JP4732419B2 - Positive photosensitive composition - Google Patents

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本発明は、ポジ型感光性組成物に関し、より詳しくは、波長700〜1,100nmのレーザー光に露光感応して該感応部がアルカリ現像液に可溶になる赤外波長域レーザー感応性を有するアルカリ可溶性のポジ型感光性組成物に関する。本発明のポジ型感光性組成物は、フォトファブリケーションにおいて有効に用いることができ、特に、印刷版、電子部品、精密機器部品、偽造防止用関連部材等の製造に適用されるフォトファブリケーションの分野に好適に使用される。   The present invention relates to a positive photosensitive composition. More specifically, the present invention has an infrared wavelength region laser sensitivity in which the sensitive part is soluble in an alkali developer by exposure to laser light having a wavelength of 700 to 1,100 nm. The present invention relates to an alkali-soluble positive photosensitive composition. The positive photosensitive composition of the present invention can be used effectively in photofabrication, and is particularly suitable for photofabrication applied to the production of printing plates, electronic parts, precision instrument parts, anti-counterfeiting related members and the like. It is suitably used in the field.

従来の古いポジ型感光性平版印刷版は、ノボラック樹脂と白色光に感光する物質であるo−キノンジアジド化合物を含んでおり、下記の(I)式に示すように、o−キノンジアジド化合物の光分解(化学変化)によりArndt−Eistert型の転位を起こしてケテン構造になり、水の存在下で5員環カルボン酸を生じること、及び下記の(II)式に示すように、露光部の感光層上部のケテンが感光層下部のナフトキノンジアジドと反応してラクトンを形成し、これがアルカリ水溶液による現像時にラクトン環が開いてカルボン酸ナトリウムとなり、また共存するノボラックもアルカリ可溶性であるので一緒に溶出し、一方、未露光部の感光層は現像時のアルカリによって共存するノボラックと下記式(III)のようにカップリング反応を起こし、アルカリ難溶性となってレジスト画像として残ることが知られている(非特許文献1参照。)。このように、o−キノンジアジド化合物を含んでいると、現像ラチチュードを大きく得られる。   A conventional old positive photosensitive lithographic printing plate contains a novolak resin and an o-quinonediazide compound that is a substance sensitive to white light. As shown in the following formula (I), photolysis of the o-quinonediazide compound (Chemical change) causes an Arndt-Eistert-type rearrangement to form a ketene structure to form a 5-membered carboxylic acid in the presence of water, and as shown in the following formula (II), the photosensitive layer in the exposed area The upper ketene reacts with the naphthoquinone diazide at the lower part of the photosensitive layer to form a lactone, which opens during the development with an aqueous alkali solution to form a lactone ring and becomes sodium carboxylate, and the coexisting novolak is also soluble in alkali and is eluted together. On the other hand, the photosensitive layer in the unexposed area is coupled with a novolak that coexists with alkali during development as shown in the following formula (III). Cause response, become alkali-soluble is known to remain as a resist image (see Non-Patent Document 1.). As described above, when the o-quinonediazide compound is contained, a large development latitude can be obtained.

なお、本願明細書において、現像における膜厚の変化なく(膜減りが少なく)、網点の面積が所定の現像時間で変化がなく、残渣(残り)が突然でるということがない状況で、安定して製版ができる状態を現像のラチチュードが有るという。   In the specification of the present application, there is no change in the film thickness during development (thin film loss is small), there is no change in the halftone dot area during the predetermined development time, and there is no sudden residue (residue). It is said that there is a development latitude that the plate can be made.

これに対し、製版が白色灯下でも行えるようにするため、化学変化以外の変化を利用するポジ型感光性組成物が発明され、赤外波長領域のレーザー光によりポジ画像を焼付け露光部の現像液に対する溶解度を増大させてポジ画像を形成する方法が考え出され、オフセット製版やフレキソ製版で実施されている(例えば、特許文献1〜10等参照。)。   On the other hand, a positive photosensitive composition that uses changes other than chemical changes was invented so that plate making can be performed even under white light, and a positive image was developed by laser light in the infrared wavelength region and developed in the exposed portion. A method for forming a positive image by increasing the solubility in a liquid has been devised, and is practiced by offset plate making and flexo plate making (see, for example, Patent Documents 1 to 10).

上記の各文献に記載されたポジ型感光性平版印刷版は、赤外吸収色素等の赤外光を吸収して熱に変換する物質とノボラック樹脂等のアルカリ可溶性樹脂とを主な感光層成分とし、赤外レーザー光露光で発生した熱によって、樹脂のコンフォメーション変化等の物理変化を起こして現像液に対する溶解度を増大させるものである。   The positive-type photosensitive lithographic printing plate described in each of the above-mentioned documents is mainly composed of a photosensitive layer component containing a substance that absorbs infrared light such as an infrared-absorbing dye and converts it into heat and an alkali-soluble resin such as a novolak resin. The heat generated by the infrared laser light exposure causes a physical change such as a conformational change of the resin to increase the solubility in the developer.

しかしながら、o−キノンジアジド化合物を含まずに、赤外波長領域のレーザー光によりポジ画像を焼付けて樹脂のコンフォメーション変化等の物理変化を起こして溶解性の増大を図るポジ型感光性平版印刷版は、現状においては塗膜後にバーニング(加熱操作)が必要であり、バーニングを行なってもなお露光部と未露光部との溶解速度差が小さく、感度、現像ラチチュード等の印刷版の基本性能が劣等であり、現像処理枚数を増やしたときの現像処理安定性を満足させるのが困難な事情下にある。   However, a positive photosensitive lithographic printing plate that does not contain an o-quinonediazide compound and causes a physical change such as a conformational change of the resin by baking a positive image with a laser beam in the infrared wavelength region to increase the solubility. In the present situation, burning (heating operation) is required after the coating, and even if burning is performed, the difference in dissolution rate between the exposed and unexposed areas is small, and the basic performance of the printing plate such as sensitivity and development latitude is inferior. Therefore, it is difficult to satisfy the development processing stability when the number of development processing sheets is increased.

上記に対し、グラビア製版においては全く事情を相違している。グラビア製版・印刷が最も普及している日本においては、従来、塗膜形成後非加熱で現像ができるポジ型のサーマルレジストを用いてグラビア製版が行なえる、グラビア製版方法は全く実施されていないし、特許文献、実験文献も全くない。   On the other hand, the situation is completely different in gravure plate making. In Japan, where gravure plate-making and printing are most prevalent, gravure plate-making methods that can perform gravure plate-making using a positive thermal resist that can be developed without heating after coating film formation have not been carried out at all. There is no patent literature or experimental literature.

従来において、腐食法/レーザ製版法による被製版ロールのグラビア製版工程は、例えば、搬入−脱脂−水洗−酸洗い−水洗−バラード処理−水洗−バラード銅メッキ−水洗−砥石研磨−水洗−感光剤コート−酸化防止剤コート−赤外線レーザ露光装置による画像焼付−現像−水洗−食刻−水洗−レジスト剥離−水洗−クロムメッキ−水洗−研磨−水洗−搬出の工程となっている。腐食法/レーザ製版法による被製版ロールのグラビア製版工程が開示されている技術文献としては、特許文献11〜29を挙げることが出来る。   Conventionally, the gravure plate making process of the plate making roll by the corrosion method / laser plate making method includes, for example, carry-in, degreasing, water washing, pickling, water washing, ballad treatment, water washing, ballad copper plating, water washing, grinding stone polishing, water washing, and photosensitizer. Coating-antioxidant coating-image printing with an infrared laser exposure apparatus-development-washing-etching-washing-resist peeling-washing-chromium plating-washing-polishing-washing-unloading. Patent Documents 11 to 29 can be cited as technical documents in which a gravure plate making process of a plate making roll by a corrosion method / laser plate making method is disclosed.

上記の文献に記載されているグラビア製版工程は、いずれもネガ型感光性組成物からなる感光膜を塗膜しており、ポジ型感光性組成物からなる感光膜を塗膜するものではない。従来のエッチング法では、被製版ロールにネガ型の感光膜を塗布し塗布膜を室温で乾固してネガ型感光膜とし、アルゴンイオンレーザーにより焼付けを行なっており、被製版ロールにポジ型感光膜を形成して赤外波長のレーザー光によりポジ型感光剤画像を焼付けることは行なわれていない。   All of the gravure plate-making processes described in the above-mentioned documents are coated with a photosensitive film made of a negative photosensitive composition, and are not coated with a photosensitive film made of a positive photosensitive composition. In the conventional etching method, a negative photosensitive film is applied to a plate-making roll, and the coating film is dried at room temperature to form a negative photosensitive film, which is baked with an argon ion laser. No film is formed and a positive-type photosensitive agent image is not printed by an infrared wavelength laser beam.

カナダのクレオサイテックス社の高出力半導体レーザーヘッドは、赤外波長域のレーザーを放射するもので、オフセット印刷機に搭載されポジ型感光性組成物への照射が行なわれ良好な現像を行ない得るものであり世界的に実用されている。   The high-power semiconductor laser head of Creositex, Canada, emits laser light in the infrared wavelength range, and can be mounted on an offset printing press to irradiate a positive photosensitive composition for good development. And is in practical use worldwide.

アルゴンイオンレーザー光のビーム径と波長700〜1,100nmのレーザー光のビーム径が同じ大きさであるならば、レーザーの解像度は、ネガ型よりもポジ型の方が高解像度になりかつ処理時間が大幅に短縮できる。   If the beam diameter of the argon ion laser beam and the beam diameter of the laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 nm are the same size, the resolution of the laser is higher in the positive type than in the negative type and the processing time is increased. Can be greatly shortened.

さらに、ポジ型感光性組成物の感光膜を赤外波長域のレーザーでポジ画像を焼き付ける方が、ネガ型感光性組成物の感光膜をアルゴンイオンレーザーでネガ画像を焼き付けるよりもパターンの切れが良い。これは、ポジ型感光性組成物とネガ型感光性組成物との組成の相違によるパターンの切れの差と考えられる。   Furthermore, the pattern of the positive type photosensitive composition photosensitive film is baked with a laser in the infrared wavelength region than the negative type photosensitive composition photosensitive film is baked with an argon ion laser. good. This is considered to be a difference in pattern cut due to a difference in composition between the positive photosensitive composition and the negative photosensitive composition.

従来において、ポジ型感光性組成物がオフセット製版やフレキソ製版で使用されているのにグラビア製版では使用されて来なかった理由は、ネガ型感光剤がグラビア製版に使用できたからである。ネガ型感光剤は、紫外線を照射して露光部分の樹脂の重合度を固めるものであるので被塗布面の材質がなんであっても現像ラチチュードを必要十分に確保することができる。   The reason why a positive photosensitive composition has not been used in gravure printing, although it has been used in offset printing or flexo printing, is that a negative photosensitive agent can be used for gravure printing. Since the negative type photosensitizing agent cures the degree of polymerization of the resin in the exposed portion by irradiating ultraviolet rays, the development latitude can be ensured sufficiently and sufficiently regardless of the material of the coated surface.

他方、グラビア印刷ロールの硫酸銅メッキとの関係において満足し得る現像ラチチュードを有するポジ型感光性組成物が全く存在しなかった。特に、塗布後にバーニングを行なわない感光性組成物が全く存在しなかったからである。オフセット製版やフレキソ製版で使用されているポジ型感光性組成物をグラビア用の被製版ロールに塗膜しても成膜できる条件が殆どない。多くの場合、グラビア用の被製版ロールへのポジ型感光性組成物の塗膜はアルカリ現像液で全面的に流れてしまう。塗布後にバーニングを行なっても同様である。   On the other hand, there was no positive photosensitive composition having a development latitude that was satisfactory in relation to the copper sulfate plating of the gravure printing roll. In particular, there was no photosensitive composition that did not burn after coating. Even if a positive photosensitive composition used in offset plate making and flexographic plate making is coated on a plate roll for gravure, there are almost no conditions for film formation. In many cases, the coating film of the positive photosensitive composition on the plate-making roll for gravure flows entirely with an alkaline developer. The same applies if burning is performed after coating.

赤外波長域のレーザー光を高出力できる半導体レーザーやYAGレーザー等を用いポジ型感光膜を用いる高解像度のグラビア製版システムは、アルゴンイオンレーザーを用いる場合に比べて、装置の小型化、製版作業時の環境光、解像度、パターンの切れ等の面から、その実現が強く望まれている。
特開平10−268512号公報 特開平11−194504号公報 特開平11−223936号公報 特開平11−84657号公報 特開平11−174681号公報 特開平11−231515号公報 国際公開第97/39894号 国際公開第98/42507号 特開2002−189293号公報 特開2002−189294号公報 特願平10−193551号公報 特願平10−193552号公報 特開2000−062342号公報 特開2000−062343号公報 特開2000−062344号公報 特開2001−179923号公報 特開2001−179924号公報 特開2001−187440号公報 特開2001−187441号公報 特開2001−191475号公報 特開2001−191476号公報 特開2001−260304号公報 特開2002−127369号公報 特開2002−187249号公報 特開2002−187250号公報 特開2002−200728号公報 特開2002−200729号公報 特開2002−307640号公報 特開2002−307641号公報 特公平07−109511号公報 特開2004−133025号公報 特公昭47−25470号公報 特公昭48−85679号公報 特公昭51−21572号公報 永松元太郎、乾英夫著「感光性組成物」講談社出版、1978年9月1日、p.104−122
High-resolution gravure plate making system using positive type photosensitive film using semiconductor laser or YAG laser that can output laser light in the infrared wavelength range, compared to the case of using argon ion laser, downsizing of equipment and plate making work Realization of this is strongly desired from the standpoints of ambient light, resolution, and pattern cuts.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-268512 JP-A-11-194504 JP 11-223936 A Japanese Patent Laid-Open No. 11-84657 Japanese Patent Laid-Open No. 11-174681 Japanese Patent Laid-Open No. 11-231515 International Publication No. 97/39894 International Publication No. 98/42507 JP 2002-189293 A JP 2002-189294 A Japanese Patent Application No. 10-193551 Japanese Patent Application No. 10-193552 JP 2000-063422 A JP 2000-062343 A JP 2000-062344 A JP 2001-179923 A JP 2001-179924 A JP 2001-187440 A JP 2001-187441 A JP 2001-191475 A JP 2001-191476 A JP 2001-260304 A JP 2002-127369 A JP 2002-187249 A JP 2002-187250 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-200728 JP 2002-200729 A JP 2002-307640 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-307641 Japanese Patent Publication No. 07-109511 JP 2004-133025 A Japanese Patent Publication No. 47-25470 Japanese Patent Publication No. 48-85679 Japanese Patent Publication No.51-21572 Mototaro Nagamatsu and Hideo Inui, “Photosensitive Composition” Kodansha Publishing, September 1, 1978, p. 104-122

本発明者は、上述した事情に鑑み、グラビア印刷ロールの硫酸銅メッキとの関係において塗布後にバーニングを行なわないで必要十分な現像ラチチュードを有するポジ型感光性組成物の開発に着手した。   In view of the above-mentioned circumstances, the present inventor has started development of a positive photosensitive composition having a necessary and sufficient development latitude without performing burning after coating in relation to copper sulfate plating of a gravure printing roll.

そして、グラビア印刷ロールの製版方法の一つとしてのエッチング法について、ノボラック樹脂とシアニン色素を配合したポジ型感光性組成物の原液を作り、この原液を溶剤で薄めたポジ型感光剤をグラビア用被製版ロールの硫酸銅メッキ面に塗布形成した。ポジ型感光剤の塗布には、特許文献30に係る感光膜塗布装置(株式会社シンク・ラボラトリー製)を用いた。そして、クレオサイテックス社の高出力半導体レーザーヘッドを搭載した赤外線レーザ露光装置(株式会社シンク・ラボラトリー製)により赤外波長域のレーザーを照射してポジ画像を焼き付けてから現像するテストしたところ、感光膜が全面的に離脱し満足なレジスト画像が一つも得られなかった。   Then, for the etching method as one of the plate making methods of the gravure printing roll, a stock solution of a positive photosensitive composition containing a novolak resin and a cyanine dye is prepared, and a positive photosensitive agent obtained by diluting the stock solution with a solvent is used for gravure. It was applied to the copper sulfate plating surface of the plate making roll. For the application of the positive photosensitive agent, a photosensitive film coating apparatus (manufactured by Sink Laboratory Co., Ltd.) according to Patent Document 30 was used. And, when I developed a test after burning a positive image by irradiating a laser in the infrared wavelength range with an infrared laser exposure device (manufactured by Sink Laboratories) equipped with a high-power semiconductor laser head of Creositex, The photosensitive film was completely removed and no satisfactory resist image was obtained.

