JPWO2008126722A1 - Positive photosensitive composition - Google Patents

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Abstract

露光前のバーニングが不要で優れた密着性を有し且つ高感度なポジ型感光性組成物を提供する。(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び(M)熱酸発生剤を含有してなるようにした。前記熱酸発生剤(M)が、p−トルエンスルホン酸エステル、p−トルエンスルホン酸無水物、ジフェニルスルホンからなる群から選択される一種又は二種以上であることが好ましい。Provided is a positive photosensitive composition which has no adhesion before exposure and has excellent adhesion and high sensitivity. (A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule, (B) a photothermal conversion substance that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat, and (M) a thermal acid generator. I did it. The thermal acid generator (M) is preferably one or more selected from the group consisting of p-toluenesulfonic acid ester, p-toluenesulfonic acid anhydride, and diphenylsulfone.

Description

本発明は、ポジ型感光性組成物に関し、より詳しくは、波長700〜1,100nmのレーザー光に露光感応して該感応部がアルカリ現像液に可溶になる赤外波長域レーザー感応性を有し、解像性の良い感光膜を得ることができるアルカリ可溶性のポジ型感光性組成物に関する。本発明のポジ型感光性組成物は、フォトファブリケーションにおいて有効に用いることができ、特に、印刷版、電子部品、精密機器部品、偽造防止用関連部材等の製造に適用されるフォトファブリケーションの分野に好適に使用される。   The present invention relates to a positive photosensitive composition. More specifically, the present invention has an infrared wavelength region laser sensitivity in which the sensitive part is soluble in an alkali developer by exposure to laser light having a wavelength of 700 to 1,100 nm. The present invention relates to an alkali-soluble positive-type photosensitive composition that can have a high-resolution photosensitive film. The positive photosensitive composition of the present invention can be used effectively in photofabrication, and is particularly suitable for photofabrication applied to the production of printing plates, electronic parts, precision instrument parts, anti-counterfeiting related members and the like. It is suitably used in the field.

従来、波長700〜1,100nmの半導体レーザー光に露光感応して該感応部がアルカリ現像液に可溶になるポジ型感光性組成物に関し、1)塗布作業室内の湿度が25〜60%の範囲において塗布するときに被塗布対象に塗布してその後のバーニングが不要でアルミニウムに対して必要十分な密着性が得られるのは勿論のこと、特にアルミニウムに比べて遥かに強い密着力が必要な銅又は硫酸銅メッキに対して必要十分な密着性が得られる、2)60〜70秒位の適切な時間で残渣が発生しない良好なアルカリ現像が行なえて、現像液のアルカリ強度が低くても現像が可能であるため、現像中の作業及び廃液処理等が容易である、3)バーニング処理を行なわないことで高感度が保たれレジスト画像のエッジが露光の照射パターンの通りにシャープな輪郭で切れる極めて良好な現像が行なえる、4)現像後の膜減りが少なく膜減りに起因するピンホールの発生が少ない極めて良好な現像が行なえる、5)レジスト画像に光沢があり、そのまま印刷に供しても数千枚刷れる程の耐刷性のあるレジスト画像が得られ、感光膜形成後現像前の取り扱いにおける耐キズ性が向上する、6)半導体レーザーによる画像焼付及び現像のラチチュードが秀逸なポジ型感光性組成物を提供することを目的として、本願出願人は、(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、及び(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質を含有するポジ型感光性組成物を提案し、好評を得ている(特許文献1)。   Conventionally, it relates to a positive photosensitive composition in which the sensitive part becomes soluble in an alkaline developer by exposure to a semiconductor laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 nm. 1) The humidity in the coating work chamber is 25 to 60%. When applying in a range, it is not necessary to apply to the object to be coated, and subsequent burning is not required, so that necessary and sufficient adhesion to aluminum is obtained. In particular, much stronger adhesion than aluminum is required. Necessary and sufficient adhesion to copper or copper sulfate plating can be obtained. 2) Even if the alkali strength of the developer is low, good alkali development can be performed without generating a residue in an appropriate time of about 60 to 70 seconds. Because development is possible, work during development and waste liquid processing are easy. 3) High sensitivity is maintained by not performing the burning process, and the edge of the resist image follows the exposure irradiation pattern. 4) Very good development that can be cut with sharp outlines 4) Less film loss after development and very good development with less pinholes due to film reduction 5) Glossy resist image, A resist image having printing durability enough to print several thousand sheets is obtained even if it is used for printing as it is, and scratch resistance in handling before development after formation of a photosensitive film is improved. 6) Latage of image printing and development by a semiconductor laser. In order to provide an excellent positive photosensitive composition, the applicant of the present application absorbs infrared rays from (A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule, and (B) an image exposure light source. Thus, a positive photosensitive composition containing a photothermal conversion substance that converts it into heat has been proposed and has been well received (Patent Document 1).

しかし、上記のような従来のポジ型感光性組成物は、露光前のバーニング不要で優れた密着性を有するが、さらなる感度の向上が求められていた。
WO2005/001576A1
However, the conventional positive photosensitive composition as described above does not require burning before exposure and has excellent adhesion, but further improvement in sensitivity has been demanded.
WO2005 / 001576A1

本発明は、露光前のバーニングが不要で優れた密着性を有し且つ高感度なポジ型感光性組成物を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a positive photosensitive composition that has excellent adhesion and does not require burning before exposure and has high sensitivity.

上記課題を解決するために、本発明のポジ型感光性組成物は、(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び(M)熱酸発生剤を含有してなることを特徴とする。   In order to solve the above problems, the positive photosensitive composition of the present invention comprises (A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule, and (B) absorbing infrared rays from an image exposure light source to heat. It comprises a photothermal conversion substance to be converted and (M) a thermal acid generator.

前記熱酸発生剤(M)が、p−トルエンスルホン酸エステル、p−トルエンスルホン酸無水物、及びジフェニルスルホンからなる群から選択される一種又は二種以上であることが好ましい。   The thermal acid generator (M) is preferably one or more selected from the group consisting of p-toluenesulfonic acid ester, p-toluenesulfonic acid anhydride, and diphenylsulfone.

前記光熱変換物質(B)が、赤外線吸収色素であることが好適である。   The photothermal conversion substance (B) is preferably an infrared absorbing dye.

前記高分子物質(A)が、カルボキシル基及び/又はカルボン酸無水物基を少なくとも1つ有する不飽和化合物(a1)より得られる重合体、並びに前記不飽和化合物(a1)及び該不飽和化合物と共重合可能な化合物(a2)より得られる共重合体からなる群から選択される少なくとも1種の高分子物質であることが好ましい。   A polymer obtained from the unsaturated compound (a1) having at least one carboxyl group and / or carboxylic anhydride group, and the unsaturated compound (a1) and the unsaturated compound; It is preferably at least one polymer substance selected from the group consisting of copolymers obtained from the copolymerizable compound (a2).

前記不飽和化合物(a1)が、マレイン酸、(メタ)アクリル酸及びそれらの誘導体からなる群から選択される少なくとも1種の化合物であることが好適である。本発明において、アクリルとメタクリルを併せて(メタ)アクリルと称する。   The unsaturated compound (a1) is preferably at least one compound selected from the group consisting of maleic acid, (meth) acrylic acid, and derivatives thereof. In the present invention, acrylic and methacryl are collectively referred to as (meth) acryl.

前記高分子物質(A)が、マレイン酸重合体、(メタ)アクリル酸重合体、スチレン/マレイン酸系共重合体及びその誘導体からなる群から選択される少なくとも1種の重合体であることが好ましい。   The polymer substance (A) is at least one polymer selected from the group consisting of a maleic acid polymer, a (meth) acrylic acid polymer, a styrene / maleic acid copolymer and a derivative thereof. preferable.

前記高分子物質(A)が、スチレン/無水マレイン酸系共重合体に水酸基を有する化合物を反応させて得られるスチレン/マレイン酸系共重合体であることが好ましい。前記水酸基を有する化合物が、アルコールであることが好適である。   The polymer substance (A) is preferably a styrene / maleic acid copolymer obtained by reacting a styrene / maleic anhydride copolymer with a compound having a hydroxyl group. It is preferable that the compound having a hydroxyl group is an alcohol.

前記高分子物質(A)が、下記一般式(1)で示される共重合体であることが好ましい。   The polymer substance (A) is preferably a copolymer represented by the following general formula (1).

