satisfactorily. Specifically, a positive sensitizer is applied, for example, by rotating a 200 φ mm of the platen roll at a low speed of 25 r.pm, and continuing the rotation so as not to produce a liquid flow, and passing the liquid for 5 minutes under natural drying conditions. When the photosensitive film of the drying degree which the solvent vaporized in the state which disappeared was set, and burned at 130 degreeC for 30 minutes afterwards, the solvent residual density | concentration is less than 2%, the image by a laser can be printed and it can develop. there was.

그러나, 막에 대한 밀착성이 최량(最良)이라고는 말할 수 없고 노광·현상이 약간 양호한 영역으로부터 넘어 가지 않았다. 또, 막면 온도를 130℃로 하면, 버닝과 그 후의 냉각에 100분 이상의 시간이 필요하고, 다량의 열에너지를 필요로 하고, 러닝코스트가 높아져서 실용성이 부족한 것으로 판명되었다. 또, 막면 온도를 130℃로 하면, 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질의 수소결합이 강해져서 현상하기 어렵게 되는 것과 동시에, 시아닌 색소에 변성을 가져와서 감도가 저하한다.However, the adhesion to the film cannot be said to be the best, and the exposure and development did not fall from the slightly good region. Moreover, when the film surface temperature was 130 degreeC, it turned out that time required for 100 minutes or more for burning and subsequent cooling requires a large amount of thermal energy, and the running cost becomes high and it lacks utility. Moreover, when the film surface temperature is 130 degreeC, the hydrogen bond of the alkali-soluble organic high molecular substance which has a phenolic hydroxyl group will become strong, it will become difficult to develop, and will bring about denaturation to a cyanine pigment | dye, and sensitivity will fall.

그라비아용 피제판롤은 롤기재가 알루미늄인 것과 철제인 것이 있고, 또, 롤지름이 상위한 것과 동시에 롤지름이 상위하면 두께가 전혀 달라지기 때문에, 비열용량의 상위에 의하여 히터에서 동일한 시간만큼 가열해도 열이 롤기재에 전해져서막면 온도가 항상 130℃로 가열되는 것은 아니고 서로 다른 온도로 가열되는 불규칙한 분포가 생기기 때문에, 온도를 내려서 비열용량의 문제를 없애는 것이 중요하다고 생각했다.Gravure plate rolls are made of aluminum and iron, and the thickness of the gravure rolls is different when the roll diameters are different and the roll diameters are different. Even if heat is transferred to the roll base and the film surface temperature is not always heated to 130 ° C. but irregular distribution is generated at different temperatures, it was considered important to lower the temperature to eliminate the problem of specific heat capacity.

용제 농도를 6% 이하로 하기 위한 버닝은, 용제 분리가 양호한 조성을 선택하는 것에 의하여 막면온도를 130℃보다도 훨씬 낮은 온도로 해서 해도 달성할 수 있다고 생각했다. 가열시간을 단축해 가는 테스트를 하여, 막면 버닝온도를 80℃~100℃로 내려서 50분간 버닝한 결과, 용제 잔류 농도가 6% 이하로 된 것을 확인했지만, 현상불량이라는 결과가 되었다. 원인으로서, 상기 실란커플링제로서는 필요충분한 밀착력을 얻을 수 없다고 결론지었다.It was thought that burning for achieving a solvent concentration of 6% or less can be achieved even by making the film surface temperature much lower than 130 ° C by selecting a composition having good solvent separation. When the test was performed to shorten the heating time, and the film was burned for 50 minutes after the burning temperature was lowered to 80 ° C to 100 ° C, it was confirmed that the residual solvent concentration was 6% or less. As a cause, it was concluded that sufficient adhesive force could not be obtained with the silane coupling agent.

다음으로, 밀착제로서 실란커플링제를 대신해서 경화촉진제인 이미다졸을 넣어 보았지만, 실란커플링제의 경우와 특별히 달라진 것은 없고, 막면의 버닝 온도도 실란커플링제의 경우와 동일했다Next, although the imidazole which is a hardening accelerator was added instead of a silane coupling agent as an adhesive agent, it did not change in particular with the case of a silane coupling agent, The burning temperature of a film surface was also the same as that of a silane coupling agent.

이어서, 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질과, 화상 노광 광원인 적외선을 흡수해서 열로 변환하는 광열 변환 물질로 이루어진 포지티브형 감광성 조성물의 원액에 대해서 각종 밀착제를 바꾸어 첨가해서 실온 25℃에서 황산동도금롤에 감광막을 형성하여 현상하는 테스트를 한 결과, 티탄 유기 화합물을 첨가한 포지티브형 감광성 조성물의 감광막에 관해서는, 버닝 온도를 현저하게 저하시킬 수 있었다(특허문헌 10 참조).Subsequently, various kinds of adhesives were changed and added to the stock solution of the positive photosensitive composition which consists of an alkali-soluble organic high molecular material which has a phenolic hydroxyl group, and the photothermal conversion material which absorbs infrared rays which are image exposure light sources, and converts it into heat, and it is copper sulfate at room temperature 25 degreeC. The test which formed and developed the photosensitive film in the plating roll showed that the burning temperature was remarkably reduced about the photosensitive film of the positive photosensitive composition which added the titanium organic compound (refer patent document 10).

티탄 유기 화합물을 첨가한 포지티브형 감광성 조성물의 감광막의 경우는, 버닝 온도가 46℃에서도 양호하게 성막할 수 있고, 감도가 양호하게 되어 현상이 용이하게 되었다. 그러나, 버닝 처리를 하지 않은 테스트에서는 양호한 성막을 할 수 없고 현상불량으로 되었다.In the case of the photosensitive film of the positive photosensitive composition which added the titanium organic compound, even if burning temperature is 46 degreeC, it could form into a film favorably, and the sensitivity became favorable and image development became easy. However, in the test without the burning process, good film formation was not possible and the development was poor.

버닝 온도를 50℃ 부근으로 저하시키는 것이 가능해도, 버닝을 필요로 하는 것은, 버닝 후에 냉각을 할 필요가 있는 것, 버닝 및 그 후의 냉각에 시간과 에너지가 든다는 것, 장치라인이 버닝장치만큼 길어지고, 설비비와 러닝코스트가 높아 지게 되는 것이 불리한 문제로 되어 있다. 또, 버닝을 하는 것은, 현상시에 레지스트가 얇게 되어 핀홀이 생기는 원인의 하나로 되어 있다. 따라서, 버닝을 필요로 하지 않는 포지티브형 감광막의 개발이 강하게 요망되고 있다.Although it is possible to reduce the burning temperature to around 50 ° C, the need for burning means that cooling is required after burning, burning and subsequent cooling takes time and energy, and the device line is as long as the burning device. It is disadvantageous to lose weight, and to increase equipment cost and running cost. The burning is one of the causes of the thinning of the resist during development and the generation of pinholes. Therefore, development of a positive photosensitive film which does not require burning is strongly desired.

황산동도금판에 상기한 티탄 유기 화합물을 첨가한 포지티브형 감광제를 도포하고, 실온 25℃에서 송풍을 하지 않은 자연건조 조건에서 15분 경과시킨 때의 용제 잔류 농도는 11%, 25시간 경과시킨 때의 용제 잔류 농도는 9% 였다. 45r.p.m으로 회전하는 피제판롤에 포지티브형 감광제를 도포하고 10분간 경과 후에 측정한 결과로는 용제 잔류 농도는 7% 까지 밖에 내려가지 않는 것이 밝혀졌다. 이래서는, 포지티브형 감광제의 원액에 밀착성 조제를 함유시켜 성질 개량을 하고, 그 결과를 현상으로 확인하여도, 용제 잔류 농도를 6% 보다도 대폭 저감할 수 없기 때문에, 버닝을 필요로 하지 않는 포지티브형 감광막의 레이저에 의한 화상인화가 불능이었다.When the positive type photosensitive agent which added the above-mentioned titanium organic compound was apply | coated to the copper sulfate plating plate, and the solvent residual density | concentration when it passed for 15 minutes in the natural dry conditions which are not blown at room temperature 25 degreeC, when 11% and 25 hours passed, Solvent residual concentration was 9%. After the application of the positive photosensitive agent to the spinneret roll rotating at 45r.p.m and the elapse of 10 minutes, it was found that the residual solvent concentration was reduced to only 7%. In this way, even if the raw material of the positive photosensitive agent is included in the adhesive preparation to improve the properties, and even if the result is confirmed by the development, the solvent residual concentration cannot be significantly reduced by more than 6%, so that no positive type is required. Image printing by the laser of the photosensitive film was impossible.

그래서, 본 발명자는 버닝을 필요로 하지 않는 포지티브형 감광막의 실용화를 개발 테마로 하고, 버닝에 의존하지 않아서 밀착제의 첨가에 의한 포지티브형 감광막 자체의 밀착성을 향상할 수 있는 포지티브형 감광막의 개발과, 버닝에 의존하지 않아서 단시간 또 용이하게 용제 잔류 농도를 6% 보다도 대폭 저감할 수 있는 성막 건조 기술의 개발과를 개념적으로 구별해서, 2개의 과제를 동시에 해결하기 위하여 연구를 계속했다.Therefore, the present inventors have developed the theme of the practical use of the positive photoresist film which does not require burning, and the development of a positive photoresist film which can improve the adhesiveness of the positive photoresist film itself by addition of an adhesive without depending on the burning. In order to solve the two problems simultaneously, conceptually distinguishing the development of the film-forming drying technique which can reduce the solvent residual concentration by more than 6% in a short time and easily without resorting to burning.

도포막은 공기에 접촉되어서 표면부터 건조해 가기 때문에, 시간이 지나 표면이 건조하면 할수록 확산성이 저하하는 것으로 생각되어진다. 한편, 도포막이 액 흐름하지 않게 된 후는 막표면을 강제적으로 가압해서 잔류 용제를 공기 중으로 확산시키는 것이 잔류 용제를 효과적으로 저감할 수 있다고 생각되어진다. 그래서, 도포막이 액흐름하지 않게 된 후, 피제판롤을 고속 회전시켜 본 결과, 단시간에 용제 잔류 농도를 3% 이하까지 낮출 수 있다는 것을 알아냈다.Since the coating film dries from the surface in contact with air, it is considered that the diffusion becomes lower as the surface dries over time. On the other hand, after the coating film does not flow, it is considered that forcibly pressurizing the membrane surface to diffuse the residual solvent into the air can effectively reduce the residual solvent. Therefore, after the coating film was no longer flowed, the platen roll was rotated at a high speed. As a result, it was found that the solvent residual concentration could be lowered to 3% or less in a short time.

이 사실에 기초해서, 버닝을 하지 않아도 대단히 단시간에 용제 농도를 6% 이하로 저감할 수 있는 기술로서, 피제판롤을 스파이럴스캔 방식의 코팅 장치에 수평으로 양단 지지해서 필요한 저속도로 회전시키고, 상단으로 감광제가 용출하는 파이프를 피제판롤의 일단에 근소한 갭을 가지도록 위치시키고, 감광제를 코팅에 필요한 양만큼 용출되도록 해서, 파이프를 피제판롤의 일단부터 타단까지 이동해서 스파이럴스캔방식으로 간극이 벌어지지 않게 또 오버랩이 근소하도록 해서 테스트 감광액을 균일하게 도포하고 그 후 회전을 속행해서 액흐름이 일어나지 않게 된 상태에서 용제가 기화한 건조 정도의 감광막을 세트하고, 그 후에 코팅장치에 두거나 또는 레이저 노광장치 등으로 옮겨서, 피제판롤을 필요한 고속도로 필요한 시간 회전시켜서 공기와 마찰시키는 것에 의하여 감광막 중의 잔류 용제를 공기 중으로 확산 이탈시켜서 레이저에 의한 화상 인화성이 발현할 수 있는 낮은 용제 잔류 농도의 성막을 얻는 기술을 확립했다.Based on this fact, it is possible to reduce the concentration of solvent to 6% or less in a very short time without burning, and to support the platen roll horizontally at both ends of the spiral scan type coating apparatus to rotate it at the required low speed. Position the pipe from which the photosensitive agent elutes to have a slight gap at one end of the platen roll, and allow the photosensitive agent to be eluted in an amount necessary for coating, and then move the pipe from one end of the platen roll to the other end to form a gap in the spiral scan method. Apply the test sensitizer uniformly so that it does not open and the overlap is small, and then proceed with rotation to set the dry photosensitive film vaporized by the solvent in the state that liquid flow does not occur, and then place it in the coating apparatus or laser Move to exposure equipment, etc., and rotate the platen roll to the required highway for the required time By friction to that leaving the residual solvent in the photosensitive layer by diffusion into the air and established a technique to obtain a film of a low residual solvent levels in the image flammability it can be expressed by the laser.

200φmm의 시험롤에 감광액을 균일하게 도포하고 도포 종료부터 5분간 25r.p.m으로 회전을 계속 한 후 회전 정지하고, 5분간 기다려서, 액흐름에 관해서 관찰하여, 육안으로 액흐름이 일어나지 않았다는 것을 확인해서, 시험롤을 100r.p.m으로 20분 회전해서 정지하고, 감광막 중의 용제 잔류 농도를 측정하였더 니 2.3% 였다.Apply the photosensitive liquid uniformly to the test roll of 200φmm, continue the rotation at 25r.pm for 5 minutes from the end of the application, stop the rotation, wait for 5 minutes, observe the liquid flow, and confirm that no liquid flow occurred visually. The test roll was rotated at 100 r.pm for 20 minutes to stop, and the solvent residual concentration in the photosensitive film was measured to be 2.3%.

그런데도, 버닝을 하지 않아도 극히 단시간에 용제 농도를 6% 이하로 저감할 수 있는 기술을 개발하였고, 다양한 밀착성 조제를 첨가해서 버닝을 하지 않아도 필요충분한 밀착력을 가지는 포지티브형 감광제에 관해서 포지티브형 감광성 조성물의 개량된 성질을 시험해 보았다.Nevertheless, we developed a technology that can reduce the solvent concentration to 6% or less in a very short time without burning, and the positive type photosensitive composition with respect to the positive type photosensitive agent having sufficient adhesion even without burning by adding various adhesive preparations. The improved properties were tested.