特許文献30に係る感光膜塗布装置による成膜について評価したところ、塗布ロールがタンク内の感光剤に浸漬して被塗布面に対して感光剤を何度も塗りこんでいる接触塗布方式のスパイラルスキャン方式であり、空気を感光膜中に練り込んでいることが考えられ、しかもタンクがオープンな構造であるためタンクに貯留する感光剤中の溶剤が蒸散して蒸発潜熱を奪い塗布ロールが冷えて白化現象を伴う塗布になってしまうことが分り、又、溶剤濃度を絶えず減少し粘度が次第に上昇し均一な膜厚で塗膜することができないことが分った。その結果、特許文献30に係る感光膜塗布装置によりネガ型感光剤の塗布・成膜が適切に行なわれても、ポジ型感光剤膜については極めて不適であると結論した。   Evaluation of film formation by a photosensitive film coating apparatus according to Patent Document 30 reveals that a spiral of a contact coating method in which a coating roll is immersed in a photosensitive agent in a tank and a photosensitive agent is applied to the coated surface many times. It is a scanning method, and it is thought that air is kneaded into the photosensitive film, and because the tank has an open structure, the solvent in the photosensitive agent stored in the tank evaporates, taking away the latent heat of evaporation and cooling the coating roll. As a result, it was found that the coating was accompanied by a whitening phenomenon, and the solvent concentration was constantly decreased, the viscosity gradually increased, and it was impossible to form a coating with a uniform film thickness. As a result, it was concluded that the positive photosensitive film is extremely unsuitable even if the negative film is properly applied and formed by the photosensitive film coating apparatus according to Patent Document 30.

そこで、特許文献30に係る感光膜塗布装置に変えて、タンク内の感光剤中の溶剤が蒸散することがない密閉状態でしかも被製版ロールに対して非接触で塗布することができ、白化現象を伴う塗布が回避できる感光膜塗布装置を開発した。   Therefore, in place of the photosensitive film coating apparatus according to Patent Document 30, the solvent in the photosensitizer in the tank can be applied in a sealed state without causing evaporation, and can be applied in a non-contact manner to the plate-making roll. We have developed a photosensitive film coating device that can avoid coatings involving water.

該感光膜塗布装置の概略の構成を説明すると、ポジ型感光剤を被製版ロールに塗布して造膜する方法として、縦管である感光剤流出管の上端を、水平に両端チャックされ回転される被製版ロールの一端下面に近接させ、感光剤を感光剤流出管の上端より僅かに盛り上がって溢れ出るように供給し感光剤流出管を被製版ロールの一端から他端まで移動することによりスパイラルスキャン方式で塗布液を被製版ロールに塗布し、塗布膜が自然乾燥するまでロールの回転を続行するものである。   The schematic configuration of the photosensitive film coating apparatus will be described. As a method for forming a film by applying a positive photosensitive agent to a plate-making roll, the upper end of a photosensitive agent outlet pipe which is a vertical pipe is horizontally chucked and rotated at both ends. Spiral by moving the photosensitive agent outflow pipe from one end of the plate-making roll to the other end while supplying the photosensitive agent so that it slightly rises and overflows from the upper end of the photosensitive agent outflow pipe. The coating liquid is applied to the plate-making roll by a scanning method, and the rotation of the roll is continued until the coating film is naturally dried.

そこで、研究を続行したところ、ポジ型感光性組成物の硫酸銅メッキ面に対する強い密着が得られず、現像すると、画線部と非画線部との区別なくアルカリ現像液でたちまち流れてしまうことが続いた。このため、塗膜後に膜面を高温に加熱操作するバーニングを行い密着力を付与することが回避できないと考えられた。   Therefore, when research was continued, strong adhesion to the copper sulfate plated surface of the positive photosensitive composition could not be obtained, and when developed, it flowed quickly with an alkaline developer without distinction between the image area and the non-image area. It continued. For this reason, it was thought that it was inevitable to perform adhesion by heating the film surface to a high temperature after the coating to provide adhesion.

バーニングを行なう必要があると考えたのは、ポジ型感光性組成物の硫酸銅メッキ面に対する密着性が極めて乏しいことに起因して造膜されない状態が生じているものと考えられ、造膜後にバーニングを行なうと、フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性有機高分子物質の水素結合を強めて密着性を高められると考えられたからである。   We thought that it was necessary to perform the burning because it was considered that the film was not formed due to the poor adhesion of the positive photosensitive composition to the copper sulfate plating surface. This is because it is considered that the adhesiveness can be enhanced by strengthening the hydrogen bond of the alkali-soluble organic polymer substance having a phenolic hydroxyl group by performing the burning.

当面は、バーニングを行うことにして研究を続行したところ、前記作成したノボラック樹脂とシアニン色素を配合したポジ型感光性組成物を被製版ロールに塗布し膜面温度が60℃になるように30分間バーニングを行なってからレーザー露光して現像したところ現像が不良となった。   For the time being, when research was continued by performing burning, the positive photosensitive composition containing the prepared novolak resin and cyanine dye was applied to a plate-making roll, and the film surface temperature was adjusted to 60 ° C. Burning for a minute and then developing with laser exposure resulted in poor development.

そこで、膜面温度が130℃になるように30分間バーニングを行なったところ、それでも非画線部も含め全面的に離脱する現像不良が起きた。バーニングを行なってもなお現像不良が起きるのは、ポジ型感光性組成物の硫酸銅メッキに対する密着性が低過ぎることが原因であると結論付けた。   Therefore, when the film surface was burned for 30 minutes so that the film surface temperature became 130 ° C., development failure occurred even when the film surface was completely removed including the non-image area. It was concluded that the development failure still occurred even after burning because the adhesion of the positive photosensitive composition to the copper sulfate plating was too low.

そこで、ポジ型感光性組成物に密着力を高める助剤としてシランカップリング剤を入れて感光膜の密着力の増大を図った結果、露光・現像がやや良好に行なえるようになった。具体的には、例えば200φmmの被製版ロールを25r.p.mの低速度で回転させてポジ型感光剤を塗布し、液垂れが生じないように回転を続行して自然乾燥条件下で5分経過させて液垂れが起こらなくなる状態に溶剤が気化した乾燥度合いの感光膜をセットし、その後に、130℃で30分間バーニングしたときの溶剤残留濃度は2%未満であり、レーザーにより画像を焼き付けることができて現像ができた。   Therefore, as a result of increasing the adhesion of the photosensitive film by adding a silane coupling agent as an auxiliary agent for enhancing the adhesion to the positive photosensitive composition, the exposure and development can be performed slightly better. Specifically, for example, a 200φ mm plate-making roll is set to 25 r. p. Rotate at a low speed of m, apply a positive photosensitive agent, continue to rotate so that no dripping occurs, let the solvent evaporate in a state where dripping does not occur after 5 minutes under natural drying conditions When a photosensitive film of a certain degree was set and then burned at 130 ° C. for 30 minutes, the residual solvent concentration was less than 2%, and the image could be printed with a laser and developed.

しかしながら、膜に対する密着性が最良とは言えず露光・現像がやや良好の域から越えなかった。又、膜面温度を130℃にすると、バーニングとその後の冷却に100分以上の時間を要し、多量の熱エネルギーを必要とし、ランニングコストが高くつき、これでは実用性に乏しいことが分かった。又、膜面温度を130℃にすると、フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性有機高分子物質の水素結合が強まって現像しにくくなるとともに、シアニン色素に変性を来して感度低下することがパターンの切れの悪さから感得された。   However, the adhesion to the film was not the best and exposure / development did not exceed a slightly good range. Moreover, when the film surface temperature was set to 130 ° C., it took 100 minutes or more for burning and subsequent cooling, a large amount of heat energy was required, and the running cost was high, which proved impractical. . Further, when the film surface temperature is 130 ° C., the hydrogen bond of the alkali-soluble organic polymer substance having a phenolic hydroxyl group is strengthened and development is difficult, and the cyanine dye is denatured and sensitivity is lowered. It was felt from the badness of.

そして、レジスト画像について良く観察すると、ピンホールが多く発生していることが分った。ネガレジスト画像ではこのようなピンホールの発生はなかった。これについては、砥石による精密研磨の後の水洗いだけでは被製版ロールに付着している研磨粉を完全に洗い流せないこと、製版室を高度のクリーンルームにしないと被製版ロールの搬送中に粉塵が被製版ロールに付着すること、及び、ポジレジスト画像がネガレジスト画像よりも造膜条件に極めて敏感であることが考えられた。そこで、種々検討した結果、被製版ロールに感光剤を塗布する前にワイピングクロスで十分に拭浄したところ、ピンホールの発生を抑えることが出来た。   When the resist image was observed closely, it was found that many pinholes were generated. There was no such pinhole in the negative resist image. For this, it is impossible to completely wash away the abrasive powder adhering to the plate making roll only by washing with water after precision polishing with a grindstone.If the plate making room is not made into an advanced clean room, dust will be covered during conveyance of the plate making roll. It was considered that it adheres to the plate-making roll and that the positive resist image is much more sensitive to film forming conditions than the negative resist image. As a result of various investigations, pinholes could be prevented from being generated when the plate-making roll was sufficiently wiped with a wiping cloth before applying the photosensitive agent.

次に、グラビア用被製版ロールは、ロール基材がアルミニウムのものと鉄製のものとがあり、その上、ロール径が相違しているとともにロール径が相違すると肉厚が全て異なってくるので、比熱容量の相違によりヒーターで同じ時間だけ加熱しても熱がロール基材へ伝わり膜面温度が常に130℃に加熱されるものではなく様々に異なった温度に加熱されるバラツキが生じるので、温度を下げて比熱容量の問題を無くすことが重要であると考えた。溶剤濃度を大幅に低減するためのバーニングは、溶剤離れが良い組成を選択することにより膜面温度を130℃よりもはるかに低い温度にして行なっても達成できると考えた。   Next, the gravure plate making roll has a roll base made of aluminum and iron, and furthermore, since the roll diameter is different and the roll diameter is different, the thickness is all different, Due to the difference in specific heat capacity, even if the heater is heated for the same time, the heat is transferred to the roll base material and the film surface temperature is not always heated to 130 ° C. We thought it important to reduce the specific heat capacity by lowering the temperature. It was considered that the burning for greatly reducing the solvent concentration can be achieved even when the film surface temperature is set to a temperature much lower than 130 ° C. by selecting a composition with good solvent separation.

加熱時間を短くしていくテストを行い、膜面のバーニング温度を80℃〜100℃に下げて50分間バーニングしたところ、溶剤濃度が6%以下になったことを確認したが、現像不良という結果になった。原因として、上記のシランカップリング剤では、必要十分な密着力が得られないと結論付けた。   A test was conducted to shorten the heating time, and when the burning temperature of the film surface was lowered to 80 ° C. to 100 ° C. for 50 minutes, it was confirmed that the solvent concentration was 6% or less. Became. As a cause, it was concluded that the above-mentioned silane coupling agent did not provide necessary and sufficient adhesion.

次いで、密着剤としてシランカップリング剤に代えて硬化促進剤であるイミダゾール(イミダゾールシラン含む)を入れて見たが、シランカップリング剤の場合と特に変わりはなく、膜面のバーニング温度もシランカップリング剤の場合と同じであった。   Next, imidazole (including imidazole silane), which is a curing accelerator, was used instead of the silane coupling agent as an adhesion agent, but there was no particular difference from the case of the silane coupling agent. It was the same as that of the ring agent.

引き続いて、フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性有機高分子物質と、画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質からなるポジ型感光性組成物の原液に対して各種密着剤を代えて添加して室温25℃にて硫酸銅メッキロールに感光膜を形成し上記の赤外線レーザ露光装置(株式会社シンク・ラボラトリー製)によりテスト画像を露光して現像する実験を行なったところ、チタン有機化合物を添加したポジ型感光性組成物の感光膜については、バーニング温度を著しく低下させることができた(特許文献31参照。)。   Subsequently, various adhesives were replaced with a stock solution of a positive photosensitive composition comprising an alkali-soluble organic polymer material having a phenolic hydroxyl group and a photothermal conversion material that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat. An experiment was conducted in which a photosensitive film was formed on a copper sulfate plating roll at room temperature of 25 ° C., and a test image was exposed and developed with the infrared laser exposure apparatus (manufactured by Sink Laboratories, Inc.). For the photosensitive film of the positive photosensitive composition to which the compound was added, the burning temperature could be remarkably lowered (see Patent Document 31).

チタン有機化合物を添加したポジ型感光性組成物の感光膜の場合は、バーニング温度が46℃でも良好に成膜できて、感度が良好になり現像が容易に行なえた。しかし、バーニング処理を行なわないテストでは、良好な成膜ができず現像不良となった。   In the case of a photosensitive film of a positive photosensitive composition to which a titanium organic compound was added, the film could be formed well even at a burning temperature of 46 ° C., the sensitivity was good, and development was easy. However, in a test in which the burning process was not performed, good film formation was not possible and development was poor.

バーニング温度を50℃付近に低下させることができても、バーニングを必要とすることは、バーニング後に冷却を行うことが必要であること、バーニング及びその後の冷却に時間とエネルギーがかかること、装置ラインがバーニング装置の分だけ長くなり、設備費とランニングコストが高くなることが不利となる。やはり、バーニングを不要とすることが解決しなければならない課題であると考えた。   Even if the burning temperature can be lowered to around 50 ° C., the necessity of the burning is that it is necessary to perform the cooling after the burning, the time and energy required for the burning and the subsequent cooling, the equipment line However, this is disadvantageous in that it becomes longer by the amount of the burning device and the equipment cost and running cost are increased. After all, I thought that the need to burn was an issue that had to be solved.

バーニングを行なうと、ロールは薄板材と異なり、熱負荷が大きく必要な温度に加熱するのに30〜60分かかり、また室温になるまで冷却するのに50〜100分以上かかり、しかも、これらの時間はロールの大きさにより相違するから均一な制御ができない。又、バーニングを行なうことは、シアニン色素に変性を来して感度低下してパターンの切れの悪くなるとともに現像時にレジストが薄くなり輪郭が後退しピンホールが生じる一因になっている。従って、バーニングを必要としないポジ型感光膜の開発が強く要望されている。   When burning is performed, unlike a thin plate material, a roll has a large heat load and takes 30 to 60 minutes to heat to a necessary temperature, and takes 50 to 100 minutes or more to cool to room temperature. Since the time varies depending on the size of the roll, it cannot be uniformly controlled. In addition, the burning is a cause of denaturation of the cyanine dye, lowering the sensitivity, resulting in poor pattern cuts, thinning of the resist during development, receding contours, and pinholes. Accordingly, there is a strong demand for the development of a positive photosensitive film that does not require burning.

多数回のテストを繰り返した結果、成膜したときのMEK,IPA,PM等の合計の溶剤残留濃度が高いとレーザーにより画像を焼き付けられないこと(露光部分の感光膜形成樹脂の分子の主鎖又は側鎖の部分を切断してアルカリ可溶性が一層高まる低分子にするとともに感光層飛散を適切に生じさせた状態の潜像を形成できないこと)が判明した。   As a result of repeating the test a number of times, if the total solvent residual concentration of MEK, IPA, PM, etc. when the film is formed is high, the image cannot be printed by the laser (the main chain of the photosensitive film forming resin molecules in the exposed portion) Alternatively, it was found that a latent image in a state in which the side chain portion was cut to form a low-molecular compound having further increased alkali solubility and appropriately caused scattering of the photosensitive layer) could not be formed.

硫酸銅メッキ板に上記したチタン有機化合物を添加したポジ型感光剤を塗布し、室温25℃で送風を行なわない自然乾燥条件で15分経過させたときの溶剤残留濃度は11%、25時間経過させたときの溶剤残留濃度は9%であった。45r.p.mで回転する被製版ロールにポジ型感光剤を塗布し10分間経過後に測定した結果では溶剤残留濃度は7%までしか下がらないことが分った。従って、ポジ型感光剤に密着力を強める助剤を含ませた改質を行なってバーニングを必要としないポジ型感光膜の原液を作り直して、その結果を露光・現像により確認するには、これと並行して溶剤残留濃度を大幅に低減できる技術を先に案出する必要があることが判明した。   When a positive photosensitive agent added with the above-mentioned titanium organic compound is applied to a copper sulfate plated plate and the mixture is allowed to stand for 15 minutes under a natural drying condition in which air is not blown at room temperature of 25 ° C., the residual solvent concentration is 11% and 25 hours have elapsed. The residual solvent concentration was 9%. 45r. p. As a result of applying a positive photosensitive agent to a plate-making roll rotating at m and measuring 10 minutes later, it was found that the residual solvent concentration was only reduced to 7%. Therefore, in order to reconstitute a positive type photosensitive film stock solution that does not require burning by modifying the positive type photosensitive agent with an auxiliary agent that strengthens adhesion, this result can be confirmed by exposure and development. In parallel with this, it has been found that it is necessary to devise a technology that can greatly reduce the residual solvent concentration.

そこで、本発明者は、ここで初めて、バーニングを必要としないポジ型感光膜の実用化を開発テーマとし、成膜後バーニングに依らない他の手段により短時間かつ容易に溶剤残留濃度を大幅に低減できる成膜乾燥技術の開発と、密着力を強める助剤の添加によりポジ型感光膜自体の密着性を大きく向上できて現像ラチチュードが大きいポジ型感光膜の開発とを概念的に区別して、前者の課題から先に解決するべく研究を続行した。   Therefore, for the first time, the inventor of the present invention has developed a positive photosensitive film that does not require burning for the first time as a development theme, and greatly reduces the residual solvent concentration in a short time and easily by other means that does not rely on burning after film formation. Conceptual distinction between development of film-drying technology that can be reduced and development of a positive-type photosensitive film that can greatly improve the adhesion of the positive-type photosensitive film itself by adding an auxiliary agent that strengthens adhesion, and has a large development latitude. Research continued to solve the former problem first.