Figure 2008126722
Figure 2008126722

[式(1)中、R及びRは、それぞれ独立して水素原子もしくは置換又は非置換のアルキル基を示し、aは1〜3の整数、bは1以上の整数である。][In Formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted alkyl group, a is an integer of 1 to 3, and b is an integer of 1 or more. ]

前記熱酸発生剤(M)が、p−トルエンスルホン酸エステル、p−トルエンスルホン酸無水物、及びジフェニルスルホンからなる群から選択される一種又は二種以上であることが好ましい。   The thermal acid generator (M) is preferably one or more selected from the group consisting of p-toluenesulfonic acid ester, p-toluenesulfonic acid anhydride, and diphenylsulfone.

本発明のポジ型感光性組成物に、(C)溶解阻止剤をさらに含有することが好適である。
本発明のポジ型感光性組成物に、(D)光酸発生剤をさらに含有することが好適である。
本発明のポジ型感光性組成物に、(E)(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン/ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂をさらに含有することが好適である。
本発明のポジ型感光性組成物に、(F)トリアリールメタン系染料をさらに含有することが好ましい。
It is preferable that the positive photosensitive composition of the present invention further contains (C) a dissolution inhibitor.
It is preferable that the positive photosensitive composition of the present invention further contains (D) a photoacid generator.
The positive photosensitive composition of the present invention comprises (E) (1) vinyl pyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinyl pyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinyl pyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer. , (4) polyvinyl acetate, (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine / formaldehyde resin, and (10) ketone resin It is preferable to further contain at least one resin selected from the group consisting of:
It is preferable that the positive photosensitive composition of the present invention further contains (F) a triarylmethane dye.

本発明のフォトファブリケーション方法は、本発明のポジ型感光性組成物を用いることを特徴とする。該フォトファブリケーション方法を、印刷版、電子部品、精密機器部品、及び偽造防止用関連部材等を製造する為に適用することが好ましい。   The photofabrication method of the present invention is characterized by using the positive photosensitive composition of the present invention. The photofabrication method is preferably applied to produce printing plates, electronic parts, precision equipment parts, anti-counterfeiting related members, and the like.

本発明の製版方法は、本発明のポジ型感光性組成物を用いることを特徴とする。
本発明の製版方法は、被塗布対象に前記ポジ型感光性組成物を塗布する工程と、前記塗布された塗膜を加熱処理を行わずに露光する工程と、を含むことが好ましい。
本発明の製版方法により、凹版(グラビア)、平版、凸版、孔版等の印刷版を作成することができ、特にグラビア版の製版が好適である。
The plate-making method of the present invention is characterized by using the positive photosensitive composition of the present invention.
The plate-making method of the present invention preferably includes a step of applying the positive photosensitive composition to an application target and a step of exposing the applied coating film without performing a heat treatment.
By the plate making method of the present invention, printing plates such as intaglio plates (gravure), planographic plates, letterpress plates and stencil plates can be prepared, and in particular, gravure plate making is suitable.

本発明のポジ型感光性組成物を感光液として用いたグラビア版の一般的な製版工程は次の通りである。
1.シリンダーに感光液塗布(ドライ膜厚2−5μmが好ましい。ピンホールを無くすため膜は厚い方が良いが、薄い方が使用量が少ない分コストは安くなる。)→2.乾燥(タッチドライまで15分→終了まで15〜20分)→3.露光(光源:半導体レーザー830nm、220mJ/cm)→4.現像(60〜90秒/25℃)→5.水洗(スプレー30秒)→6.エッチング(深度10〜30μm、腐食 塩化第二銅水溶液、銅換算60g/L)→7.レジスト剥離(アルカリ剥離)→8.水洗→9.Crメッキ(水に対してクロム酸250g/L,硫酸2.5g/L)→10.水洗→11.印刷。
A general plate making process of a gravure plate using the positive photosensitive composition of the present invention as a photosensitive solution is as follows.
1. Applying a photosensitive solution to the cylinder (preferably a dry film thickness of 2-5 μm. A thicker film is better to eliminate pinholes, but a thinner film will reduce the amount used and lower the cost.) → 2. Drying (15 minutes to touch dry → 15 to 20 minutes to finish) → 3. Exposure (light source: semiconductor laser 830 nm, 220 mJ / cm 2 ) → 4. Development (60 to 90 seconds / 25 ° C.) → 5. Washing with water (spray 30 seconds) → 6. Etching (depth 10-30 μm, corrosive cupric chloride aqueous solution, copper equivalent 60 g / L) → 7. Resist stripping (alkali stripping) → 8. Washing with water → 9. Cr plating (chromic acid 250 g / L, sulfuric acid 2.5 g / L with respect to water) → 10. Washing with water → 11. printing.

本発明のポジ型感光性組成物を感光液として用いた平版(PS版)の一般的な製版工程は次の通りである。
1.CTP(PS版)(アルミ研摩→感光液塗布→乾燥)→2.露光(光源:半導体レーザー830nm、220mJ/cm)→3.現像→4.印刷。
A general plate making process of a lithographic plate (PS plate) using the positive photosensitive composition of the present invention as a sensitizing solution is as follows.
1. CTP (PS plate) (aluminum polishing → photosensitive solution coating → drying) → 2. Exposure (light source: semiconductor laser 830 nm, 220 mJ / cm 2 ) → 3. Development → 4. printing.

本発明によれば、露光前のバーニング不要で優れた密着性を有しかつ高感度な新規なポジ型感光性組成物を提供することができるという著大な効果を有する。   According to the present invention, there is a remarkable effect that it is possible to provide a novel positive photosensitive composition that has excellent adhesion without burning before exposure and has high sensitivity.

本発明のポジ型感光性組成物は、グラビア印刷用の被製版ロールの硫酸銅メッキ面にポジ型感光膜を形成するのに好ましいが、これに限定されるものではなく、アルミニウム、亜鉛、鋼等の金属板、アルミニウム、亜鉛、銅、鉄、クロム、ニッケル等をメッキ又は蒸着した金属板、樹脂を塗布した紙、アルミニウム等の金属箔を貼着した紙、プラスチックフィルム、親水化処理したプラスチックフィルム、及びガラス板等に適用しても低温での密着性が良好であり、高感度が得られる。   The positive photosensitive composition of the present invention is preferable for forming a positive photosensitive film on a copper sulfate plated surface of a plate-making roll for gravure printing, but is not limited to this, and aluminum, zinc, steel Metal plates such as aluminum, zinc, copper, iron, chrome, nickel, etc., paper coated with resin, paper coated with a metal foil such as aluminum, plastic film, hydrophilic plastic Even if it is applied to a film, a glass plate, etc., the adhesiveness at low temperature is good and high sensitivity is obtained.

従って、感光性平版印刷版、簡易校正印刷用プルーフ、配線板やグラビア用銅エッチングレジスト、フラットディスプレイ製造に用いられるカラーフィルター用レジスト、LSI製造用フォトレジスト等に好適に使用できる。   Therefore, it can be suitably used for photosensitive lithographic printing plates, simple proof printing proofs, copper etching resists for wiring boards and gravure, color filter resists used in flat display manufacturing, LSI manufacturing photoresists, and the like.

以下に本発明の実施の形態を説明するが、これらの実施の形態は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。   Embodiments of the present invention will be described below, but these embodiments are exemplarily shown, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention.

本発明のポジ型感光性組成物は、(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び(M)熱酸発生剤、を必須成分として含有するものであり、必要に応じて、(C)溶解阻止剤、(D)光酸発生剤、(E)(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、
(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン/ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂、及び(F)トリアリールメタン系染料をさらに配合することが好ましい。
The positive photosensitive composition of the present invention comprises (A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule, (B) a photothermal conversion substance that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat, and ( M) a thermal acid generator as an essential component, and if necessary, (C) a dissolution inhibitor, (D) a photoacid generator, (E) (1) a vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer,
(4) polyvinyl acetate, (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine / formaldehyde resin, and (10) ketone resin It is preferable to further blend at least one selected resin and (F) a triarylmethane dye.

前記高分子物質(A)としては、分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質であれば、特に限定されないが、カルボキシル基及び/又はカルボン酸無水物基を少なくとも1つ有する不飽和化合物(a1)の重合体や、前記不飽和化合物(a1)と該不飽和化合物と共重合可能な化合物(a2)の共重合体が好適な例として挙げられる。前記高分子物質(A)は、カルボキシル基を酸価が30〜500、特に、200〜250になるように含むことが好ましい。重量平均分子量としては1,500〜100,000が好適で好ましく、7,000〜10,000前後のものが更に好ましい。   The polymer substance (A) is not particularly limited as long as it is a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule, but is an unsaturated compound having at least one carboxyl group and / or carboxylic anhydride group. Suitable examples include the polymer (a1) and the copolymer of the unsaturated compound (a1) and the compound (a2) copolymerizable with the unsaturated compound. The polymer substance (A) preferably contains a carboxyl group so that the acid value is 30 to 500, particularly 200 to 250. The weight average molecular weight is preferably 1,500 to 100,000, more preferably around 7,000 to 10,000.