그 결과, 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질과, 화상 노광 광원인 적외선을 흡수해서 열로 변화하는 광열 변환 물질로 이루어진 포지티브형 감광성 조성물의 원액에, 셀룰로오스 유도체와 티탄알콕시드, 티탄아실레이트, 또는 티탄킬레이트 중 적어도 어느 하나의 티탄유기 화합물을 함유해서 테스트한 결과, 버닝 처리를 행하면 현상이 불량하게 되고, 버닝 처리를 하지 않으면 현상이 우량하게 되어, 최량의 레지스트패턴을 얻을 수 있었다.As a result, cellulose derivatives, titanium alkoxides, titanium acylates, and the like are prepared in the stock solution of a positive photosensitive composition composed of an alkali-soluble organic high molecular material having a phenolic hydroxyl group and a photothermal conversion material that absorbs infrared rays which are image exposure light sources and changes into heat. Alternatively, when the titanium chelate contained at least one of the titanium organic compounds was tested, the development was poor when the burning process was performed, and the development was excellent when the burning process was not performed, thereby obtaining the best resist pattern.

특허문헌 1: 특개평 10-268512호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-268512

특허문헌 2: 특개평 11-194504호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-194504

특허문헌 3: 특개평 11-223936호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-223936

특허문헌 4: 특개평 11-84657호 공보Patent Document 4: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-84657

특허문헌 5: 특개평 11-174681호 공보Patent Document 5: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-174681

특허문헌 6: 특개평 11-231515호 공보Patent Document 6: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-231515

특허문헌 7: 국제공개 제97/39894호 공보Patent Document 7: International Publication No. 97/39894

특허문헌 8: 국제공개 제98/42507호 공보Patent Document 8: International Publication No. 98/42507

특허문헌 9: 특개 2002-189294호 공보Patent Document 9: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-189294

특허문헌 10: 특개 2004-133025호 공보Patent Document 10: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-133025

특허문헌 11: 특공소 47-25470호 공보Patent Document 11: JP-A 47-25470

특허문헌 12: 특공소 48-85679호 공보Patent Document 12: Korean Patent Application Publication No. 48-85679

특허문헌 13: 특공소 51-21572호 공보Patent Document 13: Special Publication No. 51-21572

그러나, 습도가 우연히 극히 낮은 날에 테스트한 결과, 현상을 하면, 감광막이 전면적으로 이탈해버렸다. 포지티브형 감광제는 일반적으로 60% 이상의 고습도인 때에 백화현상을 일으켜서 조막할 수 없다고 하는 습도 의존성이 있는 것이 알려져 있지만, 습도가 25% 정도로 극히 낮은 때에도 밀착성이 소실한다고 하는 습도 의존성이 있다는 것이 판명되었다. However, as a result of testing on a day when the humidity was extremely low, when the development was conducted, the photoresist film detached entirely. Positive type photosensitizers are known to have a humidity dependency that generally prevents film formation due to bleaching at a high humidity of 60% or higher, but it has been found that there is a humidity dependency that adhesion is lost even when the humidity is extremely low as 25%.

그래서, 다양한 밀착성 조제(助劑)를 첨가해서 테스트를 한 결과, 밀착성 조제로서, 비닐피롤리돈/초산비닐 코폴리머, 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, 비닐피롤리돈/비닐카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, 폴리비닐부틸알, 폴리비닐포름알, 스티렌/말레인산수지, 테르펜페놀수지, 알킬페놀수지, 멜라민/포름알데히드수지, 폴리초산비닐, 또는 케톤수지를 혼합첨가한 경우의 케이스에 있어서, 실험실 내의 온도를 25℃, 습도는 25%, 30%, 55%, 60% 로 변경한 각각의 조건에서, 25r.p.m으로 회전하는 200φmm의 피제판롤에 도포하여, 액흐름이 일어나지 않도록 회전을 속행해서 자연건조 조건하에서 5분 경과시킨 후에 100r.p.m에서 10분 회전해서 정지했다. 이렇게 해서, 피제판롤의 황산동도금면에 대해서 모두 광택이 있는 대단히 강한 밀착성을 가지는 극히 경질인 감광막을 도포 형성한 4개의 시험롤을 얻을 수 있었다. 막두께는 3.5~3.8μm였다. 용제 잔류 농도를 측정한 결과, 모든 시험롤이 2.3% 였다. 그래서, 적외파장 영역의 레이저로 화상 인화하여 현상한 결과 현상전의 막두께와 비교해서 막감소가 거의 없는 극히 샤프하고 잔사가 없는 알칼리 가용성 레지스트패턴을 얻을 수 있었다. 그리고, 자연건조한 레지스트패턴은 극히 경질인 것을 확인할 수 있었고, 본 발명을 완성하게 되었다.Therefore, as a result of testing by adding various adhesive aids, vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, vinylpyrrolidone / Vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, polyvinylbutylal, polyvinylformal, styrene / maleic acid resin, terpene phenolic resin, alkylphenolic resin, melamine / formaldehyde resin, polyvinyl acetate, or ketone resin In the case of the mixed addition, it is applied to a 200 φmm coated plate roll rotating at 25 r.pm under the conditions in which the temperature in the laboratory is changed to 25 ° C. and the humidity is 25%, 30%, 55%, 60%. After the rotation was continued for 5 minutes under natural drying conditions, the solution was stopped for 10 minutes at 100 r.pm. In this way, four test rolls which apply | coated and formed the extremely hard photosensitive film | membrane which have all the glossiness very strong adhesiveness with respect to the copper sulfate plating surface of a skin plate roll were obtained. The film thickness was 3.5-3.8 micrometers. As a result of measuring the solvent residual concentration, all test rolls were 2.3%. Thus, as a result of image development by laser printing in the infrared wavelength region, an extremely sharp and residue-free alkali-soluble resist pattern with almost no film reduction compared to the film thickness before development was obtained. And, it was confirmed that the naturally dry resist pattern was extremely hard, and completed the present invention.

본 발명은 파장 700~1,100nm의 레이저광에 노광 감응해서 감응부가 알칼리 현상액에 가용으로 되는 포지티브형 감광성 조성물에 관한 것이고, 도포작업실 내의 습도가 25~60% 범위에서 도포하는 때에 피(被)도포 대상에 도포하고 그 후의 버닝이 불요하고 알루미늄에 대해서 필요충분한 밀착성을 얻을 수 있는 것은 물론, 특히 알루미늄에 비해 훨씬 강한 밀착력이 필요한 동 또는 황산동도금에 대해서 필요충분한 밀착성을 얻을 수 있고, 60~70초 정도의 시간에서 잔사가 발생하지 않는 양호한 알칼리 현상이 행해져서, 버닝 처리를 하지 않는 것에서 고감도가 유지된 레지스트화상의 에지(edge)가 노광의 조사 패턴을 통해 샤프한 윤곽으로 잘라지는 극히 양호한 현상을 할 수 있고, 막감소가 적어 막감소에 기인하는 핀홀의 발생이 적어 극히 양호한 현상을 할 수 있고, 레지스트 화상에 광택이 있고, 그대로 인쇄에 제공해도 수천매 인쇄할 수 있는 정도의 대단히 단단한 레지스트 화상을 얻을 수 있고, 감광막 형성 후 현상 전의 취급에 있어서 내상성이 향상하고, 레이저에 의한 화상 인화 및 현상 래터튜드가 빼어난 포지티브형 감광성 조성물을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.The present invention relates to a positive photosensitive composition in which exposure is sensitive to a laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 nm and the sensitive portion is soluble in an alkaline developer, and is applied when the humidity in the coating chamber is applied in a 25 to 60% range. Not only can be applied to the object and subsequent burning is required, and sufficient adhesion to aluminum can be obtained, but also sufficient adhesion to copper or copper sulfate plating, which requires much stronger adhesion than aluminum, can be obtained for 60 to 70 seconds. Good alkali development is performed in which no residue is generated at a time, and an extremely good phenomenon is obtained in which the edge of the resist image maintained with high sensitivity is cut into a sharp outline through the exposure pattern of exposure without burning. It is possible to produce a very good phenomenon due to less film reduction and less pinholes caused by film reduction. In addition, the resist image is glossy, and even if it is used as it is for printing, a very hard resist image can be obtained that can be printed thousands of times, and the scratch resistance is improved in handling before development after the formation of the photosensitive film, and image printing by laser And it aims at providing the positive photosensitive composition from which image development latitude was excellent.

또, 본원 명세서에 있어서, 현상의 경우에 막두께의 변화가 없게(막감소가 적게), 망점의 면적이 소정 현상시간에서 변화가 없게, 잔사(나머지)가 돌연히 나온다고 하는 것이 없는 상황이고, 안정해서 제판할 수 있는 상태를 현상의 래터튜드가 있다고 한다.In addition, in this specification, in the case of image development, it is a situation that there is no change (film decrease) little, the area | region of a halftone does not change in predetermined development time, and there is no residue (the rest) suddenly coming out, and it is stable. It is said that there is a lattice of phenomena that can be produced.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 포지티브형 감광성 조성물은 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질(A), 화상 노광 광원인 적외선을 흡수해서 열로 변환하는 광열 변환 물질(B), (1)비닐피폴리돈/초산비닐 코폴리머, (2)비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (3)비닐피롤리돈/비닐카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (4)폴리초산비닐, (5)폴리비닐부틸알, (6)폴리비닐포름알,(7)스티렌/말레인산계 공중합체, (8)테르펜페놀수지, (9)알킬페놀수지, (10)멜라민/포름알데히드수지, 및 (11)케톤수지로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 수지(C), 및 용해저지제(D)를 함유하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the positive photosensitive composition of the present invention is an alkali-soluble organic polymer material (A) having a phenolic hydroxyl group, a photothermal conversion material (B) for absorbing and converting infrared rays as an image exposure light source (B), (1) Vinylpypolydon / vinyl acetate copolymer, (2) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinylpyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (4 Polyvinyl acetate, (5) Polyvinyl butylal, (6) Polyvinylformal, (7) Styrene / maleic acid copolymer, (8) Terpene phenolic resin, (9) Alkylphenolic resin, (10) Melamine / At least one resin (C) selected from the group consisting of formaldehyde resin and (11) ketone resin, and a dissolution inhibiting agent (D).

상기 용해저지제(D)가 하기 화학식(1)로 나타내어지는 화합물인 것이 바람직하다.It is preferable that the said dissolution inhibitor (D) is a compound represented by following General formula (1).

[화 1][Tue 1]

Figure 112005020314492-pct00001
Figure 112005020314492-pct00001

상기 광열 변환 물질(B)가 하기 일반식(2)로 나타내어지는 화합물인 것이 바람직하다.It is preferable that the said photothermal conversion material (B) is a compound represented by following General formula (2).

[화 2][Tue 2]

Figure 112005020314492-pct00002
Figure 112005020314492-pct00002

[식(2) 중, R1 ~ R6은 각각 독립해서, 수소원자, 탄소수 1~3인 알킬기, 또는 탄소수 1~3인 알콕시기를 나타내고, X는 할로겐원자, ClO4, BF4, TsO(p-CH3C6H4SO3), 또는 PF6를 나타낸다.][Formula (2) of, R 1 ~ R 6 are each independently, represent a hydrogen atom, a C 1 -C 3 alkyl group, or a carbon number of groups 1-3 alkoxy, X is a halogen atom, ClO 4, BF 4, TsO ( p-CH 3 C 6 H 4 SO 3 ), or PF 6 ].

또, 상기 광열 변환 물질(B)가 하기 일반식(3)으로 나타내어지는 화합물인 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the said photothermal conversion substance (B) is a compound represented by following General formula (3).

[화 3][Tue 3]

Figure 112005020314492-pct00003
Figure 112005020314492-pct00003

[식(3) 중, R7~R10은 각각 독립해서, 수소원자, 메톡시기, N(CH3)2, 또는 N(C2H5)2를 나타내고, Y는 C4H9-B(C6H5)3, p-CH3C6H4SO3, CF3SO3를 나타낸다.]Equation (3) of, R 7 ~ R 10 are each independently, a hydrogen atom, a methoxy group, N (CH 3) 2, or N (C 2 H 5) 2, Y is C 4 H 9 -B (C 6 H 5 ) 3 , p-CH 3 C 6 H 4 SO 3, CF 3 SO 3. ]

본 발명의 포토패브리케이션 기술은 본 발명의 포지티브형 감광성 조성물을 사용하는 것을 특징으로 한다. 포토패브리케이션으로서는 인쇄판, 전자부품, 및 정밀기기 부품 등을 들 수 있다. The photofabrication technique of the present invention is characterized by using the positive photosensitive composition of the present invention. Examples of photofabrication include printing plates, electronic components, and precision instrument components.

본 발명의 제판 방법은 본 발명의 포지티브형 감광성 조성물을 사용하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 제판방법에 의하여, 오목판(그라비아), 평판, 볼록판, 공판 등의 인쇄판을 작성할 수 있다.The plate making method of the present invention is characterized by using the positive photosensitive composition of the present invention. By the plate-making method of this invention, printing plates, such as a recessed plate (gravure), a flat plate, a convex board, and a stencil, can be produced.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물을 감광액으로 사용한 그라비아판의 일반적인 제판 공정은 다음과 같다.The general engraving process of the gravure plate using the positive photosensitive composition of this invention as a photosensitive liquid is as follows.

1. 실린더에 감광액 도포(드라이 막두께 2-5μm가 바람직하다. 핀홀을 없애기 위한 막은 두꺼운 편이 바람직하지만, 얇은 편이 사용량이 적어 코스트는 저렴해진다.) → 2. 건조(터치드라이까지 15분 → 종료까지 15~20분) → 3. 노광(광원: 반도체 레이저 830nm, 220mJ/cm2) → 4. 현상(60~90초/25℃) → 5. 수세(스프레이 30초) → 6. 에칭(심도 10~30μm, 부식 염화제2구리수용액, 구리 환산 60g/L) → 7. 레지스트 박리(알칼리 박리) → 8. 수세 → 9. 크롬도금(물에 대해서 크롬산 250g/L, 황산 2.5g/L) → 10. 수세 → 11. 인쇄.1. Apply photoresist to the cylinder (Dry film thickness is 2-5μm is preferred. The thicker film is preferable to remove pinhole, but the thinner one is used less costly) → 2. Drying (15 minutes to touch dry → finish Up to 15 ~ 20 minutes) → 3. Exposure (light source: semiconductor laser 830nm, 220mJ / cm 2 ) → 4. Developing (60 ~ 90sec / 25 ℃) → 5. Washing (Spray 30sec) → 6. Etching (depth) 10 ~ 30μm, corrosion cupric chloride solution, copper equivalent 60g / L) → 7. Resist stripping (alkali peeling) → 8. Water washing → 9. Chromium plating (chromic acid 250g / L, sulfuric acid 2.5g / L) → 10. Flush → 11. Print.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물을 감광액으로서 사용한 평판(PS판)의 일반적인 제판 공정은 다음과 같다.The general engraving process of the flat plate (PS plate) using the positive photosensitive composition of this invention as a photosensitive liquid is as follows.