塗布膜から溶剤が揮発することについて考えた。塗布膜は空気に触れて表面から乾燥し硬さを増し組織が締っていくので、時間が経過し表面が乾燥すればするほど内層に存する溶剤の拡散性が低下するものと考えられる。他方、塗布膜から溶剤が揮発する度合いは、雰囲気の圧力により相違し、負圧にすると塗布膜から溶剤が揮発する度合いが大きく残留溶剤を効果的に低減できると考えられる。しかし、真空ポンプを用いて真空にしたチャンバ内に成膜したロールを置くことは出来ない。ここで、本発明者は、塗布膜が液垂れしなくなった後、被製版ロールを高速回転させて見たところ、短時間で溶剤残留濃度を3%以下まで下げられることを見出した。   The solvent was considered to evaporate from the coating film. Since the coating film is dried from the surface by contact with air and increases in hardness and tightens the structure, it is considered that the diffusibility of the solvent existing in the inner layer decreases as time passes and the surface is dried. On the other hand, the degree of volatilization of the solvent from the coating film differs depending on the pressure of the atmosphere. If the pressure is negative, the degree of volatilization of the solvent from the coating film is large, and the residual solvent can be effectively reduced. However, the roll formed into a film cannot be put in the chamber evacuated using the vacuum pump. Here, the present inventor has found that the residual solvent concentration can be lowered to 3% or less in a short time when the plate making roll is rotated at a high speed after the coating film stops dripping.

この知見に基づいて、被製版ロールを特許文献30に係る感光膜塗布装置に水平に両端支持して所要の低速度で回転させ、テスト感光液をスパイラルスキャン方式・非接触塗布方式で均一に塗布しその後回転を続行して液垂れが起こらなくなる状態に溶剤が気化した乾燥度合いの感光膜をセットし、引き続いて、バーニングを行なわなくても極めて短時間に溶剤濃度を大幅に低減できる技術として、該被製版ロールを所要の高速度で所要時間回転させて膜中の残留溶剤に遠心力を作用させ膜表面を空気と摩擦させることにより膜中の残留溶剤を空気中へ拡散離脱させてレーザーによる画像焼付性が発現し得る低い溶剤残留濃度の成膜を得る技術を確立した。   Based on this knowledge, the plate-making roll is horizontally supported on the photosensitive film coating apparatus according to Patent Document 30 and rotated at a required low speed, and the test photosensitive liquid is uniformly applied by a spiral scan method and a non-contact coating method. Then, as the technology that can continue to rotate and set the photosensitive film with the degree of dryness that the solvent has evaporated in a state where dripping does not occur, and subsequently, the solvent concentration can be greatly reduced in a very short time without burning, The plate-making roll is rotated at a required high speed for a required time, and centrifugal force is applied to the residual solvent in the film, and the film surface is rubbed with air to diffuse and remove the residual solvent in the film into the air. We have established a technology to obtain a low solvent residual concentration film that can exhibit image sticking.

200φmmの試験ロールに感光液を均一に塗布し塗布終了から5分間25r.p.mで回転を続行した後回転停止し、5分間待って、液垂れについて観察し、肉眼で液垂れが生じなかったことを確認して、試験ロールを100r.p.mで20分間回転して停止し、感光膜中の溶剤残留濃度を測定したところ、2.3%であった。   A photosensitive solution is uniformly applied to a 200 mm mm test roll, and 25 r. p. After rotating at m, the rotation was stopped, waited for 5 minutes, observed for dripping, and confirmed that no dripping occurred with the naked eye. p. After rotating at m for 20 minutes and stopping, the residual solvent concentration in the photosensitive film was measured and found to be 2.3%.

しかるに、バーニングを行なわなくても極めて短時間に溶剤濃度を大幅に低減できる技術を開発したことで、種々の密着力を強める助剤を添加しポジ型感光剤について、露光・現像を行なって現像ラチチュードを有するか否か、研究を続行した。   However, by developing a technology that can greatly reduce the solvent concentration in a very short time without burning, various assistants that strengthen the adhesion are added and the positive photosensitive agent is exposed and developed for development. Research continued to see if it had latitude.

その結果、フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性有機高分子物質と、画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質からなるポジ型感光性組成物の原液に、セルロース誘導体とチタンアルコキシド、チタンアシレート、又はチタンキレートの少なくともいずれか一のチタン有機化合物を含ませてテストした結果、バーニング処理を行なうと現像が不良になり、バーニング処理を行なわないと現像が優良になり、最良のレジストパターンが得られた。このとき室温は25〜27℃、湿度は50〜55%前後であった。   As a result, a cellulose derivative and a titanium alkoxide are added to a stock solution of a positive photosensitive composition comprising an alkali-soluble organic polymer substance having a phenolic hydroxyl group and a photothermal conversion substance that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat. As a result of testing by including a titanium organic compound of at least one of titanium acylate and titanium chelate, the development is poor when the burning treatment is performed, and the development is excellent when the burning treatment is not performed. A pattern was obtained. At this time, the room temperature was 25 to 27 ° C., and the humidity was about 50 to 55%.

しかしながら、日中の最高気温が16℃位で湿度が21〜23%と極めて低い日にテストしたところ、現像を行なうと感光膜が全面的に離脱してしまった。ポジ型感光剤は、一般的に60%以上の高湿度のときに白化現象を生じて造膜できないという湿度依存性があることが知られている。しかし、上記の結果により、気温が低くて湿度が極めて低いときにもポジ型感光剤の密着力が発現しないということが判明した。なお、なぜ白化現象を生じて造膜できないものであるかについては解明できなかった。   However, a test was conducted on a day when the maximum daytime temperature was about 16 ° C. and the humidity was extremely low, 21 to 23%. As a result, the development revealed that the photosensitive film was completely removed. It is known that a positive type photosensitizer generally has a humidity dependency that a whitening phenomenon occurs at a high humidity of 60% or more and a film cannot be formed. However, it was found from the above results that the adhesion of the positive photosensitive agent does not appear even when the temperature is low and the humidity is extremely low. It was not possible to elucidate why the film could not be formed due to whitening.

そこで、フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性有機高分子物質に替わるベースとなる現像ラチチュードを有する樹脂に付いて探索した。フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性有機高分子物質に替えて、スチレン/無水マレイン酸共重合体をアルコールでエステル化されたスチレン/マレイン酸半エステル樹脂を使用し、画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質を含んでなるポジ型感光性組成物を作り、ロールに成膜し露光・現像するテストを次々に行なった結果、現像ラチチュードが大きく得られた。   Therefore, a search was made for a resin having a development latitude as a base instead of an alkali-soluble organic polymer substance having a phenolic hydroxyl group. Instead of the alkali-soluble organic polymer having a phenolic hydroxyl group, a styrene / maleic anhydride half ester resin obtained by esterifying a styrene / maleic anhydride copolymer with an alcohol is used to absorb infrared rays from an image exposure light source. As a result of making a positive photosensitive composition containing a photothermal conversion substance that converts it into heat, forming a film on a roll, and performing exposure and development tests one after another, a large development latitude was obtained.

詳述すると、実験室内の室温を25℃、湿度については感光膜塗布装置のケーシング内を25%、30%、55%、60%に変えた条件として、硫酸銅メッキされた200φmmの被製版ロールを感光膜塗布装置に両端支持させて25r.p.mで回転してワイピングクロスで拭浄し後追いするように上記のポジ型感光剤を塗布し、塗布完了後も液垂れが生じないように回転を続行して自然乾燥条件下で5分経過させて成膜した後に100r.p.mで10分間回転して残留溶剤を低減してから回転停止した。   More specifically, a 200 φmm plate-making roll plated with copper sulfate is used under the conditions that the room temperature in the laboratory is 25 ° C. and the humidity is changed to 25%, 30%, 55%, and 60% in the casing of the photosensitive film coating apparatus. Is supported at both ends by a photosensitive film coating apparatus and 25r. p. Apply the above positive photosensitive agent to rotate after m, wipe with a wiping cloth and follow, and continue to rotate so that no dripping occurs even after the application is completed, and allow 5 minutes to pass under natural drying conditions. 100 r. p. After rotating at m for 10 minutes to reduce residual solvent, the rotation was stopped.

感光膜塗布装置から取り出した被製版ロールは、いずれも光沢があり非常に強い密着性を有する極めて硬質な感光膜を塗布形成した被検ロールを得られた。レジストの膜厚は3.5〜3.8μmであった。溶剤残留濃度を測定したところ、いずれの試験ロールも2.3%前後であった。そして、上記の赤外線レーザ露光装置(株式会社シンク・ラボラトリー製)により赤外波長域のレーザーでテスト画像を露光(画線部を露光)し、次いでアルカリ現像したところ非画線部も溶出する膜減りが生じたがいずれの場合でもアルカリ現像液に60〜70秒浸漬した時点で極めてシャープで残渣がないレジストパターンが得られた。そして、現像後時間が経過して自然乾燥したレジストパターンは極めて硬質であることが確認できた。現像後のレジストの膜厚は1.8〜2.5μmであった。膜減りによるピンホールの発生はなかった。以上により、本発明を完成するに至った。   Each of the plate-making rolls taken out from the photosensitive film coating apparatus was glossy and a test roll coated with an extremely hard photosensitive film having very strong adhesion was obtained. The film thickness of the resist was 3.5 to 3.8 μm. When the residual solvent concentration was measured, all the test rolls were around 2.3%. A film in which a test image is exposed with a laser in the infrared wavelength region (exposed to the image area) by the above infrared laser exposure apparatus (manufactured by Sink Laboratories, Inc.), and then the non-image area is eluted when alkali development is performed. In any case, a resist pattern that was extremely sharp and free of residue was obtained when immersed in an alkali developer for 60 to 70 seconds. It was confirmed that the resist pattern which was naturally dried after the development was extremely hard. The resist film thickness after development was 1.8 to 2.5 μm. There was no pinhole due to film loss. Thus, the present invention has been completed.

本発明は、波長700〜1,100nmのレーザー光に露光感応して該感応部がアルカリ現像液に可溶になるポジ型感光性組成物に関し、1)塗布作業室内の湿度が25〜60%の範囲において塗布するときに被塗布対象に塗布してその後のバーニングが不要でアルミニウムに対して必要十分な密着性が得られるのは勿論のこと、特にアルミニウムに比べて遥かに強い密着力が必要な銅又は硫酸銅メッキに対して必要十分な密着性が得られる、2)60〜70秒位の適切な時間で残渣が発生しない良好なアルカリ現像が行なえて、現像液のアルカリ強度が低くても現像が可能であるため、現像中の作業及び廃液処理等が容易である、3)バーニング処理を行なわないことで高感度が保たれレジスト画像のエッジが露光の照射パターンの通りにシャープな輪郭で切れる極めて良好な現像が行なえる、4)現像後の膜減りが少なく膜減りに起因するピンホールの発生が少ない極めて良好な現像が行なえる、5)レジスト画像に光沢があり、そのまま印刷に供しても数千枚刷れる程の耐刷性のあるレジスト画像が得られ、感光膜形成後現像前の取り扱いにおける耐キズ性が向上する、6)レーザーによる画像焼付及び現像のラチチュードが秀逸なポジ型感光性組成物を提供することを目的としている。   The present invention relates to a positive photosensitive composition that is exposed to a laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 nm so that the sensitive part is soluble in an alkali developer. 1) The humidity in the coating chamber is 25 to 60%. Of course, it is necessary to apply to the object to be coated when applying in the above range, and subsequent burning is not required, and necessary and sufficient adhesion to aluminum is obtained. Necessary and sufficient adhesion to copper or copper sulfate plating can be obtained. 2) Good alkali development with no residue occurring in an appropriate time of about 60 to 70 seconds can be performed, and the alkali strength of the developer is low. Since development is possible, work during development and waste liquid processing are easy. 3) High sensitivity is maintained by not performing the burning process, and the edge of the resist image is in accordance with the exposure irradiation pattern. 4) Very good development can be performed with sharp contours, 4) Less film loss after development, and very good development with less pinholes due to film reduction, 5) Glossy resist image, A resist image having printing durability enough to print several thousand sheets even if subjected to printing as it is is obtained, and scratch resistance in handling before development after formation of a photosensitive film is improved. 6) Image printing and development latitude by laser is improved. An object of the present invention is to provide an excellent positive photosensitive composition.

上記課題を解決するために、本発明のポジ型感光性組成物は、(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び(E)(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン/ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂を含有することを特徴とする。 In order to solve the above problems, the positive photosensitive composition of the present invention comprises (A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule, and (B) absorbing infrared rays from an image exposure light source to heat. A photothermal conversion material to be converted , and (E) (1) a vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) a vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) a vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (4) Selected from the group consisting of polyvinyl acetate, (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine / formaldehyde resin, and (10) ketone resin. It is characterized in that it contains at least one resin .

前記高分子物質(A)が、カルボキシル基及び/又はカルボン酸無水物基を少なくとも1つ有する不飽和化合物(a1)より得られる重合体、並びに前記不飽和化合物(a1)及び該不飽和化合物と共重合可能な化合物(a2)より得られる共重合体からなる群から選択される少なくとも1種の高分子物質であることが好ましい。   A polymer obtained from the unsaturated compound (a1) having at least one carboxyl group and / or carboxylic anhydride group, and the unsaturated compound (a1) and the unsaturated compound; It is preferably at least one polymer substance selected from the group consisting of copolymers obtained from the copolymerizable compound (a2).

前記不飽和合物(a1)が、マレイン酸、(メタ)アクリル酸及びそれらの誘導体からなる群から選択される少なくとも1種の化合物であることが好適である。本発明において、アクリルとメタクリルを併せて(メタ)アクリルと称する。   It is preferable that the unsaturated compound (a1) is at least one compound selected from the group consisting of maleic acid, (meth) acrylic acid, and derivatives thereof. In the present invention, acrylic and methacryl are collectively referred to as (meth) acryl.

前記高分子物質(A)が、マレイン酸重合体、(メタ)アクリル酸重合体、スチレン/マレイン酸系共重合体及びその誘導体からなる群から選択される少なくとも1種の共重合体であることが好ましい。   The polymer substance (A) is at least one copolymer selected from the group consisting of a maleic acid polymer, a (meth) acrylic acid polymer, a styrene / maleic acid copolymer and a derivative thereof. Is preferred.

前記高分子物質(A)が、スチレン/無水マレイン酸系共重合体に水酸基を有する化合物を反応させて得られるスチレン/マレイン酸系共重合体であることが好ましい。前記水酸基を有する化合物が、アルコールであることが好適である。   The polymer substance (A) is preferably a styrene / maleic acid copolymer obtained by reacting a styrene / maleic anhydride copolymer with a compound having a hydroxyl group. It is preferable that the compound having a hydroxyl group is an alcohol.

前記高分子物質(A)が、下記一般式(1)で示される共重合体であることが好ましい。   The polymer substance (A) is preferably a copolymer represented by the following general formula (1).

[式(1)中、R及びRは、それぞれ独立して水素原子もしくは置換又は非置換のアルキル基を示し、aは1〜3の整数、bは6〜8の整数である。] [In Formula (1), R < 1 > and R < 2 > show a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted alkyl group each independently, a is an integer of 1-3, b is an integer of 6-8. ]

本発明のポジ型感光性組成物に、(C)溶解阻止剤をさらに含有することが好適である。   It is preferable that the positive photosensitive composition of the present invention further contains (C) a dissolution inhibitor.

前記溶解阻止剤(C)が、下記化学式(2)で示される化合物であることが好ましい。   The dissolution inhibitor (C) is preferably a compound represented by the following chemical formula (2).

前記光熱変換物質(B)が、下記一般式(3)で示される化合物であることが好ましい。   The photothermal conversion substance (B) is preferably a compound represented by the following general formula (3).

[式()中、R〜Rは各々独立して、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基、又は炭素数1〜3のアルコキシル基を示し、Xはハロゲン原子、ClO、BF、p−CHSO、又はPFを示す。] [In the formula ( 3 ), R 3 to R 8 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkoxyl group having 1 to 3 carbon atoms, and X represents a halogen atom, ClO 4 , BF 4, p-CH 3 C 6 H 4 SO 3, or an PF 6. ]

前記光熱変換物質(B)が、下記一般式(4)で示される化合物であることが好ましい。   The photothermal conversion substance (B) is preferably a compound represented by the following general formula (4).

[式(4)中、R〜R12は各々独立して、水素原子、メトキシ基、−N(CH、又は−N(Cを示し、YはC−B(C、p−CHSO、又はCFSOを示す。] Wherein (4), R 9 ~R 12 independently represents a hydrogen atom, a methoxy group, -N (CH 3) 2, or indicates -N (C 2 H 5) 2 , Y is C 4 H 9 -B (C 6 H 5) 3, p-CH 3 C 6 H 4 SO 3, or an CF 3 SO 3. ]

本発明のポジ型感光性組成物に、(D)光酸発生剤をさらに含有することが好適である。前記光酸発生剤(D)が、下記式(5)で示される化合物であることが好ましい。   It is preferable that the positive photosensitive composition of the present invention further contains (D) a photoacid generator. The photoacid generator (D) is preferably a compound represented by the following formula (5).