前記不飽和化合物(a1)としては、マレイン酸、(メタ)アクリル酸、フマール酸、イタコン酸、及びそれらの誘導体等が好ましく、これらを単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。   As the unsaturated compound (a1), maleic acid, (meth) acrylic acid, fumaric acid, itaconic acid, and derivatives thereof are preferable, and these can be used alone or in combination of two or more.

マレイン酸及びその誘導体(マレイン酸系単量体と称する。)としては、例えば、マレイン酸、無水マレイン酸、マレイン酸モノエステル(例えば、マレイン酸モノメチル,マレイン酸モノエチル,マレイン酸モノ−n−プロピル,マレイン酸モノイソプロピル,マレイン酸モノ−n−ブチル,マレイン酸モノイソブチル及びマレイン酸モノ−tert−ブチル等)、マレイン酸ジエステル等が好適な例として挙げられる。   Examples of maleic acid and its derivatives (referred to as maleic monomers) include maleic acid, maleic anhydride, maleic acid monoesters (for example, monomethyl maleate, monoethyl maleate, mono-n-propyl maleate). Suitable examples include, for example, monoisopropyl maleate, mono-n-butyl maleate, monoisobutyl maleate and mono-tert-butyl maleate), and maleic acid diesters.

(メタ)アクリル酸及びその誘導体[(メタ)アクリル系単量体と称する。]としては、例えば、(メタ)アクリル酸や(メタ)アクリル酸エステル(例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等)が好適な例として挙げられる。   (Meth) acrylic acid and its derivatives [referred to as (meth) acrylic monomers. ], For example, (meth) acrylic acid or (meth) acrylic acid ester (for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, etc.) Is a suitable example.

前記不飽和化合物(a1)と共重合可能な化合物(a2)としては、不飽和二重結合を有する化合物が好ましく、スチレン、α−メチルスチレン、m又はp−メトキシスチレン、p−メチルスチレン、p−ヒドロキシスチレン、3−ヒドロキシメチル−4−ヒドロキシ−スチレン等のスチレンとその誘導体(スチレン系単量体と称する。)が特に好ましい。これらを単独又は2種以上組み合わせて使用することができる。   The compound (a2) copolymerizable with the unsaturated compound (a1) is preferably a compound having an unsaturated double bond, such as styrene, α-methylstyrene, m or p-methoxystyrene, p-methylstyrene, p. Styrene such as -hydroxystyrene and 3-hydroxymethyl-4-hydroxy-styrene and derivatives thereof (referred to as styrene monomers) are particularly preferable. These can be used alone or in combination of two or more.

前記高分子物質(A)としては、前記マレイン酸系単量体の重合体やマレイン酸系単量体を主成分とする共重合体、前記(メタ)アクリル系単量体の重合体や(メタ)アクリル系単量体を主成分とする共重合体、マレイン酸系単量体及び(メタ)アクリル系単量体とスチレン系単量体等の他の単量体との共重合体、マレイン酸系単量体とスチレン系単量体とを共重合して得られるスチレン/マレイン酸系共重合体(以下、共重合体(b1)と称する。)、アクリル系単量体とスチレン系単量体との共重合体、これら重合体の誘導体、又はそれらの変性物が好ましく、マレイン酸重合体、(メタ)アクリル酸重合体、下記一般式(2)及び/又は(3)で示される構造と下記一般式(4)で示される構造とを有する共重合体、又は(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルとスチレン系単量体との共重合体がより好ましく、下記一般式(1)で示される共重合体であることがさらに好ましい。   Examples of the polymer substance (A) include a polymer of the maleic monomer, a copolymer having a maleic monomer as a main component, a polymer of the (meth) acrylic monomer, and ( A copolymer based on a (meth) acrylic monomer, a maleic acid monomer, and a copolymer of a (meth) acrylic monomer and another monomer such as a styrene monomer, Styrene / maleic acid copolymer (hereinafter referred to as copolymer (b1)) obtained by copolymerizing maleic monomer and styrene monomer, acrylic monomer and styrene A copolymer with a monomer, a derivative of these polymers, or a modified product thereof is preferable. A maleic acid polymer, a (meth) acrylic acid polymer, represented by the following general formulas (2) and / or (3) A copolymer having a structure represented by the following general formula (4), or (meth) acrylic More preferably a copolymer of the Le acid (meth) acrylic acid ester and the styrene monomer, and more preferably a copolymer represented by the following general formula (1).

Figure 2008126722
Figure 2008126722

[式(2)において、R及びRは、それぞれ独立して水素原子又は1価の置換基を示し、水素原子、低級アルキル基又は反応性二重結合を有する基が好ましい。][In Formula (2), R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent substituent, preferably a hydrogen atom, a lower alkyl group or a group having a reactive double bond. ]

Figure 2008126722
Figure 2008126722

Figure 2008126722
Figure 2008126722

[式(4)において、R及びRはそれぞれ独立して水素原子又は1価の置換基を示し、水素原子又はメチル基が好ましい、Rは水素原子又は1価の置換基を示し、水素原子、水酸基、アルキル基又はアルコキシ基が好ましい、Rは水素原子又は1価の置換基を示し、水素原子又はヒドロキシアルキル基が好ましい。][In Formula (4), R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent substituent, preferably a hydrogen atom or a methyl group, R 7 represents a hydrogen atom or a monovalent substituent, A hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group or an alkoxy group is preferable. R 8 represents a hydrogen atom or a monovalent substituent, and a hydrogen atom or a hydroxyalkyl group is preferable. ]

Figure 2008126722
Figure 2008126722

[式(1)中、R及びRは、それぞれ独立して水素原子又は1価の置換基であり、水素原子、もしくは置換又は非置換のアルキル基が好ましく、水素原子、低級アルキル基又はアルコキシアルキル基がより好ましい、R及びRが複数存在する場合、それらは同じであっても異なっていてもよい。R及びRの少なくとも1つが水素原子であることが好ましい、aは0又は1以上の整数であり、1〜3が好ましい、bは1以上の整数であり、6〜12が好ましい。][In Formula (1), R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom or a monovalent substituent, preferably a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted alkyl group, a hydrogen atom, a lower alkyl group or When there are a plurality of R 1 and R 2 , which are more preferably alkoxyalkyl groups, they may be the same or different. It is preferable that at least one of R 1 and R 2 is a hydrogen atom, a is 0 or an integer of 1 or more, 1 to 3 is preferable, b is an integer of 1 or more, and 6 to 12 are preferable. ]

前記スチレン/マレイン酸系共重合体の製造方法は特に限定されず、公知の方法に準じて行うことができるが、スチレン/無水マレイン酸系共重合体(即ち、スチレン系単量体と、無水マレイン酸との共重合物)に水酸基を有する化合物を反応させてエステル化させて得ることが好適である。   The method for producing the styrene / maleic acid copolymer is not particularly limited and can be carried out according to a known method. However, the styrene / maleic anhydride copolymer (that is, styrene monomer and anhydride It is preferable to obtain a product obtained by reacting a compound having a hydroxyl group with a maleic acid copolymer).

前記水酸基を有する化合物としては、特に限定はないが、イソプロパノール、n−プロパノール、イソプロパノール/シクロヘキサノール、ブチルアルコール、イソオクタノール、エチレングリコール等のアルコール,エチレングリコールブチルエーテル等のエチレングリコールエーテル,ジエチレングリコールエチルエーテル等のジエチレングリコールエーテルなどが挙げられる。   The compound having a hydroxyl group is not particularly limited, but alcohols such as isopropanol, n-propanol, isopropanol / cyclohexanol, butyl alcohol, isooctanol and ethylene glycol, ethylene glycol ethers such as ethylene glycol butyl ether, diethylene glycol ethyl ether and the like And diethylene glycol ether.

また、前記高分子物質(A)として、前記共重合体(b1)を、反応性二重結合を有する化合物で変性したもの[以下、共重合体(b2)と称する。]を用いてもよい。この場合の式(2)及び(3)で示される構造と式(4)で示される構造の比率が約1であることが好ましい。上記共重合体(b2)としては、具体的には、共重合体(b1)中の酸無水物基又はカルボキシ基に、反応性二重結合を有する化合物を反応させることにより製造することができる。この場合アルカリ現像を行うために必要なカルボキシル基が共重合体中に残っていることが必要である。   In addition, as the polymer substance (A), the copolymer (b1) is modified with a compound having a reactive double bond [hereinafter referred to as copolymer (b2). ] May be used. In this case, the ratio of the structure represented by the formulas (2) and (3) to the structure represented by the formula (4) is preferably about 1. Specifically, the copolymer (b2) can be produced by reacting a compound having a reactive double bond with the acid anhydride group or carboxy group in the copolymer (b1). . In this case, it is necessary that the carboxyl group necessary for alkali development remains in the copolymer.