1.CTP(PS판)(알루미늄 연마 → 감광액 도포 → 건조) → 2. 노광(광원: 반도체 레이저 830nm, 220mJ/cm2) → 3. 현상 → 4. 인쇄.1.CTP (PS plate) (aluminum polishing → photoresist coating → drying) → 2. Exposure (light source: semiconductor laser 830nm, 220mJ / cm 2 ) → 3. Developing → 4. Printing.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물은 적외파장 레이저광에 노광 감응해서 감광부가 현상액에 가용으로 되는 적외파장 영역 레이저 감응성을 가지는 알칼리 가용성 포지티브형 감광성 조성물이고, 이하와 같은 우수한 효과를 가진다.The positive photosensitive composition of the present invention is an alkali-soluble positive photosensitive composition having an infrared wavelength laser sensitivity in which a photosensitive portion is soluble in a developing solution upon exposure to an infrared wavelength laser light, and has excellent effects as follows.

(1) 알루미늄이나 동뿐만이 아니고, 광택이 있는 경면상(鏡面狀)의 도금동같은 밀착성이 나쁜 피도포 대상에 대해서도 버닝을 하지 않고 필요충분한 밀착성을 얻을 수있다. 또 버닝을 하지 않고, 종래의 버닝을 한 경우와 동등의 광택이 있는 감광막을 얻을 수 있다.(1) In addition to aluminum and copper, necessary adhesion can be obtained without burning even on a target to be coated with poor adhesion, such as glossy mirror-plated copper. Moreover, the photosensitive film | membrane with the gloss equivalent to the case where the conventional burning is performed without burning is obtained.

(2) 습도 25~60% 의 조건에서도 필요충분한 밀착성을 얻을 수 있다.(2) Even if the humidity is 25 to 60%, sufficient adhesion can be obtained.

(3) 적절한 시간에서 잔사가 발생하지 않는 양호한 알칼리 현상을 할 수 있다. 감광층 성분이 노광에 의하여 실질적으로 화학변화를 일으키기 않게 했음에도 불구하고, 내쇄성, 감도, 현상래터튜드 등의 인쇄판의 기본 성능을 모두 만족시킬 수 있다.(3) Good alkali development can be performed in which no residue is generated at an appropriate time. Although the photosensitive layer component does not substantially cause a chemical change by exposure, it can satisfy all the basic performances of the printing plate such as printing resistance, sensitivity, development latitude, and the like.

(4) 감광층 중의 광열 변환 물질에 의하여 과잉의 열이 발생하는 높은 노광에너지보다도 낮은 노광에너지로 화상 노광을 해도 현상 래터튜드를 넓게 취할 수 있어서 감광층 비산(飛散)이 생기는 정도가 낮게 억제되기 때문에, 감광층 비산(어블레이션)하여 노광 장치의 광학계를 오염한다고 하는 문제가 생기지 않는다.(4) Even when image exposure is performed at a lower exposure energy than the high exposure energy at which excess heat is generated by the photothermal conversion material in the photosensitive layer, the development lattice can be widened, and the degree of photosensitive layer scattering is suppressed low. Therefore, there is no problem that the photosensitive layer is scattered (ablation) and contaminates the optical system of the exposure apparatus.

(5) 버닝 처리를 하지 않는 것에서 고감도가 유지된 레지스트화상의 에지가 노광의 조사 패턴을 통해 샤프한 윤곽으로 잘라지는 극히 양호한 현상을 할 수 있다. 또, 단면부분도 버닝에 의한 열용량의 불규칙한 분포가 없고, 현상 후 균일한 막두께를 보지할 수 있다.(5) In the absence of the burning process, an extremely good phenomenon can be obtained in which the edge of the resist image having high sensitivity is cut into a sharp outline through the exposure pattern of exposure. Moreover, the cross-sectional part also has no irregular distribution of the heat capacity by burning, and can hold | maintain a uniform film thickness after image development.

(6) 레지스트 화상에 막감소가 적고, 광택이 있고, 그대로 부식해도 핀홀의 발생이 없게 그라비아제판을 할 수 있다. 또, 인쇄 등에 제공해서 수천매 이상 인쇄할 수 있는 정도의 내쇄성이 있는 레지스트화상을 얻을 수 있고, 감광막 건조 후 현상 전의 취급에 있어서 핀홀의 발생을 회피할 수 있고, 또는 내찰조상성(耐擦爪傷性)이 향상한다.(6) Gravure engraving can be performed so that the resist image has little film reduction, is glossy, and there is no pinhole even if it is corroded as it is. In addition, a resist image having a degree of printing resistance can be obtained by printing or the like to print thousands or more sheets, and the occurrence of pinholes can be avoided in handling before development after photosensitive film drying, or scratch resistance爪 傷 性) improves.

(7) 레이저에 의한 화상인화에 대한 변화율이 적고, 또 현상 래터튜드가 빼어나다.(7) The rate of change for the image printing by the laser is small, and the development latitude is excellent.

(8) 현상 후의 막감소가 적기 때문에, 핀홀의 발생이 적다.(8) Since the film reduction after development is small, there is little generation of pinholes.

도 1은, 실시예 1에서 사용한 감광액 테스트 패턴과 계측(計測) 개소(個所)를 나타내는 도면이고, (a)는 테스트 패턴, (b)는 (a)의 환인 부분의 확대도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the photosensitive liquid test pattern and measurement location used in Example 1, (a) is a test pattern, (b) is an enlarged view of the ring part of (a).

이하에 본 발명의 실시의 형태를 설명하지만, 이들 실시의 형태는 예시적으로 나타낸 것이고, 본 발명의 기술 사상으로부터 벗어나지 않는 한 다양한 변형이 가능한 것은 말할 것도 없다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Although embodiment of this invention is described below, these embodiment is shown as an illustration, and it cannot be overemphasized that a various deformation | transformation is possible, without deviating from the technical idea of this invention.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물은 하기 성분 (A)~(D)를 함유하는 것을 특징으로 하는 것이다.The positive photosensitive composition of this invention contains the following component (A)-(D), It is characterized by the above-mentioned.

(A) 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질, (B) 화상 노광 광원인 적외선을 흡수해서 열로 변환하는 광열 변환 물질, (C) (1)비닐피롤리돈/비닐아세테이트 코폴리머, (2)비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (3)비닐피롤리돈/비닐카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (4)폴리초산비닐, (5)폴리비닐부틸알, (6)폴리비닐포름알, (7)스티렌/말레인산수지, (8)테르펜페놀수지, (9)알킬페놀수지, (10)멜라민/포름알데히드수지, 및 (11)케톤수지로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 수지, 및 (D) 용해저지제.(A) Alkali-soluble organic high molecular substance which has a phenolic hydroxyl group, (B) The photothermal conversion substance which absorbs infrared rays which are image exposure light sources, and converts into heat, (C) (1) Vinylpyrrolidone / vinylacetate copolymer, (2 ) Vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) Vinylpyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (4) Polyvinyl acetate, (5) Polyvinyl butylal , (6) polyvinylformal, (7) styrene / maleic acid resin, (8) terpene phenol resin, (9) alkylphenol resin, (10) melamine / formaldehyde resin, and (11) ketone resin At least one resin selected, and (D) a dissolution inhibitor.

상기 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질(A)로서는, 예를 들면, 노볼락수지, 레졸수지, 폴리비닐페놀수지, 페놀성 수산기를 가지는 아크릴산 유도체의 공중합체, 페놀성 수산기를 가지는 에폭시수지(예를 들면, 에폭시/페놀릭 등) 등을 들 수 있고, 특히, 특허문헌 6 등에 개시되어 있는 것처럼 노볼락 수지, 레졸수지, 또는 폴리비닐페놀수지가 바람직하다. 이들 알칼리 가용성 유기 고분자 물질(A)는 단독으로 사용해도 바람직하고, 2종 이상 병용해도 바람직하다.As an alkali-soluble organic high molecular substance (A) which has the said phenolic hydroxyl group, For example, the copolymer of the acrylic acid derivative which has a novolak resin, a resol resin, polyvinyl phenol resin, a phenolic hydroxyl group, an epoxy resin which has a phenolic hydroxyl group (For example, epoxy / phenolic), and the like, and particularly, as disclosed in Patent Document 6 and the like, a novolak resin, a resol resin, or a polyvinyl phenol resin is preferable. These alkali-soluble organic polymer substances (A) may be used independently and may be used together 2 or more types.

노볼락수지는 페놀류 중 적어도 1종을, 산성 촉매하에서 알데히드류, 또는 케톤류의 적어도 1종과 중축합시킨 수지이고, 레졸수지는 노볼락수지의 중축합에 있어서 산촉매를 대신해서 알칼리촉매를 사용하는 것 이외에는 동일하게 해서 중축합시킨 수지이다. 노볼락수지 및 레졸수지에 있어서, 페놀, o-크레졸, m-크레졸, p-크레졸, 2,5-키시레놀, 3,5-키시레놀, 레졸시놀, 또는 이들의 혼합 페놀류와, 포름알데히드, 아세트알데히드, 또는 프로피온알데히드와의 중축합체가 바람직하다. 노볼락수지 및 레졸수지는 각각 겔파미에이션크로마토그래피 측정에 의한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량(MW)이 1,500 ~ 150,000인 것이 바람직하다. Novolak resin is resin which polycondensed at least 1 sort (s) of phenols with at least 1 sort (s) of aldehyde or ketone under an acidic catalyst, and resol resin uses an alkali catalyst instead of an acid catalyst in polycondensation of novolak resin. Other than that, it is the same and polycondensed resin. In the novolak resin and the resol resin, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,5-quisylenol, 3,5-quisylenol, resorcinol or mixed phenols thereof and formaldehyde Preference is given to polycondensates with acetaldehyde or propionaldehyde. It is preferable that the novolak resin and the resol resin each have a polystyrene reduced weight average molecular weight (MW) of 1,500 to 150,000 by gel permeation chromatography measurement.

폴리비닐페놀수지는 예를 들면, 히드록시스티렌류의 단독 또는 2종 이상을, 래디칼 중합개시제 또는 양이온 중합개시제의 존재하에서 중합시킨 수지를 들 수 있다. 벤젠환에 탄소수 1~4인 알킬기를 치환기로서 가지는 히드록시스티렌류의 중합체나 무치환 벤젠환의 히드록시스티렌류의 중합체가 바람직하다. 또, 폴리비닐페놀 유도체(예를 들면, 폴리비닐페놀을 t-부틸화 또는 스티렌화한 유도체 등), 및 비닐페놀과 다른 비닐계 단량체의 공중합물(예를 들면, 비닐페놀-메타크릴산메틸 공중합물, 비닐페놀-스티렌 공중합물, 비닐페놀-메타크릴산-2-히드록시에틸 공중합물, 비닐페놀-페닐말레이미드 공중합물 등)을 사용해도 바람직하다.Examples of the polyvinylphenol resin include resins obtained by polymerization of hydroxystyrenes alone or in combination of two or more thereof in the presence of a radical polymerization initiator or a cationic polymerization initiator. The polymer of the hydroxy styrene which has a C1-C4 alkyl group as a substituent in the benzene ring, and the polymer of the hydroxy styrene of an unsubstituted benzene ring are preferable. In addition, polyvinyl phenol derivatives (e.g., derivatives obtained by tert-butylation or styrene of polyvinyl phenol), and copolymers of vinyl phenol and other vinyl monomers (e.g., vinyl phenol-methyl methacrylate) Copolymers, vinylphenol-styrene copolymers, vinylphenol-methacrylic acid-2-hydroxyethyl copolymers, vinylphenol-phenylmaleimide copolymers, and the like).

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물에 있어서 알칼리 가용성 유기 고분자 물질(A)의 함유 비율은 특별하게 한정되지 않지만, (A)성분, (B)성분, (C)성분 및 (D)성분의 고형분 총량에 대해서, 80~95중량% 인 것이 바람직하고, 90~94중량% 인 것이 더 바람직하다.Although the content rate of alkali-soluble organic high molecular substance (A) in the positive photosensitive composition of this invention is not specifically limited, It is based on the solid content total amount of (A) component, (B) component, (C) component, and (D) component. It is preferable that it is 80 to 95 weight% with respect to it, and it is more preferable that it is 90 to 94 weight%.

상기 광열 변환 물질(B)로서는 흡수한 광을 열로 변환할 수 있는 화합물이면 특별하게 한정되지 않지만, 파장 700~1,100nm의 적외선 영역의 일부 또는 전부에 흡수대를 가지는 유기 또는 무기 안료나 염료, 유기색소, 금속, 금속산화물, 금속탄화물, 금속붕화물 등을 들 수 있고, 상기 파장 영역의 광을 효율좋게 흡수하고, 또 자외선 영역의 광은 거의 흡수하지 않거나 또는 흡수해도 실질적으로 감응하지 않는 광흡수 색소가 바람직하고, 하기 일반식(2) 또는 (3)으로 나타내어지는 화합물이나 그 유도체가 특히 바람직하다.The photothermal conversion material (B) is not particularly limited as long as it is a compound capable of converting absorbed light into heat, but an organic or inorganic pigment, dye or organic pigment having an absorption band in part or all of the infrared region having a wavelength of 700 to 1,100 nm. , Metals, metal oxides, metal carbides, metal borides, and the like, and efficiently absorb light in the wavelength region, and light absorbing pigments that hardly absorb or substantially do not absorb light in the ultraviolet region. Is preferable, and the compound represented by following General formula (2) or (3) and its derivative are especially preferable.

[화 4][Tue 4]

Figure 112005020314492-pct00004
Figure 112005020314492-pct00004

[식(2) 중, R1 ~ R6은 각각 독립해서, 수소원자, 탄소수 1~3인 알킬기, 또는 탄소수 1~3인 알콕시기를 나타내고, X-는 상대음이온이고, X로서는 할로겐원자, ClO4, BF4, p-CH3C6H4SO3 또는 PF6 등을 들 수 있다.][In formula (2), R <1> -R <6> respectively independently represents a hydrogen atom, a C1-C3 alkyl group, or a C1-C3 alkoxy group, X <-> is a relative anion, X is a halogen atom, ClO 4 , BF 4 , p-CH 3 C 6 H 4 SO 3 or PF 6 and the like.