本発明のポジ型感光性組成物、(E)(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン/ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂を含有することが好適である。 The positive photosensitive composition of the present invention comprises (E) (1) vinyl pyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinyl pyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinyl pyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer. , (4) polyvinyl acetate, (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine / formaldehyde resin, and (10) ketone resin It is preferable to contain at least one resin selected from:

本発明のポジ型感光性組成物に、(F)トリアリールメタン系染料をさらに含有することが好ましい。   It is preferable that the positive photosensitive composition of the present invention further contains (F) a triarylmethane dye.

本発明のフォトファブリケーション方法は、本発明のポジ型感光性組成物を用いることを特徴とする。該フォトファブリケーション方法を、印刷版、電子部品、精密機器部品、及び偽造防止用関連部材等を製造する為に適用することが好ましい。   The photofabrication method of the present invention is characterized by using the positive photosensitive composition of the present invention. The photofabrication method is preferably applied to produce printing plates, electronic parts, precision equipment parts, anti-counterfeiting related members, and the like.

本発明の製版方法は、本発明のポジ型感光性組成物を用いることを特徴とする。本発明の製版方法により、凹版(グラビア)、平版、凸版、孔版等の印刷版を作成することができる。   The plate-making method of the present invention is characterized by using the positive photosensitive composition of the present invention. By the plate making method of the present invention, printing plates such as intaglio plates (gravure), planographic plates, letterpress plates and stencil plates can be prepared.

本発明のポジ型感光性組成物を感光液として用いたグラビア版の一般的な製版工程は次の通りである。
1.シリンダーに感光液塗布(ドライ膜厚2−5μmが好ましい。ピンホールを無くすため膜は厚い方が良いが、薄い方が使用量が少ない分コストは安くなる。)→2.乾燥(タッチドライまで15分→終了まで15〜20分)→3.露光(光源:半導体レーザー830nm、220mJ/cm)→4.現像(60〜90秒/25℃)→5.水洗(スプレー30秒)→6.エッチング(深度10〜30μm、腐食 塩化第二銅水溶液、銅換算60g/L)→7.レジスト剥離(アルカリ剥離)→8.水洗→9.Crメッキ(水に対してクロム酸250g/L,硫酸2.5g/L)→10.水洗→11.印刷。
A general plate making process of a gravure plate using the positive photosensitive composition of the present invention as a photosensitive solution is as follows.
1. Applying a photosensitive solution to the cylinder (preferably a dry film thickness of 2-5 μm. A thicker film is better to eliminate pinholes, but a thinner film will reduce the amount used and lower the cost.) → 2. Dry (15 minutes to touch dry → 15 to 20 minutes to finish) → 3. Exposure (light source: semiconductor laser 830 nm, 220 mJ / cm 2 ) → 4. Development (60 to 90 seconds / 25 ° C.) → 5. Washing with water (spray 30 seconds) → 6. Etching (depth 10-30 μm, corrosive cupric chloride aqueous solution, copper equivalent 60 g / L) → 7. Resist stripping (alkali stripping) → 8. Washing with water → 9. Cr plating (chromic acid 250 g / L, sulfuric acid 2.5 g / L with respect to water) → 10. Washing with water → 11. printing.

本発明のポジ型感光性組成物を感光液として用いた平版(PS版)の一般的な製版工程は次の通りである。
1.CTP(PS版)(アルミ研摩→感光液塗布→乾燥)→2.露光(光源:半導体レーザー830nm、220mJ/cm)→3.現像→4.印刷。
A general plate making process of a lithographic plate (PS plate) using the positive photosensitive composition of the present invention as a sensitizing solution is as follows.
1. CTP (PS plate) (aluminum polishing → photosensitive solution coating → drying) → 2. Exposure (light source: semiconductor laser 830 nm, 220 mJ / cm 2 ) → 3. Development → 4. printing.

本発明のポジ型感光性組成物は、赤外波長域のレーザー光に露光感応して該感応部が現像液に可溶になる赤外波長域レーザー感応性を有するアルカリ可溶性のポジ型感光性組成物であり、以下のような優れた効果を有する。
(1)アルミニウムや銅のみならず、光沢のある鏡面状のメッキ銅のような密着性の悪い被塗布対象に対しても、バーニングを行わずに必要十分な密着性を得ることができる。また、バーニングを行わずに、従来のバーニングを行った場合と同等の光沢のある感光膜を得ることができる。
(2)湿度25〜60%の条件においても必要十分な密着性が得られる。
(3)適切な時間で残渣が発生しない良好なアルカリ現像が行なえる。感光層成分が露光により実質的に化学変化を起こさないにもかかわらず、耐刷性、感度、現像ラチチュード等の印刷版の基本性能を全て満足させることができる。また、カルボキシル基を有する高分子物質を用いており、現像液のアルカリ強度が低くても現像できる。現像液のpHが10〜12の間で現像ができるため、空気中の炭酸ガスの溶解が少ない分アルカリ現像液の経時による低下が少ない。一方、フェノール樹脂系の現像液は炭酸ガスの影響により、建浴後すぐPHの低下があり、バッファーソルーション(緩衝溶液)にしないと連続して現像が出ない、せいぜい2〜3日でアルカリ濃度の低下がおきる。そういう状況ではpH13.0以上の現像液で現像するフェノール樹脂タイプに比べ、アルカリの濃度低下に対する管理が容易である。また、アルカリ主剤の選択の幅が広がると同時にアルカリ廃液の強度が低いため、廃液処理が楽である。建浴:現像液原液から現像槽で水で希釈し現像液をつくることをいう。
(4)感光層中の光熱変換物質によって過剰な熱が発生する高い露光エネルギーよりも低い露光エネルギーで画像露光を行なっても現像ラチチュードを広く取れるので感光層飛散が生ずる度合いが低く抑制されるから、感光層飛散(アブレーション)し、露光装置の光学系を汚染するという問題が生じない。
(5)バーニング処理を行なわないことで高感度が保たれレジスト画像のエッジが露光の照射パターンの通りにシャープな輪郭で切れる極めて良好な現像が行なえる。また、端面部分もバーニングによる熱容量のバラツキがない分、現像後の均一な膜厚を保持できる。
(6)レジスト画像に膜減りが少なく、光沢があり、そのまま腐食してもピンホールの発生がなくグラビア製版ができる。また、印刷等に供して数千枚以上刷れる程の耐刷性のあるレジスト画像が得られ、感光膜乾燥後の現像前の取り扱いにおけるピンホールの発生を回避でき、又は耐擦爪傷性が向上する。
(7)レーザーによる画像焼付に対する変化率が少なく、且つ現像のラチチュードが秀逸である。
(8)現像後の膜減りが少ないため、ピンホールの発生が少ない。
The positive photosensitive composition of the present invention is an alkali-soluble positive photosensitive composition having an infrared wavelength range laser sensitivity that makes the sensitive part soluble in a developer upon exposure to an infrared wavelength range laser beam. It is a composition and has the following excellent effects.
(1) Necessary and sufficient adhesion can be obtained without performing burning on an object to be coated such as glossy mirror-like plated copper as well as aluminum and copper. In addition, a glossy photosensitive film equivalent to that obtained by conventional burning can be obtained without burning.
(2) Necessary and sufficient adhesion can be obtained even under conditions of humidity of 25 to 60%.
(3) Good alkali development can be carried out with no residue generated in an appropriate time. Despite the fact that the photosensitive layer components do not substantially undergo chemical changes upon exposure, all the basic performances of the printing plate such as printing durability, sensitivity, and development latitude can be satisfied. Further, a polymer substance having a carboxyl group is used, and development is possible even when the alkali strength of the developer is low. Since the developer can be developed at a pH of 10 to 12, the amount of the carbon dioxide gas in the air is less dissolved, so that the alkaline developer is less deteriorated with time. On the other hand, the phenol resin developer has a decrease in pH immediately after the bathing due to the influence of carbon dioxide gas, and if it is not made into a buffer solution (buffer solution), it will not develop continuously. A drop occurs. In such a situation, compared with a phenol resin type developed with a developer having a pH of 13.0 or higher, the management of the decrease in alkali concentration is easy. Moreover, since the range of the choice of the alkali main agent is widened and the strength of the alkali waste liquid is low, the waste liquid treatment is easy. Building bath: To make a developer by diluting a developer solution with water in a developer tank.
(4) Even if image exposure is performed with an exposure energy lower than the high exposure energy in which excessive heat is generated by the photothermal conversion substance in the photosensitive layer, the development latitude can be widened and the degree of scattering of the photosensitive layer is suppressed to a low level. The problem of scattering (ablation) of the photosensitive layer and contamination of the optical system of the exposure apparatus does not occur.
(5) By not performing the burning process, high sensitivity can be maintained, and extremely good development can be performed in which the edge of the resist image is cut with a sharp contour according to the exposure irradiation pattern. Further, the end face portion can maintain a uniform film thickness after development because there is no variation in heat capacity due to burning.
(6) The resist image has little film loss, is glossy, and even if it is corroded as it is, no pinhole is generated and gravure plate making is possible. In addition, a resist image having printing durability enough to print several thousand sheets or more for printing or the like can be obtained, generation of pinholes in handling before development after drying of the photosensitive film can be avoided, or scratch resistance can be obtained. improves.
(7) The rate of change with respect to image printing by a laser is small, and the development latitude is excellent.
(8) Since the film loss after development is small, the occurrence of pinholes is small.

以下に本発明の実施の形態を説明するが、これらの実施の形態は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。   Embodiments of the present invention will be described below, but these embodiments are exemplarily shown, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention.

本発明のポジ型感光性組成物は、(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、及び(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質を必須成分として含有するものであり、必要に応じて、(C)溶解阻止剤、(D)光酸発生剤、(E)(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン/ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂、及び(F)トリアリールメタン系染料をさらに配合することが好ましい。   The positive photosensitive composition of the present invention is essential for (A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule, and (B) a photothermal conversion substance that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat. It is contained as a component, and if necessary, (C) dissolution inhibitor, (D) photoacid generator, (E) (1) vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl Methacrylate copolymer, (3) vinyl pyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (4) polyvinyl acetate, (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) Group consisting of melamine / formaldehyde resin and (10) ketone resin At least one resin al selected, and (F) preferably further blended triarylmethane dyes.

前記高分子物質(A)としては、分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質であれば、特に限定されないが、カルボキシル基及び/又はカルボン酸無水物基を少なくとも1つ有する不飽和化合物(a1)の重合体や、前記不飽和化合物(a1)と該不飽和化合物と共重合可能な化合物(a2)の共重合体が好適な例として挙げられる。前記高分子物質(A)は、カルボキシル基を酸価が30〜500、特に、200〜250になるように含むことが好ましい。重量平均分子量としては1,500〜100,000が好適で好ましく、7,000〜10,000前後のものが更に好ましい。   The polymer substance (A) is not particularly limited as long as it is a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule, but is an unsaturated compound having at least one carboxyl group and / or carboxylic anhydride group. Suitable examples include the polymer (a1) and the copolymer of the unsaturated compound (a1) and the compound (a2) copolymerizable with the unsaturated compound. The polymer substance (A) preferably contains a carboxyl group so that the acid value is 30 to 500, particularly 200 to 250. The weight average molecular weight is preferably 1,500 to 100,000, more preferably around 7,000 to 10,000.

前記不飽和合物(a1)としては、マレイン酸、(メタ)アクリル酸、フマール酸、イタコン酸、及びそれらの誘導体等が好ましく、これらを単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。   As the unsaturated compound (a1), maleic acid, (meth) acrylic acid, fumaric acid, itaconic acid, and derivatives thereof are preferable, and these can be used alone or in combination of two or more.

マレイン酸及びその誘導体(マレイン酸系単量体と称する。)としては、例えば、マレイン酸、無水マレイン酸、マレイン酸モノエステル(例えば、マレイン酸モノメチル,マレイン酸モノエチル,マレイン酸モノ−n−プロピル,マレイン酸モノイソプロピル,マレイン酸モノ−n−ブチル,マレイン酸モノイソブチル及びマレイン酸モノ−tert−ブチル等)、マレイン酸ジエステル等が好適な例として挙げられる。   Examples of maleic acid and its derivatives (referred to as maleic monomers) include maleic acid, maleic anhydride, maleic acid monoesters (for example, monomethyl maleate, monoethyl maleate, mono-n-propyl maleate). Suitable examples include, for example, monoisopropyl maleate, mono-n-butyl maleate, monoisobutyl maleate and mono-tert-butyl maleate), and maleic acid diesters.

(メタ)アクリル酸及びその誘導体[(メタ)アクリル系単量体と称する。]としては、例えば、(メタ)アクリル酸や(メタ)アクリル酸エステル(例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等)が好適な例として挙げられる。   (Meth) acrylic acid and its derivatives [referred to as (meth) acrylic monomers. ], For example, (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid ester (for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, etc.) Is a suitable example.

前記不飽和化合物(a1)と共重合可能な化合物(a2)としては、不飽和二重結合を有する化合物が好ましく、スチレン、α−メチルスチレン、m又はp−メトキシスチレン、p−メチルスチレン、p−ヒドロキシスチレン、3−ヒドロキシメチル−4−ヒドロキシ−スチレン等のスチレンとその誘導体(スチレン系単量体と称する。)が特に好ましい。これらを単独又は2種以上組み合わせて使用することができる。   The compound (a2) copolymerizable with the unsaturated compound (a1) is preferably a compound having an unsaturated double bond, such as styrene, α-methylstyrene, m or p-methoxystyrene, p-methylstyrene, p. Styrene such as -hydroxystyrene and 3-hydroxymethyl-4-hydroxy-styrene and derivatives thereof (referred to as styrene monomers) are particularly preferable. These can be used alone or in combination of two or more.

前記高分子物質(A)としては、前記マレイン酸系単量体の重合体やマレイン酸系単量体を主成分とする共重合体、前記(メタ)アクリル系単量体の重合体や(メタ)アクリル系単量体を主成分とする共重合体、マレイン酸系単量体及び(メタ)アクリル系単量体とスチレン系単量体等の他の単量体との共重合体、マレイン酸系単量体とスチレン系単量体とを共重合して得られるスチレン/マレイン酸系共重合体(以下、共重合体(b1)と称する。)、アクリル系単量体とスチレン系単量体との共重合体、これら重合体の誘導体、又はそれらの変性物が好ましく、マレイン酸重合体、(メタ)アクリル酸重合体、下記一般式(6)及び/又は(7)で示される構造と下記一般式(8)で示される構造とを有する共重合体、又は(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルとスチレン系単量体との共重合体がより好ましく、下記一般式(1)で示される共重合体であることがさらに好ましい。   Examples of the polymer substance (A) include a polymer of the maleic monomer, a copolymer having a maleic monomer as a main component, a polymer of the (meth) acrylic monomer, and ( A copolymer based on a (meth) acrylic monomer, a maleic acid monomer, and a copolymer of a (meth) acrylic monomer and another monomer such as a styrene monomer, Styrene / maleic acid copolymer (hereinafter referred to as copolymer (b1)) obtained by copolymerizing maleic monomer and styrene monomer, acrylic monomer and styrene A copolymer with a monomer, a derivative of these polymers, or a modified product thereof is preferable. A maleic acid polymer, a (meth) acrylic acid polymer, represented by the following general formulas (6) and / or (7) And a copolymer having a structure represented by the following general formula (8) More preferably a copolymer of the Le acid (meth) acrylic acid ester and the styrene monomer, and more preferably a copolymer represented by the following general formula (1).

式(6)において、R13及びR14は、それぞれ独立して水素原子又は1価の置換基を示し、水素原子、低級アルキル基又は反応性二重結合を有する基が好ましい。 In the formula (6), R 13 and R 14 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent substituent, and preferably a hydrogen atom, a lower alkyl group or a group having a reactive double bond.

式(8)において、R15及びR16はそれぞれ独立して水素原子又は1価の置換基を示し、水素原子又はメチル基が好ましい、R17は水素原子又は1価の置換基を示し、水素原子、水酸基、アルキル基又はアルコキシル基が好ましい、R18は水素原子又は1価の置換基を示し、水素原子又はヒドロキシアルキル基が好ましい。 In the formula (8), R 15 and R 16 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent substituent, preferably a hydrogen atom or a methyl group, R 17 represents a hydrogen atom or a monovalent substituent, and hydrogen An atom, a hydroxyl group, an alkyl group or an alkoxyl group is preferable. R 18 represents a hydrogen atom or a monovalent substituent, and a hydrogen atom or a hydroxyalkyl group is preferable.

式(1)中、R及びRは、それぞれ独立して水素原子又は1価の置換基であり、水素原子、もしくは置換又は非置換のアルキル基が好ましく、水素原子、低級アルキル基又はアルコキシアルキル基がより好ましい、R及びRが複数存在する場合、それらは同じであっても異なっていてもよい。R及びRの少なくとも1つが水素原子であることが好ましい、aは0又は1以上の整数であり、1〜3が好ましい、bは1以上の整数であり、6〜8が好ましい。 In the formula (1), R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom or a monovalent substituent, preferably a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted alkyl group, a hydrogen atom, a lower alkyl group or alkoxy When there are a plurality of R 1 and R 2 in which an alkyl group is more preferable, they may be the same or different. It is preferable that at least one of R 1 and R 2 is a hydrogen atom, a is 0 or an integer of 1 or more, 1 to 3 is preferable, b is an integer of 1 or more, and 6 to 8 are preferable.