前記反応性二重結合を有する化合物としては、炭素−炭素二重結合を有する化合物が好ましく、具体的には、不飽和アルコール(例えば、アリルアルコール、2−ブテン−1−2−オール、フルフリルアルコール、オレイルアルコール、シンナミルアルコール、2−ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、N−メチロールアクリルアミド等),アルキル(メタ)アクリレート(例えば、メチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート等),オキシラン環及び反応性二重結合をそれぞれ1個有するエポキシ化合物(例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル、α−エチルグリシジルアクリレート、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシジルエステル等)等が好適な例として挙げられる。   The compound having a reactive double bond is preferably a compound having a carbon-carbon double bond, specifically, an unsaturated alcohol (for example, allyl alcohol, 2-buten-1-ol, furfuryl). Alcohol, oleyl alcohol, cinnamyl alcohol, 2-hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, N-methylol acrylamide, etc.), alkyl (meth) acrylate (eg, methyl methacrylate, t-butyl methacrylate, etc.), oxirane ring and reactive Epoxy compounds each having one heavy bond (for example, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, α-ethyl glycidyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, monoalkyl itaconate monoalkyl) Glycidyl ester etc.) and the like as a preferable example.

また、上記共重合体(b2)として、不飽和アルコールにより反応性二重結合を導入されたものに、さらに反応性二重結合濃度を大きくするために、前記したオキシラン環及び反応性二重結合をそれぞれ1個有するエポキシ化合物を反応させ、さらに反応性二重結合濃度を大きくしたものを用いてもよい。   In addition, in order to further increase the concentration of the reactive double bond in the copolymer (b2) into which the reactive double bond is introduced by the unsaturated alcohol, the oxirane ring and the reactive double bond described above are used. Alternatively, an epoxy compound having one each may be reacted to further increase the reactive double bond concentration.

上記共重合体(b1)及び(b2)の製造方法は特に限定されず、公知の方法(例えば、特公昭47−25470号公報、特公昭48−85679号公報及び特公昭51−21572号公報等参照。)に準じて行なうことができる。スチレン/マレイン酸系重合体以外のカルボキシ基を有する高分子物質も上記と同様に反応性二重結合を導入することができる。共重合体への反応性二重結合の付与は、硬化度の増加及び耐刷性の向上の点から好ましい。   The method for producing the copolymers (b1) and (b2) is not particularly limited, and known methods (for example, JP-B 47-25470, JP-B 48-85679, JP-B 51-21572, etc.) Refer to this). Reactive double bonds can also be introduced in a polymer substance having a carboxy group other than the styrene / maleic acid polymer in the same manner as described above. Giving a reactive double bond to the copolymer is preferable from the viewpoint of increasing the degree of curing and improving printing durability.

本発明のポジ型感光性組成物における高分子物質(A)の含有割合は、特に限定されないが、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分、(F)成分及び(M)成分の固形分総量に対して、80〜98重量%であるのが好ましく、90〜95重量%であるのが更に好ましい。これら高分子物質(A)は、単独で使用しても良く、2種以上併用しても良い。   Although the content rate of the high molecular substance (A) in the positive photosensitive composition of this invention is not specifically limited, (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component It is preferable that it is 80 to 98 weight% with respect to solid content total amount of (F) component and (M) component, and it is still more preferable that it is 90 to 95 weight%. These polymer substances (A) may be used alone or in combination of two or more.

前記光熱変換物質(B)としては、吸収した光を熱に変換し得る化合物であれば特に限定はないが、波長700〜1,100nmの赤外線領域の一部又は全部に吸収帯を有する有機又は無機の顔料や染料、有機色素、金属、金属酸化物、金属炭化物、金属硼化物等が挙げられ、波長700〜1,100nmの赤外線領域の一部又は全部に吸収帯を有する赤外線吸収色素が好ましく、前記波長域の光を効率良く吸収し、且つ紫外線領域の光は殆ど吸収しないか又は吸収しても実質的に感応しない赤外線吸収色素がより好ましく、例えば、下記一般式(5)又は(6)で示される化合物やその誘導体が好適に用いられる。   The photothermal conversion substance (B) is not particularly limited as long as it is a compound capable of converting the absorbed light into heat, but is an organic having an absorption band in part or all of the infrared region having a wavelength of 700 to 1,100 nm. Examples include inorganic pigments and dyes, organic pigments, metals, metal oxides, metal carbides, metal borides, and the like, and infrared absorbing pigments having an absorption band in part or all of the infrared region having a wavelength of 700 to 1,100 nm are preferable. More preferred is an infrared absorbing dye that efficiently absorbs light in the wavelength region and hardly absorbs light in the ultraviolet region or does not substantially react even if absorbed. For example, the following general formula (5) or (6 ) Or a derivative thereof is preferably used.

Figure 2008126722
Figure 2008126722

[式(5)中、R〜R12は各々独立して、水素原子、メトキシ基、−N(CH、又は−N(Cを示し、Yは対アニオンを示し、YとしてはC−B(C、p−CHSO、又はCFSO等が挙げられる。]Wherein (5), R 9 ~R 12 independently represents a hydrogen atom, a methoxy group, -N (CH 3) 2, or indicates -N (C 2 H 5) 2 , Y - is a counter anion Y represents C 4 H 9 -B (C 6 H 5 ) 3 , p-CH 3 C 6 H 4 SO 3 , CF 3 SO 3 , or the like. ]

Figure 2008126722
Figure 2008126722

[式(6)中、R13〜R18は各々独立して、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基、又は炭素数1〜3のアルコキシ基を示す。Xは対アニオンを示し、Xとしてはハロゲン原子、ClO、BF、p−CHSO、又はPF等が挙げられる。][In Formula (6), R < 13 > -R < 18 > shows a hydrogen atom, a C1-C3 alkyl group, or a C1-C3 alkoxy group each independently. X represents a counter anion, and examples of X include a halogen atom, ClO 4 , BF 4 , p-CH 3 C 6 H 4 SO 3 , or PF 6 . ]

また、他の赤外線吸収色素としては、例えば、特開平11−231515号公報に記載されているような窒素原子、酸素原子、又は硫黄原子等を含む複素環等がポリメチン(−CH=)nで結合された、広義の所謂シアニン系色素が代表的なものとして挙げられ、具体的には、例えば、キノリン系(所謂、シアニン系)、インドール系(所謂、インドシアニン系)、ベンゾチアゾール系(所謂、チオシアニン系)、イミノシクロヘキサジエン系(所謂、ポリメチン系)、ピリリウム系、チアピリリウム系、スクアリリウム系、クロコニウム系、アズレニウム系等が挙げられ、中で、キノリン系、インドール系、ベンゾチアゾール系、イミノシクロヘキサジエン系、ピリリウム系、又はチアピリリウム系が好ましい。特に、フタロシアニンやシアニンが好ましい。   Examples of other infrared absorbing dyes include polymethine (—CH═) n such as a heterocycle containing a nitrogen atom, an oxygen atom, or a sulfur atom as described in JP-A-11-231515. The so-called cyanine dyes in a broad sense bound to each other can be cited as representative examples. Specifically, for example, quinoline (so-called cyanine), indole (so-called indocyanine), benzothiazole (so-called) , Thiocyanine series), iminocyclohexadiene series (so-called polymethine series), pyrylium series, thiapyrylium series, squarylium series, croconium series, azurenium series, etc. Among them, quinoline series, indole series, benzothiazole series, iminocyclo Hexadiene, pyrylium, or thiapyrylium are preferred. In particular, phthalocyanine and cyanine are preferable.

前記光熱変換物質(B)は、波長700〜1,100nmの赤外波長領域の一部又は全部に吸収帯を有し該赤外波長領域のレーザー光を吸収して熱分解する特性を有し、前記カルボキシル基を有する高分子物質(A)の分子の熱切断によるアルカリ可溶性の低分子化・アブレーションに関与する。   The photothermal conversion substance (B) has an absorption band in a part or all of the infrared wavelength region having a wavelength of 700 to 1,100 nm, and has a characteristic of thermally decomposing by absorbing laser light in the infrared wavelength region. Involvement in alkali-soluble molecular weight reduction and ablation by thermal cleavage of molecules of the polymer substance (A) having a carboxyl group.