[화 5][Tue 5]

Figure 112005020314492-pct00005
Figure 112005020314492-pct00005

[식(3) 중, R7 ~ R10은 각각 독립해서, 수소원자, 메톡시기, N(CH3)2, 또는 N(C2H5)2를 나타내고, Y-는 상대음이온이고, Y로서는 C4H9-B(C6H5)3, p-CH3C6H4SO3, 또는 CF3SO3 등을 들 수 있다.]Equation (3) of, R 7 ~ R 10 are each independently, a hydrogen atom, a methoxy group, N (CH 3) 2, or N (C 2 H 5) 2 , Y - is a counter anion, Y Examples of the compound include C 4 H 9 -B (C 6 H 5 ) 3 , p-CH 3 C 6 H 4 SO 3, CF 3 SO 3 , and the like.]

상기 일반식(3)으로 나타내어지는 화합물로서는 최대흡수파장이 근적외선 영역인 하기 화학식(4) ~ (7)로 나타낸 근적외선 영역 흡수 색소가 보다 바람직하다.As a compound represented by the said General formula (3), the near-infrared region absorption pigment | dye represented by following formula (4)-(7) whose maximum absorption wavelength is a near-infrared region is more preferable.

[화 6][Tue 6]

Figure 112005020314492-pct00006
Figure 112005020314492-pct00006

[화 7][Tue 7]

Figure 112005020314492-pct00007
Figure 112005020314492-pct00007

[화 8][Tue 8]

Figure 112005020314492-pct00008
Figure 112005020314492-pct00008

[화 9][Tue 9]

Figure 112005020314492-pct00009
Figure 112005020314492-pct00009

또, 다른 광흡수 색소로서는 예를 들면, 특허문헌 6에 기재되어 있는 것처럼 질소원자, 산소원자, 또는 유황원자 등을 함유하는 복소환 등이 폴리메틴(-CH=)n으로 결합된, 광의의 소위 시아닌계 색소를 대표적인 것으로서 들 수 있고, 구체적으 로 예를 들면, 퀴놀린계(소위, 시아닌계), 인돌계(소위, 인도시아닌계), 벤조티아졸계(소위, 티오시아닌계), 이미노시클로헥사디엔계(소위, 폴리메틴계), 피릴륨계, 티아피릴륨계, 스쿠아릴륨계, 크로코늄계, 아즈레늄계 등을 들 수 있고, 그 중에서, 퀴놀린계, 인돌계, 벤조티아졸계, 이미노시클로헥사디엔계, 피릴륨계 또는 티아피릴륨계가 바람직하다. 특히, 프타로시아닌이나 시아닌이 바람직하다.Moreover, as another light-absorbing dye, for example, as described in Patent Document 6, a heterocyclic ring containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, or the like is broadly bonded with polymethine (-CH =) n. Examples of so-called cyanine-based pigments may be cited. Specifically, for example, quinoline-based (so-called cyanine-based), indole-based (so-called indocyanine-based), benzothiazole-based (so-called thiocyanine-based), Iminocyclohexadiene-based (so-called polymethine-based), pyryllium-based, thiapyryllium-based, squarylium-based, croconium-based, azrenium-based and the like, among which, quinoline-based, indole-based and benzothiazole-based , Iminocyclohexadiene-based, pyryllium-based or thiapyryllium-based are preferable. In particular, phthalocyanine and cyanine are preferable.

상기 광열 변환 물질(B)는 파장 700~1,100nm의 적외파장 영역의 일부 또는 전부에 흡수대를 가지는 적외파장 영역의 레이저광을 흡수해서 열분해하는 특성을 가지고, 상기 페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질의 분자의 열절단에 의한 알칼리 가용성 저분자화·어블레이션에 관여한다.The photothermal conversion material (B) has a property of absorbing and thermally decomposing laser light in an infrared wavelength region having an absorption band in a part or all of the infrared wavelength region having a wavelength of 700 to 1,100 nm, and having an alkali-soluble organic polymer having the phenolic hydroxyl group. It is involved in alkali-soluble low molecular weight ablation by thermal cleavage of molecules of substances.

광열 변환 물질의 첨가량의 다소는 노광으로 발생하는 열의 과다와 부족에 관계하고, 또, 적외레이저광의 강약은 노광부분에 존재하는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질의 열분해의 과다와 부족에 관계하기 때문에 적절한 양으로 설정된다. 본 발명의 포지티브형 감광성 조성물에 있어서 광열 변환 물질(B)의 함유 비율은 (A)성분, (B)성분, (C)성분 및 (D)성분의 고형분 총량에 대하여 0.1~10중량% 인 것이 바람직하고, 1~4중량% 가 더 바람직하다.Some of the addition amount of the photothermal conversion material is related to the excessive and insufficient heat generated by the exposure, and the intensity of the infrared laser light is related to the excessive and insufficient thermal decomposition of the alkali-soluble organic polymer material present in the exposed part. Is set. In the positive photosensitive composition of the present invention, the content ratio of the photothermal conversion material (B) is 0.1 to 10% by weight relative to the total solids of the components (A), (B), (C) and (D). It is preferable and 1-4 weight% is more preferable.

상기 수지(C)는 (1)비닐피롤리돈/초산비닐 코폴리머, (2)비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (3)비닐피롤리돈/비닐카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (4)폴리초산비닐, (5)폴리비닐부틸알, (6)폴리비닐포름알, (7)스티렌/말레인산수지, (8)테르펜페놀수지, (9)알킬페놀수지, (10)멜라민/포름알데히드수지 및 (11)케톤수지로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1 종의 알칼리 가용성 수지이고 밀착성 개량제로서 기능한다.The resin (C) comprises (1) vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinylpyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylamino Ethyl methacrylate copolymer, (4) polyvinyl acetate, (5) polyvinyl butylal, (6) polyvinylformal, (7) styrene / maleic acid resin, (8) terpene phenolic resin, (9) alkylphenol It is at least 1 sort (s) of alkali-soluble resin chosen from the group which consists of resin, (10) melamine / formaldehyde resin, and (11) ketone resin, and functions as an adhesive improving agent.

상기 (1)비닐피롤리돈/초산비닐 코폴리머(이하, PVP/VA 코폴리머로 칭한다)는 비닐피롤리돈과 초산비닐을 공중합시켜서 얻어지는 열가역성 수지이고, 하기 일반식(8)로 나타내어지는 구조를 가진다.Said (1) vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer (henceforth a PVP / VA copolymer) is a thermoreversible resin obtained by copolymerizing vinylpyrrolidone and vinyl acetate, and is represented by following General formula (8) Has a structure.

[화 10][Tue 10]

Figure 112005020314492-pct00010
Figure 112005020314492-pct00010

식(8) 중, n, m은 각각 1 이상의 정수이다. PVP/VA 코폴리머의 비닐피롤리돈과 초산비닐의 비율은 특별하게 한정되지 않지만, 비닐피롤리돈과 초산비닐의 비율이 70/30부터 30/70인 것이 바람직하고, 50/50이 보다 바람직하다.In formula (8), n and m are each an integer of 1 or more. Although the ratio of vinylpyrrolidone and vinyl acetate of a PVP / VA copolymer is not specifically limited, It is preferable that the ratio of vinylpyrrolidone and vinyl acetate is 70/30 to 30/70, and 50/50 is more preferable. Do.

PVP/VA 코폴리머의 제조 방법은 특별히 한정되지 않지만, 비닐피롤리돈과 초산비닐을 프리래디컬 중합시켜서 얻어지는 리니어한 랜덤코폴리머가 바람직하다. PVP/VA 코폴리머의 분자량도 특별히 한정되지 않지만, 10,000~60,000이 바람직하고, 20,000~50,000이 더 바람직하다.Although the manufacturing method of PVP / VA copolymer is not specifically limited, The linear random copolymer obtained by free-radically polymerizing vinylpyrrolidone and vinyl acetate is preferable. Although the molecular weight of PVP / VA copolymer is not specifically limited, 10,000-60,000 are preferable and 20,000-50,000 are more preferable.

상기 (2)비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머는 하기 일반식(9)로 나타내어지는 구조를 가진다.The (2) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer has a structure represented by the following general formula (9).

[화 11][Tue 11]

Figure 112005020314492-pct00011
Figure 112005020314492-pct00011

식(9) 중, n, m은 각각 1이상의 정수이다.In formula (9), n and m are each an integer of 1 or more.

상기 (3)비닐피롤리돈/비닐카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머는 비닐피롤리돈과 비닐카프로락탐과 디메틸에틸메타크릴레이트의 공중합체이고, 하기 일반식(10)으로 나타내어지는 구조를 가진다.Said (3) vinylpyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer is a copolymer of vinylpyrrolidone, vinyl caprolactam, and dimethylethyl methacrylate, and is represented by following General formula (10) Has a structure.

[화 12][Tue 12]

Figure 112005020314492-pct00012
Figure 112005020314492-pct00012

식(10) 중, n, m은 각각 1 이상의 정수이다.In formula (10), n and m are each an integer of 1 or more.

상기 (4)폴리초산비닐은 초산비닐의 단독 중합체 또는 초산비닐을 주성분로 하는 공중합체이고, 하기 일반식(11)로 나타내어지는 구조를 가진다.The polyvinyl acetate (4) is a homopolymer of vinyl acetate or a copolymer containing vinyl acetate as a main component, and has a structure represented by the following general formula (11).

[화 13][Tue 13]

Figure 112005020314492-pct00013
Figure 112005020314492-pct00013

식(11) 중, n은 1 이상의 정수이다. 폴리초산비닐로서는 예를 들면, 전기화학공업주식회사의 싸크놀 SN-09T(상품명)이 바람직하게 사용된다.In formula (11), n is an integer of 1 or more. As polyvinyl acetate, for example, Saxol SN-09T (trade name) of Electrochemical Industry Co., Ltd. is preferably used.

상기 (5)폴리비닐부틸알(약칭 PVB)는 폴리비닐알코올에 부틸알데히드를 반응시키는 부틸알화에 의하여 얻어지는 수지이고, 하기 일반식(12)로 나타내어지는 구조를 가진다.Said (5) polyvinyl butyl alcohol (abbreviated PVB) is resin obtained by the butyl aldehyde which makes butyl aldehyde react with polyvinyl alcohol, and has a structure represented by following General formula (12).

[화 14][Tue 14]

Figure 112005020314492-pct00014
Figure 112005020314492-pct00014

식(12) 중, n, m, l은 각각 1 이상의 정수이다. 폴리비닐부틸알로서는 구체적으로는, 전기화학공업주식회사의 제품, 덴카부틸알 5000A와 6000EP, 적수화학공업주식회사의 제품, 저중합도 타입의 BL-1, BL-2, BL-S, BX-L, 중중합도 타입의 BM-1, BM-2, BM-5, BM-S, 고중합도 타입의 BH-3, BH-S, BX-1, BX-2, BX-5, BX-55 등을 바람직한 예로서 들 수 있고, 다종류의 용제에 용해성을 가지는 BL-S, BM-S, BH-S의 사용이 특히 바람직하다.In formula (12), n, m, and l are each an integer of 1 or more. Specific examples of the polyvinyl butyl al include the products of Electrochemical Industry Co., Ltd., Denkabutyl Al 5000A and 6000EP, the product of Integra Chemical Co., Ltd., BL-1, BL-2, BL-S, BX-L, Polymerization type BM-1, BM-2, BM-5, BM-S, high polymerization type BH-3, BH-S, BX-1, BX-2, BX-5, BX-55 and the like are preferred. As an example, the use of BL-S, BM-S, and BH-S which has solubility in many kinds of solvents is especially preferable.

상기 (6)폴리비닐포름알(PVFM)은 하기 일반식(13)으로 나타내어지는 구조를 가지는 전기절연성이 양호한 수지이다.Said (6) polyvinyl formal (PVFM) is resin with favorable electrical insulation which has a structure represented by following General formula (13).

[화 15][Tue 15]

Figure 112005020314492-pct00015
Figure 112005020314492-pct00015

식(13) 중, n, m, l은 각각 1 이상의 정수이다. 폴리비닐포름알의 제조 방법은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 폴리초산비닐을 초산에 용해시키고, 포름알데히드와 황산을 가해서 켄화반응과 포름알화 반응을 동시에 행하게 하고, 이 반응액에 희석 황산을 가해 폴리비닐포름알을 침전시키고, 용매 회수, 세정, 건조 공정을 거쳐 제품이 얻어진다.In formula (13), n, m, and l are each an integer of 1 or more. Although the manufacturing method of polyvinyl formal is not specifically limited, For example, polyvinyl acetate is melt | dissolved in acetic acid, formaldehyde and sulfuric acid are added, and a kneading reaction and a formalization reaction are performed simultaneously, and dilute sulfuric acid is added to this reaction liquid. The polyvinylformal is added to precipitate, and the product is obtained through solvent recovery, washing and drying.

상기 (7)스티렌/말레인산계 수지는 스티렌계 단량체와 말레인산계 단량체를 공중합해서 얻어지는 공중합체, 공중합체의 유도체, 또는 그들의 변성물이다. 상기 (7)스티렌/말레인산계 수지는 카르복실기를 산가가 30~200, 특히, 50~170으로 되게 함유하는 것이 바람직하다. 중량 평균 분자량으로서는 1,500 ~ 100,000이 바람직하다.The (7) styrene / maleic acid resin is a copolymer obtained by copolymerizing a styrene monomer and a maleic acid monomer, a derivative of the copolymer, or a modified product thereof. It is preferable that the said (7) styrene / maleic-acid resin contains a carboxyl group so that it may become an acid value of 30-200, especially 50-170. As a weight average molecular weight, 1,500-100,000 are preferable.

상기 스티렌계 단량체는 스테렌 또는 그 유도체이고, 예를 들면, 스티렌, α-메틸스티렌, m 또는 p-메톡시스티렌, p-메틸스티렌, p-히드록시스티렌, 3-히드록시메틸-4-히드록시-스티렌 등을 바람직한 예로서 들 수 있다.The styrene-based monomer is a styrene or a derivative thereof, for example, styrene, α-methylstyrene, m or p-methoxy styrene, p-methyl styrene, p-hydroxy styrene, 3-hydroxymethyl-4- Hydroxy-styrene etc. are mentioned as a preferable example.