前記スチレン/マレイン酸系共重合体の製造方法は特に限定されず、公知の方法に準じて行うことができるが、スチレン/無水マレイン酸系共重合体(即ち、スチレン系単量体と、無水マレイン酸との共重合物)に水酸基を有する化合物を反応させてエステル化させて得ることが好適である。   The method for producing the styrene / maleic acid copolymer is not particularly limited and can be carried out according to a known method. However, the styrene / maleic anhydride copolymer (that is, styrene monomer and anhydride It is preferable to obtain a product obtained by reacting a compound having a hydroxyl group with a maleic acid copolymer).

前記水酸基を有する化合物としては、特に限定はないが、イソプロパノール、n−プロパノール、イソプロパノール/シクロヘキサノール、ブチルアルコール、イソオクタノール、エチレングリコール等のアルコール,エチレングリコールブチルエーテル等のエチレングリコールエーテル,ジエチレングリコールエチルエーテル等のジエチレングリコールエーテルなどが挙げられる。   The compound having a hydroxyl group is not particularly limited, but alcohols such as isopropanol, n-propanol, isopropanol / cyclohexanol, butyl alcohol, isooctanol and ethylene glycol, ethylene glycol ethers such as ethylene glycol butyl ether, diethylene glycol ethyl ether and the like And diethylene glycol ether.

また、前記高分子物質(A)として、前記共重合体(b1)を、反応性二重結合を有する化合物で変性したもの[以下、共重合体(b2)と称する。]を用いてもよい。この場合の式(6)及び(7)で示される構造と式(8)で示される構造の比率が約1であることが好ましい。上記共重合体(b2)としては、具体的には、共重合体(b1)中の酸無水物基又はカルボキシ基に、反応性二重結合を有する化合物を反応させることにより製造することができる。この場合アルカリ現像を行うために必要なカルボキシル基が共重合体中に残っていることが必要である。   In addition, as the polymer substance (A), the copolymer (b1) is modified with a compound having a reactive double bond [hereinafter referred to as copolymer (b2). ] May be used. In this case, the ratio of the structure represented by the formulas (6) and (7) to the structure represented by the formula (8) is preferably about 1. Specifically, the copolymer (b2) can be produced by reacting a compound having a reactive double bond with the acid anhydride group or carboxy group in the copolymer (b1). . In this case, it is necessary that the carboxyl group necessary for alkali development remains in the copolymer.

前記反応性二重結合を有する化合物としては、炭素−炭素二重結合を有する化合物が好ましく、具体的には、不飽和アルコール(例えば、アリルアルコール、2−ブテン−1−2−オール、フルフリルアルコール、オレイルアルコール、シンナミルアルコール、2−ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、N−メチロールアクリルアミド等),アルキル(メタ)アクリレート(例えば、メチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート等),オキシラン環及び反応性二重結合をそれぞれ1個有するエポキシ化合物(例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル、α−エチルグリシジルアクリレート、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシジルエステル等)等が好適な例として挙げられる。   The compound having a reactive double bond is preferably a compound having a carbon-carbon double bond, specifically, an unsaturated alcohol (for example, allyl alcohol, 2-buten-1-ol, furfuryl). Alcohol, oleyl alcohol, cinnamyl alcohol, 2-hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, N-methylol acrylamide, etc.), alkyl (meth) acrylate (eg, methyl methacrylate, t-butyl methacrylate, etc.), oxirane ring and reactive Epoxy compounds each having one heavy bond (for example, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, α-ethyl glycidyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, monoalkyl itaconate monoalkyl) Glycidyl ester etc.) and the like as a preferable example.

また、上記共重合体(b2)として、不飽和アルコールにより反応性二重結合を導入されたものに、さらに反応性二重結合濃度を大きくするために、前記したオキシラン環及び反応性二重結合をそれぞれ1個有するエポキシ化合物を反応させ、さらに反応性二重結合濃度を大きくしたものを用いてもよい。   In addition, in order to further increase the concentration of the reactive double bond in the copolymer (b2) into which the reactive double bond is introduced by the unsaturated alcohol, the oxirane ring and the reactive double bond described above are used. Alternatively, an epoxy compound having one each may be reacted to further increase the reactive double bond concentration.

上記共重合体(b1)及び(b2)の製造方法は特に限定されず、公知の方法(例えば、特許文献32〜34等参照。)に準じて行なうことができる。スチレン/マレイン酸系重合体以外のカルボキシ基を有する高分子物質も上記と同様に反応性二重結合を導入することができる。高分子物質への反応性二重結合の付与は、硬化度の増加及び耐刷性の向上の点から好ましい。   The manufacturing method of the said copolymers (b1) and (b2) is not specifically limited, It can carry out according to a well-known method (for example, refer patent document 32-34 etc.). Reactive double bonds can also be introduced in a polymer substance having a carboxy group other than the styrene / maleic acid polymer in the same manner as described above. Giving a reactive double bond to a polymer material is preferable from the viewpoint of increasing the degree of curing and improving printing durability.

本発明のポジ型感光性組成物における高分子物質(A)の含有割合は、特に限定されないが、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分及び(F)成分の固形分総量に対して、80〜98重量%であるのが好ましく、90〜95重量%であるのが更に好ましい。これら高分子物質(A)は、単独で使用しても良く、2種以上併用しても良い。   Although the content rate of the high molecular substance (A) in the positive photosensitive composition of this invention is not specifically limited, (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component And it is preferable that it is 80 to 98 weight% with respect to the solid content total amount of (F) component, and it is still more preferable that it is 90 to 95 weight%. These polymer substances (A) may be used alone or in combination of two or more.

前記光熱変換物質(B)としては、吸収した光を熱に変換し得る化合物であれば特に限定はないが、波長700〜1,100nmの赤外線領域の一部又は全部に吸収帯を有する有機又は無機の顔料や染料、有機色素、金属、金属酸化物、金属炭化物、金属硼化物等が挙げられ、前記波長域の光を効率良く吸収し、且つ紫外線領域の光は殆ど吸収しないか又は吸収しても実質的に感応しない光吸収色素が好ましく、下記一般式(3)又は(4)で示される化合物やその誘導体が好適に用いられる。   The photothermal conversion substance (B) is not particularly limited as long as it is a compound capable of converting the absorbed light into heat, but is an organic having an absorption band in part or all of the infrared region having a wavelength of 700 to 1,100 nm. Examples include inorganic pigments and dyes, organic pigments, metals, metal oxides, metal carbides, metal borides, etc., which efficiently absorb light in the wavelength range and hardly or absorb light in the ultraviolet range. However, a light-absorbing dye that is substantially insensitive is preferable, and a compound represented by the following general formula (3) or (4) or a derivative thereof is preferably used.

[式(3)中、R〜Rは各々独立して、水素原子、低級アルキル基(炭素数1〜3のアルキル基が好ましい)、又は低級アルコキシル基(炭素数1〜3のアルコキシル基が好ましい)を示す。Xは対アニオンを示し、Xとしてはハロゲン原子、ClO、BF、p−CHSO、又はPF等が挙げられる。] [In formula (3), R 3 to R 8 are each independently a hydrogen atom, a lower alkyl group (preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms), or a lower alkoxyl group (an alkoxyl group having 1 to 3 carbon atoms). Is preferable). X represents a counter anion, and examples of X include a halogen atom, ClO 4 , BF 4 , p-CH 3 C 6 H 4 SO 3 , or PF 6 . ]

[式(4)中、R〜R12は各々独立して、水素原子、メトキシ基、−N(CH、又は−N(Cを示し、Yは対アニオンを示し、YとしてはC−B(C、p−CHSO、又はCFSO等が挙げられる。] [In the formula (4), R 9 to R 12 each independently represents a hydrogen atom, a methoxy group, —N (CH 3 ) 2 , or —N (C 2 H 5 ) 2 , and Y represents a counter anion. Y represents C 4 H 9 -B (C 6 H 5 ) 3 , p-CH 3 C 6 H 4 SO 3 , CF 3 SO 3 , or the like. ]

上記一般式(4)で示される化合物としては、最大吸収波長が近赤外線領域にある下記化学式(9)〜(12)で示される近赤外線吸収色素がより好ましい。   As the compound represented by the general formula (4), near infrared absorbing dyes represented by the following chemical formulas (9) to (12) having a maximum absorption wavelength in the near infrared region are more preferable.

また、他の光吸収色素としては、例えば、特許文献6に記載されているような窒素原子、酸素原子、又は硫黄原子等を含む複素環等がポリメチン(−CH=)nで結合された、広義の所謂シアニン系色素が代表的なものとして挙げられ、具体的には、例えば、キノリン系(所謂、シアニン系)、インドール系(所謂、インドシアニン系)、ベンゾチアゾール系(所謂、チオシアニン系)、イミノシクロヘキサジエン系(所謂、ポリメチン系)、ピリリウム系、チアピリリウム系、スクアリリウム系、クロコニウム系、アズレニウム系等が挙げられ、中で、キノリン系、インドール系、ベンゾチアゾール系、イミノシクロヘキサジエン系、ピリリウム系、又はチアピリリウム系が好ましい。特に、フタロシアニンやシアニンが好ましい。   In addition, as other light-absorbing dyes, for example, a heterocyclic ring containing a nitrogen atom, an oxygen atom, or a sulfur atom as described in Patent Document 6 is bonded with polymethine (—CH═) n. Typical examples include so-called cyanine dyes in a broad sense. Specific examples include quinoline (so-called cyanine), indole (so-called indocyanine), and benzothiazole (so-called thiocyanine). , Iminocyclohexadiene series (so-called polymethine series), pyrylium series, thiapyrylium series, squarylium series, croconium series, azurenium series, etc., among which quinoline series, indole series, benzothiazole series, iminocyclohexadiene series, pyrylium System or thiapyrylium system is preferred. In particular, phthalocyanine and cyanine are preferable.

前記光熱変換物質(B)は、波長700〜1,100nmの赤外波長領域の一部又は全部に吸収帯を有し該赤外波長領域のレーザー光を吸収して熱分解する特性を有し、前記カルボキシル基を有する高分子物質(A)の分子の熱切断によるアルカリ可溶性の低分子化・アブレーションに関与する。   The photothermal conversion substance (B) has an absorption band in a part or all of the infrared wavelength region having a wavelength of 700 to 1,100 nm, and has a characteristic of thermally decomposing by absorbing laser light in the infrared wavelength region. Involvement in alkali-soluble molecular weight reduction and ablation by thermal cleavage of molecules of the polymer substance (A) having a carboxyl group.

光熱変換物質の添加量の多少は、露光で発生する熱の過多と不足に関係し、又、赤外レーザー光の強弱は、露光部分に存在する有機高分子物質の熱分解の過多と不足に関係するので適切な量に設定される。本発明のポジ型感光性組成物における光熱変換物質(B)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分及び(F)成分の固形分総量に対して、0.1〜10重量%であるのが好ましく、1〜4重量%であるのが更に好ましい。   The amount of the photothermal conversion material added is related to the excess and deficiency of heat generated by exposure, and the intensity of infrared laser light is caused by excess and deficiency of thermal decomposition of the organic polymer substance present in the exposed part. Since it is related, it is set to an appropriate amount. The content ratio of the photothermal conversion substance (B) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, and (F) component The total solid content is preferably 0.1 to 10% by weight, more preferably 1 to 4% by weight.

前記溶解阻止剤(C)は、露光部と非露光部のアルカリ現像液に対する溶解性の時間差を増大させる目的で配合され、高分子物質(A)と水素結合を形成して該高分子物質の溶解性を低下させる機能を有し、かつ、赤外領域の光を殆ど吸収せず、赤外領域の光で分解されないものが用いられる。   The dissolution inhibitor (C) is blended for the purpose of increasing the difference in solubility between the exposed area and the non-exposed area in the alkaline developer, and forms a hydrogen bond with the polymeric substance (A) to form the polymer substance. Those having a function of lowering the solubility, hardly absorbing light in the infrared region, and not being decomposed by light in the infrared region are used.

前記溶解阻止剤(C)として、下記式(2)で示される化合物(4,4’−[1−[4−[1−(4−ヒドロキシフェニル)−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール)を用いることが好ましい。   As the dissolution inhibitor (C), a compound represented by the following formula (2) (4,4 ′-[1- [4- [1- (4-hydroxyphenyl) -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol ) Is preferably used.

また、溶解阻止剤(C)として、公知の溶解阻止剤を用いることもできる。具体的には、スルホン酸エステル、燐酸エステル、芳香族カルボン酸エステル、芳香族ジスルホン、カルボン酸無水物、芳香族ケトン、芳香族アルデヒド、芳香族アミン、芳香族エーテル等や、ラクトン骨格、チオラクトン骨格、N,N−ジアリールアミド骨格、又はジアリールメチルイミノ骨格を有する酸発色性色素、ラクトン骨格、チオラクトン骨格、又はスルホラクトン骨格を有する塩基発色性色素、非イオン性界面活性剤等が挙げられ、これらの中では、ラクトン骨格を有する酸発色性色素が好ましい。   Moreover, a well-known dissolution inhibitor can also be used as a dissolution inhibitor (C). Specifically, sulfonic acid ester, phosphoric acid ester, aromatic carboxylic acid ester, aromatic disulfone, carboxylic acid anhydride, aromatic ketone, aromatic aldehyde, aromatic amine, aromatic ether, etc., lactone skeleton, thiolactone skeleton , N, N-diarylamide skeleton, or acid color-forming dye having a diarylmethylimino skeleton, base color-forming dye having a lactone skeleton, thiolactone skeleton, or sulfolactone skeleton, nonionic surfactant, etc. Among these, acid coloring dyes having a lactone skeleton are preferred.

本発明のポジ型感光性組成物における溶解阻止剤(C)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分及び(F)成分の固形分総量に対して、0.5〜8重量%であるのが好ましく、1〜5重量%がより好ましい。これら溶解阻止剤は単独で使用しても良く、2種以上併用してもよい。   The content of the dissolution inhibitor (C) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, and (F) component The total solid content is preferably 0.5 to 8% by weight, more preferably 1 to 5% by weight. These dissolution inhibitors may be used alone or in combination of two or more.

前記光酸発生剤(D)は、光により酸を発生する物質であり、増感剤として作用する。前記光酸発生剤(D)としては、例えば、ジフェニルヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウム塩、芳香族スルホン酸エステル、トリアジン化合物、ジアゾジスルホン系化合物等が挙げられ、下記一般式(13)〜(47)で示される化合物が好ましく、下記式(5)で示される化合物が特に好ましい。   The photoacid generator (D) is a substance that generates an acid by light, and acts as a sensitizer. Examples of the photoacid generator (D) include diphenyliodonium salts, triphenylsulfonium salts, aromatic sulfonic acid esters, triazine compounds, diazodisulfone compounds, and the following general formulas (13) to (47). The compound shown by these is preferable, and the compound shown by following formula (5) is especially preferable.

式(13)中、R19及びR20は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基又はアルコキシル基を示し、水素原子、メチル基、tert−ブチル基、メチルプロピル基、又はメトキシ基が好ましい。Zは対アニオンを示し、ZとしてはPF、CFSO、CSO、SbF、BF等の無機酸アニオン、p−トルエンスルホン酸、樟脳−β−スルホン酸等の有機酸アニオン等が挙げられる。 In formula (13), R 19 and R 20 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxyl group, preferably a hydrogen atom, a methyl group, a tert-butyl group, a methylpropyl group or a methoxy group. Z represents a counter anion, and as Z, inorganic acid anions such as PF 6 , CF 3 SO 3 , C 4 F 9 SO 3 , SbF 6 , BF 4 , p-toluenesulfonic acid, camphor-β-sulfonic acid, etc. Organic acid anions, and the like.

式(14)中、R21は、水素原子、アルキル基、アルコキシル基又は−SC基を示し、水素原子、メチル基、tert−ブチル基、メチルプロピル基、又はメトキシ基が好ましい。Zは式(13)と同様である。 In formula (14), R 21 represents a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxyl group, or a —SC 6 H 5 group, and preferably a hydrogen atom, a methyl group, a tert-butyl group, a methylpropyl group, or a methoxy group. Z is the same as in formula (13).

式(16)中、R22は、1価の有機基であり、トリクロロメチル基、フェニル基、p−メトキシフェニル基、ジメトキシフェニル基、p−CHSC基、p−クロロフェニル基、メトキシスチリル基、ジメトキシスチリル基、トリメトキシスチリル基、プロポキシスチリル基、ブトキシスチリル基、ペンチルオキシスチリル基、p−メトキシ−m−クロロスチリル基、4’−メトキシ−1’−ナフチル基等が挙げられる。 In the formula (16), R 22 is a monovalent organic group, and includes a trichloromethyl group, a phenyl group, a p-methoxyphenyl group, a dimethoxyphenyl group, a p-CH 3 SC 6 H 4 group, a p-chlorophenyl group, Examples include methoxystyryl group, dimethoxystyryl group, trimethoxystyryl group, propoxystyryl group, butoxystyryl group, pentyloxystyryl group, p-methoxy-m-chlorostyryl group, 4'-methoxy-1'-naphthyl group, and the like. .

式(21)中、R23は、水素原子又は1価の有機基であり、水素原子、tert−ブチル基等が挙げられる。 In formula (21), R 23 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and examples thereof include a hydrogen atom and a tert-butyl group.