光熱変換物質の添加量の多少は、露光で発生する熱の過多と不足に関係し、又、赤外レーザー光の強弱は、露光部分に存在する有機高分子物質の熱分解の過多と不足に関係するので適切な量に設定される。本発明のポジ型感光性組成物における光熱変換物質(B)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分、(F)成分及び(M)成分の固形分総量に対して、0.1〜10重量%であるのが好ましく、1〜4重量%であるのが更に好ましい。   The amount of the photothermal conversion material added is related to the excess and deficiency of heat generated by exposure, and the intensity of infrared laser light is caused by excess and deficiency of thermal decomposition of the organic polymer substance present in the exposed part. Since it is related, it is set to an appropriate amount. The content ratio of the photothermal conversion substance (B) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, (F) component And it is preferable that it is 0.1-10 weight% with respect to the solid content total amount of (M) component, and it is still more preferable that it is 1-4 weight%.

前記熱酸発生剤(M)は、熱により酸を発生する物質であり、例えば、p−トルエンスルホン酸無水物、p−トルエンスルホン酸エステル類、及びジフェニルスルホンからなる群から選択される一種又は二種以上が好適に用いられる。
前記p−トルエンスルホン酸エステルとしては、例えば、p−トルエンスルホン酸グリシジルエステル、p−トルエンスルホン酸−n−ヘプチルエステル、p−トルエンスルホン酸−n−ヘキシルエステル、p−トルエンスルホン酸2−メトキシエチルエステル、p−トルエンスルホン酸メチルエステル、p−トルエンスルホン酸3−ニトロフェニルエステル、p−トルエンスルホン酸ペンタフルオロベンジルエステル、p−トルエンスルホン酸フェネチルエステル、p−トルエンスルホン酸シクロヘキシル類(例えば、p−トルエンスルホン酸シクロヘキシルエステル、p−トルエンスルホン酸−(4−tert−ブチルシクロヘキシル)、p−トルエンスルホン酸−(2−イソプロピル−5−メチルシクロヘキシル)等)などが好適な例として挙げられる。
The thermal acid generator (M) is a substance that generates an acid by heat. For example, the thermal acid generator (M) is one selected from the group consisting of p-toluenesulfonic anhydride, p-toluenesulfonic acid esters, and diphenylsulfone, or Two or more kinds are preferably used.
Examples of the p-toluenesulfonic acid ester include p-toluenesulfonic acid glycidyl ester, p-toluenesulfonic acid-n-heptyl ester, p-toluenesulfonic acid-n-hexyl ester, and p-toluenesulfonic acid 2-methoxy. Ethyl ester, p-toluenesulfonic acid methyl ester, p-toluenesulfonic acid 3-nitrophenyl ester, p-toluenesulfonic acid pentafluorobenzyl ester, p-toluenesulfonic acid phenethyl ester, p-toluenesulfonic acid cyclohexyls (for example, Suitable examples include p-toluenesulfonic acid cyclohexyl ester, p-toluenesulfonic acid- (4-tert-butylcyclohexyl), p-toluenesulfonic acid- (2-isopropyl-5-methylcyclohexyl), and the like. And the like to.

本発明のポジ型感光性組成物における熱酸発生剤(M)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分、(F)成分及び(M)成分の固形分総量に対して、0.1〜20重量%であるのが好ましく、1〜10重量%であるのが更に好ましい。   The content ratio of the thermal acid generator (M) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, (F) The total solid content of the component and the component (M) is preferably 0.1 to 20% by weight, more preferably 1 to 10% by weight.

前記溶解阻止剤(C)は、露光部と非露光部のアルカリ現像液に対する溶解性の時間差を増大させる目的で配合され、高分子物質(A)と水素結合を形成して該高分子物質の溶解性を低下させる機能を有し、かつ、赤外領域の光を殆ど吸収せず、赤外領域の光で分解されないものが用いられる。   The dissolution inhibitor (C) is blended for the purpose of increasing the difference in solubility between the exposed area and the non-exposed area in the alkaline developer, and forms a hydrogen bond with the polymeric substance (A) to form the polymer substance. Those having a function of lowering the solubility, hardly absorbing light in the infrared region, and not being decomposed by light in the infrared region are used.

前記溶解阻止剤(C)として、下記式(7)で示される化合物(4,4’−[1−[4−[1−(4−ヒドロキシフェニル)−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール)を用いることが好ましい。

Figure 2008126722
As the dissolution inhibitor (C), a compound represented by the following formula (7) (4,4 ′-[1- [4- [1- (4-hydroxyphenyl) -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol ) Is preferably used.
Figure 2008126722

また、溶解阻止剤(C)として、公知の溶解阻止剤を用いることもできる。具体的には
、スルホン酸エステル、燐酸エステル、芳香族カルボン酸エステル、芳香族ジスルホン、カルボン酸無水物、芳香族ケトン、芳香族アルデヒド、芳香族アミン、芳香族エーテル等や、ラクトン骨格、チオラクトン骨格、N,N−ジアリールアミド骨格、又はジアリールメチルイミノ骨格を有する酸発色性色素、ラクトン骨格、チオラクトン骨格、又はスルホラクトン骨格を有する塩基発色性色素、非イオン性界面活性剤等が挙げられ、これらの中では、ラクトン骨格を有する酸発色性色素が好ましい。
Moreover, a well-known dissolution inhibitor can also be used as a dissolution inhibitor (C). Specifically, sulfonic acid ester, phosphoric acid ester, aromatic carboxylic acid ester, aromatic disulfone, carboxylic acid anhydride, aromatic ketone, aromatic aldehyde, aromatic amine, aromatic ether, etc., lactone skeleton, thiolactone skeleton , N, N-diarylamide skeleton, or acid color-forming dye having a diarylmethylimino skeleton, base color-forming dye having a lactone skeleton, thiolactone skeleton, or sulfolactone skeleton, nonionic surfactant, etc. Among these, acid coloring dyes having a lactone skeleton are preferred.

本発明のポジ型感光性組成物における溶解阻止剤(C)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分、(F)成分及び(M)成分の固形分総量に対して、0.5〜8重量%であるのが好ましく、1〜5重量%がより好ましい。これら溶解阻止剤は単独で使用しても良く、2種以上併用してもよい。   The content ratio of the dissolution inhibitor (C) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, (F) component And it is preferable that it is 0.5-8 weight% with respect to the solid content total amount of (M) component, and 1-5 weight% is more preferable. These dissolution inhibitors may be used alone or in combination of two or more.

前記光酸発生剤(D)は、光により酸を発生する物質であり、増感剤として作用する。前記光酸発生剤(D)としては、例えば、特許文献1記載の化合物、ジフェニルヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウム塩、芳香族スルホン酸エステル、トリアジン化合物、ジアゾジスルホン系化合物等が挙げられ、下記式(8)で示される化合物が特に好ましい。   The photoacid generator (D) is a substance that generates an acid by light, and acts as a sensitizer. Examples of the photoacid generator (D) include compounds described in Patent Document 1, diphenyliodonium salts, triphenylsulfonium salts, aromatic sulfonic acid esters, triazine compounds, diazodisulfone compounds, and the like. The compound represented by 8) is particularly preferred.

Figure 2008126722
Figure 2008126722

光酸発生剤としては、具体的には、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)のIRGACUREシリーズ、みどり化学株式会社の製品名:BDE,Anisil,BBI−102,TAZ−101,TAZ−104,TAZ−106,TAZ−110,BC等の光酸発生剤を広く使用できる。又、和光純薬工業株式会社のジアゾジスルホン系、トリフェニルスルホニウム系の光酸発生剤を使用できる。   Specific examples of the photoacid generator include IRGACURE series of Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., and product names of Midori Chemical Co., Ltd .: BDE, Anisil, BBI-102, TAZ-101, TAZ-104, TAZ- Photoacid generators such as 106, TAZ-110, and BC can be widely used. Further, diazodisulfone and triphenylsulfonium photoacid generators from Wako Pure Chemical Industries, Ltd. can be used.

本発明のポジ型感光性組成物における光酸発生剤(D)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分、(F)成分及び(M)成分の固形分総量に対して、0.5〜10重量%であるのが好ましく、1〜5重量%がより好ましい。これら光酸発生剤は単独で使用しても良く、2種以上併用してもよい。また、他の増感剤と組み合わせて使用しても良い。   The content ratio of the photoacid generator (D) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, (F) It is preferably 0.5 to 10% by weight, more preferably 1 to 5% by weight, based on the total solid content of the component and component (M). These photoacid generators may be used alone or in combination of two or more. Moreover, you may use it in combination with another sensitizer.