말레인산계 단량체는 말레인산 또는 그 유도체이고, 무수 말레인산, 말레인산, 또는 말레인산모노메틸, 말레인산모노에틸, 말레인산모노-n-프로필, 말레인산 모노이소프로필, 말레인산모노-n-부틸, 말레인산모노이소부틸 및 말레인산모노-tert-부틸 등의 말레인산에스테르가 바람직하다.Maleic acid monomers are maleic acid or derivatives thereof, maleic anhydride, maleic acid, or monomethyl maleate, monoethyl maleate, mono-maleic acid maleate, monoisopropyl maleate, mono-n-butyl maleate, monoisobutyl maleate and monomaleic acid maleate Maleic acid esters, such as -tert- butyl, are preferable.

상기 (7)스티렌/말레인산계 수지가 하기 일반식(14)로 나타내어지는 구조를 가지는 스티렌계 단량체와 말레인산계 단량체와의 공중합체[이하, 공중합체(a)로 칭한다]인 것이 바람직하다. 또, 다른 단량체, 예를 들면, 아크릴계 단량체(예를 들면, 메틸메타크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트 등의 알킬메타크릴레이트, 알킬아크릴레이트 등) 등의 비닐계 단량체를 더 공중합시킨 것을 사용하는 것도 가능하다.It is preferable that the said (7) styrene / maleic acid-type resin is a copolymer (henceforth a copolymer (a)) of the styrene-type monomer which has a structure represented by following General formula (14), and a maleic acid-type monomer. In addition, other copolymers, for example, those obtained by further copolymerizing vinyl monomers such as acrylic monomers (eg, alkyl methacrylates such as methyl methacrylate and t-butyl methacrylate, alkyl acrylates, etc.) are used. It is also possible.

[화 16][Tue 16]

Figure 112005020314492-pct00016
Figure 112005020314492-pct00016

식(14)에 있어서, R11은 수소원자 또는 메틸기를 나타내고, R12는 수소원자, 수산기, 알킬기 또는 알콕시기를 나타내고, R13은 수소원자 또는 히드록실기를 나타내고, R14 및 R15은 각각 독립해서 수소원자, 저급 알킬기 또는 반응성 이중결합을 가지는 기를 나타내고, m 및 n은 각각 1 이상의 정수이고, m≥n이 바람직하다. In formula (14), R 11 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 12 represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group or an alkoxy group, R 13 represents a hydrogen atom or a hydroxyl group, and R 14 and R 15 are each Independently, the group which has a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a reactive double bond is represented, m and n are each an integer of 1 or more, and m≥n is preferable.

또, 상기 (7)스티렌/말레인산계 수지로서, 상기 공중합체(a)를, 반응성 이중 결합을 가지는 화합물로 변성한 것[이하, 공중합체(b)로 칭한다]을 사용해도 괜찮다. 이 경우 식(14) 중 m 및 n은 1 이상의 정수이고, m≥n이 바람직하고, m/n=1~1.1이 보다 바람직하다. 상기 공중합체(b)로서는 구체적으로는 공중합체(a) 중의 산무수물기 또는 카르복시기에, 반응성 이중결합을 가지는 화합물을 반응시키는 것에 의하여 제조할 수 있다. 이 경우, 밀착성을 향상하기 위하여 카르복실기가 공중합체 중에 남아 있는 것이 바람직하다.As the (7) styrene / maleic acid-based resin, a modified product of the copolymer (a) with a compound having a reactive double bond (hereinafter referred to as copolymer (b)) may be used. In this case, m and n are integers of 1 or more in formula (14), m≥n is preferable, and m / n = 1-1.1 are more preferable. Specifically as said copolymer (b), it can manufacture by making the compound which has a reactive double bond react with the acid anhydride group or carboxy group in copolymer (a). In this case, in order to improve adhesiveness, it is preferable that a carboxyl group remains in the copolymer.

상기 반응성 이중결합을 가지는 화합물로서는, 탄소-탄소 이중결합을 가지는 화합물이 바람직하고, 구체적으로는, 불포화 알코올(예를 들면, 아릴알코올, 2-부텐-1-2-올, 퍼퓨릴알코올, 올레일알코올, 신나밀알코올, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 히드록시에틸메타크릴레이트, N-메틸올아크릴아미드 등), 알킬(메타)아크릴레이트(예를 들면, 메틸메타크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트 등), 옥시란환 및 반응성 이중결합을 각각 1개 가지는 에폭시화합물(예를 들면, 글리시딜아크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트, 아릴글리시딜에테르, α-에틸글리시딜아크릴레이트, 클로토닐글리시딜에테르, 이타콘산모노알킬모노글리시딜에스테르 등) 등을 바람직한 예로서 들 수 있다.As the compound having a reactive double bond, a compound having a carbon-carbon double bond is preferable, and specifically, an unsaturated alcohol (for example, aryl alcohol, 2-butene-1-2-ol, perfuryl alcohol, oleic acid) Monoalcohol, cinnamil alcohol, 2-hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, N-methylol acrylamide, etc.), alkyl (meth) acrylate (e.g., methyl methacrylate, t-butyl) Methacrylate, an oxirane ring, and an epoxy compound each having one reactive double bond (for example, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, arylglycidyl ether, α-ethylglycidyl) Acrylate, clotonylglycidyl ether, itaconic acid monoalkyl monoglycidyl ester, etc.) etc. are mentioned as a preferable example.

또, 상기 공중합체(b)로서, 불포화 알코올에 의하여 반응성 이중결합을 도입 한 것에, 반응성 이중결합 농도를 더 크게 하기 위하여, 상기한 옥시란환 및 반응성 이중결합을 각각 1개 가지는 에폭시 화합물을 반응시켜 반응성 이중결합 농도를 더 크게 한 것을 사용해도 괜찮다.In addition, the copolymer (b) is reacted with an epoxy compound having one of the above-described oxirane ring and one reactive double bond in order to increase the concentration of the reactive double bond by introducing a reactive double bond with an unsaturated alcohol. It may be used to increase the reactive double bond concentration.

상기 공중합체(a) 및 (b)의 제조 방법은 특별히 한정되지 않고, 공지의 방법 (예를 들면, 특허문헌 11~13 등 참조)에 준해서 행할 수 있다. 공중합체에의 반응성 이중결합의 부여는 경화도 및 내쇄성의 점에서 바람직하다.The manufacturing method of the said copolymer (a) and (b) is not specifically limited, It can carry out according to a well-known method (for example, refer patent documents 11-13 etc.). The provision of the reactive double bond to the copolymer is preferable in terms of degree of curing and chain resistance.

상기 (8)테르펜페놀수지로서는 종래 공지의 것을 넓게 사용할 수 있다. 구체적으로는, 타마놀 803L 및 901(황천화학공업주식회사 제조 상품명)을 바람직한 예로서 들 수 있다.As said (8) terpene phenol resin, a conventionally well-known thing can be used widely. Specifically, tamanol 803L and 901 (trade name of a sulfur chemical company) are mentioned as a preferable example.

상기 (9)알킬페놀수지로서는 종래 공지의 것을 넓게 사용할 수 있다. 구체적으로는 타마놀 520S, 521, 526, 586 및 572S(황천화학공업주식회사 제조 상품명)를 바람직한 예로서 들 수 있다.As said (9) alkylphenol resin, a conventionally well-known thing can be used widely. Specifically, tamanol 520S, 521, 526, 586, and 572S (The brand name of a sulfur chemical company make) are mentioned as a preferable example.

상기 (10)멜라민-포름알데히드수지는 멜라민과 포름알데히드의 부가축합반응에 의하여 얻어지는 수지이고, 공지의 멜라민-포름알데히드수지를 넓게 사용할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 하리마화성주식회사의 반세린 SM-960(상품명)을 사용하는 것이 바람직하다.The (10) melamine-formaldehyde resin is a resin obtained by the addition condensation reaction of melamine and formaldehyde, and a known melamine-formaldehyde resin can be widely used. Specifically, it is preferable to use Banserin SM-960 (brand name) of Harima Chemical Co., Ltd., for example.

상기 (11)케톤수지로서는 공지의 케톤수지를 사용할 수 있고, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 케톤류와 포름알데히드를 공지의 방법으로 반응시켜서 얻을 수 있다. 케톤류로서는 예를 들면, 메틸에틸케톤, 메틸이소프로필케톤, 아세토페논, 시클로헥사논, 메틸시클로헥사논 등을 들 수 있고, 특히, 시클로헥사논과 아세토페논이 바람직하다. 케톤수지로서는 하기식(15)로 나타내어진 시클로헥산계 케톤수지, 및 하기식(16)으로 나타내어진 구조를 가지는 아세토페논계 케톤수지가 바람직하다.As said (11) ketone resin, a well-known ketone resin can be used and it is not specifically limited. For example, it can obtain by making ketones and formaldehyde react by a well-known method. As ketones, methyl ethyl ketone, methyl isopropyl ketone, acetophenone, cyclohexanone, methylcyclohexanone, etc. are mentioned, for example, Cyclohexanone and acetophenone are preferable. As ketone resin, the cyclohexane ketone resin represented by following formula (15), and the acetophenone ketone resin which has a structure represented by following formula (16) are preferable.

[화 17][Tue 17]

Figure 112005020314492-pct00017
Figure 112005020314492-pct00017

[화 18][Tue 18]

Figure 112005020314492-pct00018
Figure 112005020314492-pct00018

식(15) 및 식(16)에 있어서, m, n은 각각 1 이상의 정수이다.In Formulas (15) and (16), m and n are each an integer of 1 or more.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물에 있어서 수지(C)의 함유 비율은 (A)성분, (B)성분, (C)성분 및 (D)성분의 고형분 총량에 대해서 1~40중량% 인 것이 바람직하고, 5~30중량% 가 보다 바람직하다.In the positive photosensitive composition of the present invention, the content ratio of the resin (C) is preferably 1 to 40% by weight based on the total amount of solids of the component (A), (B), (C) and (D) , 5 to 30% by weight is more preferable.

상기 용해저지제(D)는 노광부와 비노광부의 알칼리 현상액에 대한 용해성의 시간차를 증대시키려는 목적에서 배합되고, 알칼리 가용성 유기 고분자 물질과 수소결합을 형성해서 고분자 물질의 용해성을 저하시키는 기능을 가지고, 또, 적외 영역의 광을 거의 흡수하지 않고, 적외 영역의 광으로 분해되지 않는 것을 사용할 수 있다.The dissolution inhibiting agent (D) is blended for the purpose of increasing the time difference of solubility in the alkaline developer of the exposed portion and the non-exposed portion, and has a function of forming a hydrogen bond with the alkali-soluble organic polymer material to reduce the solubility of the polymer material. Moreover, the thing which hardly absorbs the light of an infrared region and does not decompose into the light of an infrared region can be used.

상기 용해저지제(D)로서는 하기식(1)로 나타내어진 화합물(4,4'-[1-[4-[1- (4-히드록시페닐)-1-메틸에틸]페닐]에틸덴]비스페놀)을 사용하는 것이 바람직하다.As said dissolution inhibitor (D), the compound represented by following formula (1) (4,4 '-[1- [4- [1- (4-hydroxyphenyl) -1-methylethyl] phenyl] ethyldene] Bisphenol).

[화 19][Tue 19]

Figure 112005020314492-pct00019
Figure 112005020314492-pct00019

또, 용해저지제(D)로서, 공지의 용해저지제를 사용할 수 있다. 구체적으로는 술폰산에스테르, 인산에스테르, 방향족 카르본산에스테르, 방향족 디술폰, 카르본산 무수물, 방향족 케톤, 방향족 알데히드, 방향족 아민, 방향족 에테르 등이나, 락톤골격, 티오락톤골격, N,N-디아릴아미드골격, 또는 디아릴메틸이미노골격을 가지는 산발색성 색소, 락톤골격, 티오락톤골격, 또는 술포락톤골격을 가지는 염기발색성 색소, 비이온성 계면활성제 등을 들 수 있고, 이들 중에서는 락톤골격을 가지는 산발색성 색소가 바람직하다.Moreover, a well-known dissolution inhibitor can be used as a dissolution inhibitor (D). Specifically, sulfonic acid ester, phosphate ester, aromatic carboxylic acid ester, aromatic disulfone, carboxylic anhydride, aromatic ketone, aromatic aldehyde, aromatic amine, aromatic ether, etc., lactone skeleton, thiolactone skeleton, N, N-diaryl Acid-chromic dyes having an amide skeleton, or a diarylmethylimino skeleton, a lactone skeleton, a thiolactone skeleton, a base-chromic pigment having a sulfolactone skeleton, a nonionic surfactant, and the like, among which are mentioned. Acid-chromic pigments having

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물에 있어서 용해저지제(D)의 함유 비율은 (A)성분, (B)성분, (C)성분 및 (D)성분의 고형분 총량에 대해서, 0.5~8중량% 인 것이 바람직하고, 1~5중량% 가 보다 바람직하다. 이들 용해저지제는 단독으로 사용해도 바람직하고, 2종 이상 병용해도 바람직하다.In the positive photosensitive composition of the present invention, the content ratio of the dissolution inhibiting agent (D) is 0.5 to 8% by weight based on the total solid content of the components (A), (B), (C) and (D). It is preferable, and 1 to 5 weight% is more preferable. These dissolution inhibitors may be used alone or in combination of two or more thereof.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물은 상기한 성분에 더해서, 필요에 따라, 안료 또는 염료 등의 착색제, 증감제, 현상촉진제, 도포성 개량제 등의 각종 첨가제를 배합해도 바람직하다. 증감제로서는 광에 의하여 산을 발생하는 화합물(광산발생제)이 바람직하다. 현상촉진제는 예를 들면, 디카르본산 또는 아민류 또는 글리콜류를 미량 첨가하는 것이 바람직하다. In addition to the above-mentioned components, the positive photosensitive composition of this invention may mix | blend various additives, such as a coloring agent, a sensitizer, a development promoter, and a coating property improving agent, such as a pigment or dye as needed. As a sensitizer, the compound (photoacid generator) which generate | occur | produces an acid by light is preferable. It is preferable to add a trace amount of dicarboxylic acid or amines or glycols, for example.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물은 통상 용매에 용해한 용액으로서 사용된다. 용매의 사용 비율은 감광성 조성물의 고형분 총량에 대해서 통상 중량비로 1~20배 정도의 범위이다.The positive photosensitive composition of the present invention is usually used as a solution dissolved in a solvent. The use ratio of a solvent is a range of about 1 to 20 times by weight ratio with respect to solid content total amount of the photosensitive composition normally.