式(24)中、R24及びR25は、それぞれ独立して水素原子又は1価の有機基であり、水素原子、メチル基、tert−ブチル基等が挙げられる。 In formula (24), R 24 and R 25 are each independently a hydrogen atom or a monovalent organic group, and examples thereof include a hydrogen atom, a methyl group, and a tert-butyl group.

式(25)中、R26及びR27は、それぞれ独立して水素原子又は1価の置換基であり、水素原子、塩素原子、メチル基、tert−ブチル基等が挙げられる。R28及びR29は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基である。 In formula (25), R 26 and R 27 are each independently a hydrogen atom or a monovalent substituent, and examples thereof include a hydrogen atom, a chlorine atom, a methyl group, and a tert-butyl group. R 28 and R 29 are each independently a hydrogen atom or a methyl group.

式(31)中、Zは式(13)と同様である。 In formula (31), Z is the same as in formula (13).

式(32)中、Zは式(13)と同様である。Aは水素原子又は水酸基である。 In formula (32), Z is the same as in formula (13). A is a hydrogen atom or a hydroxyl group.

式(33)中、Zは式(13)と同様である。 In formula (33), Z is the same as in formula (13).

式(34)中、R30は、水素原子又は−SCH基を示す。 In formula (34), R 30 represents a hydrogen atom or a —SCH 3 group.

式(36)中、R31〜R33はそれぞれ独立して1価の有機基であり、メチル基又はエチル基等のアルキル基が好ましい。 In formula (36), R 31 to R 33 are each independently a monovalent organic group, and an alkyl group such as a methyl group or an ethyl group is preferable.

式(37)中、R34及びR35は、それぞれ独立して水素原子又はNO基を示す。 In the formula (37), R 34 and R 35 each independently represent a hydrogen atom or a NO 2 group.

式(38)中、R36は水素原子又はNO基を示す。 In the formula (38), R 36 represents a hydrogen atom or a NO 2 group.

式(39)中、R37はメチル基、CF基,フェニル基又はp−メチルフェニル基を示す。 In the formula (39), R 37 represents a methyl group, a CF 3 group, a phenyl group or a p-methylphenyl group.

式(41)中、R37は式(39)と同様である。 In the formula (41), R 37 is the same as in the formula (39).

式(43)中、R37は式(39)と同様である。 In the formula (43), R 37 is the same as in the formula (39).

式(47)中、Zは式(13)と同様である。 In formula (47), Z is the same as in formula (13).

光酸発生剤としては、具体的には、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)のIRGACUREシリーズ、みどり化学株式会社の製品名:BDE,Anisil,BBI−102,TAZ−101,TAZ−104,TAZ−106,TAZ−110,BC等の光酸発生剤を広く使用できる。又、和光純薬工業株式会社のジアゾジスルホン系、トリフェニルスルホニウム系の光酸発生剤を使用できる。   Specific examples of the photoacid generator include IRGACURE series of Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., and product names of Midori Chemical Co., Ltd .: BDE, Anisil, BBI-102, TAZ-101, TAZ-104, TAZ- Photoacid generators such as 106, TAZ-110, and BC can be widely used. Further, diazodisulfone and triphenylsulfonium photoacid generators from Wako Pure Chemical Industries, Ltd. can be used.

本発明のポジ型感光性組成物における光酸発生剤(D)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分及び(F)成分の固形分総量に対して、0.5〜10重量%であるのが好ましく、1〜5重量%がより好ましい。これら光酸発生剤は単独で使用しても良く、2種以上併用してもよい。また、他の増感剤と組み合わせて使用しても良い。   The content ratio of the photoacid generator (D) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, and (F). It is preferably 0.5 to 10% by weight, more preferably 1 to 5% by weight, based on the total solid content of the components. These photoacid generators may be used alone or in combination of two or more. Moreover, you may use it in combination with another sensitizer.

前記樹脂(E)は、(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン−ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種のアルカリ可溶性樹脂であり、密着性改良剤として機能する。   The resin (E) includes (1) vinyl pyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinyl pyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinyl pyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, and (4) polyvinyl acetate. , (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine-formaldehyde resin, and (10) at least one selected from the group consisting of ketone resins It is an alkali-soluble resin and functions as an adhesion improver.

前記(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー(以下、PVP/VAコポリマーと称する。)は、ビニルピロリドンと酢酸ビニルを共重合させて得られる熱可塑性樹脂であり、下記一般式(48)で示される構造を有する。   The (1) vinyl pyrrolidone / vinyl acetate copolymer (hereinafter referred to as PVP / VA copolymer) is a thermoplastic resin obtained by copolymerizing vinyl pyrrolidone and vinyl acetate, and is represented by the following general formula (48). It has a structure.

式(48)中、n、mは各々1以上の整数である。PVP/VAコポリマー中のビニルピロリドンと酢酸ビニルの割合は特に限定されないが、ビニルピロリドンと酢酸ビニルの割合が70/30から30/70であるものが好ましく、50/50がより好ましい。   In formula (48), n and m are each an integer of 1 or more. The ratio of vinyl pyrrolidone and vinyl acetate in the PVP / VA copolymer is not particularly limited, but the ratio of vinyl pyrrolidone and vinyl acetate is preferably 70/30 to 30/70, more preferably 50/50.

PVP/VAコポリマーの製造方法は特に限定されないが、ビニルピロリドンと酢酸ビニルをフリーラジカル重合させて得られるリニアなランダムコポリマーが好ましい。PVP/VAコポリマーの分子量も特に限定されないが、10,00〜60,000が好ましく、20,000〜50,000が更に好ましい。   The method for producing the PVP / VA copolymer is not particularly limited, but a linear random copolymer obtained by free radical polymerization of vinylpyrrolidone and vinyl acetate is preferable. The molecular weight of the PVP / VA copolymer is not particularly limited, but is preferably 10,000 to 60,000, and more preferably 20,000 to 50,000.

前記(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマーは、下記一般式(49)で示される構造を有する。   The (2) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer has a structure represented by the following general formula (49).

式(49)中、n、mは各々1以上の整数である。   In formula (49), n and m are each an integer of 1 or more.

前記(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマーは、ビニルピロリドンとビニルカプロラクタムとジメチルエチルメタクリレートの共重合体であり、下記一般式(50)で示される構造を有する。   The (3) vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer is a copolymer of vinylpyrrolidone, vinylcaprolactam and dimethylethyl methacrylate, and has a structure represented by the following general formula (50).

式(50)中、n、m、lは各々1以上の整数である。   In formula (50), n, m, and l are each an integer of 1 or more.

前記(4)ポリ酢酸ビニルは、酢酸ビニルの単独重合体又は酢酸ビニルを主成分とする共重合体であり、下記一般式(51)で示される構造を有する。   The (4) polyvinyl acetate is a homopolymer of vinyl acetate or a copolymer containing vinyl acetate as a main component, and has a structure represented by the following general formula (51).

式(51)中、nは1以上の整数である。ポリ酢酸ビニルとしては、例えば、電気化学工業株式会社のサクノールSN−09T(商品名)が好適に使用される。   In formula (51), n is an integer of 1 or more. As polyvinyl acetate, for example, Sacanol SN-09T (trade name) manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. is preferably used.

前記(5)ポリビニルブチラール(略称PVB)は、ポリビニルアルコールにブチルアルデヒドを反応させるブチラール化により得られる樹脂であり、下記一般式(52)で示される構造を有する。   The (5) polyvinyl butyral (abbreviated as PVB) is a resin obtained by butyralization in which polyvinyl alcohol is reacted with butyraldehyde, and has a structure represented by the following general formula (52).

式(52)中、n、m、lは各々1以上の整数である。ポリビニルブチラールとしては、具体的には、電気化学工業株式会社の製品、デンカブチラール5000Aと6000EP,積水化学工業株式会社の製品、低重合度タイプのBL−1、BL−2、BL−2、BL−S、BX−L、中重合度タイプのBM−1、BM−2、BM−5、BM−S、高重合度タイプのBH−3、BH−S、BX−1、BX−2、BX−5、BX−55等が好適な例として挙げられ、多種類の溶剤に溶解性を有するBL−S、BM−S、BH−Sの使用が特に好ましい。   In formula (52), n, m, and l are each an integer of 1 or more. Specifically, as polyvinyl butyral, products from Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., Denkabutyral 5000A and 6000EP, products from Sekisui Chemical Co., Ltd., low polymerization types BL-1, BL-2, BL-2, BL -S, BX-L, medium polymerization type BM-1, BM-2, BM-5, BM-S, high polymerization type BH-3, BH-S, BX-1, BX-2, BX -5, BX-55, and the like are preferable examples, and BL-S, BM-S, and BH-S, which are soluble in various types of solvents, are particularly preferable.

前記(6)ポリビニルホルマール(PVFM)は、下記一般式(53)で示される構造を有する電気絶縁性が良好な樹脂である。   Said (6) polyvinyl formal (PVFM) is resin with favorable electrical insulation which has a structure shown by the following general formula (53).

式(53)中、n、m、lは各々1以上の整数である。ポリビニルホルマールの製造方法は特に限定されないが、例えば、ポリ酢酸ビニルを酢酸に溶解させ、ホルムアルデヒドと硫酸を加えてケン化反応とホルマール化反応とを同時に行わせ、この反応液に希硫酸を加えポリビニルホルマールを沈殿させ、溶媒回収、洗浄、乾燥工程を経て製品が得られる。   In formula (53), n, m, and l are each an integer of 1 or more. The method for producing polyvinyl formal is not particularly limited. For example, polyvinyl acetate is dissolved in acetic acid, and formaldehyde and sulfuric acid are added to perform a saponification reaction and a formalization reaction at the same time. The product is obtained through precipitation of formal and solvent recovery, washing, and drying steps.

前記(7)テルペンフェノール樹脂としては、従来公知のものを広く使用可能である。具体的には、タマノル803L及び901(荒川化学工業株式会社製の商品名)が好適な例として挙げられる。   As said (7) terpene phenol resin, a conventionally well-known thing can be used widely. Specifically, Tamanol 803L and 901 (trade names manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) are preferable examples.

前記(8)アルキルフェノール樹脂としては、従来公知のものを広く使用可能である。具体的には、タマノル520S,521,526,586及び572S(荒川化学工業株式会社製の商品名)が好適な例として挙げられる。   As said (8) alkylphenol resin, a conventionally well-known thing can be used widely. Specifically, Tamanol 520S, 521, 526, 586, and 572S (trade names manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) are preferable examples.

前記(9)メラミン−ホルムアルデヒド樹脂は、メラミンとホルムアルデヒドの付加縮合反応によって得られる樹脂であり、公知のメラミン−ホルムアルデヒド樹脂を広く使用することができる。具体的には、例えば、ハリマ化成株式会社のバンセリンSM−960(商品名)を使用することが好ましい。   The (9) melamine-formaldehyde resin is a resin obtained by an addition condensation reaction between melamine and formaldehyde, and known melamine-formaldehyde resins can be widely used. Specifically, for example, it is preferable to use Vanserin SM-960 (trade name) manufactured by Harima Chemicals Co., Ltd.

前記(10)ケトン樹脂としては、公知のケトン樹脂を用いることができ、特に限定されない。例えば、ケトン類とホルムアルデヒドとを公知の方法で反応させて得ることができる。ケトン類としては、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトフェノン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等が挙げられ、特に、シクロヘキサノンとアセトフェノンが好ましい。ケトン樹脂としては、下記式(54)で示されるシクロヘキサノン系ケトン樹脂、及び下記式(55)で示される構造を有するアセトフェノン系ケトン樹脂が好ましい。   As said (10) ketone resin, a well-known ketone resin can be used and it is not specifically limited. For example, it can be obtained by reacting ketones with formaldehyde by a known method. Examples of the ketones include methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetophenone, cyclohexanone, and methylcyclohexanone, and cyclohexanone and acetophenone are particularly preferable. As the ketone resin, a cyclohexanone-based ketone resin represented by the following formula (54) and an acetophenone-based ketone resin having a structure represented by the following formula (55) are preferable.

式(54)及び式(55)において、m、nはそれぞれ1以上の整数である。   In Formula (54) and Formula (55), m and n are each an integer of 1 or more.

本発明のポジ型感光性組成物における樹脂(E)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分及び(F)成分の固形分総量に対して、1〜40重量%であるのが好ましく、5〜30重量%がより好ましい。   The content ratio of the resin (E) in the positive photosensitive composition of the present invention is the solid content of the component (A), the component (B), the component (C), the component (D), the component (E), and the component (F). It is preferably 1 to 40% by weight, more preferably 5 to 30% by weight, based on the total amount of the components.

前記(F)トリアリールメタン系染料としては、従来公知のトリアリールメタン系の着色染料を広く使用できるが、具体的には、メチルバイオレット、クリスタルバイオレット、ビクトリアブルーB、オイルブルー613(オリエント化学工業(株)製の商品名)及びこれらの誘導体が好ましい。これらトリアリールメタン系色素は単独又は2種以上組み合わせて使用することができる。   As the (F) triarylmethane-based dye, conventionally known triarylmethane-based colored dyes can be widely used. Specifically, methyl violet, crystal violet, Victoria blue B, oil blue 613 (Orient Chemical Industries) (Trade name) manufactured by KK and their derivatives are preferred. These triarylmethane dyes can be used alone or in combination of two or more.

着色染料を用いることにより、現像によりパターンができた際に感光膜の表面のピンホール、ゴミ等がはっきり認識でき修正液(オペーク)で塗込み作業がし易いという効果がある。染料の濃度が高いほど見やすく好ましい。なお、半導体産業では修正出来ないため、クリーンルームで製造を行っているが、印刷業界、電子部品関連では失敗品を再生させるため、修正を行う。   By using a colored dye, there is an effect that when a pattern is formed by development, pinholes, dust and the like on the surface of the photosensitive film can be clearly recognized and the coating operation can be easily performed with a correction solution (opaque). The higher the concentration of the dye, the better it is easy to see. Since the semiconductor industry cannot make corrections, manufacturing is performed in a clean room. However, in the printing industry and electronic parts, corrections are made to regenerate failed products.

本発明のポジ型感光性組成物における染料(F)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分及び(F)成分の固形分総量に対して、0.1〜10重量%であるのが好ましく、1〜4重量%がより好ましい。   The content ratio of the dye (F) in the positive photosensitive composition of the present invention is the solid content of the component (A), the component (B), the component (C), the component (D), the component (E), and the component (F). The amount is preferably 0.1 to 10% by weight, more preferably 1 to 4% by weight based on the total amount of the components.

本発明のポ型感光性組成物は、上記した成分に加えて、必要に応じて、他の顔料又は染料等の着色剤、増感剤、現像促進剤、密着性改質剤、塗布性改良剤等の各種添加剤を配合してもよい。現像促進剤は、例えば、ジカルボン酸又はアミン類又はグリコール類を微量添加することが好ましい。 Po di photosensitive composition of the present invention, in addition to the aforementioned components, as necessary, a coloring agent such as other pigments or dyes, sensitizers, development accelerators, adhesion modifiers, coating properties Various additives such as an improving agent may be blended. As the development accelerator, for example, it is preferable to add a small amount of dicarboxylic acid or amines or glycols.

本発明のポジ型感光性組成物は、通常、溶媒に溶解した溶液として使用される。溶媒の使用割合は、感光性組成物の固形分総量に対して、通常、重量比で1〜20倍程度の範囲である。   The positive photosensitive composition of the present invention is usually used as a solution dissolved in a solvent. The ratio of the solvent used is usually in the range of about 1 to 20 times by weight with respect to the total solid content of the photosensitive composition.

溶媒としては、使用成分に対して十分な溶解度を持ち、良好な塗膜性を与えるものであれば特に制限はなく、セロソルブ系溶媒、プロピレングリコール系溶媒、エステル系溶媒、アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、高極性溶媒を使用できる。セロソルブ系溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等が挙げられる。プロピレングリコール系溶媒としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等が挙げられる。エステル系溶媒としては、酢酸ブチル、酢酸アミル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ジエチルオキサレート、ピルビン酸エチル、エチル−2−ヒドロキシブチレート、エチルアセトアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル等が挙げられる。アルコール系溶媒としては、ヘプタノール、ヘキサノール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール等が挙げられる。高極性溶媒としては、シクロヘキサノン、メチルアミルケトン等のケトン系溶媒やジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等が挙げられる。その他、酢酸、あるいはこれらの混合溶媒、更にはこれらに芳香族炭化水素を添加したもの等が挙げられる。   The solvent is not particularly limited as long as it has sufficient solubility with respect to the components used and gives good coating properties. Cellosolve solvent, propylene glycol solvent, ester solvent, alcohol solvent, ketone solvent Solvents and highly polar solvents can be used. Examples of the cellosolve solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl cellosolve acetate, and ethyl cellosolve acetate. Examples of the propylene glycol solvent include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol dimethyl ether and the like. . As ester solvents, butyl acetate, amyl acetate, ethyl butyrate, butyl butyrate, diethyl oxalate, ethyl pyruvate, ethyl-2-hydroxybutyrate, ethyl acetoacetate, methyl lactate, ethyl lactate, methyl 3-methoxypropionate Etc. Examples of the alcohol solvent include heptanol, hexanol, diacetone alcohol, furfuryl alcohol and the like. Examples of the highly polar solvent include ketone solvents such as cyclohexanone and methyl amyl ketone, dimethylformamide, dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone. In addition, acetic acid or a mixed solvent thereof, and those obtained by adding aromatic hydrocarbons to these may be used.