前記樹脂(E)は、(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン−ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種のアルカリ可溶性樹脂であり、密着性改良剤として機能する。前記樹脂(E)としては、特許文献1記載の樹脂を同様に用いることができる。   The resin (E) comprises (1) vinyl pyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinyl pyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinyl pyrrolidone / vinyl caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (4) polyvinyl acetate. , (5) polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine-formaldehyde resin, and (10) at least one selected from the group consisting of ketone resins It is an alkali-soluble resin and functions as an adhesion improver. As said resin (E), the resin of patent document 1 can be used similarly.

本発明のポジ型感光性組成物における樹脂(E)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分、(F)成分及び(M)成分の固形分総量に対して、1〜40重量%であるのが好ましく、5〜30重量%がより好ましい。   The content ratio of the resin (E) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, (F) component and ( It is preferable that it is 1 to 40 weight% with respect to the solid content total amount of M) component, and 5 to 30 weight% is more preferable.

前記(F)トリアリールメタン系染料としては、従来公知のトリアリールメタン系の着色染料を広く使用できるが、具体的には、メチルバイオレット、クリスタルバイオレット、ビクトリアブルーB、オイルブルー613(オリエント化学工業(株)製の商品名)及びこれらの誘導体が好ましい。これらトリアリールメタン系色素は単独又は2種以上組み合わせて使用することができる。   As the (F) triarylmethane-based dye, conventionally known triarylmethane-based colored dyes can be widely used. Specifically, methyl violet, crystal violet, Victoria blue B, oil blue 613 (Orient Chemical Industries) (Trade name) manufactured by KK and their derivatives are preferred. These triarylmethane dyes can be used alone or in combination of two or more.

着色染料を用いることにより、現像によりパターンができた際に感光膜の表面のピンホール、ゴミ等がはっきり認識でき修正液(オペーク)で塗込み作業がし易いという効果がある。染料の濃度が高いほど見やすく好ましい。なお、半導体産業では修正出来ないため、クリーンルームで製造を行っているが、印刷業界、電子部品関連では失敗品を再生させるため、修正を行う。   By using a colored dye, there is an effect that when a pattern is formed by development, pinholes, dust and the like on the surface of the photosensitive film can be clearly recognized and the coating operation can be easily performed with a correction solution (opaque). The higher the concentration of the dye, the better it is easy to see. Since the semiconductor industry cannot make corrections, manufacturing is performed in a clean room. However, in the printing industry and electronic parts, corrections are made to regenerate failed products.

本発明のポジ型感光性組成物における染料(F)の含有割合は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分、(F)成分及び(M)成分の固形分総量に対して、0.1〜10重量%であるのが好ましく、1〜4重量%がより好ましい。   The content ratio of the dye (F) in the positive photosensitive composition of the present invention is as follows: (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, (E) component, (F) component and ( It is preferable that it is 0.1 to 10 weight% with respect to the solid content total amount of M) component, and 1-4 weight% is more preferable.

本発明のポリ型感光性組成物は、上記した成分に加えて、必要に応じて、他の顔料又は染料等の着色剤、増感剤、現像促進剤、密着性改質剤、塗布性改良剤等の各種添加剤を配合してもよい。現像促進剤は、例えば、ジカルボン酸又はアミン類又はグリコール類を微量添加することが好ましい。   In addition to the above-described components, the poly-type photosensitive composition of the present invention may include other colorants such as pigments or dyes, sensitizers, development accelerators, adhesion modifiers, and coating properties as necessary. You may mix | blend various additives, such as an agent. The development accelerator is preferably added with a small amount of, for example, dicarboxylic acid, amines or glycols.

本発明のポジ型感光性組成物は、通常、溶媒に溶解した溶液として使用される。溶媒の使用割合は、感光性組成物の固形分総量に対して、通常、重量比で1〜20倍程度の範囲である。   The positive photosensitive composition of the present invention is usually used as a solution dissolved in a solvent. The ratio of the solvent used is usually in the range of about 1 to 20 times by weight with respect to the total solid content of the photosensitive composition.

溶媒としては、使用成分に対して十分な溶解度を持ち、良好な塗膜性を与えるものであれば特に制限はなく、セロソルブ系溶媒、プロピレングリコール系溶媒、エステル系溶媒、アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、高極性溶媒を使用できる。セロソルブ系溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等が挙げられる。プロピレングリコール系溶媒としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等が挙げられる。エステル系溶媒としては、酢酸ブチル、酢酸アミル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ジエチルオキサレート、ピルビン酸エチル、エチル−2−ヒドロキシブチレート、エチルアセトアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル等が挙げられる。アルコール系溶媒としては、ヘプタノール、ヘキサノール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール等が挙げられる。高極性溶媒としては、シクロヘキサノン、メチルアミルケトン等のケトン系溶媒やジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等が挙げられる。その他、酢酸、あるいはこれらの混合溶媒、更にはこれらに芳香族炭化水素を添加したもの等が挙げられる。   The solvent is not particularly limited as long as it has sufficient solubility with respect to the components used and gives good coating properties. Cellosolve solvent, propylene glycol solvent, ester solvent, alcohol solvent, ketone solvent Solvents and highly polar solvents can be used. Examples of the cellosolve solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl cellosolve acetate, and ethyl cellosolve acetate. Examples of the propylene glycol solvent include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol dimethyl ether and the like. . As ester solvents, butyl acetate, amyl acetate, ethyl butyrate, butyl butyrate, diethyl oxalate, ethyl pyruvate, ethyl-2-hydroxybutyrate, ethyl acetoacetate, methyl lactate, ethyl lactate, methyl 3-methoxypropionate Etc. Examples of the alcohol solvent include heptanol, hexanol, diacetone alcohol, furfuryl alcohol and the like. Examples of the highly polar solvent include ketone solvents such as cyclohexanone and methyl amyl ketone, dimethylformamide, dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone. In addition, acetic acid or a mixed solvent thereof, and those obtained by adding aromatic hydrocarbons to these may be used.

本発明のポジ型感光性組成物は、通常、前記各成分をセロソルブ系溶媒、プロピレングリコール系溶媒等の溶媒に溶解した溶液として支持体表面であるグラビア印刷用の被製版ロールの銅メッキ面又は硫酸銅メッキ面に塗布し自然乾燥した後、高速回転して被製版ロールの表面で風を切り感光膜内における遠心力による質量作用と表面近傍が若干の負圧状態になることで溶剤残留濃度を6%以下に低減することにより、支持体表面に感光性組成物層が形成されたポジ型感光膜とされる。   The positive photosensitive composition of the present invention is usually a copper-plated surface of a plate-making roll for gravure printing which is a support surface as a solution obtained by dissolving the above components in a solvent such as a cellosolve solvent or a propylene glycol solvent. After coating on the copper sulfate plating surface and air-drying, it rotates at high speed and blows air on the surface of the plate-making roll, causing mass action due to centrifugal force in the photosensitive film and a slight negative pressure in the vicinity of the surface, so that the residual solvent concentration Is reduced to 6% or less to obtain a positive photosensitive film in which a photosensitive composition layer is formed on the support surface.

塗布方法として、メニスカスコート、ファウンティンコート、ディップコート、回転塗布、ロール塗布、ワイヤーバー塗布、エアーナイフ塗布、ブレード塗布、及びカーテン塗布等を用いることができる。塗布膜の厚さは1〜6μmの範囲とすることが好ましく、さらに3〜5μmとするのが好ましい。
本発明のポジ型感光性組成物は、塗布後、加熱処理を必要とせず、十分な密着性と感度を有する。
As a coating method, meniscus coating, fountain coating, dip coating, spin coating, roll coating, wire bar coating, air knife coating, blade coating, curtain coating, and the like can be used. The thickness of the coating film is preferably in the range of 1 to 6 μm, more preferably 3 to 5 μm.
The positive photosensitive composition of the present invention does not require heat treatment after coating, and has sufficient adhesion and sensitivity.

ポジ型感光性組成物層を画像露光する光源としては、波長700〜1,100nmの赤外レーザー光線を発生する半導体レーザーやYAGレーザーが好ましい。他に、ルビーレーザー、LED等の固体レーザーを用いることが出来る。レーザー光源の光強度としては、2.0×10mJ/s・cm以上とすることが好ましく、1.0×10mJ/s・cm以上とすることが特に好ましい。As a light source for image exposure of the positive photosensitive composition layer, a semiconductor laser or a YAG laser that generates an infrared laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 nm is preferable. In addition, a solid laser such as a ruby laser or an LED can be used. The light intensity of the laser light source is preferably 2.0 × 10 6 mJ / s · cm 2 or more, and more preferably 1.0 × 10 7 mJ / s · cm 2 or more.