용매로서는 사용 성분에 대해서 충분한 용해도를 가지고, 양호한 도막성을 부여할 수 있는 것이면 특별하게 제한은 없고, 세로솔브계 용매, 프로필렌글리콜계 용매, 에스테르계 용매, 알코올계 용매, 케톤계 용매, 고극성 용매를 사용할 수 있다. 세로솔브계 용매로서는 메틸세로솔브, 에틸세로솔브, 메틸세로슬브아세테이트, 에틸세로솔브아세테이트 등을 들 수 있다. 프로필렌글리콜계 용매로서는 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜디메틸에테르 등을 들 수 있다. 에스테르계 용매로서는 초산부틸, 초산아밀, 락산에틸, 락산부틸, 디에틸옥살레이트, 피루빈산에틸, 에틸-2-히드록시부틸레이트, 에틸아세토아세테이트, 젖산메틸, 젖산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸 등을 들 수 있다. 알코올계 용매로서는 헵탄올, 헥산올, 디아세톤알코올, 퍼퓨릴알코올 등을 들 수 있다. 그 외에, 초산, 또는 이들의 혼합 용매, 또는 이들에 방향족 탄화수소를 첨가한 것 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as long as it has sufficient solubility with respect to a used component, and can provide favorable coating-film property, A vertical solvent solvent, a propylene glycol solvent, ester solvent, alcohol solvent, ketone solvent, high polarity Solvents may be used. Examples of the vertical solver solvent include methyl vertical solver, ethyl vertical solver, methyl vertical solver acetate, ethyl vertical solver acetate, and the like. As the propylene glycol solvent, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol dimethyl ether, etc. Can be mentioned. Examples of the ester solvent include butyl acetate, amyl acetate, ethyl lactate, butyl lactate, diethyl oxalate, ethyl pyruvate, ethyl-2-hydroxybutylate, ethyl acetoacetate, methyl lactate, ethyl lactate, and 3-methoxypropionic acid Methyl etc. are mentioned. Heptanol, hexanol, diacetone alcohol, perfuryl alcohol, etc. are mentioned as alcohol solvent. In addition, nitric acid, these mixed solvents, or the like which added aromatic hydrocarbon to these is mentioned.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물은 통상 상기 각 성분을 세로솔브계 용매, 프로필렌글리콜계 용매 등의 용매에 용해한 용액으로서 지지체 표면인 그라비아인쇄용 피제판롤의 동도금면 또는 황산동도금면에 도포하여 자연건조한 후, 고속회전해서 피제판롤의 표면에서 바람을 끊어 감광막 내에서 원심력에 의한 질량작용과 표면부근이 약간의 가압상태로 되는 것에서 용제 잔류 농도를 6% 이하로 저감하는 것에 의하여, 지지체 표면에 감광성 조성물층이 형성된 포지티브형 감광막으로 된다.The positive photosensitive composition of the present invention is usually a solution in which each component is dissolved in a solvent such as a vertical solvent solvent, a propylene glycol solvent, or the like, and then applied to the copper plated surface or copper sulfate plated surface of the gravure printing surface coating roll on the support surface and then dried naturally. The surface of the photosensitive composition is reduced on the surface of the support by reducing the solvent residual concentration to 6% or less by rotating at a high speed and cutting off the wind from the surface of the platen roll to cause mass action by the centrifugal force in the photosensitive film and a slight vicinity of the surface. It becomes a positive photosensitive film in which a layer was formed.

도포방법으로서, 메니스카스 코트, 파운틴 코트, 딕프 코트, 회전도포, 롤도포, 와이어바아도포, 에어나이프도포, 블레이드도포 및 카텐도포 등을 사용할 수 있다. 도포막의 두께는 1~6μm의 범위로 하는 것이 바람직하고, 3~5μm로 하는 것이 더 바람직하다.As a coating method, a meniscus coat, a fountain coat, a dip coat, a rotary coating, a roll coating, a wire bar coating, an air knife coating, a blade coating, a caten coating and the like can be used. It is preferable to set it as the range of 1-6 micrometers, and, as for the thickness of a coating film, it is more preferable to set it as 3-5 micrometers.

포지티브형 감광성 조성물을 화상 노광하는 광원으로서는 파장 700~1,100nm의 적외레이저광선을 발생하는 반도체 레이저나 YAG 레이저가 바람직하다. 그 외에, 루비레이저, LED 등의 고체 레이저를 사용할 수 있다. 레이저 광원의 광강도로서는 2.0×106mJ/s·cm2 이상으로 하는 것이 바람직하고, 1.0×107mJ/s·cm2 이상으로 하는 것이 특히 바람직하다. As a light source which image-exposes a positive photosensitive composition, a semiconductor laser and a YAG laser which generate the infrared laser beam of wavelength 700-1,100 nm are preferable. In addition, solid lasers, such as a ruby laser and LED, can be used. As light intensity of a laser light source, it is preferable to set it as 2.0 * 10 <6> mJ / s * cm <2> or more, and it is especially preferable to set it as 1.0 * 10 <7> mJ / s * cm <2> or more.

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물을 사용해서 형성한 감광막에 대해 사용하는 현상액으로서는, 무기알칼리(예를 들면, Na, K의 염 등), 또는 유기 알칼리 ( 예를 들면, TMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide) 또는 콜린 등) 등의 무기 또는 유기 알칼리로 이루어진 현상제가 바람직하다.As a developer used for the photosensitive film formed using the positive photosensitive composition of this invention, inorganic alkali (for example, salt of Na, K, etc.), or organic alkali (for example, TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)) Or a developer made of an inorganic or organic alkali such as choline).

현상은 침지현상, 스프레이현상, 초음파현상 등에 의하여 통상 15~45℃ 정도의 온도, 바람직하게는 22~32℃에서 행한다.The development is usually carried out at a temperature of about 15 to 45 ° C., preferably at 22 to 32 ° C., by immersion, spray or ultrasonic development.

이하에 실시예를 들어서 본 발명을 더 구체적으로 설명하지만, 이들 실시예는 예시적으로 나타낸 것으로 한정적으로 해석되어서는 안되는 것은 말할 것도 없다.Although an Example is given to the following and this invention is demonstrated to it further more concretely, it is a matter of course that these Examples are shown as an illustration and should not be interpreted limitedly.

(실시예 1)(Example 1)

표 1에 나타낸 배합 물질 및 배합 비율에 의한 포지티브형 감광성 조성물(고형분 5%)을 조제하여 테스트 감광액으로 했다.The positive photosensitive composition (5% of solid content) by the compounding material and compounding ratio shown in Table 1 was prepared, and it was set as the test photosensitive liquid.

[표 1]TABLE 1

배합물질Compound 배합량 (중량부)Compounding amount (part by weight) 성분(A)Ingredient (A) 노볼락수지 Novolak Resin 100100 성분(B)Ingredient (B) 근적외선흡수색소 1 Near infrared ray absorption pigment 1 1 One 성분(C)Ingredient (C) PVP/VA 코폴리머 PVP / VA Copolymer 5 5 성분(D)Ingredient (D) 용해저지제 1 Dissolution inhibitor 1 5 5 용매menstruum PM IPA MEK PM IPA MEK 800 800 600800 800 600

표 1 중의 각 성분은 하기와 같다.Each component of Table 1 is as follows.

노볼락 수지: PR-NMD-100(주우백라이트사 제조)Novolak resin: PR-NMD-100 (manufactured by Juw backlight)

광흡수색소 1: 시아닌계 색소 PVP/VA 코폴리머: 분자량 46,000, 유리전이점 96℃의 비닐피롤리돈과 초산비닐의 공중합체(비닐피롤리돈/초산비닐 50/50)Light Absorption Pigment 1: Cyanine Dye PVP / VA Copolymer: Copolymer of vinyl pyrrolidone and vinyl acetate having a molecular weight of 46,000 and a glass transition point of 96 ° C. (vinylpyrrolidone / vinyl acetate 50/50)

용해저지제 1: 혼슈화학공업(주) 제조, 상품명: TrisP-PA(상기식(1)로 나타낸 화합물)Dissolution inhibitor 1: Honshu Chemical Co., Ltd. make, brand name: TrisP-PA (compound represented by Formula (1))

PM: 프로필렌글리콜모노에테르PM: propylene glycol monoether

IPA: 이소프로필글리콜IPA: Isopropyl Glycol

MEK: 메틸에틸케톤MEK: methyl ethyl ketone

얻어진 테스트 감광액을 사용해서 하기의 실험을 했다. 또, 실험실 내는 25℃, 표 2에 나타낸 습도 조건하에서 실험을 했다. 롤모체가 철인 황산동도금되고 경면연마된 200φmm의 피제판롤을, 파운틴 코팅장치(제습장치와 가습장치가 부설되어 있어서 습도를 원하는 대로 조절할 수 있는 장치)로 양단 처크해서 25r.p.m으로 회전하고, 와이핑클로스로 충분하게 닦아서 세정했다. 또, 파운틴 코팅장치는 포지티브형 감광성 조성물 중의 용제가 코팅 중에 증발해서 용제의 비율이 변화하는 것을 회피하는 것이다.The following experiment was done using the obtained test photosensitive liquid. In addition, the experiment was performed in 25 degreeC and the humidity conditions shown in Table 2. The copper plated roll of 200φmm coated with copper sulfate and mirror-polished with iron iron is rotated at 25r.pm by both ends with a fountain coating device (a device that can control the humidity as desired by installing a dehumidifying device and a humidifying device). Wipe clean enough by wiping cloth. In addition, the fountain coating apparatus avoids that the solvent in a positive photosensitive composition evaporates during coating, and the ratio of a solvent changes.

그 후, 상단으로 테스트 감광액이 용출하는 파이프를 피제판롤의 일단에 약 500μm의 갭을 가지도록 위치시키고, 테스트 감광액을 코팅에 필요한 양만큼 용출되도록 해서, 파이프를 피제판롤의 일단부터 타단까지 이동해서 스파이럴스캔방식으로 테스트 감광액을 균일하게 도포하고, 도포 종료부터 5분간 25r.p.m으로 회전을 속행한 후 회전 정지했다.Thereafter, the pipe from which the test photosensitive solution elutes is positioned at one end of the platelet roll to have a gap of about 500 μm, and the test photosensitive solution is eluted by the amount necessary for coating, so that the pipe from one end to the other end of the platelet roll is removed. The test photosensitive liquid was uniformly coated by the spiral scanning method, and the rotation was stopped after continuing the rotation at 25 r.pm for 5 minutes from the end of the coating.

5분간 기다려서 액흐름에 관해 관찰한 결과, 육안으로 액흐름이 생겼던 것을 관찰할 수 없었다. 그리고, 막두께 측정을 한 결과 롤의 하면 부분과 상면 부분에 서 차이는 없었다. 또, 액흐름이 생기지 않는 상태에서 건조한 감광막을 세트할 수 있었던 것을 확인했다.After waiting for 5 minutes to observe the flow, it was not possible to observe the appearance of the liquid. And as a result of measuring the film thickness, there was no difference in the lower surface part and the upper surface part of a roll. In addition, it was confirmed that the dry photosensitive film could be set in a state where no liquid flow occurred.

계속해서, 시험롤을 100r.p.m으로 20분간 회전해서 정지하고, 감광막 중의 용제 잔류 농도를 측정한 결과 2.9%였다.Subsequently, the test roll was rotated and stopped at 100 r · p · m for 20 minutes, and the solvent residual concentration in the photosensitive film was measured, and the result was 2.9%.

이어서, 시험롤을 크레오싸이택스사의 고출력 반도체 레이저 헤드를 탑재한 노광장치(주식회사 씽크·라보라토리 제조)에 설치해서 시험롤에 적외파장 영역의 레이저를 조사해서 포지티브 화상을 인화하고, 다음으로, 시험롤을 현상 장치에 설치하여 회전해서 현상조(槽)를 상승시켜서 잔사가 없게 될 때까지 현상을 하고, 그 후 수세했다. 또, 현상액은 KOH 4.2%(25℃)를 사용했다. 얻어진 레지스트 화상을 현미경으로 평가했다. 결과를 표 2에 나타냈다.Subsequently, a test roll was installed in an exposure apparatus (manufactured by Think Laboratories Co., Ltd.) equipped with CreoTax's high-power semiconductor laser head, and the test roll was irradiated with an infrared wavelength laser to print a positive image. The test roll was installed in a developing apparatus, rotated to raise the developing tank, and developed until there was no residue, followed by washing with water. In addition, KOH 4.2% (25 degreeC) was used for the developing solution. The obtained resist image was evaluated under a microscope. The results are shown in Table 2.

[표 2]TABLE 2

습도 (%)Humidity (%) 밀착성Adhesion 감도 (mJ/cm2)Sensitivity (mJ / cm 2 ) 현상 (초)Symptoms (seconds) 잔막율 (%)Residual Rate (%) 화상burn 에지의 해상성Edge resolution 현상 래터튜드Phenomenon Latter 실시예 1-1Example 1-1 3535 220220 7575 7575 실시예 1-2Example 1-2 4545 220220 7575 7474 실시예 1-3Example 1-3 5555 220220 7575 7373

표 2 중의 평가 방법은 하기와 같다.The evaluation method in Table 2 is as follows.

1) 에지의 해상성1) Resolution of the edges

도 1에 나타낸 해상력 테스트 패턴을 사용해서, 시송(市松)모양, 그레이칭 7.9μm 선의 에지가 샤프한 지 어떤 지를 측정했다. 표 중의 ◎는 양호한 결과로 해상성이 합격, ×는 화상이 없어서 제판할 수 없고 해상성이 불합격.Using the resolution test pattern shown in FIG. 1, it was measured whether the edge of the line shape and grazing 7.9 micrometers line was sharp. In the table,? Indicates that the resolution is acceptable, and x does not have an image and cannot be plated, and the resolution fails.