本発明のポジ型感光性組成物は、通常、前記各成分をセロソルブ系溶媒、プロピレングリコール系溶媒等の溶媒に溶解した溶液として支持体表面であるグラビア印刷用の被製版ロールの銅メッキ面又は硫酸銅メッキ面に塗布し自然乾燥した後、高速回転して被製版ロールの表面で風を切り感光膜内における遠心力による質量作用と表面近傍が若干の負圧状態になることで溶剤残留濃度を6%以下に低減することにより、支持体表面に感光性組成物層が形成されたポジ型感光膜とされる。   The positive photosensitive composition of the present invention is usually a copper-plated surface of a plate-making roll for gravure printing which is a support surface as a solution obtained by dissolving the above components in a solvent such as a cellosolve solvent or a propylene glycol solvent. After coating on the copper sulfate plating surface and air-drying, it rotates at high speed and blows off the surface of the plate-making roll. Is reduced to 6% or less to obtain a positive photosensitive film in which a photosensitive composition layer is formed on the support surface.

塗布方法として、メニスカスコート、ファウンティンコート、ディップコート、回転塗布、ロール塗布、ワイヤーバー塗布、エアーナイフ塗布、ブレード塗布、及びカーテン塗布等を用いることができる。塗布膜の厚さは1〜6μmの範囲とすることが好ましく、さらに3〜5μmとするのが好ましい。   As a coating method, meniscus coating, fountain coating, dip coating, spin coating, roll coating, wire bar coating, air knife coating, blade coating, curtain coating, and the like can be used. The thickness of the coating film is preferably in the range of 1 to 6 μm, more preferably 3 to 5 μm.

ポジ型感光性組成物層を画像露光する光源としては、波長700〜1,100mmの赤外レーザー光線を発生する半導体レーザーやYAGレーザーが好ましい。他に、ルビーレーザー、LED等の固体レーザーを用いることが出来る。レーザー光源の光強度としては、2.0×10mJ/s・cm以上とすることが好ましく、1.0×10mJ/s・cm以上とすることが特に好ましい。 As a light source for image exposure of the positive photosensitive composition layer, a semiconductor laser or a YAG laser that generates an infrared laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 mm is preferable. In addition, a solid laser such as a ruby laser or an LED can be used. The light intensity of the laser light source is preferably 2.0 × 10 6 mJ / s · cm 2 or more, and more preferably 1.0 × 10 7 mJ / s · cm 2 or more.

本発明のポジ型感光性組成物を用いて形成した感光膜に対して用いる現像液としては、無機アルカリ(例えば、Na、Kの塩等)、又は有機アルカリ(例えば、TMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)、又はコリン等)などの無機又は有機のアルカリからなる現像剤が好ましい。   As a developer used for the photosensitive film formed using the positive photosensitive composition of the present invention, an inorganic alkali (for example, a salt of Na or K) or an organic alkali (for example, TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide) is used. ) Or choline or the like, and a developer made of an inorganic or organic alkali is preferable.

現像は、浸漬現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等により、通常、15〜45℃程度の温度、好ましくは22〜32℃で行なう。   Development is usually performed at a temperature of about 15 to 45 ° C., preferably 22 to 32 ° C., by immersion development, spray development, brush development, ultrasonic development and the like.

以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. However, it is needless to say that these examples are shown by way of illustration and should not be construed in a limited manner.

(実施例1)
表1に示す配合物質及び配合割合によりポジ型感光性組成物を調製し、テスト感光液とした。
Example 1
A positive photosensitive composition was prepared with the compounding substances and blending ratios shown in Table 1, and used as a test photosensitive solution.

表1中の各成分は下記の通りである。
樹脂A1:SMA 1440(SARTOMER社製,スチレン/無水マレイン酸共重合体のブチルセロソルブによる部分エステル化物)。
赤外線吸収色素B1:前記式(3)で示される赤外線吸収色素
溶解阻止剤1:TrisP−PA(本州化学工業(株)製、前記式(2)で示される化合物)。
光酸発生剤1:IRGACURE 250(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製、前記式(5)で示される化合物)
樹脂E1:PVP/VAコポリマー(分子量46,000、ガラス転移点96℃のビニルピロリドンと酢酸ビニルの共重合体、ビニルピロリドン/酢酸ビニル50/50)
着色色素F1:オイルブルー613(オリエント化学工業(株)製、Color Index(C.I.)No.42595)
PM:プロピレングリコールモノメチルエーテル
IPA:イソプロピルアルコール
MEK:メチルエチルケトン
Each component in Table 1 is as follows.
Resin A1: SMA 1440 (manufactured by SARTOMER, partially esterified product of styrene / maleic anhydride copolymer with butyl cellosolve).
Infrared absorbing dye B1: Infrared absorbing dye represented by the above formula (3) Dissolution inhibitor 1: TrisP-PA (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd., compound represented by the above formula (2)).
Photoacid generator 1: IRGACURE 250 (Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., compound represented by formula (5))
Resin E1: PVP / VA copolymer (copolymer of vinylpyrrolidone and vinyl acetate having a molecular weight of 46,000 and a glass transition point of 96 ° C., vinylpyrrolidone / vinyl acetate 50/50)
Coloring dye F1: Oil blue 613 (Orient Chemical Co., Ltd., Color Index (CI) No. 42595)
PM: Propylene glycol monomethyl ether IPA: Isopropyl alcohol MEK: Methyl ethyl ketone

得られたテスト感光液を用いて下記の実験を行った。なお、実験室内は25℃、表2に示す湿度条件下で実験を行った。ロール母材が鉄であり硫酸銅メッキされ鏡面研磨された200φmmの被製版ロールを、ファウンテンコーティング装置(除湿装置と加湿装置が付設されていて湿度を所望にコントロールできる装置)で両端チャックして25r.p.mで回転し、ワイピングクロスで十分に拭浄した。なお、該ファウンテンコーティング装置は、ポジ型感光性組成物中の溶剤がコーティング中に蒸発して溶剤の割合が変化することを回避するものである。   The following experiment was conducted using the obtained test photosensitive solution. The experiment was conducted at 25 ° C. under the humidity conditions shown in Table 2. A roll made of iron, copper sulfate-plated, and mirror-polished 200 mm mm plate-making roll is chucked at both ends with a fountain coating device (a device that can control humidity as desired by a dehumidifying device and a humidifying device). . p. Rotate at m and wipe thoroughly with a wiping cloth. In addition, this fountain coating apparatus avoids that the solvent in a positive photosensitive composition evaporates during coating and the ratio of a solvent changes.

その後、上端からテスト感光液が涌き出るパイプを被製版ロールの一端に約500μmのギャップを有するように位置させ、テスト感光液をコーティングに必要な量だけ湧き出させるようにして、該パイプを被製版ロールの一端から他端まで移動してスパイラルスキャン方式でテスト感光液を均一に塗布し、塗布終了から5分間25r.p.mで回転を続行した後回転停止した。   After that, the pipe from which the test photosensitive solution is sprinkled from the upper end is positioned so as to have a gap of about 500 μm at one end of the plate making roll, and the test photosensitive solution is swelled by an amount necessary for coating, and the pipe is made to plate making. Move from one end of the roll to the other end and apply the test sensitizing solution uniformly by a spiral scan method. p. After continuing the rotation at m, the rotation stopped.

5分間待って、液垂れについて観察したところ、肉眼で液垂れが生じたことが観察できなかった。そして、膜厚測定をしたところ、ロールの下面部分と上面部分とで差異はなかった。もって、液垂れが生じなく状態に乾固した感光膜をセットできたことを確認した。   After waiting for 5 minutes and observing the dripping, it was not possible to observe that dripping occurred with the naked eye. When the film thickness was measured, there was no difference between the lower surface portion and the upper surface portion of the roll. Thus, it was confirmed that the dried photosensitive film could be set in a state without dripping.

引き続いて、試験ロールを100r.p.mで20分間回転して停止し、感光膜中の溶剤残留濃度を測定したところ、2.9%であった。   Subsequently, the test roll was set to 100 r. p. After rotating at m for 20 minutes and stopping, the residual solvent concentration in the photosensitive film was measured and found to be 2.9%.

続いて、試験ロールをクレオサイテックス社の高出力半導体レーザーヘッドを搭載した露光装置(株式会社シンク・ラボラトリー製)に取付けて該試験ロールに赤外波長域のレーザーを照射してポジ画像を焼き付け、次いで、試験ロールを現像装置に取付けて回転して現像槽を上昇させて残渣がなくなるまで現像を行い、その後水洗した。なお、現像液はKOH4.2%(25℃)を用いた。得られたレジスト画像を顕微鏡により評価した。結果を表2に示す。   Subsequently, the test roll is attached to an exposure apparatus (manufactured by Sink Laboratories, Inc.) equipped with a high-power semiconductor laser head of Creositex, and a positive image is printed by irradiating the test roll with a laser in the infrared wavelength region. Then, the test roll was attached to the developing device and rotated to raise the developing tank, and development was performed until there was no residue, followed by washing with water. The developing solution used was 4.2% KOH (25 ° C.). The obtained resist images were evaluated with a microscope. The results are shown in Table 2.

表2中の評価方法は下記の通りである。
1)エッジの解像性
図1に示した解像力テストパターンを用いて、市松模様、グレーチングの7.9μmの線のエッジがシャープかどうかを測定した。表中◎は良好な結果であり解像性が合格、×は画像なしで製版できず解像性が不合格。
2)現像ラチチュード
大日本印刷株式会社製のセル蔵(網点の開孔率自動測定のできる装置)を用いて測定を行った。現像の回数を多くしたテスト(本実施例では3回)により、7.9μm×7.9μmの露光により、セル面積計算で60−75μmに入っている場合は、印刷濃度の許容範囲に入っている為、良好であり、表中◎で示した。印刷許容範囲外の場合を表中×で示した。
3)密着性
tesa test:DIN EN ISO 2409 tesaテープによる碁盤目密着性テストで100マスが全て残る場合を◎、20%未満の範囲で剥離される場合を○、20%以上剥離する場合を×とした。
4)感度
露光量をふり画像パターンに再現性が近いもので感度を決定。露光機はクレオ社のサーマルイメージングヘッドを用いた。
5)現像
残渣がなくなるまでの現像時間を測定した。
6)残膜率
塗膜の厚みを測定する装置であるFILMETRICS Thin Film Analyzer F20(Filmetrics Co製)を用いて、現像前の膜厚、現像後の膜厚を測定し、残膜率を算出した。
7)画像
オリジナル画像に再現性が近いかどうかを評価した。◎:非常に良好、×:非常に悪い、−:現像で画像が無くなる。
The evaluation methods in Table 2 are as follows.
1) Edge Resolution Using the resolving power test pattern shown in FIG. 1, it was measured whether the edge of a 7.9 μm line of a checkered pattern or a grating was sharp. In the table, “◎” indicates a good result and the resolution is acceptable, and “×” indicates that the plate cannot be made without an image and the resolution is unacceptable.
2) Development latitude The measurement was carried out using a cell warehouse manufactured by Dai Nippon Printing Co., Ltd. (an apparatus capable of automatically measuring the aperture ratio of halftone dots). According to the test with a large number of developments (three times in this embodiment), if the cell area calculation is within 60-75 μm 2 due to exposure of 7.9 μm × 7.9 μm, the print density is within the allowable range. Therefore, it is good and indicated by ◎ in the table. The case outside the allowable printing range is indicated by x in the table.
3) Adhesiveness tesa test: DIN EN ISO 2409 ◎ when 100 squares remain in the cross-cut adhesion test with tesa tape, ○ when peeled in a range of less than 20%, × when peeled 20% or more It was.
4) Sensitivity The exposure is determined and the sensitivity is determined by the reproducibility close to the image pattern. The exposure machine was a Creo thermal imaging head.
5) Development The development time until no residue was found was measured.
6) Remaining film ratio Using FILMETRICS Thin Film Analyzer F20 (manufactured by Filmmetrics Co), which is an apparatus for measuring the thickness of the coating film, the film thickness before development and the film thickness after development were measured, and the remaining film ratio was calculated. .
7) Image It was evaluated whether the reproducibility was close to the original image. A: Very good, X: Very bad,-: Image disappears in development.

感光液テストパターンと計測個所を図1に示す。図1中の計測個所に対するチェック項目及び測定方法を表3に示す。   The photosensitive solution test pattern and measurement points are shown in FIG. Table 3 shows the check items and measurement methods for the measurement points in FIG.

表2に示した如く、実施例1のポジ型感光性組成物は、25℃の室温、湿度35〜55%の条件下で、70秒位で残渣がないシャープなパターンが得られる良好な現像が行なえた。現像ラチチュードも良好であった。   As shown in Table 2, the positive photosensitive composition of Example 1 has a good development that gives a sharp pattern with no residue in about 70 seconds under conditions of room temperature of 25 ° C. and humidity of 35 to 55%. Could do. The development latitude was also good.

なお、硫酸銅メッキ面の代わりに銅面又はアルミニウム面を用いた場合についても実験を行ったがいずれも実施例1と同様、良好な結果が得られた。アルミニウム面の場合、特に広い現像ラチチュードが得られた。   In addition, although the experiment was also performed when a copper surface or an aluminum surface was used instead of the copper sulfate plating surface, good results were obtained as in Example 1. In the case of the aluminum surface, a particularly wide development latitude was obtained.

(実施例2〜6)
表4に示した如く組成物中の成分(B)及び成分(F)を変更した以外は実施例1−2と同様に実験を行った。なお、測定条件は湿度45%の条件下で行ったものである。結果を併せて表4に示す。
(Examples 2 to 6)
The experiment was performed in the same manner as in Example 1-2 except that the components (B) and (F) in the composition were changed as shown in Table 4. The measurement conditions were those under a humidity of 45%. The results are also shown in Table 4.

表4中、色素B2〜B6及び色素F2〜F4は下記の通りである。なお、成分(B)及び(F)の配合量はそれぞれ成分(A)の配合量を100重量部としたときの重量部を示したものである。
色素B2:IR−B(昭和電工(株)製、前記式(9)で示される赤外線吸収色素)
色素B3:IR−T(昭和電工(株)製、前記式(10)で示される赤外線吸収色素)
色素B4:IR−2MF(昭和電工(株)製、前記式(11)で示される赤外線吸収色素)
色素B5:IR−13F(昭和電工(株)製、前記式(12)で示される赤外線吸収色素)
色素B6:NK−2014((株)林原生物化学研究所製、下記式(56)で示される赤外線吸収色素)
In Table 4, the dyes B2 to B6 and the dyes F2 to F4 are as follows. In addition, the compounding quantity of a component (B) and (F) shows the weight part when the compounding quantity of a component (A) is 100 weight part, respectively.
Dye B2: IR-B (manufactured by Showa Denko KK, infrared absorbing dye represented by the above formula (9))
Dye B3: IR-T (manufactured by Showa Denko KK, infrared absorbing dye represented by the formula (10))
Dye B4: IR-2MF (manufactured by Showa Denko KK, infrared absorbing dye represented by the formula (11))
Dye B5: IR-13F (manufactured by Showa Denko KK, infrared absorbing dye represented by the formula (12))
Dye B6: NK-2014 (produced by Hayashibara Biochemical Laboratories, Inc., infrared absorbing dye represented by the following formula (56))

色素F2:アイゼンメチルバイオレットBBスペシャル(保土谷化学工業(株)製、C.I.Basic Violet 1,No.42535)
色素F3:アイゼンクリスタルバイオレット(保土谷化学工業(株)製、C.I.Basic Violet 3,No.42555)
色素F4:アイゼンビクトリアブルーBH(保土谷化学工業(株)製、C.I.Basic Blue 26,No.44045)
Dye F2: Eisenmethyl Violet BB Special (Hodogaya Chemical Co., Ltd., CI Basic Violet 1, No. 42535)
Dye F3: Eisen Crystal Violet (Hodogaya Chemical Co., Ltd., CI Basic Violet 3, No. 42555)
Dye F4: Eisen Victoria Blue BH (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd., CI Basic Blue 26, No. 44045)

(実施例7〜15)
表5に示した如く組成物中の成分(A)を変更した以外は実施例1−2と同様に実験を行った。結果を併せて表5に示す。
(Examples 7 to 15)
An experiment was conducted in the same manner as in Example 1-2 except that the component (A) in the composition was changed as shown in Table 5. The results are also shown in Table 5.