本発明のポジ型感光性組成物を用いて形成した感光膜に対して用いる現像液としては、無機アルカリ(例えば、Na、Kの塩等)、又は有機アルカリ(例えば、TMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)、又はコリン、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン等)などの無機又は有機のアルカリからなる現像剤が好ましい。   As a developer used for the photosensitive film formed using the positive photosensitive composition of the present invention, an inorganic alkali (for example, a salt of Na or K) or an organic alkali (for example, TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide) is used. Or a developer made of an inorganic or organic alkali such as choline, triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine or the like.

現像は、浸漬現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等により、通常、15〜45℃程度の温度、好ましくは22〜32℃で行なう。   Development is usually performed at a temperature of about 15 to 45 ° C., preferably 22 to 32 ° C., by immersion development, spray development, brush development, ultrasonic development and the like.

以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. However, it is needless to say that these examples are shown by way of illustration and should not be construed in a limited manner.

(実施例1〜4及び比較例1)
表1に示す配合物質及び配合割合(重量部)によりポジ型感光性組成物を調製し、テスト感光液とした。
(Examples 1-4 and Comparative Example 1)
A positive photosensitive composition was prepared with the compounding substances and blending ratios (parts by weight) shown in Table 1, and used as a test photosensitive solution.

Figure 2008126722
Figure 2008126722

表1中の各成分は下記の通りである。
樹脂A1:SMA 1440(SARTOMER社製,スチレン/無水マレイン酸共重合体のブチルセロソルブによる部分エステル化物)。
赤外線吸収色素:前記式(5)で示される赤外線吸収色素
熱酸発生剤1:ジフェニルスルホン
熱酸発生剤2:パラ−トルエンスルホン酸3−ニトロフェニルエステル
熱酸発生剤3:パラ−トルエンスルホン酸フェネチルエステル
溶解阻止剤:TrisP−PA(本州化学工業(株)製、前記式(7)で示される化合物)。
光酸発生剤:IRGACURE 250(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製、前記式(8)で示される化合物)
樹脂E1:PVP/VAコポリマー(分子量46,000、ガラス転移点96℃のビニルピロリドンと酢酸ビニルの共重合体、ビニルピロリドン/酢酸ビニル 50/50)
着色色素:オイルブルー613(オリエント化学工業(株)製、Color Index(C.I.) No. 42595)
PM:プロピレングリコールモノメチルエーテル
IPA:イソプロピルアルコール
MEK:メチルエチルケトン
Each component in Table 1 is as follows.
Resin A1: SMA 1440 (manufactured by SARTOMER, partially esterified product of styrene / maleic anhydride copolymer with butyl cellosolve).
Infrared absorbing dye: Infrared absorbing dye represented by the formula (5) Thermal acid generator 1: Diphenyl sulfone Thermal acid generator 2: Para-toluenesulfonic acid 3-nitrophenyl ester Thermal acid generator 3: Para-toluenesulfonic acid Phenethyl ester dissolution inhibitor: TrisP-PA (a compound represented by the above formula (7), manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.).
Photoacid generator: IRGACURE 250 (a compound represented by the above formula (8), manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)
Resin E1: PVP / VA copolymer (copolymer of vinylpyrrolidone and vinyl acetate having a molecular weight of 46,000 and a glass transition point of 96 ° C., vinylpyrrolidone / vinyl acetate 50/50)
Coloring pigment: Oil Blue 613 (Orient Chemical Industry Co., Ltd., Color Index (CI) No. 42595)
PM: Propylene glycol monomethyl ether IPA: Isopropyl alcohol MEK: Methyl ethyl ketone

得られたテスト感光液を用いて下記の実験を行った。ロール母材が鉄であり硫酸銅メッキされ鏡面研磨された200φmmの被製版ロールを、ファウンテンコーティング装置(除湿装置と加湿装置が付設されていて湿度を所望にコントロールできる装置)で両端チャックして25r.p.mで回転し、ワイピングクロスで十分に拭浄した。なお、該ファウンテンコーティング装置は、ポジ型感光性組成物中の溶剤がコーティング中に蒸発して溶剤の割合が変化することを回避するものである。   The following experiment was conducted using the obtained test photosensitive solution. A roll made of iron, copper sulfate-plated, and mirror-polished 200 mm mm plate-making roll is chucked at both ends with a fountain coating device (a device that can control humidity as desired by a dehumidifying device and a humidifying device). . p. Rotate at m and wipe thoroughly with a wiping cloth. In addition, this fountain coating apparatus avoids that the solvent in a positive photosensitive composition evaporates during coating and the ratio of a solvent changes.

その後、上端からテスト感光液が涌き出るパイプを被製版ロールの一端に約500μmのギャップを有するように位置させ、テスト感光液をコーティングに必要な量だけ湧き出させるようにして、該パイプを被製版ロールの一端から他端まで移動してスパイラルスキャン方式でテスト感光液を均一に塗布し、塗布終了から5分間25r.p.mで回転を続行した後回転停止した。   After that, the pipe from which the test photosensitive solution is sprinkled from the upper end is positioned so as to have a gap of about 500 μm at one end of the plate making roll, and the test photosensitive solution is swelled by an amount necessary for coating, and the pipe is made to plate making. Move from one end of the roll to the other end and apply the test sensitizing solution uniformly by a spiral scan method. p. After continuing the rotation at m, the rotation stopped.

5分間待って、液垂れについて観察したところ、肉眼で液垂れが生じたことが観察できなかった。そして、膜厚測定をしたところ、ロールの下面部分と上面部分とで差異はなかった。もって、液垂れが生じなく状態に乾固した感光膜をセットできたことを確認した。   After waiting for 5 minutes and observing the dripping, it was not possible to observe that dripping occurred with the naked eye. When the film thickness was measured, there was no difference between the lower surface portion and the upper surface portion of the roll. Thus, it was confirmed that the dried photosensitive film could be set in a state without dripping.

引き続いて、試験ロールを100r.p.mで20分間回転して停止し、感光膜中の溶剤残留濃度を測定したところ、2%であった。   Subsequently, the test roll was set to 100 r. p. After rotating at m for 20 minutes and stopping, the residual solvent concentration in the photosensitive film was measured and found to be 2%.

続いて、試験ロールをクレオサイテックス社の高出力半導体レーザーヘッドを搭載した露光装置(株式会社シンク・ラボラトリー製)に取付けて該試験ロールに赤外波長域のレーザーを照射してポジ画像を焼き付け、次いで、試験ロールを現像装置に取付けて回転して現像槽を上昇させて残渣がなくなるまで現像を行い、その後水洗した。なお、現像液はKOH4.2%(25℃)を用いた。得られたレジスト画像を顕微鏡により評価した。結果を表2に示す。   Subsequently, the test roll is attached to an exposure apparatus (manufactured by Sink Laboratories, Inc.) equipped with a high-power semiconductor laser head of Creositex, and a positive image is printed by irradiating the test roll with a laser in the infrared wavelength region. Then, the test roll was attached to the developing device and rotated to raise the developing tank, and development was performed until there was no residue, followed by washing with water. The developing solution used was 4.2% KOH (25 ° C.). The obtained resist images were evaluated with a microscope. The results are shown in Table 2.