2) 현상 래터튜드2) Developing Latitude

대일본인쇄주식회사의 셀창고(藏)(망점의 개공율 자동측정 가능 장치)를 사용해서 측정을 했다. 현상의 회수를 많게 한 테스트(본 실시예에서는 3회)에 의하여, 7.9μm×7.9μm의 노광으로, 셀면적 계산에서 60-75μm2에 들어가 있는 경우는 인쇄농도의 허용 범위에 들어가 있기 때문에 양호하고, 표에서 ◎로 나타냈다. 인쇄 허용 범위외의 경우를 표에서 ×로 나타냈다.The measurement was carried out using a cell warehouse (a device capable of automatically measuring the porosity of the dots) of Dae Nippon Printing Co., Ltd. According to the test that increased the number of times of development (three times in this example), when the exposure is 7.9 μm × 7.9 μm, and the cell area calculation is within 60-75 μm 2 , it is within the allowable range of the print density. In the table,? Is indicated. In the table, cases outside the printing allowable range are indicated by x.

3) 밀착성3) Adhesion

tesa test; DIN EN ISO 2409 tesa 테입에 의한 바둑판눈금(碁盤目) 테스트로 100매스가 모두 남아 있는 경우를 ◎, 20% 미만의 범위에서 박리된 경우를 ○, 20% 이상 박리한 경우를 ×로 했다.tesa test; (Circle) and the case where it peeled in less than 20% of the case where 100 masses remain | survived by the checkerboard scale test by DIN EN ISO 2409 tesa tape were made into x.

4) 감도4) Sensitivity

노광량을 기준화상패턴의 재현성에 가까운 것으로 감도를 결정. 노광기는 크레오사의 서멀이미징헤드를 사용했다.Sensitivity is determined by the exposure amount being close to the reproducibility of the reference image pattern. The exposure machine used Creo's thermal imaging head.

5) 현상5) phenomenon

잔사가 없게 될 때까지의 현상 시간을 측정했다.The developing time until there was no residue was measured.

6) 잔막률6) Residual rate

도막의 두께를 측정하는 장치인 FILMETRICS Thin Film Analyzer F20(Filmetrics Co 제조)를 사용해서, 현상 전의 막두께, 현상 후의 막두께를 측정하여 잔막율을 산출했다.The film thickness before image development and the film thickness after image development were measured using FILMETRICS Thin Film Analyzer F20 (made by Filmetrics Co.) which is an apparatus which measures the thickness of a coating film, and the residual film ratio was computed.

7) 화상7) burns

오리지날 화상에 재현성이 가까운 지 어떤 지를 평가했다. ◎: 대단히 양호, ×: 대단히 나쁨, -: 현상으로 화상이 없게 됨.We evaluated whether reproducibility was close to the original image. (Double-circle): Very good, x: Very bad,-: No image by image development.

감광액 테스트 패턴과 계측 개소를 도 1에 나타냈다. 도 1 중의 계측 개소에 대한 체크 항목 및 측정 방법을 표 3에 나타냈다.The photosensitive liquid test pattern and measurement point were shown in FIG. Table 3 shows check items and measurement methods for the measurement points in FIG. 1.

[표 3]TABLE 3

계측개소Measurement point 체크항목Check item 사진촬영Photo shoot 면적측정 (셀창고)Area measurement (cell warehouse) 현상잔사의 유무Status of present residue -- -- 1 픽셀 시송1 pixel feed -- 1 픽셀 하일라이트1 pixel highlight 7μm 그레이칭7μm grazing

표 2에 나타낸 것처럼, 실시예 1의 포지티브형 감광성 조성물은 25℃의 실온, 습도 35~55%의 조건하에서, 70초 정도로 잔사가 없는 샤프한 패턴이 얻어지는 양호한 현상이 되었다. 현상래터튜드도 양호했다.As shown in Table 2, the positive photosensitive composition of Example 1 became a favorable phenomenon that the sharp pattern without a residue was obtained in about 70 second on 25 degreeC room temperature and 35-55% of conditions. Developing latitude was also good.

또, 황산동도금면에 대신해서 구리면 또는 알루미늄면을 사용한 경우에 관해서도 실험을 행했지만 모두 실시예 1과 동일, 양호한 결과가 얻어졌다. 알루미늄면의 경우 특히 넓은 현상래터튜드가 얻어졌다.Moreover, although the case where the copper surface or the aluminum surface was used instead of the copper sulfate plating surface, experiment was carried out, but all were the same as Example 1, and the favorable result was obtained. In the case of the aluminum plane, a particularly wide development latencies have been obtained.

(실시예 2~6)(Examples 2-6)

표 4에 나타낸 것처럼 조성물 중의 성분(B)를 변경한 이외에는 실시예 1과 동일하게 실험을 했다. 또, 측정조건은 습도 45%의 조건하에서 행한 것이다. 결과를 함께 표 4에 나타낸다.As shown in Table 4, experiment was carried out similarly to Example 1 except having changed the component (B) in a composition. In addition, measurement conditions were performed on the conditions of 45% of humidity. The results are shown in Table 4 together.

[표 4]TABLE 4

성분 (B)Ingredient (B) 밀착성Adhesion 감도 (mJ/cm2)Sensitivity (mJ / cm 2 ) 현상 (초)Symptoms (seconds) 잔막율 (%)Residual Rate (%) 화상burn 에지의 해상성Edge resolution 현상 래터튜드Phenomenon Latter 실시예 2Example 2 색소 2Pigment 2 220220 7575 7676 실시예 3Example 3 색소 3Coloring 3 220220 7575 7373 실시예 4Example 4 색소 4Coloring 4 220220 7575 7272 실시예 5Example 5 색소 5Pigment 5 220220 7575 7373 실시예 6Example 6 색소 6Pigment 6 220220 7575 7575

표 4 중, 성분 (B)의 배합량은 실시예 1과 동일하고, 색소2 ~ 색소6은 각각 상기식 (2), (4) ~ (7)로 나타낸 화합물이다.In Table 4, the compounding quantity of a component (B) is the same as that of Example 1, and the pigment | dye 2-the pigment | dye 6 are compounds represented by said formula (2), (4)-(7), respectively.

(실시예 7~9)(Examples 7-9)

표 5에 나타낸 것처럼 조성물 중의 성분(A)를 변경한 이외에는 실시예 1과 동일하게 실험을 했다. 또, 측정조건 45%의 조건하에서 행한 것이다. 결과를 표 5에 함께 나타냈다.As shown in Table 5, experiment was carried out similarly to Example 1 except having changed the component (A) in a composition. Moreover, it performed on the conditions of 45% of measurement conditions. The result was combined with Table 5 and shown.

[표 5]TABLE 5

성분 (A)Ingredient (A) 밀착성Adhesion 감도 (mJ/cm2)Sensitivity (mJ / cm 2 ) 현상 (초)Symptoms (seconds) 잔막율 (%)Residual Rate (%) 화상burn 에지의 해상성Edge resolution 현상 래터튜드Phenomenon Latter 실시예7Example 7 수지 1Resin 1 220220 7575 7272 실시예8Example 8 수지 2Resin 2 220220 7575 7474 실시예9Example 9 수지 3Resin 3 220220 7575 7575

표 5 중, 성분(A)의 배합량은 실시예 1과 동일하고, 수지1 ~ 3은 하기와 같다.In Table 5, the compounding quantity of a component (A) is the same as that of Example 1, and resin 1-3 is as follows.

수지 1: 알킬페놀수지(상품명 히타놀 2181, 일립화성(주) 제조)Resin 1: Alkylphenol resin (trade name Hitanol 2181, manufactured by Ellipse Co., Ltd.)

수지 2: p-비닐페놀아크릴산부틸 공중합체(상품명 마루카링카 CBA, 환선석유 사 제조)Resin 2: p-vinylphenol butyl acrylate copolymer (brand name Maru Carerca CBA, circulating oil company)

수지 3: 폴리비닐페놀수지(상품명 마루카링카 M, 환선석유사 제조)Resin 3: polyvinyl phenol resin (brand name Maru Caring Car M, circulating oil company)

(실시예 10~20)(Examples 10-20)

성분(C)로서 PVP/VA 코폴리머 대신에 표 6에 나타낸 각 폴리머를 사용한 이외에는 실시예 1과 동일하게 실험을 했다. 또, 측정조건은 습도 45%의 조건하에서 행한 것이다. 결과를 표 6에 함께 나타냈다.The experiment was carried out in the same manner as in Example 1, except that each polymer shown in Table 6 was used instead of the PVP / VA copolymer as the component (C). In addition, measurement conditions were performed on the conditions of 45% of humidity. The result was combined with Table 6 and shown.

[표 6]TABLE 6

실시예 번호Example number 성분 (C)Ingredient (C) 밀착성Adhesion 감도 (mJ/cm2)Sensitivity (mJ / cm 2 ) 현상 (초)Symptoms (seconds) 잔막율 (%)Residual Rate (%) 화상burn 에지의 해상성Edge resolution 현상 래터튜드Phenomenon Latter 1010 폴리머 1Polymer 1 180180 7575 7575 1111 폴리머 2Polymer 2 180180 7070 6969 1212 폴리머 3Polymer 3 180180 7575 7474 1313 폴리머 4Polymer 4 180180 7575 6969 1414 폴리머 5Polymer 5 180180 7272 7373 1515 폴리머 6Polymer 6 180180 7575 7575 1616 폴리머 7Polymer 7 180180 7272 7272 1717 폴리머 8Polymer 8 180180 7373 7373 1818 폴리머 9Polymer 9 180180 7070 7070 1919 폴리머 10Polymer 10 180180 6969 6969 2020 폴리머 11Polymer 11 180180 6868 6868

표 6 중, 성분 (C)의 배합량은 실시예 1과 동일하고, 폴리머1 ~ 11은 하기와 같다.In Table 6, the compounding quantity of a component (C) is the same as that of Example 1, and polymers 1-11 are as follows.

폴리머 1: GAFQUAT 734(ISP사제조, 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머)Polymer 1: GAFQUAT 734 (manufactured by ISP, vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer)

폴리머 2: GAFFIX VC-713(ISP사제조, 비닐피롤리돈/비닐카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 타폴리머)Polymer 2: GAFFIX VC-713 (manufactured by ISP, vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate tapolymer)

폴리머 3: 싸크놀 SN-09T(전기화학공업(주) 제조, 폴리초산비닐)Polymer 3: Saxol SN-09T (manufactured by Electrochemical Industry Co., Ltd., polyvinyl acetate)

폴리머 4: 덴카부틸알 #3000(전기화학공업(주) 제조, 폴리비닐부틸알)Polymer 4: Dencabutylal # 3000 (manufactured by Electrochemical Industry Co., Ltd., polyvinylbutylal)

폴리머 5: 비닐렉-K 타입(칙소사 제조, 폴리비닐포름알)Polymer 5: Vinyl Rec-K type (Chick Sosa, polyvinyl formal)

폴리머 6: 옥시락 SH-101 유도체(글리시딜메타크릴레이트 부가한 스티렌/말레인산계 공중합체, 산가 80)Polymer 6: Oxylac SH-101 derivative (glycidyl methacrylate-added styrene / maleic acid copolymer, acid value 80)

폴리머 7: 타마놀 803L(황천화학공업(주) 제조, 테르펜페놀수지)Polymer 7: tamanol 803L (manufactured by Hwangcheon Chemical Co., Ltd., terpene phenol resin)

폴리머 8: 타마놀 520S(황천화학공업(주) 제조, 알킬페놀수지)Polymer 8: Tamanol 520S (manufactured by Hwangcheon Chemical Co., Ltd., alkylphenol resin)

폴리머 9: 반세린 SM-960(하리마화성(주) 제조, 멜라민/포름알데하이드수지)Polymer 9: Banserine SM-960 (manufactured by Harima Chemical Co., Ltd., melamine / formaldehyde resin)

폴리머 10: 하이락 111(일립화성(주) 제조, 시클로헥산수지)Polymer 10: Hylock 111 (manufactured by Iso Chemical Co., Ltd., cyclohexane resin)

폴리머 11: 하이락 110H(일립화성(주) 제조, 아세트페놀수지)Polymer 11: Hylock 110H (manufactured by Iso Chemical Co., Ltd., acetphenol resin)

(실시예 21~42)(Examples 21 to 42)

성분 (A) 및 성분 (C)를 표 7 또는 표 8에 나타내는 수지 및 폴리머를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 실험을 했다. 측정조건은 습도 45%의 조건하에 행한 것이다. 결과를 표 7, 8에 같이 나타냈다. 또, 표 7 및 표 8 중, 성분(A) 및 성분(C)의 배합량은 실시예 1과 동일하고, 수지 2, 3은 표5와 동일하고, 폴리머1 ~ 11은 표 6과 동일하다.Experiments were carried out in the same manner as in Example 1, except that the resins and polymers shown in Tables 7 or 8 were used for the component (A) and the component (C). Measurement conditions were performed under the conditions of 45% humidity. The results are shown in Tables 7 and 8. In addition, in Table 7 and Table 8, the compounding quantity of a component (A) and a component (C) is the same as that of Example 1, resins 2 and 3 are the same as Table 5, and polymers 1-11 are the same as Table 6.