表5中、成分(A)の配合量は実施例1と同様であり、樹脂A2〜A10は下記の通りである。
樹脂A2:SMA 17352(SARTOMER社製,スチレン/無水マレイン酸共重合体のイソプロパノール/シクロヘキサノールによる部分エステル化物)。
樹脂A3:SMA 2624(SARTOMER社製,スチレン/無水マレイン酸共重合体のn−プロパノールによる部分エステル化物)。
樹脂A4:SMA 3840(SARTOMER社製,スチレン/無水マレイン酸共重合体のイソオクタノールによる部分エステル化物)。
樹脂A5:オキシラックSH−101(日本触媒化学工業(株)製、スチレン/マレイン酸半エステル共重合体)。
樹脂A6:アクリル酸、メタクリル酸メチル、及びスチレンの共重合体(酸価98、重量平均分子量21000、ベースモノマー比 アクリル酸:メタクリル酸メチル:スチレン=1:1:1)。
樹脂A7:マレイン酸重合体(酸価300、重量平均分子量10000)
樹脂A8:アクリル酸重合体(酸価100、重量平均分子量25000)
樹脂A9:オキシラックSH−101誘導体(グリシジルメタクリレート付加したスチレン/マレイン酸系共重合体、酸価80)
樹脂A10:グリシジルメタクリレート付加させた樹脂A6
In Table 5, the compounding quantity of a component (A) is the same as that of Example 1, and resin A2-A10 is as follows.
Resin A2: SMA 17352 (manufactured by SARTOMER, partially esterified product of styrene / maleic anhydride copolymer with isopropanol / cyclohexanol).
Resin A3: SMA 2624 (manufactured by SARTOMER, partially esterified product of styrene / maleic anhydride copolymer with n-propanol).
Resin A4: SMA 3840 (manufactured by SARTOMER, partially esterified product of styrene / maleic anhydride copolymer with isooctanol).
Resin A5: Oxylac SH-101 (manufactured by Nippon Shokubai Chemical Industry Co., Ltd., styrene / maleic acid half ester copolymer).
Resin A6: A copolymer of acrylic acid, methyl methacrylate, and styrene (acid value 98, weight average molecular weight 21000, base monomer ratio acrylic acid: methyl methacrylate: styrene = 1: 1: 1).
Resin A7: Maleic acid polymer (acid value 300, weight average molecular weight 10,000)
Resin A8: Acrylic acid polymer (acid value 100, weight average molecular weight 25000)
Resin A9: Oxylac SH-101 derivative (styrene / maleic acid copolymer added with glycidyl methacrylate, acid value 80)
Resin A10: Resin A6 added with glycidyl methacrylate

(実施例16〜25)
成分(E)として樹脂E1の代わりに表6に示す各樹脂を用いた以外は実施例1−2と同様に実験を行った。結果を併せて表6に示す。
(Examples 16 to 25)
An experiment was conducted in the same manner as in Example 1-2 except that each resin shown in Table 6 was used as the component (E) instead of the resin E1. The results are also shown in Table 6.

表6中、樹脂E2〜E11は下記の通りである。
樹脂E2:GAFQUAT 734(ISP社製、ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー)
樹脂E3:GAFFIX VC−713(ISP社製、ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートターポリマー)
樹脂E4:サクノールSN−09T(電気化学工業(株)製、ポリ酢酸ビニル)
樹脂E5:デンカブチラール#3000(電気化学工業(株)製、ポリビニルブチラール)
樹脂E6:ビニレック−Kタイプ(チッソ社製、ポリビニルホルマール)
樹脂E7:タマノル803L(荒川化学工業(株)製、テルペンフェノール樹脂)
樹脂E8:タマノル520S(荒川化学工業(株)製、アルキルフェノール樹脂)
樹脂E9:バンセリンSM−960(ハリマ化成(株)製、メラミン/ホルムアルデヒド樹脂)
樹脂E10:ハイラック111(日立化成(株)製、シクロヘキサン樹脂)
樹脂E11:ハイラック110H(日立化成(株)製、アセトフェノン樹脂)
In Table 6, resins E2 to E11 are as follows.
Resin E2: GAFQUAT 734 (manufactured by ISP, vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer)
Resin E3: GAFFIX VC-713 (manufactured by ISP, vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate terpolymer)
Resin E4: Sacnol SN-09T (Electrochemical Industry Co., Ltd., polyvinyl acetate)
Resin E5: Denka butyral # 3000 (manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., polyvinyl butyral)
Resin E6: Vinylec-K type (manufactured by Chisso Corporation, polyvinyl formal)
Resin E7: Tamanoru 803L (Arakawa Chemical Industries, Ltd., terpene phenol resin)
Resin E8: Tamanoru 520S (Arakawa Chemical Industries, Ltd., alkylphenol resin)
Resin E9: Vanserin SM-960 (Halima Kasei Co., Ltd., melamine / formaldehyde resin)
Resin E10: Hilac 111 (Hitachi Chemical Co., Ltd., cyclohexane resin)
Resin E11: Hilac 110H (Hitachi Chemical Co., Ltd., acetophenone resin)

(実施例26)
成分(C)を配合しなかった以外は実施例1−2と同様に実験を行った。結果を表7に示す。
(Example 26)
The experiment was performed in the same manner as in Example 1-2 except that the component (C) was not blended. The results are shown in Table 7.

(実施例27)
成分(D)を配合しなかった以外は実施例1−2と同様に実験を行った。結果を表7に示す。
(Example 27)
The experiment was performed in the same manner as in Example 1-2 except that the component (D) was not blended. The results are shown in Table 7.

(実
成分(E)を配合しなかった以外は実施例1−2と同様に実験を行った。結果を表7に示す。
(Experimental Example 1)
The experiment was performed in the same manner as in Example 1-2 except that the component (E) was not blended. The results are shown in Table 7.

(実例2)
成分(C)、(D)及び(E)を配合しなかった以外は実施例1−2と同様に実験を行った。結果を表7に示す。
(Experimental Example 2)
The experiment was performed in the same manner as in Example 1-2 except that the components (C), (D), and (E) were not blended. The results are shown in Table 7.

(比較例1〜3)
表8に示した如くポジ型感光性組成物の配合を変更した以外は実施例1−2と同様に実験を行った。結果を表9に示す。
(Comparative Examples 1-3)
The experiment was conducted in the same manner as in Example 1-2 except that the composition of the positive photosensitive composition was changed as shown in Table 8. The results are shown in Table 9.

表8中、赤外線吸収色素B1及び溶剤は表1と同じであり、他の成分は下記の通りである。
ノボラック樹脂:PR−NMD−100(住友ベークライト社製)
チタン有機化合物:松本工業製薬(株)製のオルガチックスTA−10(チタンアルコキシド)
イミダゾールシラン:下記式(57)の構造を有するシランカップリング剤。但し、式(57)中、R41〜R44はそれぞれアルキル基、nは1〜3の整数である。
In Table 8, the infrared absorbing dye B1 and the solvent are the same as in Table 1, and the other components are as follows.
Novolac resin: PR-NMD-100 (manufactured by Sumitomo Bakelite)
Titanium organic compound: ORGATICS TA-10 (Titanium alkoxide) manufactured by Matsumoto Kogyo Seiyaku Co., Ltd.
Imidazolesilane: A silane coupling agent having the structure of the following formula (57). In the formula (57), each of R 41 to R 44 alkyl radical, n is an integer of 1-3.

表9に示した如く、比較例1〜3はいずれも現像後、画像が無くなり、現像ラチチュードが全く得られなかった。   As shown in Table 9, in Comparative Examples 1 to 3, the image disappeared after development, and no development latitude was obtained.

本発明のポジ型感光性組成物は、グラビア印刷用の被製版ロールの硫酸銅メッキ面にポジ型感光膜を形成するのに好ましいが、これに限定されるものではなく、アルミニウム、亜鉛、鋼等の金属板、アルミニウム、亜鉛、銅、鉄、クロム、ニッケル等をメッキ又は蒸着した金属板、樹脂を塗布した紙、アルミニウム等の金属箔を貼着した紙、プラスチックフィルム、親水化処理したプラスチックフィルム、及びガラス板等に適用しても低温での密着性が良好であり、高感度が得られる。   The positive photosensitive composition of the present invention is preferable for forming a positive photosensitive film on a copper sulfate plated surface of a plate-making roll for gravure printing, but is not limited to this, and aluminum, zinc, steel Metal plates such as aluminum, zinc, copper, iron, chrome, nickel, etc., paper coated with resin, paper coated with a metal foil such as aluminum, plastic film, hydrophilic plastic Even if it is applied to a film, a glass plate, etc., the adhesiveness at low temperature is good and high sensitivity is obtained.

従って、感光性平版印刷版、簡易校正印刷用プルーフ、配線板やグラビア用銅エッチングレジスト、フラットディスプレイ製造に用いられるカラーフィルター用レジスト、LSI製造用フォトレジスト等に好適に使用できる。   Therefore, it can be suitably used for photosensitive lithographic printing plates, simple proof printing proofs, copper etching resists for wiring boards and gravure, color filter resists used in flat display manufacturing, LSI manufacturing photoresists, and the like.

実施例1で用いた感光液テストパターンと計測個所を示す図面であり、(a)はテストパターン、(b)は(a)の丸印部分の拡大図である。It is drawing which shows the photosensitive solution test pattern and measurement location which were used in Example 1, (a) is a test pattern, (b) is an enlarged view of the circled part of (a).

Claims (17)

(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、
(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び
(E)(6)ポリビニルホルマール、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂、を含有し、
前記(6)ポリビニルホルマールは、下記一般式(53)で示される構造を有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
[式(53)中、n、m、lは各々1以上の整数である。]
(A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule;
(B) a photothermal conversion substance that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat, and (E) (6) polyvinyl formal, and (10) at least one resin selected from the group consisting of ketone resins. Contains ,
Wherein (6) polyvinyl formal to a positive photosensitive composition, characterized in that have a structure represented by the following general formula (53).
[In the formula (53), n, m and l are each an integer of 1 or more. ]
(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、
(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び
(E)(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン/ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂、を含有し、
前記高分子物質(A)が、下記一般式(1)で示される重合体であり、
前記(4)ポリ酢酸ビニルは、酢酸ビニルの単独重合体であり、
前記(5)ポリビニルブチラールは、下記一般式(52)で示される構造を有し、
前記(6)ポリビニルホルマールは、下記一般式(53)で示される構造を有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

[式(1)中、R及びRは、それぞれ独立して水素原子もしくは置換又は非置換のアルキル基を示し、aは1〜3の整数、bは6〜8の整数である。]


[式(52)中、n、m、lは各々1以上の整数である。]
[式(53)中、n、m、lは各々1以上の整数である。]
(A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule;
(B) a photothermal conversion material that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat, and (E) (1) vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinyl Pyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (4) polyvinyl acetate, (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine / formaldehyde resin And (10) at least one resin selected from the group consisting of ketone resins,
The high molecular substance (A), Ri polymer der represented by the following general formula (1),
The (4) polyvinyl acetate is a homopolymer of vinyl acetate,
The (5) polyvinyl butyral has a structure represented by the following general formula (52):
Wherein (6) polyvinyl formals, positive photosensitive composition characterized Rukoto that having a structure represented by the following general formula (53).

[In Formula (1), R < 1 > and R < 2 > show a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted alkyl group each independently, a is an integer of 1-3, b is an integer of 6-8. ]


[In the formula (52), n, m, and l are each an integer of 1 or more. ]
[In the formula (53), n, m and l are each an integer of 1 or more. ]
(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、
(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、
(D)光酸発生剤、及び
(E)(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン/ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂、を含有し、
前記光酸発生剤(D)が、下記式(5)で示される化合物であり、
前記(4)ポリ酢酸ビニルは、酢酸ビニルの単独重合体であり、
前記(5)ポリビニルブチラールは、下記一般式(52)で示される構造を有し、
前記(6)ポリビニルホルマールは、下記一般式(53)で示される構造を有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

[式(52)中、n、m、lは各々1以上の整数である。]
[式(53)中、n、m、lは各々1以上の整数である。]
(A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule;
(B) a photothermal conversion substance that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat,
(D) a photoacid generator, and (E) (1) a vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) a vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) a vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, 4) selected from the group consisting of polyvinyl acetate, (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine / formaldehyde resin, and (10) ketone resin. Containing at least one resin,
The photoacid generator (D) is, Ri compound der represented by the following formula (5),
The (4) polyvinyl acetate is a homopolymer of vinyl acetate,
The (5) polyvinyl butyral has a structure represented by the following general formula (52):
Wherein (6) polyvinyl formals, positive photosensitive composition characterized Rukoto that having a structure represented by the following general formula (53).

[In the formula (52), n, m, and l are each an integer of 1 or more. ]
[In the formula (53), n, m and l are each an integer of 1 or more. ]
前記高分子物質(A)が、カルボキシル基及び/又はカルボン酸無水物基を少なくとも1つ有する不飽和化合物(a1)より得られる重合体、並びに前記不飽和化合物(a1)及び該不飽和化合物と共重合可能な化合物(a2)より得られる共重合体からなる群から選択される少なくとも1種の高分子化合物であることを特徴とする請求項1又は3記載のポジ型感光性組成物。   A polymer obtained from the unsaturated compound (a1) having at least one carboxyl group and / or carboxylic anhydride group, and the unsaturated compound (a1) and the unsaturated compound; 4. The positive photosensitive composition according to claim 1, wherein the positive photosensitive composition is at least one polymer compound selected from the group consisting of copolymers obtained from the copolymerizable compound (a2). 前記不飽和化合物(a1)が、マレイン酸、(メタ)アクリル酸及びそれらの誘導体からなる群から選択される少なくとも1種の化合物であることを特徴とする請求項4記載のポジ型感光性組成物。   The positive photosensitive composition according to claim 4, wherein the unsaturated compound (a1) is at least one compound selected from the group consisting of maleic acid, (meth) acrylic acid, and derivatives thereof. object. 前記高分子物質(A)が、マレイン酸重合体、(メタ)アクリル酸重合体、スチレン/マレイン酸系共重合体及びそれらの誘導体からなる群から選択される少なくとも1種の重合体であることを特徴とする請求項1及び3〜5のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。   The polymer substance (A) is at least one polymer selected from the group consisting of a maleic acid polymer, a (meth) acrylic acid polymer, a styrene / maleic acid copolymer, and derivatives thereof. The positive photosensitive composition according to any one of claims 1 and 3 to 5. 前記高分子物質(A)が、スチレン/無水マレイン酸系共重合体に水酸基を有する化合物を反応させて得られるスチレン/マレイン酸系共重合体であることを特徴とする請求項6記載のポジ型感光性組成物。   7. The positive material according to claim 6, wherein the polymer substance (A) is a styrene / maleic acid copolymer obtained by reacting a styrene / maleic anhydride copolymer with a compound having a hydroxyl group. Type photosensitive composition. 前記水酸基を有する化合物が、アルコールであることを特徴とする請求項7記載のポジ型感光性組成物。   The positive photosensitive composition according to claim 7, wherein the compound having a hydroxyl group is an alcohol. 前記高分子物質(A)が、下記一般式(1)で示される重合体であることを特徴とする請求項1及び3〜8のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。

[式(1)中、R及びRは、それぞれ独立して水素原子もしくは置換又は非置換のアルキル基を示し、aは1〜3の整数、bは6〜8の整数である。]
The positive photosensitive composition according to any one of claims 1 and 3 to 8, wherein the polymer substance (A) is a polymer represented by the following general formula (1).

[In Formula (1), R < 1 > and R < 2 > show a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted alkyl group each independently, a is an integer of 1-3, b is an integer of 6-8. ]
(D)光酸発生剤をさらに含有することを特徴とする請求項1又は2記載のポジ型感光性組成物。   The positive photosensitive composition according to claim 1 or 2, further comprising (D) a photoacid generator. (C)溶解阻止剤をさらに含有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。   (C) The positive photosensitive composition of any one of Claims 1-10 which further contains a dissolution inhibitor. 前記光熱変換物質(B)が、下記一般式(3)で示される化合物であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。

[式(3)中、R〜Rは各々独立して、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基、又は炭素数1〜3のアルコキシ基を示し、Xはハロゲン原子、ClO、BF、p−CHSO、又はPFを示す。]
The positive photosensitive composition according to claim 1, wherein the photothermal conversion substance (B) is a compound represented by the following general formula (3).

Wherein (3), R 3 ~R 8 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms having 1 to 3 carbon atoms, X a halogen atom, ClO 4, BF 4, p-CH 3 C 6 H 4 SO 3, or an PF 6. ]
前記光熱変換物質(B)が、下記一般式(4)で示される化合物であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。


[式(4)中、R〜R12は各々独立して、水素原子、メトキシ基、−N(CH、又は−N(Cを示し、YはC−B(C、p−CHSO、又はCFSOを示す。]
The positive photosensitive composition according to claim 1, wherein the photothermal conversion substance (B) is a compound represented by the following general formula (4).


Wherein (4), R 9 ~R 12 independently represents a hydrogen atom, a methoxy group, -N (CH 3) 2, or indicates -N (C 2 H 5) 2 , Y is C 4 H 9 -B (C 6 H 5) 3, p-CH 3 C 6 H 4 SO 3, or an CF 3 SO 3. ]
(F)トリアリールメタン系染料をさらに含有することを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。   (F) The positive photosensitive composition according to any one of claims 1 to 13, further comprising a triarylmethane dye. 請求項1〜14のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物を用いることを特徴とするフォトファブリケーション方法。   A photofabrication method using the positive photosensitive composition according to claim 1. 印刷版、電子部品、精密機器部品、又は偽造防止用関連部材を製造するために適用されることを特徴とする請求項15記載のフォトファブリケーション方法。   16. The photofabrication method according to claim 15, wherein the photofabrication method is applied to manufacture a printing plate, an electronic component, a precision instrument component, or an anti-counterfeit related member. 請求項1〜14のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物を用いた製版方法。   A plate making method using the positive photosensitive composition according to claim 1.
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