Figure 2008126722
Figure 2008126722

表2中の評価方法は下記の通りである。
1)エッジの解像性
解像力テストパターンを用いて、市松模様、グレーチングの7.9μmの線のエッジがシャープかどうかを測定した。表中◎は良好な結果であり解像性が合格、×は画像なしで製版できず解像性が不合格。
2)現像ラチチュード
大日本印刷株式会社製のセル蔵(網点の開孔率自動測定のできる装置)を用いて測定を行った。現像の回数を多くしたテスト(本実施例では3回)により、7.9μm×7.9μmの露光により、セル面積計算で60−75μmに入っている場合は、印刷濃度の許容範囲に入っている為、良好であり、表中◎で示した。印刷許容範囲外の場合を表中×で示した。
3)密着性
tesa test: DIN EN ISO 2409 tesaテープによる碁盤目密着性テストで100マスが全て残る場合を◎、20%未満の範囲で剥離される場合を○、20%以上剥離する場合を×とした。
4)感度
露光量をふり画像パターンに再現性が近いもので感度を決定。露光機はクレオ社のサーマルイメージングヘッドを用いた。
5)現像
残渣がなくなるまでの現像時間を測定した。
6)残膜率
塗膜の厚みを測定する装置であるFILMETRICS Thin Film Analyzer F20(Filmetrics Co製)を用いて、現像前の膜厚、現像後の膜厚を測定し、残膜率を算出した。
7)画像
オリジナル画像に再現性が近いかどうかを評価した。◎:非常に良好、×:非常に悪い、−:現像で画像が無くなる。
The evaluation methods in Table 2 are as follows.
1) Edge resolution Using a resolution test pattern, it was measured whether the edge of a 7.9 μm line of a checkered pattern or a grating was sharp. In the table, “◎” indicates a good result and the resolution is acceptable, and “×” indicates that the plate cannot be made without an image and the resolution is unacceptable.
2) Development latitude The measurement was carried out using a cell warehouse manufactured by Dai Nippon Printing Co., Ltd. (an apparatus capable of automatically measuring the aperture ratio of halftone dots). According to the test with a large number of developments (three times in this embodiment), if the cell area calculation is within 60-75 μm 2 due to exposure of 7.9 μm × 7.9 μm, the print density is within the allowable range. Therefore, it is good and indicated by ◎ in the table. The case outside the allowable printing range is indicated by x in the table.
3) Adhesion
tesa test: DIN EN ISO 2409 A cross-cut adhesion test using a tesa tape was marked with ◎ when 100 squares remained, ◯ when peeled within a range of less than 20%, and x when peeled over 20%.
4) Sensitivity The exposure is determined and the sensitivity is determined by the reproducibility close to the image pattern. The exposure machine was a Creo thermal imaging head.
5) Development The development time until no residue was found was measured.
6) Remaining film ratio Using FILMETRICS Thin Film Analyzer F20 (manufactured by Filmetrics Co), which is a device for measuring the thickness of the coating film, the film thickness before development and the film thickness after development were measured, and the remaining film ratio was calculated. .
7) Image It was evaluated whether the reproducibility was close to the original image. A: Very good, X: Very bad,-: Image disappears in development.

表2に示した如く、実施例1〜4のポジ型感光性組成物は、熱酸発生剤を添加していない比較例1に比べて著しく感度が向上し、また僅かではあるが残膜率も向上した。
更に低照度で露光することにより、光源の寿命が長くなるメリットがある。
As shown in Table 2, the positive photosensitive compositions of Examples 1 to 4 have significantly improved sensitivity as compared with Comparative Example 1 in which no thermal acid generator was added, and although the film ratio was small, Also improved.
Furthermore, there is an advantage that the life of the light source is prolonged by exposing at a low illuminance.

なお、硫酸銅メッキ面の代わりに銅面又はアルミニウム面を用いた以外は実施例1と同様に行った場合について実験を行ったがいずれも実施例1と同様、良好な結果が得られた。アルミニウム面の場合、特に広い現像ラチチュードが得られた。   In addition, although it experimented about the case where it carried out similarly to Example 1 except having used the copper surface or the aluminum surface instead of the copper sulfate plating surface, as in Example 1, the favorable result was obtained. In the case of the aluminum surface, a particularly wide development latitude was obtained.

(実施例5)
成分(E)として、樹脂E1の代わりに、樹脂E2:GAFQUAT 734(ISP社製、ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー)、樹脂E3:GAFFIX VC−713(ISP社製、ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートターポリマー)、樹脂E4:サクノールSN−09T(電気化学工業(株)製、ポリ酢酸ビニル)、樹脂E5:デンカブチラール♯3000(電気化学工業(株)製、ポリビニルブチラール)、樹脂E6:ビニレック−Kタイプ(チッソ社製、ポリビニルホルマール)、樹脂E7:タマノル803L(荒川化学工業(株)製、テルペンフェノール樹脂)、樹脂E8:タマノル520S(荒川化学工業(株)製、アルキルフェノール樹脂)、樹脂E9:バンセリンSM−960(ハリマ化成(株)製、メラミン/ホルムアルデヒド樹脂)、樹脂E10:ハイラック111(日立化成(株)製、シクロヘキサノン系ケトン樹脂)、又は樹脂E11:ハイラック110H(日立化成(株)製、アセトフェノン系ケトン樹脂)を用いた以外は実施例1と同様に実験を行ったところ、実施例1と同様、良好な結果が得られた。
(Example 5)
As component (E), instead of resin E1, resin E2: GAFQUAT 734 (manufactured by ISP, vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer), resin E3: GAFFIX VC-713 (manufactured by ISP, vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / Dimethylaminoethyl methacrylate terpolymer), resin E4: Sacnol SN-09T (manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., polyvinyl acetate), resin E5: Denka Butyral # 3000 (manufactured by Denki Kagaku Kogyo K.K., polyvinyl butyral), resin E6: Vinylec-K type (manufactured by Chisso Corp., polyvinyl formal), resin E7: Tamanoru 803L (Arakawa Chemical Industries, terpene phenol resin), resin E8: Tamanoru 520S (Arakawa Chemical Industries, Ltd., alkylphenol resin) ), Fat E9: Vanserin SM-960 (manufactured by Harima Kasei Co., Ltd., melamine / formaldehyde resin), resin E10: Hilac 111 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., cyclohexanone ketone resin), or resin E11: Hilac 110H (Hitachi) When an experiment was performed in the same manner as in Example 1 except that Kasei Chemical Co., Ltd. (acetophenone ketone resin) was used, good results were obtained as in Example 1.

Claims (12)

(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、
(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び
(M)熱酸発生剤
を含有してなることを特徴とするポジ型感光性組成物。
(A) a polymer substance having at least one carboxyl group in the molecule;
(B) A positive-type photosensitive composition comprising a photothermal conversion substance that absorbs infrared rays from an image exposure light source and converts it into heat, and (M) a thermal acid generator.
前記熱酸発生剤(M)が、p−トルエンスルホン酸エステル、p−トルエンスルホン酸無水物、及びジフェニルスルホンからなる群から選択される一種又は二種以上であることを特徴とする請求項1記載のポジ型感光性組成物。   2. The thermal acid generator (M) is one or more selected from the group consisting of p-toluenesulfonic acid ester, p-toluenesulfonic acid anhydride, and diphenylsulfone. The positive photosensitive composition as described. 前記光熱変換物質(B)が、赤外線吸収色素であることを特徴とする請求項1又は2記載のポジ型感光性組成物。   The positive photosensitive composition according to claim 1 or 2, wherein the photothermal conversion substance (B) is an infrared absorbing dye. (C)溶解阻止剤をさらに含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。   The positive photosensitive composition according to claim 1, further comprising (C) a dissolution inhibitor. (D)光酸発生剤をさらに含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。   The positive photosensitive composition according to any one of claims 1 to 4, further comprising (D) a photoacid generator. (E)(1)ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー、(2)ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(3)ビニルピロリドン/ビニルカプロラクタム/ジメチルアミノエチルメタクリレートコポリマー、(4)ポリ酢酸ビニル、(5)ポリビニルブチラール、(6)ポリビニルホルマール、(7)テルペンフェノール樹脂、(8)アルキルフェノール樹脂、(9)メラミン/ホルムアルデヒド樹脂、及び(10)ケトン樹脂からなる群から選択される少なくとも1種の樹脂をさらに含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。   (E) (1) vinylpyrrolidone / vinyl acetate copolymer, (2) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (3) vinylpyrrolidone / vinylcaprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (4) polyvinyl acetate, (5) At least one resin selected from the group consisting of polyvinyl butyral, (6) polyvinyl formal, (7) terpene phenol resin, (8) alkylphenol resin, (9) melamine / formaldehyde resin, and (10) ketone resin The positive photosensitive composition according to claim 1, wherein the positive photosensitive composition is contained. (F)トリアリールメタン系染料をさらに含有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物。   (F) The positive photosensitive composition according to any one of claims 1 to 6, further comprising a triarylmethane dye. 請求項1〜7のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物を用いることを特徴とするフォトファブリケーション方法。   A photofabrication method using the positive photosensitive composition according to claim 1. 印刷版、電子部品、精密機器部品、又は偽造防止用関連部材を製造するために適用されることを特徴とする請求項8記載のフォトファブリケーション方法。   9. The photofabrication method according to claim 8, wherein the photofabrication method is applied to manufacture a printing plate, an electronic component, a precision instrument component, or an anti-counterfeiting related member. 請求項1〜7のいずれか1項記載のポジ型感光性組成物を用いた製版方法。   A plate making method using the positive photosensitive composition according to any one of claims 1 to 7. 被塗布対象に前記ポジ型感光性組成物を塗布する工程と、
前記塗布された塗膜を加熱処理を行わずに露光する工程と、
を含むことを特徴とする請求項10記載の製版方法。
Applying the positive photosensitive composition to the object to be coated;
Exposing the applied coating without performing heat treatment; and
The plate-making method according to claim 10, comprising:
グラビア版の製版方法であることを特徴とする請求項10又は11記載の製版方法。   The plate making method according to claim 10, wherein the plate making method is a gravure plate making method.
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