[표 7]TABLE 7

실시예 번호Example number 성분 (A)Ingredient (A) 성분 (C)Ingredient (C) 밀착성Adhesion 감도 (mJ/cm2)Sensitivity (mJ / cm 2 ) 현상 (초)Symptoms (seconds) 잔막율 (%)Residual Rate (%) 화상burn 에지의 해상성Edge resolution 현상 래터튜드Phenomenon Latter 2121 수지 2Resin 2 폴리머 1Polymer 1 180180 7575 7575 2222 수지 2Resin 2 폴리머 2Polymer 2 180180 7070 6969 2323 수지 2Resin 2 폴리머 3Polymer 3 180180 7575 7474 2424 수지 2Resin 2 폴리머 4Polymer 4 180180 7575 6969 2525 수지 2Resin 2 폴리머 5Polymer 5 180180 7272 7373 2626 수지 2Resin 2 폴리머 6Polymer 6 180180 7575 7575 2727 수지 2Resin 2 폴리머 7Polymer 7 180180 7272 7272 2828 수지 2Resin 2 폴리머 8Polymer 8 180180 7373 7373 2929 수지 2Resin 2 폴리머 9Polymer 9 180180 7070 7070 3030 수지 2Resin 2 폴리머 10Polymer 10 180180 6969 6969 3131 수지 2Resin 2 폴리머 11Polymer 11 180180 6868 6868

[표 8]TABLE 8

실시예 번호Example number 성분 (A)Ingredient (A) 성분 (C)Ingredient (C) 밀착성Adhesion 감도 (mJ/cm2)Sensitivity (mJ / cm 2 ) 현상 (초)Symptoms (seconds) 잔막율 (%)Residual Rate (%) 화상burn 에지의 해상성Edge resolution 현상 래터튜드Phenomenon Latter 3232 수지 3Resin 3 폴리머 1Polymer 1 180180 7575 7575 3333 수지 3Resin 3 폴리머 2Polymer 2 180180 7070 6969 3434 수지 3Resin 3 폴리머 3Polymer 3 180180 7575 7474 3535 수지 3Resin 3 폴리머 4Polymer 4 180180 7575 6969 3636 수지 3Resin 3 폴리머 5Polymer 5 180180 7272 7373 3737 수지 3Resin 3 폴리머 6Polymer 6 180180 7575 7575 3838 수지 3Resin 3 폴리머 7Polymer 7 180180 7272 7272 3939 수지 3Resin 3 폴리머 8Polymer 8 180180 7373 7373 4040 수지 3Resin 3 폴리머 9Polymer 9 180180 7070 7070 4141 수지 3Resin 3 폴리머 10Polymer 10 180180 6969 6969 4242 수지 3Resin 3 폴리머 11Polymer 11 180180 6868 6868

(비교예 1~3)(Comparative Examples 1 to 3)

표 9에 나타낸 것처럼 포지티브형 감광성 조성물의 배합을 변경한 이외에는 실시예 1과 동일하게 실험을 했다. 또, 측정조건은 습도 45%의 조건하에서 행했다. 결과를 표 10에 나타낸다.As shown in Table 9, the experiment was carried out in the same manner as in Example 1 except that the formulation of the positive photosensitive composition was changed. In addition, measurement conditions were performed on the conditions of 45% of humidity. The results are shown in Table 10.

[표 9]TABLE 9

비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3 성분(A) 노보락수지 Ingredient (A) Novolak Resin 100100 100100 100100 성분(B) 광흡수색소 1 Component (B) Light Absorption Pigment 1 1One 1One 1One 티탄유기화합물           Titanium Organic Compound ­­ 22 ­­ 이미다졸실란           Imidazolesilane ­­ ­­ 22 용제 PM IPA MEK Solvent PM IPA MEK 800 800 600800 800 600 800 800 600800 800 600 800 800 600800 800 600

표 9 중, 노볼락수지, 광흡수 색소 1 및 용제는 표1과 동일하고, 다른 성분은 하기와 같다.In Table 9, a novolak resin, the light absorption pigment | dye 1, and a solvent are the same as Table 1, and the other components are as follows.

티탄유기화합물: 송본공업제약(주) 제조의 올가틱스 TA-10(티탄알콕시드)Titanium Organic Compound: Organics TA-10 (titanium alkoxide) manufactured by Song-Bon Pharmaceutical Co., Ltd.

이미다졸실란: 하기식(17)의 구조를 가지는 실란커플링제. 단, 식 17중, R1~R4는 각각 알킬기, n은 1~3의 정수이다.Imidazole silane: The silane coupling agent which has a structure of following formula (17). However, in Formula 17, R <1> -R <4> is an alkyl group and n is an integer of 1-3 respectively.

[화 20][Tue 20]

Figure 112005020314492-pct00020
Figure 112005020314492-pct00020

[표 10]TABLE 10

밀착성Adhesion 감도 (mJ/cm2)Sensitivity (mJ / cm 2 ) 현상 (초)Symptoms (seconds) 잔막율 (%)Residual Rate (%) 화상burn 에지의 해상성Edge resolution 현상 래터튜드Phenomenon Latter 비교예 1Comparative Example 1 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 2Comparative Example 2 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 3Comparative Example 3 180-250180-250 6060 00 -- ×× ××

표 10에 나타낸 것처럼, 비교예 1~3은 모두 현상 후, 화상이 없게 되고, 현 상래터튜드가 전혀 얻어지지 않았다.As shown in Table 10, all of Comparative Examples 1-3 had no image after development, and no current lattice was obtained.

(비교예 4~15)(Comparative Examples 4-15)

용해저지제 1을 배합한 것 이외에는 실시예1, 실시예 10~20과 동일하게 실시했다. 결과를 표 11에 나타냈다.Except having mix | blended the dissolution inhibitor 1, it implemented similarly to Example 1 and Examples 10-20. The results are shown in Table 11.

[표 11]TABLE 11

밀착성Adhesion 감도 (mJ/cm2)Sensitivity (mJ / cm 2 ) 현상 (초)Symptoms (seconds) 잔막율 (%)Residual Rate (%) 화상burn 에지의 해상성Edge resolution 현상 래터튜드Phenomenon Latter 비교예 4Comparative Example 4 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 5Comparative Example 5 180-250180-250 6060 1212 ×× ×× ×× 비교예 6Comparative Example 6 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 7Comparative Example 7 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 8Comparative Example 8 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 9Comparative Example 9 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 10Comparative Example 10 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 11Comparative Example 11 180-250180-250 6060 1010 ×× ×× ×× 비교예 12Comparative Example 12 180-250180-250 6060 55 ×× ×× ×× 비교예 13Comparative Example 13 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 14Comparative Example 14 180-250180-250 6060 00 -- ×× ×× 비교예 15Comparative Example 15 180-250180-250 6060 00 -- ×× ××

본 발명의 포지티브형 감광성 조성물은 그라비아인쇄용 피제판롤의 황산동도금면에 포지티브형 감광막을 형성하기에 바람직하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 알루미늄, 아연, 동 등의 금속판, 알루미늄, 아연, 동, 철, 크롬, 니켈 등을 도금 또는 증착한 금속판, 수지를 도포한 종이, 알루미늄 등의 금속박을 붙인 종이, 플라스틱 필름, 친수화 처리한 플라스틱 필름, 및 유리판 등에 적용해도 저온에서의 밀착성이 양호하고, 고감도를 얻을 수 있다.The positive photosensitive composition of the present invention is preferable for forming a positive photosensitive film on the copper sulfate plated surface of the gravure printing coated plate roll, but is not limited thereto. Metal plates such as aluminum, zinc, copper, aluminum, zinc, copper, Adhesiveness at low temperatures is good even when applied to metal plates plated or deposited with iron, chromium or nickel, paper coated with resin, paper with metal foil such as aluminum, plastic film, plastic film subjected to hydrophilization treatment, and glass plate, High sensitivity can be obtained.

따라서, 감광성 평판인쇄판, 간이 교정 인쇄용 펄프, 배선판이나 그라비아용 동에칭 레지스트, 평면 디스플레이 제조에 사용되는 컬러필터용 레지스트, LSI제조용 포토레지스트 등에 바람직하게 사용될 수 있다.Therefore, it can be used suitably for the photosensitive flat plate, the simple correction printing pulp, the wiring board, the copper etching resist for gravure, the color filter resist used for flat display manufacture, the photoresist for LSI manufacture, etc.

Claims (7)

페놀성 수산기를 가지는 알칼리 가용성 유기 고분자 물질(A), 화상 노광 광원인 적외선을 흡수해서 열로 변환하는 광열 변환 물질(B), (1)비닐피롤리돈/초산비닐 코폴리머, (2)비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (3)비닐피롤리돈/비닐카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (4)폴리초산비닐, (5)폴리비닐부틸알, (6)폴리비닐포름알, (7)스티렌/말레인산계 공중합체, (8)테르펜페놀수지, (9)알킬페놀수지, (10)멜라민/포름알데히드수지, 및 (11)케톤수지로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 수지(C), 및 용해저지제(D)를 함유하고, 상기 용해저지제(D)가 하기 화학식(1)로 나타내어지는 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물.Alkali-soluble organic polymer material (A) which has a phenolic hydroxyl group, the photothermal conversion material (B) which absorbs infrared rays which are image exposure light sources, and converts it into heat, (1) vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinylpi Ralidone / dimethylaminoethylmethacrylate copolymer, (3) vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / dimethylaminoethylmethacrylate copolymer, (4) polyvinyl acetate, (5) polyvinylbutylal, (6 Polyvinylformal, (7) styrene / maleic acid copolymer, (8) terpenephenol resin, (9) alkylphenol resin, (10) melamine / formaldehyde resin, and (11) ketone resin Positive type photosensitive composition containing at least 1 sort (s) of resin (C) and dissolution inhibiting agent (D), and the said dissolving inhibitor (D) is a compound represented by following General formula (1). [화 21][Tue 21]
Figure 112006080123880-pct00021
Figure 112006080123880-pct00021
삭제delete 제1항에 있어서, 상기 광열 변환 물질(B)가 하기 일반식(2)로 나타내어진 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물.The positive photosensitive composition as claimed in claim 1, wherein the photothermal conversion material (B) is a compound represented by the following general formula (2). [화 22][Tue 22]
Figure 112005048544228-pct00022
Figure 112005048544228-pct00022
[식(2) 중, R1 ~ R6은 각각 독립해서, 수소원자, 탄소수 1~3인 알킬기, 또는 탄소수 1~3인 알콕시기를 나타내고, X는 할로겐원자, ClO4, BF4, p-CH3C6H4SO3, 또는 PF6를 나타낸다.][Formula (2) of, R 1 ~ R 6 are each independently, represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a group having a carbon number of 1 to 3 alkoxy, X is a halogen atom, ClO 4, BF 4, p- CH 3 C 6 H 4 SO 3 , or PF 6. ]
제 1항에 있어서, 상기 광열 변환 물질(B)가 하기 일반식(3)으로 나타내어진 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물.The positive photosensitive composition as claimed in claim 1, wherein the photothermal conversion material (B) is a compound represented by the following general formula (3). [화 23][Tue 23]
Figure 112005048544228-pct00023
Figure 112005048544228-pct00023
[식(3) 중, R7 ~ R10은 각각 독립해서, 수소원자, 메톡시기, N(CH3)2, 또는 N(C2H5)2를 나타내고, Y는 C4H9-B(C6H5)3, p-CH3C6H4SO3, CF3SO3를 나타낸다.]Equation (3) of, R 7 ~ R 10 are each independently, a hydrogen atom, a methoxy group, N (CH 3) 2, or N (C 2 H 5) 2, Y is C 4 H 9 -B (C 6 H 5 ) 3 , p-CH 3 C 6 H 4 SO 3, CF 3 SO 3. ]
제 1항에 기재된 포지티브형 감광성 조성물이 사용되는 것을 특징으로 하는 포토패브리케이션.The positive photosensitive composition of Claim 1 is used, The photofabrication characterized by the above-mentioned. 제 5항에 있어서, 상기 포토패브리케이션이 인쇄판, 전자부품 또는 정밀기기부품인 것을 특징으로 하는 포토패브리케이션.The photofabrication according to claim 5, wherein the photofabrication is a printing plate, an electronic component or a precision instrument component. 제 1항에 기재된 포지티브형 감광성 조성물이 사용되는 것을 특징으로 하는 제판 방법.The positive type photosensitive composition of Claim 1 is used, The making method characterized by the above-mentioned.
KR1020057006749A 2005-04-19 2004-05-27 Positive photosensitive composition KR100693357B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020057006749A KR100693357B1 (en) 2005-04-19 2004-05-27 Positive photosensitive composition

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020057006749A KR100693357B1 (en) 2005-04-19 2004-05-27 Positive photosensitive composition

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060038903A KR20060038903A (en) 2006-05-04
KR100693357B1 true KR100693357B1 (en) 2007-03-12

Family

ID=37146350

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020057006749A KR100693357B1 (en) 2005-04-19 2004-05-27 Positive photosensitive composition

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100693357B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11506550A (en) * 1996-04-23 1999-06-08 ホーセル・グラフィック・インダストリーズ・リミテッド Heat-sensitive composition and method for producing lithographic printing foam using the composition
JPH11202481A (en) 1997-10-28 1999-07-30 Mitsubishi Chemical Corp Positive type photosensitive composition, positive type photosensitive planographic printing plate and processing method for same
JP2002189294A (en) * 2000-12-21 2002-07-05 Mitsubishi Chemicals Corp Positive image forming material
JP2003122025A (en) * 2001-10-15 2003-04-25 Fuji Photo Film Co Ltd Method for manufacturing positive photosensitive lithographic printing plate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11506550A (en) * 1996-04-23 1999-06-08 ホーセル・グラフィック・インダストリーズ・リミテッド Heat-sensitive composition and method for producing lithographic printing foam using the composition
JPH11202481A (en) 1997-10-28 1999-07-30 Mitsubishi Chemical Corp Positive type photosensitive composition, positive type photosensitive planographic printing plate and processing method for same
JP2002189294A (en) * 2000-12-21 2002-07-05 Mitsubishi Chemicals Corp Positive image forming material
JP2003122025A (en) * 2001-10-15 2003-04-25 Fuji Photo Film Co Ltd Method for manufacturing positive photosensitive lithographic printing plate

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060038903A (en) 2006-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100813011B1 (en) Positive-working photosensitive composition
KR20070033357A (en) Positive photosensitive composition
KR100676737B1 (en) Positive photosensitive composition
KR100693357B1 (en) Positive photosensitive composition
JP4081491B2 (en) Positive photosensitive composition
JP4732419B2 (en) Positive photosensitive composition
KR100560281B1 (en) Positive-type photosensitive composition
JP2004177771A (en) Positive photosensitive composition
JP4771473B2 (en) Positive photosensitive composition
JPWO2008126722A1 (en) Positive photosensitive composition
JP4221215B2 (en) Positive photosensitive composition
JP2004177696A (en) Positive photosensitive composition
JP2004177695A (en) Positive photosensitive composition
JP4152719B2 (en) Positive photosensitive composition
JP4091862B2 (en) Positive photosensitive composition
JP4081490B2 (en) Positive photosensitive composition
JP2004212879A (en) Positive type photosensitive composition
JP4732420B2 (en) Plate making method
EP1531058B1 (en) Positive-type photosensitive composition
JP2004177694A (en) Positive photosensitive composition
JP4657276B2 (en) Positive photosensitive composition
JP2004133025A (en) Positive photosensitive composition
JP2004045442A (en) Positive photosensitive composition
JP2004184548A (en) Positive photosensitive composition
JP2004191884A (en) Positive photosensitive composition

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130222

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140221

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150223

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160302

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170224

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180223

Year of fee payment: 12